JP2023021622A5 - - Google Patents
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Description
本静電チャックは、一方の面が吸着対象物の載置面である基体と、前記基体を貫通する貫通孔と、を備え、前記貫通孔に、角状セラミック粒子と、２種以上の元素の酸化物と、を含む多孔質体が配置され、前記２種以上の元素の酸化物は、前記角状セラミック粒子の外面の一部に固着して前記角状セラミック粒子を支持し、前記角状セラミック粒子を結着して一体化する。
Claims (8)
- 一方の面が吸着対象物の載置面である基体と、
前記基体を貫通する貫通孔と、を備え、
前記貫通孔に、角状セラミック粒子と、２種以上の元素の酸化物と、を含む多孔質体が配置され、
前記２種以上の元素の酸化物は、前記角状セラミック粒子の外面の一部に固着して前記角状セラミック粒子を支持し、前記角状セラミック粒子を結着して一体化する静電チャック。 - 前記基体と前記角状セラミック粒子は、同一の酸化物セラミックスを含む請求項１に記載の静電チャック。
- 前記酸化物セラミックスは、アルミナである請求項２に記載の静電チャック。
- 前記基体は、前記多孔質体と同一の前記２種以上の元素の酸化物を含み、
前記基体内の前記酸化物の組成比は、前記多孔質体の内の前記酸化物の組成比と同じに設定されている請求項１乃至３の何れか一項に記載の静電チャック。 - 前記２種以上の元素は、ケイ素、マグネシウム、カルシウム、及びイットリウムから選択される、請求項１乃至４の何れか一項に記載の静電チャック。
- 前記角状セラミック粒子は、粗粒アルミナである、請求項１乃至５の何れか一項に記載の静電チャック。
- 前記角状セラミック粒子の粒子サイズは、１０μｍ以上１００μｍ以下である、請求項１乃至６の何れか一項に記載の静電チャック。
- 内部にガス供給部を備えたベースプレートと、
前記ベースプレート上に設けられた請求項１乃至７の何れか一項に記載の静電チャックと、を有し、
前記貫通孔は、前記ガス供給部に連通し、
前記ガス供給部及び前記貫通孔を介して、前記載置面にガスが供給される、基板固定装置。
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