JP2019056667A - 圧力変化測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の第1実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力変化測定装置1を示す構成図である。圧力変化測定装置1は、配線2に接続された回路基板3と、回路基板の開口部4を覆うように配置されたセンサ5と、回路基板のセンサ側に配置されセンサを囲む圧力室を形成する第1キャビティ6と、回路基板のセンサ側に圧力室を囲むように形成された第2キャビティ7とを有する。
次に、本発明の第2実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図2は、本発明の第2実施形態に係る圧力変化測定装置21を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第2実施形態に係る圧力変化測定装置21では、基板の一部に溝10、11を設けている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図3は、本発明の第3実施形態に係る圧力変化測定装置31を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第3実施形態に係る圧力変化測定装置31では、回路基板のセンサと反対側(開口部側)にもキャビティ(第3キャビティ17)を設けている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
次に、本発明の第4実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図4(a)は、本発明の第4実施形態に係る圧力変化測定装置41を示す構成図であり、図4(b)は、本発明の第4実施形態に係る圧力変化測定装置42を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第4実施形態に係る圧力変化測定装置41および42では、中空部9または第2キャビティ7の外側に吸音材および/または保温材12が設けられている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
次に、本発明の第5実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図5は、本発明の第5実施形態に係る圧力変化測定装置51を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第5実施形態に係る圧力変化測定装置51では、第2キャビティ7を弾性体から形成された第2キャビティ7aとしている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
次に、本発明の第6実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図6は、本発明の第6実施形態に係る圧力変化測定装置61を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第6実施形態に係る圧力変化測定装置61では、第2キャビティ7の内側に温度計13を設け、第2キャビティ7の外側に温度調整素子14および温度制御部15を設けている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
2、72 配線
3、73 回路基板
4、74 開口部
5 センサ(カンチレバー)
6 第1キャビティ
7、7a 第2キャビティ
8 圧力通過孔、第1圧力通過孔
9 中空部
10、11 溝
12 吸音材・保湿剤
13 温度計
14 温度調整素子
15 温度制御部
17 第3キャビティ
18 第2圧力通過孔
75 センサ
76 キャビティ
78 圧力通過孔
Claims (8)
- 開口部を有する回路基板と、
前記回路基板の前記開口部を覆うように配置され、第1圧力通過孔を有するセンサと、
前記回路基板のセンサ側に配置され、前記センサを囲む第1圧力室を形成するように構成された第1キャビティと、
前記回路基板のセンサ側において前記第1キャビティを覆うように構成され、前記第1キャビティとの間に中空部を形成する第2キャビティと、
を備えることを特徴とする圧力変化測定装置。 - 前記第1キャビティと前記第2キャビティの少なくとも1つは、遮光性を有する材質から形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第1キャビティと前記第2キャビティの少なくとも1つは、他の構成に比べて熱容量が大きい材質から形成されている
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力変化測定装置。 - 前記回路基板の一部の厚さが薄い
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第2キャビティの外側または内側は、吸音材および/または保湿剤で覆われている
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第2キャビティは、弾性体から形成されている
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記中空部の内部に配置され、前記中空部の内部の温度を測定する温度計と、
前記第2キャビティの外側に配置され、前記第2キャビティの温度調整を行う温度調整素子と、
を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記回路基板のセンサと反対側に配置され、前記開口部を覆う第2圧力室を形成するように構成され、第2圧力通過孔を有する第3キャビティ
を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。
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