JP2023026092A - 発光装置、光電変換装置、電子機器、照明装置および移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光素子の高密度化に有利な技術を提供する。【解決手段】発光装置は、第1基板および第2基板が積層された構造を有する。前記発光装置は、複数の発光素子と、前記複数の発光素子を駆動する駆動回路とを備え、前記駆動回路の一部は前記第1基板に配置され、前記駆動回路の他の一部は前記第2基板に配置されている。【選択図】図1
Description
本発明は、発光装置、光電変換装置、電子機器、照明装置および移動体に関する。
複数の発光素子が配置された基板と該複数の発光素子を駆動する駆動回路が配置された基板とが積層された構造を有する半導体装置が知られている。例えば、特許文献1に記載された半導体装置は、受光素子を駆動する第1トランジスタを含む第1の基板と、発光素子を駆動する第2トランジスタを含む第2の基板とを備えている。ここで、第1の基板は、発光素子及び受光素子と、第1の基板を貫通して第2の基板からの発光素子の駆動信号を伝送する貫通電極とを有する。
複数の発光素子が配置された基板と該複数の発光素子を駆動する駆動回路が配置された基板とが積層された構造によれば、発光素子および駆動回路を微細化することなく高集積化を実現することができる。しかし、駆動回路を1つの基板に集積した構成では、発光素子の高密度化には限界がある。
本発明は、発光素子の高密度化に有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の1つの側面は、第1基板および第2基板が積層された構造を有する発光装置に係り、前記発光装置は、複数の発光素子と、前記複数の発光素子を駆動する駆動回路とを備え、前記駆動回路の一部は前記第1基板に配置され、前記駆動回路の他の一部は前記第2基板に配置されている。
本発明によれば、発光素子の高密度化に有利な技術が提供される。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
図1には、第1実施形態の発光装置の回路構成が模式的に示されている。第1実施形態の発光装置101は、垂直走査回路104、信号出力回路105および制御部110を備えうる。画素アレイ103は、複数の行および複数の列を構成するように配置された複数の画素102を有しうる。以下において、行方向は複数の行に平行な方向であり、列方向は複数の列に平行な方向である。制御部110は、垂直走査回路104および垂直走査制御信号111を制御する制御信号を発生しうる。制御部110は、例えば、垂直走査回路104に対して垂直走査制御信号111を供給し、信号出力回路105に対して信号出力制御信号112および画像データ113を供給しうる。
垂直走査回路104は、行方向に伸びる複数の走査線106を駆動するように構成されうる。垂直走査回路104は、垂直走査制御信号111に従って、各走査線106に対して書き込み制御信号を出力する。なお、書き込み制御信号を出力することは、書き込み制御信号を活性化することを意味する。信号出力回路105は、制御部110から順次に送られてくる画像データ113を信号出力制御信号112に従って取り込みうる。信号出力回路105は、画像データ113をD/A変換することによって、画像データ113の値に応じた輝度信号として電圧信号(以下、Vsig)を生成し、各信号線107に出力する。走査線106と信号線107との各交点には画素102が配され、走査線106および信号線107は、対応する画素102に接続されている。画素102は、それに供給されるVsigの信号レベルに応じた輝度で発光する。なお、図1では水平方向に3列、垂直方向に2行の画素を有する画素アレイ103が例示されているが、画素の数はこの限りではない。以降の図においても、画素数が例示されていても、同様に画素数はその限りではない。
図2には、図1の発光装置101の1つの画素102の回路構成が例示されている。図2に例示されるように、各画素102は、発光素子201、および、発光素子201を駆動する複数の素子を含みうる。各画素102の複数の素子は、単位駆動回路を構成しうる。画素アレイ103を構成する複数の画素102のそれぞれの複数の素子の集合体は、画素アレイ103の複数の発光素子201を駆動する駆動回路を構成するものとして理解されうる。各画素102の複数の素子は、複数の能動素子を含みうる。各画素102の複数の素子は、複数の能動素子と、少なくとも1つの受動素子(例えば、容量素子)とを含んでもよい。一例において、各画素102の複数の素子は、発光素子201を駆動する駆動トランジスタ202と、駆動トランジスタのゲートを含む書込みノードに信号を書き込む書き込みトランジスタ203とを含みうる。
発光装置101は、第1基板11および第2基板12が積層された構造を有しうる。発光装置101は、3以上の基板が積層された構成を有してもよい。発光装置101は、表示装置、例えば、有機EL(Organic Electroluminescent)表示装置として構成されてもよく、この場合においては、発光素子201は、陽極と陰極との間に、発光層を含む有機層を有しうる。有機層は、発光層以外に、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の少なくとも1つを有してもよい。以下では、発光素子201の陽極に駆動トランジスタ202が接続され、全てのトランジスタがP型トランジスタである例を説明するが、本発明の発光装置はこれに限定されない。極性、及び導電性型が全て逆であってもよい。例えば、駆動トランジスタはP型トランジスタであり、他のトランジスタはN型トランジスタであってもよく、適宜、導電性型と極性に合わせて、供給される電位および接続が変更されうる。
具体的な構成例において、駆動トランジスタ202のソース及びドレインの一方(ここではドレイン)は、発光素子201の第1電極(ここでは陽極)に接続されている。駆動トランジスタ202の他方(ここではソース)は、第1電圧ライン(以下、Vdd)204に接続されている。発光素子201の第2電極(ここでは陰極)は、第2電圧ライン(以下、Vss)205に接続されている。
駆動トランジスタ202は、発光素子201を通してVdd204からVss205に電流を流し、これにより発光素子201を発光させる。より具体的には、駆動トランジスタ202は、信号線107を介して書き込みノードに書き込まれた電圧信号Vsigに応じた電流を発光素子201に供給する。これにより、駆動トランジスタ202は、発光素子201を電流駆動することによって発光させる。
書き込みトランジスタ203のソース及びドレインの一方は、駆動トランジスタ202のゲートを含む書込みノードに電気的に接続されうる。書き込みトランジスタ203のソース及びドレインの他方は、信号線107に電気的に接続され、書き込みトランジスタ203のゲートは、走査線106に電気的に接続されうる。
発光素子201は第1基板11の第2面S2に配置され、駆動トランジスタ202は第1基板11に配置され、Vdd204およびVss205は第1配線構造512に配置されうる。他の観点において、発光素子201、駆動トランジスタ202、Vdd204およびVss205は、第1基板11および第1配線構造512からなる第1構造に配置されうる。書き込みトランジスタ203は第2基板12に配置され、走査線106および信号線107は第2配線構造522に配置されうる。他の観点において、書き込みトランジスタ203、走査線106および信号線107は、第2基板12および第2配線構造522からなる第2構造に配置されうる。第1基板11に配置された駆動トランジスタ202のゲートに導電性経路(例えば、配線パターン、プラグ)を介して接合部513が電気的に接続されうる。
第2基板12に配置された書き込みトランジスタ203のソースに導電性経路(例えば、配線パターン、プラグ)を介して接合部523が電気的に接続されうる。接合部513と接合部523とは、相互に接合されうる。この接合は、接合部513、523をそれぞれ銅(Cu)で構成し、Cu-Cu接合とすることができる。しかし、接合の方法はCu-Cu接合に限られない。
書き込みトランジスタ203は、そのゲートに印加される制御信号に応答して導通状態となる。これにより、書き込みトランジスタ203は、信号線107を介して信号出力回路105から供給される表示データに応じた電圧信号Vsigを画素102の書込みノードに書き込むことができる。書込みノードに書き込まれた電圧信号Vsigは、駆動トランジスタ202のゲートに印加される。なお、いずれのトランジスタにおいても、バックゲート電圧はVdd204の電圧でありうる。
発光素子201が有機EL素子で構成される場合において、駆動トランジスタ202を流れる電流は、電圧信号Vsigに依存しうる。この電流によって発光素子201の第1電極(ここでは陽極)と第2電極(ここでは陰極)との間の容量が電圧信号Vsigに応じた電位まで充電され、その電位に応じた電流が発光素子201を流れる。これによって、発光素子201は、電圧信号Vsigに応じた輝度で発光する。
図3には、第1実施形態の発光装置101の1つの画素102の断面構造が模式的に示されている。発光装置101は、第1基板11および第2基板12を積層した構造を有しうる。第1基板11および第2基板12は、半導体基板、例えば、シリコン(Si)で構成されたシリコン基板でありうる。第1基板11は、互いに反対側の面である第1面S1および第2面S2を有し、第2基板12は、互いに反対側の面である第3面S3および第4面S4を有する。第1面S1に接するように第1配線構造512が配置され、第3面S3に接するように第2配線構造522が配置されうる。第1配線構造512と第2配線構造522とが結合されうる。第1基板11の第2面S2の上に複数の発光素子201が配置されうる。駆動トランジスタ202(第1素子)の少なくとも一部は、第1面S1と第1配線構造512との間に配置されうる。書込みトランジスタ203(第2素子)の少なくとも一部は、第3面S3と第2配線構造522との間に配置されうる。
第1配線構造512は、積層された複数の導電性経路(配線パターン、プラグ)510と、複数の導電性経路510を絶縁するように配置された層間絶縁膜511とを含みうる。第2配線構造522は、積層された複数の導電性経路(配線パターン、プラグ)520と、複数の導電性経路520を絶縁するように配置された層間絶縁膜521とを含みうる。導電性経路510、520は、例えば、銅(Cu)、タングステン(W)、アルミニウム(Al)等の配線材料で構成されうる。導電性経路510と導電性経路520とは、接合部513と接合部523とを接合することによってなされうる。接合部513、523は、例えば、Cu-Cu接合により電気的に接続されうる。
第1基板11には、N型ウェル層506が配置されうる。第1基板11と第1配線構造512との間には、駆動トランジスタ202の一部が配置されうる。より具体的には、第1基板11に駆動トランジスタ202のP型拡散領域401、403が配置され、第1基板11の第1面S1に駆動トランジスタ202のゲート402がゲート絶縁膜を介して配置されうる。駆動トランジスタ202は、例えば、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。第2基板12には、N型ウェル層507およびP型半導体層509が配置されうる。第2基板12と第2配線構造522との間には、書き込みトランジスタ203の一部が配置されている。より具体的には、第2基板12に書き込みトランジスタ203のP型拡散領域404、406が配置され、第2基板12の第3面S3に書き込みトランジスタ203のゲート405がゲート絶縁膜を介して配置されうる。書き込みトランジスタ203は、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。第1基板11のP型拡散領域401、403と第2基板12のP型拡散領域404、406とは、濃度および深さの少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。
第1基板11内には、第1基板11を貫通する導電性経路として、例えば導電性プラグ600が配置されうる。一例において、第1基板11に貫通孔が形成され、この貫通孔の中に絶縁膜601を介して導電性プラグ600が配置されうる。導電性プラグ600は、例えば、銅(Cu)、タングステン(W)、アルミニウム(Al)で構成されうる。第1基板11内の画素間の境界には、STI(Shallow Trench Isolation)508が配置されうる。第2基板12内の画素間の境界にも、STI(Shallow Trench Isolation)508が配置されうる。
第1基板11の第2面S2の上には、絶縁膜501が配置されうる。絶縁膜501の上には、発光素子201が配置されうる。発光素子201は、例えば、下部電極502、有機EL膜(発光層)503および上部電極504を含みうる。下部電極502は、金属材料で形成されうる。上部電極504は、光を透過する透明電極で形成されうる。一例においては、下部電極502は陽極であり、上部電極504は陰極であるが、これらは入れ替えられてもよい。発光素子201では、導電性プラグ600を介して伝送されてくる駆動信号に従って発光しうる。
発光装置101は、発光素子201を駆動する駆動トランジスタ202が配置された第1基板11と、書き込みトランジスタ203が配置された第2の基板12とを備えうる。第1基板11の第2面S2には発光素子201が配置され、第1基板11を貫通する導電性プラグ600によって駆動トランジスタ202と発光素子201とが電気的に接続されうる。このような構成によれば、第1基板11および第2基板12の各々においてトランジスタが占有する面積を減らすことができる。よって、第1実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第1実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
図4には、第1実施形態の第1変形例の断面構造が例示されている。第1変形例として言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第1変形例では、第1基板11を貫通する導電性経路として、不純物半導体領域、より具体的には、P型拡散領域602が設けられている。図5には、第1実施形態の第2変形例の断面構造が示されている。第2変形例として言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第2変形例では、第1基板11を貫通する導電性経路として、不純物半導体領域、より具体的には、P型拡散領域602が設けられている。また、第2変形例では、P型拡散領域602を取り囲むように絶縁膜601が設けられている。不純物半導体領域は、N型拡散領域で構成されてもよい。
図6には、第1実施形態の第3変形例の回路構成が例示されている。第3変形例として言及しない事項は、第1実施形態、あるいは、第1または第2変形例に従いうる。第3変形例では、画素アレイ103の各列に対して、列方向に沿って延在する複数の信号線、例えば、2つの信号線107-a、107-bが設けられている。各列に設けられた書込みトランジスタ203と2つの信号線107-a、107-bは、第2配線構造522に配置されうる。このような構成は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、第3変形例は、高精細化に有利であり、また、フレームレートの向上に有利である。
図7には、第2実施形態の発光装置101の画素102の回路構成が例示されている。図8には、第2実施形態の発光装置101の画素102の断面構造が例示されている。第2実施形態として言及しない事項は、第1実施形態またはその変形例に従いうる。第2実施形態では、発光素子201は第1基板11の第2面S2に配置され、書き込みトランジスタ203は第1基板11に配置され、走査線106、信号線107およびVss205は第1配線構造512に配置されうる。他の観点において、発光素子201、書き込みトランジスタ203、走査線106、信号線107およびVss205は、第1基板11および第1配線構造512からなる第1構造に配置されうる。また、第2実施形態では、駆動トランジスタ202は第2基板12に配置され、Vdd204は第2配線構造522に配置されうる。他の観点において、駆動トランジスタ202およびVdd204は、第2基板12および第2配線構造522からなる第2構造に配置されうる。
第2基板12に配置された駆動トランジスタ202のゲート405に導電性経路(例えば、配線パターン、プラグ)を介して接合部523が電気的に接続されうる。第1基板11に配置された書き込みトランジスタ203のソースに導電性経路(例えば、配線パターン、プラグ)を介して接合部513が電気的に接続されうる。接合部513と接合部523とは、相互に接合されうる。この接合は、接合部513、523をそれぞれ銅(Cu)で構成し、Cu-Cu接合とすることができる。しかし、接合の方法はCu-Cu接合に限られない。
第1基板11と第1配線構造512との間には、書き込みトランジスタ203の一部が配置されうる。より具体的には、第1基板11に書き込みトランジスタ203のP型拡散領域401、403が配置され、第1基板11の第1面S1に書き込みトランジスタ203のゲート402がゲート絶縁膜を介して配置されてうる。書き込みトランジスタ203は、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。第2基板12と第2配線構造522との間には、駆動トランジスタ202の一部が配置されうる。より具体的には、第2基板12に駆動トランジスタ202のP型拡散領域404、406が配置され、第2基板12の第3面S3に駆動トランジスタ202のゲート405がゲート絶縁膜を介して配置されうる。駆動トランジスタ202は、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。第1基板11のP型拡散領域401、403と第2基板12のP型拡散領域404、406とは、濃度および深さの少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。
以上のような構成によれば、第1基板11および第2基板12の各々においてトランジスタが占有する面積を減らすことができる。よって、第2実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第2実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
図9には、第2実施形態の変形例の発光装置101の画素102の回路構成が示されている。図10には、第2実施形態の変形例の発光装置101の画素102の断面構造が示されている。この変形例としてとして言及しない事項は、第2実施形態に従いうる。
この変形例では、第2実施形態の駆動トランジスタ202が駆動トランジスタ302で置き換えられている。駆動トランジスタ302は、そのバックゲートがセルフバイスされている。駆動トランジスタ302のソースとバックゲートとは、Vdd204に電気的に接続されている。第2基板12の内部には、N型ウェル層507およびP型半導体層509が配置されうる。N型ウェル層507の内側にはP型半導体領域407が配置され、P型半導体領域407の内側にはN型ウェル層408が配置されうる。N型ウェル層507とN型ウェル層408とは、P型半導体領域407で分離されうる。第2基板12と第2配線構造522との間には、N型ウェル層408を利用した駆動トランジスタ302の一部が配置されうる。より具体的には、第2基板12に駆動トランジスタ302のP型拡散領域404、406が配置され、第2基板12の第3面S3に駆動トランジスタ302のゲート405がゲート絶縁膜を介して配置されうる。駆動トランジスタ302は、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。第1基板11のP型拡散領域401、403と第2基板12のP型拡散領域404、406とは、濃度および深さの少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。
第2実施形態の変形例の発光装置101によれば、第2基板12にバックゲートがセルフバイアスされた駆動トランジスタ302が配置されていることにより、トランジスタの製造ばらつきによる特性ばらつきを抑えることが可能である。これは、発光装置101の複数の画素102の光量のざらつきを抑えるために有利である。
図11には、第3実施形態の発光装置101の1つの画素102の回路構成が例示されている。第3実施形態として言及しない事項は、第1または第2実施形態またはそれらの変形例に従いうる。第3実施形態では、各画素102は、発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、Vdd204、Vss205、発光制御トランジスタ701、第1容量素子702、第2容量素子703を含みうる。また、第3実施形態では、各画素102は、第1走査線106a、第2走査線106b、信号線107を更に含みうる。
発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、第1容量素子702および第2容量素子703は、第1基板11に配置されうる。第1走査線106a、信号線107、Vss205は、第1配線構造512に配置されうる。他の観点において、発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、第1容量素子702、第2容量素子703は、第1走査線106a、信号線107、Vss205は、第1基板11と配線構造512からなる第1構造に配置されうる。発光制御トランジスタ701は第2基板12に配置され、第2走査線106bおよびVdd204は第2配線構造522に配置されうる。他の観点において、発光制御トランジスタ701、第2走査線106bおよびVdd204は、第2基板12および第2配線構造522からなる第2構造に配置されうる。第2基板12に配置された発光制御トランジスタ701のソースと第1基板11に配置された第2容量素子703とは、Cu-Cu接合等の接合を介して電気的に接続されうる。第2基板12に配置された発光制御トランジスタ701のドレインと第1基板11に配置された駆動トランジスタ202のソースとは、Cu-Cu接合等の接合を介して電気的に接続されうる。
発光制御トランジスタ701のソース及びドレインの一方(ここではソース)は、駆動トランジスタ202のソース及びドレインの一方(ここではドレイン)に接続されうる。発光制御トランジスタ701のソース及びドレインの他方は、Vdd204に接続されうる。書き込みトランジスタ203のゲートは、第1走査線106aに接続されうる。発光制御トランジスタ701のゲートは、第2走査線106bに接続されうる。第1容量素子702は、駆動トランジスタ202のゲートとソース(駆動トランジスタ202と発光制御トランジスタ701との接続ノード)とを電気的に接続するように配置されうる。第2容量素子703は、駆動トランジスタ202のソースとVdd204とを電気的に接続するように配置されうる。第1容量素子702および第2容量素子703は、駆動トランジスタ202のソースとゲートとの間の電圧を保持する機能を有する。第1容量素子702および第2容量素子703は、寄生容量またはMIM構造で構成されうる。
発光制御トランジスタ701は、導通状態となることで、Vdd204から駆動トランジスタ202への電流供給を可能にする。これにより、駆動トランジスタ202が発光素子201を駆動し発光素子201を発光させることが可能になる。すなわち、発光制御トランジスタ701は、発光素子201の発光/非発光を制御するトランジスタとして機能する。
第3実施形態では、第1基板11及び第1配線構造512からなる第1構造に発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、第1走査線106a、信号線107、Vss205、第1容量素子702、第2容量素子703が配置される。また、第2基板12及び第2配線構造522からなる第2構造に発光制御トランジスタ701、第2走査線106b、Vdd204が配置される。これにより、第1基板11および第2基板12の各々においてトランジスタが占有する面積を減らすことができる。よって、第3実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第3実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
図12には、第4実施形態の発光装置101の1つの画素102の回路構成が例示されている。第4実施形態として言及しない事項は、第3実施形態に従いうる。第4実施形態では、発光素子201は第1基板11の第2面S2に配置され、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、発光制御トランジスタ701は第1基板11に配置されうる。また、第1走査線106a、第2走査線106b、信号線107、Vdd204、Vss205は第1配線構造512に配置されうる。他の観点において、発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、発光制御トランジスタ701は、第1基板11および第1配線構造512からなる第1構造に配置されうる。また、第1走査線106a、第2走査線106b、信号線107、Vdd204、Vss205、第1容量素子702は、第1基板11および第1配線構造512からなる第1構造に配置されうる。第2容量素子703は、第2基板12に配置されうる。
第4実施形態によれば、第2基板12に第2容量素子703が配置されていることで、第1基板11および第2基板12の各々において素子が占有する面積を減らすことができる。よって、第4実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第4実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
図13には、第5実施形態の発光装置101の1つの画素102の回路構成が例示されている。第5実施形態として言及しない事項は、第3実施形態に従いうる。第5実施形態では、発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、発光制御トランジスタ701、第2容量素子703は、第1基板11に配置されうる。第5実施形態では、第1走査線106a、第2走査線106b、信号線107、Vdd204、Vss205は、第1配線構造512に配置されうる。また、第5実施形態では、第1容量素子702は、第2基板12に配置されうる。よって、第5実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第5実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
図14には、第6実施形態の発光装置101の1つの画素102の回路構成が例示されている。第6実施形態として言及しない事項は、第3実施形態に従いうる。第6実施形態では、各画素102は、発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、Vdd204、Vss205、発光制御トランジスタ701、第1容量素子702、第2容量素子703を含みうる。また、各画素102は、リセットトランジスタ704、第1走査線106a、第2走査線106b、第3走査線106c、信号線107を含みうる。発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、発光制御トランジスタ701、第1容量素子702、第2容量素子703は、第1基板11に配置されうる。第1走査線106a、第2走査線106b、信号線107は、第1配線構造512に配置されうる。リセットトランジスタ704は第2基板12に配置され、第3走査線106cは第2配線構造522に配置されうる。
リセットトランジスタ704のソース及びドレインの一方(図14ではソース)と駆動トランジスタ202のソース及びドレインの一方(ここではドレイン)とは、Cu-Cu接合等の接合を介して電気的に接続されうる。リセットトランジスタ704の他方は、Vss205に電気的に接続されうる。リセットトランジスタ704のゲートは、第3走査線106cに電気的に接続されうる。リセットトランジスタ704は、導通状態となることで、発光素子201の陽極の電圧をVssの電位にリセットする。すなわち、リセットトランジスタ704は、発光素子201の発光/非発光を制御するトランジスタとして機能する。
以上のように、第6実施形態では、発光素子201、駆動トランジスタ202、書き込みトランジスタ203、発光制御トランジスタ701、第1容量素子702、第2容量素子703が第1基板11に配置されうる。また、第1走査線106a、第2走査線106b、信号線107、Vdd204、Vss205が第1配線構造512に配置されうる。また、にリセットトランジスタ704が第2基板12に配置され、第3走査線106c、Vss205が第2配線構造512に配置されうる。これにより、第1基板11および第2基板12の各々において素子が占有する面積を減らすことができる。よって、第6実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第6実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
図15には、第7実施形態の発光装置101の1つの画素102の回路構成が例示されている。図16には、第7実施形態の発光装置101の画素102の断面構造が例示されている。第7実施形態として言及しない事項は、第1乃至第6実施形態または上記の変形例に従いうる。以下では、便宜的に2つの画素102-a、102-bを示しながら説明する。画素102-aは、第1種類の画素の例示であり、画素102-bは、第2種類の画素の例示である。あるいは、画素102-bは、第1種類の画素の例示であり、画素102-aは、第2種類の画素の例示である。第1種類の発光素子および第2種類の発光素子は、互いに異なる色を表現するように構成されている。第1種類の発光素子および第2種類の発光素子は、互いに異なる色のカラーフィルタを有することによって、互いに異なる色を表現するように構成されうる。あるいは、第1種類の発光素子および第2種類の発光素子は、有機層が互いに異なる帯域の光を発生することによって、互いに異なる色を表現するように構成されうる。第1種類の発光素子および第2種類の発光素子は、互いに隣り合うように配置されうる。
前述のように、画素アレイ103を構成する複数の画素102の各々は、発光素子201、および、発光素子201を駆動する複数の素子を含みうる。各画素102の複数の素子は、単位駆動回路を構成しうる。画素アレイ103を構成する複数の画素102のそれぞれの複数の素子の集合体は、画素アレイ103の複数の発光素子201を駆動する駆動回路を構成するものとして理解されてよい。複数の発光素子201は、複数の第1種類の発光素子と、複数の第2種類の発光素子とを含むものと理解されてよい。画素アレイ103の複数の発光素子201を駆動する駆動回路は、複数の第1種類の発光素子をそれぞれ駆動する複数の第1駆動回路と、複数の第2種類の発光素子をそれぞれ駆動する複数の第2駆動回路とを含むものと理解されてよい。複数の第1駆動回路の各々の少なくとも一部は第2基板12に配置され、複数の第2駆動回路の各々の少なくとも一部は第1基板11に配置されうる。
第1画素102-aは、第1種類の発光素子201-a、Vss205、駆動トランジスタ202-a、書き込みトランジスタ203-a、第1走査線1061、信号線107-a、Vdd204を含む。駆動トランジスタ202-aおよび書き込みトランジスタ203-aは、第1種類の発光素子201を駆動する第1駆動回路を構成する。第1種類の発光素子201-aは第1基板11の第2面S2に配置され、Vss205は第1配線構造512に配置される。他の観点において、第1種類の発光素子201-aおよびVss205は、第1基板11および第1配線構造512からなる第1構造に配置される。駆動トランジスタ202-aおよび書き込みトランジスタ203-aは第2基板12に配置され、第1走査線1061、信号線107-aおよびVdd204は、第2配線構造522に配置されうる。他の観点において、駆動トランジスタ202-a、書き込みトランジスタ203-a、第1走査線1061、信号線107-aおよびVdd204は、第2基板12および第2配線構造522からなる第2構造に配置されうる。駆動トランジスタ202-aは、発光素子201-aの輝度の高さを決めるトランジスタ、発光素子201-aに流れる電流を制御するトランジスタ、あるいは、発光素子201-aの電極に直接接続されているトランジスタとして理解されてもよい。
第2画素102-bは、第2種類の発光素子201-b、Vss205、駆動トランジスタ202-b、書き込みトランジスタ203-b、第2走査線1062、信号線107-b、Vdd204を含む。駆動トランジスタ202-bおよび書き込みトランジスタ203-bは、第2種類の発光素子201-bを駆動する第2駆動回路を構成する。第2種類の発光素子201-bは第1基板11の第2面S2に配置され、駆動トランジスタ202-bおよび書き込みトランジスタ203-bは第2基板12に配置されうる。Vss205、第1走査線1061、信号線107-bおよびVdd204は第1配線構造512に配置されうる。他の観点では、第2種類の発光素子201-b、Vss205、駆動トランジスタ202-b、書き込みトランジスタ203-b、第2走査線1062、信号線107-b、Vdd204は、第1基板11および第1配線構造512からなる第1構造に配置されうる。駆動トランジスタ202-bは、発光素子201-bの輝度の高さを決めるトランジスタ、発光素子201-bに流れる電流を制御するトランジスタ、あるいは、発光素子201-bの電極に直接接続されているトランジスタとして理解されてもよい。
第1基板11の内部には、N型ウェル層506が配置されうる。第1基板11と第1配線構造512との間には、駆動トランジスタ202-bおよび書き込みトランジスタ203-bのそれぞれの一部が配置されている。なお、図16には、書き込みトランジスタ203-bは示されていない。第1基板11に駆動トランジスタ202-bのP型拡散領域401、403が配置され、第1基板11の第1面S1に駆動トランジスタ202-bのゲート402がゲート絶縁膜を介して配置されている。駆動トランジスタ202-bおよび書き込みトランジスタ203-bは、例えば、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。
第2基板12には、N型ウェル層507およびP型半導体層509が配置されうる。第2基板12と第2配線構造522との間には、駆動トランジスタ202-aおよび書き込みトランジスタ203-aのそれぞれの一部が配置されている。なお、図16には、書き込みトランジスタ203-aは示されていない。第2基板12に駆動トランジスタ202-aのP型拡散領域404、406が配置され、第2基板12の第3面S3に駆動トランジスタ202-aのゲート405がゲート絶縁膜を介して配置されている。駆動トランジスタ202-aおよび書き込みトランジスタ203-aは、一般的なCMOSプロセスで形成されうる。第1基板11のP型拡散領域401、403と第2基板12のP型拡散領域404、406とは、濃度および深さの少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。
以上のように、第7実施形態では、第1画素102-aは第1種類の発光素子201-aを駆動する第1駆動回路を有し、第1駆動回路の少なくとも一部は第2基板12に配置される。また、第7実施形態では、第2画素102-bは第2種類の発光素子201-bを駆動する第2駆動回路を有し、第2駆動回路の少なくとも一部は第1基板11に配置される。これにより、第1基板11および第2基板12の各々において素子が占有する面積を減らすことができる。よって、第7実施形態の発光装置101は、各トランジスタのサイズを小さくすることなく、発光素子を高密度で配置するために有利である。また、第7実施形態は、発光装置101が表示装置として具体化される場合には、高精細化に有利である。
以下、上記の発光装置101の適用例を説明する。
上記の発光装置101は、表示装置や照明装置の構成部材として用いることができる。他にも、電子写真方式の画像形成装置の露光光源、液晶表示装置のバックライト、白色光源等の用途がある。
表示装置は、エリアCCD、リニアCCD、メモリーカード等からの画像情報を入力する画像入力部を有し、入力された情報を処理する情報処理部を有し、入力された画像を表示部に表示する画像情報処理装置でもよい。
また、撮像装置やインクジェットプリンタが有する表示部は、タッチパネル機能を有していてもよい。このタッチパネル機能の駆動方式は、赤外線方式でも、静電容量方式でも、抵抗膜方式であっても、電磁誘導方式であってもよく、特に限定されない。また表示装置はマルチファンクションプリンタの表示部に用いられてもよい。
次に、図面を参照しながら1つの適用例に係る表示装置について説明する。
図17は、有機発光素子とこの有機発光素子に接続されるトランジスタとを有する表示装置の例を示す断面模式図である。トランジスタは、能動素子の一例である。トランジスタは薄膜トランジスタ(TFT)であってもよい。
図17(a)は、1つの適用例に係る表示装置の構成要素である画素の一例である。画素は、副画素10を有している。副画素はその発光により、10R、10G、10Bに分けられている。発光色は、発光層から発光される波長で区別されても、副画素から出社する光がカラーフィルタ等により、選択的透過または色変換が行われてもよい。それぞれの副画素は、層間絶縁層1の上に第一電極である反射電極2、反射電極2の端を覆う絶縁層3、第一電極と絶縁層とを覆う有機化合物層4、透明電極5、保護層6、カラーフィルタ7を有している。
層間絶縁層1は、その下層または内部にトランジスタ、容量素子を配されていてよい。トランジスタと第一電極は不図示のコンタクトホール等を介して電気的に接続されていてよい。
絶縁層3は、バンク、画素分離膜とも呼ばれる。第一電極の端を覆っており、第一電極を囲って配されている。絶縁層の配されていない部分が、有機化合物層4と接し、発光領域となる。
有機化合物層4は、正孔注入層41、正孔輸送層42、第一発光層43、第二発光層44、電子輸送層45を有する。
第二電極5は、透明電極であっても、反射電極であっても、半透過電極であってもよい。
保護層6は、有機化合物層に水分が浸透することを低減する。保護層は、一層のように図示されているが、複数層であってよい。層ごとに無機化合物層、有機化合物層があってよい。
カラーフィルタ7は、その色により7R、7G、7Bに分けられる。カラーフィルタは、不図示の平坦化膜上に形成されてよい。また、カラーフィルタ上に不図示の樹脂保護層を有してよい。また、カラーフィルタは、保護層6上に形成されてよい。またはガラス基板等の対向基板上に設けられた後に、貼り合わせられよい。
図17(b)の発光装置101は、有機発光素子26とトランジスタの一例としてTFT18が記載されている。ガラス、シリコン等の基板11とその上部に絶縁層12が設けられている。絶縁層の上には、TFT等の能動素子18が配されており、能動素子のゲート電極13、ゲート絶縁膜14、半導体層15が配置されている。TFT18は、他にも半導体層15とドレイン電極16とソース電極17とで構成されている。TFT18の上部には絶縁膜19が設けられている。絶縁膜に設けられたコンタクトホール20を介して有機発光素子26を構成する陽極21とソース電極17とが接続されている。
なお、有機発光素子26に含まれる電極(陽極、陰極)とTFTに含まれる電極(ソース電極、ドレイン電極)との電気接続の方式は、図17(b)に示される態様に限られるものではない。つまり陽極又は陰極のうちいずれか一方とTFTソース電極またはドレイン電極のいずれか一方とが電気接続されていればよい。TFTは、薄膜トランジスタを指す。
図17(b)の表示装置100では有機化合物層を1つの層の如く図示をしているが、有機化合物層22は、複数層であってもよい。陰極23の上には有機発光素子の劣化を低減するための第一の保護層24や第二の保護層25が設けられている。
図17(b)の表示装置100ではスイッチング素子としてトランジスタを使用しているが、これに代えて他のスイッチング素子として用いてもよい。
また図17(b)の表示装置100に使用されるトランジスタは、単結晶シリコンウエハを用いたトランジスタに限らず、基板の絶縁性表面上に活性層を有する薄膜トランジスタでもよい。活性層として、単結晶シリコン、アモルファスシリコン、微結晶シリコンなどの非単結晶シリコン、インジウム亜鉛酸化物、インジウムガリウム亜鉛酸化物等の非単結晶酸化物半導体が挙げられる。なお、薄膜トランジスタはTFT素子とも呼ばれる。
図17(b)の表示装置100に含まれるトランジスタは、Si基板等の基板内に形成されていてもよい。ここで基板内に形成されるとは、Si基板等の基板自体を加工してトランジスタを作製することを意味する。つまり、基板内にトランジスタを有することは、基板とトランジスタとが一体に形成されていると見ることもできる。
本実施形態に係る有機発光素子はスイッチング素子の一例であるTFTにより発光輝度が制御され、有機発光素子を複数面内に設けることでそれぞれの発光輝度により画像を表示することができる。なお、本実施形態に係るスイッチング素子は、TFTに限られず、低温ポリシリコンで形成されているトランジスタ、Si基板等の基板上に形成されたアクティブマトリクスドライバーであってもよい。基板上とは、その基板内ということもできる。基板内にトランジスタを設けるか、TFTを用いるかは、表示部の大きさによって選択され、例えば0.5インチ程度の大きさであれば、Si基板上に有機発光素子を設けることが好ましい。
図18は、1つの適用例に係る表示装置の一例を表す模式図である。表示装置1000は、上部カバー1001と、下部カバー1009と、の間に、タッチパネル1003、表示パネル1005、フレーム1006、回路基板1007、バッテリー1008、を有してよい。タッチパネル1003および表示パネル1005は、フレキシブルプリント回路FPC1002、1004が接続されている。回路基板1007には、トランジスタがプリントされている。バッテリー1008は、表示装置が携帯機器でなければ、設けなくてもよいし、携帯機器であっても、別の位置に設けてもよい。
表示装置は、赤色、緑色、青色を有するカラーフィルタを有してよい。カラーフィルタは、当該赤色、緑色、青色がデルタ配列で配置されてよい。
表示装置は、携帯端末の表示部に用いられてもよい。その際には、表示機能と操作機能との双方を有してもよい。携帯端末としては、スマートフォン等の携帯電話、タブレット、ヘッドマウントディスプレイ等が挙げられる。
表示装置は、複数のレンズを有する光学部と、当該光学部を通過した光を受光する撮像素子とを有する撮像装置の表示部に用いられてよい。撮像装置は、撮像素子が取得した情報を表示する表示部を有してよい。また、表示部は、撮像装置の外部に露出した表示部であっても、ファインダ内に配置された表示部であってもよい。撮像装置は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラであってよい。
図19(a)は、1つの適用例に係る撮像装置の一例を表す模式図である。撮像装置1100は、ビューファインダ1101、背面ディスプレイ1102、操作部1103、筐体1104を有してよい。ビューファインダ1101は、本実施形態に係る表示装置を有してよい。その場合、表示装置は、撮像する画像のみならず、環境情報、撮像指示等を表示してよい。環境情報には、外光の強度、外光の向き、被写体の動く速度、被写体が遮蔽物に遮蔽される可能性等であってよい。
撮像に好適なタイミングはわずかな時間なので、少しでも早く情報を表示した方がよい。したがって、本発明の有機発光素子を用いた表示装置を用いるのが好ましい。有機発光素子は応答速度が速いからである。有機発光素子を用いた表示装置は、表示速度が求められる、これらの装置、液晶表示装置よりも好適に用いることができる。
撮像装置1100は、不図示の光学部を有する。光学部は複数のレンズを有し、筐体1104内に収容されている撮像素子に結像する。複数のレンズは、その相対位置を調整することで、焦点を調整することができる。この操作を自動で行うこともできる。撮像装置は光電変換装置と呼ばれてもよい。光電変換装置は逐次撮像するのではなく、前画像からの差分を検出する方法、常に記録されている画像から切り出す方法等を撮像の方法として含むことができる。
図19(b)は、1つの適用例に係る電子機器の一例を表す模式図である。電子機器1200は、表示部1201と、操作部1202と、筐体1203を有する。筐体1203には、回路、当該回路を有するプリント基板、バッテリー、通信部、を有してよい。操作部1202は、ボタンであってもよいし、タッチパネル方式の反応部であってもよい。操作部は、指紋を認識してロックの解除等を行う、生体認識部であってもよい。通信部を有する電子機器は通信機器ということもできる。電子機器は、レンズと、撮像素子とを備えることでカメラ機能をさらに有してよい。カメラ機能により撮像された画像が表示部に映される。電子機器としては、スマートフォン、ノートパソコン等があげられる。
図20(a)は、1つの適用例に係る表示装置の一例を表す模式図である。図20(a)は、テレビモニタやPCモニタ等の表示装置である。表示装置1300は、額縁1301を有し表示部1302を有する。表示部1302には、本実施形態に係る発光装置が用いられてよい。
額縁1301と、表示部1302を支える土台1303を有している。土台1303は、図20(a)の形態に限られない。額縁1301の下辺が土台を兼ねてもよい。
また、額縁1301および表示部1302は、曲がっていてもよい。その曲率半径は、5000mm以上6000mm以下であってよい。
図20(b)は、1つの適用例に係る表示装置を表す模式図である。図20(b)の表示装置1310は、折り曲げ可能に構成されており、いわゆるフォルダブルな表示装置である。表示装置1310は、第一表示部1311、第二表示部1312、筐体1313、屈曲点1314を有する。第一表示部1311と第二表示部1312とは、本実施形態に係る発光装置を有してよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、つなぎ目のない1枚の表示装置であってよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、屈曲点で分けることができる。第一表示部1311、第二表示部1312は、それぞれ異なる画像を表示してもよいし、第一および第二表示部とで一つの画像を表示してもよい。
図21(a)は、1つの適用例に係る照明装置を表す模式図である。照明装置1400は、筐体1401と、光源1402と、回路基板1403と、光学フィルム1404と、光拡散部1405と、を有してよい。光源は、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。光学フィルタは光源の演色性を向上させるフィルタであってよい。光拡散部は、ライトアップ等、光源の光を効果的に拡散し、広い範囲に光を届けることができる。光学フィルタ、光拡散部は、照明の光出射側に設けられてよい。必要に応じて、最外部にカバーを設けてもよい。
照明装置は例えば室内を照明する装置である。照明装置は白色、昼白色、その他青から赤のいずれの色を発光するものであってよい。それらを調光する調光回路を有してよい。照明装置は本発明の有機発光素子とそれに接続される電源回路を有してよい。電源回路は、交流電圧を直流電圧に変換する回路である。また、白とは色温度が4200Kで昼白色とは色温度が5000Kである。照明装置はカラーフィルタを有してもよい。
また、本実施形態に係る照明装置は、放熱部を有していてもよい。放熱部は装置内の熱を装置外へ放出するものであり、比熱の高い金属、液体シリコン等が挙げられる。
図21(b)は、1つの適用例に係る移動体の一例である自動車の模式図である。当該自動車は灯具の一例であるテールランプを有する。自動車1500は、テールランプ1501を有し、ブレーキ操作等を行った際に、テールランプを点灯する形態であってよい。
テールランプ1501は、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。テールランプは、有機EL素子を保護する保護部材を有してよい。保護部材はある程度高い強度を有し、透明であれば材料は問わないが、ポリカーボネート等で構成されることが好ましい。ポリカーボネートにフランジカルボン酸誘導体、アクリロニトリル誘導体等を混ぜてよい。
自動車1500は、車体1503、それに取り付けられている窓1502を有してよい。窓は、自動車の前後を確認するための窓でなければ、透明なディスプレイであってもよい。当該透明なディスプレイは、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。この場合、有機発光素子が有する電極等の構成材料は透明な部材で構成される。
本実施形態に係る移動体は、船舶、航空機、ドローン等であってよい。移動体は、機体と当該機体に設けられた灯具を有してよい。灯具は、機体の位置を知らせるための発光をしてよい。灯具は本実施形態に係る有機発光素子を有する。
図22(a)、(b)を参照しての表示装置の適用例について説明する。表示装置は、例えばスマートグラス、HMD、スマートコンタクトのようなウェアラブルデバイスとして装着可能なシステムに適用できる。このような適用例に使用される撮像表示装置は、可視光を光電変換可能な撮像装置と、可視光を発光可能な表示装置とを有する。
図22(a)は、1つの適用例に係る眼鏡1600(スマートグラス)を説明する。眼鏡1600のレンズ1601の表面側に、CMOSセンサやSPADのような撮像装置1602が設けられている。また、レンズ1601の裏面側には、上述した各実施形態の表示装置が設けられている。
眼鏡1600は、制御装置1603をさらに備える。制御装置1603は、撮像装置1602と各実施形態に係る表示装置に電力を供給する電源として機能する。また、制御装置1603は、撮像装置1602と表示装置の動作を制御する。レンズ1601には、撮像装置1602に光を集光するための光学系が形成されている。
図22(b)は、1つの適用例に係る眼鏡1610(スマートグラス)を説明する。眼鏡1610は、制御装置1612を有しており、制御装置1612に、撮像装置1602に相当する撮像装置と、表示装置が搭載される。レンズ1611には、制御装置1612内の撮像装置と、表示装置からの発光を投影するための光学系が形成されており、レンズ1611には画像が投影される。制御装置1612は、撮像装置および表示装置に電力を供給する電源として機能するとともに、撮像装置および表示装置の動作を制御する。制御装置は、装着者の視線を検知する視線検知部を有してもよい。視線の検知は赤外線を用いてよい。赤外発光部は、表示画像を注視しているユーザーの眼球に対して、赤外光を発する。発せられた赤外光の眼球からの反射光を、受光素子を有する撮像部が検出することで眼球の撮像画像が得られる。平面視における赤外発光部から表示部への光を低減する低減手段を有することで、画像品位の低下を低減する。
赤外光の撮像により得られた眼球の撮像画像から表示画像に対するユーザーの視線を検出する。眼球の撮像画像を用いた視線検出には任意の公知の手法が適用できる。一例として、角膜での照射光の反射によるプルキニエ像に基づく視線検出方法を用いることができる。
より具体的には、瞳孔角膜反射法に基づく視線検出処理が行われる。瞳孔角膜反射法を用いて、眼球の撮像画像に含まれる瞳孔の像とプルキニエ像とに基づいて、眼球の向き(回転角度)を表す視線ベクトルが算出されることにより、ユーザーの視線が検出される。
本発明の一実施形態に係る表示装置は、受光素子を有する撮像装置を有し、撮像装置からのユーザーの視線情報に基づいて表示装置の表示画像を制御してよい。
具体的には、表示装置は、視線情報に基づいて、ユーザーが注視する第一の視界領域と、第一の視界領域以外の第二の視界領域とを決定される。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。表示装置の表示領域において、第一の視界領域の表示解像度を第二の視界領域の表示解像度よりも高く制御してよい。つまり、第二の視界領域の解像度を第一の視界領域よりも低くしてよい。
また、表示領域は、第一の表示領域、第一の表示領域とは異なる第二の表示領域とを有し、視線情報に基づいて、第一の表示領域および第二の表示領域から優先度が高い領域を決定される。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。優先度の高い領域の解像度を、優先度が高い領域以外の領域の解像度よりも高く制御してよい。つまり優先度が相対的に低い領域の解像度を低くしてよい。
なお、第一の視界領域や優先度が高い領域の決定には、AIを用いてもよい。AIは、眼球の画像と当該画像の眼球が実際に視ていた方向とを教師データとして、眼球の画像から視線の角度、視線の先の目的物までの距離を推定するよう構成されたモデルであってよい。AIプログラムは、表示装置が有しても、撮像装置が有しても、外部装置が有してもよい。外部装置が有する場合は、通信を介して、表示装置に伝えられる。
視認検知に基づいて表示制御する場合、外部を撮像する撮像装置を更に有するスマートグラスに好ましく適用できる。スマートグラスは、撮像した外部情報をリアルタイムで表示することができる。
以上説明した通り、本実施形態に係る有機発光素子を用いた装置を用いることにより、良好な画質で、長時間表示にも安定な表示が可能になる。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
11:第1基板、12:第2基板、102:画素、201:発光素子、202:駆動トランジスタ、203:書込トランジスタ
Claims (25)
- 第1基板および第2基板が積層された構造を有する発光装置であって、
複数の発光素子と、前記複数の発光素子を駆動する駆動回路とを備え、
前記駆動回路の一部は前記第1基板に配置され、前記駆動回路の他の一部は前記第2基板に配置されている、
ことを特徴とする発光装置。 - 前記駆動回路は、前記複数の発光素子をそれぞれ駆動する複数の単位駆動回路を含み、
前記複数の単位駆動回路の各々は、複数の素子を含み、
前記複数の素子は、前記第1基板に配置された第1素子と、前記第2基板に配置された第2素子とを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。 - 前記第1基板は、互いに反対側の面である第1面および第2面を有し、前記第2基板は、互いに反対側の面である第3面および第4面を有し、
前記第1面に接するように第1配線構造が配置され、前記第3面に接するように第2配線構造が配置され、
前記第1配線構造と前記第2配線構造とが結合され、
前記第2面に前記複数の発光素子が配置され、
前記第1素子の少なくとも一部が前記第1面と前記第1配線構造との間に配置され、
前記第2素子の少なくとも一部が前記第3面と前記第2配線構造との間に配置されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の発光装置。 - 前記第1素子と前記複数の発光素子の1つとを接続するように前記第1基板を貫通する導電性経路が前記第1基板に設けられている、
ことを特徴とする請求項3に記載の発光装置。 - 前記第1基板は貫通孔を有し、前記導電性経路は、前記貫通孔の中に絶縁膜を介して配置された導電性プラグを含む、
ことを特徴とする請求項4に記載の発光装置。 - 前記導電性経路は、前記第1基板を貫通するように配置された不純物半導体領域を含む、
ことを特徴とする請求項4に記載の発光装置。 - 前記不純物半導体領域は、絶縁膜によって取り囲まれている、
ことを特徴とする請求項6に記載の発光装置。 - 前記複数の発光素子、複数の行および複数の列を構成するように配置され、
各列に対して、列方向に沿って延在する複数の信号線が設けられている、
ことを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記第1素子は、前記複数の発光素子の1つを駆動する駆動トランジスタであり、
前記第2素子は、前記駆動トランジスタのゲートを含む書込みノードに信号を書き込む書込みトランジスタである、
ことを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記第2素子は、前記複数の発光素子の1つを駆動する駆動トランジスタであり、
前記第1素子は、前記駆動トランジスタのゲートを含む書込みノードに書き込む書込みトランジスタである、
ことを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記駆動トランジスタは、バックゲートがセルフバイアスされている、
ことを特徴とする請求項9又は10に記載の発光装置。 - 前記複数の素子は、前記複数の発光素子の1つを駆動する駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタのゲートを含む書込みノードに書き込む書込みトランジスタと、電圧ラインと前記駆動トランジスタとの接続を制御するように配置された発光制御トランジスタと、前記駆動トランジスタと前記発光制御トランジスタとの接続ノードと前記駆動トランジスタとを電気的に接続するように配置された第1容量素子と、前記電圧ラインと前記接続ノードとを電気的に接続するように配置された第2容量素子とを備える、
ことを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記第2素子は、前記発光制御トランジスタである、
ことを特徴とする請求項12に記載の発光装置。 - 前記第2素子は、前記第1容量素子または前記第2容量素子である、
ことを特徴とする請求項12に記載の発光装置。 - 前記複数の素子は、前記複数の発光素子の1つと前記駆動トランジスタとの接続ノードの電位をリセットするリセットトランジスタを更に含み、
前記第2素子は、前記リセットトランジスタである、
ことを特徴とする請求項12に記載の発光装置。 - 前記複数の発光素子は、複数の第1種類の発光素子と、複数の第2種類の発光素子とを含み、
前記駆動回路は、前記複数の第1種類の発光素子をそれぞれ駆動する複数の第1駆動回路と、前記複数の第2種類の発光素子をそれぞれ駆動する複数の第2駆動回路とを含み、
前記複数の第1駆動回路の各々の少なくとも一部は前記第2基板に配置され、前記複数の第2駆動回路の各々の少なくとも一部は前記第1基板に配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。 - 前記第1種類の発光素子および前記第2種類の発光素子は、互いに異なる色を表現するように構成されている、
ことを特徴とする請求項16に記載の発光装置。 - 前記第1種類の発光素子および前記第2種類の発光素子は、互いに隣り合うように配置されている、
ことを特徴とする請求項16又は17に記載の発光装置。 - 前記複数の第1駆動回路の各々は、前記第2基板に配置されたトランジスタを含み、前記複数の第2駆動回路の各々は、前記第1基板に配置されたトランジスタを含む、
ことを特徴とする請求項16乃至18のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記複数の第1駆動回路の各々は、前記第2基板に配置され、前記複数の第1種類の発光素子のうちの1つを駆動する駆動トランジスタを含み、前記複数の第2駆動回路の各々は、前記第1基板に配置され、前記複数の第2種類の発光素子のうちの1つを駆動する駆動トランジスタを含む、
ことを特徴とする請求項16乃至18のいずれか1項に記載の発光装置。 - 表示装置として構成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至20のいずれか1項に記載の発光装置。 - 光学部を通過した光を受光する撮像素子と、前記撮像素子が撮像した画像を表示する表示部と、を有し、
前記表示部は、請求項1乃至20のいずれか1項に記載の発光装置を含む、
ことを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1乃至20のいずれか1項に記載の発光装置と、前記発光装置が設けられた筐体と、前記筐体に設けられ、外部と通信する通信部と、を有する、
ことを特徴とする電子機器。 - 請求項1乃至20のいずれか1項に記載の発光装置と、前記発光装置が発する光を透過する光拡散部または光学フィルムと、を有する、
ことを特徴とする照明装置。 - 請求項1乃至20のいずれか1項に記載の発光装置を含む灯具と、前記灯具が設けられた機体と、を有する、
ことを特徴とする移動体。
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