JP2022536802A - 低減したノイズレベルを有する液体分配システム - Google Patents

Abstract

基板上へ液体を分配するためのシステム及び方法を開示する。分配アセンブリは、ハウジングと、弁ステム（３４３）と、制御弁（３７０）と、を含む。ハウジングは、分配される液体を受容する。弁ステム（３４３）は、ハウジング内に配置され、液体がハウジングを出ることを可能にする第１の構成と、液体がハウジングを出ることを阻止される第２の構成と、を有する。制御弁（３７０）は、加圧空気源から加圧空気を受容する。制御弁（３７０）は、加圧空気が弁ステム（３４３）に作用して、弁ステム（３４３）を第１の構成又は第２の構成に移動させる第１の位置と、加圧空気がその中に画定された排気通路（４０３）を通って分配アセンブリの外へ移動する第２の位置と、を有する。

Description

（関連出願の相互参照）
本出願は、２０１９年６月２０日に出願された米国仮出願第６２／８６４，４６６号の利益を主張し、ありとあらゆる目的のためにその全体が本明細書に組み込まれる。

（発明の分野）
本開示は、概して、液体を基材上へ分配する装置及び方法に関し、より具体的には、高温溶融接着剤を分配する空気圧作動式分配弁のための新しい設計に関する。

液体の高温溶融接着剤を分配するように設計されたものなどの、既存の空気圧作動式液体分配システムでは、１つ以上の構成要素を作動させて、液体を基板上へ分配するために、しばしば加圧空気が使用される。作動空気を供給し、切り替えるために、電動式ソレノイド弁などの空気供給装置が使用されている。ソレノイドを電気的に作動させて、加圧空気を液体分配弁に供給すると、加圧空気は、可動ピストン又はダイヤフラムなどのアクチュエータに抗して作動する。これは、液体分配弁を開く。

いくつかの従来の分配システムでは、加圧空気が分配システムを出るとき、空気の移動が、製造条件に負の影響を及ぼす高いノイズ出力をもたらす。いくつかの既存のシステムは、システムを出る空気のノイズを低減させるのを補助するために、マフラなどのノイズ低減構成要素を実装する。これらのマフラは、経時使用中に目詰まりし、損傷を受け、必ずしも望ましいとは限らない。

したがって、液体の一貫した分配を維持しながら、より少ないノイズで作動する、改善された分配システムの構造に対する必要性が存在する。

従来の分配システムには、欠点がある。加圧空気が分配システムを出るとき、空気の移動は、高いノイズ出力をもたらす。より高いノイズレベルのため、ユーザ間の通信が困難であり、製造現場への指示の喪失及び伝達不良につながり得る。ユーザはまた、保護装置を着用して、自分の耳をノイズから保護しなければならない場合があり、これもまた、通信に悪影響を与え、ユーザにより不便になり得る。

いくつかの既存のシステムは、システムを出る空気のノイズを低減させるのを補助するために、マフラなどのノイズ低減構成要素を実装するが、これらのマフラは、経時使用中に目詰まりし、損傷を受ける。マフラは、一貫して洗浄又は交換しなければならず、これは、ダウンタイムを増加させ、製造効率を低下させ、また、交換する構成要素に費やされる、及び清掃又は交換プロセスのために失われる工数のために、より多くの費用を必要とする。マフラが目詰まりすると、マフラを通る空気の流量の低下も可能にし、これは、一貫性がなく、予測が難しい分配の進行をもたらす。したがって、液体の一貫した分配を維持しながら、ノイズ生成の減少をもたらす、分配システムの改善された構造に対する必要性が存在する。

上述の必要性は、開示される分配アセンブリの様々な態様によって満たされる。本開示の一態様によれば、液体を基板上へ分配するための分配アセンブリは、分配される液体を受容するように構成されたハウジングと、ハウジング内に配置され、液体がハウジングから出ることを可能にする第１の構成と、液体がハウジングから出ることを阻止される第２の構成と、を有する、弁ステムと、加圧空気源から加圧空気を受容するように構成された制御弁であって、第１の位置と第２の位置との間で移動可能である、制御弁と、ハウジング上に画定され、所定の断面積を有する排気通路であって、加圧空気を受容するように構成された、排気通路と、を含む。制御弁が第１の位置にあるとき、加圧空気が弁ステムに作用して、弁ステムを第１の構成に、又は第２の構成に移動させるように構成され、制御弁が第２の位置にあるとき、加圧空気が排気通路の中へ、かつ、排気通路を通って分配アセンブリの外へ移動するように構成される。

随意に、制御弁が第１の位置にあるとき、制御弁は、第１のチャンバと流体連通するように構成され得、かつ加圧空気を第１のチャンバに指向するように構成され得る。いくつかの態様では、分配アセンブリは、第１のチャンバと制御弁との間に配置されている第１のチャネルを更に含み得、第１のチャネルは、第１のチャンバと流体連通し、制御弁が第１の位置にあるとき、第１のチャネルは、制御弁と流体連通する。制御弁が第１の位置にあるとき、制御弁は、加圧空気源から加圧空気を受容し、加圧空気を第１のチャネルの中へ放出するように構成され得る。

随意に、制御弁が第２の位置にあるとき、制御弁は、第１のチャンバとは別体の第２のチャンバと流体連通するように構成され得、かつ加圧空気を第２のチャンバに指向するように更に構成され得る。排気通路は、第２のチャンバと流体連通するように構成され得る。いくつかの態様では、分配アセンブリは、第２のチャンバと制御弁との間に配置されている第２のチャネルを更に含み得、第２のチャネルは、第２のチャンバと流体連通し、制御弁が第２の位置にあるとき、第２のチャネルは、制御弁と流体連通する。制御弁が第２の位置にあるとき、第１のチャンバは、第１のチャネル、第２のチャネル、及び制御弁を介して、第２のチャンバと流体連通し得る。制御弁が第２の位置にあるとき、制御弁は、第１のチャネルを通して第１のチャンバから加圧空気を受容し、加圧空気を第２のチャネルの中へ放出するように構成され得る。

随意に、制御弁が第２の位置にあるとき、制御弁は、加圧空気が加圧空気源から第１のチャンバ又は第２のチャンバのいずれかへと移動することを阻止するように構成され得る。

随意に、制御弁が第１の位置にあるとき、加圧空気源は、第２のチャネルと流体連通し得ない。

随意に、制御弁が第２の位置にあるとき、加圧空気源は、第１のチャネル又は第２のチャネルのいずれとも流体連通し得ない。

随意に、分配アセンブリは、ハウジング上に画定された弁座を含み得、弁ステムは、弁ステムが第１の構成にあるとき、弁ステムが弁座から離間され、及び弁ステムが第２の構成にあるとき、弁ステムが弁座に接触するように、弁座に対して移動するように構成される。

随意に、制御弁は、ソレノイド弁であり得る。

随意に、加圧空気の圧力は、１バール～１０バールであり得る。いくつかの態様では、圧力は、３バール～８バールであり得る。いくつかの態様では、圧力は、５バール～６バールであり得る。いくつかの好ましい実施形態では、圧力は、約５．５バールであり得る。

随意に、排気通路は、弁ステムに対して平行と弁ステムに対して垂直との間のある角度で配向され得る。

随意に、排気通路は、０．１ｍｍ～３．０ｍｍの断面直径を有し得る。いくつかの態様では、断面直径は、０．５ｍｍ～２．５ｍｍであり得る。いくつかの態様では、断面直径は、１．０ｍｍ～２．０ｍｍであり得る。いくつかの態様では、断面サイズは、約１．５ｍｍであり得る。

随意に、分配アセンブリは、複数の排気通路を画定し得る。いくつかの態様では、所定の断面積は、複数の排気通路内の全ての排気通路の組み合わせた断面積を含み得る。いくつかの態様では、分配アセンブリは、４つの排気通路を含み得る。随意に、４つの排気通路は、分配アセンブリの周囲に円周方向に配設され得る。

随意に、分配システムは、弁ステムをある方向に付勢するように構成されたばねを更に含み得、弁ステムは、加圧空気によって、ばねの付勢方向とは逆に移動可能である。

随意に、分配アセンブリは、動作的に取り付けられたマフラを有し得ない。

本開示の別の態様によれば、液体を基板上へ分配するための分配システムは、分配される液体を保持するように構成された液体源と、液体源から液体を受容するように構成されたハウジングを有する分配アセンブリであって、液体がハウジングを出ることを可能にする第１の構成と、液体がハウジングから出ることを阻止される第２の構成との間でハウジング内を移動可能な弁ステムを更に有する、分配アセンブリと、加圧空気を保持するように構成された加圧空気源と、加圧空気源から加圧空気を受容するように構成された制御弁であって、第１の位置と第２の位置との間で移動可能である、制御弁と、ハウジング上に画定され、所定の断面積を有する排気通路であって、加圧空気を受容するように構成された排気通路と、を含む。制御弁が第１の位置にあるとき、加圧空気が弁ステムに作用して、弁ステムを第１の構成に、又は第２の構成に移動させるように構成され、制御弁が第２の位置にあるとき、加圧空気が排気通路の中へ、かつ、排気通路を通って分配アセンブリの外へ移動するように構成される。

随意に、液体は、ホットメルト接着剤であり得る。

随意に、分配システムは、液体を所定の温度まで加熱するように構成されたヒータを含み得る。

随意に、分配システムは、プロセス空気を収容するように構成されたプロセス空気源と、プロセス空気がプロセス空気源から移動する供給チャネルであって、分配アセンブリから分配されている液体にプロセス空気を適用することができるように、分配アセンブリに対して配置されたプロセス空気ノズルを有する、供給チャネルと、を含み得る。

随意に、制御弁が第１の位置にあるとき、制御弁は、第１のチャンバと流体連通するように構成され得、かつ加圧空気を第１のチャンバに指向するように構成され得る。いくつかの態様では、分配システムは、第１のチャンバと制御弁との間に配置されている第１のチャネルを含み得、第１のチャネルは、第１のチャンバと流体連通し、第１のチャネルは、制御弁が第１の位置にあるとき、制御弁と流体連通する。制御弁が第１の位置にあるとき、制御弁は、加圧空気源から加圧空気を受容し、加圧空気を第１のチャネルの中へ放出するように構成され得る。

随意に、制御弁が第２の位置にあるとき、制御弁は、第１のチャンバとは別体の第２のチャンバと流体連通するように構成され得、かつ加圧空気を第２のチャンバに指向するように更に構成され得る。排気通路は、第２のチャンバと流体連通するように構成され得る。いくつかの態様では、分配アセンブリは、第２のチャンバと制御弁との間に配置されている第２のチャネルを含み得、第２のチャネルは、第２のチャンバと流体連通し、第２のチャネルは、制御弁が第２の位置にあるときに制御弁と流体連通する。制御弁が第２の位置にあるとき、制御弁は、第１のチャネルを通して第１のチャンバから加圧空気を受容し、加圧空気を第２のチャネルの中へ放出するように構成され得る。

随意に、制御弁が第２の位置にあるとき、制御弁は、加圧空気が加圧空気源から第１のチャンバ又は第２のチャンバのいずれかへと移動することを阻止するように構成され得る。

随意に、制御弁が第１の位置にあるとき、加圧空気源は、第２のチャネルと流体連通し得ない。

随意に、制御弁が第２の位置にあるとき、加圧空気源は、第１のチャネル又は第２のチャネルのいずれとも流体連通し得ない。

随意に、分配アセンブリは、ハウジング上に画定された弁座を含み得、弁ステムは、弁ステムが第１の構成にあるとき、弁ステムが弁座から離間され、及び弁ステムが第２の構成にあるとき、弁ステムが弁座に接触するように、弁座に対して移動するように構成される。

随意に、制御弁は、ソレノイド弁であり得る。

随意に、加圧空気の圧力は、１バール～１０バールであり得る。いくつかの態様では、圧力は、３バール～８バールであり得る。いくつかの態様では、圧力は、５バール～６バールであり得る。いくつかの好ましい実施形態では、圧力は、約５．５バールであり得る。

随意に、排気通路は、弁ステムに対して平行と弁ステムに対して垂直との間のある角度で配向され得る。

随意に、排気通路は、０．１ｍｍ～３．０ｍｍの断面直径を有し得る。いくつかの態様では、断面直径は、０．５ｍｍ～２．５ｍｍであり得る。いくつかの態様では、断面直径は、１．０ｍｍ～２．０ｍｍであり得る。いくつかの態様では、断面サイズは、約１．５ｍｍであり得る。

随意に、分配アセンブリは、複数の排気通路を画定し得る。いくつかの態様では、所定の断面積は、複数の排気通路内の全ての排気通路の組み合わせた断面積を含み得る。いくつかの態様では、分配アセンブリは、４つの排気通路を画定し得る。いくつかの態様では、４つの排気通路は、分配アセンブリの周囲に円周方向に配設され得る。

随意に、分配アセンブリは、弁ステムをある方向に付勢するように構成されたばねを含み得、弁ステムは、加圧空気によって、ばねの付勢方向とは逆に移動可能である。

随意に、分配アセンブリは、動作的に取り付けられたマフラを有し得ない。

本開示の別の態様によれば、液体を基板上へ分配するための分配アセンブリは、液体入口及び液体出口を有する分配部分であって、液体入口からの液体を受容するように構成された液体チャンバを画定する、分配部分と、液体出口に隣接した弁座と、液体チャンバ内に配置され、液体チャンバ内を移動するように構成された弁ステムと、弁ステムの遠位端に画定され、弁座に選択的に接触し、かつ弁座から離間されるように構成された弁ステム先端部と、加圧空気を受容するように構成された吸気口を有する作動部分であって、第１のチャンバ及び第２のチャンバを画定する、作動部分と、作動部分内に配置されたピストンであって、加圧空気によって移動可能である、ピストンと、加圧空気を第１のチャンバ又は第２のチャンバのいずれかに選択的に指向するように構成された制御弁と、分配アセンブリからの加圧空気を放出するように構成された排気通路と、を含む。制御弁は、第１の構成と、第２の構成と、を有し、第１の構成にある制御弁は、加圧空気を第１のチャンバに指向するように構成され、第２の構成にある制御弁は、加圧空気を第２のチャンバに指向するように構成される。制御弁が第１の構成にあるとき、第１のチャンバ内の加圧空気は、ピストンに作用するように構成され、かつ加圧空気の作用によりピストンを第１の方向に移動させるように構成される。制御弁が第２の構成にあるとき、排気通路は、加圧空気を受容し、加圧空気を分配アセンブリの外へ放出するように構成される。

随意に、排気通路は、所定の断面積を有し得る。

随意に、分配アセンブリは、ピストンを第１の方向とは逆の第２の方向に付勢するように構成されたばねを含み得、加圧空気が第１のチャンバの中へ移動するとき、加圧空気は、加圧空気の閾値圧力に到達したとき、ピストンを第１の方向に移動させ、閾値圧力は、ばねの付勢よりも高い。

随意に、制御弁は、第１の位置と第２の位置との間で移動可能なポペットを有するソレノイド弁であり得、ポペットが第１の位置にあるとき、制御弁は、第１の構成にあり、ポペットが第２の位置にあるとき、制御弁は、第２の構成にある。

随意に、液体出口は、弁ステム先端部が弁座と接触したときに遮断され得、それにより、液体が分配アセンブリの外へ移動することを阻止し、液体出口は、弁ステム先端部が弁座から離間されたときに遮断解除され得、それにより、液体が分配アセンブリの外へ移動することを可能にする。

随意に、分配アセンブリは、複数の排気通路を含み得、複数の排気通路の数及び寸法は、単一の排気通路に対する分配アセンブリの動作のノイズを低減させる。いくつかの態様では、所定の断面積は、複数の排気通路内の全ての排気通路の組み合わせた断面積を含み得る。

随意に、分配アセンブリは、マフラを有し得ない。

本開示の別の態様によれば、分配アセンブリから液体を分配する方法は、液体チャンバの中へ分配される液体を導入することであって、液体チャンバは、液体を液体チャンバの外へ放出することを不可能にする第１の位置と、液体を液体チャンバから放出することを可能にする第２の位置との間で移動するように構成された移動可能な弁ステムを含む、導入することと、加圧空気により弁ステムを第１の位置から第２の位置まで移動させるために、制御弁を介して加圧空気を第１のチャンバに導入することと、加圧空気の第１のチャンバの中への導入を止めることと、加圧空気を分配アセンブリの外へ移動させることと、を含む。

随意に、加圧空気を第１のチャンバの中へ導入することは、弁ステムに固定されたピストンの移動を生じさせ得、それにより、ピストンが移動するときに弁ステムが移動する。

随意に、加圧空気を第１のチャンバの中へ導入することは、加圧空気を、制御弁及び第１のチャンバと流体連通するように構成された第１のチャネルの中へ導入することを含み得る。

随意に、加圧空気を分配アセンブリの外へ移動させるステップは、加圧空気を、第１のチャンバから第１のチャンバとは別体の第２のチャンバへと移動させることを含むことができる。

随意に、加圧空気を分配アセンブリから移動させることは、加圧空気を、制御弁及び第２のチャンバと流体連通するように構成された第２のチャネルの中へ移動させることを含み得る。いくつかの態様では、加圧空気を分配アセンブリの外へ移動させるステップは、加圧空気を、排気通路を介して第２のチャンバから分配アセンブリの外へ移動させることを更に含み得る。いくつかの態様では、加圧空気を第２のチャンバの外へ移動させるステップは、加圧空気を複数の排気通路の外へ移動させることを含み得る。

随意に、加圧空気を分配アセンブリの外へ移動させるステップは、マフラを通して加圧空気を移動させることなく、空気を分配アセンブリから大気に直接放出することを含み得る。

随意に、方法は、弁ステムを第２の位置から第１の位置へと逆に移動させることを更に含み得る。いくつかの態様では、弁ステムを第１の位置へ逆に移動させることは、弁ステムに作用するように構成されたばねによって、弁ステムを第１の位置に押し付けることを含み得る。

本出願は、添付の図面と併せて読むと更に理解される。本主題を例示するために、本主題の例示的実施形態が図面において示されている。しかしながら、本開示の主題は、開示される特定の方法、装置、及びシステムに限定されない。

本開示の一態様による、マニホールド及び液体分配弁を有する分配アセンブリの斜視図を示す。 閉位置にある液体分配弁の側断面図を示す。 開位置にある図２の液体分配弁の側断面図を示す。 本開示の一態様による、分配アセンブリの斜視図を示す。 図４の分配アセンブリの正面図を示す。 図５に示されるＡ－Ａ断面に沿った、図４及び図５の分配アセンブリの側断面図を示す。 本開示の別の態様による、分配アセンブリの斜視図を示す。 図７の分配アセンブリの側断面図を示す。 本開示の一態様による、図７及び図８の分配アセンブリの作動部分の側断面図を示す。 本開示の一態様による、図７～図９の分配アセンブリの第２のチャンバの上面斜視図を示す。 本開示の態様は、ここで図面を参照して詳細に説明され、同様の参照番号は、特に指定されない限り、全体にわたって同様の要素を指す。

液体は、移動可能な構成要素を作動させて分配ヘッドの出口を開閉することによって、分配ヘッドから分配することができる。液体、例えばホットメルト接着剤は、液体源から分配ヘッドに供給され、分配ヘッドを通って移動し、そして、分配ヘッドの出口から基板上へ放出される。放出速度及び放出パターンは、ユーザ、電子コントローラ、又は両方によって予め定められ、制御されることができる。様々な放出速度及び放出パターンを達成することができること、及び異なる液体が本明細書で開示される分配ヘッドから放出され得ることが理解されるであろう。

移動可能な構成要素の移動は、空気源から分配ヘッドに受容される加圧空気によって制御され得る。電動式空気供給装置は、様々な空気通路と相互作用して、加圧空気の流れを指向することができる。

図１～図３を参照すると、空気及び分配される液体を受容するように構成された液体分配弁１４０及びマニホールド１６２を有する分配アセンブリが示されている。マニホールド１６２は、取り付けられた液体分配弁１４０に液体ホットメルト接着剤及びプロセス空気又はパターン空気を供給するために、加熱されて使用され得る。液体分配弁１４０及びマニホールド１６２が、一緒に一体化され得るか、又は任意の所望の様式で結合され得ることが認識されるであろう。いくつかの態様では、プロセス空気又はパターン空気を使用して、いくつかのパターンの、例えば渦運動を、放出された又は押し出された液体、例えばホットメルト接着剤に付与し得る。これは、様々な既知の様式で達成され得る。

液体分配弁１４０は、弁本体１５２を有する液体分配部分１５０を含む。弁本体１５２は、弁本体１５２上に画定された出口１５３を開閉するように構成された構成要素を含む。出口１５３が開いているとき、液体は、分配アセンブリの外へ流れること、滴下すること、又は強制的に噴射することが可能であり、出口１５３が閉じているとき、液体は、分配アセンブリを出ることが阻止される。弁構成要素の作動及び出口１５３の開閉は、様々な方式で達成されることができ、また、異なる分配機構及び分配技術が利用され得る。本明細書で説明される例示的な態様は、弁を動作させて出口１５３を開閉するための特定の構造及び方法を参照しているが、本開示は、任意の特定の方法又は弁の構造に限定することを意図するものではない。

液体分配弁１４０は、上部ハウジング１６０を含む作動部分１５６を更に含む。１つ以上の弁構成要素を作動させるために使用されるガスは、上部ハウジングの中へ導入される。ガスは、圧縮ガス又は加圧ガス、例えば加圧空気とすることができる。ガス制御弁１７０は、上部ハウジング１６０に接続され得る。ガス制御弁１７０は、作動部分１５６の中へ導入されるガスの通過を指向する又は塞ぐように構成されるソレノイド弁１７０であり得る。本明細書で説明される例示的な態様は、ソレノイド弁を参照しているが、他の好適な弁が利用され得ることが理解されるであろう。

液体分配弁１４０は、作動させたときに出口１５３の開閉をもたらす空気圧アクチュエータを更に含む。いくつかの態様では、空気圧アクチュエータの作動は、液体の一部を出口１５３の外へ強制的に射出することなどの、他の又は追加の動作を更にもたらし得る。空気圧アクチュエータは、弁部材に固定された差動ピストンなどの任意の好適な機構であり得、本開示は、特定の構造の空気圧アクチュエータに、又は分配アセンブリの他の構成要素との統合に限定されない。

図１～図３に示される例示的な態様を参照すると、空気圧アクチュエータは、ダイヤフラム１８０であり得る。上部ハウジング１６０は、上部チャンバ１９０、及びダイヤフラム１８０によって上部チャンバ１９０から分離された下部チャンバ２００を画定する。上部チャンバ１９０と下部チャンバ２００との間の分離は、有利には流体密封であり、ダイヤフラム１８０は、流体密封シールを維持するために、Ｏリングなどの好適な封止要素を含み得ることが認識されるであろう。

ダイヤフラム１８０は、好適な締結アセンブリ１８４を使用して、弁ステム１８２に固定して結合される。動作中に、ダイヤフラム１８０は、第１の方向に、又は第１の方向とは逆の第２の方向に作動される。ダイヤフラム１８０が移動すると、堅固に結合された弁ステム１８２も移動する。弁ステム１８２は、弁ステム１８２の遠位端に弁ステム先端部１８６を画定する。弁ステム先端部１８６は、出口１５３に隣接する弁座４５に対して移動及び接触するように構成されている。弁ステム先端部１８６が弁座４５と接触したとき、出口１５３が閉じられ、したがって、液体が分配アセンブリの外へ移動することを阻止する。弁ステム先端部１８６が弁座４５から離間されたとき、出口１５３が開かれ、したがって、液体が移動すること、又は分配アセンブリの外へ移動することを可能にする。

ダイヤフラム１８０の移動は、上部ハウジング１６０の中へ、例えば上部チャンバ１９０の中へ導入される加圧空気によって、生じ得る。加圧空気は、上部チャンバ１９０の中へ、かつダイヤフラム１８０に抗して導入されたとき、図２に示すように、ダイヤフラム１８０及び取り付けられた弁ステム１８２を閉位置へと押す。この閉位置では、弁ステム先端部１８６が弁座４５に接触し、それにより、出口１５３が閉じられる。様々な他のアクチュエータ設計が代わりに使用され得ることが理解されるであろう。加圧空気は、約５．５バール（約８０ｐｓｉ）の「工場」圧力であり得るが、他の圧力が利用され得ることが理解されるであろう。いくつかの態様では、圧力は、約１バール～約１０バール、約３バール～約８バール、又は約５バール～約６バールであり得る。

加圧空気が代わりに下部チャンバ２００に導入されたとき、図３に示すように、ダイヤフラム１８０及び取り付けられた弁ステム１８２は、開位置へと上向きに押される。この開位置では、弁ステム先端部１８６は、弁座４５から離間され、それにより、出口１５３が開かれる。

加圧空気の経路及び送り先は、ソレノイド弁１７０によって制御され得る。加圧空気は、加圧空気源２２２から吸気口２１８の中へ導入される。加圧空気は、空気入口通路２２０を通って、空気入口２１８からチャネル２１４内を移動可能である移動可能な要素又はポペット２１０に向かって移動する。ポペット２１０は、一部又は全部のいずれかが上部ハウジング１６０に組み込まれたチャネル２１４の中へ延在している。

ソレノイド弁１７０は、ばね２１９と、コイル１７１と、を含み得る。ばね２１９は、ポペット２１０に特定の方向の付勢力を印加する。コイル１７１は、外部源によってエネルギー付与され得る。ポペット２１０は、第１の位置と、第１の位置とは異なる第２の位置と、を有し得る。図２を参照すると、ソレノイドコイル１７１は、エネルギー付与されず、ばね２１９が、ポペット２１０に付勢力を印加して、ポペット２１０をチャネル２１４の中へより遠い第１の位置まで移動させる。ポペット２１０が第１の位置にあるとき、ポペット２１０内に画定された第１の環状凹部２２４は、空気入口通路２２０と整列し、かつ流体連通する。第１の環状凹部２２４はまた、上部ハウジング１６０内に画定された、上部チャンバ１９０と流体連通する第１の通路２２６とも流体連通する。したがって、空気入口通路２２０からの加圧空気は、第１の環状凹部２２４の中へ通り、第１の通路２２６を通り、上部チャンバ１９０の中へ移動し得る。

コイル１７１がエネルギー付与されたとき、ポペット２１０は、ばね力２１９に抗して第２の位置へと移動する。図３を参照すると、ポペット２１０が第２の位置にあるとき、ポペット２１０内に画定された第２の環状凹部２２９は、空気入口通路２２０と整列し、かつ流体連通するが、第１の環状凹部２２４は、空気入口通路２２０と流体連通しない。第２の環状凹部２２９はまた、上部ハウジング１６０内に画定された、下部チャンバ２００と流体連通する第２の通路２３０とも流体連通する。したがって、空気入口通路２２０からの加圧空気は、第２の環状凹部２２９の中へ通り、第２の通路２３０を通り、下部チャンバ２００の中へ移動し得る。図３に示すように、ポペット２１０が第２の位置にあるとき、ダイヤフラム１８０及び堅固に取り付けられた弁ステム１８２は、加圧空気によって開位置へと移動され、それにより、弁ステム先端部１８６が弁座４５から離れて移動して、出口１５３が開かれる。

ポペット２１０が図２に示される第１の位置にあるとき、下部チャンバ２００、第２の通路２３０、及び第２の環状凹部２２９は、排気通路２４０と連通し得る。排気通路２４０は、分配アセンブリの別の構成要素へと、又は大気へと通じ得る。同様に、ポペット２１０が図３に示される第２の位置にあるとき、上部チャンバ１９０、第１の通路２２６、及び第１の環状凹部２２４は、排気通路２４０と連通し得る。加圧空気は、排気通路２４０を介して分配アセンブリを出得る。この態様は、液体分配弁１４０の上部ハウジング１６０内に少なくとも部分的に、などの、作動部分１５６内に少なくとも部分的に収容された、ソレノイド弁１７０のポペット２１０を有し、それにより、総加圧空気容積の相当な低減を可能にし、かつバルブ作動速度及び性能を向上させる原理を示す。

図２及び図３の例示的な態様は、ソレノイド弁１７０のコイル１７１がエネルギー付与されたときに開き、コイル１７１がエネルギー付与されていないときに閉じる、出口１５３を説明しているが、コイル１７１にエネルギー付与することが出口１５３を閉じ、コイル１７１にエネルギー付与しないことが出口１５３を開く、逆の構造を実装することができることが理解されるであろう。

いくつかの態様では、上部ハウジング１６０は、プラスチック又はセラミック又は別の非金属断熱材料（例えば、ＰＰＳ）などの、断熱材料から形成され得る。「非金属」という用語は、本明細書で使用する場合、いかなる金属も有しない材料、例えばプラスチックなど、又は例えば強度を加えるために、繊維などの少量の金属を有し得るが、主に非金属材料で構成される複合物を包含することを意味する。この後者の場合、断熱ハウジングの熱伝導率は、ハウジングが完全に又は主に金属から作製された場合の熱伝導率よりも低くなる。

別の態様による分配弁３００の好ましい実施形態は、図４～図６に示されている。図７～図１０は、分配弁３００の代替的な実施形態を示す。他の態様に関して上で説明した特徴は、下で説明する態様に関して組み込まれ、参照したものと同様な要素は、上で説明したものと同じ特徴及び能力のいくつか又は全てを有し得る。図１～図３に関して説明するいくつかの特徴は、図４～図６及び図７～図１０を参照して説明する特徴と同様であり得るか、交換可能であり得る。更に、図４～図６に関して説明するいくつかの特徴は、図７～図１０を参照して説明する特徴と同様であり得るか、交換可能であり得る。

図４～図６を参照すると、分配弁３００は、液体分配部分３５０と、作動部分３５６と、を含む。図６に示されるように、液体分配部分３５０は、液体源（図示せず）から分配される液体を受容するように構成されたチャンバ３５２を画定する。出口３５３は、分配弁３００上に画定され、液体分配部分３５０を通って延在して、チャンバ３５２と流体連通する。弁ステム３４３は、少なくとも部分的にチャンバ３５２内に配置され、分配弁３００内で往復運動して、チャンバ３５２内の液体が分配弁３００から出ることを可能にするように、又は阻止するように構成されている。

弁ステム先端部３４４は、弁ステム３４３の遠位端に位置付けられる。弁ステム先端部３４４は、液体分配部分３５０の弁座３４５に対して移動するように構成されている。弁座３４５は、出口３５３と隣接し得る。弁ステム３４３が第１の方向に移動すると、弁ステム先端部３４４は、弁座３４５に接触せず、そこから離間され、弁ステム３４３が第１の方向とは逆の第２の方向に移動すると、弁ステム先端部３４４が弁座３４５に接触する。弁ステム先端部３４４が弁座３４５に接触すると、出口３５３が遮断されて（すなわち、閉じて）、チャンバ３５２内にある液体が分配弁３００の外へ移動することが阻止される。弁ステム先端部３４４が弁座３４５から離間されて、弁座３４５に接触しないとき、出口３５３が遮断解除されて（すなわち、開かれ）、チャンバ３５２内の液体が出口３５３を通って分配弁３００を出ることが可能である。

弁ステム３４３は、作動部分３５６内に配置されたピストン３８０に堅固に取り付けられる。ピストン３８０は、作動部分３５６内を移動可能であり、固定して取り付けられた弁ステム３４３を移動させるように構成されている。作動部分３５６は、第１のチャンバ３９０、及び気密シール３８１によって第１のチャンバ３９０から分離された第２のチャンバ３９２を画定する。いくつかの態様では、シール３８１は、Ｏリングであり得、ピストン３８０上に、又はそれに隣接して配置され得る。ピストン３８０は、弁ステム３４３を第１の位置に、及び第２の位置に移動させるように構成され、第１及び第２の位置のうちの一方では、液体を分配弁３００から分配することが可能であり、第１及び第２の位置のうちの他方では、液体を分配することが阻止される。ピストン３８０は、弁ステム３４３を第２の位置から第１の位置にだけ、第１の位置から第２の位置にだけ、又は第１の位置又は第２の位置のいずれかにだけ、移動させるように構成され得る。他の又は追加の駆動部品、例えばばね要素を利用して、ピストン３８０又は弁ステム３４３を第１の方向又は第２の方向に付勢するように構成することができる。

ピストン３８０の移動は、分配弁３００に導入される加圧空気によって制御することができる。図６を更に参照すると、ピストン３８０は、第１のチャンバ３９０と動作的に連通する。加圧空気は、第１のチャンバ３９０の中へ指向して、ピストン３８０と連通することができる。所定量の加圧空気が第１のチャンバ３９０に導入され、それにより、閾値圧力に到達したとき、ピストン３８０は、第１のチャンバ３９０内の蓄積圧力のため、第１の方向に移動し得る。第１のチャンバ３９０の圧力が閾値圧力未満であるとき、ピストン３８０は、移動しないままであり得るか、又は第１の方向とは逆の第２の方向へ逆に移動し得る。ばね３８４は、作動部分３５６内に配置されて、ピストン３８０を第２の方向に付勢し得る。ばね３８４は、ピストン３８０に作用する付勢力を有し得、付勢力は、ピストン３８０を動かすために、第１のチャンバ３９０内の蓄積圧力によって打ち勝たれなければならない。いくつかの態様では、閾値圧力は、ばね３８４の付勢力よりも高い。

ピストン３８０が第１の方向に移動するとき、接続された弁ステム３４３も第１の方向に移動し、それにより、弁ステム先端部３４４が弁座３４５から離れて移動する。ピストン３８０が第２の方向に移動するとき、弁ステム３４３は、第２の方向に移動し、それにより、弁ステム先端部３４４が弁座３４５に向かって移動して、弁座３４５に接触する。ピストン３８０と弁ステム３４３との間の他の接続が可能であること、及び反対の移動が本開示に含まれることが認識されるであろう。例えば、いくつかの態様では、ピストン３８０の第１の方向の移動は、弁ステム３４３の第２の方向の移動に対応し得、逆もまた同じである。

ピストン３８０は、第１のチャンバ３９０内で受容された加圧空気によって移動するように構成されている。加圧空気の移動は、分配弁３００に、例えば作動部分３５６に固定されたソレノイド弁３７０によって制御される。ソレノイド弁３７０は、分配弁３００を通る加圧空気を調節するように、及び加圧空気を作動部分３５６内の１つ以上の送り先に指向するように構成されている。ソレノイド弁３７０は、加圧空気を指向するように構成された移動可能なポペット３１０を有し得る。加圧空気は、空気入口３１８において加圧空気源から分配弁３００に進入する。加圧空気は、空気入口通路３２０に沿って、空気入口３１８からソレノイド弁３７０まで進行する。ソレノイド弁３７０はポペット３１０又は同等の移動可能な要素を使用して、空気入口通路３２０から入る加圧空気を指向する。ポペット３１０は、上で説明したポペット２１０と機能及び／又は構造が同様であり得る。

分配弁３００は、加圧空気を利用して、第１の方向にだけ、第２の方向にだけピストン３８０を移動させ得るか、又は第１の方向と第２の方向との間でピストン３８０を往復運動させ得る。いくつかの態様では、ソレノイド弁３７０は、加圧空気がピストン３８０を移動させるように指向される第１の作動構成と、加圧空気が、ピストン３８０の移動を生じさせることなく、分配弁３００を出るように指向される第２の排気構成と、を有し得る。

作動構成では、ポペット３１０は、空気入口通路３２０が、空気入口通路３２０及び第１のチャネル３２６の両方と流体連通するポペット３１０のソレノイド空気通路を介して第１のチャネル３２６と流体連通する、第１の位置へと移動し得る。第１のチャネル３２６は、ソレノイド弁３７０から第１のチャンバ３９０へと延在しており、かつ第１のチャンバ３９０と流体連通する。したがって、加圧空気は、空気入口通路３２０から、ソレノイド弁３７０を通り、第１のチャネル３２６を通り、第１のチャンバ３９０へと移動することが可能である。第１のチャンバ３９０の圧力が所定の閾値に到達したとき、ピストン３８０は、加圧空気の圧力に応じて第１の方向に移動する。

排気構成では、ポペット３１０は、空気入口通路３２０が第１のチャネル３２６と流体連通しない第２の位置へと移動し得る。空気入口通路３２０は、ソレノイド弁３７０内の別の経路（例えば、分配弁３００の外側の大気へと通じる経路）と流体連通し得る。いくつかの態様では、空気入口通路３２０は、ソレノイド弁３７０において終端し得、それにより、空気が空気入口通路の外へ移動することを不可能にする。加圧空気は、経路が開かれて加圧空気が空気入口通路３２０の外へ移動するまで、ソレノイド弁３７０と空気入口３１８との間の空気入口通路３２０内に残り得る。

排気構成において、ポペット３１０が第２の位置にあるとき、第１のチャネル３２６は、ポペット３１０内のソレノイド空気通路を介して第２のチャネル３３０と流体連通する。第２のチャネル３３０は、ソレノイド弁３７０から第２のチャンバ３９２へと延在している。第２のチャネル３３０は、第２のチャンバ３９２と流体連通する。排気構成では、第１のチャンバ３９０内に存在する加圧空気が、第１のチャネル３２６を通り、ポペット３１０を通り、第２のチャネル３３０を通り、第２のチャンバ３９２の中へ移動することを可能にする。加圧空気が第１のチャンバ３９０から移動すると、第１のチャンバ３９０内の圧力が低くなる。圧力の低下は、ピストン３８０が、上で説明したように第２の方向に移動することを可能にし得る。いくつかの態様では、第２の方向のピストン３８０の移動は、ピストン３８０に作用するばね３８４の付勢力によって生じ得る。ばね３８４は、第２のチャンバ３９２内に配置され得るが、ばね３８４は、作動部分３５６内の他の部分に配設され得ることが認識されるであろう。いくつかの態様では、ポペット３１０が第２の位置へと移動して、第１のチャネル３２６が第２のチャネル３３０及び第２のチャンバ３９２と流体連通したとき、第１のチャンバ３９０内の加圧空気は、ピストン３８０の第２の方向への移動によって、第１のチャンバ３９０から第１のチャネル３２６の中へ押し出され得る。この移動は、ピストン３８０に作用するばね３８４の付勢力によって生じ得る。排気構成では、空気入口通路３２０は、第１のチャネル３２６又は第２のチャネル３３０のいずれとも流体連通しない。このように、分配弁３００が排気構成にあるとき、空気入口通路３２０からの加圧空気は、第１のチャンバ３９０又は第２のチャンバ３９２の中へ移動されない。

第２のチャンバ３９２は、第２のチャンバ３９２と流体連通する１つ以上の排気通路４０３を画定する。排気通路４０３は、分配弁３００の排気出口４０４を画定する。ソレノイド弁３７０によって第２のチャンバ３９２の中へ指向される加圧空気は、１つ以上の排気通路４０３の中へ移動し、排気出口４０４において分配弁３００から大気へと出る。図４～図６の例示的な態様を参照すると、分配弁３００は、１つの排気通路４０３と、それぞれの排気出口４０４と、を有し得る。分配弁３００が、異なる数の、例えば１つ、２つ、３つ、・・・、１０個、又は別の好適な数の排気通路４０３及び対応する排気出口４０４を有し得ることが理解されるであろう。いくつかの態様では、分配弁３００は、１つ～８つ（両端値を含む）の、１つ～６つ（両端値を含む）の、１つ～４つ（両端値を含む）の、１つ～３つ（両端値を含む）の、又は別の好適な数の、排気通路４０３及び対応する排気出口４０４を有し得る。例えば、図７～図１０の例示的な代替の実施形態を参照すると、分配弁３００は、４つの排気通路４０３と、４つのそれぞれの排気出口４０４と、を有し得る。

上記の説明は、第１のチャンバ３９０及び第２のチャンバ３９２が、それぞれ、ピストン３８０の作動及び加圧空気の排気と関連しているものとして示しているが、この配設は、反転させることができ、分配弁の構造、特に弁ステム先端部３４４及び弁座３４５の構造、並びにピストン３８０と弁ステム３４３との間の係合に依存することが理解されるであろう。開示する機構は、常閉弁構成（作動部材が弁ステム先端部３４４を弁座３４５から離れさせない限り、弁ステム先端部３４４が弁座３４５に接触している）によって、又は、常開弁構成（作動部材が弁ステム先端部３４４を弁座３４５に向かって移動させたとき、弁ステム先端部３４４が弁座３４５から離間され、弁座３４５にだけ接触している）によって使用することができる。

１つ以上の排気通路４０３及び排気出口４０４は、実質的に円形断面を有し得るが、別の形状、例えば楕円形又は長方形を使用することができることが認識されるであろう。１つ以上の排気通路４０３及び排気出口４０４は、全て同じ寸法を有し得るか、又は異なるサイズを有し得る。図７～図１０の例示的な実施形態を再度参照すると、例えば、排気通路４０３は、同じ寸法を有する。１つ以上の排気通路４０３及び１つ以上のそれぞれの排気出口４０４は、任意の好適な断面サイズ、例えば、約０．１ｍｍ～約３ｍｍ、約０．５ｍｍ～約２．５ｍｍ、約１．０ｍｍ～約２．０ｍｍを有し得る。いくつかの態様では、断面サイズは、約１．５ｍｍであり得る。

全ての排気出口４０４（１つ以上の排気出口４０４）の組み合わせた断面積は、所定の所望の値になり得る。所定の所望の値は、分配弁３００が使用される特定のシステムに依存し得るが、本開示は、特定の構成に限定されない。所望の値に到達するために、排気通路４０３及び排気出口４０４のサイズが変更され得ること、排気通路４０３及び排気出口４０４の数が交換され得ること、又はサイズ及び数の両方が交換され得ることが認識されるであろう。上で説明した排気出口４０４及び排気通路４０３の可能な数の例示的な範囲に基づいて、いくつかの態様では、組み合わせた断面積は、約０．００７８５ｍｍ（約０．１ｍｍの直径を有する単一の排気出口４０４及び排気通路４０３を有する実施形態）～約７０．０６８５８ｍｍ（各々が約３ｍｍの直径を有する１０個の排気出口４０４及び排気通路４０３を有する実施形態）であり得る。総断面積が、上で説明したように特定の数の排気出口４０４及び上記の通りの排気通路４０３に基づいて、及び上で説明したように各排気出口４０４及び排気通路４０３の特定の断面直径に基づいて計算され得ることが認識されるであろう。

図７～図１０の例示的な態様を参照すると、４つの示される排気通路４０３が、液体分配部分３５０の周囲に円周方向に配置されている。排気通路４０３は、隣接する通路の間に等距離に離間され得る（特に、図１０を参照されたい）。ピストン３８０の第１の移動方向及び第２の移動方向に対して垂直な平面（例えば、図１０に示されるｘ－ｙ平面）では、排気通路４０３は、互いから９０度間隔で配置され得る。ピストン３８０の第１の移動方向及び第２の移動の方向に対して平行な平面（例えば、図８及び図１０に示されるｙ－ｚ平面）で見たとき、第２のチャンバ３９２から排気出口４０４への排気通路４０３の角度は、任意の好適な値、例えば約０度～９０度とすることができる。いくつかの態様では、図８及び図９で分かるように、排気通路４０３は、第２のチャンバ３９２から排気出口４０４へと約４５度で延在している。他の角度を使用することができること、及び該角度が、排気通路４０３の数、該排気通路のサイズ、分配弁３００の使用目的、製造上の制約に依存し得ることが理解されるであろう。

第２のチャンバ３９２の排気通路４０３の数及びサイズは、分配弁３００を出る空気と関連するノイズの量に影響を及ぼし得る。排気通路４０３及び出口４０４が大きくなるにつれて、かつそれらの数が多くなるにつれて、加圧空気が大気へと通過するとき、より少ないノイズが生成される。

しかしながら、いくつかの態様では、より大きい開口部は、加圧空気が放出されていないときに、汚染物質又は粒子が第２のチャンバ３９２に進入するリスクを増加させるので、所定のサイズよりも大きい、より少ない排気通路４０３を有することは望ましくない。好ましい態様では、排気通路４０３及び排気出口４０４は、加圧空気が所望のノイズ閾値を上回ることなく第２のチャンバ３９２を出ることを可能にするのに十分大きいが、望ましくない粒子が分配弁３００に進入することを不可能にするのに十分小さくなるように寸法決めされる。

本開示の態様による、分配アセンブリを動作させる例示的な方法は、分配される液体をチャンバ３５２の中へ導入するステップを含み得る。本方法は、ピストン３８０及び弁ステム３４３を初期位置（例えば、第１の位置）から異なる位置（例えば、第２の位置）へと移動させて、チャンバ３５２から液体を分配させるように、ピストン３８０を作動させるステップを更に含む。ピストン３８０を移動させるステップは、本開示の全体にわたって説明される機構を介して、例えば第１のチャネル３２６を介して、加圧空気を第１のチャンバ３９０の中へ導入するステップを含み得る。本方法は、加圧空気の第１のチャンバ３９０の中への導入を止めるステップを更に含み得る。いくつかの態様では、このステップは、ピストン３８０及び弁ステム３４３を、加圧空気を第１のチャンバ３９０の中へ導入するステップの前に配置されていた初期位置に戻させ得る。本方法は、本開示の全体にわたって説明される機構及びチャネルを介して、例えば第２のチャネル３３０を介して、加圧空気を第２のチャンバ３９２の中へ導入するステップを更に含み得る。このステップは、第１のチャネル３２６と第２のチャネル３３０との間に流体連通が形成され、それにより、第１のチャンバ３９０内の加圧空気が、第１のチャネル３２６を介して第２のチャネル３３０の中へ、及び第２のチャンバ３９２の中へ移動するように、ポペット３１０を移動させることを含み得る。本方法は、１つ以上の排気通路４０３を介して、加圧空気を第２のチャンバ３９２から分配アセンブリの外へ放出することを更に含み得る。いくつかの態様では、本方法は、例えばばね３８４がピストン３８０を押し出して移動させることを可能にすることによって、ピストン３８０及び弁ステム３４３を作動させて、その初期位置へと逆に移動させるステップを更に含み得る。代替的に、このステップは、上で説明したように、ピストン３８０に作用する第２のチャンバ３９２内の加圧空気によって生じる、第２のチャンバ３９２内の圧力の蓄積を介して行われ得る。上記の任意の１つ又は複数のステップは、分配プロセスにおいて繰り返され得る。

本開示の全体にわたって示される態様は、加圧空気が許容可能なノイズレベルで分配弁３００の外へ移動することを可能にする。このように、ノイズ低減要素又はマフラは、必要とされない。既存のシステム内のノイズ低減要素及びマフラは、加圧空気が大気へと移動することと関連するノイズレベルを低減させる役割を果たす。ノイズ低減要素及びマフラは、継続した使用にわたって目詰まりする傾向がある。ノイズ低減要素は、目詰まりするにつれて、減少した加圧空気の流量をもたらす。加圧空気流量の段階的な減少は、定量化及び予測することが困難であるので、既存の分配弁の動作は、制御することが難しい場合があり、また、一貫しない材料の分配につながり得る。空気の排出の減少により、それに続いて起こるシステムから分配することができる材料の量の減少が存在し、これは、生産を減速させる。この問題を部分的に軽減するために、既存のシステムでは、ノイズ低減要素が目詰まりしたとき、又は損傷を受けたときに該ノイズ交換要素を交換しなければならず、これは、効率を更に低下させ、必要な作業時間を増加させる。いくつかの既存のシステムでは、ノイズ低減要素は、５０００万サイクル毎に交換される。

本明細書の全体にわたって説明する態様は、ノイズ低減要素を必要としないため、分配弁のサイクルタイムがシステムの寿命にわたって一貫しているので、有利である。サイクルタイムは、存在しないノイズ低減要素の望ましくなく目詰まりによる影響を受けない。開示する態様は、ノイズ低減要素を交換又は洗浄する必要性を排除し、したがって、ダウンタイムを減少させる。更に、排気通路４０３及び排気出口４０４の包含は、ノイズの低減を補助し、したがって、ノイズ低減の利点を維持しながら、別個のノイズ低減要素に対する必要がなくなる。本出願の全体にわたって開示される分配システムのいくつかの態様は、マフラ又は他のノイズ低減要素を明示的に有しない。

本明細書で説明される分配弁は、様々な数及び寸法の排気通路４０３及び排気出口４０４を有するように製造することができる。製造上の制約は、分配弁の予想される使用、及びシステムが生成するノイズの量に依存する。

流体分配の分野において一般的に使用される追加の構成要素を、開示する実施形態と共に利用することができることが理解されるであろう。例えば、いくつかの態様では、分配弁３００は、プロセス空気を収容するように構成されたプロセス空気源を更に含み得る。プロセス空気がプロセス空気源から移動する供給チャネルは、分配弁３００に配置され、プロセス空気ノズルに動作可能に接続されるように構成され得る。プロセス空気ノズルは、分配弁３００から分配されている液体にプロセス空気を適用することができるように、分配弁３００に対して配置され得る。

様々な図の様々な態様に関連してシステム及び方法を説明してきたが、当業者には、その幅広い発明的概念を逸脱しない範囲で、態様に変更が行われ得ることを認識するであろう。したがって、本開示が、開示される特定の態様に限定されず、特許請求の範囲によって定義される本開示の趣旨及び範囲内の修正を網羅することを意図していることが理解される。

Claims (57)

1. 液体を基板上へ分配するための分配アセンブリであって、前記分配アセンブリが、
   分配される前記液体を受容するように構成されたハウジングと、
   前記ハウジング内に配置され、前記液体が前記ハウジングから出ることを可能にする第１の構成と、前記液体が前記ハウジングから出ることを阻止される第２の構成と、を有する、弁ステムと、
   加圧空気源から加圧空気を受容するように構成された制御弁であって、第１の位置と第２の位置との間で移動可能である、制御弁と、
   前記ハウジング上に画定され、所定の断面積を有する排気通路であって、前記加圧空気を受容するように構成されている、排気通路と、を備え、
   前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記加圧空気が前記弁ステムに作用して、前記弁ステムを前記第１の構成に、又は前記第２の構成に移動させるように構成され、前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記加圧空気が前記排気通路の中へ、かつ、前記排気通路を通って前記分配アセンブリの外へ移動するように構成されている、分配アセンブリ。
2. 前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記制御弁が、第１のチャンバと流体連通するように構成され、かつ前記加圧空気を前記第１のチャンバに指向するように構成されている、請求項１に記載の分配アセンブリ。
3. 前記第１のチャンバと前記制御弁との間に配置されている第１のチャネルを更に備え、前記第１のチャネルが、前記第１のチャンバと流体連通し、前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記第１のチャネルが、前記制御弁と流体連通し、
   前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記制御弁が、前記加圧空気源から前記加圧空気を受容し、前記加圧空気を前記第１のチャネルの中へ放出するように構成されている、請求項２に記載の分配アセンブリ。
4. 前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記制御弁が、前記第１のチャンバと別体である第２のチャンバと流体連通するように構成され、かつ前記加圧空気を前記第２のチャンバに指向するように更に構成され、
   前記排気通路が、前記第２のチャンバと流体連通するように構成されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
5. 前記第２のチャンバと前記制御弁との間に配置されている第２のチャネルを更に備え、前記第２のチャネルが、前記第２のチャンバと流体連通し、前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記第２のチャネルが、前記制御弁と流体連通し、
   前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記制御弁が、前記第１のチャネルを通して前記第１のチャンバから前記加圧空気を受容し、前記加圧空気を前記第２のチャネルの中へ放出するように構成されている、請求項４に記載の分配アセンブリ。
6. 前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記制御弁は、前記加圧空気が前記加圧空気源から前記第１のチャンバ又は前記第２のチャンバのいずれかへと移動することを阻止するように構成されている、請求項４又は５に記載の分配アセンブリ。
7. 前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記加圧空気源が、前記第２のチャネルと流体連通しない、請求項３又は５に記載の分配アセンブリ。
8. 前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記加圧空気源が、前記第１のチャネル又は前記第２のチャネルのいずれとも流体連通しない、請求項３、５、又は７のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
9. 前記ハウジング上に画定された弁座を更に備え、前記弁ステムは、前記弁ステムが前記第１の構成にあるとき、前記弁ステムが前記弁座から離間され、及び前記弁ステムが前記第２の構成にあるとき、前記弁ステムが前記弁座に接触するように、前記弁座に対して移動するように構成されている、請求項１～８のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
10. 前記制御弁が、ソレノイド弁である、請求項１～９のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
11. 前記加圧空気の圧力が、１バール～１０バールである、請求項１～１０のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
12. 前記排気通路が、前記弁ステムに対して平行と前記弁ステムに対して垂直との間のある角度で配向される、請求項１～１１のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
13. 前記排気通路が、０．１ｍｍ～３．０ｍｍの断面直径を有する、請求項１～１２のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
14. 前記分配アセンブリが、複数の排気通路を画定する、請求項１～１３のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
15. 前記所定の断面積が、前記複数の排気通路内の全ての排気通路の組み合わせた断面積を含む、請求項１４に記載の分配アセンブリ。
16. 前記分配アセンブリが、前記分配アセンブリの周囲に円周方向に配設された４つの排気通路を画定する、請求項１４又は１５に記載の分配アセンブリ。
17. 前記弁ステムをある方向に付勢するように構成されたばねを更に備え、前記弁ステムが、前記加圧空気によって、前記ばねの前記付勢方向とは逆に移動可能である、請求項１～１６のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
18. 前記分配アセンブリが、動作的に取り付けられたマフラを有しない、請求項１～１７のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
19. 液体を基板上へ分配するための分配システムであって、前記分配システムが、
    分配される前記液体を保持するように構成された液体源と、
    前記液体源から前記液体を受容するように構成されたハウジングを有する分配アセンブリであって、前記液体が前記ハウジングを出ることを可能にする第１の構成と、前記液体が前記ハウジングから出ることを阻止される第２の構成との間で前記ハウジング内を移動可能な弁ステムを更に有する、分配アセンブリと、
    加圧空気を保持するように構成された加圧空気源と、
    前記加圧空気源から加圧空気を受容するように構成された制御弁であって、第１の位置と第２の位置との間で移動可能である、制御弁と、
    前記ハウジング上に画定され、所定の断面積を有する排気通路であって、前記加圧空気を受容するように構成されている、排気通路と、を備え、
    前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記加圧空気が前記弁ステムに作用して、前記弁ステムを前記第１の構成に、又は前記第２の構成に移動させるように構成され、前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記加圧空気が前記排気通路の中へ、そして、前記排気通路を通って前記分配アセンブリの外へ移動するように構成されている、分配システム。
20. 前記液体が、ホットメルト接着剤である、請求項１９に記載の分配システム。
21. 前記液体を所定の温度まで加熱するように構成されたヒータを更に備える、請求項１９又は２０に記載の分配システム。
22. プロセス空気を収容するように構成されたプロセス空気源と、
    前記プロセス空気が前記プロセス空気源から移動する供給チャネルであって、前記分配アセンブリから分配されている前記液体に前記プロセス空気を適用することができるように、前記分配アセンブリに対して配置されたプロセス空気ノズルを有する、供給チャネルと、を更に備える、請求項１９～２１のいずれか一項に記載の分配システム。
23. 前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記制御弁が、第１のチャンバと流体連通するように構成され、かつ前記加圧空気を前記第１のチャンバに指向するように構成されている、請求項１９～２２のいずれか一項に記載の分配システム。
24. 前記第１のチャンバと前記制御弁との間に配置されている第１のチャネルを更に備え、前記第１のチャネルが、前記第１のチャンバと流体連通し、前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記第１のチャネルが、前記制御弁と流体連通し、
    前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記制御弁が、前記加圧空気源から前記加圧空気を受容し、前記加圧空気を前記第１のチャネルの中へ放出するように構成されている、請求項２３に記載の分配アセンブリ。
25. 前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記制御弁が、前記第１のチャンバと別体である第２のチャンバと流体連通するように構成され、かつ前記加圧空気を前記第２のチャンバに指向するように更に構成され、
    前記排気通路が、前記第２のチャンバと流体連通するように構成されている、請求項１９～２４のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
26. 前記第２のチャンバと前記制御弁との間に配置されている第２のチャネルを更に備え、前記第２のチャネルが、前記第２のチャンバと流体連通し、前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記第２のチャネルが、前記制御弁と流体連通し、
    前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記制御弁が、前記第１のチャネルを通して前記第１のチャンバから前記加圧空気を受容し、前記加圧空気を前記第２のチャネルの中へ放出するように構成されている、請求項２５に記載の分配アセンブリ。
27. 前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記制御弁が、前記加圧空気が前記加圧空気源から前記第１のチャンバ又は前記第２のチャンバのいずれかへと移動することを阻止するように構成されている、請求項２５又は２６に記載の分配アセンブリ。
28. 前記制御弁が前記第１の位置にあるとき、前記加圧空気源が、前記第２のチャネルと流体連通しない、請求項２４又は２６に記載の分配アセンブリ。
29. 前記制御弁が前記第２の位置にあるとき、前記加圧空気源が、前記第１のチャネル又は前記第２のチャネルのいずれとも流体連通しない、請求項２４、２５、又は２８のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
30. 前記ハウジング上に画定された弁座を更に備え、前記弁ステムは、前記弁ステムが前記第１の構成にあるとき、前記弁ステムが前記弁座から離間され、及び前記弁ステムが前記第２の構成にあるとき、前記弁ステムが前記弁座に接触するように、前記弁座に対して移動するように構成されている、請求項１９～２９のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
31. 前記制御弁が、ソレノイド弁である、請求項１９～３０のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
32. 前記加圧空気の圧力が、１バール～１０バールである、請求項１９～３１のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
33. 前記排気通路が、前記弁ステムに対して平行と前記弁ステムに対して垂直との間のある角度で配向される、請求項１９～３２のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
34. 前記排気通路が、０．１ｍｍ～３．０ｍｍの断面直径を有する、請求項１９～３３のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
35. 前記分配アセンブリが、複数の排気通路を画定する、請求項１９～３４のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
36. 前記所定の断面積が、前記複数の排気通路内の全ての排気通路の組み合わせた断面積を含む、請求項３５に記載の分配アセンブリ。
37. 前記分配アセンブリが、前記分配アセンブリの周囲に円周方向に配設された４つの排気通路を画定する、請求項３５又は３６に記載の分配アセンブリ。
38. 前記弁ステムをある方向に付勢するように構成されたばねを更に備え、前記弁ステムが、前記加圧空気によって、前記ばねの前記付勢方向とは逆に移動可能である、請求項１９～３７のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
39. 前記分配アセンブリが、動作的に取り付けられたマフラを有しない、請求項１９～３８のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
40. 液体を基板上へ分配するための分配アセンブリであって、前記分配アセンブリが、
    液体入口及び液体出口を有する分配部分であって、前記液体入口からの前記液体を受容するように構成された液体チャンバを画定する、分配部分と、
    前記液体出口に隣接した弁座と、
    前記液体チャンバ内に配置され、前記液体チャンバ内を移動するように構成された弁ステムと、
    前記弁ステムの遠位端に画定され、前記弁座に選択的に接触し、かつ前記弁座から離間されるように構成された弁ステム先端部と、
    加圧空気を受容するように構成された吸気口を有する作動部分であって、第１のチャンバ及び第２のチャンバを画定する、作動部分と、
    前記作動部分内に配置されたピストンであって、前記加圧空気によって移動可能である、ピストンと、
    前記加圧空気を前記第１のチャンバ又は前記第２のチャンバのいずれかに選択的に指向するように構成された制御弁と、
    前記分配アセンブリからの前記加圧空気を放出するように構成された排気通路と、を備え、
    前記制御弁が、第１の構成と、第２の構成と、を有し、前記第１の構成にある前記制御弁が、前記加圧空気を前記第１のチャンバに指向するように構成され、前記第２の構成にある前記制御弁が、前記加圧空気を前記第２のチャンバに指向するように構成され、
    前記制御弁が前記第１の構成にあるとき、前記第１のチャンバ内の前記加圧空気が、前記ピストンに作用するように構成され、前記加圧空気の作用により前記ピストンを第１の方向に移動させるように構成され、
    前記制御弁が前記第２の構成にあるとき、前記排気通路が、前記加圧空気を受容し、前記加圧空気を前記分配アセンブリの外へ放出するように構成されている、分配アセンブリ。
41. 前記排気通路が、所定の断面積を有する、請求項４０に記載の分配アセンブリ。
42. 前記ピストンを前記第１の方向とは逆の第２の方向に付勢するように構成されたばねを更に備え、前記加圧空気が前記第１のチャンバの中へ移動するとき、前記加圧空気が、前記加圧空気の閾値圧力に到達したとき、前記ピストンを前記第１の方向に移動させ、前記閾値圧力が、前記ばねの前記付勢よりも高い、請求項４０又は４１に記載の分配アセンブリ。
43. 前記制御弁が、第１の位置と第２の位置との間で移動可能なポペットを有するソレノイド弁であり、前記ポペットが前記第１の位置にあるとき、前記制御弁が、前記第１の構成にあり、前記ポペットが前記第２の位置にあるとき、前記制御弁は、前記第２の構成にある、請求項４０～４２のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
44. 前記液体出口は、前記弁ステム先端部が前記弁座と接触したときに遮断され、それにより、前記液体が前記分配アセンブリの外へ移動することを阻止し、前記液体出口は、前記弁ステム先端部が前記弁座から離間されたときに遮断解除され、それにより、前記液体が前記分配アセンブリの外へ移動することを可能にする、請求項４０～４３のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
45. 複数の排気通路を備え、前記複数の排気通路の数及び寸法が、単一の排気通路に対する前記分配アセンブリの動作のノイズを低減させる、請求項４０～４４のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
46. 前記所定の断面積が、前記複数の排気通路内の全ての排気通路の組み合わせた断面積を含む、請求項４５に記載の分配アセンブリ。
47. 前記分配アセンブリが、マフラを有しない、請求項４０～４６のいずれか一項に記載の分配アセンブリ。
48. 分配アセンブリから液体を分配する方法であって、前記方法が、
    液体チャンバの中へ分配される液体を導入することであって、前記液体チャンバが、液体を前記液体チャンバの外へ放出することを不可能にする第１の位置と、液体を前記液体チャンバから放出することを可能にする第２の位置との間で移動するように構成された移動可能な弁ステムを含む、導入することと、
    加圧空気により前記弁ステムを前記第１の位置から前記第２の位置まで移動させるために、制御弁を介して前記加圧空気を第１のチャンバに導入することと、
    前記加圧空気の前記第１のチャンバの中への導入を止めることと、
    前記加圧空気を前記分配アセンブリの外へ移動させることと、を含む、方法。
49. 加圧空気を前記第１のチャンバの中へ導入することが、前記弁ステムに固定されたピストンの移動を生じさせ、それにより、前記ピストンが移動するときに前記弁ステムが移動する、請求項４８に記載の方法。
50. 加圧空気を前記第１のチャンバの中へ導入することが、前記加圧空気を、前記制御弁及び前記第１のチャンバと流体連通するように構成された第１のチャネルの中へ導入することを含む、請求項１８又は４９に記載の方法。
51. 前記加圧空気を前記分配アセンブリの外へ移動させるステップが、前記加圧空気を、前記第１のチャンバから前記第１のチャンバとは別体の第２のチャンバへと移動させることを含む、請求項４８に記載の方法。
52. 前記加圧空気を前記分配アセンブリから移動させることが、前記加圧空気を、前記制御弁及び前記第２のチャンバと流体連通するように構成された第２のチャネルの中へ移動させることを含む、請求項５１に記載の方法。
53. 前記加圧空気を前記分配アセンブリの外へ移動させる前記ステップが、前記加圧空気を、排気通路を介して前記第２のチャンバから前記分配アセンブリの外へ移動させることを更に含む、請求項５１又は５２の方法。
54. 前記加圧空気を前記第２のチャンバの外へ移動させる前記ステップが、前記加圧空気を複数の排気通路の外へ移動させることを含む、請求項５３に記載の方法。
55. 前記加圧空気を前記分配アセンブリの外へ移動させる前記ステップが、マフラを通して前記加圧空気を移動させることなく、空気を前記分配アセンブリから大気に直接放出することを含む、請求項４８～５４のいずれか一項に記載の方法。
56. 前記弁ステムを前記第２の位置から前記第１の位置へと逆に移動させることを更に含む、請求項４８～５５のいずれか一項に記載の方法。
57. 前記弁ステムを前記第１の位置へ逆に移動させることは、前記弁ステムに作用するように構成されたばねによって、前記弁ステムを前記第１の位置に押し付けることを含む、請求項５６に記載の方法。

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