JP2022527217A - 接地されたサンプル近接静電容量センサを有する検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、合衆国法典第35巻第119条(e)の下で、Yang Xie、Feilong Lin、Rushford A.Ogdenを発明者とする2019年4月12日出願の米国仮特許出願第62/833,043号「EUV RETICLE BACKSIDE GROUNDING FOR RETICLE HEIGHT MEASUREMENT IN EUV RETICLE EBEAM INSPECTION SYSTEM」の優先権を主張するものであり、その全文を本明細書に引用している。
d=ε0ε(A/Cd) (1)
ここにε0は真空誘電率、εはセンサ電極102とサンプル202間の材料誘電率、Aはセンサ電極102の面積である。
dM=ε0ε(A/CM) (2)
上式は式(1)に対応しており、Cdの値が測定回路600の測定された静電容量(CM)で代替されている。更に、上式は(例えば、上述の式(1)を用いた)センサ電極102と測定領域304の間の静電容量(Cd)の直接測定とは異なっていてよい。従って、測定回路600に基づく測定に関連付けられた誤差(dErr)は次式のように特徴付けられる。
dErr=d-dM (3)
Claims (32)
- 静電容量近接測定システムであって、
サンプルの試験面上の導電測定領域に近接して配置されるべく構成されたセンサ電極と、
系統接地と前記試験面に平行な導電プレートの間に電気接続を提供すべく構成されたプレートコネクタにおいて、前記センサ電極と前記導電プレートの間に測定回路が形成され、前記試験面が前記センサ電極と前記導電プレートに対して電気的に浮遊しているプレートコネクタと、
前記センサ電極及び前記プレートコネクタに通信可能に結合されたコントローラを含み、前記コントローラが、1個以上のプロセッサに、
前記導電プレートに対する前記センサ電極の電圧を調整させ、
前記測定回路に関連付けられた静電容量を判定させ、及び
前記測定回路に関連付けられた静電容量に基づいて前記電極と前記測定領域の距離を判定させるプログラム命令を実行すべく構成された1個以上のプロセッサを含んでいるシステム。 - 前記導電プレートが、前記測定領域よりも大きい面積を有している、請求項1に記載のシステム。
- 前記導電プレートが、前記表面の反対側のサンプルの裏面に導電コーティングを含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 前記導電プレート及び前記センサ電極が前記試験面に共通な側に存在する、請求項1に記載のシステム。
- 前記導電プレートが開口を含み、前記センサ電極が前記開口に整列している、請求項4に記載のシステム。
- 前記電極の少なくとも一部が開口を貫通して突出する、請求項5に記載のシステム。
- 前記導電プレートが電子ビームカラムの底面を含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 前記測定回路が、前記センサ電極と前記測定領域の間の静電容量、及び前記測定領域と前記導電プレートの間の少なくとも静電容量を含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 前記測定領域と前記導電プレートの間の静電容量を測定するステップと、
前記測定領域と前記導電プレートの間の前記測定された静電容量に基づいて前記センサ電極と前記測定領域の間の静電容量を判定するステップと、
前記センサ電極と前記測定領域の間の静電容量に基づいて前記電極と前記測定領域の距離を判定するステップを更に含んでいる、請求項8に記載のシステム。 - 前記サンプルの試験面が、空間的に変化する抵抗を有する境界により追加的な導電領域から分離された導電測定領域を含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 前記境界が、前記測定領域と前記追加的な導電領域を接続する1個以上の導電ブリッジを有する絶縁境界を含んでいる、請求項10に記載のシステム。
- 前記サンプルが反射型レチクルを含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 前記サンプルが、極端紫外光を用いるリソグラフィに適したレチクルを含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 電子ビームをサンプルに向けるための電子ビームカラムと、
前記電子ビームカラムに隣接して配置された静電容量近接測定システムを含む検査システムであって、前記静電容量近接測定システムが、
サンプルの試験面上の導電測定領域に近接して配置されたセンサ電極と、
系統接地と前記試験面に平行な導電プレートの間の電気接続を提供可能に構成されたプレートコネクタにおいて、前記センサ電極と前記導電プレートの間に測定回路が形成され、前記試験面が前記センサ電極及び前記導電プレートに対して電気的に浮遊しているプレートコネクタと、
前記センサ電極及び前記プレートコネクタに通信可能に結合されたコントローラであって、前記コントローラが、1個以上のプロセッサに、
前記導電プレートに対する前記センサ電極の電圧を調整させ、
前記測定回路に関連付けられた静電容量を判定させ、及び
前記測定回路に関連付けられた静電容量に基づいて前記電極と前記測定領域の距離を判定させるプログラム命令を実行すべく構成された1個以上のプロセッサを含む検査システム。 - 前記導電プレートが前記電子ビームカラムの底面を含んでいる、請求項14に記載のシステム。
- 前記導電プレートが、前記表面の反対側のサンプルの裏面に導電コーティングを含んでいる、請求項14に記載のシステム。
- 前記導電プレート及び前記センサ電極が前記試験面に共通な側に存在する、請求項14に記載のシステム。
- 前記導電プレートが開口を含み、前記センサ電極が前記開口に整列している、請求項17に記載のシステム。
- 前記電極の少なくとも一部が開口を貫通して突出する、請求項18に記載のシステム。
- 静電容量近接測定を行う方法であって、
試験面上に導電測定領域を有するサンプルを受容するステップと、
センサ電極を前記測定領域に近接して配置するステップと、
導電プレートを前記試験面に平行に配置するステップと
前記センサ電極と前記導電プレートの間に測定回路を形成するステップにおいて、前記試験面が前記センサ電極及び前記導電プレートに対して電気的に浮遊しているステップと、
前記導電プレートに対するセンサ電極の電圧を調整するステップと、
前記測定回路に関連付けられた静電容量を測定するステップと、
前記測定回路に関連付けられた静電容量に基づいて前記電極と前記測定領域の距離を判定するステップを含んでいる方法。 - 前記導電プレートが前記測定領域よりも大きい面積を有している、請求項20に記載の方法。
- 前記導電プレートが、前記表面の反対側のサンプルの裏面に導電コーティングを含んでいる、請求項20に記載の方法。
- 前記導電プレート及び前記センサ電極が前記試験面に共通な側に存在する、請求項20に記載の方法。
- 前記導電プレートが開口を含み、前記センサ電極が前記開口に整列している、請求項23に記載の方法。
- 前記電極の少なくとも一部が開口を貫通して突出する、請求項24に記載の方法。
- 前記導電プレートが電子ビームカラムの底面を含んでいる、請求項20に記載の方法。
- 前記測定回路が、前記センサ電極と前記測定領域の間の静電容量、及び前記測定領域と前記導電プレートの間の少なくとも静電容量を含んでいる、請求項20に記載の方法。
- 前記測定領域と前記導電プレートの間の静電容量を測定するステップと、
前記測定領域と前記導電プレートの間の前記測定された静電容量に基づいて前記センサ電極と前記測定領域の間の静電容量を判定するステップと、
前記センサ電極と前記測定領域の間の静電容量に基づいて前記電極と前記測定領域の距離を判定するステップを更に含んでいる、請求項27に記載の方法。 - 前記サンプルの試験面が、空間的に変化する抵抗を有する境界により追加的な導電領域から分離された導電測定領域を含んでいる、請求項20に記載の方法。
- 前記境界が、前記測定領域と前記追加的な導電領域を接続する1個以上の導電ブリッジを有する絶縁境界を含んでいる、請求項29に記載の方法。
- 前記サンプルが反射型レチクルを含んでいる、請求項20に記載の方法。
- 前記サンプルが、極端紫外光を用いるリソグラフィに適したレチクルを含んでいる、請求項20に記載の方法。
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