JP2022508329A - 試料配置部上の位置を自動的に特定するための方法および対応する顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
2 オートフォーカス装置
3 変位装置、x-y顕微鏡ステージ
4 特定装置
5 画像生成装置
6 画像評価装置
8 光軸
10 顕微鏡対物レンズ
12 チューブレンズ
14 画像平面
16,16’ 物体平面
17 カメラ
19 測定ビーム光源、オートフォーカス光源
20 ビームスプリッタ
27 モータ
28 検出器、オートフォーカス検出器
30 測定ビーム、オートフォーカス測定ビーム
32,32’ 反射された測定ビーム
40 試料配置部
41 保持装置、保持フレーム
42 試料支持体、物体支持体
43 カバーガラス
44 調節可能な収容部
45 可能な位置
A,B,B’,C,D 点
x,y,z 空間方向
α 角度
Claims (27)
- 顕微鏡(1)の物体空間内における試料配置部(40)上の複数の位置(P1~P8)を自動的に特定するための方法であって、
前記顕微鏡(1)は、光軸(8)を定義する顕微鏡対物レンズ(10)を含み、
測定ビーム装置(19,20)によって測定ビーム(30)が生成されて、前記試料配置部(40)に向けられ、前記試料配置部(40)によって反射された測定ビーム(32,32’)が検出器(28)によって検出されて、前記検出器(28)によって出力信号が生成され、
前記試料配置部(40)は、前記光軸(8)に対して垂直な少なくとも1つの方向に変位され、
前記変位に依存して、前記少なくとも1つの方向への変位中に生成された、前記検出器(28)の出力信号を用いて、前記試料配置部上の複数の位置(P1~P8)が特定される、
方法。 - 前記試料配置部(40)上の複数の位置(P1~P8)を特定するために、前記検出器(28)によって生成された前記出力信号が、存在する信号エッジ(50~56)に関して評価される、
請求項1記載の方法。 - 前記複数の位置(P1~P8)は、前記試料配置部(40)に含まれる少なくとも1つの要素(41,42,43)の境界点によって定義される、
請求項1または2記載の方法。 - 前記試料配置部(40)に含まれる前記少なくとも1つの要素は、試料支持体のための保持装置(41)、試料支持体(42)、カバーガラス(43)、試料を含む群から選択される、
請求項3記載の方法。 - 前記試料配置部(40)を少なくとも1つの方向に変位させるために、前記顕微鏡(1)のx-y顕微鏡ステージ(3)が、x方向および/またはy方向に動かされる、
請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。 - 前記試料配置部(40)上において特定された前記位置(P1~P8)が、前記顕微鏡ステージ(3)の所定のx-y座標に対応付けられる、
請求項5記載の方法。 - 前記試料配置部(40)上において特定された前記位置(P1~P8)に基づいて、試料検査のための試料領域が指定される、
請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。 - 前記試料領域を指定するために特定されるべき位置(P1~P8)の数は、試料配置部(40)が既知である場合には、既知である前記試料配置部(40)の事前に保存された寸法を考慮することによって低減される、
請求項7記載の方法。 - 前記試料配置部(40)の変位中に前記顕微鏡(1)の光学評価装置(5,6)により、輝度信号および/またはコントラスト信号が生成されて、評価される、
請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。 - 前記試料配置部(40)の変位中に前記顕微鏡(1)の電子的な画像生成装置(5)により、顕微鏡画像が記録され、前記顕微鏡(1)の画像評価装置(6)により、前記顕微鏡画像が輝度および/またはコントラストの変化に関して評価される、
請求項9記載の方法。 - 前記試料領域を指定するために、前記輝度信号および/または前記コントラスト信号の評価が使用される、
請求項7を引用する、請求項9または10記載の方法。 - 前記試料配置部(40)上に位置する試料の寸法が、前記輝度信号および/または前記コントラスト信号の評価によって特定される、
請求項9から11までのいずれか1項記載の方法。 - 前記少なくとも1つの方向への前記試料配置部(40)の変位の経過において生成された、前記検出器(28)の出力信号から、前記試料配置部のプロファイルまたはプロファイルマップが生成される、
請求項1から12までのいずれか1項記載の方法。 - 三角測量式オートフォーカス装置(2)が使用され、
前記測定ビーム装置(19,20)は、前記オートフォーカス装置(2)のオートフォーカス光源(19)を含み、
前記オートフォーカス光源(19)によって生成されるオートフォーカス測定ビームが、前記測定ビーム(30)として使用され、前記検出器(28)として、前記オートフォーカス装置(2)のオートフォーカス検出器が使用される、
請求項1から13までのいずれか1項記載の方法。 - 試料領域を検査するために、前記複数の位置(P1~P8)が特定された後、試料配置部(40)と顕微鏡対物レンズ(10)との間の焦点距離が、前記オートフォーカス装置(2)の前記検出器(28)の出力信号を評価することによって設定および/または保持される、
請求項14記載の方法。 - 顕微鏡(1)であって、前記顕微鏡(1)は、
光軸(8)を定義する顕微鏡対物レンズ(10)と、
試料配置部(40)に向けられる測定ビーム(30)を生成するための測定ビーム装置(19,20)と、
前記試料配置部(40)によって反射された測定ビーム(32,32’)を検出するための、出力信号を生成する検出器(28)と、
前記光軸(8)に対して垂直な少なくとも1つの方向に前記試料配置部(40)を変位させるための変位装置(3)と、
前記試料配置部(40)上の複数の位置(P1~P8)を自動的に特定するための特定装置(4)と、
を有し、
前記特定装置(4)は、前記試料配置部上の複数の位置(P1~P8)が、前記変位に依存して、前記少なくとも1つの方向への前記試料配置部の変位中に生成された、前記検出器(28)の出力信号を用いて特定されるように構成されている、
顕微鏡(1)。 - 前記試料配置部(40)は、以下の要素(41,42,43)、すなわち試料支持体のための保持装置(41)、試料支持体(42)、カバーガラス(43)、試料のうちの1つまたは複数を含む、
請求項16記載の顕微鏡(1)。 - 前記顕微鏡(1)は、三角測量式オートフォーカス装置(2)を有し、
前記測定ビーム装置(19,20)は、前記オートフォーカス装置(2)のオートフォーカス光源(19)を含み、
前記オートフォーカス光源(19)によって生成されるオートフォーカス測定ビームが、前記測定ビーム(30)を形成し、前記検出器(28)は、前記オートフォーカス装置(2)のオートフォーカス検出器を含む、
請求項16または17記載の顕微鏡(1)。 - 前記変位装置(3)は、x-y顕微鏡ステージとして構成されている、
請求項16から18までのいずれか1項記載の顕微鏡(1)。 - 前記特定装置(4)は、前記試料配置部(40)上において特定された前記位置(P1~P8)に、前記顕微鏡ステージ(3)の所定のx-y座標が対応付けられるように構成されている、
請求項19記載の顕微鏡(1)。 - 前記顕微鏡(1)は、既知の試料配置部(40)の寸法を保存するためのメモリを含む、
請求項16から20までのいずれか1項記載の顕微鏡(1)。 - 前記特定装置(4)は、特定された前記位置(P1~P8)に基づいて、試料検査のための試料領域が指定されるように構成されている、
請求項16から21までのいずれか1項記載の顕微鏡(1)。 - 前記顕微鏡は、前記試料配置部(40)の変位中に輝度信号および/またはコントラスト信号を生成および評価するように構成された光学評価装置(5,6)を有する、
請求項16から22までのいずれか1項記載の顕微鏡(1)。 - 前記光学評価装置は、
前記試料配置部(40)の変位中に顕微鏡画像を生成するための、前記顕微鏡(1)の電子的な画像生成装置(5)と、
生成された画像の輝度および/またはコントラストの変化を評価するための画像評価装置(6)と、
を含む、
請求項23記載の顕微鏡(1)。 - 前記特定装置(4)は、前記試料領域を指定するために、
前記輝度信号および/または前記コントラスト信号の評価が使用されるように、かつ/または、
前記試料配置部(40)上に位置する試料の寸法が、前記輝度信号および/または前記コントラスト信号の評価によって特定されるように、
構成されている、
請求項22を引用する、請求項23または24記載の顕微鏡(1)。 - 請求項16から25までのいずれか1項記載の顕微鏡(1)に対応付けられた計算ユニット上で実行されたときに、請求項1から15までのいずれか1項記載の方法が実行されるプログラムコードを有する、
コンピュータプログラム。 - 請求項16から25までのいずれか1項記載の顕微鏡(1)に対応付けられた計算ユニット上で実行されたときに、請求項1から15までのいずれか1項記載の方法が実行されるプログラムコードを有するコンピュータプログラムが保存されている、
コンピュータプログラム製品。
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