JP2023117713A - 接着フィルム及び接着フィルムの製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】微細片の折れ曲がりを抑制できる接着フィルム及び接着フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】接着フィルム1は、剥離フィルム2と、剥離フィルム2の一面2a側に積層された接着層3と、を備え、接着層3は、本体部分3Aと、本体部分3Aから剥離フィルム2の面内方向に突出する短冊状の微細片3Bとを有し、剥離フィルム2の他面2b側には、微細片3Bの少なくとも一部と重なる領域に支持フィルム5が積層されている。【選択図】図1

Description

本開示は、接着フィルム及び接着フィルムの製造方法に関する。
従来、半導体装置に用いられる電子部品の固定、或いは回路部材同士の接続のために各種の接着剤が用いられている。接着剤の態様の一つとして、接着剤をフィルム状に成形した接着フィルムが挙げられる。接着フィルムは、一般に、セパレータと称される剥離層上に接着層が形成された状態で提供される。接着フィルムを用いて部材間を接続する場合、接着剤シートの接着層を一方の部材に貼り付けた後、剥離層を接着層から剥離し、他方の部材を一方の部材に貼り付けられた接着層に重ね合わせる。
接着フィルムとしては、例えば接着剤中に導電粒子を分散させて導電性を付与した導電性接着フィルムが知られている(例えば特許文献1参照)。このような導電性接着フィルムによれば、例えば電子部品同士の電気的な接続を好適に実施することができる。
特開2013-207115号公報
近年、半導体装置に対する高機能、高集積、高速化といった要求が強まってきている。これに伴い、接着フィルムを用いて接続される電子部品(例えば半導体チップ、配線基板等)の被接着部の形状も複雑化及び微細化してきている。被接着部が複雑化・微細化してくると、狙いの位置に微細に接着層を配置する目的で、接着フィルムにも接着層の本体部分から突出する短冊状の微細片が設けられる場合がある。しかしながら、このような微細片を接着フィルムに設ける場合、接着フィルムの製造時の巻き取り、或いは接着フィルムの使用の際などに、微細片が折れ曲がり易いという問題がある。
本開示は、上記課題の解決のためになされたものであり、微細片の折れ曲がりを抑制できる接着フィルム及び接着フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
本開示の一側面に係る接着フィルムは、剥離フィルムと、剥離フィルムの一面側に積層された接着層と、を備え、接着層は、本体部分と、本体部分において剥離フィルムの面内方向に延びる短冊状の微細片と、を有し、剥離フィルムの他面側には、微細片の少なくとも一部と重なる領域に支持フィルムが積層されている。
この接着フィルムでは、接着層の本体部分が剥離フィルムの面内方向に延びる短冊状の微細片を有している。接着層が微細片を有することで、複雑化・微細化した被接着部に対する接続を好適に実施できる。また、この接着フィルムでは、剥離フィルムの他面側において、微細片の少なくとも一部と重なる領域に支持フィルムが積層されている。微細片の少なくとも一部が支持フィルムで支持されることにより、接着フィルムの製造時の巻き取り、或いは接着フィルムの使用の際などに、微細片が折れ曲がることを抑制できる。
剥離フィルムは、長尺であり、接着層の本体部分は、剥離フィルムの延在方向に互いに離間して配列されていてもよい。接着層の本体部分は、剥離フィルムの延在方向に一定の間隔をもって配置されていてもよい。このような構成により、微細片の折れ曲がりが抑制された接着層の連続的な使用が可能となる。
支持フィルムは、微細片の全体と重なる領域に配置されていてもよい。この場合、微細片の全体が支持フィルムで支持される。したがって、微細片の折れ曲がりを一層確実に抑制できる。また、被接着部への貼り付けの際、微細片の各部位での圧力のばらつきを抑えることが可能となる。
接着フィルムの幅方向において、剥離フィルムは、接着層よりも外側に張り出す張出部分を有していてもよい。この場合、剥離フィルムの張出部分によって微細片を更に確実に保護できる。また、張出部分を接着フィルムの使用の際の接着フィルムの把持領域、或いは位置決め用のマーカの配置領域などに用いることで、接着フィルムの利便性を向上できる。
剥離フィルムの一面側には、微細片を含む接着層の全体を覆うようにカバーフィルムが積層されていてもよい。この場合、支持フィルム及びカバーフィルムによって微細片を更に確実に保護できる。
接着フィルムの幅方向において、カバーフィルムは、接着層よりも外側に張り出す張出部分を有していてもよい。この場合、カバーフィルムによって微細片を一層確実に保護できる。
接着フィルムは、導電性接着フィルムであってもよい。導電性接着フィルムは、導電粒子を含有していてもよい。この場合、微細片により、複雑化・微細化した被接着部に対する物理的及び電気的な接続を同時に実施できる。
本開示の一側面に係る接着フィルムの製造方法は、剥離フィルムの一面側に接着層を積層する第1の積層工程と、短冊状の微細片に対応する所定のパターンで剥離フィルム及び接着層を打ち抜く第1の打抜工程と、剥離フィルム及び接着層をパターン間で打ち抜くと共に、接着層をハーフカットすることにより、本体部分と、本体部分において剥離フィルムの面内方向に延びる短冊状の微細片とを接着層に形成する第2の打抜工程と、剥離フィルムの他面側において、短冊状の微細片の少なくとも一部と重なる領域に支持フィルムを積層する第2の積層工程と、を備える。
この接着フィルムの製造方法では、短冊状の微細片に対応する所定のパターンで剥離フィルム及び接着層を打ち抜く第1の打抜工程と、剥離フィルム及び接着層をパターン間で打ち抜くと共に、接着層をハーフカットする第2の打抜工程とを組み合わせている。これにより、本体部分と、本体部分において剥離フィルムの面内方向に延びる短冊状の微細片とを接着層に簡便に形成できる。打ち抜き後の第2の積層工程では、剥離フィルムの他面側において、短冊状の微細片の少なくとも一部と重なる領域に支持フィルムを積層することで、微細片の少なくとも一部が支持フィルムで支持される。したがって、微細片が折れ曲がることを抑制できる。
本開示によれば、微細片の折れ曲がりを抑制できる。
本開示の一実施形態に係る接着フィルムを示す斜視図である。 図1に示した接着フィルムの平面図である。 図2のIII-III線断面図である。 図2のIV-IV線断面図である。 本開示の一実施形態に係る接着フィルムの製造方法のフローチャートである。 図5に示した接着フィルムの製造方法に適用される製造装置の構成の一例を示す模式的な図である。 第1の打抜工程後の接着フィルムの平面図である。 第2の打抜工程における切断線を示す平面図である。 (a)~(c)は、微細片の変形例を示す模式的な図である。 (a)~(c)は、微細片の別の変形例を示す模式的な図である。 (a)~(c)は、微細片の更に別の変形例を示す模式的な図である。
以下、図面を参照しながら、本開示の一側面に係る接着フィルム及び接着フィルムの製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
以下の説明では、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。図中の寸法及び寸法割合は便宜的なものであり、必ずしも実際の寸法を反映したものではない。本明細書中、「~」を用いて示された数値範囲は、「~」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む。本明細書において段階的に記載されている数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。
[接着フィルムの構成]
図1は、本開示の一実施形態に係る接着フィルムを示す斜視図である。図2は、接着フィルムを示す平面図である。図3は、図2のIII-III線断面図であり、図4は、図2のIV-IV線断面図である。図2では、説明の便宜上、カバーフィルムを取り除いた状態で接着フィルムの構成を示している。
図1~図4に示すように、接着フィルム1は、剥離フィルム2と、接着層3と、カバーフィルム4と、支持フィルム5とを備えて構成されている。接着フィルム1は、例えば半導体装置に用いられる電子部品の固定、或いは回路部材同士の接続のために用いられる接合部材である。本実施形態では、接着フィルム1として、接着層3に導電粒子が含有された導電性接着フィルムを例示する。接着フィルム1は、例えば図1に示すように、リール(不図示)などに巻き回された巻回体の状態で保管されている。接着フィルム1の長さは、例えば1m~400mとなっている。接着フィルム1の幅は、剥離フィルム2の幅で規定され、例えば5mm~300mmとなっている。
剥離フィルム2は、ここでは一の方向に延びる長尺のフィルムである。剥離フィルム2は、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリプロピレン等の樹脂材料によって構成されている。剥離フィルム2の一面2aには、離型処理、プラズマ処理等の表面処理が施されていてもよい。剥離フィルム2の幅は、接着層3の幅(後述する本体部分3Aの長辺の長さ)よりも大きくなっている。これにより、接着フィルム1の幅方向において、剥離フィルム2は、図2に示すように、接着層3と重なる本体部分2Aと、接着層3よりも外側に張り出す張出部分2Bとを有している。本体部分2Aは、図2及び図3に示すように、接着層3の形状(後述する本体部分3A及び微細片3Bの形状)と同一の形状をなし、接着層3の全体を支持している。
張出部分2Bは、図2及び図4に示すように、接着フィルム1の幅方向において、接着層3の両側にそれぞれ張り出している。張出部分2Bは、接着層3の保護効果を高める機能を有している。張出部分2Bは、接着フィルム1の使用の際の接着フィルム1の把持領域、或いは位置決め用のマーカの配置領域として用いることもできる。位置決め用のマーカは、例えば貫通孔などであってもよい。張出部分2Bの張出幅は、特に制限はないが、例えば5mm~10mmとなっている。張出部分2Bの張出幅は、1mm~5mmであってもよく、10mm~20mmであってもよい。
剥離フィルム2は、光透過性を有していてもよい。この場合、接着フィルム1の使用時に、撮像装置などを用いて剥離フィルム2側から接着層3の位置を確認することが可能となり、被接着部に対して接着層3を高精度に位置決めした状態で貼り付けることができる。剥離フィルム2の透過率は、例えば15%~100%とすることができる。剥離フィルム2の透過率は、15%~99%であってもよく、16%~98%であってもよい。剥離フィルム2の透過率は、ヘイズメータ(例えば日本電色工業株式会社製NDH-5000)に、50mm×50mmの正方形に切断した剥離フィルム2の試験片をセットし、当該試験片の全光透過率を測定することで得ることができる。
剥離フィルム2のヘイズ値は、例えば3%~100%とすることができる。剥離フィルム2のヘイズ値は、3%~99%であってもよく、4%~99%であってもよい。剥離フィルム2のヘイズ値は、ヘイズメータ(例えば、日本電色工業株式会社製NDH-5000)に、50mm×50mmの正方形に切断した剥離フィルム2の試験片をセットし、当該試験片のヘイズ値を測定することで得ることができる。
接着層3は、剥離フィルム2の一面2a側に積層されている。ここでは、接着層3は、剥離フィルム2の延在方向に互いに離間して配列された複数の本体部分3Aと、本体部分3Aのそれぞれにおいて剥離フィルム2の面内方向に延びる短冊状の微細片3Bとを有している。図2の例では、本体部分3Aは、平面視において長方形状をなし、剥離フィルム2の延在方向に一定の間隔をもって配列されている。本体部分3Aは、剥離フィルム2の延在方向にランダムな間隔で配列されていてもよい。
本体部分3Aの長辺は、接着フィルム1の幅方向に延び、本体部分3Aの短辺は、接着フィルム1の長さ方向に延びている。本体部分3Aの長辺の長さは、剥離フィルム2の幅から2つの張出部分2B,2Bの幅を差し引いた長さとなっている。本体部分3Aの長辺の長さは、例えば30mm~40mmとなっている。本体部分3Aの長辺の長さは、5mm~30mmであってもよく、40mm~60mmであってもよい。本体部分3Aの短辺の長さは、例えば10mm~20mmとなっている。本体部分3Aの短辺の長さは、5mm~10mmであってもよく、20mm~60mmであってもよい。
剥離フィルム2の延在方向に対する本体部分3A,3A同士の間隔は、例えば0.1mm~30mmとなっている。本体部分3A,3A同士の間隔は、0.5mm以上、0.8mm以上、1.0mm以上、3.0mm以上であってもよい。本体部分3A,3A同士の間隔は、5.0mm以下、8.0mm以下、10mm以下、30mm以下であってもよい。全ての本体部分3A,3A同士の間隔が互いに等しくなっていてもよく、互いに異なっていてもよい。
微細片3Bは、被接着部における微細な配線構造などに対応する接着部分である。微細片3Bの形状、寸法、配置数は、被接着部の態様に応じて適宜設定される。図2の例では、微細片3Bは、本体部分3Aの長辺及び短辺のそれぞれの中央部分に3本ずつ、計12本設けられている。ここでは、本体部分3Aの長辺及び短辺が本体部分3Aの中心側に向かって櫛歯状に切り欠かれ、微細片3Bのそれぞれが矩形の帯状をなしている。微細片3Bの長さは、例えば1mm~5mmとなっている。微細片3Bの幅は、例えば1mm~5mmとなっている。微細片3Bの長さは、互いに揃っている必要はない。例えばランダムな長さの微細片3Bが組み合わされた態様であってもよい。
接着層3を構成する接着剤は、導電性接着剤であってもよい。導電性接着剤は、導電粒子を含んでいてもよい。導電性接着剤は、異方導電性を有していてもよく、非異方導電性(例えば等方導電性)を有していてもよい。導電性接着剤は、異方導電性接着フィルムであってもよく、非異方導電性接着フィルムであってもよい。接着剤成分は、例えば熱硬化性の接着剤成分であってもよい。熱硬化性の接着剤成分は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂と硬化剤とを含有している。熱硬化性の接着剤成分は、必要に応じて、熱可塑性樹脂、カップリング剤、充填剤等を含有していてもよい。
接着剤成分は、例えば光硬化性の接着剤成分であってもよい。光硬化性の接着剤成分は、例えばラジカル硬化型の接着剤成分であってもよい。ラジカル硬化型の接着剤成分は、例えばラジカル重合性化合物及びラジカル重合開始剤を含有している。ラジカル硬化型の接着剤成分は、必要に応じて、熱可塑性樹脂、カップリング剤、充填剤等を含有していてもよい。接着剤成分の含有量は、接着剤の全体積基準で75~98体積%であってよい。
導電粒子としては、例えばAu、Ag、Ni、Cu、Pd、はんだ等の金属粒子、或いはカーボン粒子が用いられる。導電粒子は、Ni、Cu等の遷移金属類の表面をAu、Pd等の貴金属類で被覆したものであってもよい。導電粒子は、ガラス、セラミック、樹脂(アクリル樹脂、スチレン樹脂、シリコーン等)などの非導電性材料で形成された非導電性核体と、該核体の表面を被覆する導電層とを有していてもよい。この場合、導電層は、例えば金、銀、銅、ニッケル、パラジウム、又はこれらの合金で形成されていてもよい。導電粒子は、最外層を貴金属類で構成したもの、熱溶融金属粒子を用いたものであってもよい。
導電粒子の平均粒径は、例えば1~30μmとなっていてもよい。平均粒径は、レーザー回折・散乱法を用いた粒度分布測定装置(例えば日機装株式会社製マイクロトラック)により測定できる。接着剤における導電粒子の含有量は、接着剤の全体積基準で2~20体積%であってもよい。
導電粒子は、デンドライト状(樹枝状とも称される)の粒子であってもよい。デンドライト状の導電粒子は、主軸と、主軸から二次元的或いは三次元的に分岐する複数の枝とを備えている。デンドライト状の導電粒子では、複数の枝のそれぞれが尖形状の突起部を形成している。突起部が尖形状であることにより、接着フィルム1を回路部材などの接続に用いる場合に、回路部材の電極の表面に形成される酸化被膜を突起部によって貫通可能となっている。
導電性接着剤は、導電性を有するものであればよく、必ずしも接着剤中に導電粒子を含むものでなくてもよい。この場合の導電接着剤としては、例えば酸化インジウムスズ、酸化インジウム、酸化スズ等の金属酸化物、導電性繊維を含有するものなどが挙げられる。導電性繊維としては、例えば金、銀、白金等の金属繊維、カーボンナノチューブ等の炭素繊維などが挙げられる。
カバーフィルム4は、剥離フィルム2と同様に、一の方向に延びる長尺のフィルムである。カバーフィルム4は、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリプロピレン等の樹脂材料によって構成されている。本実施形態では、図3及び図4に示すように、剥離フィルム2の一面2a側において、微細片3Bを含む接着層3の全体を覆うようにカバーフィルム4が積層されている。カバーフィルム4の一面2aは、剥離フィルム2及び接着層3との対向面となっている。カバーフィルム4の一面2aには、離型処理、プラズマ処理等の表面処理が施されていてもよい。
本実施形態では、図4に示すように、カバーフィルム4の幅は、剥離フィルム2の幅と等しくなっており、接着層3の幅よりも大きくなっている。これにより、接着フィルム1の幅方向において、カバーフィルム4は、接着層3と重なる本体部分4Aと、接着層3よりも外側に張り出す張出部分4Bとを有している。カバーフィルム4の本体部分4Aと剥離フィルム2の本体部分2Aとによって接着層3が挟み込まれ、且つカバーフィルム4の張出部分4Bと剥離フィルム2の張出部分2Bとによって接着層3の両脇が塞がれることで、微細片3Bを含む接着層3の全体がしっかりと保護される。
支持フィルム5は、剥離フィルム2と同様に、一の方向に延びる長尺のフィルムである。支持フィルム5は、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリプロピレン等の樹脂材料によって構成されている。支持フィルム5には、剥離フィルム2及びカバーフィルム4との識別性の観点から、剥離フィルム2及びカバーフィルム4とは異なる色が付与されていてもよい。支持フィルム5の厚さは、強度確保の観点から、例えば20μm~100μmとなっていてもよい。
支持フィルム5は、剥離フィルム2の他面2b側において、微細片3Bの少なくとも一部と重なる領域に積層されている。本実施形態では、図4に示すように、支持フィルム5の幅は、接着層3における本体部分3Aの長辺の長さと等しくなっている。また、支持フィルム5の幅方向の中心は、剥離フィルム2の本体部分2Aにおける幅方向の中心及び接着層3の本体部分3Aにおける幅方向の中心と一致している。したがって、支持フィルム5は、接着層3における本体部分3A及び微細片3Bの全体と重なる領域に配置されている。
本実施形態では、上述したように、剥離フィルム2の本体部分2Aは、接着層3における本体部分3A及び微細片3Bの形状と同一の形状をなしており、接着層3の本体部分3A,3A間には、剥離フィルム2の本体部分2Aが配置されていない状態となっている(図2及び図3参照)。このため、剥離フィルム2の他面2b側に積層された支持フィルム5は、カバーフィルム4を剥離フィルム2及び接着層3から剥離した場合に、本体部分3A,3A間において剥離フィルム2の一面2a側から視認可能となっている。
[接着フィルムの製造方法]
続いて、上述した接着フィルムの製造方法について説明する。図5は、本開示の一実施形態に係る接着フィルムの製造方法のフローチャートである。同図に示すように、この接着フィルムの製造方法は、第1の積層工程(ステップS01)と、第1の打抜工程(ステップS02)と、第2の打抜工程(ステップS03)と、第2の積層工程(ステップS04)とを備えている。
第1の積層工程(ステップS01)では、長尺の剥離フィルム2の一面2a側に長尺の接着層3を積層する。第1の打抜工程(ステップS02)では、短冊状の微細片3Bに対応する所定の繰返パターンで剥離フィルム2及び接着層3の打ち抜きを行う。第2の打抜工程(ステップS03)では、剥離フィルム2及び接着層3を繰返パターン間で打ち抜くと共に、接着層3を剥離フィルム2の延在方向にハーフカットする。これにより、剥離フィルム2の延在方向に一定の間隔をもって並ぶ複数の本体部分3Aと、本体部分3Aのそれぞれにおいて剥離フィルム2の面内方向に延びる短冊状の微細片3Bとを形成する。第2の積層工程(ステップS04)では、剥離フィルム2の他面2b側において、短冊状の微細片3Bの少なくとも一部と重なる領域に支持フィルム5を積層する。
図6は、図5に示した接着フィルムの製造方法に適用される製造装置の構成の一例を示す模式的な図である。図6に示す打抜装置11は、上流側から順に、第1の繰出ローラ12と、第1の打抜部13と、第2の打抜部14と、第1の巻取ローラ15と、第2の巻取ローラ16と、第3の巻取ローラ17と、第2の繰出ローラ18と、第3の繰出ローラ19とを備えている。第1の繰出ローラ12からは、剥離フィルム2の一面2a上に接着層3が積層された積層体Fが繰り出される。積層体Fでは、剥離フィルム2の一面2a側の接着層3の幅は、剥離フィルム2の幅と等幅となっている。本実施形態では、積層体Fにおける剥離フィルム2の一面2a側には、カバーフィルム4の幅(図)と等幅の打抜用カバーフィルムKが更に積層されている。
第1の打抜部13は、第1の打抜工程を実施する部分である。第1の打抜部13は、打抜刃21及び裏当部材22によって構成されている。第1の打抜部13により、短冊状の微細片3Bに対応する所定の繰返パターンPで剥離フィルム2及び接着層3の打ち抜き(フルカット)が実施される。図6の例では、第1の打抜部13の打抜刃21による打抜は、打抜用カバーフィルムK側から実施されるが、当該打抜は、剥離フィルム2側から実施してもよい。
図7は、第1の打抜工程後の接着フィルムの平面図である。図7では、説明の便宜上、打抜用カバーフィルムKを取り除いた状態で積層体Fを接着層3側から図示している。同図に示すように、第1の打抜部13では、剥離フィルム2及び接着層3の双方について、接着層3の本体部分3Aの長辺及び短辺に形成する微細片3Bの両脇にあたる矩形の帯状の領域が打ち抜かれる。第1の打抜部13の下流側では、図6に示すように、補助ローラ23,23により、積層体Fから打抜用カバーフィルムKが一旦剥離される。打抜用カバーフィルムKが剥離された積層体Fは、続いて第2の打抜部14に搬送される。
第2の打抜部14は、第2の打抜工程を実施する部分である。第2の打抜部14は、打抜刃24及び裏当部材25によって構成されている。繰返パターンP,P間での剥離フィルム2及び接着層3の打ち抜き(フルカット)と共に、剥離フィルム2の延在方向への接着層3のハーフカットが実施される。第2の打抜部14の打抜刃24による打抜及びハーフカットは、接着層3側から実施される。
図8は、第2の打抜工程における切断線を示す平面図である。同図に示すように、第2の打抜部14では、接着層3の本体部分3Aの長辺に相当する幅方向のラインL1において剥離フィルム2及び接着層3をフルカットすると共に、接着層3の本体部分の短辺に沿う長さ方向のラインL2において、接着層3のみをカットする。打抜刃24において、ラインL1に対応する刃の長さと、ラインL2に対応する刃の長さを異ならせることにより、ラインL1での剥離フィルム2及び接着層3のフルカットと、ラインL2での接着層3のハーフカットとを同時に実施できる。
ラインL2での剥離フィルム2及び接着層3のフルカットにより、接着層3の本体部分3A,3A間の剥離フィルム2及び接着層3が除去される。当該除去部分が第1の打抜工程で形成した打抜部分と繋がることで、接着層3の本体部分3Aの長辺側の微細片3Bが形成される。第2の打抜部14の下流側では、図6に示すように、補助ローラ26,27により、積層体Fに打抜用カバーフィルムKが再度積層される。積層体Fに積層された打抜用カバーフィルムKは、補助ローラ26,27よりも下流側で第1の巻取ローラ15によって巻き取られ、積層体Fから除去される。
第2の巻取ローラ16は、第1の巻取ローラ15よりも下流側に位置している。第2の巻取ローラ16では、第2の打抜部14でハーフカットされた接着層3のカット部分3c(図8参照)が巻き取られ、剥離フィルム2の一面2aから除去される。ここでは、接着層3のうち、ラインL1よりも幅方向の外側の領域が除去される。これにより、剥離フィルム2において、接着層3よりも幅方向の外側に張り出す張出部分2Bが形成される。
カット部分3cの除去後、積層体Fは、第2の巻取ローラ16よりも下流側で第3の巻取ローラ17によって巻き取られる。第3の巻取ローラ17による巻き取りの際、積層体Fには、第2の繰出ローラ18から繰り出されるカバーフィルム4と、第3の繰出ローラ19から繰り出される支持フィルム5とがそれぞれ積層される。カバーフィルム4が剥離フィルム2の一面2a側に積層され、支持フィルム5が剥離フィルム2の他面2b側に積層されることにより、図1に示した接着フィルム1の巻回体が得られる。
[作用効果]
以上説明したように、接着フィルム1では、接着層3の本体部分3Aが剥離フィルム2の面内方向に延びる短冊状の微細片3Bを有している。接着層3が微細片3Bを有することで、複雑化・微細化した被接着部に対する接続を好適に実施できる。また、接着フィルム1では、剥離フィルム2の他面2b側において、微細片3Bの少なくとも一部と重なる領域に支持フィルム5が積層されている。微細片3Bの少なくとも一部が支持フィルム5で支持されることにより、接着フィルム1の製造時の巻き取り、或いは接着フィルム1の使用の際などに、微細片3Bが折れ曲がることを抑制できる。
本実施形態では、剥離フィルム2が長尺であり、接着層3の本体部分3Aは、剥離フィルム2の延在方向に一定の間隔をもって配列されている。このような構成により、微細片3Bの折れ曲がりが抑制された接着層3の連続的な使用が可能となる。
本実施形態では、支持フィルム5の幅が接着層3における本体部分3Aの長辺の長さと等しくなっており、支持フィルム5が微細片3Bの全体と重なる領域に配置されている。このような構成により、微細片3Bの全体が支持フィルム5で支持される。したがって、微細片3Bの折れ曲がりを一層確実に抑制できる。また、被接着部への貼り付けの際、微細片3Bの各部位での圧力のばらつきを抑えることが可能となる。
本実施形態では、接着フィルム1の幅方向において、剥離フィルム2が接着層3よりも外側に張り出す張出部分2Bを有している。これにより、剥離フィルム2の張出部分2Bによって微細片3Bを更に確実に保護できる。また、張出部分2Bを接着フィルム1の使用の際の接着フィルム1の把持領域、或いは位置決め用のマーカの配置領域などに用いることで、接着フィルム1の利便性を向上できる。
本実施形態では、剥離フィルム2の一面2a側に微細片3Bを含む接着層3の全体を覆うようにカバーフィルム4が積層されている。このような構成により、支持フィルム5及びカバーフィルム4によって微細片3Bを更に確実に保護できる。さらに、本実施形態では、接着フィルム1の幅方向において、カバーフィルム4が接着層3よりも外側に張り出す張出部分4Bを有している。このため、カバーフィルム4によって微細片3Bを一層確実に保護できる。
本実施形態では、接着フィルム1が接着層3に導電粒子が含有された導電性接着フィルムとなっている。このため、微細片3Bにより、複雑化・微細化した被接着部に対する物理的及び電気的な接続を同時に実施できる。
また、本実施形態に係る接着フィルムの製造方法では、短冊状の微細片3Bに対応する所定の繰返パターンPで剥離フィルム2及び接着層3を打ち抜く第1の打抜工程(ステップS02)と、剥離フィルム2及び接着層3を繰返パターンP,P間で打ち抜くと共に、接着層3を剥離フィルム2の延在方向にハーフカットする第2の打抜工程(ステップS03)とを組み合わせている。
これにより、剥離フィルム2の延在方向に一定の間隔をもって並ぶ複数の本体部分3Aと、本体部分3Aのそれぞれにおいて剥離フィルム2の面内方向に延びる短冊状の微細片3Bとを簡便に形成できる。打ち抜き後の第2の積層工程(ステップS04)では、剥離フィルム2の他面2b側において、短冊状の微細片3Bの少なくとも一部と重なる領域に支持フィルム5を積層することで、微細片3Bの少なくとも一部が支持フィルム5で支持される。したがって、微細片3Bが折れ曲がることを抑制できる。
[変形例]
本開示は、上記実施形態に限られるものではない。例えば上記実施形態では、剥離フィルム2及びカバーフィルム4に張出部分2B,4Bが設けられているが、張出部分2B,4Bの一方又は双方が省略された態様であってもよい。カバーフィルム4は、省略可能であり、必ずしも剥離フィルム2の一面2a側に積層されていなくてもよい。
図2に示した接着層3の微細片3Bの形状は、一つの例示であり、種々の変形を適用できる。例えば図9(a)に示すように、帯状部分の先端に円形状の拡張部分を有する微細片3Baであってもよく、図9(b)に示すように、帯状部分の先端に矩形状の拡張部分を有する微細片3Bbであってもよい。図9(c)に示すように、帯状部分の先端に三角形状の拡張部分を有する微細片3Bcであってもよい。また、例えば図10(a)に示すように、帯状部分の先端に逆三角形状の拡張部分を有する微細片3Bdであってもよく、図10(b)に示すように、全体が徐々に先細りとなる三角形状の微細片3Beであってもよい。図10(c)に示すように、全体が徐々に先太りとなる逆台形状の微細片3Bfであってもよい。
さらに、例えば図11(a)に示すように、帯状部分の先端に菱形状の拡張部分を有する微細片3Bhであってもよく、図11(b)に示すように、帯状部分の先端及び中間部分に複数の矩形状の拡張部分を有する微細片3Bhであってもよい。図11(c)に示すように、帯状部分の先端のみが徐々に先細りとなる微細片3Biであってもよい。これらのいずれの態様においても、微細片3Bの少なくとも一部が支持フィルム5で支持されることにより、接着フィルム1の製造時の巻き取り、或いは接着フィルム1の使用の際などに、微細片3Bが折れ曲がることを抑制できる。
上記実施形態では、剥離フィルム2が長尺であり、接着層3の本体部分3Aが剥離フィルム2の延在方向に一定の間隔をもって配列された接着フィルム1を例示したが、本開示の接着フィルムの構成はこれに限られるものではない。例えば接着層3が単体の本体部分3Aと当該本体部分3Aにおいて剥離フィルム2の面内方向に延びる微細片3Bとを有する接着フィルムであってもよい。このような構成においても、上記実施形態と同様に、微細片3Bが折れ曲がることを抑制できる。
1…接着フィルム、2…剥離フィルム、2B…張出部分、2a…一面、2b…他面、3…接着層、3A…本体部分、3B…微細片、4…カバーフィルム、4B…張出部分、5…支持フィルム。

Claims (10)

  1. 剥離フィルムと、
    前記剥離フィルムの一面側に積層された接着層と、を備え、
    前記接着層は、本体部分と、前記本体部分において前記剥離フィルムの面内方向に延びる短冊状の微細片と、を有し、
    前記剥離フィルムの他面側には、前記微細片の少なくとも一部と重なる領域に支持フィルムが積層されている接着フィルム。
  2. 前記剥離フィルムは、長尺であり、
    前記接着層の前記本体部分は、前記剥離フィルムの延在方向に互いに離間して配列されている請求項1記載の接着フィルム。
  3. 前記接着層の前記本体部分は、前記剥離フィルムの延在方向に一定の間隔をもって配列されている請求項2記載の接着フィルム。
  4. 前記支持フィルムは、前記微細片の全体と重なる領域に配置されている請求項1~3のいずれか一項記載の接着フィルム。
  5. 前記接着フィルムの幅方向において、前記剥離フィルムは、前記接着層よりも外側に張り出す張出部分を有している請求項1~4のいずれか一項記載の接着フィルム。
  6. 前記剥離フィルムの一面側には、前記微細片を含む前記接着層の全体を覆うようにカバーフィルムが積層されている請求項1~5のいずれか一項記載の接着フィルム。
  7. 前記接着フィルムの幅方向において、前記カバーフィルムは、前記接着層よりも外側に張り出す張出部分を有している請求項6記載の接着フィルム。
  8. 前記接着フィルムは、導電性接着フィルムである請求項1~7のいずれか一項記載の接着フィルム。
  9. 前記導電性接着フィルムは、導電粒子を含有している請求項8記載の接着フィルム。
  10. 剥離フィルムの一面側に接着層を積層する第1の積層工程と、
    短冊状の微細片に対応する所定のパターンで前記剥離フィルム及び前記接着層を打ち抜く第1の打抜工程と、
    前記剥離フィルム及び前記接着層を前記パターン間で打ち抜くと共に、前記接着層をハーフカットすることにより、本体部分と、前記本体部分において前記剥離フィルムの面内方向に延びる短冊状の微細片とを前記接着層に形成する第2の打抜工程と、
    前記剥離フィルムの他面側において、前記短冊状の微細片の少なくとも一部と重なる領域に支持フィルムを積層する第2の積層工程と、を備える接着フィルムの製造方法。
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