JP2023070981A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2023070981A5
JP2023070981A5 JP2021183520A JP2021183520A JP2023070981A5 JP 2023070981 A5 JP2023070981 A5 JP 2023070981A5 JP 2021183520 A JP2021183520 A JP 2021183520A JP 2021183520 A JP2021183520 A JP 2021183520A JP 2023070981 A5 JP2023070981 A5 JP 2023070981A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
mold
unit
driving unit
imprint material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2021183520A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2023070981A (ja
JP7730727B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2021183520A priority Critical patent/JP7730727B2/ja
Priority claimed from JP2021183520A external-priority patent/JP7730727B2/ja
Priority to US17/969,909 priority patent/US12447666B2/en
Priority to KR1020220144296A priority patent/KR20230068314A/ko
Publication of JP2023070981A publication Critical patent/JP2023070981A/ja
Publication of JP2023070981A5 publication Critical patent/JP2023070981A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7730727B2 publication Critical patent/JP7730727B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2021183520A 2021-11-10 2021-11-10 インプリント装置、及び物品の製造方法 Active JP7730727B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021183520A JP7730727B2 (ja) 2021-11-10 2021-11-10 インプリント装置、及び物品の製造方法
US17/969,909 US12447666B2 (en) 2021-11-10 2022-10-20 Imprint apparatus and article manufacturing method
KR1020220144296A KR20230068314A (ko) 2021-11-10 2022-11-02 임프린트 장치 및 물품 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021183520A JP7730727B2 (ja) 2021-11-10 2021-11-10 インプリント装置、及び物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2023070981A JP2023070981A (ja) 2023-05-22
JP2023070981A5 true JP2023070981A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2024-11-07
JP7730727B2 JP7730727B2 (ja) 2025-08-28

Family

ID=86229363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021183520A Active JP7730727B2 (ja) 2021-11-10 2021-11-10 インプリント装置、及び物品の製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US12447666B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP (1) JP7730727B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
KR (1) KR20230068314A (cg-RX-API-DMAC7.html)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6039917B2 (ja) * 2012-05-22 2016-12-07 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP6363838B2 (ja) * 2014-01-08 2018-07-25 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP6465577B2 (ja) * 2014-07-11 2019-02-06 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6611450B2 (ja) * 2015-03-31 2019-11-27 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法
JP2017157639A (ja) 2016-02-29 2017-09-07 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6497938B2 (ja) インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法。
JP2014229883A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
TW202019615A (zh) 拋磨控制方法及系統
CN109115128B (zh) 一种基于面结构光的焊道三维形貌检测方法
JP2013219331A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2021025973A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016195183A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016213418A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
US11059218B1 (en) Methods for adjusting height of a 3D printer nozzle
JP2020008841A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
WO2021106767A1 (ja) 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法
JP2014110308A (ja) 測定装置、インプリントシステム、測定方法及びデバイス製造方法
JP2023070981A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2024078506A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2002116119A (ja) タイヤ踏面の接地部測定装置及びタイヤ踏面の接地部測定方法
JP2022054250A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2023088471A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
TWI711576B (zh) 用於調整模板位置的系統及方法
KR20100058886A (ko) 가변 금형을 이용한 강판의 곡면성형방법
JP5183884B2 (ja) 補正方法、及び測定装置
JP2017224812A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2022165816A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2856267B2 (ja) 塗型膜厚の測定方法
JP2020145277A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016128199A (ja) ロボットシステム及びその制御方法