JP2022085287A - 発光装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】発光素子の輝度の変化を低減した発光装置を提供することを目的とする。【解決手段】発光素子および第1トランジスタを含む電流経路と、第2トランジスタと、信号線に接続される第3トランジスタと、を含む画素を備え、前記第2トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方は、前記発光素子の一方のノードと第1の電源とに接続され、前記第3トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方は、前記第1トランジスタのゲート電極に接続され、前記第2トランジスタの前記ソース領域およびドレイン領域の一方を構成する第1導電型の第1拡散領域と、前記第3トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方を構成する第1導電型の第2拡散領域と、の間には、素子分離部が配され、前記第1拡散領域の深さは、前記第2拡散領域の深さよりも深い。【選択図】図4

Description

本発明は、発光装置に関するものである。
素子を流れる電流に応じた輝度で発光するOLED(Organic Light Emitting Diode)素子などの発光素子を含む画素がアレイ状に配された表示装置が知られている。特許文献1には、輝度信号を伝達するためのトランジスタを含む複数のトランジスタにおいて、各トランジスタのドレインを構成する拡散領域の深さが等しい構造が開示されている。
特開2020-64265号公報
特許文献1に記載の構造の場合、画素内に存在する欠陥から発生した電子または正孔が、輝度信号を伝達するためのトランジスタのドレインに流入し、ドレインが保持する信号電圧が変化してしまう。そのため、発光素子に供給する電流量および発光素子の輝度が変化する。
本発明は、輝度信号を伝達するためのトランジスタの拡散領域が保持する信号電圧の変化を低減し、発光素子の輝度の変化を低減した発光装置を提供することを目的とする。
発光素子および第1トランジスタを含む電流経路と、第2トランジスタと、信号線に接続される第3トランジスタと、を含む画素を備え、前記第2トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方は、前記発光素子の一方のノードと第1の電源とに接続され、前記第3トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方は、前記第1トランジスタのゲート電極に接続され、前記第2トランジスタの前記ソース領域およびドレイン領域の一方を構成する第1導電型の第1拡散領域と、前記第3トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方を構成する第1導電型の第2拡散領域と、の間には、素子分離部が配され、前記第1拡散領域の深さは、前記第2拡散領域の深さよりも深い。
発光素子の輝度の変化を低減した発光装置を提供することができる。
実施の形態1に係る発光装置の構成例を示す図 実施の形態1に係る発光装置の画素の構成例を示す回路図 実施の形態1に係る発光装置の画素の構成例を示す概略平面図 実施の形態1に係る発光装置の画素の構成例を示す概略断面図 実施の形態2に係る発光装置の画素の構成例を示す概略断面図 実施の形態3に係る発光装置の構成例を示す図 実施の形態3に係る発光装置の画素の構成例を示す回路図 実施の形態3に係る発光装置の画素の構成例を示す概略平面図 実施の形態3に係る発光装置の画素の構成例を示す概略断面図 実施の形態4に係る発光装置の画素の構成例を示す概略断面図 実施の形態5に係る発光装置の画素の構成例を示す概略断面図 実施の形態6に係る電子機器の具体例を示す図 実施の形態6に係る電子機器の具体例を示す図 実施の形態6に係る電子機器の具体例を示す図 実施の形態6に係る電子機器の具体例を示す図 実施の形態6に係る電子機器の具体例を示す図
以下、図面を参照しながら本実施の形態に係る発光装置について説明する。なお、以下の実施の形態は、いずれも本発明の一例を示すものであり、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態などは、本発明を限定するものではない。また、以下の説明および図面において、複数の図面にわたって共通の構成については、共通の符号を付している。各図面において同じ符号が付されている部分は、説明を省略する場合がある。
以下では、OLED素子の陽極に駆動トランジスタが接続され、トランジスタが全てP型トランジスタである場合について説明するが、本発明の発光装置はこれに限定されない。極性、及び導電型が全て逆であってもよい。また、駆動トランジスタはP型トランジスタであり、他のトランジスタはN型トランジスタであってもよい。適宜、発光装置の画素に含まれる発光素子やトランジスタの導電型や極性に合わせて、供給される電位や接続を変更すれば良い。
本明細書において、単に「不純物濃度」という用語が使われた場合、逆導電型の不純物によって補償された分を差し引いた正味の不純物濃度を意味している。つまり、「不純物濃度」とは、NETドーピング濃度を指す。P型の添加不純物濃度がN型の添加不純物濃度より高い領域はP型半導体領域である。反対に、N型の添加不純物濃度がP型の添加不純物濃度より高い領域はN型半導体領域である。
(実施の形態1)
図1~図4を参照しながら、実施の形態1に係る発光装置101について説明する。図1は、本実施の形態に係る発光装置101を含むアクティブマトリックス型表示装置の構成の概略図である。図1に示すように、発光装置101は、画素アレイ部103と、画素アレイ部103の周辺に配置された駆動部と、を有する。画素アレイ部103は、行列状に2次元配置された複数の画素102を有し、各画素102は、図2に示す発光素子201を有する。発光素子201は、例えば、デバイスに流れる電流値に応じて発光輝度が変化する電流駆動型の電気光学素子を用いる。電気光学素子は、例えば、OLED素子である。以下では、電気光学素子がOLED素子である場合について説明する。発光素子201は、陽極と陰極の電極間に発光層を含む有機層を有する。有機層は、発光層以外に、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の少なくとも1つを有していても良い。
駆動部は、各画素102を駆動するための回路である。駆動部は、例えば、垂直走査回路104、及び信号出力回路105を有する。図1では、画素アレイ部103において、行方向に沿って、第1走査線106と第2走査線107が画素行ごとに配されている。また、列方向に沿って、信号線108が画素列ごとに配されている。
第1走査線106と第2走査線107は、垂直走査回路104において、対応する行の出力端に接続されている。また、信号線108は、信号出力回路105の対応する列の出力端に接続されている。
垂直走査回路104は、クロックパルスに同期してスタートパルスを順にシフトするシフトレジスタ等により構成されている。垂直走査回路104は、画素アレイ部103の各画素102への映像信号の書き込み時において、第1走査線106に書き込み制御信号を供給する。また、非発光期間において、第2走査線107にリセット信号を供給する。
信号出力回路105は、外部から供給される輝度情報に応じた映像信号の応じた信号電圧(輝度信号)を出力する。出力された信号電圧は、信号線108を介して、対応する画素102に供給される。
なお、駆動部は、画素アレイ部103の周辺に配されている必要はない。例えば、画素アレイ部103を第1の基板に配し、駆動部の少なくとも一部を第2の基板に配し、第1の基板と第2の基板とが積層されていてもよい。
本明細書において、発光装置101が、白黒表示対応の表示装置の場合は、白黒画像を形成する単位となる1つの画素が画素102に相当する。一方で、発光装置101がカラー表示対応の表示装置の場合は、カラー画像を形成する単位となる1つの画素は複数の副画素(サブピクセル)から構成され、副画素が画素102に相当する。より具体的には、カラー表示対応の表示装置では、1つの画素は、例えば、赤色(R)光を発光する副画素、緑色(G)光を発光する副画素、青色(B)光を発光する副画素の3つの副画素から構成される。
ただし、1つの画素としては、RGBの3原色の副画素の組み合わせに限られるものではない。すなわち、3原色の副画素にさらに1色あるいは複数色の副画素を加えて1つの画素を構成するようにすることも可能である。より具体的には、例えば、輝度向上のために白色(W)光を発光する副画素を加えて1つの画素を構成したり、色再現範囲を拡大するために補色光を発光する少なくとも1つの副画素を加えて1つの画素を構成したりすることも可能である。
図2は、図1の発光装置101が有する画素102の構成例を示す回路図である。図2に示すように、画素102は、例えば、発光素子201として機能するOLED素子と、発光素子201を駆動する駆動回路とによって構成されている。発光素子201、駆動トランジスタ202(第1トランジスタ)、および書込トランジスタ203(第3トランジスタ)を備える。画素102はさらに、発光素子201の発光と非発光とを制御するスイッチングトランジスタ204(第2トランジスタ)、および第1容量素子205を有する。スイッチングトランジスタ204は、発光素子201の2つの端子(アノードとカソード)の間を短絡するためのトランジスタである。
ここで、トランジスタや容量素子の総数や、トランジスタの導電型の組み合わせに関しては、あくまで一例に過ぎず、本構成に限定されるものではない。また、トランジスタや容量素子の総数を複数の画素で同じにしてもよいし、トランジスタや容量素子の総数が異なる画素が発光装置に含まれていてもよい。例えば、発光装置をカラー表示対応の表示装置として用いる場合に、各色に応じて構成を変えてもよい。例えば、青色を発光する副画素における第1容量素子205の容量値を、緑色を発光する副画素における第1容量素子205の容量値よりも大きくしてもよい。また、以下の説明において、素子Aと素子Bとの間にトランジスタが接続されると表現する場合、素子Aにトランジスタの一方の端子(ソース領域またはドレイン領域)が接続され、素子Bにトランジスタの他方の端子が接続される。
次いで、図2を用いて、画素102の具体的な回路構成を説明する。本実施の形態において、発光素子201、駆動トランジスタ202およびスイッチングトランジスタ204を含む電流経路の一端は電源電位Vssに接続され、他端は電源電位Vddに接続される。より具体的には、発光素子201の第1電極(陰極)およびスイッチングトランジスタ204の一方の端子(図2ではドレイン領域)は、電源電位Vssに接続される。そして、発光素子201の陽極およびスイッチングトランジスタ204の他方の端子(図2ではソース領域)は駆動トランジスタ202を介して電源電位Vddに接続される。図2において、電源電位Vddは、電源電位Vssよりも電位が高い。
書込トランジスタ203の一方の端子(図2ではドレイン領域)は、駆動トランジスタ202のゲートに接続され、書込トランジスタ203他方の端子(図2ではソース領域)は、信号線108に接続されている。書込トランジスタ203のゲートは、第1走査線106に接続されている。
スイッチングトランジスタ204の一方の端子(図2ではドレイン領域)は、電源電位Vss207に接続されている。スイッチングトランジスタ204のゲートは、第2走査線107に接続されている。非発光期間において、スイッチングトランジスタ204をオンすることによって、発光素子201の陽極を電源電位Vss207に接続して、発光素子201を非発光状態とすることができる。
第1容量素子205は、駆動トランジスタ202のゲートに接続されるノードとソースのノードとの間に接続されている。第1容量素子205は、寄生容量、およびMIM(Metal-Insulator-Metal)構造の少なくとも一方を有することができる。
駆動トランジスタ202は、電源電位Vdd206から発光素子201へ電流を供給し、発光させる。より具体的には、駆動トランジスタ202は、信号線108が有する信号電圧に応じた電流を発光素子201に供給する。これにより、発光素子201を電流駆動で発光させる。
垂直走査回路104から第1走査線106を通して、書込トランジスタ203のゲートに書込制御信号が共有される。書込トランジスタ203は、書込制御信号に応じて、導通状態と非導通状態とを制御している。書込トランジスタ203は、発光素子201に輝度信号を伝達することができる。書込トランジスタ203を導通状態とすることにより、書込トランジスタ203は、信号線108を介して、信号出力回路105から供給される輝度情報に応じた輝度信号の信号電圧をサンプリングして画素102に書き込む。この書き込まれた信号電圧は、駆動トランジスタ202のゲートに印加される。
発光素子201には、OLED素子が用いられうる。発光素子201の発光時には、信号線108から書込トランジスタ203を介して駆動トランジスタ202のゲートに印加される信号電圧に応じて、駆動トランジスタ202を流れる電流量が変化する。これにより、発光素子201の陽極と陰極との間の容量を所定電位まで充電し、その電位差に応じた電流が流れる。これによって、発光素子201が所定の輝度で発光する。
図3は、複数の画素102の概略平面図である。駆動トランジスタ202は、ゲート電極301、ソース領域またはドレイン領域の一方として機能するP型の拡散領域302、およびソース領域またはドレイン領域の他方として機能するP型の拡散領域303から構成される。図3において、ゲート電極301は、図2の第1容量素子205の一方の端子に接続され、拡散領域303は第1容量素子205の他方の端子に接続される。さらに、拡散領域303は、電源電位Vdd206に接続されている。拡散領域302は、発光素子201の陽極に接続される。
書込トランジスタ203は、ゲート電極304、ソース領域またはドレイン領域の一方として機能するP型の拡散領域305、およびソース領域またはドレイン領域の他方として機能するP型の拡散領域306から構成される。図3では、拡散領域305がドレイン領域として機能し、拡散領域306がソース領域として機能する。拡散領域305は、駆動トランジスタ202のゲート電極301に接続されており、信号電圧を保持する。書込トランジスタ203がOFF状態のとき、書込トランジスタ203のドレイン領域として機能する拡散領域305の電位と駆動トランジスタ202のゲート電極の電位は浮遊状態となる。駆動トランジスタ202のゲート電極301の電位は書込トランジスタ203のドレイン領域として機能する拡散領域305の電位と等電位である。駆動トランジスタ202のゲート電極301の電位は、駆動トランジスタ202のドレイン電流を決定し、発光素子201の輝度を決定する。拡散領域306は信号線108に接続され、ゲート電極304は第1走査線106に接続される。
スイッチングトランジスタ204は、ゲート電極307、ソース領域またはドレイン領域の一方として機能するP型の拡散領域302、およびソース領域またはドレイン領域の他方として機能するP型の拡散領域308から構成される。ゲート電極307は、第2走査線107に接続される。拡散領域302は、駆動トランジスタ202とスイッチングトランジスタ204とで共有されている。しかしながら、これに限られることはなく、駆動トランジスタ202とスイッチングトランジスタ204の拡散領域がそれぞれ独立していてもよい。拡散領域308は、電源電位Vss207に接続されている。また、平面視において、拡散領域308に最も近い拡散領域が拡散領域305である。各ソース領域およびドレイン領域にはコンタクトプラグ309が接続される。
コンタクトプラグ309が接続される領域は、その周辺のソース領域やドレイン領域よりも不純物濃度を高くしてもよい。例えば、ソース領域及びドレイン領域において、コンタクトプラグが接続される部分の不純物濃度が、ウェル402と界面を構成する部分の不純物濃度よりも高くてもよい。
図4は、図3に示されるY1-Y1’間の断面図である。駆動トランジスタ202、書込トランジスタ203、及びスイッチングトランジスタ204は、P型の基板401に設けられたN型のウェル402にそれぞれ配される。素子分離部403は、絶縁体分離、N型の拡散層分離など、適宜用いればよい。絶縁体分離とは、例えば、STI(Shallow Trench Isolation)分離、DTI(Deep Trench Isolation)分離、LOCOS(Local Oxidation Of Silicon)分離である。
図4において、拡散領域305は信号電圧を保持する領域である。拡散領域305は、駆動トランジスタ202のゲート電極301に接続される。上述の通り、拡散領域306は信号線108に接続され、ゲート電極304は第1走査線106に接続される。
駆動トランジスタ202の拡散領域303は、上述の通り、電源電位Vdd206が接続される。スイッチングトランジスタ204の拡散領域308は、電源電位Vss207に接続される。また、ゲート電極307は、第2走査線107に接続される。
図3及び図4に示すように、スイッチングトランジスタ204の拡散領域305と、書込トランジスタ203の拡散領域308との間には素子分離部403が配されている。ここで、ウェル402と素子分離部403の界面の点Aに欠陥が存在する場合、欠陥から発生した正孔は、近傍のP型の拡散領域の周囲に形成される空乏層の電界によって、そのP型の拡散領域内に流入する。例えば、図4に示すように、素子分離部403に対して、左隣に書込トランジスタ、右隣にスイッチングトランジスタが配置される場合を想定する。この場合に、欠陥から発生した正孔は、書込トランジスタの拡散領域やスイッチングトランジスタの拡散領域に流入する。書込トランジスタの拡散領域とスイッチングトランジスタの拡散領域との深さを同じにすると、点Aで発生した正孔が書込トランジスタの拡散領域に流入して、発光素子201の輝度が変わる可能性がある。
ここで、本明細書において、深さ方向は、半導体基板において、トランジスタが配される側の面(第1面)から、第1面に対向する面(第2面)に向かう方向である。
本実施形態では、図4に示すように、信号電圧を保持する書込トランジスタの拡散領域305よりも、駆動トランジスタにおいて電源電位Vss207に接続された拡散領域308の方が、より深い位置まで形成されている。これによって、点Aの欠陥から発生した正孔は、拡散領域308へ流入し易くなり、拡散領域305への流入を低減できる。したがって、書込トランジスタへ流入することを低減でき、信号電圧の変化を低減することができる。したがって、発光素子201の輝度変化を低減できる。なお、駆動トランジスタの拡散領域308は、前述の通り、電源電位Vssに接続されるため、欠陥から発生した正孔が流入しても排出することが可能となる。
拡散領域305の深さは、素子分離部403の深さよりも浅いことが好ましい。これにより、素子分離部403の界面で生じる欠陥から発生した正孔が拡散領域305へと流入しにくくなる。拡散領域308は素子分離部403の深さより深くてもよいが、図4に示すように浅いことが好ましい。
加えて、平面視において、書込トランジスタ203の拡散領域305の最も近い位置に拡散領域308を形成することで、拡散領域305への正孔の流入をさらに抑制することができる。言い換えると、平面視において、拡散領域305の拡散領域308の側の端と、拡散領域308の拡散領域305の側の端との最短距離が、拡散領域305と拡散領域308以外の拡散領域との最短距離よりも短い。これによって、拡散領域305が保持する信号電圧の変化、および発光素子201の輝度変化を低減できる。
本明細書において、「平面視」とは、拡散領域が形成される半導体基板のゲート電極が形成される面に対して垂直な方向から視ることを指す。また、断面とは、半導体基板のゲート電極が形成される面と垂直な方向における面を指す。なお、微視的に見て半導体基板の面が粗面である場合は、巨視的に見たときの半導体基板の面を基準として平面視を定義する。
以上のように、本実施形態によれば、信号電圧の変化を低減して、発光素子201の輝度変化を低減することができる。また、行方向及び列方向に、複数の発光素子201を配置した表示装置においては、輝度むらを低減した高品質な表示を実現することが可能となる。
なお、図1乃至図4では、複数の画素102が行列状に配された発光装置の例を示しているが、画素102が1つの発光装置においても上記と同様の効果を得ることができる。
また、図2及び図3では、1つの画素102内におけるスイッチングトランジスタの拡散領域308と、書込トランジスタ203の拡散領域305とについて言及したが、画素102のレイアウトはこれに限られるものではない。例えば、第1の画素の信号電圧を保持する拡散領域305と、第1の画素とは異なる第2の画素のスイッチングトランジスタ204の拡散領域308とが隣り合って配される場合を想定する。この場合でも、拡散領域308を拡散領域305よりも深い位置まで形成することにより、素子分離部403の欠陥で生じる正孔を拡散領域308へと流入しやすくなり、上記と同様の効果を得ることができる。
(実施の形態2)
図5を参照して、実施の形態2における発光装置の概略断面図を示している。発光装置の平面図は、図3と同様であるため省略する。本実施形態は、スイッチングトランジスタ204のチャネル領域と、駆動トランジスタ202のチャネル領域とが埋込チャネルである点が実施の形態1とは異なる。この点および以下で説明する事項以外は、実施の形態1と実質的に同じであるため説明を省略する。
図5に示すように、書込トランジスタ203は、信号電圧を保持する拡散領域305へのリーク電流を低減するために、表面チャネル型のトランジスタとすることが好ましい。一方で、スイッチングトランジスタ204は、発光素子201を非発光とするときに比較的大きな電流が流れるため、抵抗を少なくすることが好ましく、埋込チャネル型のトランジスタとすることが好ましい。また、駆動トランジスタ202は、各画素間でのトランジスタの特性によるばらつきを低減するために埋込チャネル型のトランジスタとすることが好ましい。このように、本実施形態では、求められるトランジスタの特性に合わせて、埋込チャネル型のトランジスタと、表面チャネル型のトランジスタとを用いている。
スイッチングトランジスタ204を構成する拡散領域302と拡散領域308との間には、拡散領域302のP型の不純物濃度よりも不純物濃度の低いP型の拡散領域310が配されている。拡散領域310は、スイッチングトランジスタ204のゲート電極307の下に配される。また、駆動トランジスタ202を構成する拡散領域302と拡散領域303との間には、拡散領域302のP型の不純物濃度よりも不純物濃度の低いP型の拡散領域311が配されている。拡散領域311は、駆動トランジスタ202のゲート電極301の下に配される。
本実施形態によれば、実施の形態1と同様に、信号電圧の変化を低減して、発光素子201の輝度変化を低減することができる。また、行方向及び列方向に、複数の発光素子201を配置した表示装置においては、輝度むらを低減した高品質な表示を実現することが可能となる。さらに、求められるトランジスタの特性に応じて埋め込みチャネルと表面チャネルとを組み合わせているため、発光装置の特性が低下することを低減することができる。
(実施の形態3)
図6~図9を参照して、実施の形態2における発光装置について説明する。本実施の形態は、画素102が、電源電位Vdd206から駆動トランジスタ202への電流供給を制御するスイッチングトランジスタ601を有する構成である点が実施の形態1とは異なる。この点および以下で説明する事項以外は、実施の形態1と同様であるため説明を省略する。
図6は、本実施の形態に係る発光装置を含むアクティブマトリックス型表示装置の構成の概略図である。図6に示すように、画素アレイ部103において、行方向に沿って第2走査線501が画素行ごとに配されている。第2走査線501は、垂直走査回路104において、対応する行の出力端に接続されており、各画素102へ発光制御信号を供給する。
図7は、図6の発光装置が有する画素102の等価回路図である。図7に示すように、スイッチングトランジスタ601の一方の端子(図7ではドレイン領域)は、駆動トランジスタ202の一方の端子(図7ではソース領域)に接続されている。スイッチングトランジスタ601の他方の端子(図7ではソース領域)は、電源電位Vdd206に接続されている。スイッチングトランジスタ601のゲートは、第2走査線501に接続されている。
駆動トランジスタ202のソース領域と電源電位Vdd206の間には、容量素子602が接続されている。容量素子602は、寄生容量、およびMIM(Metal-Insulator-Metal)構造の少なくとも一方を有することができる。
スイッチングトランジスタ601は、垂直走査回路104から第2走査線501を介して、ゲートに印加される発光制御信号に応じて、導通状態になることで、電源電位Vdd206から駆動トランジスタ202への電流供給を行う。これにより、駆動トランジスタ202による発光素子201への発光が可能になる。すなわち、スイッチングトランジスタ601は、発光素子201の発光・非発光を制御するトランジスタとしての機能を有している。このようにして、スイッチングトランジスタ601のスイッチング動作により、発光素子201の発光期間と非発光期間との割合を制御することができる、いわゆるデューティ制御が可能となる。このデューティ制御により、1フレーム期間に亘って、画素102が発光することに伴う残像ボケを低減でき、特に、動画時における画質を向上することができる。
また、製造時のばらつきにより、駆動トランジスタ202の閾値が、画素毎に異なることがある。この場合、同一の発光色の複数の画素に対して、同一の信号電圧を書き込んだ場合、画素毎に駆動トランジスタ202を流れる電流量が異なり、発光量がばらついてしまう。そこで、信号電圧を書き込む前に、駆動トランジスタ202のゲート-ソース間に閾値を保持させる、いわゆる閾値補正動作を行う。この閾値補正動作により、各画素における駆動トランジスタ202の電流量ばらつきを低減することができ、より均一な発光を実現できる。
閾値補正動作においては、スイッチングトランジスタ601と駆動トランジスタ202を介して、発光素子201に電流を流した後、スイッチングトランジスタ601をオフ状態とする。これにより、駆動トランジスタ202のゲート-ソース間の電圧が静定するまで、発光素子201へ電流が流れ、閾値補正が行われる。
図8は、本実施の形態における画素102の平面図である。スイッチングトランジスタ601は、ゲート電極701、P型の拡散領域702、P型の拡散領域703から構成される。ゲート電極701は、第2走査線501に接続される。拡散領域703は、駆動トランジスタ202と共有化されている。しかしながら、これに限られることはなく、駆動トランジスタ202とスイッチングトランジスタ601の拡散領域がそれぞれ分離されていてもよい。
書込トランジスタ203は、ある画素のスイッチングトランジスタ204と隣り合う画素のスイッチングトランジスタ204との間に配される。言い換えると、スイッチングトランジスタ204が配される活性領域と、書込トランジスタ203が配される活性領域とが千鳥配置となるように各画素が配されている。これにより、画素サイズを小さくすることができる。なお、このような配置とすることは必須ではなく、スイッチングトランジスタ204が配される活性領域と、書込トランジスタ203が配される活性領域とを1列に並べて配置してもよい。また、スイッチングトランジスタ204のゲート電極と書込トランジスタ203のゲート電極とが行方向に並ぶように、スイッチングトランジスタ204が配される活性領域と、書込トランジスタ203が配される活性領域とが配されていてもよい。
拡散領域702は、電源電位Vdd206及び容量素子602の一方の端子に接続される。拡散領域703は、容量素子602の他方の端子に接続される。また、平面視において、拡散領域305に最も近い拡散領域が308となっているが、拡散領域702であっても良い。
図9は、図8に示されるY2-Y2’間の断面図である。本実施の形態においては、スイッチングトランジスタ601がN型のウェル402に配されている。ここで、ウェル402と素子分離部403の界面の点Bに欠陥が存在する場合、欠陥から発生した電子は拡散によってランダムに動き、近傍のP型の拡散領域内に流入する。
本実施の形態では、信号電圧を保持する拡散領域305よりも、電源電位Vdd206に接続された拡散領域702の方が、より深い位置まで形成されている。これによって、点Bの欠陥から発生した電子は、拡散領域305よりも拡散領域702へ流入し易くなり、拡散領域305への流入を抑制できる。また、このような構成によって、拡散領域305が保持する信号電圧の変化、および発光素子201の輝度変化を抑制でき、高品質な表示を実現することが可能となる。さらに、各画素における駆動トランジスタ202の電流量ばらつきを低減することができ、より均一な発光を実現できる。
(実施の形態4)
図10を参照して、実施の形態4における発光装置について説明する。本実施の形態は、拡散領域302が、拡散領域308よりも浅い点が実施の形態3とは異なる。この点および以下で説明する事項以外は、実施の形態1と同様であるため説明を省略する。
図10に示すように、拡散領域302は拡散領域308よりも浅い位置まで配されている。このように拡散領域302を拡散領域308と同じ深さまで形成していない場合であっても、実施の形態3と同様の効果を得ることができる。つまり、拡散領域305が保持する信号電圧の変化、および発光素子201の輝度変化を抑制でき、高品質な表示を実現することが可能となる。さらに、各画素における駆動トランジスタ202の電流量ばらつきを低減することができ、より均一な発光を実現できる。
(実施の形態5)
図11を参照して、実施の形態5における発光装置について説明する。本実施の形態は、各トランジスタが、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有する点が実施の形態3とは異なる。また、書込トランジスタ203のLDD構造を形成する拡散領域313と拡散領域314のうち、拡散領域314の距離d22が拡散領域の距離d21よりも大きい。また、書込トランジスタ203のドレイン領域およびソース領域が、化合物領域315,316を有する。これらの点および以下で説明する事項以外は、実施の形態3と同様であるため説明を省略する。
書込トランジスタにおいて、コンタクトプラグの接続領域には、化合物領域315、316が配されている。化合物領域315は、拡散領域306の一部を金属と反応させたシリサイド領域であり、化合物領域316は、拡散領域305の一部を金属と反応させたシリサイド領域である。他のトランジスタにも同様に化合物領域が配されている。
距離d21は、書込トランジスタ203のソース領域側のLDD領域の電流が流れる方向の長さであり、距離d22は書込トランジスタ203のドレイン領域側のLDD領域の電流が流れる方向の長さである。また、例えば、距離d21は、拡散領域313の拡散領域306の端からトランジスタのチャネルを形成する領域の端までの最短距離である。また、例えば、距離d22は、拡散領域314の拡散領域305の端からトランジスタのチャネルを形成する領域の端までの最短距離である。
距離d23は、書込トランジスタ203の平面視において、ゲート電極304の端から化合物領315の端までの距離であり、距離d24は、ゲート電極304の端から化合物領域316の端までの距離である。
本実施形態においては、拡散領域313のチャネル領域側の端は、チャネル領域の上に配されるゲート電極304の端と一致している。したがって、拡散領域313の長さは、拡散領域313と隣接する拡散領域306の端と、ゲート電極304の端と、の間の平面視における長さである。なお、拡散領域313および拡散領域314はゲート電極304の下側まで形成されていてもよい。この場合でも、拡散領域313、314のうちのゲート電極304の下に配された部分の長さが十分に小さい場合などには、平面視における、拡散領域306の端とゲート電極304の拡散領域313側の端との間の長さを、拡散領域313の長さとみなしてもよい。
図11に示すように、化合物領域316をゲート電極304から離すことが好ましい。また、ゲート電極304の側から順に、P型の不純物濃度の低い領域を配置することが好ましい。図11では、ゲート電極304の側から順に、拡散領域314、拡散領域305、化合物領域316が配されている。これにより、後述するオフリーク電流を低減しやすくなる。
上述の通り、駆動トランジスタ202のゲート電極301の電位は、駆動トランジスタ202のドレイン電流を決定し、発光素子201の輝度を決定する。したがって、書込トランジスタ203のドレイン領域として機能する拡散領域305の電位が変動すると、駆動トランジスタ202のドレイン電流の大きさが変動し、発光素子201の輝度も変動する。そのため、発光素子201の輝度を安定化させるために、書込トランジスタ203のドレイン領域の電位は安定している必要がある。
しかし、OFF状態の書込トランジスタ203においては、ゲート電極304の電位およびウェル402の電位と、ドレイン領域として機能する拡散領域305の電位と、が異なっている。そのため、これらの電位差に起因して、ゲート電極304とドレイン領域として機能する拡散領域305との間、および、ウェル402とドレイン領域として機能する拡散領域305との間、の少なくとも一方に電界が生じる。この電界によってリーク電流(以下、オフリーク電流とも称する)が発生してしまうと、書込トランジスタ203のドレイン領域として機能する拡散領域305の電位が変動し、それに伴って駆動トランジスタ202のゲート電極304の電位が変動してしまう。このリーク電流が大きい場合には、駆動トランジスタ202のゲート電極301の電位は駆動トランジスタ202のソース領域として機能する拡散領域302の電位に近づく。この結果、発光素子201に電流が流れにくくなり、リーク電流が生じた画素102だけ発光が抑制される。リーク電流の大きさによっては発光素子201に電流が流れず、画素102が発光せず表示画像において画素102に相当する部分が黒くなる場合もある。このように、OFF状態の書き込みトランジスタ203においてリーク電流が生じると発光素子201の発光輝度が不安定となり、結果として、発光装置101の発光または表示の品位が低下してしまう。
本実施形態では、書込トランジスタ203のゲート電極304の端から化合物領域316の端までの距離d24が、書込トランジスタ203のゲート電極304の端から化合物領域315の端までの距離d23よりも長い。すなわち、距離d24>距離d23が成り立つ。換言すれば、書込トランジスタ203において、ドレイン領域側の化合物領域からゲート電極までの距離が、書込トランジスタ203のソース領域側の化合物領域からゲート電極までの距離よりも長い。これにより、ドレイン領域として機能する拡散領域305のうち、コンタクトプラグを介して駆動トランジスタ202のゲート電極301に接続されている抵抗率の低い化合物領域316と、ゲート電極304と、の間の物理的距離を大きくすることができる。また、化合物領域316と、ウェル402のうちのゲート電極304の直下に配された部分(すなわち、チャネル領域)と、の間の物理的距離を大きくすることができる。本実施形態ではこの構成によって、書込トランジスタ203のドレイン領域におけるゲート電極304と化合物領域316との間に生じる電界と、チャネル領域と化合物領域316との間に生じる電界を小さくすることができる。より具体的には、書込トランジスタ203のドレイン領域における上記電界を、書込トランジスタ203のソース領域における上記電界よりも小さくすることができる。このように電界を緩和する構成とすることで、書き込みトランジスタ203のドレイン領域におけるオフリーク電流の発生を抑制することができる。これにより、駆動トランジスタ202のゲート電極301の電位を安定化させることができ、発光素子201の発光輝度を安定化させることができる。その結果、発光装置101の発光または表示の品位を向上させることができる。
(実施の形態6)
上記の各実施形態に係る発光装置は、表示装置や照明装置の構成部材として用いることができる。他にも、電子写真方式の画像形成装置の露光光源や液晶表示装置のバックライト、白色光源にカラーフィルタを有する発光装置等の用途がある。
表示装置は、エリアCCD、リニアCCD、メモリーカード等からの画像情報を入力する画像入力部を有し、入力された情報を処理する情報処理部を有し、入力された画像を表示部に表示する画像情報処理装置でもよい。
また、撮像装置やインクジェットプリンタが有する表示部は、タッチパネル機能を有していてもよい。このタッチパネル機能の駆動方式は、赤外線方式でも、静電容量方式でも、抵抗膜方式であっても、電磁誘導方式であってもよく、特に限定されない。また表示装置はマルチファンクションプリンタの表示部に用いられてもよい。
次に、図面を参照しながら本実施形態に係る表示装置について説明する。
図12は、本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。表示装置1000は、上部カバー1001と、下部カバー1009と、の間に、タッチパネル1003、表示パネル1005、フレーム1006、回路基板1007、バッテリー1008、を有してよい。タッチパネル1003および表示パネル1005は、フレキシブルプリント回路FPC1002、1004が接続されている。回路基板1007には、トランジスタが設けられている。バッテリー1008は、表示装置が携帯機器でなければ、設けなくてもよいし、携帯機器であっても、別の位置に設けてもよい。上記のトランジスタ等で表示装置の表示を制御する制御部を構成してよい。制御部は、CPU等を用いた公知の方法を用いることができる。すなわち、本実施形態に係る表示装置は、発光装置と、この発光装置の表示を制御する制御部とを有する。
本実施形態に係る表示装置は、赤色、緑色、青色を有するカラーフィルタを有してよい。カラーフィルタは、当該赤色、緑色、青色がデルタ配列、ストライプ配列で配置されてよい。
本実施形態に係る表示装置は、携帯端末の表示部に用いられてもよい。その際には、表示機能と操作機能との双方を有してもよい。携帯端末としては、スマートフォン等の携帯電話、タブレット、ヘッドマウントディスプレイ等が挙げられる。表示装置に用いられる場合には、拡大光学系とともに用いてよい。
本実施形態に係る表示装置は、複数のレンズを有する光学部と、当該光学部を通過した光を受光する撮像素子とを有する撮像装置の表示部に用いられてよい。撮像装置は、撮像素子が取得した情報を表示する表示部を有してよい。また、表示部は、撮像装置の外部に露出した表示部であっても、ファインダ内に配置された表示部であってもよい。撮像装置は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラであってよい。
図13(a)は、本実施形態に係る撮像装置の一例を表す模式図である。撮像装置1100は、ビューファインダ1101、背面ディスプレイ1102、操作部1103、筐体1104を有してよい。ビューファインダ1101は、本実施形態に係る表示装置を有してよい。その場合、表示装置は、撮像する画像のみならず、環境情報、撮像指示等を表示してよい。環境情報には、外光の強度、外光の向き、被写体の動く速度、被写体が遮蔽物に遮蔽される可能性等であってよい。
撮像に好適なタイミングはわずかな時間なので、少しでも早く情報を表示した方がよい。したがって、本発明の一実施形態に係る発光装置を用いた表示装置の中でも、有機発光装置を用いるのが好ましい。有機発光素子は応答速度が速いからである。有機発光素子を用いた表示装置は、表示速度が求められる、これらの装置、液晶表示装置よりも好適に用いることができる。
撮像装置1100は、不図示の光学部を有する。光学部は複数のレンズを有し、筐体1104内に収容されている撮像素子に結像する。複数のレンズは、その相対位置を調整することで、焦点を調整することができる。この操作を自動で行うこともできる。撮像装置は光電変換装置と呼ばれてもよい。光電変換装置は逐次撮像するのではなく、前画像からの差分を検出する方法、常に記録されている画像から切り出す方法等を撮像の方法として含むことができる。
図13(b)は、本実施形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。電子機器1200は、表示部1201と、操作部1202と、筐体1203を有する。筐体1203には、回路、当該回路を有するプリント基板、バッテリー、通信部、を有してよい。操作部1202は、ボタンであってもよいし、タッチパネル方式の反応部であってもよい。操作部は、指紋を認識してロックの解除等を行う、生体認識部であってもよい。通信部を有する電子機器は通信機器ということもできる。電子機器は、レンズと、撮像素子とを備えることでカメラ機能をさらに有してよい。カメラ機能により撮像された画像が表示部に映される。電子機器としては、スマートフォン、ノートパソコン等があげられる。
図14は、本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。図14(a)は、テレビモニタやPCモニタ等の表示装置である。表示装置1300は、額縁1301を有し表示部1302を有する。表示部1302には、本実施形態に係る発光装置が用いられてよい。
額縁1301と、表示部1302を支える土台1303を有している。土台1303は、図14(a)の形態に限られない。額縁1301の下辺が土台を兼ねてもよい。
また、額縁1301および表示部1302は、曲がっていてもよい。その曲率半径は、5000mm以上6000mm以下であってよい。
図14(b)は本実施形態に係る表示装置の他の例を表す模式図である。図14(b)の表示装置1310は、折り曲げ可能に構成されており、いわゆるフォルダブルな表示装置である。表示装置1310は、第一表示部1311、第二表示部1312、筐体1313、屈曲点1314を有する。第一表示部1311と第二表示部1312とは、本実施形態に係る発光装置を有してよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、つなぎ目のない1枚の表示装置であってよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、屈曲点で分けることができる。第一表示部1311、第二表示部1312は、それぞれ異なる画像を表示してもよいし、第一および第二表示部とで一つの画像を表示してもよい。
図15(a)は、本実施形態に係る照明装置の一例を表す模式図である。照明装置1400は、筐体1401と、光源1402と、回路基板1403と、光学フィルム1404と、光拡散部1405と、を有してよい。光源は、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。光学フィルタは光源の演色性を向上させるフィルタであってよい。光拡散部は、ライトアップ等、光源の光を効果的に拡散し、広い範囲に光を届けることができる。光学フィルタ、光拡散部は、照明の光出射側に設けられてよい。必要に応じて、最外部にカバーを設けてもよい。
照明装置は例えば室内を照明する装置である。照明装置は白色、昼白色、その他青から赤のいずれの色を発光するものであってよい。それらを調光する調光回路を有してよい。照明装置は本発明の有機発光素子とそれに接続される電源回路を有してよい。電源回路は、交流電圧を直流電圧に変換する回路である。また、白とは色温度が4200Kで昼白色とは色温度が5000Kである。照明装置はカラーフィルタを有してもよい。
また、本実施形態に係る照明装置は、放熱部を有していてもよい。放熱部は装置内の熱を装置外へ放出するものであり、比熱の高い金属、液体シリコン等が挙げられる。
図15(b)は、本実施形態に係る移動体の一例である自動車の模式図である。当該自動車は灯具の一例であるテールランプを有する。自動車1500は、テールランプ1501を有し、ブレーキ操作等を行った際に、テールランプを点灯する形態であってよい。
テールランプ1501は、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。テールランプは、OLED素子を保護する保護部材を有してよい。保護部材はある程度高い強度を有し、透明であれば材料は問わないが、ポリカーボネート等で構成されることが好ましい。ポリカーボネートにフランジカルボン酸誘導体、アクリロニトリル誘導体等を混ぜてよい。
自動車1500は、車体1503、それに取り付けられている窓1502を有してよい。窓は、自動車の前後を確認するための窓でなければ、透明なディスプレイであってもよい。当該透明なディスプレイは、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。この場合、有機発光素子が有する電極等の構成材料は透明な部材で構成される。
本実施形態に係る移動体は、船舶、航空機、ドローン等であってよい。移動体は、機体と当該機体に設けられた灯具を有してよい。灯具は、機体の位置を知らせるための発光をしてよい。灯具は本実施形態に係る有機発光素子を有する。
図16を参照して、上述の各実施形態の表示装置の適用例について説明する。表示装置は、例えばスマートグラス、HMD、スマートコンタクトのようなウェアラブルデバイスとして装着可能なシステムに適用できる。このような適用例に使用される撮像表示装置は、可視光を光電変換可能な撮像装置と、可視光を発光可能な表示装置とを有する。
図16(a)は、1つの適用例に係る眼鏡1600(スマートグラス)を説明する。眼鏡1600のレンズ1601の表面側に、CMOSセンサやSPADのような撮像装置1602が設けられている。また、レンズ1601の裏面側には、上述した各実施形態の表示装置が設けられている。
眼鏡1600は、制御装置1603をさらに備える。制御装置1603は、撮像装置1602と各実施形態に係る表示装置に電力を供給する電源として機能する。また、制御装置1603は、撮像装置1602と表示装置の動作を制御する。レンズ1601には、撮像装置1602に光を集光するための光学系が形成されている。
図16(b)は、1つの適用例に係る眼鏡1610(スマートグラス)を説明する。眼鏡1610は、制御装置1612を有しており、制御装置1612に、撮像装置1602に相当する撮像装置と、表示装置が搭載される。レンズ1611には、制御装置1612内の撮像装置と、表示装置からの発光を投影するための光学系が形成されており、レンズ1611には画像が投影される。制御装置1612は、撮像装置および表示装置に電力を供給する電源として機能するとともに、撮像装置および表示装置の動作を制御する。制御装置は、装着者の視線を検知する視線検知部を有してもよい。視線の検知は赤外線を用いてよい。赤外発光部は、表示画像を注視しているユーザーの眼球に対して、赤外光を発する。発せられた赤外光の眼球からの反射光を、受光素子を有する撮像部が検出することで眼球の撮像画像が得られる。平面視における赤外発光部から表示部への光を低減する低減手段を有することで、画像品位の低下を低減する。
赤外光の撮像により得られた眼球の撮像画像から表示画像に対するユーザーの視線を検出する。眼球の撮像画像を用いた視線検出には任意の公知の手法が適用できる。一例として、角膜での照射光の反射によるプルキニエ像に基づく視線検出方法を用いることができる。
より具体的には、瞳孔角膜反射法に基づく視線検出処理が行われる。瞳孔角膜反射法を用いて、眼球の撮像画像に含まれる瞳孔の像とプルキニエ像とに基づいて、眼球の向き(回転角度)を表す視線ベクトルが算出されることにより、ユーザーの視線が検出される。
本発明の一実施形態に係る表示装置は、受光素子を有する撮像装置を有し、撮像装置からのユーザーの視線情報に基づいて表示装置の表示画像を制御してよい。
具体的には、表示装置は、視線情報に基づいて、ユーザーが注視する第一の視界領域と、第一の視界領域以外の第二の視界領域とを決定される。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。表示装置の表示領域において、第一の視界領域の表示解像度を第二の視界領域の表示解像度よりも高く制御してよい。つまり、第二の視界領域の解像度を第一の視界領域よりも低くしてよい。
また、表示領域は、第一の表示領域、第一の表示領域とは異なる第二の表示領域とを有し、視線情報に基づいて、第一の表示領域および第二の表示領域から優先度が高い領域を決定されてよい。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。優先度の高い領域の解像度を、優先度が高い領域以外の領域の解像度よりも高く制御してよい。つまり優先度が相対的に低い領域の解像度を低くしてよい。
なお、第一の視界領域や優先度が高い領域の決定には、AIを用いてもよい。AIは、眼球の画像と当該画像の眼球が実際に視ていた方向とを教師データとして、眼球の画像から視線の角度、視線の先の目的物までの距離を推定するよう構成されたモデルであってよい。AIプログラムは、表示装置が有しても、撮像装置が有しても、外部装置が有してもよい。外部装置が有する場合は、通信を介して、表示装置に伝えられる。
視認検知に基づいて表示制御する場合、外部を撮像する撮像装置を更に有するスマートグラスに好ましく適用できる。スマートグラスは、撮像した外部情報をリアルタイムで表示することができる。
以上説明した通り、本実施形態に係る有機発光素子を用いた装置を用いることにより、良好な画質で、長時間表示にも安定な表示が可能になる。
(その他の実施形態)
以上、各実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に制限されるものではなく、様々な変更および変形が可能である。また、各実施形態は相互に適用可能である。
101 発光装置
102 画素
201 発光素子
202 第1トランジスタ
203 第3トランジスタ
204 第2トランジスタ

Claims (16)

  1. 発光素子および第1トランジスタを含む電流経路と、第2トランジスタと、信号線に接続される第3トランジスタと、を含む画素を備え、
    前記第2トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方は、前記発光素子の一方のノードと第1の電源とに接続され、
    前記第3トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方は、前記第1トランジスタのゲート電極に接続され、
    前記第2トランジスタの前記ソース領域およびドレイン領域の一方を構成する第1導電型の第1拡散領域と、前記第3トランジスタのソース領域およびドレイン領域の一方を構成する第1導電型の第2拡散領域と、の間には、素子分離部が配され、
    前記第1拡散領域の深さは、前記第2拡散領域の深さよりも深いことを特徴とする発光装置。
  2. 前記画素は、前記第1トランジスタのゲート電極とソース領域またはドレイン領域との間に接続された第1の容量素子を有することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記第2拡散領域は、前記第1の容量素子の一部を構成し、
    前記第3トランジスタが非導通の状態において、前記第1の容量素子が前記信号線から伝達される輝度信号を保持することを特徴とする請求項2に記載の発光装置。
  4. 前記第1の電源は、前記発光素子の他方のノードに接続される第2の電源よりも電源電位が低いことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光装置。
  5. 前記画素は、前記第1トランジスタのゲート電極と、前記第1の電源よりも電源電位が高い第2の電源との間に接続された第2の容量素子を有することを特徴とする請求項2または3に記載の発光装置。
  6. 前記画素は、前記第1トランジスタの他方のノードと前記第2の電源との間に接続された第4トランジスタを有することを特徴とする請求項5に記載の発光装置。
  7. 前記第2の電源に接続される前記第4トランジスタの一方のノードは、第3拡散領域により構成され、
    前記第3拡散領域の深さは、前記第2拡散領域の深さよりも深いことを特徴とする請求項6に記載の発光装置。
  8. 平面視で、前記第2拡散領域に最も近い拡散領域は、前記第3拡散領域であることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。
  9. 平面視で、前記第2拡散領域に最も近い拡散領域は、前記第1拡散領域であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の発光装置。
  10. 前記第1トランジスタは埋込チャネル型のトランジスタであり、前記第2トランジスタは表面チャネル型のトランジスタであることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の発光装置。
  11. 前記第1トランジスタのチャネル、および、前記第2トランジスタのチャネルは、前記第1導電型の領域であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の発光装置。
  12. 前記第3トランジスタのチャネルは、前記第1導電型とは異なる第2導電型の領域であることを特徴とする請求項11に記載の発光装置。
  13. 前記素子分離部は、絶縁体分離であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の発光装置。
  14. 前記素子分離部は、前記第1拡散領域および前記第2拡散領域よりも深くまで配されることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の発光装置。
  15. 請求項1乃至14の何れか1項に記載の発光装置と、
    前記発光装置の駆動を制御する制御部と、
    を含む電子機器。
  16. 前記電子機器は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、スマートフォン、タブレット、ヘッドマウントディスプレイ、スマートグラス、またはスマートコンタクトであることを特徴とする請求項15に記載の電子機器。
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