JP2023057119A5 - - Google Patents
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021118847 | 2021-07-19 | ||
| JP2021118847 | 2021-07-19 | ||
| JP2022564614A JP7229439B1 (ja) | 2021-07-19 | 2022-03-10 | 傾斜推定システム、傾斜推定方法、傾斜推定プログラム、半導体検査システム及び生体観察システム |
| PCT/JP2022/010674 WO2023002677A1 (ja) | 2021-07-19 | 2022-03-10 | 傾斜推定システム、傾斜推定方法、傾斜推定プログラム、半導体検査システム及び生体観察システム |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2022564614A Division JP7229439B1 (ja) | 2021-07-19 | 2022-03-10 | 傾斜推定システム、傾斜推定方法、傾斜推定プログラム、半導体検査システム及び生体観察システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023057119A JP2023057119A (ja) | 2023-04-20 |
| JP2023057119A5 true JP2023057119A5 (https=) | 2025-03-18 |
| JP7798821B2 JP7798821B2 (ja) | 2026-01-14 |
Family
ID=84979881
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022564614A Active JP7229439B1 (ja) | 2021-07-19 | 2022-03-10 | 傾斜推定システム、傾斜推定方法、傾斜推定プログラム、半導体検査システム及び生体観察システム |
| JP2023020763A Active JP7798821B2 (ja) | 2021-07-19 | 2023-02-14 | 傾斜推定システム、傾斜推定方法、傾斜推定プログラム、半導体検査システム及び生体観察システム |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022564614A Active JP7229439B1 (ja) | 2021-07-19 | 2022-03-10 | 傾斜推定システム、傾斜推定方法、傾斜推定プログラム、半導体検査システム及び生体観察システム |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20240282000A1 (https=) |
| EP (1) | EP4336255A4 (https=) |
| JP (2) | JP7229439B1 (https=) |
| KR (1) | KR20240035945A (https=) |
| CN (1) | CN117677818A (https=) |
| TW (1) | TW202305659A (https=) |
| WO (1) | WO2023002677A1 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7426575B1 (ja) | 2023-07-13 | 2024-02-02 | ダイトロン株式会社 | 外観検査装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11328408A (ja) * | 1998-05-12 | 1999-11-30 | Advantest Corp | データ処理装置および方法、情報記憶媒体 |
| JP5531883B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2014-06-25 | セイコーエプソン株式会社 | 調整方法 |
| CN108700411B (zh) | 2016-03-09 | 2023-04-21 | 浜松光子学株式会社 | 测定装置、观察装置、及测定方法 |
| JP2018132475A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 国立大学法人東京工業大学 | 角度測定装置、及び、角度測定方法 |
| JPWO2019181053A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2021-04-08 | 富士フイルム株式会社 | デフォーカス量測定装置、方法およびプログラム、並びに判別器 |
| JP2021021637A (ja) * | 2019-07-29 | 2021-02-18 | コベルコ建機株式会社 | 建設機械の位置特定システム |
-
2022
- 2022-03-10 US US18/570,913 patent/US20240282000A1/en active Pending
- 2022-03-10 JP JP2022564614A patent/JP7229439B1/ja active Active
- 2022-03-10 CN CN202280050910.3A patent/CN117677818A/zh active Pending
- 2022-03-10 WO PCT/JP2022/010674 patent/WO2023002677A1/ja not_active Ceased
- 2022-03-10 KR KR1020237041659A patent/KR20240035945A/ko active Pending
- 2022-03-10 EP EP22845617.4A patent/EP4336255A4/en active Pending
- 2022-04-20 TW TW111114924A patent/TW202305659A/zh unknown
-
2023
- 2023-02-14 JP JP2023020763A patent/JP7798821B2/ja active Active
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| JP2023034160A5 (https=) |