JP2023106455A5 - - Google Patents
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Claims (14)
- カーボンナノチューブ膜を含み、
前記カーボンナノチューブ膜はカーボンナノチューブを含有し、
前記カーボンナノチューブ膜は波長１３．５ｎｍにおけるＥＵＶ光の透過率が８０％以上であり、
前記カーボンナノチューブ膜は厚みが１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、
前記カーボンナノチューブ膜は共鳴ラマン散乱測定法により測定されるＧ／Ｄ比が１０以上であり、
前記カーボンナノチューブ膜をシリコン基板上に配置し、配置した前記カーボンナノチューブ膜について、反射分光膜厚み計を用い、下記条件にて反射率を測定した場合に、反射率の３σが１５％以下である露光用ペリクル膜。
＜条件＞
測定点の直径：２０μｍ
基準測定波長：波長２８５ｎｍ
測定点数：１２１点
隣接する測定点における中心点間距離：４０μｍ - 前記カーボンナノチューブ膜をシリコン基板上に配置し、配置した前記カーボンナノチューブ膜について、互いに距離が２ｃｍ以上離れた複数の測定位置のそれぞれにおいて、反射分光膜厚み計を用い、下記条件にて反射率の測定及び平均反射率の算出を行った場合に、
前記平均反射率の最大値から前記平均反射率の最小値を差し引いた値が１５％以下である請求項１に記載の露光用ペリクル膜。
＜条件＞
測定点の直径：２０μｍ
基準測定波長：波長２８５ｎｍ
測定点数：１２１点
隣接する測定点における中心点間距離：４０μｍ - 前記カーボンナノチューブは、各測定点について、波長間隔を１．３ｎｍ～１．５ｎｍとして波長２００ｎｍ～６００ｎｍの範囲で取得した反射率スペクトルから各測定点の膜厚みを算出した場合に、膜厚みの標準偏差から得た膜厚みの３σが３．８２ｎｍ以下である、請求項１又は請求項２に記載の露光用ペリクル膜。
- 前記カーボンナノチューブは、チューブ径が０．８ｎｍ以上６．０ｎｍ以下である請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の露光用ペリクル膜。
- さらに、前記カーボンナノチューブ膜に接するように配置される保護層を備える請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の露光用ペリクル膜。
- 前記カーボンナノチューブの有効長さが０．１μｍ以上である請求項１～請求項５のいずれか１項に記載の露光用ペリクル膜。
- ナノインデンテーション試験により測定される破断荷重が、１．０μＮ／ｎｍ以上である請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の露光用ペリクル膜。
- 請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の露光用ペリクル膜と、
前記露光用ペリクル膜を支持する支持枠と、
を含むペリクル。 - 原版と、前記原版のパターンを有する側の面に装着された請求項８に記載のペリクルと、を含む露光原版。
- 請求項９に記載の露光原版を含む露光装置。
- 露光光を放出する光源と、請求項９に記載の露光原版と、前記光源から放出された露光
光を前記露光原版に導く光学系と、を含み、
前記露光原版は、前記光源から放出された露光光が前記露光用ペリクル膜を透過して前記原版に照射されるように配置されている露光装置。 - 前記露光光が、ＥＵＶ光である請求項１１に記載の露光装置。
- 請求項１～請求項７のいずれか１項に記載の露光用ペリクル膜を製造する方法であって、
凝集体を含む粗カーボンナノチューブを準備する工程と、
前記粗カーボンナノチューブと溶媒とを混合して分散液を得る工程と、
前記分散液に含まれる前記凝集体を除去して、精製カーボンナノチューブを得る工程と、
前記精製カーボンナノチューブをシート状に成膜して、カーボンナノチューブ膜を製造する工程と、を含む露光用ペリクル膜の製造方法。 - 前記精製カーボンナノチューブを得る工程において、平均相対遠心力が３，０００ｘｇ以上である超遠心処理を行う請求項１３に記載の露光用ペリクル膜の製造方法。
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