JP2023031704A - 軸受製造方法及び軸受製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】潤滑流体を導入する際の工数を削減できる軸受製造方法及び軸受製造装置を提供する。【解決手段】軸受製造方法は、予備隙間Ｇ２に潤滑流体を供給することで、予備隙間を介して充填隙間に潤滑流体を充填する充填工程と、充填工程よりも後において、予備隙間に潤滑流体を供給することで、予備隙間に潤滑流体を溜める貯留工程とを含む。充填工程で供給される潤滑流体の体積は、充填隙間の体積よりも大きい。【選択図】図５Ａ

Description

本発明は、軸受製造方法及び軸受製造装置に関する。

従来の動圧流体軸受の製造方法では、両端開口型の動圧流体軸受を真空注油工法にて、軸受内部に潤滑流体を注入した後、軸受開口部より余剰潤滑流体を吸引ノズルにて吸引し、軸受に必要な潤滑流体量とするために、軸受開口部の潤滑流体量を調整する。

特開２００７－２２５０１４号公報

しかしながら、従来の動圧流体軸受の製造方法では、余剰潤滑流体を吸引する工程が必須である。従って、工数が増加する。

本開示は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、潤滑流体を導入する際の工数を削減できる軸受製造方法及び軸受製造装置を提供することにある。

本開示の例示的な軸受製造方法においては、軸受を製造する。前記軸受は、一方が他方に対して相対的に回転可能なベース体及びスリーブ体を有する。前記ベース体は、ベース部と、シャフト部と、筒部とを有する。ベース部は、前記軸受の中心軸に対して径方向外側に拡がる。シャフト部は、前記スリーブ体の内部に配置され、前記ベース部から軸方向に沿って延びる。筒部は、前記スリーブ体を周方向に囲み、前記ベース部から軸方向に沿って延びる。筒部は、筒状である。前記スリーブ体と前記ベース体との間には、潤滑流体を充填するための充填隙間と、前記潤滑流体を予備として溜めるための予備隙間とが存在する。前記充填隙間と前記予備隙間とは繋がっている。前記予備隙間は、前記スリーブ体と前記筒部との隙間を少なくとも含む。前記充填隙間は、前記予備隙間よりも径方向内側に存在する隙間である。前記軸受製造方法は、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間を介して前記充填隙間に前記潤滑流体を充填する充填工程と、前記充填工程よりも後において、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間に前記潤滑流体を溜める貯留工程とを含む。前記充填工程で供給される前記潤滑流体の体積は、前記充填隙間の体積よりも大きい。

本開示の例示的な軸受製造装置は、軸受を製造する。前記軸受は、一方が他方に対して相対的に回転可能なベース体及びスリーブ体を有する。前記ベース体は、ベース部と、シャフト部と、筒部とを有する。ベース部は、前記軸受の中心軸に対して径方向外側に拡がる。シャフト部は、前記スリーブ体の内部に配置され、前記ベース部から軸方向に沿って延びる。筒部は、前記スリーブ体を周方向に囲み、前記ベース部から軸方向に沿って延びる。筒部は、筒状である。前記スリーブ体と前記ベース体との間には、潤滑流体を充填するための充填隙間と、前記潤滑流体を予備として溜めるための予備隙間とが存在する。前記充填隙間と前記予備隙間とは繋がっている。前記予備隙間は、前記スリーブ体と前記筒部との隙間を少なくとも含む。前記充填隙間は、前記予備隙間よりも径方向内側に存在する隙間である。前記軸受製造装置は、タンクと、潤滑流体供給部とを有する。タンクは、前記潤滑流体を貯留する。潤滑流体供給部は、前記タンクに貯留された前記潤滑流体を供給する。前記潤滑流体供給部は、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間を介して前記充填隙間に前記潤滑流体を充填する。潤滑流体供給部は、前記充填隙間に前記潤滑流体を充填した後において、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間に前記潤滑流体を溜める。前記充填隙間に前記潤滑流体を充填する際に供給される前記潤滑流体の体積は、前記充填隙間の体積よりも大きい。

例示的な本開示によれば、潤滑流体を導入する際の工数を削減できる軸受製造方法及び軸受製造装置を提供できる。

図１は、本開示の実施形態１に係る軸受を示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係る軸受を示す分解斜視図である。 図３は、実施形態１に係る軸受を示す断面図である。 図４は、実施形態１に係る軸受の一部を拡大して示す断面図である。 図５Ａは、実施形態１に係る軸受製造方法の充填工程を示す図である。 図５Ｂは、実施形態１に係る軸受製造方法の貯留工程を示す図である。 図６は、実施形態１に係る軸受製造装置を示す模式図である。 図７は、実施形態１に係る軸受製造方法を示すフローチャートである。 図８は、実施形態１に係る軸受を有するファンを示す断面図である。 図９は、本開示の実施形態２に係る軸受製造装置を示す模式図である。 図１０は、本開示の実施形態３に係る軸受製造装置を示す模式図である。

以下、本開示の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。

本明細書では、便宜上、軸受及びモータの中心軸の方向を上下方向として説明する場合がある。図中、理解の容易のため、三次元直交座標系のＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を適宜記載している。Ｚ軸の正方向は上方向を示し、Ｚ軸の負方向は下方向を示す。ただし、上下方向、上方向、及び下方向は、説明の便宜上定められており、鉛直方向に一致する必要はない。また、あくまで説明の便宜のために上下方向を定義したに過ぎず、本開示に係る軸受及びモータの使用時の向きを限定しない。

また、本明細書では、軸受及びモータの中心軸と平行な方向を「軸方向」、軸受及びモータの中心軸に直交する方向を「径方向」、軸受及びモータの中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ記載する。「径方向」は、中心軸に直交する方向である限りにおいては、任意の方向であってよく、特に限定されない。また、本明細書において「平行な方向」とは、厳密な意味で平行を表すのではなく、例えば本開示における効果を奏する程度に平行である場合を含む。また、本明細書において「直交する方向」とは、厳密な意味で直交を表すのではなく、例えば本開示における効果を奏する程度に直交である場合を含む。また、断面視は、中心軸を含む仮想面によって対象を切断したときの断面を示す。

更に、本明細書において、「有底筒形状」、「有底円筒形状」、「有蓋筒形状」、「有蓋円筒形状」、「筒状」、「円筒状」、「環状」、「円環状」、「柱状」、「円柱状」、「平板形状」、及び、「円板形状」は、厳密な意味の形状を表すのではなく、例えば本開示における軸受及びモータの機能を実現できる程度の形状を含む。

更に、本明細書において、「軸方向上側」を「軸方向一方側」又は「軸方向第１側」と読み替え、「軸方向下側」を「軸方向他方側」又は「軸方向第２側」と読み替えてもよい。又は、「軸方向下側」を「軸方向一方側」又は「軸方向第１側」と読み替え、「軸方向上側」を「軸方向他方側」又は「軸方向第２側」と読み替えてもよい。また、「上面」、「上端部」及び「上端面」をそれぞれ「軸方向上側の面」、「軸方向上側の端部」及び「軸方向上側の端面」と読み替えてもよい。「下面」、「下端部」及び「下端面」をそれぞれ「軸方向下側の面」、「軸方向下側の端部」及び「軸方向下側の端面」と読み替えてもよい。

（実施形態１）
図１から図８を参照して、本開示の実施形態１に係る軸受１００、軸受製造方法、及び、軸受製造装置２００を説明する。まず、図１を参照して、軸受１００を説明する。図１は、軸受１００を示す斜視図である。図１に示す軸受１００は流体動圧軸受である。軸受１００は、一方が他方に対して相対的に回転可能なベース体１及びスリーブ体３を有する。スリーブ体３はベース体１に配置される。具体的には、ベース体１及びスリーブ体３は、中心軸ＡＸを中心にして相対的に回転可能である。この場合、ベース体１が静止した状態でスリーブ体３が回転可能であってもよいし、スリーブ体３が静止した状態でベース体１が回転可能であってもよい。ベース体１及びスリーブ体３は、中心軸ＡＸを中心に同軸上に配置される。ベース体１は有底筒形状を有し、スリーブ体３は有蓋筒形状を有する。例えば、ベース体１は有底円筒形状を有し、スリーブ体３は有蓋円筒形状を有する。

次に、図２を参照して、軸受１００の詳細を説明する。図２は、軸受１００を示す分解斜視図である。図２に示すように、ベース体１は、ベース部５１と、シャフト部５３と、筒部５５と、周壁部５７と、フランジ部５９とを有する。具体的には、ベース体１は、ベース５と、規制部材７とを有する。そして、ベース５が、ベース部５１と、シャフト部５３と、筒部５５と、周壁部５７と、フランジ部５９とを有する。ベース体１は、例えば、ベース部５１とシャフト部５３と筒部５５と周壁部５７とフランジ部５９とによって、単一の部材として構成される。ベース体１は、例えば、金属製である。

ベース部５１は平板形状を有する。例えば、ベース部５１は円板形状を有する。ベース部５１は、中心軸ＡＸを中心として径方向ＲＤ外側に拡がる。シャフト部５３は筒状である。例えば、シャフト部５３は円筒状である。シャフト部５３は、ベース部５１から軸方向ＡＤに沿って延びる。具体的には、シャフト部５３は、ベース部５１の上面から軸方向ＡＤ上側に延びる。筒部５５は筒状である。例えば、筒部５５は円筒状である。筒部５５は、ベース部５１から軸方向ＡＤに沿って延びる。具体的には、筒部５５は、ベース部５１の上面から軸方向ＡＤ上側に延びる。筒部５５の軸方向ＡＤの長さは、シャフト部５３の軸方向ＡＤの長さよりも短い。筒部５５は、シャフト部５３の軸方向下側において、シャフト部５３の周面を周方向ＣＤに囲む。

周壁部５７は筒状である。例えば、周壁部５７は円筒状である。周壁部５７は、ベース部５１の外縁部において、ベース部５１から軸方向ＡＤに沿って延びる。具体的には、周壁部５７は、ベース部５１の上面外縁部から軸方向ＡＤ上側に延びる。周壁部５７は、シャフト部５３及び筒部５５を周方向ＣＤに囲む。フランジ部５９は環状である。例えば、フランジ部５９は円環状である。フランジ部５９は、周壁部５７の上端部から径方向ＲＤ外側に拡がる。

規制部材７は、規制部７１と、結合部７３とを有する。規制部７１は平板形状を有する。例えば、規制部７１は円板形状を有する。規制部７１は、中心軸ＡＸを中心にして径方向ＲＤ外側に拡がる。結合部７３は柱状である。例えば、結合部７３は円柱状である。結合部７３は、軸方向ＡＤに沿って、規制部７１から、シャフト部５３の延びる方向と反対方向に延びる。具体的には、結合部７３は、規制部７１の下面から軸方向ＡＤ下側に延びる。規制部材７は、例えば、規制部７１と結合部７３とによって、単一の部材として構成される。規制部材７は、例えば、金属製である。

スリーブ体３は、スリーブ９と、キャップ１１とを有する。スリーブ９は筒状である。例えば、スリーブ９は円筒状である。スリーブ９は、軸方向ＡＤに沿って延びる。スリーブ９は、例えば、金属製である。キャップ１１は、平板形状を有する。例えば、キャップ１１は円板形状を有する。キャップ１１は、例えば、金属製である。

引き続き図２を参照して、実施形態１に係る軸受製造方法に含まれる軸受１００の組立工程の概略を説明する。組立工程は、第１工程～第３工程を含む。まず、第１工程において、スリーブ９の孔９７に対してシャフト部５３が挿入される。その結果、スリーブ９は、シャフト部５３と筒部５５との間に配置される。次に、第２工程において、規制部材７がシャフト部５３に結合される。具体的には、結合部７３がシャフト部５３に結合される。例えば、結合部７３がシャフト部５３の内周面５３０に捻じ込まれる。次に、第３工程において、キャップ１１がスリーブ９に固定される。その結果、規制部材７はキャップ１１によって覆われる。第３工程の完了によって、潤滑流体が導入されていない状態の軸受１００が得られる。

次に、図３を参照して、軸受１００の内部構造の概要を説明する。図３は、軸受１００を示す断面図である。具体的には、図３は、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面を示す。図３に示す軸受１００は流体動圧軸受である。潤滑流体軸受とは、シャフト部５３とスリーブ９との間に潤滑流体ＦＬを介在させ、潤滑流体ＦＬに生ずる流体圧力（動圧）を支持力とする軸受のことである。潤滑流体ＦＬは、例えば、潤滑オイルである。潤滑オイルは、例えば、ポリオールエステル系オイル、又は、ジエステル系オイルである。

図３に示すように、軸受１００において、ベース５には、スリーブ体３が配置される。この場合、ベース５のシャフト部５３が、スリーブ体３の内部に配置される。具体的には、シャフト部５３は、スリーブ９の内部に配置される。従って、スリーブ９は、シャフト部５３を周方向ＣＤに囲む。

ベース部５１の筒部５５は、スリーブ体３を周方向ＣＤに囲む。具体的には、筒部５５は、周方向ＣＤに延びる。そして、筒部５５は、スリーブ９を周方向ＣＤに囲む。具体的には、筒部５５は、スリーブ９の軸方向ＡＤ下側の周面を周方向ＣＤに囲む。周壁部５７は、周方向ＣＤに延びており、スリーブ体３及び筒部５５を周方向ＣＤに囲む。

規制部材７は、スリーブ９が軸方向ＡＤに移動することを規制する。具体的には、規制部材７は、スリーブ９が軸方向ＡＤ上側に移動することを規制する。その結果、スリーブ９がシャフト部５３から抜けることが防止される。具体的には、規制部材７はシャフト部５３に固定される。この場合、規制部材７の結合部７３が、シャフト部５３に結合され、シャフト部５３の内部に位置する。

規制部材７の規制部７１は、中心軸ＡＸに対して径方向ＲＤ外側に拡がる。そして、規制部７１は、シャフト部５３及びスリーブ９と、軸方向ＡＤに対向する。具体的には、規制部７１の下面７１１が、スリーブ９の上端面９５と、軸方向ＡＤに対向する。その結果、規制部７１によって、スリーブ９の軸方向ＡＤの移動が規制される。具体的には、下面７１１のうち径方向ＲＤ外側の部分が、スリーブ９の上端面９５と、軸方向ＡＤに対向する。また、下面７１１のうち径方向ＲＤ内側の部分が、シャフト部５３の上端面５３２と、軸方向ＡＤに対向する。そして、下面７１１のうち径方向ＲＤ内側の部分が、シャフト部５３の上端面５３２と接触する。

キャップ１１は、軸方向ＡＤ上側から規制部材７を覆う。具体的には、キャップ１１は、軸方向ＡＤ上側から規制部７１を覆う。キャップ１１は、スリーブ９に固定される。具体的には、キャップ１１は、スリーブ９の上端部９６に固定される。

スリーブ体３とベース体１との間には、潤滑流体ＦＬを充填するための充填隙間Ｇ１と、潤滑流体ＦＬを予備として溜めるための予備隙間Ｇ２とが存在する。充填隙間Ｇ１と予備隙間Ｇ２とは繋がっている。具体的には、充填隙間Ｇ１と予備隙間Ｇ２とは、境界位置ＢＤで繋がっている。

潤滑流体ＦＬは、充填隙間Ｇ１に充填されるとともに、予備隙間Ｇ２に貯留される。従って、軸受１００は潤滑流体ＦＬを有する。

次に、図４を参照して、軸受１００の内部構造の詳細を説明する。図４は、図３に示す軸受１００の一部を拡大して示す断面図である。図４に示すように、予備隙間Ｇ２は、スリーブ体３と筒部５５との隙間ｇ２１を少なくとも含む。隙間ｇ２１は、円筒状の空間であり、軸方向ＡＤに延びる。具体的には、隙間ｇ２１は、スリーブ９と筒部５５との間の空間である。更に具体的には、隙間ｇ２１は、スリーブ９の外周面９１と、筒部５５の内周面５５１との間の空間である。外周面９１と内周面５５１とは径方向ＲＤに対向する。

予備隙間Ｇ２は、スリーブ９の第１端面９２と、ベース部５１の円環面５１１との隙間ｇ２２を含んでいてもよい。隙間ｇ２２は、円環状の空間である。隙間ｇ２２は、隙間ｇ２１の下端において隙間ｇ２１と繋がっている。第１端面９２と円環面５１１とは軸方向ＡＤに対向する。第１端面９２は、スリーブ９の下端面９０を構成する径方向ＲＤ外側の面と径方向ＲＤ内側の面とのうち、径方向ＲＤ外側の面を示す。第１端面９２は円環状である。図４の例では、断面視において、第１端面９２は、円環面５１１に対して軸方向ＡＤ上側に傾斜している。従って、隙間ｇ２２は、径方向ＲＤ外側に向かって広がっている。円環面５１１は、円環状である（図２）。円環面５１１は、ベース部５１の上面のうち、シャフト部５３と筒部５５との間の面を示す。

充填隙間Ｇ１は、予備隙間Ｇ２よりも径方向ＲＤ内側に存在する隙間である。具体的には、充填隙間Ｇ１は、隙間ｇ１１、ｇ１２、ｇ１３、ｇ１４、ｇ１５、ｇ１６を含む。隙間ｇ１１と隙間ｇ１２と隙間ｇ１３と隙間ｇ１４と隙間ｇ１５と隙間ｇ１６とは繋がっている。

隙間ｇ１１は、スリーブ９の第２端面９３と、ベース部５１の円環面５１１との間の空間である。隙間ｇ１１は円環状である。隙間ｇ１１は隙間ｇ２２と繋がっている。境界位置ＢＤは、隙間ｇ１１と隙間ｇ２２との境界を示す。境界位置ＢＤは、円環面５１１の径方向ＲＤ内側の端部と、円環面５１１の径方向ＲＤ外側の端部との間に位置する。隙間ｇ２２は、境界位置ＢＤから径方向ＲＤ外側に拡がる。第２端面９３と円環面５１１とは軸方向ＡＤに対向する。第２端面９３は、スリーブ９の下端面９０を構成する径方向ＲＤ外側の面と径方向ＲＤ内側の面とのうち、径方向ＲＤ内側の面を示す。第２端面９３は円環状である。

図４の例では、第２端面９３のうち径方向ＲＤ外側の端部が、円環面５１１に対して傾斜している。具体的には、第２端面９３のうち、径方向ＲＤ内側の端部から位置ＰＳまでは、円環面５１１に対して平行である。そして、第２端面９３は、位置ＰＳから、円環面５１１に対して傾斜している。位置ＰＳは、境界位置ＢＤよりも、径方向ＲＤ内側である。

隙間ｇ１２は、スリーブ９の内周面９４と、シャフト部５３の外周面５３１との間の空間である。隙間ｇ１２は円筒状である。隙間ｇ１２は、隙間ｇ１１の径方向ＲＤ内側の端部において、隙間ｇ１１と繋がっている。隙間ｇ１２は、隙間ｇ１１の径方向ＲＤ内側の端部から軸方向ＡＤ上側に延びる。内周面９４と外周面５３１とは径方向ＲＤに対向する。

隙間ｇ１３は、スリーブ９の上端面９５と、規制部７１の下面７１１との間の空間である。隙間ｇ１３は円環状である。隙間ｇ１３は、隙間ｇ１２の軸方向ＡＤ上側の端部において、隙間ｇ１２と繋がっている。隙間ｇ１３は、隙間ｇ１２の軸方向ＡＤ上側の端部から径方向ＲＤ外側に拡がる。下面７１１と上端面９５とは、軸方向ＡＤに対向する。

隙間ｇ１４は、隙間ｇ１３と隙間ｇ１５とを繋ぐ。具体的には、隙間ｇ１４は、隙間ｇ１３の径方向ＲＤ外側の端部と隙間ｇ１５の径方向ＲＤ外側の端部とを繋ぐ。隙間ｇ１４は、規制部７１の径方向ＲＤの端面７１３に沿って円環状に延びる。

隙間ｇ１５は、キャップ１１の下面１１１と、規制部７１の上面７１２との間の空間である。隙間ｇ１５は円板状である。隙間ｇ１５は、中心軸ＡＸに対して径方向ＲＤ外側に拡がる。下面１１１と上面７１２とは、軸方向ＡＤに対向する。

隙間ｇ１６は、スリーブ９を軸方向ＡＤに貫通する。つまり、隙間ｇ１６は貫通孔である。隙間ｇ１６は、例えば円柱状である。隙間ｇ１６は、軸方向ＡＤに延びる。隙間ｇ１６は、隙間ｇ１１と隙間ｇ１３とを繋ぐ。つまり、隙間ｇ１６は、隙間ｇ１１から隙間ｇ１３まで延びる。

次に、図５Ａ及び図５Ｂを参照して、実施形態１に係る軸受製造方法を説明する。軸受製造方法は、ワークＷＫに潤滑流体ＦＬを充填することで、軸受１００を製造する。ワークＷＫとは、潤滑流体ＦＬが充填されていない状態の軸受１００のことである。従って、ワークＷＫは、ベース体１及びスリーブ体３によって構成されている。なお、軸受製造方法は潤滑流体導入方法と捉えることもできる。

図５Ａは、実施形態１に係る軸受製造方法の充填工程Ｓ１を示す図である。図５Ｂは、実施形態１に係る軸受製造方法の貯留工程Ｓ２を示す図である。なお、図５Ａ及び図５Ｂでは、図面を見やすくするために、充填隙間Ｇ１及び予備隙間Ｇ２を大きくし、ワークＷＫを模式的に示している。

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、軸受製造方法は、充填工程Ｓ１と貯留工程Ｓ２とを含む。軸受製造方法は、軸受製造装置２００によって実行される。軸受製造装置２００の詳細は後述する。

図５Ａに示すように、まず、充填工程Ｓ１では、軸受製造装置２００の潤滑流体供給部２０１は、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給することで、予備隙間Ｇ２を介して充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填する。

次に、貯留工程Ｓ２では、潤滑流体供給部２０１は、充填工程Ｓ１よりも後において、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給することで、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを溜める。つまり、潤滑流体供給部２０１は、充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填した後において、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給することで、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを溜める。特に、充填工程Ｓ１で供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ１は、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１よりも大きい。つまり、充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填する際に供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ１は、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１よりも大きい。

従って、充填工程Ｓ１が完了して貯留工程Ｓ２の開始時では、ワークＷＫの状態は、充填隙間Ｇ１の全領域に潤滑流体ＦＬが充填済みの状態である。よって、貯留工程Ｓ２では、充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填することは要求されない。つまり、貯留工程Ｓ２では、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを貯留できればよい。従って、貯留工程Ｓ２では、ワークＷＫが配置されたチャンバを減圧することが要求されない。その結果、実施形態１によれば、潤滑流体ＦＬをワークＷＫに導入する際の工数を削減できる。本明細書において、潤滑流体ＦＬの導入とは、充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填するとともに、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを貯留することを示す。

ここで、実施形態１との対比のため、参考例に係る軸受製造方法を説明する。参考例に係る軸受製造方法は、第１工程～第６工程を含む。

まず、第１工程では、ワークＷＫを配置したチャンバを大気圧の状態から真空にする。次に、第２工程では、充填隙間Ｇ１の体積よりも小さい体積の潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。次に、第３工程では、チャンバの内部圧力を大気圧にすることで、潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２から充填隙間Ｇ１に押し込む。つまり、真空状態の圧力と大気圧との差圧によって潤滑流体ＦＬを押し込む。第３工程の終了時点では、充填隙間Ｇ１の全領域には潤滑流体ＦＬが充填されていない。

次に、第４工程では、チャンバを大気圧の状態から真空にする。次に、第５工程では、潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。次に、第６工程では、チャンバの内部圧力を大気圧にすることで、潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２から充填隙間Ｇ１に押し込む。つまり、真空状態の圧力と大気圧との差圧によって潤滑流体ＦＬを押し込む。その結果、充填隙間Ｇ１の全領域に潤滑流体ＦＬが充填される。残りの潤滑流体ＦＬは予備隙間Ｇ２に残留する。

参考例では、第１工程（減圧工程）だけでなく、第４工程（減圧工程）も必須になるため、ワークＷＫに潤滑流体ＦＬを導入する際の工数が多くなる。第１工程及び第２工程において減圧が要求される理由は、真空状態の圧力と大気圧との差圧を利用しないと、充填隙間Ｇ１の全領域に潤滑流体ＦＬを充填させることが困難だからである。

これに対して、実施形態１では、充填工程Ｓ１において充填隙間Ｇ１の全領域に潤滑流体ＦＬが充填済みであるため、貯留工程Ｓ２では、充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填することは要求されない。その結果、貯留工程Ｓ２では、減圧が要求されず、工数を削減できる。実施形態１に係る軸受製造方法の詳細は後述する。

引き続き図５Ａ及び図５Ｂを参照して、ワークＷＫへの潤滑流体ＦＬの供給量、つまり、ワークＷＫに供給する潤滑流体ＦＬの体積を説明する。

充填工程Ｓ１で供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ１は、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１と所定体積αとの合計値ＶＳ１を示す。所定体積αは、予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ２よりも小さい。

従って、充填工程Ｓ１では、潤滑流体ＦＬが充填隙間Ｇ１の全領域に充填されるだけでなく、予備隙間Ｇ２にも、所定体積αの潤滑流体ＦＬが残存する。その結果、貯留工程Ｓ２では、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを追加で貯留できれば足りる。つまり、貯留工程Ｓ２では、充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填することは要求されない。従って、貯留工程Ｓ２では、ワークＷＫが配置されたチャンバを減圧することが要求されない。その結果、実施形態１によれば、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを貯留するための時間を短縮できる。

また、充填工程Ｓ１での所定体積αと、貯留工程Ｓ２で供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ２との合計値ＶＳ２は、予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ２よりも小さい。従って、充填工程Ｓ１及び貯留工程Ｓ２において供給される潤滑流体ＦＬの合計体積ＶＳ３が、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１と予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ２との合計体積ＶＧ１２よりも小さくなる。その結果、実施形態１によれば、潤滑流体ＦＬが予備隙間Ｇ２から溢れることを防止できる。また、予備隙間Ｇ２に溜った潤滑流体ＦＬを除去する作業が不要であり、工数を削減できる。

更に、充填工程Ｓ１及び貯留工程Ｓ２において供給される潤滑流体ＦＬの合計体積ＶＳ３は、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１、予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ２、及び、貯留割合Ｘを使用して、式（１）によって示される。貯留割合Ｘは、最終的に予備隙間Ｇ２に貯留される潤滑流体ＦＬが予備隙間Ｇ２の全領域に対して占める割合を示す。例えば、Ｘ％は５０％である。また、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１と予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ２との合計体積ＶＧ１２に関し、式（２）が成立する。

ＶＳ３＝（ＶＧ２×Ｘ％）＋ＶＧ１ …（１）
ＶＳ３＜ＶＧ１２ …（２）

次に、図６を参照して、実施形態１に係る軸受製造装置２００を説明する。図６は、軸受製造装置２００を示す模式図である。図６に示す軸受製造装置２００は、軸受製造方法を実行して、軸受１００を製造する。なお、軸受製造装置２００は潤滑流体導入装置と捉えることもできる。

図６に示すように、軸受製造装置２００は、潤滑流体供給部２０１と、タンク２０３と、スターラー２０４と、チャンバ２０５と、ステージ２０６と、減圧ポンプ２０７と、バルブＶａと、バルブＶｂと、バルブＶｃと、バルブＶｄと、配管Ｐａと、配管Ｐｂと、配管Ｐｃと、配管Ｐｄと、制御装置２１０とを有する。潤滑流体供給部２０１は、供給部２０１ａと、調整部２０１ｂとを有する。

制御装置２１０は、潤滑流体供給部２０１、減圧ポンプ２０７、バルブＶａ、バルブＶｂ、バルブＶｃ、及び、バルブＶｄを制御する。制御装置２１０は、コンピュータである。制御装置２１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）のようなプロセッサーと、記憶装置とを有する。記憶装置は、データ及びコンピュータープログラムを記憶する。具体的には、記憶装置は、半導体メモリーのような主記憶装置と、半導体メモリー、ソリッドステートドライブ、及び／又は、ハードディスクドライブのような補助記憶装置とを含む。記憶装置は、リムーバブルメディアを含んでいてもよい。記憶装置は、非一時的コンピュータ読取可能記憶媒体の一例に相当する。

配管Ｐａは、減圧ポンプ２０７からチャンバ２０５まで延びる。バルブＶａは配管Ｐａに配置される。バルブＶａは、制御装置２１０の制御を受けて、配管Ｐａを開閉する。配管Ｐｂは配管Ｐａから分岐している。配管Ｐｂの一端は大気開放されている。バルブＶｂは配管Ｐｂに配置される。バルブＶｂは、制御装置２１０の制御を受けて、配管Ｐｂを開閉する。配管Ｐｃは、減圧ポンプ２０７からタンク２０３まで延びる。バルブＶｃは配管Ｐｃに配置される。バルブＶｃは、制御装置２１０の制御を受けて、配管Ｐｃを開閉する。配管Ｐｄは配管Ｐｃから分岐している。配管Ｐｄの一端は大気開放されている。バルブＶｄは配管Ｐｄに配置される。バルブＶｄは、制御装置２１０の制御を受けて、配管Ｐｄを開閉する。

減圧ポンプ２０７は、制御装置２１０の制御を受けて、排気による減圧を実行する。減圧ポンプ２０７は、例えば、真空ポンプである。

例えば、バルブＶａが配管Ｐａを開放し、バルブＶｂが配管Ｐｂを閉塞し、バルブＶｃが配管Ｐｃを閉塞した状態において、減圧ポンプ２０７は、チャンバ２０５から空気を排気することで、チャンバ２０５を減圧する。実施形態１では、減圧ポンプ２０７は、チャンバ２０５を減圧して、チャンバ２０５の内部圧力を第１圧力Ｐ１から第２圧力Ｐ２に減少させる。第１圧力Ｐ１は、真空を示す圧力よりも大きい。第２圧力Ｐ２は、第１圧力Ｐ１よりも小さい。実施形態１では、第１圧力Ｐ１は大気圧である。また、第２圧力Ｐ２は、真空を示す圧力である。真空を示す圧力は、例えば、１０Ｐａである。ただし、第２圧力Ｐ２が第１圧力Ｐ１よりも小さい限りは、第１圧力Ｐ１及び第２圧力Ｐ２の値は特に限定されない。

例えば、チャンバ２０５が減圧された状態において、バルブＶａが配管Ｐａを閉塞して、バルブＶｂが配管Ｐｂを開放すると、チャンバ２０５の内部圧力が、第２圧力Ｐ２から第１圧力Ｐ１に上昇する。つまり、チャンバ２０５の内部圧力が、真空を示す圧力から大気圧になる。

例えば、バルブＶｃが配管Ｐｃを閉塞し、バルブＶｄが配管Ｐｄを開放していると、タンク２０３の内部圧力が大気圧に設定される。軸受製造装置２００が軸受製造方法を実行する期間中では、タンク２０３の内部圧力は大気圧に設定される。

チャンバ２０５は、供給部２０１ａ、ワークＷＫ、及び、ステージ２０６を収容する。チャンバ２０５は、例えば、容器である。ステージ２０６は、チャンバ２０５内部に設置される。ステージ２０６は、平坦面を有する台である。ステージ２０６には、ワークＷＫが配置される。

タンク２０３は、潤滑流体ＦＬを貯留する。スターラー２０４は、タンク２０３の内部に配置される。スターラー２０４は潤滑流体ＦＬを攪拌する。潤滑流体供給部２０１は、タンク２０３に貯留された潤滑流体ＦＬをワークＷＫの予備隙間Ｇ２に供給する。つまり、潤滑流体供給部２０１は、タンク２０３に貯留された潤滑流体ＦＬをワークＷＫの予備隙間Ｇ２に注入する。

潤滑流体供給部２０１は、例えば、ディスペンサである。また、潤滑流体供給部２０１は、例えば、ニードルバルブを用いるエア式のディスペンサである。なお、潤滑流体供給部２０１の方式は、特に限定されず、例えば、潤滑流体供給部２０１は、ピエゾアクチュエータを用いるジェット式のディスペンサであってもよい。

具体的には、潤滑流体供給部２０１の調整部２０１ｂは、タンク２０３から供給部２０１ａに供給する潤滑流体ＦＬの流量を調整する。更に具体的には、調整部２０１ｂは、供給部２０１ａがワークＷＫに供給する潤滑流体ＦＬの体積を調整する。調整部２０１ｂは、例えば、ニードルバルブである。供給部２０１ａは、潤滑流体ＦＬをワークＷＫに供給する。具体的には、供給部２０１ａは、潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。つまり、供給部２０１ａは、潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に注入する。供給部２０１ａは、例えば、ノズルである。

次に、図６及び図７を参照して、実施形態１に係る軸受製造方法を説明する。軸受製造方法は、軸受製造装置２００によって実行される。図７は、実施形態１に係る軸受製造方法を示すフローチャートである。図７に示すように、軸受製造方法は、搬入工程Ｓ０と、充填工程Ｓ１と、貯留工程Ｓ２と、搬出工程Ｓ３とを含む。軸受製造方法においては、潤滑流体供給部２０１、減圧ポンプ２０７、及び、バルブＶａ～Ｖｄは、制御装置２１０の制御を受けて動作する。

搬入工程Ｓ０、充填工程Ｓ１、貯留工程Ｓ２、及び、搬出工程Ｓ３においては、図６に示すバルブＶｃが配管Ｐｃを閉塞し、バルブＶｄが配管Ｐｄを開放している。従って、タンク２０３の内部圧力が大気圧に設定される。

図６及び図７に示すように、まず、搬入工程Ｓ０において、チャンバ２０５にワークＷＫが搬入される。そして、ワークＷＫは、ステージ２０６に配置される。なお、搬入工程Ｓ０では、バルブＶａが配管Ｐａを閉塞し、バルブＶｂが配管Ｐｂを開放している。従って、搬入工程Ｓ０では、チャンバ２０５の内部圧力は、第１圧力Ｐ１に設定されている。典型的には、第１圧力Ｐ１は、大気圧である。

次に、充填工程Ｓ１において、潤滑流体供給部２０１は、予備隙間Ｇ２（図５Ａ）に潤滑流体ＦＬを供給することで、予備隙間Ｇ２を介して充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを充填する。なお、具体的には、供給部２０１ａが潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。

具体的には、充填工程Ｓ１は、工程Ｓ１１と、工程Ｓ１２と、工程Ｓ１３とを含む。

工程Ｓ１１において、減圧ポンプ２０７は、ワークＷＫ（ベース体１及びスリーブ体３）が配置されたチャンバ２０５の内部圧力を、第１圧力Ｐ１よりも小さい第２圧力Ｐ２に減少させる。第１圧力Ｐ１は、真空を示す圧力よりも大きい。典型的には、第１圧力Ｐ１は大気圧であり、第２圧力Ｐ２は真空を示す圧力である。なお、工程Ｓ１１では、バルブＶａが配管Ｐａを開放し、バルブＶｂが配管Ｐｂを閉塞し、バルブＶｃが配管Ｐｃを閉塞している。

次に、工程Ｓ１２において、潤滑流体供給部２０１は、予備隙間Ｇ２（図５Ａ）に潤滑流体ＦＬを供給する。つまり、工程Ｓ１１でチャンバ２０５の内部圧力を減少させた後、潤滑流体供給部２０１は、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。具体的には、供給部２０１ａが潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。なお、工程Ｓ１２では、バルブＶａが配管Ｐａを開放し、バルブＶｂが配管Ｐｂを閉塞し、バルブＶｃが配管Ｐｃを閉塞している。

特に、工程Ｓ１２で供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ１は、充填隙間Ｇ１（図５Ａ）の体積よりも大きい。具体的には、工程Ｓ１２で供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ１は、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１と所定体積αとの合計値ＶＳ１を示す。この場合、所定体積αは予備隙間Ｇ２の体積よりも小さい。

次に、工程Ｓ１３において、バルブＶｂは、チャンバ２０５の内部圧力を第２圧力Ｐ２から第１圧力Ｐ１まで上昇させる。つまり、工程Ｓ１２で予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給した後、バルブＶｂは、チャンバ２０５の内部圧力を第２圧力Ｐ２から第１圧力Ｐ１まで上昇させる。従って、実施形態１によれば、第２圧力Ｐ２よりも大きな第１圧力Ｐ１によって、予備隙間Ｇ２から充填隙間Ｇ１（図５Ａ）に潤滑流体ＦＬを効果的に充填できる。つまり、第１圧力Ｐ１と第２圧力Ｐ２との差圧によって、予備隙間Ｇ２から充填隙間Ｇ１に潤滑流体ＦＬを効果的に充填できる。なお、工程Ｓ１３では、バルブＶａが配管Ｐａを閉塞した状態でバルブＶｂが配管Ｐｂを開放することで、チャンバ２０５の内部圧力を第２圧力Ｐ２から第１圧力Ｐ１まで上昇させる。

次に、貯留工程Ｓ２において、潤滑流体供給部２０１は、予備隙間Ｇ２（図５Ｂ）に潤滑流体ＦＬを供給することで、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを溜める。つまり、貯留工程Ｓ２では、潤滑流体供給部２０１は、チャンバ２０５の内部圧力が第１圧力Ｐ１（典型的には大気圧）を示している状態において、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。従って、実施形態１によれば、貯留工程Ｓ２においてチャンバ２０５を減圧することなく、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを貯留できる。その結果、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを貯留するための時間を短縮できる。なお、具体的には、供給部２０１ａが潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。

特に、貯留工程Ｓ２では、潤滑流体供給部２０１は、予備隙間Ｇ２を超えない量の潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。つまり、工程Ｓ１２での所定体積αと、貯留工程Ｓ２で供給される潤滑流体ＦＬの体積Ｖ２との合計値ＶＳ２は、予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ２よりも小さい。なお、貯留工程Ｓ２では、バルブＶｂが配管Ｐｂを開放し、バルブＶａが配管Ｐａを閉塞している。

貯留工程Ｓ２の完了によって、ワークＷＫへの潤滑流体ＦＬの導入が完了し、ワークＷＫから軸受１００が製造される。

次に、搬出工程Ｓ３において、製造された軸受１００が、チャンバ２０５から搬出される。そして、軸受製造方法が終了する。なお、搬出工程Ｓ３では、バルブＶｂが配管Ｐｂを開放し、バルブＶａが配管Ｐａを閉塞している。

次に、図８を参照して、実施形態１に係る軸受１００を有するファン３００を説明する。図８は、ファン３００を示す断面図である。図８に示すように、ファン３００は、モータＭＴと、ハウジング３０１と、複数の羽根部材３０３とを有する。ハウジング３０１は、モータＭＴ及び複数の羽根部材３０３を収容する。モータＭＴは、一例として、アウターロータ型モータである。モータＭＴは、中心軸ＡＸを中心として、複数の羽根部材３０３を回転させる。複数の羽根部材３０３は、周方向ＣＤに沿って並んで配置される。

具体的には、モータＭＴは、軸受１００と、支持部材３０２と、マグネットＭＧと、複数のコイルＣＬとを有する。支持部材３０２は、円筒状である。支持部材３０２は、複数のコイルＣＬを支持する。支持部材３０２の外周面には、複数のコイルＣＬが固定される。また、支持部材３０２の上端部がハウジング３０１に固定される。更に、支持部材３０２の内部には、軸受１００のスリーブ体３、規制部材７、シャフト部５３、及び、筒部５５が配置される。支持部材３０２の内周面が、スリーブ９の外周面に固定される。支持部材３０２と筒部５５とは、径方向ＲＤに離隔している。

マグネットＭＧは、円環状である。マグネットＭＧは、軸受１００の周壁部５７の内周面に固定される。マグネットＭＧとコイルＣＬとは、径方向ＲＤに離隔している。

軸受１００のベース体１と、マグネットＭＧとは、モータＭＴのロータを構成する。ロータは、中心軸ＡＸを中心にして回転する。また、軸受１００のスリーブ体３と、支持部材３０２と、コイルＣＬとは、モータＭＴのステータを構成する。

（実施形態２）
図５Ａ、図５Ｂ、及び、図９を参照して、本開示の実施形態２に係る軸受製造方法及び軸受製造装置２００Ａを説明する。実施形態２では、潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変えながら潤滑流体ＦＬを供給する点で、実施形態１と主に異なる。以下、実施形態２が実施形態１と異なる点を主に説明する。

実施形態２においては、図５Ａの充填工程Ｓ１及び図５Ｂの貯留工程Ｓ２では、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変えながら、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。従って、実施形態２によれば、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を固定する場合と比較して、充填工程Ｓ１の実行時間及び貯留工程Ｓ２の実行時間を短縮できる。

特に、潤滑流体供給部２０１がニードルバルブを用いるエア式のディスペンサである場合に、潤滑流体ＦＬの充填時間及び貯留時間の短縮に有効である。詳細には、潤滑流体ＦＬの粘度は比較的大きい。従って、潤滑流体ＦＬが予備隙間Ｇ２に流れ込む時間が必要になる。よって、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を固定した場合に、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給速度（単位時間当たりの供給量）が大きすぎると、潤滑流体ＦＬが予備隙間Ｇ２（筒部５５）から溢れ出す場合がある。そこで、潤滑流体ＦＬの供給位置を固定する場合には、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給速度を制限することで、潤滑流体ＦＬが溢れ出すことを防止する。

これに対して、実施形態２では、潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変えながら予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給するため、ある位置において潤滑流体ＦＬが予備隙間Ｇ２に流れ込むのを待たずに、別の位置において潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給できる。従って、潤滑流体ＦＬの供給位置を固定する場合と比較して、潤滑流体ＦＬの供給速度を大きくできる。その結果、充填工程Ｓ１及び貯留工程Ｓ２の実行時間を短縮できる。

また、実施形態２では、潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変えながら予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給するため、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を固定する場合と比較して、潤滑流体ＦＬの飛沫の発生を抑制できる。

特に、潤滑流体供給部２０１がピエゾアクチュエータを用いるジェット式のディスペンサである場合に、潤滑流体ＦＬの飛沫発生の抑制に有効である。詳細には、潤滑流体ＦＬの粘度は比較的大きい。従って、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を固定すると、潤滑流体ＦＬが、予備隙間Ｇ２における供給位置から予備隙間Ｇ２の全体に広がるまでには、時間を要する。その結果、予備隙間Ｇ２における供給位置では、潤滑流体ＦＬが滞留し、流体面が高くなる。流体面が高くなった状態で潤滑流体ＦＬが更に供給されると、潤滑流体ＦＬの流体面からの飛沫が発生し得る。そこで、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変えながら潤滑流体ＦＬを供給することで、流体面が高くなった状態で潤滑流体ＦＬが更に供給されることを抑制する。その結果、潤滑流体ＦＬの飛沫の発生を抑制できる。

ここで、実施形態２では、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変える場合、例えば、２つの手法がある。１つの手法では、ワークＷＫを静止させた状態で、潤滑流体供給部２０１を周方向ＣＤに移動させながら、潤滑流体供給部２０１が予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。他の１つの手法では、潤滑流体供給部２０１の位置を固定した状態で、ワークＷＫを中心軸ＡＸ中心に回転させながら、潤滑流体供給部２０１が予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。なお、２つの手法のいずれについても、具体的には、供給部２０１ａが潤滑流体ＦＬを予備隙間Ｇ２に供給する。

次に、ワークＷＫを回転させながら潤滑流体ＦＬを供給する例を説明する。図９は、実施形態２に係る軸受製造装置２００Ａを示す模式図である。図９に示すように、軸受製造装置２００Ａは、図６に示す軸受製造装置２００の構成に加えて、モータ２０８を有する。モータ２０８は、充填工程Ｓ１及び貯留工程Ｓ２において、中心軸ＡＸ（図１）を中心にして、ワークＷＫ（スリーブ体３が配置されたベース体１）を回転させる。従って、軸受製造装置２００Ａでは、潤滑流体供給部２０１を周方向ＣＤに移動させる場合と比較して、簡素な構成によって潤滑流体ＦＬの供給位置を周方向ＣＤに変えることができる。具体的には、充填工程Ｓ１及び貯留工程Ｓ２において、モータ２０８は、ステージ２０６を回転させることで、中心軸ＡＸを中心にして、ワークＷＫを回転させる。

そして、充填工程Ｓ１及び貯留工程Ｓ２では、潤滑流体供給部２０１は、ワークＷＫ（スリーブ体３が配置されたベース体１）が回転している状態において、予備隙間Ｇ２（図５Ａ、図５Ｂ）に潤滑流体ＦＬを供給する。従って、実施形態２によれば、潤滑流体ＦＬの供給位置を固定する場合と比較して、潤滑流体ＦＬの充填時間及び貯留時間を短縮できる。また、予備隙間Ｇ２への潤滑流体ＦＬの供給位置を固定する場合と比較して、潤滑流体ＦＬの飛沫の発生を抑制できる。なお、具体的には、供給部２０１ａが予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。

（実施形態３）
図５Ａ、図５Ｂ、及び、図１０を参照して、本開示の実施形態３に係る軸受製造方法及び軸受製造装置２００Ｂを説明する。実施形態３では、複数の異なる位置から潤滑流体ＦＬを供給する点で、実施形態１と主に異なる。以下、実施形態３が実施形態１と異なる点を主に説明する。

実施形態３においては、図５Ａの充填工程Ｓ１及び図５Ｂの貯留工程Ｓ２では、周方向ＣＤの異なる複数の位置から、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。従って、実施形態３によれば、充填工程Ｓ１の実行時間及び貯留工程Ｓ２の実行時間を短縮できる。

また、各位置での潤滑流体ＦＬの供給量を少なくすることで、潤滑流体ＦＬの飛沫の発生を抑制できる。特に、潤滑流体供給部２０１がピエゾアクチュエータを用いたジェット式のディスペンサである場合に、潤滑流体ＦＬの飛沫発生の抑制に有効である。なお、複数の位置から潤滑流体ＦＬを供給するため、各位置での潤滑流体ＦＬの供給量を少なくした場合でも、予備隙間Ｇ２に供給される潤滑流体ＦＬの総量は多くなる。従って、この場合、潤滑流体ＦＬの充填時間及び貯留時間が長くなることを抑制できる。

次に、図１０を参照して、実施形態３に係る軸受製造装置２００Ｂを説明する。図１０は、実施形態３に係る軸受製造装置２００Ｂを示す模式図である。図１０に示すように、軸受製造装置２００Ｂは、複数の潤滑流体供給部２０１と、複数のタンク２０３と、複数のスターラー２０４と、複数のチャンバ２０５と、複数のステージ２０６と、減圧ポンプ２０７と、バルブＶａ～Ｖｄと、配管Ｐａ～Ｐｄと、制御装置２１０とを有する。複数の潤滑流体供給部２０１は、周方向ＣＤに間隔をあけて配置される。図１０の例では、２個の潤滑流体供給部２０１が、周方向ＣＤに１８０度の間隔をあけて配置される。なお、具体的には、複数の供給部２０１ａが、周方向ＣＤに間隔をあけて配置される。

図５Ａの充填工程Ｓ１及び図５Ｂの貯留工程Ｓ２では、複数の潤滑流体供給部２０１が、周方向ＣＤの異なる複数の位置から、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。従って、実施形態３によれば、１個の潤滑流体供給部２０１を配置する場合と比較して、潤滑流体ＦＬの充填時間及び貯留時間を短縮できる。例えば、複数の潤滑流体供給部２０１は、周方向ＣＤの異なる複数の位置から同時に、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。なお、具体的には、複数の供給部２０１ａが、周方向ＣＤの異なる複数の位置から同時に、予備隙間Ｇ２に潤滑流体ＦＬを供給する。

また、潤滑流体供給部２０１の個数と、タンク２０３の個数と、チャンバ２０５の個数とは、例えば、同じである。例えば、潤滑流体供給部２０１の個数と、タンク２０３の個数と、チャンバ２０５の個数とは、それぞれ、２個以上４個以下である。図１０の例では、潤滑流体供給部２０１の個数と、タンク２０３の個数と、チャンバ２０５の個数とは、それぞれ、２個である。

以上、図面を参照しながら本開示の実施形態について説明した。但し、本開示は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって、種々の発明の形成が可能である。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。例えば、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。図面は、理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚み、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の材質、形状、寸法等は一例であって、特に限定されるものではなく、本開示の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

図４では、一例として、充填隙間Ｇ１と予備隙間Ｇ２との境界位置ＢＤを示した。ただし、境界位置ＢＤは、特に限定されず、実験的及び／又は経験的に定めることができる。例えば、境界位置ＢＤは、円環面５１１の径方向ＲＤ内側の端部と径方向ＲＤ外側の端部との間のいずれかの位置に設定される。例えば、位置ＰＳを境界位置ＢＤに設定してもよい。また、予備隙間Ｇ２は、隙間ｇ２２を含まず、隙間ｇ２１のみを含んでいてもよい。

また、図４では、充填隙間Ｇ１は、予備隙間Ｇ２よりも径方向ＲＤ内側に存在する隙間であると定義した。この定義は、少なくとも予備隙間Ｇ２と径方向ＲＤに対向する「充填隙間Ｇ１の一部」が、予備隙間Ｇ２よりも径方向ＲＤ内側に存在すればよいことを示す。従って、この定義において、予備隙間Ｇ２よりも軸方向ＡＤ上側においては、充填隙間Ｇ１の他の一部が、予備隙間Ｇ２よりも径方向ＲＤ内側に存在していなくてもよい。例えば、予備隙間Ｇ２よりも軸方向ＡＤ上側においては、充填隙間Ｇ１の他の一部が、予備隙間Ｇ２よりも径方向ＲＤ外側に存在していてもよい。なお、予備隙間Ｇ２と径方向ＲＤに対向する「充填隙間Ｇ１の一部」は、例えば、隙間ｇ１１、ｇ１２である。

図８に示すように、軸受１００は、ファン３００のモータＭＴの一部として使用された。ただし、軸受１００の使用例は、特に限定されない。例えば、軸受１００は、ハードディスクドライブの磁気ディスクを回転させるスピンドルモータの一部として使用できる。

図７に示すように、軸受製造方法は、１回の貯留工程Ｓ２を含んでいたが、複数回の貯留工程Ｓ２を含んでいてもよい。この場合でも、充填工程Ｓ１及び複数の貯留工程Ｓ２において供給される潤滑流体ＦＬの合計体積は、充填隙間Ｇ１の体積ＶＧ１と予備隙間Ｇ２の体積ＶＧ１との合計体積ＶＧ１２よりも小さい。

本開示は、例えば、軸受製造方法及び軸受製造装置に利用できる。

１ ベース体
３ スリーブ体
５１ ベース部
５３ シャフト部
５５ 筒部
１００ 軸受
２００、２００Ａ、２００Ｂ 軸受製造装置
２０１ 潤滑流体供給部
２０３ タンク
２０５ チャンバ
２０８ モータ
Ｇ１ 充填隙間
Ｇ２ 予備隙間

Claims (10)

1. 軸受を製造する軸受製造方法であって、
   前記軸受は、一方が他方に対して相対的に回転可能なベース体及びスリーブ体を有し、
   前記ベース体は、
   前記軸受の中心軸に対して径方向外側に拡がるベース部と、
   前記スリーブ体の内部に配置され、前記ベース部から軸方向に沿って延びるシャフト部と、
   前記スリーブ体を周方向に囲み、前記ベース部から軸方向に沿って延びる筒状の筒部と
   を有し、
   前記スリーブ体と前記ベース体との間には、潤滑流体を充填するための充填隙間と、前記潤滑流体を予備として溜めるための予備隙間とが存在し、
   前記充填隙間と前記予備隙間とは繋がっており、
   前記予備隙間は、前記スリーブ体と前記筒部との隙間を少なくとも含み、
   前記充填隙間は、前記予備隙間よりも径方向内側に存在する隙間であり、
   前記軸受製造方法は、
   前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間を介して前記充填隙間に前記潤滑流体を充填する充填工程と、
   前記充填工程よりも後において、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間に前記潤滑流体を溜める貯留工程と
   を含み、
   前記充填工程で供給される前記潤滑流体の体積は、前記充填隙間の体積よりも大きい、軸受製造方法。
2. 前記充填工程は、
   前記ベース体及び前記スリーブ体が配置されたチャンバの内部圧力を、第１圧力よりも小さい第２圧力に減少させる工程と、
   前記チャンバの内部圧力を減少させた後、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給する工程と、
   前記第１圧力は、真空を示す圧力よりも大きく、
   前記予備隙間に前記潤滑流体を供給した後、前記チャンバの内部圧力を前記第２圧力から前記第１圧力まで上昇させる工程と
   を含む、請求項１に記載の軸受製造方法。
3. 前記貯留工程では、前記チャンバの内部圧力が前記第１圧力を示している状態において、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給する、請求項２に記載の軸受製造方法。
4. 前記充填工程で供給される前記潤滑流体の体積は、前記充填隙間の体積と所定体積との合計値を示し、
   前記所定体積は、前記予備隙間の体積よりも小さい、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の軸受製造方法。
5. 前記充填工程での前記所定体積と、前記貯留工程で供給される前記潤滑流体の体積との合計値は、前記予備隙間の体積よりも小さい、請求項４に記載の軸受製造方法。
6. 前記充填工程及び前記貯留工程では、前記予備隙間への前記潤滑流体の供給位置を周方向に変えながら、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給する、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の軸受製造方法。
7. 前記充填工程及び前記貯留工程では、周方向の異なる複数の位置から、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給する、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の軸受製造方法。
8. 軸受を製造する軸受製造装置であって、
   前記軸受は、一方が他方に対して相対的に回転可能なベース体及びスリーブ体を有し、
   前記ベース体は、
   前記軸受の中心軸に対して径方向外側に拡がるベース部と、
   前記スリーブ体の内部に配置され、前記ベース部から軸方向に沿って延びるシャフト部と、
   前記スリーブ体を周方向に囲み、前記ベース部から軸方向に沿って延びる筒状の筒部と
   を有し、
   前記スリーブ体と前記ベース体との間には、潤滑流体を充填するための充填隙間と、前記潤滑流体を予備として溜めるための予備隙間とが存在し、
   前記充填隙間と前記予備隙間とは繋がっており、
   前記予備隙間は、前記スリーブ体と前記筒部との隙間を少なくとも含み、
   前記充填隙間は、前記予備隙間よりも径方向内側に存在する隙間であり、
   前記軸受製造装置は、
   前記潤滑流体を貯留するタンクと、
   前記タンクに貯留された前記潤滑流体を供給する潤滑流体供給部と
   を有し、
   前記潤滑流体供給部は、
   前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間を介して前記充填隙間に前記潤滑流体を充填し、
   前記充填隙間に前記潤滑流体を充填した後において、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給することで、前記予備隙間に前記潤滑流体を溜め、
   前記充填隙間に前記潤滑流体を充填する際に供給される前記潤滑流体の体積は、前記充填隙間の体積よりも大きい、軸受製造装置。
9. 前記スリーブ体が配置された前記ベース体を回転させるモータを更に有し、
   前記スリーブ体が配置された前記ベース体が回転している状態において、前記潤滑流体供給部は、前記予備隙間に前記潤滑流体を供給する、請求項８に記載の軸受製造装置。
10. 複数の前記潤滑流体供給部を有し、
    前記複数の潤滑流体供給部は、周方向に間隔をあけて配置される、請求項８に記載の軸受製造装置。

Images