JP2023117697A - レンズ駆動機構 - Google Patents

Abstract

【課題】レンズの傾きを補正可能な小型のレンズ駆動機構を提供する。【解決手段】レンズ駆動機構１０は、レンズ１４を移動させる第１、第２ピエゾ棒２２、３２、レンズ１４の位置を検出する第１、第２センサ４０、５０を備えている。第１ピエゾ棒２２から光軸Ｌへの垂線（第１ピエゾ線ＰＬ１）と、第１センサ４０から光軸Ｌへの垂線（第１センサ線ＳＬ１）とのなす角θ（ＰＬ１-ＳＬ１）は９０°未満である。第２ピエゾ棒３２から光軸Ｌへの垂線（第２ピエゾ線ＰＬ２）と、第２センサ５０から光軸Ｌへの垂線（第２センサ線ＳＬ２）とのなす角θ（ＰＬ２－ＳＬ２）は９０°未満である。【選択図】図４

Description

本発明は、レンズ駆動機構に関する。

特許文献１には、レンズと摩擦力により係合した２本の軸、及び、各軸に対応する２つのピエゾ素子を備え、各ピエゾ素子により対応する軸を振動させることによってレンズを光軸方向に移動させる構成が記載されている。

特許文献２には、フローティング構造のレンズを、磁力で牽引することにより、レンズの傾きを補正する構成が記載されている。

国際公開第２０１９／０８３０８７号 特許第５５１７４３１号公報

本開示の技術に係る一つの実施形態は、レンズの傾きを補正可能な小型のレンズ駆動機構を提供する。

本開示の技術に係る一つの態様のレンズ駆動機構は、レンズと摩擦力で係合する第１軸、及び、第２軸と、第１軸を振動させ、レンズを光軸方向に移動する第１ピエゾ素子と、第２軸を振動させ、レンズを光軸方向に移動する第２ピエゾ素子と、光軸方向におけるレンズの位置を検出する第１センサ、及び、第２センサと、第１センサ、及び、第２センサの出力に基づいて、レンズの位置、及び／または、角度を制御するレンズ制御装置と、を備えている。

第１軸からレンズの光軸への垂線である第１ピエゾ線と第１センサから光軸への垂線である第１センサ線とを引いた場合に、第１ピエゾ線と第１センサ線とのなす角が９０°未満であり、かつ、第２軸から光軸への垂線である第２ピエゾ線と第２センサから光軸への垂線である第２センサ線とを引いた場合に、第２ピエゾ線と第２センサ線とのなす角が９０°未満である、ことが好ましい。

第１ピエゾ線と第２ピエゾ線とのなす角が９０°よりも大きく、かつ、第１センサ線と第２センサ線とのなす角が９０°よりも大きい、ことが好ましい。

第１ピエゾ線と第２ピエゾ線とのなす角が１８０°である、ことが好ましい。

第１センサ線と第２センサ線とのなす角が１８０°である、ことが好ましい。

レンズと摩擦力で係合する第３軸と、３軸を振動させ、レンズを光軸方向に移動する第３ピエゾ素子と、を設けてもよい。

光軸方向における、レンズの位置を検出する第３センサを設けてもよい。

レンズと摩擦力で係合する第３軸と、３軸を振動させ、レンズを光軸方向に移動する第３ピエゾ素子と、光軸方向における、レンズの位置を検出する第３センサと、を設けてもよい。

第３軸から光軸への垂線である第３ピエゾ線と第３センサから光軸への垂線である第３センサ線とを引いた場合に、第３ピエゾ線と第３センサ線とののなす角が９０°未満である、ことが好ましい。

第３軸から光軸への垂線である第３ピエゾ線を引いた場合に、第３ピエゾ線と第１ピエゾ線とのなす角、及び、第３ピエゾ線と第２ピエゾ線とのなす角が９０°よりも大きい、ことが好ましい。

第３センサから光軸への垂線である第３センサ線を引いた場合に、第３センサ線と第１センサ線とのなす角、及び、第３センサ線と第２センサ線とのなす角が９０°よりも大きい、ことが好ましい。

レンズ駆動機構の外観図である。 レンズ駆動機構の分解図である。 第１摺動部の外観図である。 レンズ駆動機構の正面図である。 レンズ駆動機構の概略正面図である。 レンズ駆動機構の概略正面図である。 レンズ駆動機構の概略正面図である。

［第１実施形態］
図１、図２において、レンズ駆動機構１０は、例えば、デジタルカメラ、スマートフォン、ビデオカメラなどの撮像機器に搭載される。レンズ駆動機構１０は、レンズユニット１２を備える。レンズユニット１２は、レンズ１４とこのレンズ１４を保持するレンズ保持枠１６とが一体化されたものであり、フォーカスやズームに際して、レンズ１４の光軸Ｌ方向に移動される。

レンズ駆動機構１０は、前述したレンズユニット１２の他、第１駆動ユニット２０、第２駆動ユニット３０、第１センサ４０、第２センサ５０、レンズ制御回路６０（レンズ制御装置）を備えている。これらレンズ駆動機構１０の各部は、ベース７０に取り付けられている。ベース７０は、取り付けられた各部を支持するものであり、レンズ駆動機構１０が搭載される機器に固定される。

ベース７０には、光軸Ｌと平行なスライド軸７０ａ、７０ｂが設けられており、レンズユニット１２（レンズ保持枠１６）には、このスライド軸７０ａ、７０ｂが挿通されるスライド穴１６ａ、１６ｂが設けられている。レンズユニット１２は、スライド穴１６ａ、にスライド軸７０ａが、スライド穴１６ｂにスライド棒７０ｂがそれぞれ挿通され、光軸Ｌ方向にスライド自在に支持される。

第１駆動ユニット２０は、第１ピエゾ素子２１、第１ピエゾ棒２２（第１軸）、第１支持フレーム２３、第１摺動部２４、を備えている。第１ピエゾ素子２１は、円板状に形成され、板面を光軸Ｌと垂直にした状態で配置される。第１ピエゾ素子２１は、電圧が印加されると円板板型から椀型へと湾曲（変形）する。第１ピエゾ素子２１が変形する方向（光軸Ｌ方向の前側に湾曲するか、後側に湾曲するか）及び変形スピードは、電圧の印加態様（印加方向、立ち上がり時間、立ち下がり時間）によって変化する。

第１ピエゾ棒２２は、光軸Ｌ方向に長く形成され、先端が第１ピエゾ素子２１の板面中央部に固定されている。そして、第１ピエゾ棒２２は、第１ピエゾ素子２１の変形に伴って、光軸Ｌ方向に移動（振動）する。

第１支持フレーム２３は、ベース７０に固定される。第１支持フレーム２３は、光軸Ｌ方向の断面がコ字型に形成され、コ字型の開口部を挟んで光軸Ｌ方向前側には貫通穴２３ｂが、後側には貫通穴２３ｃが形成されている。第１ピエゾ棒２２は、前端側が貫通穴２３ｂに挿通され、後端側が貫通穴２３ｃに挿通される。そして、第１ピエゾ棒２２は、前端側が貫通穴２３ｂに、後端側が貫通穴２３ｃに、それぞれ弾性を有する接着剤を介して接続される。これにより、第１ピエゾ棒２２は、光軸Ｌ方向に振幅（移動）自在に支持される。

第1摺動部２４は、第1ピエゾ棒２２のうち、貫通穴２３ｂ、２３ｃの間から露呈された部分と摩擦力によって係合されている。具体的には、図３に示すように、第１摺動部２４は、光軸Ｌと垂直な断面がＬ字型の切り欠き部２４ａと、切り欠き部２４ａの開口部を塞ぐように設けられた板バネ２４ｂと、を備えている。そして、第１ピエゾ棒２２は、切り欠き部２４ａと板バネ２４ｂとの間に形成された三角柱状の空間に、板バネ２４ｂを押し広げるように弾性変形させて挿通され、板バネ２４ｂの復元力により切り欠き部２４ａに押し当てられ、これらとの摩擦力によって係合される。

第１摺動部２４は、固定部２４ｃを備え、固定部２４ｃがレンズ保持枠１６にネジ止めされるなどして固定され、レンズユニット１２（レンズ保持枠１６）と一体化される。第１駆動ユニット２０は、第1ピエゾ素子２１を駆動制御して第1ピエゾ棒２２と第１摺動部２４の係合位置を変化させることにより、レンズユニット１２を光軸Ｌ方向に移動させる。

すなわち、レンズユニット１２（第１摺動部２４）は、摩擦力によって第１ピエゾ棒２２と係合されているので、この摩擦力を上回るように高速で第１ピエゾ棒２２を移動させても、第１ピエゾ棒２２のみが移動し第１摺動部２４は移動しない。一方、摩擦力を上回らないように低速で第１ピエゾ棒２２を移動させると、第１ピエゾ棒２２とともに第１摺動部２４が移動する。第１駆動ユニット２０は、これを利用し、第１ピエゾ素子２１を駆動制御（第１ピエゾ素子２１に印加する電圧を制御）して、レンズユニット１２（第1摺動部２４）を、光軸Ｌ方向に移動させる。

具体的には、レンズユニット１２を光軸Ｌ方向前側へ移動させる場合は、第１ピエゾ素子２１を駆動制御し、第１ピエゾ棒２２を光軸Ｌ方向前側へ低速で移動させる動作、及び、第１ピエゾ棒２２を光軸Ｌ方向後側へ高速で移動させる動作、を実行させる（繰り返す）。また、レンズユニット１２を光軸Ｌ方向後側へ移動させる場合は、第１ピエゾ棒２２を光軸Ｌ方向前側へ高速で移動させる動作、及び、第１ピエゾ棒２２を光軸Ｌ方向後側へ低速で移動させる動作、を実行させる（繰り返す）。

図２に戻り、上述した第１駆動ユニット２０と同様に、第２駆動ユニット３０は、第２ピエゾ素子３１、第２ピエゾ棒３２（第２軸）、第２支持フレーム３３、第２摺動部３４を備えている。また、第２支持フレーム３３は、光軸Ｌ方向の断面がコ字型に形成され、貫通穴３３ｂが前端側、貫通穴３３ｃが後端側に設けられている。そして、第２ピエゾ棒３２は、前端側が貫通穴３３ｂ、後端側が貫通穴３３ｃにそれぞれ挿通され、各貫通穴３３、３３ｃと弾性を有する接着剤を介して接続され、光軸Ｌ方向に振幅（移動）自在に支持される。

さらに、第２摺動部３４は、切り欠き部３４ａと板バネ３４ｂとを備え、第２ピエゾ棒３２は、切り欠き部３４ａと板バネ３４ｂとの間に形成された三角柱状の空間に挿通され、これらと摩擦力によって係合される。また、第２摺動部３４は、レンズユニット１２（レンズ保持枠１６）に固定するための固定部３４ｃを備え、レンズユニット１２と一体化される。

そして、第２駆動ユニット３０は、第２ピエゾ素子３１を駆動制御（第２ピエゾ素子３１に印加する電圧を制御）して、レンズユニット１２（第２摺動部３４）を、光軸Ｌ方向に移動させる。すなわち、レンズユニット１２を光軸Ｌ方向前側へ移動させる場合は、第２ピエゾ棒３２を光軸Ｌ方向前側へ低速で移動させる動作、及び、第２ピエゾ棒３２を光軸Ｌ方向後側へ高速で移動させる動作、を実行させる（繰り返す）。また、レンズユニット１２を光軸Ｌ方向後側へ移動させる場合は、第２ピエゾ棒３２を光軸Ｌ方向前側へ高速で移動させる動作、及び、第２ピエゾ棒３２を光軸Ｌ方向後側へ低速で移動させる動作、を実行させる（繰り返す）。

第１センサ４０は、レンズ１４（レンズユニット１２）の位置を検出するために設けられ、ベース７０に固定される。レンズ保持枠１６の外周には、第１検出片４１が設けられており、第１センサ４０は、第１検出片４１との位置関係を示す信号を、レンズ制御回路６０へ出力する。同様に、第２センサ５０もレンズ１４（レンズユニット１２）の位置を検出するために設けられ、ベース７０に固定される。そして、第２センサ５０は、レンズ保持枠１６の外周に設けられた第２検出片５１との位置関係を示す信号を、レンズ制御回路６０へ出力する。

レンズ制御回路６０は、入力された信号に基づいて、レンズ１４（レンズユニット１２）の位置及び傾きを検出する。そして、レンズ制御回路６０は、検出したレンズ１４の位置及び傾きを用いて第１駆動ユニット２０及び第２駆動ユニット３０を駆動し、レンズ１４の位置及び傾きを制御する。具体的には、レンズ１４を光軸Ｌ方向の所望の位置（フォーカスやズームのために移動させるべき位置）へと移動させる。また、レンズ１４の光軸Ｌが撮影光軸に対して傾いている場合には、この傾きを補正する。

図４に示すように、本発明のレンズ駆動機構１０では、第１ピエゾ棒２２から光軸Ｌへの垂線である第１ピエゾ線ＰＬ１を引き、第１センサ４０から光軸Ｌへの垂線である第１センサ線ＳＬ１を引いた場合、第１ピエゾ線ＰＬ１と第１センサ線ＳＬ１とのなす角θ（ＰＬ１-ＳＬ１）が９０°未満である。すなわち、第１ピエゾ線ＰＬ１と第１センサ線ＳＬ１とのなす角θ（ＰＬ１-ＳＬ１）が９０°未満となるように、第１ピエゾ素子２１（第１ピエゾ棒２２）と第１センサ４０（第１検出片４１）を配置している。

また、本発明のレンズ駆動機構１０では、第２ピエゾ棒３２から光軸Ｌへの垂線である第２ピエゾ線ＰＬ２を引き、第２センサ５０から光軸Ｌへの垂線である第２センサ線ＳＬ２を引いた場合、第２ピエゾ線ＰＬ２と第２センサ線ＳＬ２とのなす角θ（ＰＬ２－ＳＬ２）が９０°未満である。すなわち、第２ピエゾ線ＰＬ２と第２センサ線ＳＬ２とのなす角θ（ＰＬ２－ＳＬ２）が９０°未満となるように、第２ピエゾ素子３１（第２ピエゾ棒３２）と第２センサ５０（第２検出片５１）を配置している。

このように、第１ピエゾ線ＰＬ１と第１センサ線ＳＬ１とのなす角θ（ＰＬ１-ＳＬ１）を９０°未満としたり、第２ピエゾ線ＰＬ２と第２センサ線ＳＬ２とのなす角θ（ＰＬ２－ＳＬ２）を９０°未満とすること、すなわち、ピエゾ棒（ピエゾ素子）の比較的近くにセンサを配置することにより、レンズ１４の位置（傾き）を精度よく制御できる。つまり、レンズ１４の位置変化（傾き）は、ピエゾ棒（ピエゾ素子）から力の供給を受けて生じる。このため、ピエゾ棒（ピエゾ素子）に近いほどレンズ１４の位置変化（傾き）を精度よく検出でき、センサの配置位置として好適である。そして、このように好適な配置位置にセンサを配置して精度のよい検出を行うことで、検出したレンズ１４の位置を用いて行われるレンズ１４の位置（傾き）制御の精度も向上する。

さらに、本発明のレンズ駆動機構１０では、第１ピエゾ線ＰＬ１と第２ピエゾ線ＰＬ２とのなす角θ（ＰＬ１－ＰＬ２）を９０°よりも大きくしている。こうすること、すなわち、ピエゾ棒（ピエゾ素子）同士を、光軸Ｌを中心とした離れた角度位置に配置することにより、レンズ１４の傾きをより確実に補正できる。つまり、ピエゾ棒（ピエゾ素子）同士が近い角度位置に並んでいると、これらピエゾ棒（ピエゾ素子）が設けられた側とは光軸Ｌを挟んで反対側については、レンズ１４の位置の柔軟な制御ができないが、ピエゾ棒（ピエゾ素子）同士を離れた角度位置に配置することでこのような問題を防止できる。なお、ピエゾ棒（ピエゾ素子）同士は、光軸Ｌを中心に１８０°離れた角度位置に配置すること（なす角θ（ＰＬ１－ＰＬ２）を１８０°とすること）が好ましく、本実施形態でもそのようにしている。

また、本発明のレンズ駆動機構１０では、第１センサ線ＳＬ１と第２センサ線ＳＬ２とのなす角θ（ＳＬ１－ＳＬ２）を９０°よりも大きくしている。こうすること、すなわち、センサ同士を、光軸Ｌを中心とした離れた角度位置に配置することにより、レンズ１４の傾きをより確実に補正できる。つまり、センサ同士が近い角度位置に並んでいると、これらセンサが設けられた側とは光軸Ｌを挟んで反対側については、レンズ１４の位置が判らず、レンズ１４の傾きを検出できない場合があるが、センサ同士を離れた角度位置に配置することでこのような問題を防止できる。なお、センサ同士は、光軸Ｌを中心に１８０°離れた角度位置に配置すること（なす角θ（ＳＬ１－ＳＬ２）を１８０°とすること）が好ましく、本実施形態でもそのようにしている。

［第２実施形態］
上記第１実施形態では、第１、第２の２つのピエゾ棒２２、３２により、レンズ１４（レンズユニット１２）の外周の２箇所に力を供給して移動させる例で説明をしたが、本発明はこれに限定されない。図５に示すレンズ駆動機構１００のように、第１実施形態の２つのピエゾ棒（第１ピエゾ棒２２、第２ピエゾ棒３２に加え、第３ピエゾ棒１１０（第３軸）を設け、レンズ１４の外周の３箇所に力を供給して移動させる構成としてもよい。なお、図５以降の図面を用いた説明では、前述した実施形態と同様の部材については同様の符号を付して説明を省略している。また、図５以降の図面では、図面を簡略化している。

なお、図５の構成においては、第３ピエゾ棒１１０から光軸Ｌへの垂線である第３ピエゾ線ＰＬ３を引いた場合に、第３ピエゾ線ＰＬ３と第１ピエゾ線ＰＬ１とのなす角θ（ＰＬ３-ＰＬ１）が９０°より大きく、かつ、第３ピエゾ線ＰＬ３と第２ピエゾ線ＰＬ２とのなす角θ（ＰＬ３-ＰＬ２）が９０°より大きいことが好ましい。こうすることで、レンズ１４の傾きをより確実に補正できる。

［第３実施形態］
上記第１実施形態では、第１、第２の２つのセンサ４０、５０を設け、レンズ１４（レンズユニット１２）の外周の２箇所においてレンズ１４の位置を検出する例で説明をしたが、本発明はこれに限定されない。図６に示すレンズ駆動機構２００のように、第１実施形態の２つの２つのセンサ（第１センサ４０、第２センサ５０）に加えて、第３センサ２１０を設け、レンズ１４の外周の３箇所においてレンズ１４の位置を検出してもよい。

なお、図６の構成においては、第３センサ２１０から光軸Ｌへの垂線である第３センサ線ＳＬ３を引いた場合に、第３センサ線ＳＬ３と第１センサ線ＳＬ１とのなす角θ（ＳＬ３-ＳＬ１）が９０°より大きく、かつ、第３センサ線ＳＬ３と第２センサ線ＳＬ２とのなす角θ（ＳＬ３-ＳＬ２）が９０°より大きいことが好ましい。こうすることで、レンズ１４の傾きをより確実に補正できる。

［第４実施形態］
図７に示すレンズ駆動機構３００のように、上記第１実施形態の２つのピエゾ棒（第１ピエゾ棒２２、第２ピエゾ棒３２）、及び、２つのセンサ（第１センサ４０、第２センサ５０）に加え、上記第２実施形態の第３ピエゾ棒１１０、及び、上記第３実施形態の第３センサ２１０を設け、レンズ１４の外周の３箇所に力を供給して移動させるとともにレンズ１４の外周の３箇所においてレンズ１４の位置を検出する構成としてもよい。

なお、図７の構成においては、第３ピエゾ棒１１０と第３センサ２１０との位置が近いこと、具体的には、第３ピエゾ線ＰＬ３と第３センサ線ＳＬ３とのなす角θ（ＰＬ３-ＳＬ３）が９０°未満であること、が好ましい。こうすることで、レンズ１４の位置（傾き）を精度よく制御できる。

１０ レンズ駆動機構
１２ レンズユニット
１４ レンズ
１６ レンズ保持枠
１６ａ、１６ｂ スライド穴
２０ 第１駆動ユニット
２１ 第１ピエゾ素子
２２ 第１ピエゾ棒（第１軸）
２３ 第１支持フレーム
２３ｂ、２３ｃ 貫通穴
２４ 第１摺動部
２４ａ 切り欠き部
２４ｂ 板バネ
２４ｃ 固定部
３０ 第２駆動ユニット
３１ 第２ピエゾ素子
３２ 第２ピエゾ棒（第２軸）
３３ 第２支持フレーム
３３ｂ、３３ｃ 貫通穴
３４ 第２摺動部
３４ａ 切り欠き部
３４ｂ 板バネ
３４ｃ 固定部
４０ 第１センサ
４１ 第１検出片
５０ 第２センサ
５１ 第２検出片
６０ レンズ制御回路（レンズ制御装置）
７０ ベース
７０ａ、７０ｂ スライド軸
１００ レンズ駆動機構
１１０ 第３ピエゾ棒（第３軸）
２００ レンズ駆動機構
２１０ 第３センサ
３００ レンズ駆動機構
Ｌ 光軸
ＰＬ１ 第１ピエゾ線
ＳＬ１ 第１センサ線
ＰＬ２ 第２ピエゾ線
ＳＬ２ 第２センサ線
θ（ＰＬ１-ＳＬ１） 第１ピエゾ線と第１センサ線とのなす角
θ（ＰＬ２－ＳＬ２） 第２ピエゾ線と第２センサ線とのなす角
θ（ＰＬ１－ＰＬ２） 第１ピエゾ線と第２ピエゾ線とのなす角
θ（ＳＬ１－ＳＬ２） 第１センサ線と第２センサ線とのなす角
ＰＬ３ 第３ピエゾ線
ＳＬ３ 第３センサ線
θ（ＰＬ３-ＰＬ１） 第３ピエゾ線と第１ピエゾ線とのなす角
θ（ＰＬ３-ＰＬ２） 第３ピエゾ線と第２ピエゾ線とのなす角
θ（ＳＬ３-ＳＬ１） 第３センサ線と第１センサ線とのなす角
θ（ＳＬ３-ＳＬ２） 第３センサ線と第２センサ線とのなす角
θ（ＰＬ３-ＳＬ３） 第３ピエゾ線と第３センサ線とのなす角

Claims (11)

1. レンズと摩擦力で係合する第１軸、及び、第２軸と、
   前記第１軸を振動させ、前記レンズを光軸方向に移動する第１ピエゾ素子と、
   前記第２軸を振動させ、前記レンズを前記光軸方向に移動する第２ピエゾ素子と、
   前記光軸方向における前記レンズの位置を検出する第１センサ、及び、第２センサと、
   前記第１センサ、及び、前記第２センサの出力に基づいて、前記レンズの位置、及び／または、角度を制御するレンズ制御装置と、を備えた、
   レンズ駆動機構。
2. 前記第１軸から前記レンズの光軸への垂線である第１ピエゾ線と前記第１センサから前記光軸への垂線である第１センサ線とを引いた場合に、前記第１ピエゾ線と前記第１センサ線とのなす角が９０°未満であり、かつ、前記第２軸から前記光軸への垂線である第２ピエゾ線と前記第２センサから前記光軸への垂線である第２センサ線とを引いた場合に、前記第２ピエゾ線と前記第２センサ線とのなす角が９０°未満である、
   請求項１に記載のレンズ駆動機構。
3. 前記第１ピエゾ線と前記第２ピエゾ線とのなす角が９０°よりも大きく、かつ、前記第１センサ線と前記第２センサ線とのなす角が９０°よりも大きい、
   請求項１または２に記載のレンズ駆動機構。
4. 前記第１ピエゾ線と前記第２ピエゾ線とのなす角が１８０°である、
   請求項３に記載のレンズ駆動機構。
5. 前記第１センサ線と前記第２センサ線とのなす角が１８０°である、
   請求項３または４に記載のレンズ駆動機構。
6. 前記レンズと摩擦力で係合する第３軸と、
   前記３軸を振動させ、前記レンズを前記光軸方向に移動する第３ピエゾ素子と、を備えた、
   請求項１－５のいずれか１項に記載のレンズ駆動機構。
7. 前記光軸方向における、前記レンズの位置を検出する第３センサを備えた、
   請求項１－５のいずれか１項に記載のレンズ駆動機構。
8. 前記レンズと摩擦力で係合する第３軸と、
   前記３軸を振動させ、前記レンズを前記光軸方向に移動する第３ピエゾ素子と、
   前記光軸方向における、前記レンズの位置を検出する第３センサと、を備えた、
   請求項１－５のいずれか１項に記載のレンズ駆動機構。
9. 前記第３軸から前記光軸への垂線である第３ピエゾ線と前記第３センサから前記光軸への垂線である第３センサ線とを引いた場合に、前記第３ピエゾ線と前記第３センサ線とののなす角が９０°未満である、
   請求項８に記載のレンズ駆動機構。
10. 前記第３軸から前記光軸への垂線である第３ピエゾ線を引いた場合に、前記第３ピエゾ線と前記第１ピエゾ線とのなす角、及び、前記第３ピエゾ線と前記第２ピエゾ線とのなす角が９０°よりも大きい、
    請求項６、８、９のいずれか１項に記載のレンズ駆動機構。
11. 前記第３センサから前記光軸への垂線である第３センサ線を引いた場合に、前記第３センサ線と前記第１センサ線とのなす角、及び、前記第３センサ線と前記第２センサ線とのなす角が９０°よりも大きい、
    請求項７－９のいずれか１項に記載のレンズ駆動機構。

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