JP2023031124A - X線検査システム、x線検査方法及びプログラム - Google Patents

X線検査システム、x線検査方法及びプログラム Download PDF

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Takeshi Sumikawa
博成 水谷
Hiroshige Mizutani
克巳 宮本
Katsumi Miyamoto
智明 齊藤
Tomoaki Saito
裕信 小林
Hironobu Kobayashi
忠夫 清水
Tadao Shimizu
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Abstract

【課題】X線による非破壊検査を行う際に、画像での診断とともに、X線の検出結果を数値的に評価できるX線検査システムを提供する。【解決手段】検査対象物を透過したX線を受像するX線受像装置と、前記X線受像装置が受像したデータを処理する処理装置と、を備え、前記処理装置は、前記X線受像装置で検出された二次元測定データをディスプレイで表示する表示画像に変換する表示画像生成部と、前記ディスプレイに表示された前記表示画像の上の第1入力点と第2入力点の入力を受け付ける画面入力部と、前記第1入力点と前記第2入力点との間に相当する前記二次元測定データのプロファイル表示画像を作成するプロファイル作成部と、前記プロファイル表示画像を前記ディスプレイに表示するプロファイル表示部と、を備えるX線検査システム。【選択図】図1

Description

本開示は、X線検査システム、X線検査方法及びプログラムに関する。
X線を透過した画像を用いてパイプの溶接部分の欠陥を非破壊で検査する方法が知られている(例えば、特許文献1)。
特開2014-102202号公報
例えば、画像によりパイプの溶接部分の欠陥の有無を判断することはできる。しかしながら、パイプの溶接部分の欠陥をより詳細に診断するためには、X線の具体的な透過量を数値的に評価することが求められる。
本開示は、X線による非破壊検査を行う際に、画像での診断とともに、X線の検出結果を数値的に評価できるX線検査システムを提供することを目的とする。
本開示の一の態様によれば、検査対象物を透過したX線を受像するX線受像装置と、前記X線受像装置が受像したデータを処理する処理装置と、を備え、前記処理装置は、前記X線受像装置で検出された二次元測定データをディスプレイで表示する表示画像に変換する表示画像生成部と、前記ディスプレイに表示された前記表示画像の上の第1入力点と第2入力点の入力を受け付ける画面入力部と、前記第1入力点と前記第2入力点との間に相当する前記二次元測定データのプロファイル表示画像を作成するプロファイル作成部と、前記プロファイル表示画像を前記ディスプレイに表示するプロファイル表示部と、を備えるX線検査システムを提供する。
本開示のX線検査システムによれば、X線による非破壊検査を行う際に、画像での診断とともに、X線の検出結果を数値的に評価できる。
図1は、本実施形態に係るX線検査システムの全体構成を示す図である。 図2は、本実施形態に係るX線検査システムのハードウェア構成を示す図である。 図3は、本実施形態に係るX線検査システムの処理装置の機能構成を示す図である。 図4は、本実施形態に係るX線検査システムの処理について説明するフロー図である。 図5は、本実施形態に係るX線検査システムの画面表示の例について説明する図である。 図6は、本実施形態に係るX線検査システムの画面表示の例について説明する図である。
以下、本発明の各実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、各実施形態に係る明細書及び図面の記載に関して、実質的に同一の又は対応する機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重畳した説明を省略する場合がある。また、理解を容易にするために、図面における各部の縮尺は、実際とは異なる場合がある。
<<X線検査システム1>>
図1は、本実施形態に係るX線検査システム1の全体構成を示す図である。図2は、本実施形態に係るX線検査システム1のハードウェア構成を示す図である。X線検査システム1は、台Taに載置された検査対象物TGにX線を照射して、検査対象物TGの内部の構造を検査するシステムである。
X線検査システム1は、X線照射装置10と、X線受像装置20と、処理装置30と、を備える。X線照射装置10及びX線受像装置20のそれぞれは、地面Gに配置される。X線受像装置20と処理装置30とは、ケーブルC1により接続される。また、X線照射装置10と処理装置30とは、ケーブルC2により接続される。
[X線照射装置10]
X線照射装置10は、X線を発生させ、発生したX線を検査対象物TGに照射する。X線照射装置10は、例えば、X線の発生源としてX線管を備える。X線照射装置10に用いられるX線管は、いわゆる、マイクロフォーカスX線管である。すなわち、X線照射装置10に用いられるX線管の焦点サイズは、数100マイクロメートル程度である。
X線照射装置10は、照射するX線照射出力及びX線照射時間を設定可能となっている。なお、X線照射装置10は、X線照射出力とX線照射時間を変更できる単一のX線源を備えてもよいし、X線照射出力とX線照射時間が異なる複数のX線源を備えてもよい。
X線照射装置10は、X線受像装置20に向けて照射する。具体的には、X線検査システム1の操作者は、X線照射装置10がX線受像装置20に向けて照射するように、X線照射装置10の向きを調整する。X線検査システム1の操作者は、X線照射装置10から照射させるX線の照射範囲RAにX線受像装置20が入るように、X線照射装置10の向きを調整する。
[X線受像装置20]
X線受像装置20は、X線照射装置10から照射されたX線を検出する。X線受像装置20は、検査対象物TGを透過したX線を検出する。X線受像装置20は、平面視略矩形をなすパネル状である。X線受像装置20は、いわゆる、フラットパネル検出器(FPD(Flat Panel Detector))である。X線受像装置20は、X線照射装置10の側の面にX線受像面21を有する。
X線受像装置20は、X線受像面21から順に並んで、X線変換部と、受像部と、を備える。
X線変換部は、X線受像面21から入射したX線を蛍光に変換する。X線変換部は、X線により励起されて蛍光を発するシンチレータを備える。シンチレータは、例えば、タリウム活性化ヨウ化セシウム又はナトリウム活性化ヨウ化セシウム等を含む。X線変換部で変換された蛍光は、受像部に入射する。
受像部は、X線変換部で変換した蛍光を受光して電気信号に変換する。受像部は、例えば、縦方向に4000行及び横方向に4000列の整列された1600万個の画素を備える。各画素は、フォトダイオードと、当該フォトダイオードに接続して、当該フォトダイオードで変換した電気信号を読み出す薄膜トランジスタと、を備える。
後述する処理装置30は、X線受像装置20の受像部で変換された電気信号を、薄膜トランジスタを通して読み出すことにより、二次元のX線測定データを作成する。
二次元のX線測定データは、縦方向及び横方向のそれぞれの座標における、受像部から読み出したカウント値により形成する。
[処理装置30]
(ハードウェア構成)
処理装置30は、X線照射装置10及びX線受像装置20を制御する。また、処理装置30は、X線受像装置20が受像した二次元X線測定データを処理する。処理装置30は、例えば、台Tbの上に載置される。
処理装置30は、いわゆる、パーソナルコンピュータ等のコンピュータである。処理装置30のハードウェアについて、図2を用いて説明する。処理装置30は、CPU(Central Processing Unit)31と、RAM(Random Access Memory)32と、ROM(Read Only Memory)33と、を備える。また、処理装置30は、記憶制御回路34と、外部制御回路35と、表示制御回路36と、を備える。CPU31、RAM32、ROM33、記憶制御回路34、外部制御回路35及び表示制御回路36は、それぞれバスB1により互いに接続される。
CPU31は、ROM33又は記録媒体34m等の記憶装置からプログラム(アプリケーション)をRAM32上に読み出し、処理を実行する演算装置である。
RAM32はプログラム(アプリケーション)等を一時保持する揮発性の半導体メモリ(記憶装置)である。
ROM33は、電源を切ってもプログラム(アプリケーション)及びデータ等を保持することができる不揮発性の半導体メモリ(記憶装置)である。ROM30には、起動時に実行されるBIOS(Basic Input/Output System)などのプログラム、OS(Operating System)設定やネットワーク設定などの各種設定が格納されている。
記憶制御回路34は、記録媒体34mと接続するための制御を行う回路である。処理装置30は、記憶制御回路34を利用して記録媒体34mの読み取り又は書き込みを行う。
記録媒体34mは、例えば、SD(Secure Digital)メモリカード、USB(Universal Serial Bus)メモリ等のメモリカードでもよい。また、記録媒体34mは、例えば、ハードディスクドライブ(HDD(Hard Disk Drive))、ソリッドステートドライブ(SSD(Solid State Drive))等でもよい。
記録媒体34mには、例えば、処理装置30が実行するプログラム(アプリケーション)、OS(Operating System)、設定パラメータ及び測定データ等が格納される。
なお、記録媒体34mは、処理装置30の外部に限らず、内部に備えてもよい。
外部制御回路35は、外部機器と接続するための制御を行う回路である。処理装置30は、外部制御回路35を利用して外部機器との通信等を行う。外部制御回路35には、X線照射装置10、X線受像装置20、マウス41及びキーボード42が接続される。
外部制御回路35は、例えば、USB、I2C(Inter-Integrated Circuit)及びSPI(Serial Peripheral Interface)等のシリアルバスを制御する回路であってもよい。また、外部制御回路35は、例えば、GPIB(General Purpose Interface Bus)及びPCI(Peripheral Component Interconnect)等のパラレルバスを制御する回路であってもよい。
更に、外部制御回路35は、A/D(Analog/Digital)コンバータ及びD/A(Digital/Analog)コンバータの少なくともいずれか一方を備えてもよい。更にまた、外部制御回路35は、電圧入出力又は接点入出力等によるデジタル入出力を備えてもよい。
処理装置30は、外部制御回路35により、X線照射装置10と接続する。処理装置30は、X線照射装置10に対して、例えば、X線照射出力及びX線照射時間を設定する。また、処理装置30は、X線照射装置10に対して、例えば、X線の照射開始を指令する。
また、処理装置30は、外部制御回路35により、X線受像装置20と接続する。処理装置30は、X線受像装置20から、例えば、二次元のX線測定データを受信する。
更に、処理装置30は、外部制御回路35により、マウス41及びキーボード42と接続する。処理装置30は、マウス41及びキーボード42により入力を受け付ける。
表示制御回路36は、外部の表示装置(例えば、ディスプレイ50等。)と接続するための制御を行う回路である。処理装置30は、表示制御回路36を利用して外部の表示装置と接続する。外部制御回路35には、ディスプレイ50が接続される。
処理装置30は、表示制御回路36を介してディスプレイ50に画像を表示させる。
本実施形態に係る処理装置30は、上記に示したハードウェア構成においてプログラム(アプリケーション)を実行することにより後述するような各種処理を実現できる。
(機能構成)
図3は、本実施形態に係るX線検査システム1の処理装置30の機能構成を示す図である。なお、図3に示す機能ブロックのそれぞれは、ROM33又は記録媒体34mの少なくともいずれか一方に保存されるプログラム(アプリケーション)がCPU31により実行されることにより実現される。
処理装置30は、測定実行部30a、データ保存部30b、表示画像生成部30c、データ画像表示部30d、画面入力部30e、座標変換部30f、プロファイル作成部30g及びプロファイル表示部30hを含む。また、処理装置30は、測定データ保存部30m及び表示データ保存部30nを備える。
[測定実行部30a]
測定実行部30aは、X線照射装置10からX線を照射して、X線受像装置20によりX線照射装置10から照射されたX線を検出する処理をX線検査システム1が実行するように制御する。
具体的には、測定実行部30aは、外部制御回路35を介して、X線照射装置10に、X線の照射を開始するように、指令を送る。X線照射装置10は、処理装置30の測定実行部30aからの指令を受けて、X線を照射する。
また、測定実行部30aは、外部制御回路35を介して、X線受像装置20に、X線の検出を開始するように、指令を送る。X線受像装置20は、処理装置30の測定実行部30aからの指令を受けて、X線の検出を開始する。
[データ保存部30b]
データ保存部30bは、X線受像装置20から二次元のX線測定データを受信して、測定データ保存部30mに保存する。X線受像装置20は、縦方向に4000列、横方向に4000行のフォトダイオードが並ぶフラットパネル検出器である。したがって、X線受像装置20で検出されるX線測定データは、4000×4000の二次元配列のデータである。なお、1画素のデータは、それぞれのフォトダイオードで検出されたX線のカウント値である。また、1画素のデータは、例えば、16ビットのデータ長を有する。
データ保存部30bは、X線受像装置20から取得した二次元のX線測定データを受信する。そして、データ保存部30bは、二次元のX線測定データを測定データ保存部30mに保存する。
[表示画像生成部30c]
表示画像生成部30cは、ディスプレイ50に表示するための画像を生成する。表示画像生成部30cは、最初に、二次元のX線測定データから、ディスプレイ50で表示する画像(表示画像)と同じアスペクト比となるように、データを抽出する。例えば、二次元のX線測定データの一部を表示画像と同じアスペクト比になるように抽出してもよい。また、縦方向及び横方向のいずれか一方の方向で全測定データを抽出して、他方の方向でデータが不足する場合には、例えば、黒または白のデータを挿入し、データが余る場合はトリミングしてもよい。
次に、抽出したデータをリサイズする。すなわち、表示する画像と同じ縦方向及び横方向の画素数となるようにリサイズする。リサイズする際には、公知の補間法を用いてもよい。
更に、測定データを表示する画素値に変換する。変換する際には、例えば、コントラストの調整、ガンマ調整等を行ってもよい。
表示画像生成部30cは、生成した表示画像を表示データ保存部30nに保存する。
[データ画像表示部30d]
データ画像表示部30dは、表示画像生成部30cが生成した表示画像をディスプレイ50に表示する。データ画像表示部30dは、表示画像生成部30cが生成した表示画像を表示データ保存部30nから読み出す。そして、データ画像表示部30dは、ディスプレイ50に、表示画像を表示させる。
[画面入力部30e]
画面入力部30eは、ディスプレイ50に表示された表示画像において、表示画像のどの点を選択したか入力を受け付ける。例えば、本実施形態に係るX線検査システム1の操作者は、例えば、マウス41又はキーボード42を用いて、ディスプレイ50に表示された表示画像において、プロファイルを表示させたい部分の2点を指し示す。
具体的には、X線検査システム1の操作者は、表示画像上で、プロファイルを表示させたい部分を示す第1入力座標及び第2入力座標を、マウス41及びキーボード42の少なくともいずれか一方を用いて入力する。
画面入力部30eは、入力された第1入力座標及び第2入力座標を、座標変換部30fに入力する。
[座標変換部30f]
座標変換部30fは、画面入力部30eから入力された表示画像上の座標から、二次元のX線測定データのどのデータ(どの位置)に対応するのか算出する。
座標変換部30fは、画面入力部30eから入力された第1入力座標を、対応する二次元のX線測定データの第1データ座標に変換する。また、座標変換部30fは、画面入力部30eから入力された第2入力座標を、対応する二次元のX線測定データの第2データ座標に変換する。
そして、座標変換部30fは、変換した第1データ座標及び第2データ座標をプロファイル作成部に入力する。
[プロファイル作成部30g]
プロファイル作成部30gは、座標変換部30fにおいて算出された第1データ座標及び第2データ座標を用いて、第1データ座標と第2データ座標との間のプロファイルを作成する。具体的には、プロファイル作成部30gは、第1入力点と第2入力点との間に相当する二次元測定データのプロファイル表示画像を作成する。
プロファイル作成部30gは、第1データ座標の点と第2データ座標の点とを結ぶ直線における二次元のX線測定データ(二次元測定データ)を測定データ保存部30mから取得する。なお、第1データ座標の点と第2データ座標の点とを結ぶ直線における二次元のX線測定データを取得する際には、公知の補間法等を用いる。そして、プロファイル作成部30gは、横軸が第1データ座標の点と第2データ座標の点との間の位置、縦軸がX線測定データ(カウント値)であるグラフであるプロファイル表示画像を作成する。
プロファイル作成部30gは、プロファイル表示画像をプロファイル表示部30hに入力する。
[プロファイル表示部30h]
プロファイル表示部30hは、プロファイル作成部30gから入力されたグラフの画像をディスプレイ50に表示させる。
プロファイル表示部30hは、プロファイル作成部30gが作成したグラフの画像をディスプレイ50に表示する。プロファイル表示部30hは、例えば、表示画像に重畳してグラフの画像を表示してもよいし、表示画像とは別の場所にグラフの画像を表示してもよい。
<X線検査システム1の処理方法>
次に、X線検査システム1を用いたX線検査方法の手順について説明する。図4は、本実施形態に係るX線検査システム1の処理について説明するフロー図である。
(ステップS10)
最初に、X線検査システム1を使用する操作者は、X線検査システム1を使用するための準備作業を行う。具体的には、X線検査システム1を使用する操作者は、X線照射装置10及びX線受像装置20を、測定を行う場所に設置する。また、X線検査システム1を使用する操作者は、X線照射装置10とX線受像装置20との間に、検査対象物TGを設置する。
X線検査システム1を使用する操作者は、X線照射装置10とX線受像装置20とが互いに向かい合うように設置する。X線検査システム1を使用する操作者は、必要に応じて、X線照射装置10の向きを変えて、X線照射装置10から照射されたX線が、X線受像装置20で検出されるように調整する。
(ステップS20)
次に、X線検査システム1を使用する操作者は、X線検査システム1を起動する。そして、例えば、操作者からの指示に基づいて、測定を開始する。処理装置30は、X線照射装置10からX線を照射して、X線受像装置20によりX線照射装置10から照射されたX線を検出する処理をX線検査システム1が実行するように制御する。具体的には、処理装置30の測定実行部30aは、X線照射装置10からX線を照射して、X線受像装置20によりX線照射装置10から照射されたX線を検出する処理をX線検査システム1が実行するように制御する。
(ステップS30)
次に、処理装置30は、X線受像装置20から二次元のX線測定データを受信して、測定データ保存部30mに保存する。具体的には、処理装置30のデータ保存部30bは、X線受像装置20から二次元のX線測定データを受信して、受信したX線測定データを測定データ保存部30mに保存する。
(ステップS40)
次に、処理装置30は、ディスプレイ50に表示するための画像(表示画像)を生成する。具体的には、処理装置30の表示画像生成部30cは、ディスプレイ50に表示するための画像(表示画像)を生成する。表示画像生成部30cは、生成した表示画像を表示データ保存部30nに保存する。
(ステップS50)
次に、処理装置30は、表示画像生成部30cが生成した表示画像をディスプレイ50に表示する。具体的には、処理装置30のデータ画像表示部30dは、表示画像生成部30cが生成した表示画像を、表示データ保存部30nから読み出す。データ画像表示部30dは、表示データ保存部30nから読み出した表示画像をディスプレイ50に表示する。
(ステップS60)
次に、処理装置30は、ディスプレイ50に表示された表示画像において、表示画像のどの点が選択されたか、すなわち、操作者が指し示した表示画像の座標を検出する。具体的には、処理装置30の画面入力部30eは、ディスプレイ50に表示された表示画像において、表示画像のどの点が選択されたか、すなわち、操作者が指し示した表示画像の座標を検出する。より具体的には、画面入力部30eは、操作者が指し示した第1入力座標及び第2入力座標を出力する。
(ステップS70)
次に、処理装置30は、画面入力部30eから入力された表示画像上の座標(第1入力座標及び第2入力座標)から、二次元のX線測定データのどのデータ(どの位置)に対応するのか算出する。具体的には、処理装置30の座標変換部30fは、画面入力部30eから入力された表示画像上の座標(第1入力座標及び第2入力座標)から、二次元のX線測定データのどの座標(第1データ座標及び第2データ座標)のデータに対応するのか算出する。
(ステップS80)
次に、処理装置30は、座標変換部30fにおいて算出された第1データ座標及び第2データ座標を用いて、第1データ座標と第2データ座標との間のプロファイルを作成する。具体的には、処理装置30のプロファイル作成部30gは、第1データ座標と第2データ座標との間の座標におけるカウント値を第1データ座標から順に測定データ保存部30mから読み出す。そして、プロファイル作成部30gは、読み出したカウント値を、第1データ座標のデータから並べることによりプロファイル画像を作成する。
(ステップS90)
次に、処理装置30は、プロファイル作成部30gから入力されたプロファイル画像をディスプレイ50に表示させる。具体的には、処理装置30のプロファイル表示部30hは、プロファイル作成部30gから入力されたプロファイル画像をディスプレイ50に表示させる。
<動作例>
本実施形態に係るX線検査システム1を動作させた例について説明する。図5及び図6は、本実施形態に係るX線検査システム1の画面表示の例について説明する図である。
図5及び図6は、ディスプレイ50の画面DISPに表示された画像を示す。
<画面表示の例1>
図5は、2本の配管を溶接した部分をX線検査システム1で検査した例を示す。2本の配管は、配管の円周方位に沿って溶接される。ウインドウW1には、表示画像生成部30cが生成した表示画像DI1が表示される。
なお、表示画像DI1は、2本の配管の長手方向が表示画像DI1の横方向になるように配置して撮像した画像である。また、表示画像DI1は、溶接部分が表示画像DI1の縦方向になるように斜めから撮像した画像である。溶接部分を斜めから撮像していることから、表示画像DI1の左側の白い縦線の部分は、X線受像装置20に近い側の溶接部分を示している。一方、表示画像DI1の右側の白い縦線の部分は、X線受像装置20に遠い側の溶接部分を示している。
操作者は、表示画像DI1において、プロファイルを見たい部分を画面上で指示する。図5では、画面上の第1入力点CP1及び第2入力点CP2を指定する。第1入力点CP1及び第2入力点CP2を指定すると、第1入力点CP1と第2入力点CP2とをつなぐ線LSが画面上に表示される。
なお、第1入力点CP1の座標が第1入力座標の一例、第2入力点CP2の座標が第2入力座標の一例、である。
表示画像DI1において、第1入力点CP1及び第2入力点CP2が入力されると、画面DISP上にウインドウW2が表示される。ウインドウW2には、線LSに対応するプロファイルのグラフGR(プロファイル画像)が表示される。グラフGRの横軸は、第1入力点CP1から第2入力点CP2までの間の位置を示す。グラフGRの縦軸は、測定データのカウント値を示す。線LPは、第1入力点CP1から第2入力点CP2までのプロファイルを示す。
表示画像DI1は、操作者が見やすいように、元の画像からコントラスト等が補正されている。したがって、例えば、表示画像DI1からプロファイルを作成しても、正しい測定値を表していない場合がある。
本実施形態に係るX線検査システム1は、表示画像DI1からではなく、測定データからプロファイルを作成するので、正しい測定値を表示することができる。また、例えば、傷の深さや配管の厚さを測定するのに、本実施形態に係るX線検査システム1は、正確な測定値(カウント値)を使って評価できる。
<画面表示の例2>
図6は、長手方向に溶接して作成した1本の配管の端部をX線検査システム1で検査した例を示す。ウインドウW3には、表示画像生成部30cが生成した表示画像DI2が表示される。
なお、表示画像DI2は、配管の長手方向が表示画像DI2の縦方向になるように配置して撮像した画像である。また、表示画像DI2は、溶接部分がX線受像装置20に近い側になるように配置して撮像した画像である。
操作者は、表示画像DI2において、プロファイルを見たい部分を画面上で指示する。図6では、画面上の第1入力点CP1及び第2入力点CP2を指定する。第1入力点CP1及び第2入力点CP2を指定すると、第1入力点CP1と第2入力点CP2とをつなぐ線LSが画面上に表示される。
なお、第1入力点CP1の座標が第1入力座標の一例、第2入力点CP2の座標が第2入力座標の一例、である。
表示画像DI2において、第1入力点CP1及び第2入力点CP2が入力されると、画面DISP上にウインドウW4が表示される。ウインドウW4には、線LSに対応するプロファイルのグラフGRが表示される。グラフGRの横軸は、第1入力点CP1から第2入力点CP2までの間の位置を示す。グラフGRの縦軸は、測定データのカウント値を示す。線LPは、第1入力点CP1から第2入力点CP2までのプロファイルを示す。
本実施形態に係るX線検査システム1は、表示画像DI2からではなく、測定データからプロファイルを作成するので、正しい測定値を表示することができる。また、例えば、傷の深さや配管の厚さを測定するのに、本実施形態に係るX線検査システム1は、正確な測定値(カウント値)を使って評価できる。
<作用・効果>
本実施形態に係るX線検査システムによれば、X線による非破壊検査を行う際に、画像での診断とともに、X線の検出結果を数値的に評価できる。
本実施形態に係るX線検査システム1は、表示画像で指し示した点に基づいて、測定データからプロファイルを作成するので、正しい測定値を表示することができる。また、例えば、傷の深さや配管の厚さを測定するのに、本実施形態に係るX線検査システム1は、正確な測定値(カウント値)を使って評価できる。
一方、例えば、表示画像からプロファイルを作成すると、表示画像は操作者が見やすいように、元の画像からコントラスト等が補正されてため、正しい測定値を表していない場合がある。本実施形態に係るX線検査システム1によれば、正確なプロファイルを表示できる。
<変形例>
本実施形態に係るX線検査システム1は、処理装置30とディスプレイ50が別体になっていたが、例えば、処理装置30とディスプレイ50が一体になっていてもよい。例えば、処理装置30及びディスプレイ50として、処理装置30及びディスプレイ50が一体になったノートパソコン及びタブレット端末のいずれかを用いてもよい。
また、本実施形態に係るX線検査システム1は、マウス41及びキーボード42によって入力を行っていたが、例えば、タッチパネルにより入力してもよい。特に、例えば、処理装置30及びディスプレイ50として、処理装置30及びディスプレイ50が一体になったタブレット端末を用いる場合は、タッチパネルにより入力してもよい。
なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
1 X線検査システム
10 X線照射装置
20 X線受像装置
30 処理装置
30a 測定実行部
30b データ保存部
30c 表示画像生成部
30d データ画像表示部
30e 画面入力部
30f 座標変換部
30g プロファイル作成部
30h プロファイル表示部
30m 測定データ保存部
41 マウス
42 キーボード
50 ディスプレイ
TG 検査対象物

Claims (10)

  1. 検査対象物を透過したX線を受像するX線受像装置と、
    前記X線受像装置が受像したデータを処理する処理装置と、
    を備え、
    前記処理装置は、
    前記X線受像装置で検出された二次元測定データをディスプレイで表示する表示画像に変換する表示画像生成部と、
    前記ディスプレイに表示された前記表示画像の上の第1入力点と第2入力点の入力を受け付ける画面入力部と、
    前記第1入力点と前記第2入力点との間に相当する前記二次元測定データのプロファイル表示画像を作成するプロファイル作成部と、
    前記プロファイル表示画像を前記ディスプレイに表示するプロファイル表示部と、
    を備える、
    X線検査システム。
  2. 前記処理装置は、前記第1入力点の前記表示画像における第1入力座標を前記二次元測定データにおける第1データ座標に変換し、前記第2入力点の前記表示画像における第2入力座標を前記二次元測定データにおける第2データ座標に変換する座標変換部を更に備える、
    請求項1に記載のX線検査システム。
  3. 前記プロファイル作成部は、前記第1データ座標と前記第2データ座標との間の前記二次元測定データのデータを用いて前記プロファイル表示画像を作成する、
    請求項2に記載のX線検査システム。
  4. 前記検査対象物に前記X線を照射するX線照射装置を更に備える、
    請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のX線検査システム。
  5. 前記処理装置は、前記X線照射装置から前記X線を照射して、前記X線受像装置で前記X線を検出するように制御する測定実行部を更に備える、
    請求項4に記載のX線検査システム。
  6. 前記処理装置は、前記二次元測定データを保存する測定データ保存部を更に備える、
    請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のX線検査システム。
  7. 前記プロファイル作成部は、前記測定データ保存部に保存された前記二次元測定データを用いて前記プロファイル表示画像を作成する、
    請求項6に記載のX線検査システム。
  8. 前記処理装置は、前記表示画像を保存する表示データ保存部を更に備える、
    請求項4から請求項7のいずれか一項に記載のX線検査システム。
  9. 検査対象物を透過したX線を受像するX線受像装置と、
    前記X線受像装置が受像したデータを処理する処理装置と、
    を備えるX線検査システムを用いたX線検査方法であって、
    前記X線受像装置で検出された二次元測定データをディスプレイで表示する表示画像に変換する手順と、
    前記ディスプレイに表示された前記表示画像の上の第1入力点と第2入力点の入力を受け付ける手順と、
    前記第1入力点と前記第2入力点との間に相当する前記二次元測定データのプロファイル表示画像を作成する手順と、
    前記プロファイル表示画像を前記ディスプレイに表示する手順と、
    を含む、
    X線検査方法。
  10. 検査対象物を透過したX線を受像するX線受像装置と、
    前記X線受像装置が受像したデータを処理する処理装置と、
    を備えるX線検査システムの前記処理装置に、
    前記X線受像装置で検出された二次元測定データをディスプレイで表示する表示画像に変換する機能と、
    前記ディスプレイに表示された前記表示画像の上の第1入力点と第2入力点の入力を受け付ける機能と、
    前記第1入力点と前記第2入力点との間に相当する前記二次元測定データのプロファイル表示画像を作成する機能と、
    前記プロファイル表示画像を前記ディスプレイに表示する機能と、
    を実現させるためのプログラム。
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