CN115727065A - 轴承制造方法及轴承制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种轴承制造方法以及轴承制造装置。轴承制造方法包括：填充工序，通过向预备间隙供给润滑流体，从而经由预备间隙向填充间隙填充润滑流体；以及贮存工序，在填充工序之后，向预备间隙供给润滑流体，由此在预备间隙积存润滑流体。在填充工序中供给的润滑流体的体积比填充间隙的体积大。

Description

轴承制造方法及轴承制造装置

技术领域

本发明涉及轴承制造方法及轴承制造装置。

背景技术

在以往的动压流体轴承的制造方法中，将两端开口型的动压流体轴承用真空注油方法向轴承内部注入润滑流体后，利用吸引喷嘴从轴承开口部吸引剩余润滑流体，为了形成轴承所需的润滑流体量，调整轴承开口部的润滑流体量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-225014号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在以往的动压流体轴承的制造方法中，需要吸引剩余润滑流体的工序。因此，工时增加。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于供给一种能够削减导入润滑流体时的工时的轴承制造方法以及轴承制造装置。

用于解决课题的方案

在本发明的例示的轴承制造方法中，制造轴承。上述轴承具有一方能够相对于另一方相对地旋转的基体以及套筒体。上述基体具有基部、轴部、以及筒部。基部相对于上述轴承的中心轴向径向外侧扩展。轴部配置在上述套筒体的内部，从上述基部沿轴向延伸。筒部沿周向包围上述套筒体，并从上述基部沿轴向延伸。筒部为筒状。在上述套筒体与上述基体之间存在用于填充润滑流体的填充间隙和用于将上述润滑流体作为预备而积存的预备间隙。上述填充间隙与上述预备间隙相连。上述预备间隙至少包括上述套筒体与上述筒部的间隙。上述填充间隙是存在于比上述预备间隙更靠径向内侧的间隙。上述轴承制造方法包括：填充工序，通过向上述预备间隙供给上述润滑流体，从而经由上述预备间隙向上述填充间隙填充上述润滑流体；以及贮存工序，在上述填充工序之后，通过向上述预备间隙供给上述润滑流体，从而在上述预备间隙中积存上述润滑流体。在上述填充工序中供给的上述润滑流体的体积比上述填充间隙的体积大。

本发明的例示的轴承制造装置制造轴承。上述轴承具有一方能够相对于另一方相对地旋转的基体以及套筒体。上述基体具有基部、轴部、以及筒部。基部相对于轴承的中心轴向径向外侧扩展。轴部配置在上述套筒体的内部，从上述基部沿轴向延伸。筒部沿周向包围上述套筒体，并从上述基部沿轴向延伸。筒部为筒状。在上述套筒体与上述基体之间存在用于填充润滑流体的填充间隙和用于将上述润滑流体作为预备而积存的预备间隙。上述填充间隙与上述预备间隙相连。上述预备间隙至少包括上述套筒体与上述筒部的间隙。上述填充间隙是存在于比上述预备间隙更靠径向内侧的间隙。上述轴承制造装置具有罐和润滑流体供给部。罐贮存上述润滑流体。润滑流体供给部供给贮存在上述罐中的上述润滑流体。上述润滑流体供给部通过向上述预备间隙供给上述润滑流体，从而经由上述预备间隙向上述填充间隙填充上述润滑流体。润滑流体供给部在向上述填充间隙填充上述润滑流体之后，向上述预备间隙供给上述润滑流体，由此在上述预备间隙中积存上述润滑流体。向上述填充间隙填充上述润滑流体时供给的上述润滑流体的体积比上述填充间隙的体积大。

发明的效果

根据例示的本发明，能够提供可削减导入润滑流体时的工时的轴承制造方法及轴承制造装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1的轴承的立体图。

图2是表示实施方式1的轴承的分解立体图。

图3是表示实施方式1的轴承的剖视图。

图4是将实施方式1的轴承的一部分放大表示的剖视图。

图5A是表示实施方式1的轴承制造方法的填充工序的图。

图5B是表示实施方式1的轴承制造方法的贮存工序的图。

图6是表示实施方式1的轴承制造装置的示意图。

图7是表示实施方式1的轴承制造方法的流程图。

图8是表示具有实施方式1的轴承的风扇的剖视图。

图9是表示本发明的实施方式2的轴承制造装置的示意图。

图10是表示本发明的实施方式3的轴承制造装置的示意图。

图中：

1—基体，3—套筒体，51—基部，53—轴部，55—筒部，100—轴承，200、200A、200B—轴承制造装置，201—润滑流体供给部，203—罐(容器)，205—腔室，208—马达，G1—填充间隙，G2—预备间隙。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的示例的实施方式进行说明。此外，在图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，不重复说明。

在本说明书中，为了方便，有时将轴承以及马达的中心轴的方向作为上下方向进行说明。图中，为了容易理解，适当地记载了直角坐标系的X轴、Y轴以及Z轴。Z轴的正方向表示上方向，Z轴的负方向表示下方向。但是，上下方向、上方向以及下方向是为了便于说明而确定的，不需要与铅垂方向一致。另外，只是为了便于说明而定义了上下方向，并不限定本发明的轴承以及马达的使用时的朝向。

另外，在本说明书中，将与轴承以及马达的中心轴平行的方向记载为“轴向”，将与轴承以及马达的中心轴正交的方向记载为“径向”，将沿着以轴承以及马达的中心轴为中心的圆弧的方向记载为“周向”。“径向”只要是与中心轴正交的方向即可，可以是任意的方向，没有特别限定。另外，在本说明书中，所谓“平行的方向”并不是表示严格意义上的平行，而是包含例如在发挥本发明的效果的程度上平行的情况。另外，在本说明书中，所谓“正交的方向”不是表示严格意义上的正交，而是包含例如在起到本发明的效果的程度上正交的情况。另外，剖面观察表示通过包含中心轴的假想面切断对象时的剖面。

而且，在本说明书中，“有底筒形状”、“有底圆筒形状”、“有盖筒形状”、“有盖圆筒形状”、“筒状”、“圆筒状”、“环状”、“圆环状”、“柱状”、“圆柱状”、“平板形状”以及“圆板形状”并不表示严格意义上的形状，而是包括例如能够实现本发明中的轴承以及马达的功能的程度的形状。

而且，在本说明书中，也可以将“轴向上侧”替换为“轴向一方侧”或“轴向第一侧”，将“轴向下侧”替换为“轴向另一方侧”或“轴向第二侧”。或者，也可以将“轴向下侧”替换为“轴向一方侧”或“轴向第一侧”，将“轴向上侧”替换为“轴向另一方侧”或“轴向第二侧”。另外，也可以将“上表面”、“上端部”以及“上端面”分别替换为“轴向上侧的面”、“轴向上侧的端部”以及“轴向上侧的端面”。也可以将“下表面”、“下端部”以及“下端面”分别替换为“轴向下侧的面”、“轴向下侧的端部”以及“轴向下侧的端面”。

(实施方式1)

参照图1至图8，说明本发明的实施方式1的轴承100、轴承制造方法以及轴承制造装置200。首先，参照图1对轴承100进行说明。图1是表示轴承100的立体图。图1所示的轴承100是流体动压轴承。轴承100具有一方能够相对于另一方相对地旋转的基体1和套筒体3。套筒体3配置在基体1上。具体而言，基体1和套筒体3能够以中心轴AX为中心相对地旋转。在这种情况下，既可以在基体1静止的状态下使套筒体3旋转，也可以在套筒体3静止的状态下使基体1旋转。基体1和套筒体3以中心轴AX为中心配置在同轴上。基体1具有有底筒形状，套筒体3具有有盖筒形状。例如，基体1具有有底圆筒形状，套筒体3具有有盖圆筒形状。

接着，参照图2说明轴承100的详细情况。图2是表示轴承100的分解立体图。如图2所示，基体1具有基部51、轴部53、筒部55、周壁部57、以及凸缘部59。具体而言，基体1具有基座5和限制部件7。并且，基座5具有基部51、轴部53、筒部55、周壁部57、以及凸缘部59。基体1例如由基部51、轴部53、筒部55、周壁部57、以及凸缘部59构成为单一的部件。基体1例如由金属制成。

基部51具有平板形状。例如，基部51具有圆板形状。基部51以中心轴AX为中心向径向RD外侧扩展。轴部53为筒状。例如，轴部53为圆筒状。轴部53从基部51沿轴向AD延伸。具体而言，轴部53从基部51的上表面向轴向AD上侧延伸。筒部55为筒状。例如，筒部55为圆筒状。筒部55从基部51沿轴向AD延伸。具体而言，筒部55从基部51的上表面向轴向AD上侧延伸。筒部55的轴向AD的长度比轴部53的轴向AD的长度短。筒部55在轴部53的轴向下侧沿周向CD包围轴部53的周面。

周壁部57为筒状。例如，周壁部57为圆筒状。周壁部57在基部51的外缘部从基部51沿轴向AD延伸。具体而言，周壁部57从基部51的上表面外缘部向轴向AD上侧延伸。周壁部57沿周向CD包围轴部53和筒部55。凸缘部59为环状。例如，凸缘部59为圆环状。凸缘部59从周壁部57的上端部向径向RD外侧扩展。

限制部件7具有限制部71和结合部73。限制部71具有平板形状。例如，限制部71具有圆板形状。限制部71以中心轴AX为中心向径向RD外侧扩展。结合部73为柱状。例如，结合部73为圆柱状。结合部73沿着轴向AD从限制部71向与轴部53延伸的方向相反的方向延伸。具体而言，结合部73从限制部71的下表面向轴向AD下侧延伸。限制部件7例如由限制部71和结合部73构成为单一的部件。限制部件7例如由金属制成。

套筒体3具有套筒9和盖11。套筒9为筒状。例如，套筒9是圆筒状的。套筒9沿轴向AD延伸。套筒9例如由金属制成。盖11具有平板形状。例如，盖11具有圆板形状。盖11例如由金属制成。

继续参照图2，说明实施方式1的轴承制造方法所包含的轴承100的组装工序的概略。组装工序包括第一工序至第三工序。首先，在第一工序中，将轴部53插入套筒9的孔97中。其结果，套筒9被配置在轴部53与筒部55之间。接着，在第二工序中，将限制部件7与轴部53结合。具体而言，将结合部73与轴部53结合。例如，将结合部73拧入轴部53的内周面530。接着，在第三工序中，将盖11固定于套筒9。其结果，限制部件7被盖11覆盖。通过第三工序的完成而得到没有导入润滑流体的状态的轴承100。

接着，参照图3说明轴承100的内部结构的概要。图3是表示轴承100的剖视图。具体而言，图3表示沿着图1的III-III线的剖面。图3所示的轴承100是流体动压轴承。所谓润滑流体轴承是指使润滑流体FL介于轴部53与套筒9之间而将润滑流体FL中产生的流体压力(动压)作为支撑力的轴承。润滑流体FL例如是润滑油。润滑油例如是多元醇酯类油或二元酸酯类油。

如图3所示，在轴承100中，在基座5上配置有套筒体3。在该情况下，基座5的轴部53配置在套筒体3的内部。具体而言，轴部53配置在套筒9的内部。因此，套筒9沿周向CD包围轴部53。

基部51的筒部55沿周向CD包围套筒体3。具体而言，筒部55沿周向CD延伸。并且，筒部55沿周向CD包围套筒9。具体而言，筒部55沿周向CD包围套筒9的轴向AD下侧的周面。周壁部57沿周向CD延伸，沿周向CD包围套筒体3以及筒部55。

限制部件7限制套筒9沿轴向AD移动。具体而言，限制部件7限制套筒9向轴向AD上侧移动。其结果是，能够防止套筒9从轴部53脱落。具体而言，限制部件7被固定在轴部53上。该情况下，限制部件7的结合部73与轴部53结合，并位于轴部53的内部。

限制部件7的限制部71相对于中心轴AX向径向RD外侧扩展。并且，限制部71与轴部53及套筒9在轴向AD上对置。具体而言，限制部71的下表面711与套筒9的上端面95在轴向AD上对置。其结果，利用限制部71限制套筒9的轴向AD上的移动。具体而言，下表面711中的径向RD外侧的部分与套筒9的上端面95在轴向AD上对置。另外，下表面711中的径向RD内侧的部分与轴部53的上端面532在轴向AD上对置。并且，下表面711中的径向RD内侧的部分与轴部53的上端面532接触。

盖11从轴向AD上侧覆盖限制部件7。具体而言，盖11从轴向AD上侧覆盖限制部71。盖11被固定在套筒9上。具体而言，盖11被固定于套筒9的上端部96。

在套筒体3与基体1之间，存在用于填充润滑流体FL的填充间隙G1和用于作为预备而积存润滑流体FL的预备间隙G2。填充间隙G1和预备间隙G2相连。具体而言，填充间隙G1和预备间隙G2在边界位置BD相连。

润滑流体FL被填充到填充间隙G1中，并且被贮存在预备间隙G2中。因此，轴承100具有润滑流体FL。

接着，参照图4说明轴承100的内部结构的详细情况。图4是放大表示图3所示的轴承100的一部分的剖视图。如图4所示，预备间隙G2至少包括套筒体3与筒部55之间的间隙g21。间隙g21是圆筒状的空间，沿轴向AD延伸。具体而言，间隙g21是套筒9与筒部55之间的空间。更具体而言，间隙g21是套筒9的外周面91与筒部55的内周面551之间的空间。外周面91与内周面551在径向RD上对置。

预备间隙G2也可以包括套筒9的第一端面92与基部51的圆环面511之间的间隙g22。间隙g22是圆环状的空间。间隙g22在间隙g21的下端与间隙g21相连。第一端面92与圆环面511在轴向AD上对置。第一端面92表示构成套筒9的下端面90的径向RD外侧的面和径向RD内侧的面中的径向RD外侧的面。第一端面92为圆环状。在图4的例子中，剖面观察时，第一端面92相对于圆环面511向轴向AD上侧倾斜。因此，间隙g22朝向径向RD外侧扩展。圆环面511为圆环状(图2)。圆环面511表示基部51的上表面中的轴部53与筒部55之间的面。

填充间隙G1是存在于比预备间隙G2更靠径向RD内侧的间隙。具体而言，填充间隙G1包括间隙g11、g12、g13、g14、g15、g16。间隙g11、间隙g12、间隙g13、间隙g14、间隙g15、以及间隙g16相连。

间隙g11是套筒9的第二端面93与基部51的圆环面511之间的空间。间隙g11为圆环状。间隙g11与间隙g22相连。边界位置BD表示间隙g11与间隙g22之间的边界。边界位置BD位于圆环面511的径向RD内侧的端部与圆环面511的径向RD外侧的端部之间。间隙g22从边界位置BD向径向RD外侧扩展。第二端面93与圆环面511在轴向AD上对置。第二端面93表示构成套筒9的下端面90的径向RD外侧的面和径向RD内侧的面中的径向RD内侧的面。第二端面93为圆环状。

在图4的例子中，第二端面93中的径向RD外侧的端部相对于圆环面511倾斜。具体而言，第二端面93中从径向RD内侧的端部到位置PS与圆环面511平行。并且，第二端面93从位置PS相对于圆环面511倾斜。位置PS比边界位置BD更靠径向RD内侧。

间隙g12是套筒9的内周面94与轴部53的外周面531之间的空间。间隙g12为圆筒状。间隙g12在间隙g11的径向RD内侧的端部与间隙g11相连。间隙g12从间隙g11的径向RD内侧的端部向轴向AD上侧延伸。内周面94与外周面531在径向RD上对置。

间隙g13是套筒9的上端面95与限制部71的下表面711之间的空间。间隙g13为圆环状。间隙g13在间隙g12的轴向AD上侧的端部与间隙g12相连。间隙g13从间隙g12的轴向AD上侧的端部向径向RD外侧扩展。下表面711与上端面95在轴向AD上对置。

间隙g14连接间隙g13和间隙g15。具体而言，间隙g14将间隙g13的径向RD外侧的端部与间隙g15的径向RD外侧的端部连接。间隙g14沿着限制部71的径向RD的端面713呈圆环状延伸。

间隙g15是盖11的下表面111与限制部71的上表面712之间的空间。间隙g15为圆板状。间隙g15相对于中心轴AX向径向RD外侧扩展。下表面111与上表面712在轴向AD上对置。

间隙g16沿轴向AD贯通套筒9。也就是，间隙g16是贯通孔。间隙g16例如为圆柱状。间隙g16沿轴向AD延伸。间隙g16连接间隙g11和间隙g13。也就是，间隙g16从间隙g11延伸到间隙g13。

接着，参照图5A及图5B说明实施方式1的轴承制造方法。轴承制造方法通过在工件WK中填充润滑流体FL来制造轴承100。工件WK是指未填充润滑流体FL的状态的轴承100。因此，工件WK由基体1和套筒体3构成。此外，轴承制造方法也可以理解为润滑流体导入方法。

图5A是表示实施方式1的轴承制造方法的填充工序S1的图。图5B是表示实施方式1的轴承制造方法的贮存工序S2的图。此外，在图5A和图5B中，为了容易观察附图，增大填充间隙G1和预备间隙G2，示意性地表示工件WK。

如图5A和图5B所示，轴承制造方法包括填充工序S1和贮存工序S2。轴承制造方法由轴承制造装置200执行。轴承制造装置200的详细情况将于后文叙述。

如图5A所示，首先，在填充工序S1中，轴承制造装置200的润滑流体供给部201向预备间隙G2供给润滑流体FL，由此经由预备间隙G2向填充间隙G1填充润滑流体FL。

接着，在贮存工序S2中，润滑流体供给部201在填充工序S1之后向预备间隙G2供给润滑流体FL，由此在预备间隙G2中积存润滑流体FL。也就是，润滑流体供给部201在向填充间隙G1填充润滑流体FL之后向预备间隙G2供给润滑流体FL，由此在预备间隙G2中积存润滑流体FL。尤其是，在填充工序S1中供给的润滑流体FL的体积V1比填充间隙G1的体积VG1大。也就是，向填充间隙G1填充润滑流体FL时供给的润滑流体FL的体积V1比填充间隙G1的体积VG1大。

因此，在填充工序S1完成而贮存工序S2开始时，工件WK的状态是润滑流体FL已填充到填充间隙G1的整个区域的状态。因此，在贮存工序S2中，不要求向填充间隙G1填充润滑流体FL。也就是，在贮存工序S2中，只要能够将润滑流体FL贮存于预备间隙G2即可。因此，在贮存工序S2中，不要求对配置有工件WK的腔室进行减压。其结果，根据实施方式1，能够削减将润滑流体FL导入工件WK时的工时。在本说明书中，润滑流体FL的导入表示在填充间隙G1填充润滑流体FL，并且在预备间隙G2贮存润滑流体FL。

在此，为了与实施方式1进行对比，说明参考例的轴承制造方法。参考例的轴承制造方法包括第一工序至第六工序。

首先，在第一工序中，使配置有工件WK的腔室从大气压的状态成为真空。接着，在第二工序中，向预备间隙G2供给体积比填充间隙G1的体积小的润滑流体FL。接着，在第三工序中，通过使腔室的内部压力为大气压，将润滑流体FL从预备间隙G2压入填充间隙G1。也就是，通过真空状态的压力与大气压的差压来压入润滑流体FL。在第三工序的结束时刻，未将润滑流体FL填充到填充间隙G1的整个区域。

接着，在第四工序中，使腔室从大气压的状态成为真空。接着，在第五工序中，向预备间隙G2供给润滑流体FL。接着，在第六工序中，通过使腔室的内部压力为大气压，将润滑流体FL从预备间隙G2压入填充间隙G1。也就是，通过真空状态的压力与大气压的差压来压入润滑流体FL。其结果，填充间隙G1的整个区域被润滑流体FL填充。剩余的润滑流体FL残留在预备间隙G2中。

在参考例中，不仅需要第一工序(减压工序)，还需要第四工序(减压工序)，因此向工件WK导入润滑流体FL时的工时变多。在第一工序和第二工序中要求减压的理由是，如果不利用真空状态的压力与大气压的差压，则难以使润滑流体FL填充到填充间隙G1的整个区域。

与此相对，在实施方式1中，由于在填充工序S1中润滑流体FL已填充到填充间隙G1的整个区域，因此在贮存工序S2中，不要求向填充间隙G1填充润滑流体FL。其结果，在贮存工序S2中，不要求减压，能够削减工时。实施方式1的轴承制造方法的详细情况将于后文叙述。

继续参照图5A及图5B，说明向工件WK供给的润滑流体FL的供给量、即向工件WK供给的润滑流体FL的体积。

在填充工序S1中供给的润滑流体FL的体积V1表示填充间隙G1的体积VG1与预定体积α的合计值VS1。预定体积α比预备间隙G2的体积VG2小。

因此，在填充工序S1中，不仅润滑流体FL填充到填充间隙G1的整个区域，而且在预备间隙G2中也残存有预定体积α的润滑流体FL。其结果，在贮存工序S2中，只要能够在预备间隙G2中追加贮存润滑流体FL即可。也就是，在贮存工序S2中，不要求向填充间隙G1填充润滑流体FL。因此，在贮存工序S2中，不要求对配置有工件WK的腔室进行减压。其结果，根据实施方式1，能够缩短用于在预备间隙G2中贮存润滑流体FL的时间。

另外，填充工序S1中的预定体积α和在贮存工序S2中供给的润滑流体FL的体积V2的合计值VS2比预备间隙G2的体积VG2小。因此，在填充工序S1和贮存工序S2中供给的润滑流体FL的合计体积VS3比填充间隙G1的体积VG1和预备间隙G2的体积VG2的合计体积VG12小。其结果，根据实施方式1，能够防止润滑流体FL从预备间隙G2溢出。另外，不需要除去积存在预备间隙G2中的润滑流体FL的作业，能够削减工时。

而且，使用填充间隙G1的体积VG1、预备间隙G2的体积VG2以及贮存比例X，并通过式(1)表示在填充工序S1及贮存工序S2中供给的润滑流体FL的合计体积VS3。贮存比例X表示最终贮存于预备间隙G2的润滑流体FL相对于预备间隙G2的整个区域所占的比例。例如，X％为50％。另外，关于填充间隙G1的体积VG1和预备间隙G2的体积VG2的合计体积VG12，式(2)成立。

VS3＝(VG2×X％)+VG1……(1)

VS3<VG12…(2)

接着，参照图6对实施方式1的轴承制造装置200进行说明。图6是表示轴承制造装置200的示意图。图6所示的轴承制造装置200执行轴承制造方法来制造轴承100。此外，轴承制造装置200也可以理解为润滑流体导入装置。

如图6所示，轴承制造装置200具有润滑流体供给部201、罐203、搅拌器204、腔室205、载物台206、减压泵207、阀Va、阀Vb、阀Vc、阀Vd、配管Pa、配管Pb、配管Pc、配管Pd以及控制装置210。润滑流体供给部201具有供给部201a和调整部201b。

控制装置210控制润滑流体供给部201、减压泵207、阀Va、阀Vb、阀Vc以及阀Vd。控制装置210是计算机。控制装置210具有诸如CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)之类的处理器和存储装置。存储装置存储数据和计算机程序。具体而言，存储装置包括诸如半导体存储器之类的主存储装置和诸如半导体存储器、固态驱动器和/或硬盘驱动器之类的辅助存储装置。存储装置也可以包括可移动介质。存储装置相当于非临时性计算机可读存储介质的一个例子。

配管Pa从减压泵207延伸到腔室205。阀Va配置在配管Pa上。阀Va接受控制装置210的控制，对配管Pa进行开闭。配管Pb从配管Pa分支。配管Pb的一端向大气敞开。阀Vb配置在配管Pb上。阀Vb接受控制装置210的控制，对配管Pb进行开闭。配管Pc从减压泵207延伸到罐203。阀Vc配置在配管Pc上。阀Vc接受控制装置210的控制，对配管Pc进行开闭。配管Pd从配管Pc分支。配管Pd的一端向大气敞开。阀Vd配置在配管Pd上。阀Vd接受控制装置210的控制，对配管Pd进行开闭。

减压泵207接受控制装置210的控制，执行基于排气的减压。减压泵207例如是真空泵。

例如，在阀Va开放配管Pa，阀Vb关闭配管Pb，且阀Vc关闭配管Pc的状态下，减压泵207从腔室205排出空气，由此对腔室205进行减压。在实施方式1中，减压泵207对腔室205进行减压，使腔室205的内部压力从第一压力P1减小至第二压力P2。第一压力P1大于表示真空的压力。第二压力P2小于第一压力P1。在实施方式1中，第一压力P1为大气压。另外，第二压力P2是表示真空的压力。表示真空的压力例如为10Pa。然而，第一压力P1和第二压力P2的值没有特别限制，只要第二压力P2小于第一压力P1即可。

例如，在腔室205被减压的状态下，当阀Va关闭配管Pa，且阀Vb开放配管Pb时，腔室205的内部压力从第二压力P2上升到第一压力P1。也就是，腔室205的内部压力从表示真空的压力变为大气压。

例如，当阀Vc关闭配管Pc，且阀Vd开放配管Pd时，罐203的内部压力被设定为大气压力。在轴承制造装置200执行轴承制造方法的期间，罐203的内部压力被设定为大气压。

腔室205收纳供给部201a、工件WK以及载物台206。腔室205例如是容器。载物台206设置在腔室205的内部。载物台206是具有平坦面的台。工件WK配置在载物台206上。

罐203贮存润滑流体FL。搅拌器204配置在罐203的内部。搅拌器204搅拌润滑流体FL。润滑流体供给部201将贮存在罐203中的润滑流体FL供给到工件WK的预备间隙G2。也就是，润滑流体供给部201将贮存在罐203中的润滑流体FL注入到工件WK的预备间隙G2中。

润滑流体供给部201例如是分配器。另外，润滑流体供给部201例如是使用针阀的空气式的分配器。此外，润滑流体供给部201的方式没有特别限定，例如，润滑流体供给部201也可以是使用压电致动器的喷射式分配器。

具体而言，润滑流体供给部201的调整部201b调整从罐203向供给部201a供给的润滑流体FL的流量。更具体而言，调整部201b调整供给部201a向工件WK供给的润滑流体FL的体积。调整部201b例如是针阀。供给部201a向工件WK供给润滑流体FL。具体而言，供给部201a向预备间隙G2供给润滑流体FL。也就是，供给部201a将润滑流体FL注入到预备间隙G2。供给部201a例如是喷嘴。

接着，参照图6及图7说明实施方式1的轴承制造方法。轴承制造方法由轴承制造装置200执行。图7是表示实施方式1的轴承制造方法的流程图。如图7所示，轴承制造方法包括搬入工序S0、填充工序S1、贮存工序S2以及搬出工序S3。在轴承制造方法中，润滑流体供给部201、减压泵207以及阀Va～Vd接受控制装置210的控制而动作。

在搬入工序S0、填充工序S1、贮存工序S2以及搬出工序S3中，图6所示的阀Vc关闭配管Pc，阀Vd敞开配管Pd。因此，罐203的内部压力被设定为大气压。

如图6及图7所示，首先，在搬入工序S0中，将工件WK搬入腔室205。并且，将工件WK配置在载物台206上。此外，在搬入工序S0中，阀Va关闭配管Pa，阀Vb敞开配管Pb。因此，在搬入工序S0中，腔室205的内部压力被设定为第一压力P1。典型地，第一压力P1是大气压力。

接着，在填充工序S1中，润滑流体供给部201向预备间隙G2(图5A)供给润滑流体FL，由此经由预备间隙G2向填充间隙G1填充润滑流体FL。此外，具体而言，供给部201a向预备间隙G2供给润滑流体FL。

具体而言，填充工序S1包括工序S11、工序S12以及工序S13。

在工序S11中，减压泵207使配置有工件WK(基体1及套筒体3)的腔室205的内部压力减小至比第一压力P1小的第二压力P2。第一压力P1大于表示真空的压力。典型地，第一压力P1是大气压力，第二压力P2是表示真空的压力。此外，在工序S11中，阀Va敞开配管Pa，阀Vb关闭配管Pb，阀Vc关闭配管Pc。

接着，在工序S12中，润滑流体供给部201向预备间隙G2(图5A)供给润滑流体FL。也就是，在工序S11中使腔室205的内部压力减小之后，润滑流体供给部201向预备间隙G2供给润滑流体FL。具体而言，供给部201a向预备间隙G2供给润滑流体FL。此外，在工序S12中，阀Va敞开配管Pa，阀Vb关闭配管Pb，阀Vc关闭配管Pc。

尤其是，在工序S12中供给的润滑流体FL的体积V1大于填充间隙G1(图5A)的体积。具体而言，在工序S12中供给的润滑流体FL的体积V1表示填充间隙G1的体积VG1与预定体积α的合计值VS1。在该情况下，预定体积α比预备间隙G2的体积小。

接着，在工序S13中，阀Vb使腔室205的内部压力从第二压力P2上升到第一压力P1。也就是，在工序S12中向预备间隙G2供给润滑流体FL之后，阀Vb使腔室205的内部压力从第二压力P2上升到第一压力P1。因此，根据实施方式1，通过比第二压力P2大的第一压力P1，能够从预备间隙G2向填充间隙G1(图5A)有效地填充润滑流体FL。也就是，通过第一压力P1与第二压力P2的差压，能够从预备间隙G2向填充间隙G1有效地填充润滑流体FL。此外，在工序S13中，通过在阀Va关闭配管Pa的状态下阀Vb敞开配管Pb，从而使腔室205的内部压力从第二压力P2上升到第一压力P1。

接着，在贮存工序S2中，润滑流体供给部201向预备间隙G2(图5B)供给润滑流体FL，由此在预备间隙G2中积存润滑流体FL。也就是，在贮存工序S2中，在腔室205的内部压力表示第一压力P1(典型地，表示大气压)的状态下，润滑流体供给部201向预备间隙G2供给润滑流体FL。因此，根据实施方式1，在贮存工序S2中无需对腔室205进行减压，能够将润滑流体FL贮存于预备间隙G2。其结果，能够缩短用于在预备间隙G2中贮存润滑流体FL的时间。此外，具体而言，供给部201a向预备间隙G2供给润滑流体FL。

尤其是，在贮存工序S2中，润滑流体供给部201向预备间隙G2供给不超过预备间隙G2的量的润滑流体FL。也就是，工序S12中的预定体积α和在贮存工序S2中供给的润滑流体FL的体积V2的合计值VS2小于预备间隙G2的体积VG2。此外，在贮存工序S2中，阀Vb开放配管Pb，阀Va关闭配管Pa。

通过贮存工序S2的完成而完成向工件WK导入润滑流体FL，由工件WK制造轴承100。

接着，在搬出工序S3中，将制造出的轴承100从腔室205搬出。并且，轴承制造方法结束。此外，在搬出工序S3中，阀Vb敞开配管Pb，阀Va关闭配管Pa。

接着，参照图8，对具有实施方式1的轴承100的风扇300进行说明。图8是表示风扇300的剖视图。如图8所示，风扇300具有马达MT、壳体301以及多个叶片部件303。壳体301收纳马达MT以及多个叶片部件303。作为一个例子，马达MT是外转子型马达。马达MT使多个叶片部件303以中心轴AX为中心旋转。多个叶片部件303沿周向CD排列配置。

具体而言，马达MT具有轴承100、支撑部件302、磁铁MG和多个线圈CL。支撑部件302为圆筒状。支撑部件302支撑多个线圈CL。在支撑部件302的外周面固定有多个线圈CL。另外，支撑部件302的上端部固定于壳体301。而且，在支撑部件302的内部配置有轴承100的套筒体3、限制部件7、轴部53以及筒部55。支撑部件302的内周面固定于套筒9的外周面。支撑部件302与筒部55在径向RD上分离。

磁铁MG为圆环状。磁铁MG固定于轴承100的周壁部57的内周面。磁铁MG与线圈CL在径向RD上分离。

轴承100的基体1和磁铁MG构成马达MT的转子。转子以中心轴AX为中心旋转。另外，轴承100的套筒体3、支撑部件302以及线圈CL构成马达MT的定子。

(实施方式2)

参照图5A、图5B及图9，说明本发明的实施方式2的轴承制造方法及轴承制造装置200A。与实施方式1的主要不同点在于，在实施方式2中，一边沿周向CD改变润滑流体FL的供给位置一边供给润滑流体FL。以下，主要说明实施方式2与实施方式1的不同点。

在实施方式2中，在图5A的填充工序S1及图5B的贮存工序S2中，一边沿周向CD改变润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置，一边向预备间隙G2供给润滑流体FL。因此，根据实施方式2，与将润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置固定的情况相比，能够缩短填充工序S1的执行时间以及贮存工序S2的执行时间。

尤其是在润滑流体供给部201是使用针阀的空气式的分配器的情况下，对缩短润滑流体FL的填充时间及贮存时间是有效的。详细而言，润滑流体FL的粘度比较大。因此，润滑流体FL需要流入预备间隙G2的时间。因此，在固定了润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置的情况下，如果润滑流体FL向预备间隙G2的供给速度(每单位时间的供给量)过大，则存在润滑流体FL从预备间隙G2(筒部55)溢出的情况。因此，在固定润滑流体FL的供给位置的情况下，通过限制润滑流体FL向预备间隙G2的供给速度，来防止润滑流体FL溢出。

与此相对，在实施方式2中，由于一边沿周向CD改变润滑流体FL的供给位置一边向预备间隙G2供给润滑流体FL，因此能够不在某个位置等待润滑流体FL流入预备间隙G2，而在其他位置向预备间隙G2供给润滑流体FL。因此，与固定润滑流体FL的供给位置的情况相比，能够增大润滑流体FL的供给速度。其结果，能够缩短填充工序S1以及贮存工序S2的执行时间。

另外，在实施方式2中，由于一边沿周向CD改变润滑流体FL的供给位置一边向预备间隙G2供给润滑流体FL，因此与固定润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置的情况相比，能够抑制润滑流体FL的飞沫的产生。

尤其是在润滑流体供给部201是使用压电致动器的喷射式的分配器的情况下，对于抑制润滑流体FL的飞沫产生是有效的。详细而言，润滑流体FL的粘度比较大。因此，如果将润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置固定，则润滑流体FL从预备间隙G2中的供给位置扩展到整个预备间隙G2需要时间。其结果，在预备间隙G2中的供给位置，润滑流体FL滞留，流体面变高。若在流体面变高的状态下进一步供给润滑流体FL，则可能产生来自润滑流体FL的流体面的飞沫。因此，通过一边沿周向CD改变润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置一边供给润滑流体FL，能够抑制在流体面变高的状态下进一步供给润滑流体FL。其结果，能够抑制润滑流体FL的飞沫的产生。

在此，在实施方式2中，在沿周向CD改变润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置的情况下，例如有两种方法。在一种方法中，在使工件WK静止的状态下，一边使润滑流体供给部201沿周向CD移动，一边由润滑流体供给部201向预备间隙G2供给润滑流体FL。在另一种方法中，在固定润滑流体供给部201的位置的状态下，一边使工件WK以中心轴AX为中心旋转，一边由润滑流体供给部201向预备间隙G2供给润滑流体FL。此外，关于两种方法中的任一种，具体而言，都由供给部201a向预备间隙G2供给润滑流体FL。

接着，说明一边使工件WK旋转一边供给润滑流体FL的例子。图9是表示实施方式2的轴承制造装置200A的示意图。如图9所示，轴承制造装置200A除了具有图6所示的轴承制造装置200的结构之外，还具有马达208。在填充工序S1以及贮存工序S2中，马达208使工件WK(配置有套筒体3的基体1)以中心轴AX(图1)为中心旋转。因此，在轴承制造装置200A中，与使润滑流体供给部201沿周向CD移动的情况相比，能够通过简单的结构沿周向CD改变润滑流体FL的供给位置。具体而言，在填充工序S1以及贮存工序S2中，马达208通过使载物台206旋转，使工件WK以中心轴AX为中心旋转。

并且，在填充工序S1以及贮存工序S2中，在工件WK(配置有套筒体3的基体1)旋转的状态下，润滑流体供给部201向预备间隙G2(图5A、图5B)供给润滑流体FL。因此，根据实施方式2，与将润滑流体FL的供给位置固定的情况相比，能够缩短润滑流体FL的填充时间及贮存时间。另外，与将润滑流体FL向预备间隙G2的供给位置固定的情况相比，能够抑制润滑流体FL的飞沫的产生。此外，具体而言，供给部201a向预备间隙G2供给润滑流体FL。

(实施方式3)

参照图5A、图5B及图10，说明本发明的实施方式3的轴承制造方法及轴承制造装置200B。与实施方式1的主要不同点在于，在实施方式3中，从多个不同位置供给润滑流体FL。以下，主要说明实施方式3与实施方式1的不同点。

在实施方式3中，在图5A的填充工序S1以及图5B的贮存工序S2中，从周向CD的不同的多个位置向预备间隙G2供给润滑流体FL。因此，根据实施方式3，能够缩短填充工序S1的执行时间以及贮存工序S2的执行时间。

另外，通过减少各位置处的润滑流体FL的供给量，能够抑制润滑流体FL的飞沫的产生。特别是在润滑流体供给部201是使用压电致动器的喷射式的分配器的情况下，对于抑制润滑流体FL的飞沫产生是有效的。此外，由于从多个位置供给润滑流体FL，因此即使在减少各位置处的润滑流体FL的供给量的情况下，供给到预备间隙G2的润滑流体FL的总量也会变多。因此，在这种情况下，能够抑制润滑流体FL的填充时间以及贮存时间变长。

接着，参照图10对实施方式3的轴承制造装置200B进行说明。图10是表示实施方式3的轴承制造装置200B的示意图。如图10所示，轴承制造装置200B具有多个润滑流体供给部201、多个罐203、多个搅拌器204、多个腔室205、多个载物台206、减压泵207、阀Va～Vd、配管Pa～Pd以及控制装置210。多个润滑流体供给部201沿周向CD隔开间隔地配置。在图10的例子中，两个润滑流体供给部201沿周向CD隔开180度的间隔地配置。此外，具体而言，多个供给部201a沿周向CD隔开间隔地配置。

在图5A的填充工序S1以及图5B的贮存工序S2中，多个润滑流体供给部201从周向CD的不同的多个位置向预备间隙G2供给润滑流体FL。因此，根据实施方式3，与配置一个润滑流体供给部201的情况相比，能够缩短润滑流体FL的填充时间以及贮存时间。例如，多个润滑流体供给部201从周向CD的不同的多个位置同时向预备间隙G2供给润滑流体FL。此外，具体而言，多个供给部201a从周向CD的不同的多个位置同时向预备间隙G2供给润滑流体FL。

另外，润滑流体供给部201的个数、罐203的个数、腔室205的个数例如相同。例如，润滑流体供给部201的个数、罐203的个数、腔室205的个数分别为两个以上四个以下。在图10的例子中，润滑流体供给部201的个数、罐203的个数、腔室205的个数分别为两个。

以上，参照附图对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明不限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够以各种方式实施。另外，通过适当组合上述实施方式中公开的多个结构要素，能够形成各种发明。例如，也可以从实施方式所示的全部结构要素中删除几个结构要素。例如，也可以适当组合不同实施方式中的结构要素。为了容易理解，附图以各个结构要素为主体示意地进行了表示，图示的各结构要素的厚度、长度、个数、间隔等根据附图制作的情况有时与实际不同。另外，上述的实施方式所示的各结构要素的材质、形状、尺寸等是一个例子，没有特别限定，在实质上不脱离本发明的效果的范围内能够进行各种变更。

在图4中，作为一个例子，表示了填充间隙G1与预备间隙G2的边界位置BD。但是，边界位置BD没有特别限定，能够通过实验以及/或者经验来确定。例如，将边界位置BD设定于圆环面511的径向RD内侧的端部与径向RD外侧的端部之间的任意位置。例如，也可以将位置PS设定为边界位置BD。另外，预备间隙G2也可以不包括间隙g22而仅包括间隙g21。

另外，在图4中，将填充间隙G1定义为存在于比预备间隙G2更靠径向RD内侧的间隙。该定义表示只要至少与预备间隙G2在径向RD上对置的“填充间隙G1的一部分”存在于比预备间隙G2更靠径向RD内侧即可。因此，在该定义中，在比预备间隙G2更靠轴向AD上侧，填充间隙G1的另一部分也可以不存在于比预备间隙G2更靠径向RD内侧。例如，在比预备间隙G2更靠轴向AD上侧，填充间隙G1的另一部分也可以存在于比预备间隙G2更靠径向RD外侧。此外，与预备间隙G2在径向RD上对置的“填充间隙G1的一部分”例如是间隙g11、g12。

如图8所示，轴承100用作风扇300的马达MT的一部分。但是，轴承100的使用例没有特别限定。例如，轴承100可以用作使硬盘驱动器的磁盘旋转的主轴马达的一部分。

如图7所示，轴承制造方法包括一个贮存工序S2，但也可以包括多个贮存工序S2。在该情况下，在填充工序S1以及多个贮存工序S2中供给的润滑流体FL的合计体积也比填充间隙G1的体积VG1和预备间隙G2的体积VG1的合计体积VG12小。

本发明例如能够用于轴承制造方法以及轴承制造装置。

Claims (10)

1.一种轴承制造方法，用于制造轴承，其特征在于，

上述轴承具有一方能够相对于另一方相对地旋转的基体以及套筒体，

上述基体具有：

基部，其相对于轴承的中心轴向径向外侧扩展；

轴部，其配置于上述套筒体的内部，从上述基部沿轴向延伸；以及

筒状的筒部，其沿周向包围上述套筒体，并从上述基部沿轴向延伸，

在上述套筒体与上述基体之间存在用于填充润滑流体的填充间隙和用于将上述润滑流体作为预备而积存的预备间隙，

上述填充间隙与上述预备间隙相连，

上述预备间隙至少包括上述套筒体与上述筒部的间隙，

上述填充间隙是存在于比上述预备间隙更靠径向内侧的间隙，

上述轴承制造方法包括：

填充工序，通过向上述预备间隙供给上述润滑流体，从而经由上述预备间隙向上述填充间隙填充上述润滑流体；以及

贮存工序，在上述填充工序之后，向上述预备间隙供给上述润滑流体，由此在上述预备间隙积存上述润滑流体，

在上述填充工序中供给的上述润滑流体的体积比上述填充间隙的体积大。

2.根据权利要求1所述的轴承制造方法，其特征在于，

上述填充工序包括：

使配置有上述基体以及上述套筒体的腔室的内部压力减小至比第一压力小的第二压力的工序；

在使上述腔室的内部压力减小之后，向上述预备间隙供给上述润滑流体的工序；以及

上述第一压力比表示真空的压力大，在向上述预备间隙供给上述润滑流体之后，使上述腔室的内部压力从上述第二压力上升至上述第一压力的工序。

3.根据权利要求2所述的轴承制造方法，其特征在于，

在上述贮存工序中，在上述腔室的内部压力表示上述第一压力的状态下，向上述预备间隙供给上述润滑流体。

4.根据权利要求1至3任一项中所述的轴承制造方法，其特征在于，

在上述填充工序中供给的上述润滑流体的体积表示上述填充间隙的体积与预定体积的合计值，

上述预定体积比上述预备间隙的体积小。

5.根据权利要求4所述的轴承制造方法，其特征在于，

上述填充工序中的上述预定体积与上述贮存工序中供给的上述润滑流体的体积的合计值比上述预备间隙的体积小。

6.根据权利要求1至3任一项中所述的轴承制造方法，其特征在于，

在上述填充工序以及上述贮存工序中，一边沿周向改变上述润滑流体向上述预备间隙的供给位置，一边向上述预备间隙供给上述润滑流体。

7.根据权利要求1至3任一项中所述的轴承制造方法，其特征在于，

在上述填充工序以及上述贮存工序中，从周向的不同的多个位置向上述预备间隙供给上述润滑流体。

8.一种轴承制造装置，用于制造轴承，其特征在于，

上述轴承具有一方能够相对于另一方相对地旋转的基体以及套筒体，

上述基体具有：

基部，其相对于轴承的中心轴向径向外侧扩展；

轴部，其配置于上述套筒体的内部，从上述基部沿轴向延伸；以及

筒状的筒部，其沿周向包围上述套筒体，并从上述基部沿轴向延伸，

在上述套筒体与上述基体之间存在用于填充润滑流体的填充间隙和用于将上述润滑流体作为预备而积存的预备间隙，

上述填充间隙与上述预备间隙相连，

上述预备间隙至少包括上述套筒体与上述筒部的间隙，

上述填充间隙是存在于比上述预备间隙更靠径向内侧的间隙，

上述轴承制造装置具有：

罐，其贮存上述润滑流体；以及

润滑流体供给部，其供给贮存于上述罐的上述润滑流体，

上述润滑流体供给部通过向上述预备间隙供给上述润滑流体，从而经由上述预备间隙向上述填充间隙填充上述润滑流体，

在向上述填充间隙填充了上述润滑流体之后，向上述预备间隙供给上述润滑流体，由此在上述预备间隙积存上述润滑流体，

向上述填充间隙填充上述润滑流体时供给的上述润滑流体的体积比上述填充间隙的体积大。

9.根据权利要求8所述的轴承制造装置，其特征在于，

还具有使配置有上述套筒体的上述基体旋转的马达，

在配置有上述套筒体的上述基体旋转的状态下，上述润滑流体供给部向上述预备间隙供给上述润滑流体。

10.根据权利要求8所述的轴承制造装置，其特征在于，

具有多个上述润滑流体供给部，

上述多个润滑流体供给部沿周向隔开间隔地配置。

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