JP2023015547A - 磁気センサ装置 - Google Patents

磁気センサ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023015547A
JP2023015547A JP2021119396A JP2021119396A JP2023015547A JP 2023015547 A JP2023015547 A JP 2023015547A JP 2021119396 A JP2021119396 A JP 2021119396A JP 2021119396 A JP2021119396 A JP 2021119396A JP 2023015547 A JP2023015547 A JP 2023015547A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
axis
magnetic sensor
sensor device
magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2021119396A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7444143B2 (ja
Inventor
貴裕 守屋
Takahiro Moriya
俊彦 大山
Toshihiko Oyama
啓史 鈴木
Hiroshi Suzuki
俊夫 石川原
Toshio Ishikawara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2021119396A priority Critical patent/JP7444143B2/ja
Priority to CN202210422024.0A priority patent/CN115638715A/zh
Priority to US17/828,104 priority patent/US11698422B2/en
Priority to DE102022118026.3A priority patent/DE102022118026A1/de
Publication of JP2023015547A publication Critical patent/JP2023015547A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7444143B2 publication Critical patent/JP7444143B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/091—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/0052—Manufacturing aspects; Manufacturing of single devices, i.e. of semiconductor magnetic sensor chips
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07—Hall effect devices
    • G01R33/072—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/096—Magnetoresistive devices anisotropic magnetoresistance sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/098—Magnetoresistive devices comprising tunnel junctions, e.g. tunnel magnetoresistance sensors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

【課題】磁気センサによる検出可能範囲を相対的に大きくしつつ、かつ相対的に小型化が可能な磁気センサ装置を提供する。【解決手段】移動体の直線移動を検出するための磁気センサ装置は、磁界発生部と、磁界発生部から発生する磁界を検出可能に設けられている磁界検出部とを備え、磁界検出部は、移動体の直線移動に伴い、第１軸に沿って相対的に移動可能に設けられており、第１軸は、移動体の移動方向に平行であり、磁界発生部は、第１磁界発生部及び第２磁界発生部を含み、第１磁界発生部及び第２磁界発生部は、第１軸に対して実質的に平行に並列しており、第１磁界発生部の第１磁化方向と平行な第１線分は、第１軸に直交する第２軸に対して傾いており、第２磁界発生部の第２磁化方向と平行な第２線分は、第２軸に対して傾いており、第１線分と第２線分とは、第２軸に対して対称に位置し、かつ第１軸に向かって開放するように互いに交差する線分である。【選択図】図１

Description

本発明は、磁気センサ装置に関する。
近年、種々の用途において、物理量（例えば、移動体の直線移動による位置や移動量（変化量）等）を検出するための物理量検出装置（位置検出装置）が用いられている。例えば、自動車のトランスミッションにおけるクラッチ等の位置を検出したり、各種ペダルの踏み込み量を検出したりするために、上記位置検出装置が用いられている。この位置検出装置としては、外部磁場の変化を検出可能な磁気センサと、磁気センサに対する相対的な位置を変化させ得る磁界発生部（例えば磁石）とを備える磁気センサ装置が知られている。磁気センサ装置において、外部磁場の変化に応じたセンサ信号が磁気センサから出力される。
磁気センサとしては、被検出磁界を検出する磁気センサ素子が基板上に設けられているものが知られている。磁気センサ素子としては、外部磁場の変化に応じて抵抗が変化する磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子、ＴＭＲ素子等）等が用いられている。
移動体の直線移動による位置や移動量等を検出するための上記磁気センサ装置１００は、図１９に示すように、例えば、磁気センサ素子を含む磁気センサ１２０と、磁界発生部としての２つの磁石１３０，１３０とを備える。移動体の移動方向に沿って並列する２つの磁石１３０，１３０は、移動体とともに移動することで、磁気センサ１２０に対して２つの磁石１３０，１３０の位置が相対的に変位する。これにより、２つの磁石１３０，１３０から発生し、磁気センサ１２０に入力される磁束が変化するため、移動体の位置や移動量を検出することが可能となる。
特許第５１１６５７６号公報
上記磁気センサ装置１００において、移動体の移動方向に沿って並列する２つの磁石１３０，１３０は、当該移動方向に沿って見たときに、互いのＮ極とＳ極とを対向させて所定の間隔で配置されている。この磁気センサ装置１００において、移動方向に沿って並列した２つの磁石１３０，１３０が占める領域（磁界発生部領域）に対し、磁気センサ１２０により検出できる範囲（検出可能範囲）が決定される。
上記磁気センサ装置１００において、２つの磁石１３０，１３０の着磁方向（磁化方向）が、移動体の移動方向に対して直交しているため、上記検出可能範囲をより大きくするためには、２つの磁石１３０，１３０の間隔を広げ、上記磁界発生部領域を相対的に大きくしなければならない。これにより、上記検出可能範囲を大きくすることができるものの、磁気センサ装置１００も相対的に大型化してしまう。上記磁界発生部領域を相対的に小さくすることで磁気センサ装置１００の小型化を図りつつ、上記検出可能範囲を相対的に大きくすることが要求される。
上記課題に鑑みて、本発明は、磁気センサによる検出可能範囲を相対的に大きくしつつ、かつ相対的に小型化が可能な磁気センサ装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、移動体の直線移動を検出するための磁気センサ装置であって、磁界発生部と、前記磁界発生部から発生する磁界を検出可能に設けられている磁界検出部とを備え、前記磁界検出部は、前記移動体の直線移動に伴い、第１軸に沿って相対的に移動可能に設けられており、前記第１軸は、前記移動体の移動方向に平行であり、前記磁界発生部は、第１磁界発生部及び第２磁界発生部を含み、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部は、前記第１軸に対して実質的に平行に並列しており、前記第１磁界発生部の第１磁化方向と平行な第１線分は、前記第１軸に直交する第２軸に対して傾いており、前記第２磁界発生部の第２磁化方向と平行な第２線分は、前記第２軸に対して傾いており、前記第１線分と前記第２線分とは、前記第２軸に対して対称に位置し、かつ前記第１軸に向かって開放するように互いに交差する線分であることを特徴とする磁気センサ装置を提供する。
上記磁気センサ装置において、平面視において、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部は、それぞれ、互いに対向する第１辺及び第２辺と、互いに対向する第３辺及び第４辺とを含む略矩形状であり、前記第１辺及び前記第２辺は、前記第１軸に実質的に平行であり、前記第３辺及び前記第４辺は、前記第２軸に実質的に平行であってもよい。また、上記磁気センサ装置において、平面視において、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部は、それぞれ、互いに対向する第１辺及び第２辺と、互いに対向する第３辺及び第４辺を含む四角形状であり、前記第１辺及び前記第２辺の少なくとも一方は、前記第１軸に対して傾斜しており、前記第３辺及び前記第４辺は、前記第２軸に実質的に平行であってもよい。前記四角形状は、平行四辺形状又は台形状であってもよい。
上記磁気センサ装置において、前記第１線分及び前記第２線分は、前記第２軸に対して４５°以下の角度で傾いていればよく、前記第１線分の前記第２軸に対する傾斜角度と前記第２線分の前記第２軸に対する傾斜角度とは、実質的に同一であってもよい。
上記磁気センサ装置において、前記第１磁界発生部に接続されている第１ヨーク部と、前記第２磁界発生部に接続されている第２ヨーク部とを備えていてもよく、前記第１ヨーク部と前記第２ヨーク部とが互いに連続していてもよい。前記磁界検出部は、磁界検出素子を含んでいてもよく、前記磁界検出素子としては、ＡＭＲ素子、ＧＭＲ素子又はＴＭＲ素子を用いることができる。
また、本発明は、上記磁気センサ装置を備えることを特徴とするペダル操作機構を提供する。
本発明によれば、磁気センサによる検出可能範囲を相対的に大きくしつつ、かつ相対的に小型化が可能な磁気センサ装置を提供することができる。
図１は、本発明の一実施形態に係る磁気センサ装置の概略構成を示す平面図である。 図２は、本発明の一実施形態に係る磁気センサ装置の概略構成を示す平面図である。 図３は、本発明の一実施形態における磁界発生部の概略構成を示す平面図である。 図４は、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図５は、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図６Ａは、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図６Ｂは、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図７Ａは、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図７Ｂは、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図８は、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図９Ａは、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図９Ｂは、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図１０は、本発明の一実施形態に係る磁気センサ装置の概略構成を示すブロック図である。 図１１は、本発明の一実施形態におけるブレーキペダル操作機構の構成を示す概略図である。 図１２は、本発明の一実施形態における磁界発生部の他の態様の概略構成を示す平面図である。 図１３は、試験例１～試験例４のシミュレーション結果を示すグラフである。 図１４は、試験例５～試験例７のシミュレーション結果を示すグラフである。 図１５は、試験例８～試験例１１のシミュレーション結果を示すグラフである。 図１６は、試験例１２～試験例１５のシミュレーション結果を示すグラフである。 図１７は、試験例１６～試験例１９のシミュレーション結果を示すグラフである。 図１８は、試験例２０～試験例２５のシミュレーション結果を示すグラフである。 図１９は、従来の磁気センサ装置の概略構成を示す平面図である。
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
なお、本実施形態における磁気センサ装置において、必要に応じ、いくつかの図面中、「Ｘ方向及びＹ方向」を規定している。ここで、Ｘ方向は、第１軸ＡＸ１に平行な方向であって、移動体の移動方向に平行な方向であり、Ｙ方向は、第２軸ＡＸ２に平行な方向であって、移動体の移動方向に直交する方向である。
図１～図３に示すように、本実施形態に係る磁気センサ装置１は、磁界検出部としての磁気センサ２と、移動体とともに第１軸ＡＸ１に沿って±Ｘ方向に移動する磁界発生部３とを備える。本実施形態に係る磁気センサ装置１は、移動体の±Ｘ方向への移動量を検出するストロークセンサとして用いられ得る。磁界発生部３は、第１磁界発生部としての第１磁石３１と、第２磁界発生部としての第２磁石３２とを含む。第１磁石３１及び第２磁石３２は、第１軸ＡＸ１に対して実質的に平行に、所定の間隔Ｇ１で並列している。本実施形態において、第１磁石３１の＋Ｘ側の端部と第２磁石３２の－Ｘ側の端部との間の領域ＡＲ（第１軸ＡＸ１に沿って両端部に挟まれた領域）を「磁界発生部領域」と称する。
第１磁石３１及び第２磁石３２の平面視形状は、略矩形状であればよい。当該略矩形状は、第１軸ＡＸ１に対して実質的に平行な第１辺３Ａ及び第２辺３Ｂと、第２軸ＡＸ２に対して実質的に平行な第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄとを含む。当該「実質的に平行」とは、第１軸ＡＸ１に対する第１辺３Ａ及び第２辺３Ｂのなす角度、並びに第２軸ＡＸ２に対する第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄのなす角度が８５～９５°の範囲内であることを意味する。また、略矩形とは、平面視四角形のすべての角の角度が、８５～９５°の範囲内であることを意味する。すなわち、第１磁石３１及び第２磁石３２は、略方体状であればよい。
第２軸ＡＸ２に沿った第１磁石３１の両端部のうち、磁気センサ２の近くに位置する第１端部Ｅ３１１はＮ極に着磁され、磁気センサ２から遠くに位置する第２端部Ｅ３１２はＳ極に着磁されている。一方、第２軸ＡＸ２に沿った第２磁石３２の両端部のうち、磁気センサ２の近くに位置する第１端部Ｅ３２１はＳ極に着磁され、磁気センサ２から遠くに位置する第２端部Ｅ３２２はＮ極に着磁されている。すなわち、移動体の移動方向（±Ｘ方向）である第１軸ＡＸ１に沿って見たときに、互いに異なる磁極を対向させるように第１磁石３１及び第２磁石３２が並列している。このように並列する第１磁石３１及び第２磁石３２において、第１磁石３１の第１端部Ｅ３１１に位置するＮ極から第２磁石３２の第１端部Ｅ３２１に位置するＳ極に向かう（－Ｘ方向に向かう）磁力線と、第１磁石３１の第１端部Ｅ３１１に位置するＮ極から＋Ｘ側に向かう磁力線と、－Ｘ側から第２磁石３２第１端部Ｅ３２１に位置するＳ極に向かう磁力線とが形成される。
第１磁石３１の磁化方向Ｍ１と平行な第１線分Ｌ１は、第２軸ＡＸ２に対して所定の角度θ１で傾いている。同様に、第２磁石３２の磁化方向Ｍ２と平行な第２線分Ｌ２は、第２軸ＡＸ２に対して所定の角度θ２で傾いている。そして、互いに逆方向に傾斜する第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２とは、第１軸ＡＸ１（＋Ｙ側）に向かって開放するように互いに交差する。このように、第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２とが第１軸ＡＸ１（＋Ｙ側）に向かって開放するように互いに交差することで、後述する実施例からも明らかであるが、検出可能範囲Ｓ２を磁界発生部領域ＡＲよりも大きくすることができる。本実施形態に係る磁気センサ装置１は、後述するように、磁気センサ２に印加される磁界の方向の第１軸ＡＸ１に対する角度を表す検出値θＢを生成する。この検出値θＢとしての角度が０°以上３６０°未満となる範囲、すなわち±Ｘ方向において磁気センサ２が磁界発生部３に対し相対的に移動可能な範囲が、本実施形態における検出可能範囲Ｓ２と定義される。
第２軸ＡＸ２に対する第１線分Ｌ１の傾斜角度θ１は、４５°以下であればよい。同様に、第２軸ＡＸ２に対する第２線分Ｌ２の傾斜角度θ２は、４５°以下であればよい。当該傾斜角度θ１，θ２が４５°を超えると、移動体が第１磁石３１及び第２磁石３２の間の中心Ｃから±Ｘ方向に所定距離移動したときに、移動体が＋Ｘ方向に移動しているのか－Ｘ方向に移動しているのかを正確に検出することができないおそれがある。
第１線分Ｌ１と第２線分Ｌ２とは、第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向における中心点Ｐ１を通る第２軸ＡＸ２に対して実質的に対称（線対称）に位置する線分であってもよいし、当該第２軸ＡＸ２に対して非対称に位置する線分であってもよい。すなわち、傾斜角度θ１と傾斜角度θ２とが実質的に同一であってもよいし、異なっていてもよい。傾斜角度θ１と傾斜角度θ２とが実質的に同一であると、所定の基準位置（移動体の移動量を０ｍｍと設定可能な位置）から＋Ｘ方向への移動体の移動量（絶対値）と当該基準位置から－Ｘ方向への移動体の移動量（絶対値）とが実質的に同一となる範囲を上記検出可能範囲Ｓ２とすることができる。一方で、傾斜角度θ１と傾斜角度θ２とが異なっていると、上記＋Ｘ方向への移動体の移動量（絶対値）と上記－Ｘ方向への移動体の移動量（絶対値）とが異なる範囲を上記検出可能範囲Ｓ２とすることができる。磁気センサ装置１が用いられるアプリケーションにおける当該磁気センサ装置１の設置位置及び移動体の移動可能スペース等の関係によって、傾斜角度θ１と傾斜角度θ２とが実質的に同一である磁気センサ装置１と、両者が異なっている磁気センサ装置１とを使い分けることができる。なお、傾斜角度θ１と傾斜角度θ２とが実質的に同一であるとは、両者の差が５°以下であることを意味するものとする。傾斜角度θ１と傾斜角度θ２とが異なっている場合において、傾斜角度θ１と傾斜角度θ２との差は９０°以下であることが好ましい。
なお、第１磁石３１及び第２磁石３２の平面視形状は、略矩形状に限定されるものではなく、例えば、図４及び図５に示すような平行四辺形状や、図６Ａ、図６Ｂ、図７Ａ及び図７Ｂに示すような台形状であってもよい。
第１磁石３１及び第２磁石３２の平面視形状が平行四辺形状である場合、図４及び図５に示すように、当該平面視形状は、第１軸ＡＸ１に対して所定の角度θＡで傾斜し、互いに平行である第１辺３Ａ及び第２辺３Ｂと、第２軸ＡＸ２に対して実質的に平行な第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄとを有していればよい。第１磁石３１の第１辺３Ａと第２磁石３２の第１辺３Ａとは、各第１辺３Ａに対する垂線が磁気センサ２側（＋Ｙ側）に開放するように傾斜していてもよいし、磁気センサ２の反対側（－Ｙ側）に開放するように傾斜していてもよい。第１磁石３１の第１辺３Ａと第２磁石３２の第１辺３Ａとのそれぞれに対する垂線が、磁気センサ２側（＋Ｙ側）に開放するように傾斜していることで、磁気センサ２における検出可能範囲Ｓ２をより大きくすることができる。なお、第１磁石３１及び第２磁石３２の第１辺３Ａの傾斜角度θＡは、特に制限されるものではない。
第１磁石３１及び第２磁石３２の平面視形状が台形状である場合、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、当該平面視形状は、第１軸ＡＸ１に対して所定の角度θＡで傾斜する第１辺３Ａ及び第２辺３Ｂと、第２軸ＡＸ２に対して実質的に平行な第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄとを有していてもよい。また、別の態様として、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、上記平面視形状は、第１軸ＡＸ１に対して所定の角度θＡで傾斜する第１辺３Ａ及び第１軸ＡＸ１に実質的に平行な第２辺３Ｂと、第２軸ＡＸ２に対して実質的に平行な第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄとを有してもよい。第１磁石３１及び第２磁石３２の第１辺３Ａの傾斜角度θＡは、特に制限されるものではない。
図８及び図９に示すように、本実施形態における第１磁石３１は、Ｓ極側（－Ｙ側）に設けられた第１ヨーク部４１を有していてもよく、第２磁石３２は、Ｎ極側（－Ｙ側）に設けられた第２ヨーク部４２を有していてもよい。第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２は、例えばＮｉＦｅ等の磁性材料により構成される。第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２は、互いに連続した一体物であってもよいし（図８参照）、所定の距離で離間していてもよい（図９Ａ及び図９Ｂ参照）。第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２が所定の距離で離間している態様において、第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２のＸ方向の長さが第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向の長さよりも長くてもよいし（図９Ａ参照）、第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２のＸ方向の長さが第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向の長さと同一であってもよい（図９Ｂ参照）。第１磁石３１及び第２磁石３２の－Ｙ側に第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２が設けられていることで、磁気センサ２の検出可能範囲Ｓ２を大きくすることができ、第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２が互いに連続していることで、当該検出可能範囲Ｓ２をより大きくすることができる。
本実施形態において、第１磁石３１及び第２磁石３２の間隔（Ｘ方向の長さ）は、特に限定されるものではない。本実施形態に係る磁気センサ装置１が用いられるアプリケーション等において要求される検出可能範囲Ｓ２、当該磁気センサ装置１に要求される小型化の程度等に応じて適宜設定されればよく、例えば５～５０ｍｍ程度であればよい。
本実施形態において、第１磁石３１及び第２磁石３２の磁気センサ２側（＋Ｙ側）の端面と、磁気センサ２との間隔（Ｙ方向の長さ）であるセンシングギャップＧ１は、特に限定されるものではない。本実施形態に係る磁気センサ装置１が用いられるアプリケーション等において要求される検出可能範囲Ｓ２、当該磁気センサ装置１に要求される小型化の程度等に応じて適宜設定されればよく、例えば３～１０ｍｍ程度であればよい。
図１０に示すように、本実施形態に係る磁気センサ装置１は、信号処理部５を備える。信号処理部５は、磁気センサ２から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ（アナログ－デジタル）変換部５１と、Ａ／Ｄ変換部５１によりデジタル変換されたデジタル信号を演算処理する演算部５２とを含む。なお、演算部５２にて演算処理された演算処理結果をアナログ信号として出力する場合には、信号処理部５は、演算部５２の下流側にＤ／Ａ（デジタル－アナログ）変換部（図示を省略）をさらに含んでいればよい。
信号処理部５は、磁界発生部３から発生し、磁気センサ２に印加される磁界の方向の第１軸ＡＸ１に対する角度を表す検出値θＢを生成する。検出値θＢは、磁界発生部３の磁気センサ２に対する相対位置と対応関係を有する。
本実施形態において、複数の相対位置における検出値θＢが同じ値になることがないようにしなければならない。本実施形態において、検出値θＢとしての角度が０°以上３６０°未満に対応する範囲を検出可能範囲Ｓ２としてもよいし、実際に磁気センサ２が生成する検出値θＢの範囲を０°以上３６０°未満よりも狭い範囲（例えば、５～３５５°）に制限して、その制限された検出値θＢの範囲に対応する相対位置の範囲のみを、検出可能範囲Ｓ２としてもよい。これらのことにより、検出値θＢによって、磁界発生部３の相対位置を一意に特定することができる。
本実施形態において、磁気センサ２は、例えば、ホール素子であってもよいし、１つの抵抗部を含むものであってもよいし、複数の抵抗部（例えば第１～第４抵抗部）を含むものであってもよい。複数の抵抗部が含まれる場合、複数の抵抗部によるホイートストンブリッジ回路（第１～第４抵抗部によるフルブリッジ回路、又は第１抵抗部及び第２抵抗部によるハーフブリッジ回路）が構成されていてもよい。抵抗部は、単一の磁気抵抗効果素子（ＡＭＲ素子、ＧＭＲ素子、ＴＭＲ素子等）を含んでいてもよいし、複数の磁気抵抗効果素子を含んでいてもよい。
Ａ／Ｄ変換部５１は、磁気センサ２から出力されるセンサ信号（電流に関するアナログ信号）をデジタル信号に変換し、当該デジタル信号が演算部５２に入力される。演算部５２は、Ａ／Ｄ変換部５１によりアナログ信号から変換されたデジタル信号についての演算処理を行う。この演算部５２は、例えば、マイクロコンピュータ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成される。
本実施形態において、移動体の移動に伴い磁気センサ２に対する磁界発生部３（第１磁石３１及び第２磁石３２）の相対的な位置が±Ｘ方向に変化すると、磁気センサ２に印加される磁場の方向が変化し、それにより磁気センサ２に対する磁界発生部３（第１磁石３１及び第２磁石３２）の±Ｘ方向における相対的な位置に対応するセンサ信号が磁気センサ２から出力される。このセンサ信号を用いて信号処理部５により検出値θＢが生成される。
本実施形態に係る磁気センサ装置１によれば、第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向が第２軸ＡＸ２に対して傾斜していることで、磁界発生部領域ＡＲに対して検出可能範囲Ｓ２を相対的に大きくすることができる。例えば、磁界発生部領域ＡＲの第１軸ＡＸ１に沿った長さを１としたとき、検出可能範囲Ｓ２の第１軸ＡＸ１に沿った長さを１．５以下とすることができ、１．１～１．５以下とすることができる。したがって、所定の移動量を検出するための磁気センサ装置１として小型化が可能となる。
上記実施形態において、磁気センサ装置１は、実質的に直線的に移動する移動体の位置変化を検知する用途に用いることができる。本実施形態に係る磁気センサ装置１は、例えば、トランスミッションのクラッチの位置検出装置や、トランスミッションのシフトの位置検出装置等として用いられ得る他、各種ペダルの踏み込み量を検出するための装置等としても用いられ得る。例えば、図１１に示すように、本実施形態に係る磁気センサ装置１は、車両ブレーキペダル等のペダル１０１及びＥＣＵ（Eletronic Control Unit）１０２を備えるブレーキペダル操作機構１００において、車両ブレーキペダル１０１の踏み込み量を検出可能に設けられる。例えば、磁気センサ装置１が車両ブレーキペダル１０１の踏み込み量を検出することで、ＥＣＵ１０２により回生ブレーキの制御が行われる。
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
上記実施形態において、第２軸ＡＸ２に対して所定の角度θ１，θ２で傾斜した磁化方向Ｍ１，Ｍ２を有する第１磁石３１及び第２磁石３２が、第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄが第２軸ＡＸ２に実質的に平行になるように配置された態様を例に挙げて説明したが、この態様に限定されるものではない。例えば、図１２に示すように、第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄに平行な磁化方向Ｍ１，Ｍ２を有する第１磁石３１及び第２磁石３２が、第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄが第２軸ＡＸ２に対して所定の角度θ１，θ２で傾くように配置されていてもよい。
上記実施形態において、磁界発生部３が２つの磁石（第１磁石３１及び第２磁石３２）を含む態様を例に挙げて説明したが、この態様に限定されるものではない。磁界発生部３は、少なくとも２つの磁石を含んでいればよく、例えば、第１軸ＡＸ１に沿って並列する３つの磁石（順に並列する第１磁石３１、第３磁石及び第２磁石３２）を含むものであってもよい。この場合において、第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２が＋Ｙ方向に対して所定の角度θ１，θ２で傾斜している場合、第３磁石の磁化方向は－Ｙ方向に平行であればよく、第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２が－Ｙ方向に対して所定の角度θ１，θ２で傾斜している場合、第３磁石の磁化方向は＋Ｙ方向に平行であればよい。
以下、実施例等を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明は、下記の実施例等に何ら限定されるものではない。
〔試験例１〕
図１～図３に示す構成を有する磁気センサ装置１（Sample 1）を用い、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。なお、磁気センサ装置１において、第１磁石３１及び第２磁石３２の大きさは、Ｘ方向の長さを５ｍｍ、Ｙ方向の長さを３ｍｍ、厚さ（ＸＹ平面に直交する方向の長さ）を５ｍｍとした。第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する傾斜角度θ１，θ２をそれぞれ１０°とした。センシングギャップＧ１を５ｍｍとした。結果を図１３に示す。
〔試験例２〕
図１２に示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 2）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１３に示す。
〔試験例３〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する傾斜角度θ１，θ２をそれぞれ０°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 3）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１３に示す。
〔試験例４〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する傾斜角度θ１，θ２をそれぞれ９０°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 4）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１３に示す。
図１３に示すグラフにおける縦軸は、磁気センサ装置１にて生成される検出値θＢ（ｄｅｇ）であり、横軸の検出可能範囲Ｓ２は、第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向における中心点Ｐ１を「０」とし、磁界発生領域ＡＲのＸ方向長さを「１」としたときにおける磁界発生部３の±Ｘ方向の相対移動量の規格値である。
図１３に示すように、Sample 1、Sample 2の磁気センサ装置１における検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さは、Sample 3、Sample 4の磁気センサ装置１における検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さよりも長い結果となった。Sample 1の磁気センサ装置１は、Sample 3の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを１３．８％長くすることができ、Sample 2の磁気センサ装置１は、Sample 3の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを８．１％長くすることができることが判明した。この結果から、第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２を第２軸ＡＸ２に対して傾斜させることで、より長い移動量を検出可能であることが確認された。また、Sample 1のように、第１磁石３１及び第２磁石３２の第３辺３Ｃ及び第４辺３Ｄを第２軸ＡＸ２と平行にし、それぞれの磁化方向Ｍ１，Ｍ２を第２軸ＡＸ２に対して傾斜させることで、磁界発生領域ＡＲのＸ方向長さよりも長い範囲を検出可能範囲Ｓ２とすることができることが確認された。
〔試験例５〕
図８に示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 5）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１４に示す。
〔試験例６〕
図９Ａに示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 6）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１４に示す。
〔試験例７〕
図９Ｂに示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 7）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１４に示す。
図１４に示すグラフにおける縦軸は、磁気センサ装置１にて生成される検出値θＢ（ｄｅｇ）であり、横軸の検出可能範囲Ｓ２は、第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向における中心点Ｐ１を「０」とし、磁界発生領域ＡＲのＸ方向長さを「１」としたときにおける磁界発生部３の±Ｘ方向の相対移動量の規格値である。
図１４に示すグラフから、第１磁石３１のＳ極側に第１ヨーク部４１を設け、第２磁石３２のＳ極側に第２ヨーク部４２を設けることで、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さが長くなることが確認された。Sample 5の磁気センサ装置１は、Sample 1の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを６７．３％長くすることができ、Sample 6の磁気センサ装置１は、Sample 1の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを１１．１％長くすることができることが判明した。特に、Sample 5の磁気センサ装置１のように、第１ヨーク部４１及び第２ヨーク部４２が連続していることで、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを極めて長くすることが可能であることが確認された。
〔試験例８〕
図４に示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 8）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１５に示す。
〔試験例９〕
図５に示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 9）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１５に示す。
〔試験例１０〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を０°とした以外は、試験例８（Sample 8）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 10）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１５に示す。
〔試験例１１〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を０°とした以外は、試験例９（Sample 9）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 11）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１５に示す。
図１５に示すグラフにおける縦軸は、磁気センサ装置１にて生成される検出値θＢ（ｄｅｇ）であり、横軸の検出可能範囲Ｓ２は、第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向における中心点Ｐ１を「０」とし、磁界発生領域ＡＲのＸ方向長さを「１」としたときにおける磁界発生部３の±Ｘ方向の相対移動量の規格値である。
図１５に示すグラフから、第１磁石３１及び第２磁石３２の平面視形状が平行四辺形状であっても、それぞれの磁化方向Ｍ１，Ｍ２を第２軸ＡＸ２に対して所定の角度で傾斜させることで、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さが長くなることが確認された。Sample 8の磁気センサ装置１は、Sample 1の磁気センサ装置に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを７．９％長くすることができ、Sample 9の磁気センサ装置１は、Sample 1の磁気センサ装置に対し、検出可能範囲Ｓ２を５．５％長くすることができることが判明した。
〔試験例１２〕
図６Ａに示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 12）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１６に示す。
〔試験例１３〕
図６Ｂに示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 13）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１６に示す。
〔試験例１４〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を０°とした以外は、試験例１２（Sample 12）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 14）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１６に示す。
〔試験例１５〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を０°とした以外は、試験例１３（Sample 13）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 15）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１６に示す。
〔試験例１６〕
図７Ａに示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 16）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１７に示す。
〔試験例１７〕
図７Ｂに示す構成を有する以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 17）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１７に示す。
〔試験例１８〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を０°とした以外は、試験例１６（Sample 16）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 18）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１７に示す。
〔試験例１９〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を０°とした以外は、試験例１７（Sample 17）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 19）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１７に示す。
図１６及び図１７に示すグラフにおける縦軸は、磁気センサ装置１にて生成される検出値θＢ（ｄｅｇ）であり、横軸の検出可能範囲Ｓ２は、第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向における中心点Ｐ１を「０」とし、磁界発生領域ＡＲのＸ方向長さを「１」としたときにおける磁界発生部３の±Ｘ方向の相対移動量の規格値である。
図１６及び図１７に示すグラフから、第１磁石３１及び第２磁石３２の平面視形状が台形状であっても、それぞれの磁化方向Ｍ１，Ｍ２を第２軸ＡＸ２に対して所定の角度で傾斜させることで、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さが長くなることが確認された。Sample 12の磁気センサ装置１は、Sample 1の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを５．９％長くすることができ、Sample 13の磁気センサ装置１は、Sample 1の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを７．３％長くすることができ、Sample 16の磁気センサ装置１は、Sample１の磁気センサ装置１に対し、検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さを９．８％長くすることができることが判明した。
〔試験例２０〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を５°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 20）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１８に示す。
〔試験例２１〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を２０°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 21）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１８に示す。
〔試験例２２〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を３０°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 22）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１８に示す。
〔試験例２３〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を４５°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 23）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１８に示す。
〔試験例２４〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を６０°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 24）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１８に示す。
〔試験例２５〕
第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の第２軸ＡＸ２に対する角度θ１，θ２を７５°とした以外は、試験例１（Sample 1）と同様の構成を有する磁気センサ装置１（Sample 25）を用い、試験例１と同様にして検出可能範囲Ｓ２のＸ方向長さをシミュレーションにより求めた。結果を図１８に示す。
図１８に示すグラフにおける縦軸は、磁気センサ装置１にて生成される検出値θＢ（ｄｅｇ）であり、横軸の検出可能範囲Ｓ２は、第１磁石３１及び第２磁石３２のＸ方向における中心点Ｐ１を「０」とし、磁界発生領域ＡＲのＸ方向長さを「１」としたときにおける磁界発生部３の±Ｘ方向の相対移動量の規格値である。
図１８に示すように、第１磁石３１及び第２磁石３２の磁化方向Ｍ１，Ｍ２の傾斜角度θ１，θ２が４５°を超えると、磁気センサ装置１により生成される検出値θＢによって、磁界発生部３の相対位置を一意に特定することが困難であるということが推測される。
１…磁気センサ装置
２…磁気センサ
３…磁界発生部
３１…第１磁石
３２…第２磁石
４１…第１ヨーク部
４２…第２ヨーク部

Claims (11)

  1. 移動体の直線移動を検出するための磁気センサ装置であって、
    磁界発生部と、
    前記磁界発生部から発生する磁界を検出可能に設けられている磁界検出部と
    を備え、
    前記磁界検出部は、前記移動体の直線移動に伴い、第１軸に沿って相対的に移動可能に設けられており、
    前記第１軸は、前記移動体の移動方向に平行であり、
    前記磁界発生部は、第１磁界発生部及び第２磁界発生部を含み、
    前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部は、前記第１軸に対して実質的に平行に並列しており、
    前記第１磁界発生部の第１磁化方向と平行な第１線分は、前記第１軸に直交する第２軸に対して傾いており、
    前記第２磁界発生部の第２磁化方向と平行な第２線分は、前記第２軸に対して傾いており、
    前記第１線分と前記第２線分とは、前記第２軸に対して対称に位置し、かつ前記第１軸に向かって開放するように互いに交差する線分である
    ことを特徴とする磁気センサ装置。
  2. 平面視において、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部は、それぞれ、互いに対向する第１辺及び第２辺と、互いに対向する第３辺及び第４辺とを含む略矩形状であり、
    前記第１辺及び前記第２辺は、前記第１軸に実質的に平行であり、
    前記第３辺及び前記第４辺は、前記第２軸に実質的に平行であることを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ装置。
  3. 平面視において、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部は、それぞれ、互いに対向する第１辺及び第２辺と、互いに対向する第３辺及び第４辺を含む四角形状であり、
    前記第１辺及び前記第２辺の少なくとも一方は、前記第１軸に対して傾斜しており、
    前記第３辺及び前記第４辺は、前記第２軸に実質的に平行であることを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ装置。
  4. 前記四角形状は、平行四辺形状又は台形状であることを特徴とする請求項３に記載の磁気センサ装置。
  5. 前記第１線分及び前記第２線分は、前記第２軸に対して４５°以下の角度で傾いていることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の磁気センサ装置。
  6. 前記第１線分の前記第２軸に対する傾斜角度と前記第２線分の前記第２軸に対する傾斜角度とは、実質的に同一であることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の磁気センサ装置。
  7. 前記第１磁界発生部に接続されている第１ヨーク部と、前記第２磁界発生部に接続されている第２ヨーク部とを備えることを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の磁気センサ装置。
  8. 前記第１ヨーク部と前記第２ヨーク部とが互いに連続していることを特徴とする請求項７に記載の磁気センサ装置。
  9. 前記磁界検出部は、磁界検出素子を含むことを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載の磁気センサ装置。
  10. 前記磁界検出素子は、磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項９に記載の磁気センサ装置。
  11. 請求項１～１０のいずれかに記載の磁気センサ装置を備えることを特徴とするペダル操作機構。
JP2021119396A 2021-07-20 2021-07-20 磁気センサ装置 Active JP7444143B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021119396A JP7444143B2 (ja) 2021-07-20 2021-07-20 磁気センサ装置
CN202210422024.0A CN115638715A (zh) 2021-07-20 2022-04-21 磁传感器装置
US17/828,104 US11698422B2 (en) 2021-07-20 2022-05-31 Magnetic sensor device
DE102022118026.3A DE102022118026A1 (de) 2021-07-20 2022-07-19 Magnetsensorvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021119396A JP7444143B2 (ja) 2021-07-20 2021-07-20 磁気センサ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023015547A true JP2023015547A (ja) 2023-02-01
JP7444143B2 JP7444143B2 (ja) 2024-03-06

Family

ID=84784714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021119396A Active JP7444143B2 (ja) 2021-07-20 2021-07-20 磁気センサ装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11698422B2 (ja)
JP (1) JP7444143B2 (ja)
CN (1) CN115638715A (ja)
DE (1) DE102022118026A1 (ja)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5695150U (ja) * 1979-12-24 1981-07-28
US20030205998A1 (en) * 2001-02-06 2003-11-06 Heremans Joseph Pierre Sensor assembly using differential sensing elements for detecting direction of motion of a rotating object
JP2007121256A (ja) * 2005-09-28 2007-05-17 Sharp Corp 磁気センサー及びそれを備えたリニアアクチュエータ
JP2007198989A (ja) * 2006-01-30 2007-08-09 Murakami Corp 位置検出装置および自動車用ミラーの鏡面角度検出装置
JP2008241369A (ja) * 2007-03-26 2008-10-09 Tdk Corp 磁石構造体及びこれを用いた位置検出装置
JP2012108029A (ja) * 2010-11-18 2012-06-07 Toyota Motor Corp センサ異常判定装置
JP2015038527A (ja) * 2011-10-28 2015-02-26 ピーエス特機株式会社 位置検出装置
JP2016212070A (ja) * 2015-05-14 2016-12-15 日本精機株式会社 移動物体検出装置
JP2017058169A (ja) * 2015-09-15 2017-03-23 リコーイメージング株式会社 位置検出装置及び光学装置
JP2020153824A (ja) * 2019-03-20 2020-09-24 Tdk株式会社 磁界発生ユニット、位置検出装置及び磁界発生ユニットの製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA968594A (en) 1972-04-03 1975-06-03 Lawrence H. Galloway Anchor bolt
EP2009404A3 (de) 2007-06-29 2014-12-24 Melexis Technologies NV Magnetstruktur zur Erfassung einer Relativbewegung zwischen der Magnetstruktur und einem Magnetfeldsensor
WO2009041682A1 (ja) 2007-09-28 2009-04-02 Thk Co., Ltd. 検知装置及び、計測装置
JP5013146B2 (ja) 2009-12-03 2012-08-29 Ｔｄｋ株式会社 磁気式位置検出装置
DE102009055104A1 (de) 2009-12-21 2011-06-22 Robert Bosch GmbH, 70469 Magnetfeldsensoranordnung zur Wegerfassung an beweglichen Bauteilen
JP5653262B2 (ja) 2011-03-16 2015-01-14 株式会社デンソー ストローク量検出装置
JP5695150B2 (ja) 2013-09-30 2015-04-01 日立マクセル株式会社 コンテンツ送信装置及びコンテンツ送信方法
US20170122777A1 (en) 2014-08-26 2017-05-04 Tdk Corporation Magnetic position detection device
US11408948B2 (en) * 2020-03-18 2022-08-09 Allegro Microsystems, Llc Linear bridge having nonlinear elements for operation in high magnetic field intensities

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5695150U (ja) * 1979-12-24 1981-07-28
US20030205998A1 (en) * 2001-02-06 2003-11-06 Heremans Joseph Pierre Sensor assembly using differential sensing elements for detecting direction of motion of a rotating object
JP2007121256A (ja) * 2005-09-28 2007-05-17 Sharp Corp 磁気センサー及びそれを備えたリニアアクチュエータ
JP2007198989A (ja) * 2006-01-30 2007-08-09 Murakami Corp 位置検出装置および自動車用ミラーの鏡面角度検出装置
JP2008241369A (ja) * 2007-03-26 2008-10-09 Tdk Corp 磁石構造体及びこれを用いた位置検出装置
JP2012108029A (ja) * 2010-11-18 2012-06-07 Toyota Motor Corp センサ異常判定装置
JP2015038527A (ja) * 2011-10-28 2015-02-26 ピーエス特機株式会社 位置検出装置
JP2016212070A (ja) * 2015-05-14 2016-12-15 日本精機株式会社 移動物体検出装置
JP2017058169A (ja) * 2015-09-15 2017-03-23 リコーイメージング株式会社 位置検出装置及び光学装置
JP2020153824A (ja) * 2019-03-20 2020-09-24 Tdk株式会社 磁界発生ユニット、位置検出装置及び磁界発生ユニットの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE102022118026A1 (de) 2023-01-26
US20230026524A1 (en) 2023-01-26
US11698422B2 (en) 2023-07-11
JP7444143B2 (ja) 2024-03-06
CN115638715A (zh) 2023-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5079816B2 (ja) 好ましくは擬似正弦的に変化する磁石外形を有する磁気式位置センサ
US8558539B2 (en) Stroke amount detecting device
JP5013146B2 (ja) 磁気式位置検出装置
US7268536B2 (en) Magnetic linear position sensor
US9103657B2 (en) Magnetic field sensor system with a biasing magnet producing a spatially symmetric magnetic field within a plane being defined by magnetoresistive sensor elements
JP5014968B2 (ja) ポジションセンサ
CN105222812A (zh) 具有三个半桥结构的传感器系统
JP5408508B2 (ja) 位置検出装置
EP3171126B1 (en) Temperature tolerant magnetic linear displacement sensor
JP2015045506A (ja) 回転検出装置
US20080088397A1 (en) Control mechanism with an operating lever and a bearing ball with integrated permanent magnet
JP2006294363A (ja) 磁気近接スイッチ
JP2016090354A (ja) 回転角度及びストローク量検出装置
JP5653262B2 (ja) ストローク量検出装置
JP2017090068A (ja) 回転角度検出装置およびこれに用いる角度センサユニット
JP2009300262A (ja) 変位検出装置
JP7444143B2 (ja) 磁気センサ装置
JP5216027B2 (ja) シフト位置検出装置
JP2012220481A (ja) ストローク量検出装置
JP5143714B2 (ja) ポジションセンサ素子およびポジション検出装置
JP5472764B2 (ja) ストローク量検出装置
JP4917522B2 (ja) ポジションセンサ
JP5103158B2 (ja) 磁気式座標位置検出装置
JP2009139253A (ja) ポジションセンサ
JP2011163783A (ja) 操作位置検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220805

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230509

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230707

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230905

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231106

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240123

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7444143

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150