JP2022522288A - 静電容量型隔膜真空計内の電子機器及び高温度センサ間の熱障壁 - Google Patents
静電容量型隔膜真空計内の電子機器及び高温度センサ間の熱障壁 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本出願は、2019年2月26日に出願された米国仮特許出願62/810,798の優先権を主張するものであり、この出願は参照されることにより、本出願に援用される。
110 円筒形の外殻
112 前面アンカープレート
114 後面プレート
120 圧力ポート、入口ポート
130 第1のコネクタ
132 第2のコネクタ
134 一対の取付ネジ
140 第1のLED
142 第2のLED
144 第3のLED
146 第1の埋込型押しボタンスイッチ
148 第2の埋込型押しボタンスイッチ
200 前部、圧力センサ部
202 後部、電子機器部
210 静電容量型隔膜真空計
212 入口管
214 断熱アダプタ
220 ダイアフラム
222 固定電極
224 隔膜真空計ハウジング、支持構造
226 同軸の導体
250 高温炉筐体、高温炉
252 第1の高温炉カバー
256 第2の高温炉カバー
260 中温炉筐体、中温炉
262 第1の中温炉カバー
264 第2の中温炉カバー
266 中央開口
300 入出力プリント回路基板
302 電力供給プリント回路基板
304 デジタル信号処理プリント回路基板
306 アナログプリント回路基板
310 プリント回路基板相互接続スタンドオフ
320 電子機器炉筐体
322 前後部相互接続スタンドオフ
330 プリント回路基板相互接続要素
500 圧力測定ユニット、圧力検出ユニット
510 前部、センサ部
512 後部、電子機器部
514 前部円筒形外部カバー
516 後部円筒形外部カバー
520 熱障壁
522 第1の表面、近位面
524 第2の表面、遠位面
530 近位取付部
532 530の遠位面
534 530の外周面
540 中間熱抑制及び換気部
550 遠位取付部
552 550の近位面
554 550の第1の外周面
556 550の第2の外周面
560 中央貫通孔
570 ネジ
572 ネジ
574 ネジ
600 入口管
610 高温炉筐体
612 610の遠位端
614 中央開口
616 610の近位端カバー
618 ネジ
630 円盤状アダプタ支持構造
640 断熱アダプタ
642 遠位基部
644 中間部
646 近位部
648 514の開口
650 アダプタネジ
652 アダプタネジ
700 円筒形断熱層
702 700の近位端
704 700の遠位端
710 第1の円盤状断熱層
712 中央開口
714 710の遠位面
716 710の近位面
720 第2の円盤状断熱層
730 第3の円盤状断熱層
740 第1の環状断熱層
750 第2の環状断熱層
770 ネジ
800 換気口
810 外側相互接続支柱
812 810のアーチ状の内表面
814 810のアーチ状の外表面
816 810の第1の半径方向面
818 810の第2の半径方向面
840 中央相互接続支柱
860 内側相互接続支柱
900 圧力測定ユニット
910 熱障壁筐体
911 円筒形側壁
912 第1の壁
913 第2の壁
914 中間熱抑制及び換気部
915 支柱
916 中央相互接続支柱
917 第2の相互接続支柱
918 第2の貫通孔
920 後部円筒形外部カバー
930 910の上部
931 910の下部
940 第1の円
941 支柱半径方向線
Claims (21)
- 第1の温度で動作する静電容量型隔膜真空計(CDG)及び第2の温度で動作する電子機器筐体を相互接続する熱障壁筐体であって、前記第1の温度は前記第2の温度よりも高く、前記熱障壁筐体が、
前記静電容量型隔膜真空計を囲む側壁と、
前記静電容量型隔膜真空計と機械的に係合するように構成された第1の壁と、
前記第1の壁から間隔をあけて配置され、前記電子機器筐体と係合するように構成された第2の壁と、
複数の支柱を含み、前記第1の壁及び前記第2の壁を相互接続する中間熱抑制及び換気部と、
を含むことを特徴とする熱障壁筐体。 - 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の支柱半径方向線に沿って配置されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第1の円に沿って配置されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 前記複数の支柱は前記第1の壁及び前記第2の壁に接続されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- さらに、前記第1の壁及び前記第2の壁に接続された中央相互接続支柱を含み、前記中央相互接続支柱内に中央貫通孔が形成されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 前記中間熱抑制及び換気部は前記第1の壁及び前記第2の壁の間の総容積を有し、前記複数の支柱は支柱総容積を有し、前記支柱総容積は、前記総容積の約15%~約25%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 測定する圧力の供給源に接続可能であり、第1の温度で動作する静電容量型隔膜真空計(CDG)と、
前記静電容量型隔膜真空計に電気的に接続された電子機器を囲んでおり、前記第1の温度より低い第2の温度で動作する電子機器筐体と、
前記静電容量型隔膜真空計を収容し、前記静電容量型隔膜真空計及び前記電子機器筐体を相互接続する熱障壁筐体と、
を含む圧力検出システムであって、
前記熱障壁筐体が、
前記静電容量型隔膜真空計を囲む側壁と、
前記静電容量型隔膜真空計と機械的に係合するように構成された第1の壁と、
前記第1の壁から間隔をあけて配置され、前記電子機器筐体と係合するように構成された第2の壁と、
複数の支柱を含み、前記第1の壁及び前記第2の壁を相互接続する中間熱抑制及び換気部と、
を含むことを特徴とする圧力検出システム。 - 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の支柱半径方向線に沿って配置されることを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第1の円に沿って配置されることを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- 前記複数の支柱は前記第1の壁及び前記第2の壁に接続されることを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- さらに、前記第1の壁及び前記第2の壁に接続された中央相互接続支柱を含み、前記中央相互接続支柱内に中央貫通孔が形成されることを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- 前記中間熱抑制及び換気部は前記第1の壁及び前記第2の壁の間の総容積を有し、前記複数の支柱は支柱総容積を有し、前記支柱総容積は、前記総容積の約15%~約25%の範囲であることを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- さらに、前記静電容量型隔膜真空計を囲む炉筐体を含むことを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- さらに、前記熱障壁筐体の前記側壁と前記炉筐体の間の空間を埋める断熱層を含むことを特徴とする請求項7に記載の圧力検出システム。
- 第1の温度で動作する静電容量型隔膜真空計(CDG)及び第2の温度で動作する電子機器筐体を相互接続する熱障壁であって、前記第1の温度は前記第2の温度よりも高く、前記熱障壁が、
前記静電容量型隔膜真空計と機械的に係合するように構成された第1の取付境界面と、
前記第1の取付境界面から間隔をあけて配置され、前記電子機器筐体と係合するように構成された第2の取付境界面と、
複数の支柱を含み、前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面を相互接続する中間熱抑制及び換気部と、
を含むことを特徴とする熱障壁。 - 前記中間熱抑制及び換気部は前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面の間の総容積を有し、前記複数の支柱は支柱総容積を有し、前記支柱総容積は、前記総容積の約15%~約50%の範囲であることを特徴とする請求項15に記載の熱障壁。
- 前記支柱総容積は、前記総容積の約40%であることを特徴とする請求項16に記載の熱障壁。
- 前記複数の支柱が、
隣接する外側相互接続支柱の間に換気口を提供する為に間隔をあけて配置されている複数の外側相互接続支柱と、
空気流が前記中間熱抑制及び換気部を通ることを可能にする為に、前記換気口から間隔をあけて配置され、そして、互いに間隔をあけて配置された複数の内側相互接続支柱と、
を含むことを特徴とする請求項15に記載の熱障壁。 - 前記複数の支柱がさらに中央相互接続支柱を含み、前記中央相互接続支柱が、前記第1の取付境界面から前記第2の取付境界面まで伸びている貫通孔を囲んでいることを特徴とする請求項18に記載の熱障壁。
- 前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面のそれぞれは、各々の中央貫通孔を有し、
前記複数の外側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の外側相互接続支柱半径方向線に沿って配置され、
前記複数の内側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の内側相互接続支柱半径方向線に沿って配置され、
前記各々の内側相互接続支柱半径方向線は、各々の第1の外側相互接続支柱半径方向線及び第2の外側相互接続支柱半径方向線の間に、実質的に等角度で配置されることを特徴とする請求項18に記載の熱障壁。 - 前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面のそれぞれは、各々の中央貫通孔を有し、
前記複数の外側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第1の円に沿って配置され、前記第1の円は第1の半径を有し、
前記複数の内側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第2の円に沿って配置され、前記第2の円は第2の半径を有し、前記第2の半径は前記第1の半径よりも小さいことを特徴とする請求項18に記載の熱障壁。
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