JP2023026039A - プローブ及び検査用ソケット - Google Patents

Abstract

【課題】バレルとハウジングとの導通が確実にとれ、また、製造において高い寸法精度が要求されないプローブ及び検査用ソケットを提供する。【解決手段】ハウジング１１に形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔４０に挿通されるグランド用のプローブ１００であって、軸線Ｘの方向に延在した筒状壁部を有するバレル１３０と、バレル１３０に収容されたプランジャ１１０，１２０と、を備え、バレル１３０は、筒状壁部の一部が弾性を持って内周壁に接触する板バネ部１３１を有している。【選択図】図５

Description

本発明は、プローブ及び検査用ソケットに関する。

高速伝送が要求される検査デバイスの検査には、信号ピン、電源ピン及びグランドピンの３種類のピン（プローブ）を有する検査用ソケットが使用されることがある。

グランドピンとは、検査デバイスのグランド端子及びテスト基板のグランド端子を、グランドとしてのハウジングに対して電気的に接続するものであり、例えば特許文献１にその例が記載されている。

また、特許文献１以外の例として、グランドピンとグランドピンが挿通される貫通孔を画定する内周壁との間の隙間を小さくして接触させることで両者間の導通をとる構成がある。

特許第４５５０５６４号公報

グランドピンにおいては、確実にグランドとの導通をとる必要があるが、グランドピンと貫通孔を画定する内周壁との間の隙間を小さくする構造では、接触が不安定になることが懸念されるとともに、グランドピンや貫通孔に高い寸法精度が要求され量産には向かない。

そこで、本発明は、バレルとハウジングとの導通が確実にとれ、また、製造において高い寸法精度が要求されないプローブ及び検査用ソケットを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のプローブ及び検査用ソケットは以下の手段を採用する。
すなわち、本発明の第１態様に係るプローブは、ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、軸線の方向に延在した筒状壁部を有するバレルと、該バレルに収容されたプランジャと、を備え、前記バレルは、前記筒状壁部の一部が弾性を持って前記内周壁に接触する接触部を有している。

本態様に係るプローブによれば、バレルは、筒状壁部の一部が弾性を持って金属製の内周壁に接触する接触部を有しているので、貫通孔を画定する内周壁とバレルとの間に隙間がある場合でも、バレルとハウジングとを確実に接触させることができる。これによって、バレルとハウジングとの導通を確実にとることができる。
また、接触部が弾性を持って内周壁に接触するので、内周壁とバレルとの間にある隙間が貫通孔やバレルの寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔の成形やバレルの製造において高い寸法精度が要求されない。

また、本発明の第１態様に係るプローブにおいて、前記接触部は、前記軸線に対する周方向に複数形成されている。

本態様に係るプローブによれば、接触部は、軸線に対する周方向に複数形成されているので、バレルとハウジングとの電気的な接点を増やすことができる。
また、例えば、接触部が周方向において等角度間隔に設けられている場合、プローブと貫通孔とを同軸状に配置できる。

また、本発明の第１態様に係るプローブにおいて、前記接触部は、前記軸線の方向に沿った複数個所に形成されている。

本態様に係るプローブによれば、接触部は、軸線の方向に沿った複数個所に形成されているので、プローブの軸線が貫通孔に対して傾くことを抑制できる。また、１つの貫通孔が複数のハウジングに亘って形成されている場合であっても、全てのハウジングに対して導通をとることができる。

また、本発明の第１態様に係るプローブにおいて、前記接触部は、前記軸線に対する半径方向の外側に切り起された片持ちの板バネとされている。

本態様に係るプローブによれば、接触部は、前記軸線に対する半径方向の外側に切り起された片持ちの板バネとされているので、簡便な構成で接触部を形成することができる。

また、本発明の第２態様に係るプローブは、ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、軸線の方向に延在した筒状の主バレル及び該主バレルに収容されたプランジャを有するプローブ本体と、前記主バレルが前記軸線の方向に挿通される導通バレルと、を備え、前記主バレルは、前記軸線の方向に沿った一部の区間に拡径部を有し、前記導通バレルは、前記軸線の方向に沿ったスリットを有し、前記導通バレルは、弾性変形した状態で前記拡径部に嵌合されて前記主バレルに対して固定されている。

本態様に係るプローブによれば、主バレルは、軸線の方向に沿った一部の区間に拡径部を有し、導通バレルは、軸線の方向に沿ったスリットを有し、導通バレルは、弾性変形した状態で拡径部に挿通されて主バレルに対して固定されているので、拡径部にて拡がるように弾性変形した導通バレルを介して主バレルとハウジングとを確実に接触させることができる。これによって、主バレルとハウジングとの導通を確実にとることができる。
また、拡径部の径が同じであれば、長さの異なるプローブ本体にも共通の導通バレルを嵌合することができる。

また、本発明の第３態様に係るプローブは、ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、軸線の方向に延在した筒状の主バレル及び該主バレルに収容されたプランジャを有するプローブ本体と、前記主バレルが前記軸線の方向に挿通される導通バレルと、を備え、前記導通バレルは、前記主バレル及び／又は前記内周壁に弾性を持って接触する接触部を有している。

本態様に係るプローブによれば、導通バレルは、主バレル及び／又は内周壁に弾性を持って接触する接触部を有しているので、貫通孔を画定する内周壁と主バレルとの間に隙間がある場合でも、主バレルとハウジングとを確実に接触させることができる。これによって、主バレルとハウジングとの導通を確実にとることができる。
また、接触部が弾性を持って主バレル及び／又は内周壁に接触するので、内周壁と主バレルとの間にある隙間が貫通孔や主バレルの寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔の成形や主バレルの製造において高い寸法精度が要求されない。

また、本発明の第３態様に係るプローブにおいて、前記導通バレルは、前記軸線の方向に沿ったスリットを有している。

本態様に係るプローブによれば、導通バレルは、軸線の方向に沿ったスリットを有しているので、弾性変形することで導通バレルの径を容易に拡大／縮小させることができる。これにより、主バレルや貫通孔に対して容易に圧入することができる。
また、寸法誤差の関係で貫通孔の内径や主バレルの外径が個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔の成形や主バレルの製造において高い寸法精度が要求されない。

また、本発明の第３態様に係るプローブにおいて、前記主バレルは、前記軸線の方向に沿った一部の区間に拡径部を有し、前記導通バレルは、弾性変形した状態で前記拡径部に嵌合されて前記主バレルに対して固定されている。

本態様に係るプローブによれば、主バレルは、軸線の方向に沿った一部の区間に拡径部を有し、導通バレルは、弾性変形した状態で拡径部に挿通されて主バレルに対して固定されているので、主バレルと導通バレルとを確実に接触させることができる。

また、本発明の第３態様に係るプローブにおいて、前記接触部は、前記軸線に対する周方向に複数形成されている。

本態様に係るプローブによれば、接触部は、軸線に対する周方向に複数形成されているので、バレルとハウジングとの電気的な接点を増やすことができる。
また、例えば、接触部が周方向において等角度間隔に設けられている場合、プローブと貫通孔とを同軸状に配置できる。

また、本発明の第３態様に係るプローブにおいて、前記接触部は、片持ちの板バネとされている。

本態様に係るプローブによれば、接触部は、片持ちの板バネとされているので、簡便な構成で接触部を形成することができる。

また、本発明の第２態様及び３態様に係るプローブにおいて、前記拡径部は、前記軸線の方向に沿って外径が漸次拡大していくテーパ形状とされている。

本態様に係るプローブによれば、拡径部は、軸線の方向に沿って外径が漸次拡大していくテーパ形状とされているので、導通バレルと容易に嵌合することができる。

また、本発明の第４態様に係る検査用ソケットは、第１態様から第３態様のいずれかに記載のプローブと、前記貫通孔が形成された前記ハウジングと、を備えている。

本発明によれば、バレルとハウジングとの導通が確実にとれ、また、製造において高い寸法精度が要求されないプローブ及び検査用ソケットを提供できる。

本発明の第１実施形態に係るプローブを備えた検査用ソケットの正面図及び断面図である。 第１実施形態に係るプローブの正面図である。 図２に示す切断線ＩＩＩ－ＩＩＩにおける横断面図である。 図３に示す切断線ＩＶ－ＩＶにおける縦断面図である。 ハウジングに収容されたプローブの正面図である。 第１実施形態の変形例１に係るプローブの正面図である。 図６に示す切断線ＶＩＩ－ＶＩＩにおける縦断面図である。 第１実施形態の変形例２に係るプローブの正面図である。 第２実施形態に係るプローブ本体の正面図である。 第２実施形態に係る導通バレルの正面図である。 図１０に示す切断線ＸＩ－ＸＩにおける横断面図である。 導通バレルが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 プローブが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 プローブが設置されたハウジングの縦断面図である。 第２実施形態の変形例に係る導通バレルの正面図である。 第２実施形態の他の変形例に係る導通バレルの平面図である。 第２実施形態の他の変形例に係る導通バレルの正面図である。 第２実施形態の他の変形例に係る導通バレルの正面図である。 第３実施形態に係るプローブ本体の正面図である。 第３実施形態に係る導通バレルの正面図である。 図２０に示すＡ方向から見た導通バレルの側面図である。 導通バレルが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 プローブが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 図２３に示すＢ方向から見た図である。 第３実施形態の変形例１に係る導通バレルが設置されたハウジングの縦断面図である。 第３実施形態の変形例２に係る導通バレルが設置されている縦断面図である。 第４実施形態に係る導通バレルの正面図である。 導通バレルが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 プローブが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 プローブが設置されたハウジングの縦断面図である。 第４実施形態の変形例に係る導通バレルの平面図である。 第４実施形態の他の変形例に係る導通バレルの正面図である。 第４実施形態の他の変形例に係る導通バレルの正面図である。 第５実施形態に係る導通バレルの正面図である。 導通バレルが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 プローブ本体の挿入による導通バレルの移動を示した概念図である。 プローブが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 第５実施形態の変形例１に係るプローブの正面図である（導通バレルのみ縦断面図）。 第５実施形態の変形例１に係る導通バレルの横断面図である。 プローブが設置された上部ハウジングの縦断面図である。 変形例１においてフランジ部が形成された主バレルの正面図である。 第５実施形態の変形例２に係る導通バレルが設置された上部ハウジングの縦断面図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。

［検査用ソケットの概要］
以下、検査用ソケット１０（以下、単に「ソケット１０」という。）の概要について説明する。
図１に示すように、ソケット１０は、ＩＣパッケージ（半導体パッケージ）３０の試験において、プリント配線基板（テスト基板）２０とＩＣパッケージ３０とを導通させる部品である。
ソケット１０は、プリント配線基板２０の上面に実装される。
また、ＩＣパッケージ３０は、ソケット１０が有する可動台座１２に形成された凹所１２ａに装着される。

ＩＣパッケージ３０としては、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型のものが例示される。また、ＬＧＡ（Ｌａｎｄ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型やＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）型のものでもよい。

ソケット１０は、プローブ１００と、上部ハウジング１１Ａ及び下部ハウジング１１Ｂを有するハウジング１１と、可動台座１２と、を備えている。

ソケット１０において、ハウジング１１はプリント配線基板２０側に配置されており、可動台座１２はハウジング１１（上部ハウジング１１Ａ）の上に積層されるように配置されている。

ハウジング１１（上部ハウジング１１Ａ）と可動台座１２との間には台座用バネ１３が介設されており、両部材を互いに離間する方向に付勢している。これによって、可動台座１２は、ハウジング１１に対して弾性的に近接及び離間可能となる。
詳細には、無負荷とすることで可動台座１２はハウジング１１から離間して、可動台座１２をハウジング１１側に押し込むことで可動台座１２はハウジング１１に近接する。

ハウジング１１は、上部ハウジング１１Ａ及び下部ハウジング１１Ｂを有しており、下部ハウジング１１Ｂに上部ハウジング１１Ａが積層されるように構成されている。

ハウジング１１は、上部ハウジング１１Ａと下部ハウジング１１Ｂとによって画定された貫通孔４０を有しており、この貫通孔４０にプローブ１００のバレル１３０が収容されることになる。
なお、図１で示した貫通孔４０（左側の貫通孔４０）では、説明の容易ためプローブ１００を図示していない。

［プローブの詳細］
以下、プローブ１００の詳細な構造について説明する。
なお、プローブ１００には信号ピン、電源ピン及びグランドピンの３種類があるが、本実施形態に係るプローブ１００は、ＩＣパッケージ３０のグランド端子及びプリント配線基板２０のグランド端子を、グランドとしてのハウジング１１に対して電気的に接続するグランド用のプローブに関するものである。

図２に示すように、プローブ１００は、バレル１３０、上部プランジャ１１０、下部プランジャ１２０及びスプリング（図示せず）を備えている。

図２及び図３に示すように、バレル１３０は、軸線Ｘの方向に延在した筒状壁部を有している。バレル１３０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。
バレル１３０には、上部プランジャ１１０の基端部分、下部プランジャ１２０の基端部分及びスプリングが収容されている。上部プランジャ１１０及び下部プランジャ１２０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）や炭素工具鋼にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたものやＰｄ合金）とされている。また、スプリングは、金属製（例えば、ピアノ線やＳＵＳ線にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。なお、ＳＵＳ線の場合は、下地としてのＮｉメッキを省略することができる。

ここで、上部プランジャ１１０の基端とは、ＩＣパッケージ３０に接触する先端部分の反対側にある端部のことである。また、下部プランジャ１２０の基端とは、プリント配線基板２０に接触する先端部分の反対側にある端部のことである。

上部プランジャ１１０及び下部プランジャ１２０は、スプリングによって互いに離間する方向に付勢されており、バレル１３０に対して摺動可能に構成されている。すなわち、図２に示すプローブ１００は、いわゆる両側摺動型のプローブとされている。

以上のように構成されたプローブ１００において、バレル１３０には、板バネ部１３１が形成されている。
図２から図４に示すように、板バネ部１３１とは、バレル１３０を構成する筒状壁部の一部が切り起されることで軸線Ｘに対する半径方向の外側に突出した部分であって、支点がバレル１３０に接続された片持ちの板バネとしての機能する部分である。

同図の場合、板バネ部１３１は、軸線Ｘの方向に切り起されている。すなわち、板バネの支点を基端としたとき、板バネ部１３１は、先端及び基端が軸線Ｘの方向に沿って配置されるように切り起されている。

図５に示すように、板バネ部１３１は、バレル１３０がハウジング１１に形成された貫通孔４０に収容されたとき、貫通孔４０を画定している内周壁に弾性を持って接触する。
ここで、貫通孔４０を画定している内周壁は金属製とされており、グランドと電気的に接続されている。ハウジング１１を金属製としてもよい。これによって、板バネ部１３１を介して、バレル１３０とハウジング１１との間で導通をとることができる。

図２、図３及び図５に示すように、板バネ部１３１は、軸線Ｘに対する周方向に等角度間隔で複数形成されることが好ましい。これによって、プローブ１００と貫通孔４０とを同軸状に配置できる。

また、板バネ部１３１は、軸線Ｘの方向に沿った複数個所に形成されることが好ましい。これによって、プローブ１００の軸線Ｘが貫通孔４０に対して傾くことを抑制できる。
また、本実施形態のように、１つの貫通孔４０が複数に分割されたハウジング１１に亘って形成されている場合であっても、全てのハウジング１１（ここでは上部ハウジング１１Ａ及び下部ハウジング１１Ｂの両方）と導通をとることができる。

なお、板バネ部１３１の先端が向く方向は、ハウジング１１にバレル１３０を挿入する方向／バレル１３０にハウジング１１を嵌める方向によって決定される。

具体的には、図５に示す上２つの板バネ部１３１は、上部ハウジング１１Ａにバレル１３０を挿入しやすいように（先端が上部ハウジング１１Ａに引っ掛からないように）、先端が下方を向いている。一方、図５に示す下の板バネ部１３１は、バレル１３０に下部ハウジング１１Ｂを嵌めやすいように（先端が下部ハウジング１１Ｂに引っ掛からないように）、先端が上方を向いている。

［変形例１］
図６及び図７に示すように、板バネ部１３１は、軸線Ｘに対する周方向に切り起されている。すなわち、板バネの支点を基端としたとき、板バネ部１３１は、先端及び基端が軸線Ｘに直交する面に配置されるように切り起されている。

［変形例２］
図８に示すように、下部プランジャ１２０とバレル１３０とを一体化したうえで、バレル１３０（下部プランジャ１２０に相当する部分を含む）に板バネ部１３１を形成してもよい。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、バレル１３０は、筒状壁部の一部が弾性を持って金属製の内周壁（貫通孔４０を画定する内周壁）に接触する板バネ部１３１を有しているので、貫通孔４０を画定する内周壁とバレル１３０との間に隙間がある場合でも、バレル１３０とハウジング１１とを確実に接触させることができる。これによって、バレル１３０とハウジング１１との導通を確実にとることができる。

また、板バネ部１３１が弾性を持って貫通孔４０を画定する内周壁に接触するので、貫通孔４０を画定する内周壁とバレル１３０との間にある隙間が貫通孔４０やバレル１３０の寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔４０の成形やバレル１３０の製造において高い寸法精度が要求されない。

また、例えば、板バネ部１３１が周方向において等角度間隔に設けられている場合、プローブ１００と貫通孔４０とを同軸状に配置できる。

また、板バネ部１３１が軸線Ｘの方向に沿った複数個所に形成されている場合、プローブ１００の軸線Ｘが貫通孔４０に対して傾くことを抑制できる。また、１つの貫通孔４０がハウジング１１Ａ，１１Ｂに亘って形成されている場合であっても、ハウジング１１Ａ，１１Ｂに対して導通をとることができる。

［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。
図１に示すように、プローブ２００は、第１実施形態に係るプローブ１００と同様に、ソケット１０のハウジング１１に収容される。

プローブ２００は、図９に示す主バレル２３０、上部プランジャ２１０、下部プランジャ２２０及びスプリング（図示せず）を有するプローブ本体２０１、及び、図１０に示す導通バレル２４０を備えている。

上部プランジャ２１０、下部プランジャ２２０及びスプリングの構成は、第１実施形態の上部プランジャ１１０、下部プランジャ１２０及びスプリングと同様である。

図９に示すように、主バレル２３０は、軸線Ｘの方向に延在した筒状の部材とされている。主バレル２３０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。

主バレル２３０には、部分的に径が拡大したフランジ部（拡径部）２３２が一体的に形成されている。
フランジ部２３２は、主バレル２３０の延在方向に沿った略中央部分の一部の区間に形成されている。
フランジ部２３２は、軸線Ｘの方向に沿って外径が漸次拡大していくテーパ状とされている。

図１０及び図１１に示すように、導通バレル２４０は、軸線Ｘの方向に延在する筒状の部材にスリット２４１が形成されたものとされている。導通バレル２４０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。

スリット２４１は、軸線Ｘの方向に沿って、かつ、導通バレル２４０の上端から下端に亘って形成されている。このため、スリットの２４１の横断面形状は、位置によらずＣ型となる（図１１参照）。

図１２に示すように、導通バレル２４０は、上部ハウジング１１Ａに形成された貫通孔４０の大径部４１Ａに挿入される。

図１３に示すように、導通バレル２４０が圧入された上部ハウジング１１Ａに対してプローブ本体２０１を挿入することで、主バレル２３０のフランジ部２３２が導通バレル２４０に内嵌めで圧入される。

このとき、スリット２４１が形成された導通バレル２４０は、主バレル２３０のフランジ部２３２によって径方向の外側に弾性変形するので、導通バレル２４０と貫通孔４０を画定する内周壁とが確実に接触する。
これによって、導通バレル２４０を介してハウジング１１と導通したプローブ２００が構成されることになる。

その後、図１４に示すように、下部ハウジング１１Ｂをプローブ２００の下方から取り付けることで、主バレル２３０及び導通バレル２４０が貫通孔４０に収容されたプローブ２００が構成されることになる。

［変形例］
図１５から図１８に示すように、導通バレル２４０に板バネ部２４２を形成してもよい。
板バネ部２４２とは、導通バレル２４０から軸線Ｘに対する半径方向の外側に突出した部分であって、支点が導通バレル２４０に接続された片持ちの板バネとしての機能する部分である。
板バネ部２４２を形成することによって、導通バレル２４０と貫通孔４０を画定する内周壁との接触性が更に向上することになる。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、主バレル２３０は、軸線Ｘの方向に沿った一部の区間にフランジ部２３２を有し、導通バレル２４０は、軸線Ｘの方向に沿ったスリット２４１を有し、導通バレル２４０は、弾性変形した状態でフランジ部２３２に挿通されて主バレル２３０に対して固定されているので、フランジ部２３２にて拡がるように弾性変形した導通バレル２４０を介して主バレル２３０とハウジング１１とを確実に接触させることができる。これによって、主バレル２３０とハウジング１１との導通を確実にとることができる。

また、フランジ部２３２の径が同じであれば、長さの異なるプローブ本体２０１にも共通の導通バレル２４０を嵌合することができる。

なお、変形例のように板バネ部２４２が形成された導通バレル２４０を採用した場合、フランジ部２３２を設けずともスリット２４１付きの導通バレル２４０の弾性によって主バレル２３０を導通バレル２４０に圧入することができ、かつ、板バネ部２４２で導通バレル２４０と貫通孔４０を画定する内周壁とを確実に接触させることができるので、主バレル２３０のフランジ部２３２を省略してもよい。

［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。
図１に示すように、プローブ３００は、第１実施形態に係るプローブ１００と同様に、ソケット１０のハウジング１１に収容される。

プローブ３００は、図１９に示す主バレル３３０、上部プランジャ３１０、下部プランジャ３２０及びスプリング（図示せず）を有するプローブ本体３０１、及び、図２０及び図２１に示す導通バレル３４０を備えている。

上部プランジャ３１０、下部プランジャ３２０及びスプリングの構成は、第１実施形態の上部プランジャ１１０、下部プランジャ１２０及びスプリングと同様である。

図１９に示すように、主バレル３３０は、軸線Ｘの方向に延在した筒状の部材とされている。主バレル３３０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。

図２０及び図２１に示すように、導通バレル３４０は、軸線Ｘの方向に延在する筒状の部材に板バネ部（接触部）３４２が形成されたものとされている。導通バレル３４０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。

板バネ部３４２は、外向き板バネ部３４２ｏ及び内向き板バネ部３４２ｉの２種類に区別される。
図２０に示すように、外向き板バネ部３４２ｏは、先端が軸線Ｘに対する半径方向の外側に傾倒している片持ちの板バネである。外向き板バネ部３４２ｏの先端は、導通バレル２４０の外周面よりも半径方向の外側に位置している。
図２１に示すように、内向き板バネ部３４２ｉは、先端が軸線Ｘに対する半径方向の内側に傾倒している片持ちの板バネである。内向き板バネ部３４２ｉの先端は、導通バレル２４０の内周面よりも半径方向の内側に位置している。

図２０及び図２１に示すように、外向き板バネ部３４２ｏ及び内向き板バネ部３４２ｉは、導通バレル３４０の上端及び下端において、軸線Ｘに対する周方向に交互、かつ、等角度間隔に配置されている。同図の場合、外向き板バネ部３４２ｏ及び内向き板バネ部３４２ｉが入れ替わるように９０度ごとに配置されている。

図２２に示すように、導通バレル３４０は、上部ハウジング１１Ａに形成された貫通孔４０の大径部４１Ａに挿入される。
このとき、外側に傾倒した外向き板バネ部３４２ｏが貫通孔４０を画定する内周壁に接触する。

図２３及び図２４に示すように、導通バレル３４０が圧入された上部ハウジング１１Ａに対してプローブ本体３０１を挿入することで、内側に傾倒した内向き板バネ部３４２ｉが主バレル３３０に接触する。
これによって、導通バレル３４０を介してハウジング１１と導通したプローブ３００が構成されることになる。

その後、下部ハウジング１１Ｂをプローブ３００の下方から取り付けることで、主バレル３３０及び導通バレル３４０が貫通孔４０に収容されたプローブ３００が構成されることになる（図示せず）。

［変形例１］
図２５に示すように、導通バレル３４０は、上部ハウジング１１Ａの大径部４１Ａ及び下部ハウジング１１Ｂの大径部４１Ｂに亘って形成された貫通孔４０に挿入してもよい。
この場合、導通バレル３４０の上端に形成された外向き板バネ部３４２ｏが大径部４１Ａを画定する内周壁に接触して、導通バレル３４０の下端に形成された外向き板バネ部３４２ｏが大径部４１Ｂを画定する内周壁に接触する。

［変形例２］
図２６に示すように、外向き板バネ部３４２ｏ及び内向き板バネ部３４２ｉを、第１実施形態の板バネ部１３１のように、導通バレル２４０を形成する筒状壁部の一部を切り起して形成してもよい。この場合、外向き板バネ部３４２ｏ及び内向き板バネ部３４２ｉは、軸線Ｘに対する周方向に等角度間隔で複数形成されることが好ましい。

なお、外向き板バネ部３４２ｏ及び内向き板バネ部３４２ｉの先端が向く方向は、ハウジング１１に主バレル３３０を挿入する方向／主バレル３３０にハウジング１１を嵌める方向によって決定される。

具体的には、図２６に示す上の外向き板バネ部３４２ｏは、上部ハウジング１１Ａに導通バレル３４０を挿入しやすいように（先端が上部ハウジング１１Ａに引っ掛からないように）、先端が下方を向いている。一方、図２６に示す下の外向き板バネ部３４２ｏは、導通バレル３４０に下部ハウジング１１Ｂを嵌めやすいように（先端が下部ハウジング１１Ｂに引っ掛からないように）、先端が上方を向いている。また、内向き板バネ部３４２ｉは、導通バレル３４０に主バレル３３０を挿入しやすいように（先端が下部ハウジング１１Ｂに引っ掛からないように）、先端が上方を向いている。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、導通バレル３４０は、主バレル３３０及び貫通孔４０を画定する内周壁に弾性をもって持って接触する板バネ部３４２を有しているので、内周壁と主バレル３３０との間に隙間がある場合でも、主バレル３３０とハウジング１１とを確実に接触させることができる。これによって、主バレル３３０とハウジング１１との導通を確実にとることができる。

また、板バネ部３４２が弾性を持って貫通孔４０を画定する内周壁に接触するので、貫通孔４０を画定する内周壁と主バレル３３０との間にある隙間が貫通孔４０や主バレル３３０の寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔４０の成形や主バレル３３０の製造において高い寸法精度が要求されない。

［第４実施形態］
以下、本発明の第４実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。
本実施形態は、第３実施形態に対して導通バレルの形態が異なり、その他の点においては共通とされている。このため、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する４００番台の符号を付すのみとする。

図２７に示すように、導通バレル４４０は、軸線Ｘの方向に延在する筒状の部材にスリット４４１及び板バネ部（接触部）４４２が形成されたものとされている。導通バレル４４０は、金属製（例えば、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたもの）とされている。

スリット４４１は、軸線Ｘの方向に沿って、かつ、導通バレル４４０の上端から下端に亘って形成されている。このため、スリットの４４１の横断面形状は、位置によらずＣ型となる。

板バネ部４４２は、導通バレル４４０から軸線Ｘに対する半径方向の内側に突出した部分であって、支点が導通バレル４４０に接続された片持ちの板バネとしての機能する部分である。
板バネ部４４２は、例えば、第１実施形態の板バネ部１３１のように、導通バレル４４０を形成する筒状壁部の一部を切り起こすことで形成される。
板バネ部４４２は、軸線Ｘに対する周方向に等角度間隔で複数形成されることが好ましい。

図２８に示すように、導通バレル４４０は、上部ハウジング１１Ａに形成された貫通孔４０の大径部４１Ａに外嵌めで圧入される。
このとき、スリット４４１付きの導通バレル４４０の弾性によって導通バレル４４０を大径部４１Ａに容易に圧入でき、かつ、導通バレル４４０の復元力で導通バレル４４０と貫通孔４０を画定する内周壁とを確実に接触させることができる。

図２９に示すように、導通バレル４４０が圧入された上部ハウジング１１Ａに対してプローブ本体４０１を挿入することで、内側に傾倒した板バネ部４４２が主バレル４３０に接触する。
これによって、導通バレル４４０を介してハウジング１１と導通したプローブ４００が構成されることになる。

その後、図３０に示すように、下部ハウジング１１Ｂをプローブ４００の下方から取り付けることで、主バレル４３０及び導通バレル４４０が貫通孔４０に収容されたプローブ４００が構成されることになる。

［変形例］
導通バレル４４０の板バネ部４４２は、図３１から図３３に示すような形態であってもよい。また、同一の目的を達成可能な他の形態の導通バレル４４０を採用できることは言うまでもない。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
導通バレル４４０は、主バレル４３０に弾性を持って接触する板バネ部４４２を有しているので、貫通孔４０を画定する内周壁と主バレル４３０との間に隙間がある場合でも、主バレル４３０とハウジング１１とを確実に接触させることができる。これによって、主バレル４３０とハウジング１１との導通を確実にとることができる。

また、板バネ部４４２が弾性を持って主バレル４３０に接触するので、内周壁と主バレル４３０との間にある隙間が貫通孔４０や主バレル４３０の寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔４０の成形や主バレル４３０の製造において高い寸法精度が要求されない。

また、導通バレル４４０は、軸線Ｘの方向に沿ったスリット４４１を有しているので、弾性変形することで導通バレル４４０の径を容易に縮小させることができる。これにより、貫通孔４０に対して容易に圧入することができる。

また、寸法誤差の関係で貫通孔４０の内径が個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔４０の成形において高い寸法精度が要求されない。

［第５実施形態］
以下、本発明の第５実施形態に係るプローブ及び検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。
本実施形態は、第３実施形態に対して導通バレルの形態が異なり、その他の点においては共通とされている。このため、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する５００番台の符号を付すのみとする。

図３４に示すように、導通バレル５４０は、軸線Ｘの方向に延在する筒状の部材に板バネ部（接触部）５４２が形成されたものとされている。
導通バレル５４０は、金属製はもちろんのこと絶縁材料製とされてもよい。後述するように、主バレル５３０がハウジング１１に直接的に接触するからである。
金属としては、銅系材料（ベリリウム銅やリン青銅）にメッキ処理（Ｎｉを下地とする硬質Ａｕメッキ）が施されたものが例示される。絶縁材料としては、スーパーエンジニアリングプラスチックが例示される。
材料としてスーパーエンジニアリングプラスチックが採用された場合、導通バレル５４０は、切削加工や射出成型によって作製される。

板バネ部５４２は、導通バレル５４０から軸線Ｘに対する半径方向の外側に突出した部分であって、支点が導通バレル５４０に接続された片持ちの板バネとしての機能する部分である。

図３５に示すように、導通バレル５４０は、上部ハウジング１１Ａに形成された貫通孔４０の大径部４１Ａに挿入される。

板バネ部５４２を除いた導通バレル５４０の部分の外径は貫通孔４０（大径部４１Ａ）の内径よりも小径に設定され、板バネ部５４２を含めた導通バレル５４０の全体の外径（外接円）は貫通孔４０（大径部４１Ａ）の内径よりも大径に設定されている。
このため、貫通孔４０の大径部４１Ａに挿入された導通バレル５４０は、板バネ部５４２の弾性によって貫通孔４０を画定する内周壁に押し付けられることになる。具体的には、軸線Ｘに対して、板バネ部５４２が接触する内周壁（同図において右側）の反対側に位置する内周壁（同図において左側）に導通バレル５４０が押し付けられることになる。

この状態で貫通孔４０の小径部４２Ａの内径及び導通バレル５４０の内径を軸線Ｘの方向から見たとき、図３６の上図のような関係になる。
なお、図３６において、実線が小径部４２Ａの内径、破線が導通バレル５４０の内径、一点鎖線が主バレル５３０の外径である。

この関係によれば、直径の方向において、小径部４２Ａの内径と導通バレル５４０の内径は最大で距離ｄ１だけ重複している。すなわち、小径部４２Ａを平面視したとき、最大で距離ｄ１だけ開口していることになる。

この状態において、図３７に示すように導通バレル５４０が挿入された上部ハウジング１１Ａに対してプローブ本体５０１を挿入する。

このとき、図３６の中図に示すように、主バレル５３０の外径Ｄｂが距離ｄ１よりも大きくなるように各寸法を設定しておくことで、貫通孔４０、プローブ本体５０１及び導通バレル５４０は次のような関係となる。
すなわち、図３６の下図に示すように、プローブ本体５０１（主バレル５３０）を挿入したとき、Ｄｂとｄ１との差分だけ導通バレル５４０が移動することになる。図３６において導通バレル５４０の移動量をｓで表示している。

導通バレル５４０は板バネ部５４２によって大径部４１Ａの内周壁（図３５において左側）に押し付けられていたので、挿入された主バレル５３０は、導通バレル５４０の内周面に接点Ｐ１を持って接触することになる。これと同時に、接点Ｐ１から力を受けている主バレル５３０は、導通バレル５４０（板バネ部５４２の弾性）によって小径部４２Ａを画定する内周壁に押し付けられ、小径部４２Ａを画定する内周壁との接点Ｐ２を持ってハウジング１１に直接的に接触することになる。
これによって、ハウジング１１と導通したプローブ５００が構成されることになる。

［変形例１］
図３８から図４０に示すように、導通バレル５４０に第４実施形態のようなスリット５４１を形成しておき、主バレル５３０に導通バレル５４０が圧入されたプローブ５００を貫通孔４０に挿入してもよい。
この場合も、主バレル５３０は、導通バレル５４０（板バネ部５４２の弾性）によって小径部４２Ａを画定する内周壁に押し付けられ、小径部４２Ａを画定する内周壁に直接的に接触することになる。

なお、図４１に示すように、主バレル５３０に、部分的に径が拡大したフランジ部（拡径部）５３２を一体的に形成してもよい。

［変形例２］
図４２に示すように、板バネ部５４２を、軸線Ｘに対する半径方向の内側に突出した片持ちの板バネとしてもよい。
この場合、板バネ部５４２が、直接的に主バレル５３０を、小径部４２Ａを画定する内周壁に押し付けることになる。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
導通バレル５４０は、貫通孔４０を画定する内周壁に弾性を持って接触する板バネ部５４２を有しているので、内周壁と主バレル５３０との間に隙間がある場合でも、主バレル５３０とハウジング１１とを確実に接触させることができる。これによって、主バレル５３０とハウジング１１との導通を確実にとることができる。

また、板バネ部５４２が弾性を持って貫通孔４０を画定する内周壁に接触するので、内周壁と主バレル５３０との間にある隙間が貫通孔４０や主バレル５３０の寸法誤差の関係で個体により一定でない場合でも、その誤差を吸収することができる。このため、貫通孔４０の成形や主バレル５３０の製造において高い寸法精度が要求されない。

また、主バレル５３０が貫通孔４０を画定する内周壁に直接的に接触しているので、導通バレル５４０に導電性が要求されない。このため、導通バレル５４０の材料の選択の余地が広がりコストダウンを図ることができる。

１０ ソケット（検査用ソケット）
１１ ハウジング
１１Ａ 上部ハウジング
１１Ｂ 下部ハウジング
１２ 可動台座
１２ａ 凹所
１３ 台座用バネ
２０ プリント配線基板（テスト基板）
３０ ＩＣパッケージ（検査デバイス）
４０ 貫通孔
４１Ａ 大径部
４１Ｂ 大径部
４２Ａ 小径部
１００ プローブ
１１０ 上部プランジャ
１２０ 下部プランジャ
１３０ バレル
１３１ 板バネ部（接触部）
２００ プローブ
２０１ プローブ本体
２１０ 上部プランジャ
２２０ 下部プランジャ
２３０ 主バレル
２３２ フランジ部
２４０ 導通バレル
２４１ スリット
２４２ 板バネ部（接触部）
３００ プローブ
３０１ プローブ本体
３１０ 上部プランジャ
３２０ 下部プランジャ
３３０ 主バレル
３４０ 導通バレル
３４２ 板バネ部（接触部）
３４２ｉ 内向き板バネ部（接触部）
３４２ｏ 外向き板バネ部（接触部）
４００ プローブ
４０１ プローブ本体
４１０ 上部プランジャ
４２０ 下部プランジャ
４３０ 主バレル
４４０ 導通バレル
４４１ スリット
４４２ 板バネ部（接触部）
５００ プローブ
５０１ プローブ本体
５１０ 上部プランジャ
５２０ 下部プランジャ
５３０ 主バレル
５３２ フランジ部
５４０ 導通バレル
５４１ スリット
５４２ 板バネ部（接触部）

Claims (12)

1. ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、
   軸線の方向に延在した筒状壁部を有するバレルと、
   該バレルに収容されたプランジャと、
   を備え、
   前記バレルは、前記筒状壁部の一部が弾性を持って前記内周壁に接触する接触部を有しているプローブ。
2. 前記接触部は、前記軸線に対する周方向に複数形成されている請求項１に記載のプローブ。
3. 前記接触部は、前記軸線の方向に沿った複数個所に形成されている請求項１又は２に記載のプローブ。
4. 前記接触部は、前記軸線に対する半径方向の外側に切り起された片持ちの板バネとされている請求項１から３のいずれかに記載のプローブ。
5. ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、
   軸線の方向に延在した筒状の主バレル及び該主バレルに収容されたプランジャを有するプローブ本体と、
   前記主バレルが前記軸線の方向に挿通される導通バレルと、
   を備え、
   前記主バレルは、前記軸線の方向に沿った一部の区間に拡径部を有し、
   前記導通バレルは、前記軸線の方向に沿ったスリットを有し、
   前記導通バレルは、弾性変形した状態で前記拡径部に嵌合されて前記主バレルに対して固定されているプローブ。
6. ハウジングに形成されるとともに金属製の内周壁で画定された貫通孔に挿通されるグランド用のプローブであって、
   軸線の方向に延在した筒状の主バレル及び該主バレルに収容されたプランジャを有するプローブ本体と、
   前記主バレルが前記軸線の方向に挿通される導通バレルと、
   を備え、
   前記導通バレルは、前記主バレル及び／又は前記内周壁に弾性を持って接触する接触部を有しているプローブ。
7. 前記導通バレルは、前記軸線の方向に沿ったスリットを有している請求項６に記載のプローブ。
8. 前記主バレルは、前記軸線の方向に沿った一部の区間に拡径部を有し、
   前記導通バレルは、弾性変形した状態で前記拡径部に嵌合されて前記主バレルに対して固定されている請求項７に記載のプローブ。
9. 前記接触部は、前記軸線に対する周方向に複数形成されている請求項６から８のいずれかに記載のプローブ。
10. 前記接触部は、片持ちの板バネとされている請求項６から９のいずれかに記載のプローブ。
11. 前記拡径部は、前記軸線の方向に沿って外径が漸次拡大していくテーパ形状とされている請求項５又は８に記載のプローブ。
12. 請求項１から１１のいずれかに記載のプローブと、
    前記貫通孔が形成された前記ハウジングと、
    を備えている検査用ソケット。

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