JP2023081615A - 有機溶媒の不純物除去方法 - Google Patents
有機溶媒の不純物除去方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023081615A JP2023081615A JP2021195467A JP2021195467A JP2023081615A JP 2023081615 A JP2023081615 A JP 2023081615A JP 2021195467 A JP2021195467 A JP 2021195467A JP 2021195467 A JP2021195467 A JP 2021195467A JP 2023081615 A JP2023081615 A JP 2023081615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic solvent
- ppm
- removing impurities
- impurities
- ion exchange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 claims abstract description 36
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 claims abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 34
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims abstract description 6
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 125000000467 secondary amino group Chemical group [H]N([*:1])[*:2] 0.000 claims abstract description 6
- 125000001302 tertiary amino group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 claims description 13
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims description 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 18
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 8
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 5
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 28
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 11
- -1 poly(styrene-divinylbenzene) Polymers 0.000 description 10
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 description 4
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001450 anions Chemical group 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001470 polyketone Polymers 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 238000002459 porosimetry Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical group CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPDACUSDTOMAMK-UHFFFAOYSA-N 4-Chlorotoluene Chemical compound CC1=CC=C(Cl)C=C1 NPDACUSDTOMAMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical group OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 229960000074 biopharmaceutical Drugs 0.000 description 1
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 1
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N divinylbenzene Substances C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009296 electrodeionization Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- NBZBKCUXIYYUSX-UHFFFAOYSA-N iminodiacetic acid Chemical group OC(=O)CNCC(O)=O NBZBKCUXIYYUSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N phosphinic acid Chemical group O[PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N phosphonic acid group Chemical group P(O)(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000779 poly(divinylbenzene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical group 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical class [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/04—Processes using organic exchangers
- B01J39/05—Processes using organic exchangers in the strongly acidic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/04—Processes using organic exchangers
- B01J39/07—Processes using organic exchangers in the weakly acidic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/08—Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/16—Organic material
- B01J39/18—Macromolecular compounds
- B01J39/20—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving unsaturated carbon-to-carbon bonds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/04—Processes using organic exchangers
- B01J41/05—Processes using organic exchangers in the strongly basic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/04—Processes using organic exchangers
- B01J41/07—Processes using organic exchangers in the weakly basic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/08—Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/12—Macromolecular compounds
- B01J41/14—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving unsaturated carbon-to-carbon bonds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J47/00—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor
- B01J47/014—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor in which the adsorbent properties of the ion-exchanger are involved, e.g. recovery of proteins or other high-molecular compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
Description
特許文献3にも、サブシステムにおいて、最終段のUF膜装置の前に逆浸透膜装置を設けることが記載されているが、上記特許文献1と同様の問題がある。
しかし、特許文献7には、このポリケトン多孔膜を超純水製造プロセスに適用することは記載されていない。
特許文献8には、このようなポリケトン多孔膜を超純水製造プロセスに適用することが記載されているが、有機溶媒中の微粒子、金属、イオン等の不純物の除去については言及していない。
また、電子部品の製造及び洗浄用途以外においても、例えば、機械部品の製造及び洗浄工程、あるいは化学合成においても、製品の歩留まり向上や不純物の影響の排除を目的として、有機溶媒中に含まれる不純物、特に微粒子を高度に除去することが求められている。
即ち、本発明者らは、本発明に到る過程で、以下のような検討を行った。
従来の水中の不純物除去は、不純物とは逆の荷電を有するイオン交換基で吸着除去することが基本であった。そこで、本発明者らは、有機溶媒に対しても同様の考えで、逆荷電基での除去を実施したが、不純物除去率は低かった。このため、基材となる高分子材料について種々検討を重ね、ポーラス型のイオン交換樹脂の不純物除去能がゲル型のイオン交換樹脂よりも優れていることを見出した。ポーラス型のイオン交換樹脂を用いても、必ずしも十分な結果は得られなかったが、有機溶媒の含水率を1,000ppm以下にすることにより、これまで20%以下であった不純物除去率を40%以上に向上させることができることを見出した。
ポーラス型のイオン交換樹脂は比表面積が大きく、有機溶媒の不純物除去能に優れる。
これらのイオン交換基のうち、不純物除去能の観点から、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、4級アンモニウム基が好ましく、4級アンモニウム基が特に好ましい。
メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類;メチレンクロライド、クロロホルム、四塩化炭素、トリクロルエチレン、パクロルエチレン、1,1,1-トリクロルエタン、フロン113、クロルベンゼン、o-、m-、p-ジクロルベンゼン、o-、m-、p-ジクロルベンゼン、o-、m-、p-クロルトルエンなどのハロゲン化炭化水素;エチルエーテルなどのエーテル類;PO、BOなどのエポキシ類;ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの炭化水素類;アセトン、MEK、MIBKなどのケトン類;酢酸エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、sec-ブチル、tert-ブチルなどのエステル類;N-メチル-2-ピロリドン(NMP);上記有機溶媒の2種以上の混合溶媒。
即ち、後掲の比較例1に示されるように、ポーラス型のイオン交換樹脂を用いても、処理する有機溶媒の含水率が1,000ppmを超えると本発明による不純物除去効果を得ることはできない。有機溶媒の含水率は、1,000ppm以下であればよいが、500ppm以下としてもよい。通常、有機溶媒の含水率の下限は50ppm程度である。
HPA512L:三菱ケミカル株式会社製
「ダイヤイオン(登録商標)HPA512L」
ハイポーラス型アニオン交換樹脂
骨格:ポリ(スチレン-エチルスチレン-ジビニルベンゼン)
イオン交換基:トリメチルアンモニウム基
比表面積:15m2/g(水銀圧入法で測定)
KR-FA:栗田工業株式会社製
「KR-FA」
ゲル型アニオン交換樹脂
骨格:ポリ(スチレン-エチルスチレン-ジビニルベンゼン)
イオン交換基:トリメチルアンモニウム基
比表面積:0.2m2/g(水銀圧入法で測定)
有機溶媒:イソプロピルアルコール(関東化学社製電子工業用ELグレードIPA)
有機溶媒含水率:50,000~70,000ppm、1,000ppm以下
(カールフィッシャー法により測定)
モデル微粒子:コアフロント社製シリカ微粒子「sicastar」(粒子径30nm)
含水率調整用水:超純水(比抵抗18.2MΩ・cm以上)
シリカ微粒子50ppmを含むイソプロピルアルコール100mLに不純物除去材10gを浸漬させ、30分間振盪撹拌し、除去操作を行った。その後、イソプロピルアルコールをサンプリングし、モリブデン青吸光光度法によってイソプロピルアルコール中のシリカ濃度を測定した。除去操作前後のイソプロピルアルコール中のシリカ濃度から、シリカ微粒子除去率を算出した。
表1に示す含水率に調整したIPAを表1に示す不純物除去材で処理し、シリカ微粒子除去率を求め、結果を表1に示した。
これに対して、ポーラス型のイオン交換樹脂を用いても、有機溶媒の含水率が1,000ppmを超えると十分な除去能を得ることができない(比較例1)。
また、ゲル型のイオン交換樹脂では、有機溶媒の含水率にかかわらず十分な除去能を得ることはできない(比較例2,3)。
Claims (6)
- 含水率1,000ppm以下の有機溶媒から不純物を除去するための除去材であって、ポーラス型のイオン交換樹脂よりなることを特徴とする有機溶媒の不純物除去材。
- 請求項1において、前記ポーラス型のイオン交換樹脂が、イオン交換基として、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、及び4級アンモニウム基からなる群から選ばれる1つ以上の官能基を有することを特徴とする有機溶媒の不純物除去材。
- 請求項1又は2において、前記ポーラス型のイオン交換樹脂の比表面積が1m2/g以上であることを特徴とする有機溶媒の不純物除去材。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記不純物が、粒子径30nm以下のシリカ微粒子であることを特徴とする有機溶媒の不純物除去材。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機溶媒の不純物除去材に、含水率1,000ppm以下の有機溶媒を接触させることを特徴とする有機溶媒の不純物除去方法。
- 含水率が1,000ppmを超える有機溶媒を脱水処理して含水率1,000ppm以下とする脱水工程と、脱水された有機溶媒を請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機溶媒の不純物除去材に接着させる不純物除去工程とを有する有機溶媒の不純物除去方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021195467A JP7248090B1 (ja) | 2021-12-01 | 2021-12-01 | 有機溶媒の不純物除去方法 |
CN202280077437.8A CN118284468A (zh) | 2021-12-01 | 2022-09-14 | 有机溶剂的不纯物除去材料及有机溶剂的不纯物除去方法 |
PCT/JP2022/034392 WO2023100441A1 (ja) | 2021-12-01 | 2022-09-14 | 有機溶媒の不純物除去材及び有機溶媒の不純物除去方法 |
TW111136835A TW202322892A (zh) | 2021-12-01 | 2022-09-28 | 有機溶劑的不純物除去材料及有機溶劑的不純物除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021195467A JP7248090B1 (ja) | 2021-12-01 | 2021-12-01 | 有機溶媒の不純物除去方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7248090B1 JP7248090B1 (ja) | 2023-03-29 |
JP2023081615A true JP2023081615A (ja) | 2023-06-13 |
Family
ID=85726025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021195467A Active JP7248090B1 (ja) | 2021-12-01 | 2021-12-01 | 有機溶媒の不純物除去方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7248090B1 (ja) |
CN (1) | CN118284468A (ja) |
TW (1) | TW202322892A (ja) |
WO (1) | WO2023100441A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60186522A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ化合物の精製方法 |
JP2004181352A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Japan Organo Co Ltd | 非水液状物の精製方法 |
JP2010235653A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Nippon Soda Co Ltd | 重合体の製造方法 |
WO2019187580A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 栗田工業株式会社 | 微粒子除去膜、微粒子除去装置及び微粒子除去方法 |
JP2020157249A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 栗田工業株式会社 | 有機溶媒の処理方法及び処理材 |
-
2021
- 2021-12-01 JP JP2021195467A patent/JP7248090B1/ja active Active
-
2022
- 2022-09-14 WO PCT/JP2022/034392 patent/WO2023100441A1/ja active Application Filing
- 2022-09-14 CN CN202280077437.8A patent/CN118284468A/zh active Pending
- 2022-09-28 TW TW111136835A patent/TW202322892A/zh unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60186522A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ化合物の精製方法 |
JP2004181352A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Japan Organo Co Ltd | 非水液状物の精製方法 |
JP2010235653A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Nippon Soda Co Ltd | 重合体の製造方法 |
WO2019187580A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 栗田工業株式会社 | 微粒子除去膜、微粒子除去装置及び微粒子除去方法 |
JP2020157249A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 栗田工業株式会社 | 有機溶媒の処理方法及び処理材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7248090B1 (ja) | 2023-03-29 |
WO2023100441A1 (ja) | 2023-06-08 |
TW202322892A (zh) | 2023-06-16 |
CN118284468A (zh) | 2024-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9339766B2 (en) | Method and apparatus for purifying alcohol | |
US11759774B2 (en) | Purification process for hydrophilic organic solvent | |
GB2332957A (en) | Treating development waste and apparatus therefor | |
JP5555424B2 (ja) | アルカリ水溶液の精製方法 | |
JP7265867B2 (ja) | 加水分解性有機溶媒のための精製プロセス | |
JP2004226989A (ja) | フォトレジスト現像廃液の再生処理方法 | |
WO2018074127A1 (ja) | 過酸化水素水溶液の精製方法および精製装置 | |
WO2016136650A1 (ja) | 水中微粒子の除去装置及び超純水製造・供給システム | |
JP5762863B2 (ja) | アルコールの精製方法及び装置 | |
JP7248090B1 (ja) | 有機溶媒の不純物除去方法 | |
JP2004181351A (ja) | 非水液状物の精製方法 | |
US5874204A (en) | Process for rejuvenation treatment of photoresist development waste | |
WO2023100442A1 (ja) | 有機溶媒の不純物除去材及び有機溶媒の不純物除去方法 | |
JP2022545155A (ja) | 有機溶媒を精製するためのプロセス | |
WO2023210370A1 (ja) | 有機溶媒の精製方法及び精製装置 | |
JP7210931B2 (ja) | 水中微粒子の除去方法 | |
JP5311227B2 (ja) | 陰イオン交換体、その前処理方法及び再生方法並びにアルカリ水溶液の精製方法及び精製装置 | |
CN117098604A (zh) | 非水液体的精制方法和精制装置、以及离子交换树脂的制造方法和预处理装置 | |
KR20160023051A (ko) | 과산화수소의 정제방법 | |
JPH02233193A (ja) | 純水製造方法 | |
CN117886703A (zh) | 有机胺水溶液的提纯方法及应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7248090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |