JP2023022499A - 放熱フィン一体型基板の製造方法及び放熱フィン一体型基板 - Google Patents

Abstract

【課題】放熱フィンを有する金属板に絶縁層を介して接合される金属層に対してパターンエッチングを行うことができる放熱フィン一体型基板の製造方法を得る。【解決手段】放熱フィン一体型基板の製造方法では、複数の放熱フィン１４を有する金属板１２の放熱フィン１４とは反対側の面に絶縁層１６を介して接合される金属層１８に対してパターンエッチングを行う。この際には、放熱フィン１４を囲う囲い部３４を設け、金属層１８をエッチング液に浸し、パターンエッチング後に囲い部３４を除去する。【選択図】図６

Description

本発明は、放熱フィン一体型基板の製造方法及び放熱フィン一体型基板に関する。

下記特許文献１には、配線パターンを有する基材と、この基材に実装される半導体素子と、基材が載置されるヒートシンクとを備え、ヒートシンクを介して半導体素子からの発熱を放散するパワーモジュールが開示されている。半導体素子は、基材上の配線パターンに半田接続されており、基材はヒートシンクと絶縁性接着剤で接着されている。このように絶縁性接着剤を用いれば、絶縁基板を用いる場合に比べて半導体素子からヒートシンクまでの熱抵抗を小さくでき、より効率的に半導体素子を冷却することができる。

特開２００５－１５９０４８号公報

上記の先行技術では、配線パターンの材料として銅板が用いられる。この銅板（金属層）が絶縁性接着剤（絶縁層）を介してヒートシンク（金属板）と接合されたものに対し、配線パターンを形成するためのパターンエッチングを施すと、ヒートシンクの放熱フィンがエッチング液で溶けてしまう。このため、パターンエッチングによる配線パターンの製作ができないという課題があった。

本発明は上記課題を考慮し、放熱フィンを有する金属板に絶縁層を介して接合される金属層に対してパターンエッチングを行うことができる放熱フィン一体型基板の製造方法及び該製造方法により製造される放熱フィン一体型基板を得ることを目的とする。

本発明に係る放熱フィン一体型基板の製造方法は、複数の放熱フィンを有する金属板の前記放熱フィンとは反対側の面に絶縁層を介して接合される金属層に対してパターンエッチングを行い、放熱フィン一体型基板を製造する放熱フィン一体型基板の製造方法であって、前記放熱フィンを囲う囲い部を設け、前記金属層をエッチング液に浸し、パターンエッチング後に前記囲い部を除去する。

本発明に係る放熱フィン一体型基板は、複数の放熱フィンを有する金属板と、前記金属板における放熱フィンとは反対側の面に形成された絶縁層と、前記絶縁層における前記金属板とは反対側の面に形成された金属層と、を備え、前記金属層における厚さ方向と直交する方向の端面は、エッチング液により溶解された溶解面である。

本発明に係る放熱フィン一体型基板の製造方法では、複数の放熱フィンを有する金属板の放熱フィンとは反対側の面に絶縁層を介して金属層が接合される。この金属層に対してパターンエッチングを行う際には、放熱フィンを囲う囲い部を設け、金属層をエッチング液に浸す。これにより、放熱フィンを溶かすことなく、金属層に対してパターンエッチングを行うことができる。その後、上記の囲い部を除去することにより、放熱フィン一体型基板が完成する。

本発明に係る放熱フィン一体型基板では、複数の放熱フィンを有する金属板における放熱フィンとは反対側の面に絶縁層が形成され、当該絶縁層における金属板とは反対側の面に金属層が形成されている。この金属層における厚さ方向と直交する方向の端面は、エッチング液により溶解された溶解面である。この放熱フィン一体型基板は、上記の製造方法により製造することができる。

第１実施形態に係る放熱フィン一体型基板を金属層側から見た状態で示す斜視図である。 第１実施形態に係る放熱フィン一体型基板を放熱フィン側から見た状態で示す斜視図である。 図１のＦ３－Ｆ３線に沿った切断面を示す断面図である。 第１実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 図４に示される構成を、図４とは異なる方向から見た状態で示す斜視図であり、フィルムの貼付について説明するための図である。 第１実施形態におけるエッチング加工中の状態を示す側面図である。 第２実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 第２実施形態におけるエッチング加工中の状態を示す側面図である。 第３実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 第３実施形態におけるエッチング加工中の状態を示す側面図である。 第３実施形態における切断工程について説明するための側面図である。 第４実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 第５実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 第５実施形態の第１変形例について説明するための断面図である。 第５実施形態の第２変形例について説明するための断面図である。 第５実施形態の第３変形例について説明するための斜視図である。 第６実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 図１７のＦ１８－Ｆ１８線に沿った切断面を示す断面図である。 第６実施形態におけるエッチング加工中の状態を示す側面図である。 第７実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図である。 第７実施形態におけるエッチング加工中の状態を示す第１断面図である。 第７実施形態におけるエッチング加工中の状態を示す第２断面図である。 第７実施形態の第１変形例について説明するための斜視図である。 第７実施形態の第２変形例について説明するための斜視図である。 第８実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す斜視図であり、エッチング加工中の状態を示す図である。 第８実施形態の変形例について説明するための斜視図である。 参考例に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す図１に対応した斜視図である。 参考例に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態を示す図２に対応した斜視図である。

＜第１の実施形態＞
以下、図１～図６を参照して本発明の第１実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０及びその製造方法について説明する。なお、各図中においては、図面を見易くするため、一部の符号を省略している場合がある。

図１～図３に示されるように、本実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０は、複数の放熱フィン１４を有する金属板１２と、絶縁層１６（図３以外では図示省略）と、金属層１８とを備えている。金属板１２は、例えばアルミニウム合金の押出成形によって製造されたものであり、片側の面に複数の放熱フィン１４を有している。金属板１２の材料は、アルミニウム合金に限らず、アルミニウム、銅、銅合金など、熱伝導性が高い材料であればよい。

絶縁層１６は、例えば絶縁性接着剤からなる層であり、金属板１２における放熱フィン１４とは反対側の面に設けられている。絶縁層１６の材料である絶縁性接着剤としては、エポキシ系接着剤やセラミック系接着剤などが挙げられる。この絶縁性接着剤は、電気的絶縁性を有し、かつ耐熱性に優れるものが好ましい。

金属層１８は、例えば銅板からなる層であり、絶縁層１６における金属板１２とは反対側の面に設けられている。この金属層１８は、図１～図３では矩形平板状になっているが、実際には配線パターンを形成している。この金属層１８には、例えばはんだ等の導電性接合材を介して半導体素子等が接合される。この金属層１８の材料は、銅に限らず、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金など、電気伝導率が高い材料であればよい。金属層１８は、パターンエッチングによって配線パターン形状に形成される。そのため、金属層１８における厚さ方向と直交する方向の端面は、エッチング液により溶解された溶解面１８Ａ（図３以外では符号省略）となっている。図示は省略するが、この溶解面１８Ａは、絶縁層１６側へ向かうほど上記直交する方向の外側へ向かうように傾斜または湾曲している。

次に、上記構成の放熱フィン一体型基板１０の製造方法について説明する。上記構成の放熱フィン一体型基板１０を製造する際には、図４及び図５に示されるように、複数の金属板１２が結合され、複数の金属板１２にそれぞれ絶縁層１６及び金属層１８（この段階の金属層１８は、配線パターン形状に形成される前の矩形平板状である）が設けられた金属板の結合体２０（以下、単に「結合体２０」と称する）を製造する。本実施形態では、複数の金属板１２が一体に結合された状態に押出成形され、当該押出成形品に対して絶縁層１６の材料である絶縁性接着剤を用いて金属層１８が接合される。この金属層１８には、配線パターンとして残す部分に印刷等の手段でエッチングレジストが塗布される。なお、図４及び図５では、９個の金属板１２が３行３列の格子状に結合された例を示しており、各金属板１２の境界を破線（仮想線）で示している。

上記の結合体２０には、複数の金属板１２の放熱フィン１４を囲う囲い壁２２が設けられている。この囲い壁２２は、上記の押出成形によって複数の金属板１２と一体に形成されたものである。この囲い壁２２は、複数の金属板１２における放熱フィン１４側の面と対向して配置された対向壁２４と、対向壁２４の幅方向両端部と複数の金属板１２の幅方向両端部とを繋いだ二つの側壁２６とによって構成されている。この囲い壁２２を備えた結合体２０は、矩形の閉断面を形成しており、当該閉断面の内側の空間２８に各金属板１２の放熱フィン１４が収容されている。

押出成形によって成形される結合体２０では、押出方向の両側の端面に、上記の空間２８を外部に開放させる開口部３０が形成されている。これらの開口部３０は、結合体２０の押出方向両側の端面にそれぞれ貼り付けられるフィルム３２によって塞がれる。これらのフィルム３２は、エッチング液では溶けない樹脂等によりフィルム状に形成されており、両面粘着テープや接着等の手段で結合体２０に張り付けられる。これらのフィルム３２は、囲い壁２２と共に囲い部３４を構成する。この囲い部３４及び複数の金属板１２によって放熱フィン１４が全方位から囲われる構成である。この囲い部３４の一部である囲い壁２２は、複数の金属板１２と一体に形成されている。なお、フィルム３２の代わりに、シート状又は板状の閉塞部材により開口部３０を閉塞してもよい。

上記のようにフィルム３２が貼付された結合体２０には、エッチング加工が施される。このエッチング加工では、例えば図６に示されるように、フィルム３２が貼付された結合体２０の全体、すなわち複数の金属板１２及び囲い部３４の全体が、エッチング液ＥＬに浸される。これにより、複数の金属板１２の各金属層１８に対してパターンエッチングが施される。このパターンエッチングでは、各金属層１８のうち、エッチングレジストが塗布されていない部分が溶解され、図示していない配線パターンが形成される。なお、エッチング液ＥＬには、少なくとも金属層１８が浸れば良い。また、図６では、説明の都合上、フィルム３２にハッチングを付している。

上記のエッチング加工が完了すると、囲い部３４の一部である二つのフィルム３２が結合体２０から剥がされて除去され、次の切断工程に移行する。切断工程では、複数の金属板１２と二つの側壁２６との間で結合体２０が切断機により切断され、囲い部３４の一部である囲い壁２２が複数の金属板１２から除去される。次いで、複数の金属板１２が切断機による切断によって分割される。これにより、複数の放熱フィン一体型基板１０が完成する。

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。本実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造方法では、複数の放熱フィン１４を有する金属板１２の放熱フィン１４とは反対側の面に絶縁層１６を介して金属層１８が接合される。この金属層１８に対してパターンエッチングを行う際には、放熱フィン１４を囲う囲い部３４を設け、金属層１８をエッチング液ＥＬに浸す。これにより、放熱フィン１４がエッチング液ＥＬに浸って溶けることなく、金属層１８に対してパターンエッチングを行うことができる。その後、囲い部３４を除去することにより、放熱フィン一体型基板１０が完成する。この製造方法によれば、放熱フィン１４を有する金属板１２と一体化された金属層１８に対してパターンエッチングを行って配線パターンを形成することができるので、放熱フィン一体型基板１０の製造が容易になる。

しかも、本実施形態では、複数の金属板１２及び囲い部３４により複数の放熱フィン１４を全方位から囲い、複数の金属板１２及び囲い部３４の全体をエッチング液ＥＬに浸すので、例えばエッチング液ＥＬの液面の高さ（エッチング液ＥＬの深さ）の調整が容易になり、エッチング加工が容易になる。

また、本実施形態では、複数の金属板１２が結合され、複数の金属板１２にそれぞれ絶縁層１６及び金属層１８が設けられた結合体２０を製造し、当該結合体２０の各金属層１８に対してパターンエッチングを行う。これにより、複数の金属板１２の各金属層１８に対して同時にパターンエッチングを行うことができるため、エッチングタクトを短縮することができ、製造コストを低減することが可能となる。

また、本実施形態では、囲い部３４の一部である囲い壁２２を、複数の金属板１２と一体に形成する。この囲い壁２２は、複数の金属板１２の押出成形時に形成することができるため、囲い壁２２を形成するための専用の工程が不要である。なお、切断工程後の囲い壁２２は、例えば溶解されて再利用される。

次に、本発明の他の実施形態について説明する。なお、説明済みの実施形態と基本的に同様の構成及び作用については、説明済みの実施形態と同符号を付与しその説明を省略する。

＜第２の実施形態＞
図７には、本発明の第２実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態では、結合体２０の囲い壁２２が対向壁２４を有していない。この結合体２０に二つのフィルム３２が貼付されて形成される囲い部３６は、複数の金属板１２の各金属層１８が下側に向く姿勢で上方側が開口された状態となる。この囲い部３６により、複数の放熱フィン１４の側方が囲われる。そして、図８に示されるように、上記の姿勢のままで結合体２０及びフィルム３２の下部側がエッチング液ＥＬに浸される。これにより、複数の放熱フィン１４が空気中に配置された状態で、各金属層１８がエッチング液ＥＬに浸され、各金属層１８に対してパターンエッチングが施されて配線パターンが形成される。図８では、説明の都合上、フィルム３２にハッチングを付している。

上記のエッチング加工が完了すると、二つのフィルム３２が結合体２０から剥がされる。次の切断工程では、複数の金属板１２から二つの側壁２６が除去されると共に、複数の金属板１２が分割される。これにより、複数の放熱フィン一体型基板１０が完成する。この第２実施形態においても、放熱フィン１４がエッチング液ＥＬに浸って溶けることなく、放熱フィン１４を有する金属板１２と一体化された金属層１８に対してパターンエッチングを行うことができる。

＜第３の実施形態＞
図９には、本発明の第３実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態では、複数の金属板１２を押出成形によって製造する際に、囲い部３７の一部である二つの側壁２６を介して複数の金属板１２を結合することで、複数の金属板１２の放熱フィン１４を収容する空間２８を備えた金属板の結合体３８を製造する。この結合体３８では、各々の金属層１８を互いに反対側へ向けて配置された複数の金属板１２が複数の放熱フィン１４において一体に結合されている。この結合体３８における押出方向の両端面に貼付される二つのフィルム３２によって上記の空間２８の開口部３０が塞がれる。

フィルム３２が貼付された結合体３８の全体、すなわち複数の金属板１２及び囲い部３７の全体が、エッチング液ＥＬに浸される。これにより、複数の金属板１２の各金属層１８に対してパターンエッチングが施されて配線パターンが形成される。なお、図１０では、説明の都合上、フィルム３２にハッチングを付している。このエッチング加工が完了すると、二つのフィルム３２が結合体３８から剥がされて除去され、次の切断工程に移行する。切断工程では、図１１に示される切断線ＣＬ（仮想線）に沿って結合体３８が切断され、各金属板１２から側壁２６が除去されると共に、複数の金属板１２が分割される。これにより、複数の放熱フィン一体型基板１０が完成する。この第３実施形態においても、放熱フィン１４がエッチング液ＥＬに浸って溶けることなく、放熱フィン１４を有する金属板１２と一体化された金属層１８に対してパターンエッチングを行うことができる。しかも、この実施形態では、第１実施形態よりもエッチングタクトの短縮が可能となり、切断工程で除去される囲い壁２２の量を減らすことができる。

＜第４の実施形態＞
図１２には、本発明の第４実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態では、複数の金属板１２を押出成形によって製造する際に、４個の金属板１２を角筒状に一体成形して金属板の結合体４０を製造する。この結合体４０では、４つの金属板１２が放熱フィン１４を互いに向かい合わせた状態で結合されており、４つの金属板１２の放熱フィン１４を収容する空間２８が形成されている。この結合体４０の４つの外側側面は、各金属板１２によって構成されており、各外側側面には、それぞれ金属層１８と図示しない絶縁層１６とが設けられている。この結合体４０における押出方向の両端面に貼付される二つのフィルム３２によって上記の空間２８の開口部３０が塞がれる。

図示は省略するが、二つのフィルム３２が貼付された結合体４０の全体がエッチング液ＥＬに浸される。これにより、４つの金属板１２の各金属層１８に対してパターンエッチングが施されて配線パターンが形成される。このエッチング加工が完了すると、二つのフィルム３２が結合体４０から剥がされて除去され、次の切断工程に移行する。切断工程では、４つの金属板１２がその境界で切断されて分割され、４つの放熱フィン一体型基板１０が完成する。この第４実施形態においても、放熱フィン１４がエッチング液ＥＬに浸って溶けることなく、放熱フィン１４を有する金属板１２と一体化された金属層１８に対してパターンエッチングを行うことができる。なお、この第４実施形態において、角筒状の結合体４０を軸方向に長く形成すれば、製造可能な放熱フィン一体型基板１０の個数を増加させることができる。

＜第５の実施形態＞
図１３には、本発明の第５実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態では、複数の金属板１２を押出成形によって製造する際に、二つの側壁２６及び二つの中間壁４２を介して複数の金属板１２を結合することで、複数の金属板１２の放熱フィン１４を収容する空間２８を備えた金属板の結合体４４を製造する。この結合体４４では、各々の金属層１８を互いに反対側へ向けて配置された複数の金属板１２が複数の放熱フィン１４を向かい合わせた状態で配置されている。二つの中間壁４２は、複数の放熱フィン１４と二つの側壁２６との間に配置されており、二つの側壁２６との間に二つの嵌合孔４６を形成している。これらの嵌合孔４６には、二つの側壁２６と共に囲い部５２を形成する二つの閉塞部材４８が有する二つの嵌合片５０が圧入されて嵌合される。二つの閉塞部材４８は、結合体４４に対して押出方向の両側に取り付けられ、結合体４４の押出方向の両端に形成された開口部３０をそれぞれ閉塞する。

図示は省略するが、二つの閉塞部材４８が取り付けられた結合体４４の全体がエッチング液ＥＬに浸される。これにより、複数の金属板１２の各金属層１８に対してパターンエッチングが施されて配線パターンが形成される。このエッチング加工が完了すると、二つの閉塞部材４８が結合体４４から取り外され、次の切断工程に移行する。切断工程では、二つの側壁２６及び二つの中間壁４２が複数の金属板１２から切断されて除去されると共に、複数の金属板１２が分割され、複数の放熱フィン一体型基板１０が完成する。この第４実施形態においても、放熱フィン１４がエッチング液ＥＬに浸って溶けることなく、放熱フィン１４を有する金属板１２と一体化された金属層１８に対してパターンエッチングを行うことができる。

なお、図１３に示される例では、結合体４４が互いに反対向きに配置された複数の金属板１２を有しているが、例えば図１４に示される第１変形例のように、結合体５４が対向壁２４を有する構成にしてもよい。この結合体５４では、二つの側壁２６と放熱フィン１４との間の空間２８Ａに、閉塞部材４８の二つの嵌合片５０が嵌合される。また、例えば図１５に示される第２変形例のように、第３実施形態における結合体３８において、二つの側壁２６と放熱フィン１４との間の空間２８Ａに閉塞部材４８の二つの嵌合片５０を嵌合させる構成にしてもよい。また、例えば図１６に示される第３変形例のように、結合体５６及び二つの閉塞部材４８にねじ孔５８を形成し、二つの閉塞部材４８をねじ止めによって結合体５６に取り付ける構成にしてもよい。その他、二つの閉塞部材４８の取付方法は、接着やカシメであってもよい。

＜第６の実施形態＞
図１７には、本発明の第６実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態では、第２実施形態と同様に、結合体２０の囲い壁２２が対向壁２４を有していない。なお、図１７～図１９では、図面を簡略化するため、金属板１２が一つのみの状態で結合体２０を図示しているが、結合体２０が複数の金属板１２を有していてもよい。

図１７及び図１８に示されるように、結合体２０の押出方向の両端面には、それぞれフィルム３２が貼付される。この点も第２実施形態と同様である。但し、フィルム３２が貼付された結合体２０は、図１９に示されるように、金属層１８を上側に向けた姿勢でその全体がエッチング液ＥＬに浸される。この際には、囲い部３６の内側に空気が存在する状態とされることにより、放熱フィン１４にエッチング液ＥＬが付着することが防止される。このエッチング加工が完了すると、第２実施形態と同様に、二つのフィルム３２が結合体２０から除去され、切断工程が行われることにより、放熱フィン一体型基板１０が完成する。この第４実施形態においても、放熱フィン１４がエッチング液ＥＬに浸って溶けることなく、放熱フィン１４を有する金属板１２と一体化された金属層１８に対してパターンエッチングを行うことができる。

＜第７実施形態＞
図２０には、本発明の第７実施形態に係る放熱フィン一体型基板の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態における結合体６０は、第１実施形態における結合体２０と類似しているが、一方の側壁２６が突出部６２を有している。突出部６２は、他方の側壁２６とは反対側へ断面略Ｕ字状に突出している。この突出部６２により囲い壁２２内の空間２８が拡大されている。この結合体６０に貼り付けられる二つのフィルム３２は、突出部６２の一部には貼付されず、上記の空間２８を突出部６２において外部と連通させるように形成される。

二つのフィルム３２が貼付された結合体６０は、図２１及び図２２に示されるように、突出部６２を上側に向けた姿勢でエッチング液に浸される。この際、突出部６２は、エッチング液ＥＬの液面のよりも上側で空気中に配置される。このため、例えばエッチング液ＥＬの水圧や液温の影響でフィルム３２が変形し、空間２８内の空気が膨張したとしても、空間２８が突出部６２において外部と連通されているため、空間２８の内圧を一定に維持することができる。これにより、フィルム３２が結合体６０から不用意に剥がれることや、フィルム３２と結合体６０との間に隙間ができて空間２８内にエッチング液ＥＬが入り込むことを防止できる。

なお、図２０～図２２に示される例では、結合体６０が第１実施形態における結合体２０と類似した構成にしたが、例えば図２３に示される第１変形例や、図２４に示される第２変形例のように、対向壁２４の代わりに複数の金属板１２が設けられる構成にしてもよい。図２３に示される第１変形例では、左右方向に対向する複数の金属板１２において、放熱フィン１４が上下方向に互い違いに形成されている。図２４に示される第２変形例では、左右方向に対向する複数の金属板１２において、放熱フィン１４が上下方向の同じ位置に形成されている。これらの第１変形例及び第２変形例では、第７実施形態と比較してエッチングタクトを２分の１にすることができる。

＜第８の実施形態＞
図２５には、第８実施形態に係る放熱フィン一体型基板１０の製造途中の状態が斜視図にて示されている。この実施形態における結合体６４は、第５実施形態における結合体４４と類似しているが、二つの中間壁４２を有していない。この結合体６４における押出方向の両端面のうち一方の端面のみにフィルム３２が貼付され、当該フィルム３２を下側にして結合体６４がエッチング液ＥＬに浸される。これにより、金属層１８はエッチング液ＥＬに浸されるが、結合体６４の他方の端面は、エッチング液ＥＬの液面のよりも上側で空気中に配置される。このため、第７実施形態と同様に、空間２８の内圧を一定に維持できる。

なお、図２６に示される変形例のように、結合体６４における押出方向の他方の端面に、結合体６４より若干短いフィルム３２を貼付するようにしてもよい。これにより、上記他方の端面の一端部において空間２８を外部に連通させ、当該連通箇所がエッチング液ＥＬの上側に配置されるように、結合体６４を傾けてエッチング液ＥＬに浸せばよい。

＜参考例＞
図２７には、参考例に係る放熱フィン一体型基板１０’の製造途中の状態が図１に対応した斜視図にて示されている。図２８には、参考例に係る放熱フィン一体型基板１０’の製造途中の状態が図２に対応した斜視図にて示されている。この参考例における放熱フィン一体型基板１０’の製造方法では、金属板１２の複数の放熱フィン１４に溶け代１４Ａを設定し、パターンエッチングを行う際に、複数の放熱フィン１４をエッチング液ＥＬに浸して溶け代１４Ａを溶かす。つまり、金属板１２を押出成形する際に複数の放熱フィン１４を厚めに形成しておき、その後のエッチング加工で放熱フィン１４を溶かすことにより、放熱フィン１４の厚みを所望の厚みとする。この参考例における製造方法で製造される放熱フィン一体型基板１０’は、図１及び図２に示される放熱フィン一体型基板１０と基本的に同様の構成となるが、この放熱フィン一体型基板１０’では複数の放熱フィン１４の表面がエッチング液ＥＬにより溶解された溶解面となる。

以上、幾つかの実施形態を挙げて本発明について説明したが、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が前記各実施形態に限定されないことは勿論である。

上記実施形態において、複数の放熱フィン１４を囲う囲い部の表面に、囲い部の表面がエッチング液によって溶けることを防止するシート等を張り付けるようにしてもよい。このようにすれば、エッチング液が汚れることを防ぐことができ、エッチング液の交換頻度が高まりコストがかさむことを防ぐことができる。

１０ 放熱フィン一体型基板
１２ 金属板
１４ 放熱フィン
１６ 絶縁層
１８ 金属層
１８Ａ 溶解面
２０ 金属板の結合体
２６ 側壁（囲い部の一部）
２８ 空間
３４ 囲い部
３６ 囲い部
３８ 金属板の結合体
４０ 金属板の結合体
４４ 金属板の結合体
５２ 囲い部
５４ 金属板の結合体
５６ 金属板の結合体
６０ 金属板の結合体
６４ 金属板の結合体
ＥＬ エッチング液

Claims (7)

1. 複数の放熱フィンを有する金属板の前記放熱フィンとは反対側の面に絶縁層を介して接合される金属層に対してパターンエッチングを行い、放熱フィン一体型基板を製造する放熱フィン一体型基板の製造方法であって、
   前記放熱フィンを囲う囲い部を設け、前記金属層をエッチング液に浸し、パターンエッチング後に前記囲い部を除去する放熱フィン一体型基板の製造方法。
2. 前記金属板及び前記囲い部により前記複数の放熱フィンを全方位から囲い、前記金属板及び前記囲い部の全体を前記エッチング液に浸す請求項１に記載の放熱フィン一体型基板の製造方法。
3. 複数の前記金属板が結合され且つ複数の前記金属板にそれぞれ前記絶縁層及び前記金属層が設けられた前記金属板の結合体を製造し、当該金属板の結合体のそれぞれの前記金属層に対してパターンエッチングを行う請求項２に記載の放熱フィン一体型基板の製造方法。
4. 前記金属板の結合体を製造する際には、前記囲い部の一部を介して前記複数の金属板を結合することで、前記複数の金属板の放熱フィンを収容する空間を形成する請求項３に記載の放熱フィン一体型基板の製造方法。
5. 前記囲い部により前記複数の放熱フィンの側方を囲い、前記複数の放熱フィンを空気中に配置した状態で前記金属層をエッチング液に浸す請求項１に記載の放熱フィン一体型基板の製造方法。
6. 前記囲い部の一部を、前記金属板と一体に形成する請求項１～５のいずれかに記載の放熱フィン一体型基板の製造方法。
7. 複数の放熱フィンを有する金属板と、
   前記金属板における放熱フィンとは反対側の面に形成された絶縁層と、
   前記絶縁層における前記金属板とは反対側の面に形成された金属層と、を備え、
   前記金属層における厚さ方向と直交する方向の端面は、エッチング液により溶解された溶解面である放熱フィン一体型基板。
   

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