JP2023124485A - Rfidインレイ及びrfidインレイの製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】電気的接続に寄与していない支持バンプの接続不良に起因する通信性能の低下を抑制すること。【解決手段】RFIDインレイは、基材と、アンテナと、アンテナと同一材料により形成されておりアンテナとは分断されたランドと、ICチップと、を備え、ICチップは、アンテナと電気的に接続するための接続バンプと、アンテナとの電気的な接続に寄与しない支持バンプとを有し、接続バンプはアンテナと接続され、支持バンプはランドと接続されている。【選択図】図3

Description

本発明は、RFIDインレイ及びRFIDインレイの製造方法に関する。
近年、製品の製造、管理、流通等の分野において、製品に関する情報や識別情報が書き込まれたICチップから非接触通信によって情報を送受するRFID(Radio Frequency Identification)技術に対応した、いわゆる、RFIDタグ、RFIDラベル等のRFID媒体が普及している。
ICチップは、電気的な接続に寄与する一対のバンプ接点(接続バンプ)を介して、アンテナと接続されている(特許文献1参照)。
ICチップは、接続バンプ以外にも電気的な接続に寄与しない支持バンプが設けられており、これら複数のバンプによって、アンテナと電気的及び機械的に接続されている。
特開2021-140671号公報
従来のRFIDインレイでは、使用条件や使用期間によって、ICチップとアンテナとの接続が損なわれてアンテナの通信性能の低下が生じることがあった。
従来のRFIDインレイでは、通信性能の低下は、主に、ICチップとアンテナとを接続する複数のバンプのうち電気的接続に寄与している接続バンプとアンテナとの接続が損なわれることに起因する。
しかしながら、電気的な接続に寄与する接続バンプとアンテナとの接続が維持できていたとしても、電気的な接続に寄与していない支持バンプとアンテナとの接続が損なわれていれば、通信性能の低下が発生し得ることが明らかになってきた。
すなわち、RFIDインレイに生じ得る通信性能の低下の全数のうち、完全に使用不可となる接続バンプとアンテナとの接続不良に起因する通信性能の低下を除いた分である、支持バンプの接続不良に起因する通信性能の低下を抑制できるだけでも、RFIDインレイに生じ得る通信性能の低下の発生率を下げることができる。
そこで、本発明は、電気的接続に寄与していない支持バンプの接続不良に起因する通信性能の低下を抑制することを目的とする。
本発明のある態様によれば、基材と、前記基材に形成されたアンテナと、前記基材に前記アンテナと同一材料により形成され、前記アンテナと分断されたランドと、前記アンテナに接続されたICチップと、を備え、前記ICチップは、前記アンテナと電気的に接続するための接続バンプと、前記アンテナとの電気的な接続に寄与しない支持バンプとを有し、前記接続バンプは、前記アンテナと接続され、前記支持バンプは、前記ランドと接続された、RFIDインレイが提供される。
本態様によれば、電気的接続に寄与していない支持バンプの接続不良に起因する通信性能の低下を抑制することができる。
図1は、第一実施形態に係るRFIDインレイを説明する平面図である。 図2は、図1における要部Sを拡大して説明する拡大図である。 図3は、図2に示すIII-III線における断面図である。 図4は、図1における要部Sにおいて、ICチップと異方導電性材料とが配置されていない状態を説明する図である。 図5は、ICチップにおいて接続バンプ及び支持バンプが形成された面を説明する平面図である。 図6は、RFIDインレイの製造方法において、基材にアンテナを形成するための金属シートを積層する工程を説明する模式図である。 図7は、RFIDインレイの製造方法において、基材に所定パターンのアンテナ及び第一溝を形成する工程を説明する模式図である。 図8は、RFIDインレイの製造方法において、アンテナの所定位置に異方導電性材料を配置する工程を説明する模式図である。 図9は、RFIDインレイの製造方法において、アンテナのICチップ接続部にICチップを実装する工程を説明する模式図である。 図10は、第二実施形態に係るRFIDインレイを説明する平面図である。 図11は、図10に示すXI-X線における断面図である。 図12は、第二実施形態に適用されるICチップを説明する平面図である。
[第一実施形態]
<RFIDインレイ>
本発明の第一実施形態に係るRFIDインレイ1について説明する。図1は、第一実施形態に係るRFIDインレイ1を説明する平面図である。図2は、図1における要部Sを拡大して説明する拡大図である。図3は、図2に示すIII-III線における断面図である。
図1に示されるように、RFIDインレイ1は、基材2と、基材2に所定のパターンになるように形成されたアンテナ3と、アンテナ3と同一材料により形成され、アンテナ3とは分断されたランド41,42と、ICチップ5とを備える。
(基材)
第一実施形態において、基材2として適用可能な材料としては、厚紙、上質紙、中質紙、又はこれらに塗工層を形成したコート紙等の紙基材を用いることができる。
また、上記紙基材のほか、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンナフタレート等の樹脂単体からなる単層の樹脂シート、又はこれら単層シートを複数積層してなる多層の樹脂シートを使用することができる。
基材2の材料及び厚さは、RFIDインレイ1を用いて作製される製品としてのRFID媒体の意匠性や用途等に応じて、適宜選択可能である。
(アンテナ及びランド)
本実施形態では、アンテナ3は、図1に示されるように、ループ部31と、ICチップ5が接続されるICチップ接続部32と、ループ部31から左右対称に延びるメアンダ33,34と、メアンダ33,34の端部に接続されたキャパシタハット35,36とを備えるダイポールアンテナである。
ICチップ接続部32は、アンテナ3におけるループ部31の一部が切り欠かれて分離された部分であり、ループ部31の切欠端部同士が互いに突き合わされて、ICチップ接続部32を構成している。
図2には、アンテナ3及びランド41,42が、ICチップ5及び異方導電性材料Eを透過して、二点鎖線にて示されている。
図4は、図1に示す要部Sを拡大して説明する拡大図であり、図4では、ICチップ接続部32及びランド41,42を分かりやすく示すために、RFIDインレイ1のICチップ5と異方導電性材料Eとが配置されていない状態が示されている。
本実施形態において、アンテナ3及びランド41,42は、導電性材料として、金属箔を用いて形成されている。ランド41,42は、アンテナ3と同一材料から形成されている。
アンテナ3及びランド41,42に適用可能な金属としては、例えば、銅、アルミニウムがあげられる。製造コストを抑える観点から、アルミニウム箔を用いることが好ましい。
ランド41,42は、基材2において、アンテナ3のICチップ接続部32に対して、所定間隔dを隔てて形成されている。ランド41,42とアンテナ3との間の基材2には、図3に示されるように、異方導電性材料Eが入り込むことのできる第一溝21が形成されている。
アンテナ3及びランド41,42は、図3に示されるように、粘着剤Aにより基材2に貼り付けられている。粘着剤Aとしては、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤等を使用可能である。
なお、本実施形態では、アンテナ3は、一例として、UHF帯(300MHz~3GHz、特に860MHz~960MHz)に対応したアンテナ長さ及びアンテナ線幅になるように設計されている。
アンテナ3は、同一材料にて形成されるランド41,42のサイズ及び第一溝21の溝幅等を考慮して設計されている。また、アンテナ3の形状、線幅及び厚さは、RFIDインレイ1を用いて作製される製品としてのRFID媒体の意匠性や用途、要求されるアンテナ特性等に応じて、適宜選択可能である。
(ICチップ)
図5は、接続バンプ51,52及び支持バンプ53,54が形成されたICチップ5を説明する平面図である。
ICチップ5は、UHF帯に対応して、ICチップ5の読取装置であるリーダ(図示されていない)との間で通信可能に設計された半導体パッケージである。
本実施形態において、ICチップ5は、図5に示されるように、アンテナ3と電気的に接続するための接続バンプ51,52と、前記アンテナとの電気的な接続に寄与しない支持バンプ53,54とを有する。
図2に示されるように、接続バンプ51,52は、アンテナ3のICチップ接続部32と接続される。また、支持バンプ53,54は、ランド41,42と接続される。
本実施形態において、接続バンプ51,52におけるアンテナ3(ICチップ接続部32)との接地面積は、支持バンプ53,54におけるランド41,42との接地面積よりも大きい。
ICチップ5は、図3に示すように、アンテナ3のICチップ接続部32に異方導電性材料Eによって電気的及び機械的に接続される。
本実施形態では、異方導電性材料Eは、接着成分であるバインダ樹脂中に、所定粒径に調製された導電性フィラーが混合された熱硬化型の異方導電性接着剤である。このため、異方導電性材料Eは、熱圧着処理により硬化し、アンテナ3とICチップ5、及び基材2とICチップ5とを電気的及び機械的に接続することができる。
なお、図3では、ICチップ5の接続バンプ51とアンテナ3とが互いに接触するように記載されているが、異方導電性材料Eは、上記のように電気的及び機械的接続を為し得るものであるため、ICチップ5の接続バンプ51とアンテナ3との間に異方導電性材料Eが介在した状態で硬化している場合もある。支持バンプ53とランド41との間も同様のことがいえる。
以上の構成を有するRFIDインレイ1は、RFIDインレイ1の表面や裏面に別の基材を積層したり、表面や裏面に粘着剤層を形成したりする等の更なる加工が施されることにより、ラベル、タグ、リストバンド、チケット、カード等のRFID媒体を作製することができる。
<RFIDインレイの製造方法>
続いて、図6から図9を用いてRFIDインレイ1の製造方法について説明する。なお、RFIDインレイ1の製造方法における各工程は、図2に示したIII-III線における断面図を用いて示されている。
図6は、RFIDインレイ1の製造方法において、基材2にアンテナ3及びランド41,42を形成するための金属シートMを積層する積層工程を説明する模式図である。図7は、基材2に所定パターンのアンテナ3、ランド41,42及び第一溝21を形成する工程を説明する模式図である。図8は、アンテナ3の所定位置に異方導電性材料Eを配置する工程を説明する模式図である。図9は、アンテナ3のICチップ接続部32にICチップ5を実装する工程を説明する模式図である。
本実施形態では、まず、図6に示されるように、基材2にアンテナ3及びランド41,42を形成するための金属シートMを、粘着剤Aを介して積層する。
積層工程では、一例として、基材2となる基材連続体を搬送しながら、基材連続体に、アンテナ3及びランド41,42の外形よりも内側の領域に粘着剤Aが配置されるような版が形成された版ローラ等を用いて塗工することができる。
続いて、粘着剤Aが塗工された基材連続体の表面に、アンテナ3及びランド41,42を構成する金属シートM(本実施形態においては、アルミニウム箔)の連続体を配置する。
続いて、金属シートMの連続体をアンテナ3及びランド41,42の外形に切断する。本実施形態では、ダイロール等を用いて、金属シートMの連続体にアンテナ3及びランド41,42のパターンの切り込みを形成することができる。
ダイロールにおいて、ICチップ接続部32とランド41,42との間に対応する位置に高さの異なるダイを設けておくことにより、基材2にアンテナ3及びランド41,42を形成する工程において、ICチップ接続部32とランド41,42との間に第一溝21を形成することができる。
続いて、金属シートMの連続体のうちアンテナ3及びランド41,42を構成しない不要部分を除去する。
これにより、図7に示されるように、基材2にアンテナ3、ランド41,42及び第一溝21を形成することができる。
なお、ICチップ接続部32とランド41,42との間の所定間隔d及び第一溝21の深さは、粘着剤Aを塗工する版ローラや金属シートMを切断するダイロールの設計により実現可能である。本実施形態においては、一例として、100μm程度に設定することができ、さらには、100μm以下の微細な寸法にも対応可能である。
続いて、図8に示されるように、基材2に、ICチップ接続部32を覆うようにして異方導電性材料Eが配置される。
次に、図9に示されるように、アンテナ3のICチップ接続部32にICチップ5が実装される。
実装工程では、異方導電性材料Eの上からICチップ接続部32とICチップ5との接続が可能な位置にICチップ5を配置した後、異方導電性材料Eを硬化させるために、所定温度で加熱するとともに所定圧力で加圧する。
実装工程における加熱温度、加熱時間及び加圧時間は、異方導電性材料Eの硬化温度に応じて設定可能である。加熱温度を異方導電性材料Eの硬化温度近くに設定するほど、異方導電性材料Eの硬化時間を短縮することができる。
また、実装工程における加圧荷重は、基材2の種類、ICチップ5のサイズ、バンプ形状、バンプ数及びバンプの形成位置等に応じて調整可能である。
以上の工程を経ることにより、異方導電性材料Eを用いて、基材2に形成されたアンテナ3にICチップ5を実装することができる。これにより、RFIDインレイ1が製造される。
<作用・効果>
第一実施形態に係るRFIDインレイ1は、基材2と、アンテナ3と、アンテナ3と同一材料により形成され、アンテナ3と分断されたランド41,42とを備える。ICチップ5は、接続バンプ51,52においてアンテナ3と電気的に接続されており、支持バンプ53,54において、ランド41,42と接続されている。
支持バンプ53は、アンテナ3とは分断されたランド41と接続されているため、支持バンプ53において接続不良が発生したとしても、支持バンプ53とランド41との接続不良による影響が接続バンプ51とアンテナ3との接続によって保持されるアンテナ3の通信性能に及びにくい。
したがって、RFIDインレイ1に生じ得る通信性能の低下の全数のうち、完全に使用不可となる接続バンプ51とアンテナ3との接続不良に起因する通信性能の低下を除いた分である、支持バンプ53の接続不良に起因する通信性能の低下を抑制できる。以上の効果は、支持バンプ54とランド42との間においても同様にいえる。
これにより、RFIDインレイ1に生じ得る通信性能の低下の発生率を下げることができる。
また、第一実施形態に係るRFIDインレイ1は、基材2において、アンテナ3とランド41,42との間の位置に形成された第一溝21を有する。第一溝21には、ICチップ5とアンテナ3及びランド41,42を接続するための異方導電性材料Eが入り込むことができるため、ICチップ5を基材2に強固に固着することができる。
第一溝21は、ダイロール等を用いて、金属シートMからアンテナ3及びランド41,42のパターンの切り込みを形成する工程において形成することができる。このため、蒸着膜のエッチングによりアンテナパターンを形成する方法により製造されるRFIDインレイに比べて、ICチップ5のサイズの小型化に対応可能である。
また、アンテナ3及びランド41,42のパターンの形成と第一溝21の形成とが一の工程で行えるため、例えば、金属蒸着膜のエッチングによりアンテナパターンを形成する場合と比べて、RFIDインレイ1を高速で製造することができる。
また、第一実施形態に係るRFIDインレイ1では、接続バンプ51,52におけるアンテナ3との接地面積は、支持バンプ53,54におけるランド41,42との接地面積よりも大きい。このため、接続バンプ51,52とアンテナ3との接続強度を、支持バンプ53,54とランド41,42との接続強度よりも強固にすることができる。
[第二実施形態]
<RFIDインレイ>
次に、第二実施形態に係るRFIDインレイ10について説明する。RFIDインレイ10の外観は、図1に示されたRFIDインレイ1と同じであるため、外観の説明は省略する。
図10は、RFIDインレイ1の要部Sに対応するRFIDインレイ10の要部Sを拡大して説明する拡大図である。図10では、アンテナ13のICチップ接続部132及びランド141,142を分かりやすく示すために、RFIDインレイ10のICチップ15と異方導電性材料Eとが配置されていない状態が示されている。
図11は、図10に示すXI-XI線における断面図である。また、図12は、第二実施形態に適用されるICチップ15を説明する平面図である。
RFIDインレイ10のアンテナ13は、ICチップ15と接続されるICチップ接続部132を分断することなく区画するように形成されたアンテナスリット131a,131b,131c及び131dを有する。
RFIDインレイ10は、図11に示されるように、基材12におけるアンテナスリット131aに対応する位置に形成された第二溝121を有し、アンテナスリット131bに対応する位置に形成された第二溝122を有する。なお、図示されていないが、基材12において、アンテナスリット131c,131dに対応する位置にも同様の第二溝が形成されている。
RFIDインレイ10は、アンテナスリット131a,131bによって区画されたアンテナ区画部分132a,132b,132cを有する。RFIDインレイ10は、アンテナスリット131c,131dによって区画されたアンテナ区画部分133a,133b,133cを有する。
また、RFIDインレイ10は、ランド141を区画するように形成されたランドスリット143を有し、ランド142に同様に形成されたランドスリット144を有する。
また、RFIDインレイ10は、ランドスリット143によって区画されたランド区画部分141a,141bを有し、ランドスリット144によって区画されたランド区画部分142a,142bを有する。
RFIDインレイ10は、図11に示されるように、基材12におけるランドスリット143に対応する位置に形成された第三溝123を有する。なお、図示されていないが、基材12において、ランドスリット144に対応する位置にも同様の第三溝が形成されている。
ICチップ15は、図12に示されるように、複数の接続バンプ151a,151b,151c,152a,152b,152cと、複数の支持バンプ153a,153b,154a,154bとを備える。
ICチップ15は、アンテナ13におけるアンテナ区画部分132a,132b,132cと、接続バンプ151a,151b,151cとが対応し、アンテナ区画部分133a,133b,133cと接続バンプ152a,152b,152cとが対応し、ランド区画部分141a,141bと支持バンプ153a,153bとが対応し、ランド区画部分142a,142bと支持バンプ154a,154bとが対応するように、異方導電性材料Eにより接続される。
第二実施形態に係るRFIDインレイ10は、RFIDインレイ1と同様の製造方法を用いて製造することができる。
第一溝21、アンテナスリット131a,131b,131c,131d、基材12におけるアンテナスリット131a,131bに対応する位置にある第二溝121,122、及びランドスリット143に対応する位置にある第三溝123は、金属シートMの連続体にアンテナ13及びランド141,142のパターンの切り込みを形成する工程において用いられるダイロールの設計により実現可能である。
他のアンテナスリット131c,131dに対応する位置に形成される図示しない第二溝、及びランドスリット144に対応する位置に形成される図示しない第三溝も同様にして実現可能である。
<作用・効果>
第二実施形態に係るRFIDインレイ10において、アンテナ13は、ICチップ接続部132を区画するアンテナスリット131a,131bを有し、アンテナスリット131a,131bにより区画されたアンテナ区画部分132a,132b,132cに接続バンプ151a,151b,151cのそれぞれが接続される。また、支持バンプ153a,153bは、アンテナ13とは分断されたランド141,142と接続されている。このため、支持バンプ153a,153bにおいて発生した接続不良に起因する通信性能の低下が接続バンプ151a,151b,151cとアンテナ13との接続によって保持されるアンテナ13の通信性能に及びにくい。
したがって、RFIDインレイ10に生じ得る通信性能の低下の全数のうち、完全に使用不可となる接続バンプ151a,151b,151c,152a,152b,152cとアンテナ13との接続不良に起因する通信性能の低下を除いた分である、支持バンプ153a,153b,154a,154bの接続不良に起因する通信性能の低下を抑制できる。
これにより、RFIDインレイ10に生じ得る通信性能の低下の発生率を下げることができる。
また、第二実施形態に係るRFIDインレイ10は、基材2に形成された第一溝21,第二溝121,122及び第三溝123にICチップ5とアンテナ3及びランド41,42を接続するための異方導電性材料Eが入り込むことができるため、ICチップ15を基材12に強固に固着することができる。
[その他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
本実施形態において、接続バンプ51,52のアンテナ3(ICチップ接続部32)との接地面積は、支持バンプ53,54のランド41,42との接地面積よりも大きい場合について説明したが、これに限定されない。バンプの形状は、図示した形状に限定されない。また、例えば、接続バンプ及び支持バンプは、ドット状のバンプであってもよい。
第二実施形態において適用されるICチップ15は、一例であって、ICチップにおけるバンプ数及びバンプの構成は、図示されたものに限定されない。例えば、接続バンプ151a,151b,151c,152a,152b,152cのうちのいずれか一対が接続端子を構成しており、それ以外のバンプは、電気的接続に寄与しない支持バンプであってもよい。
本実施形態においては、ICチップの接続バンプの数と、アンテナに形成されたアンテナ区画部分の数とが一致する場合について説明した。これに対して、RFIDインレイが問題なく機能し得るようにICチップとアンテナとが接続されていればよく、例えば、図5のICチップ5と図10に示されたアンテナ13とを組み合わせたRFIDインレイであってもよい。支持バンプの数とランド区画部分の数との関係にも同様のことがいえる。
また、図1のアンテナ3と図12に示されたICチップ15とを組み合わせてもよい。
第一溝21の断面形状、第二溝121,122の断面形状、及び第三溝123の断面形状は、図示した形状に限定されない。ダイロールによって切断可能な形状であればよい。例えば、アンテナ3とランド41との間の所定間隔dのなかに複数本の第一溝が形成されていてもよい。
本実施形態においては、アンテナ3,13がUHF帯インレット用のダイポールアンテナである場合について説明したが、アンテナ3,13のパターンは限定されない。アンテナ3,13は、HF帯用のコイルアンテナであってもよい。
1,10 RFIDインレイ
2,12 基材
21 第一溝
3,13 アンテナ
5,15 ICチップ
31 ループ部
32 ICチップ接続部
33,34 メアンダ
35,36 キャパシタハット
41,42 ランド
51,52 接続バンプ
53,54 支持バンプ
121,122 第二溝
123 第三溝
131a,131b,131c,131d アンテナスリット
132 ICチップ接続部
132a,132b,132c,133a,133b,133c アンテナ区画部分
141,142 ランド
141a,141b,142a,142b ランド区画部分
143,144 ランドスリット
151a,151b,151c,152a,152b,152c 接続バンプ
153a,153b,154a,154b 支持バンプ
A 粘着剤
E 異方導電性材料

Claims (12)

  1. 基材と、
    前記基材に形成されたアンテナと、
    前記基材に前記アンテナと同一材料により形成され、前記アンテナと分断されたランドと、
    前記アンテナに接続されたICチップと、
    を備え、
    前記ICチップは、前記アンテナと電気的に接続するための接続バンプと、前記アンテナとの電気的な接続に寄与しない支持バンプとを有し、
    前記接続バンプは、前記アンテナと接続され、
    前記支持バンプは、前記ランドと接続された、
    RFIDインレイ。
  2. 請求項1に記載のRFIDインレイであって、
    前記基材における前記アンテナと前記ランドとの間の位置に形成された第一溝を有する、
    RFIDインレイ。
  3. 請求項1又は2に記載のRFIDインレイであって、
    前記ICチップは、複数の前記接続バンプを有し、
    前記アンテナは、前記ICチップとの接続部を区画するアンテナスリットを有し、
    前記アンテナスリットにより区画されたアンテナ区画部分に複数の前記接続バンプのそれぞれが接続された、
    RFIDインレイ。
  4. 請求項3に記載のRFIDインレイであって、
    前記基材における前記アンテナスリットに対応する位置に形成された第二溝を有する、
    RFIDインレイ。
  5. 請求項1から4のいずれか1項に記載のRFIDインレイであって、
    前記ICチップは、複数の前記支持バンプを有し、
    前記ランドは、前記ランドを区画するランドスリットを有し、
    前記ランドスリットにより区画されたランド区画部分に複数の前記支持バンプのそれぞれが接続された、
    RFIDインレイ。
  6. 請求項5に記載のRFIDインレイであって、
    前記基材における前記ランドスリットに対応する位置に形成された第三溝を有する、
    RFIDインレイ。
  7. 請求項1から6のいずれか1項に記載のRFIDインレイであって、
    前記接続バンプの前記アンテナとの接地面積は、前記支持バンプの前記ランドとの接地面積よりも大きい、
    RFIDインレイ。
  8. 請求項1から7のいずれか1項に記載のRFIDインレイであって、
    前記アンテナと前記ICチップとが異方導電性材料により接続された、
    RFIDインレイ。
  9. 基材と、前記基材に形成されたアンテナと、前記基材に前記アンテナと同一材料により形成され、前記アンテナと分断されたランドと、前記アンテナに接続されたICチップと、を備え、前記ICチップは、前記アンテナと電気的に接続するための接続バンプと、前記アンテナとの電気的な接続に寄与しない支持バンプとを有し、前記接続バンプが前記アンテナと接続され、前記支持バンプが前記ランドと接続されたRFIDインレイの製造方法であって、
    前記基材に前記アンテナの外形よりも内側の領域に粘着剤が塗工される工程と、
    前記粘着剤が塗工された前記基材に前記アンテナを構成する金属シートが配置される工程と、
    前記金属シートが前記アンテナの外形及び前記ランドの外形に切断される工程と、
    前記金属シートのうち前記アンテナ及び前記ランドを構成しない不要部分が除去される工程と、を有する、
    RFIDインレイの製造方法。
  10. 請求項9に記載のRFIDインレイの製造方法であって、
    前記金属シートが前記アンテナの外形及び前記ランドの外形に切断される工程において、前記アンテナ及び前記ランドが形成されるとともに、前記アンテナと前記ランドとの間の前記基材に第一溝が形成される、
    RFIDインレイの製造方法。
  11. 請求項9又は10に記載のRFIDインレイの製造方法であって、
    前記金属シートが前記アンテナの外形及び前記ランドの外形に切断される工程において、前記アンテナにおける前記ICチップの接続部を区画するアンテナスリットが形成されるとともに、前記基材の前記アンテナスリットに対応する位置に第二溝が形成される、
    RFIDインレイの製造方法。
  12. 請求項9から11のいずれか1項に記載のRFIDインレイの製造方法であって、
    前記金属シートが前記アンテナの外形及び前記ランドの外形に切断される工程において、前記ランドを区画するランドスリットが形成されるとともに、前記基材の前記ランドスリットに対応する位置に第三溝が形成される、
    RFIDインレイの製造方法。
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