JP2022178308A - プリント配線板 - Google Patents
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Abstract
【課題】十点平均粗さ(Rz)、算術平均粗さ(Ra)、二乗平均平方根高さ(Rq)などの従来の表面粗さを表す数値が、配線の実際の伝送損失と比例しない場合があると考えられる。伝送損失の小さいプリント配線板を実現可能な技術を提供する。【解決手段】実施形態のプリント配線板は、複数の樹脂絶縁層と、前記複数の樹脂絶縁層と交互に積層される複数の導体層、とを有する。前記複数の導体層は導体回路を含む。前記導体回路の断面の外周の長さ100μm当たりにおける、深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部の数が10個以下である。【選択図】図2
Description
本明細書によって開示される技術は、プリント配線板に関する。
特許文献1は、伝送線路を埋設した第1の誘電体層の両面に導体層を積層して形成されるストリップラインと、ストリップラインの両面に積層された第2の誘電体層、とを有する多層基板を開示する。伝送線路及び導体層は、十点平均粗さ(Rz)2μm以下の金属箔からなる。特許文献1では、十点平均粗さ(Rz)2μm以下の金属箔で伝送線路及び導体層が形成されることで、高周波信号が伝送される際の伝送損失の低減が図られている。
[特許文献1の課題]
十点平均粗さ(Rz)、算術平均粗さ(Ra)、二乗平均平方根高さ(Rq)などの従来の表面粗さを表す数値が、配線の実際の伝送損失と比例しない場合があると考えられる。
十点平均粗さ(Rz)、算術平均粗さ(Ra)、二乗平均平方根高さ(Rq)などの従来の表面粗さを表す数値が、配線の実際の伝送損失と比例しない場合があると考えられる。
本発明のプリント配線板は、複数の樹脂絶縁層と、前記複数の樹脂絶縁層と交互に積層される複数の導体層、とを有する。前記複数の導体層は導体回路を含む。前記導体回路の断面の外周の長さ100μm当たりにおける、深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部の数が10個以下である。
本願発明者による鋭意研究の結果、導体回路の表面に形成される凹部のうち、深さ2.0μm以上と比較的深く、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部は、導体回路の伝送損失を増加させる可能性が高いことが判明している。本発明の実施形態のプリント配線板によると、導体回路の断面の外周の長さ100μm当たりにおける、深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部の数が10個以下である。従って、本発明によると、深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部が比較的少ないため、伝送損失の小さい導体回路を備えるプリント配線板が提供される。
[実施形態]
実施形態のプリント配線板1は、複数の樹脂絶縁層と複数の導体層が交互に積層されて形成されている。図1は、実施形態のプリント配線板1の一部を示す断面図である。図1に示されるように、プリント配線板1は、第2導体層50と、第1樹脂絶縁層30と、第1導体層10と、第2樹脂絶縁層40と、第3導体層60とを有している。第2導体層50、第1樹脂絶縁層30、第1導体層10、第2樹脂絶縁層40、第3導体層60は、この順で積層されており、ストリップライン構造を形成している。第2導体層50、第1樹脂絶縁層30、第1導体層10、第2樹脂絶縁層40、第3導体層60は、コア基板上に形成されるビルドアップ層の一部を構成することができる。プリント配線板1は、第2導体層50、第1樹脂絶縁層30、第1導体層10、第2樹脂絶縁層40、第3導体層60以外の樹脂絶縁層と導体層を有していてもよい。
実施形態のプリント配線板1は、複数の樹脂絶縁層と複数の導体層が交互に積層されて形成されている。図1は、実施形態のプリント配線板1の一部を示す断面図である。図1に示されるように、プリント配線板1は、第2導体層50と、第1樹脂絶縁層30と、第1導体層10と、第2樹脂絶縁層40と、第3導体層60とを有している。第2導体層50、第1樹脂絶縁層30、第1導体層10、第2樹脂絶縁層40、第3導体層60は、この順で積層されており、ストリップライン構造を形成している。第2導体層50、第1樹脂絶縁層30、第1導体層10、第2樹脂絶縁層40、第3導体層60は、コア基板上に形成されるビルドアップ層の一部を構成することができる。プリント配線板1は、第2導体層50、第1樹脂絶縁層30、第1導体層10、第2樹脂絶縁層40、第3導体層60以外の樹脂絶縁層と導体層を有していてもよい。
第2導体層50は銅によって形成される。第2導体層50は、シード層52とシード層52上の電解めっき膜54で形成されている。第2導体層50は全面がベタ層、あるいは一部がベタ層である。第2導体層50は、電源線あるいはグランド線である。
第1樹脂絶縁層30は、第2導体層50上に形成されている。第1樹脂絶縁層30は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。第1樹脂絶縁層30はシリカ等の無機粒子を含んでもよい。第1樹脂絶縁層30は、ガラスクロス等の補強材を含んでもよい。第1樹脂絶縁層30の誘電正接(Df)は0.02以下である。
第1導体層10は、第1樹脂絶縁層30上に形成されている。第1導体層10は銅によって形成される。第1導体層10は、配線12、14と、ベタ層16、18とを有する。配線12、14は、信号線である。ベタ層16、18は、電源線あるいはグランド線である。配線12、14とベタ層16、18は、シード層22とシード層22上の電解めっき膜24で形成されている。なお、上記の第1樹脂絶縁層30がガラスクロス等の補強材を含んでいる場合、第1樹脂絶縁層30とシード層22の間に銅箔が設けられていてもよい。
第2樹脂絶縁層40は、第1樹脂絶縁層30と第1導体層10上に形成されている。第2樹脂絶縁層40は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。第2樹脂絶縁層40はシリカ等の無機粒子を含んでもよい。第2樹脂絶縁層40は、ガラスクロス等の補強材を含んでもよい。第2樹脂絶縁層40の誘電正接(Df)は0.02以下である。実施形態のプリント配線板1では、第1樹脂絶縁層30の誘電正接(Df)と第2樹脂絶縁層40の誘電正接(Df)はともに0.02以下である。そのため配線12、14の伝送損失が小さくなる。
第3導体層60は、第2樹脂絶縁層40上に形成されている。第3導体層60は銅によって形成される。第3導体層60は、シード層62とシード層62上の電解めっき膜64で形成されている。第3導体層60は全面がベタ層、あるいは一部がベタ層である。第3導体層60は、電源線あるいはグランド線である。なお、上記の第2樹脂絶縁層40がガラスクロス等の補強材を含んでいる場合、第2樹脂絶縁層40とシード層62の間に銅箔が設けられていてもよい。
上記の通り、実施形態では、第1樹脂絶縁層30と第2樹脂絶縁層40の中に埋設された配線12、14を第2導体層50と第3導体層60とで挟んだストリップライン構造が形成されている。
[配線12、14の表面]
以下、図2~図4に基づいて配線12の表面についての説明がなされる。図2~図4では配線12を例として説明されるが、配線14についても同様の説明が当てはまる。図2は、配線12を示す拡大断面図である。図2は、第1樹脂絶縁層30と垂直な面で配線12を切断することで得られる。図2の配線12の断面の外周の長さは全周で約50μmである。図2に示されるように、配線12の断面の外周には多数の凹部(溝)が形成されている。多数の凹部の形状および深さは不揃いである。
以下、図2~図4に基づいて配線12の表面についての説明がなされる。図2~図4では配線12を例として説明されるが、配線14についても同様の説明が当てはまる。図2は、配線12を示す拡大断面図である。図2は、第1樹脂絶縁層30と垂直な面で配線12を切断することで得られる。図2の配線12の断面の外周の長さは全周で約50μmである。図2に示されるように、配線12の断面の外周には多数の凹部(溝)が形成されている。多数の凹部の形状および深さは不揃いである。
図3は、図2の配線12の断面の上辺の一部(図2中III部分)の拡大断面図である。III部分に含まれる外周の長さは約15μmである。図3に示されるように、III部分には複数の凹部G1~G13が形成されている凹部G1~G13のうち、深さ2.0μm以上の比較的深い凹部で、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部は、凹部G9、G10、G11の3個である。実施形態では、配線12の表面に形成されている深さ2.0μm以上の比較的深い凹部で、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部の数は少ない。深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部のことを「クレバス状凹部」と呼ぶ場合がある。なお、図3のうち、凹部G3は開口部の径よりも底部の径が大きいが、深さが2.0μm未満であるため、クレバス状凹部ではない。凹部G12は、深さが2.0μmであるが、開口部の径が底部の径よりも大きいため、クレバス状凹部ではない。図2の配線12の断面の外周の長さは全周で約50μmであるが、上述のクレバス状凹部(深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部)の数は全周で5個以下である。すなわち、実施形態では、配線12の断面(図2参照)の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数は10個以下である。
図4は、実施形態における「凹部の深さ」を説明するための断面図である。凹部の深さは、配線12の断面の画像を分析することによって測定される。図4では(a)(b)の二つの例が示される。例(a)は凹部G21を示す。凹部G21は、開口部A21の径よりも底部B21の径の方が大きい形状を有する。凹部G21の深さD21は、開口部A21から底部B21までの直線距離である。例(b)は凹部G22を示す。凹部G22は、内部が側方に屈曲した形状を有する。凹部G22の深さD22は、開口部A22から底部B22までの直線距離である。このように、凹部の深さは、凹部の形状にかかわらず開口部から底部までの直線距離である。実際には、凹部の深さは配線12の断面の画像を分析することによって測定される。
本願発明者による鋭意研究の結果、配線12の表面に形成される凹部のうち、深さ2.0μm以上の比較的深い凹部で、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部(クレバス状凹部)は、一般的な粗さ測定装置で正確な粗度を測定することが難しい上、配線12の伝送損失を増加させる可能性が高いことが判明している。そのため、クレバス状凹部の数が多いと配線12の伝送損失は増加する。実施形態のように、配線12の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である場合、配線12の伝送損失は比較的小さい。従って、実施形態によると、伝送損失の小さい配線12、14を備えるプリント配線板1が提供される。本実施形態の配線12、14が「導体回路」の一例である。
配線12、14の形成過程において、配線12、14の表面は、配線12、14の表面は、粗面形成のためのエッチング(例えばCZ粗化処理)が行われることによって粗化される。この粗面形成のためのエッチング(CZ粗化処理)は、シード層除去のためのクイックエッチング処理の後で行われる処理である。以下、この粗面形成のためのエッチングのことを単に「エッチング」と呼ぶ場合がある。エッチングによって配線12、14の表面が粗化されることにより、第1樹脂絶縁層30との密着性が高まる。配線12、14の表面がエッチングされる場合のエッチング量は、例えば、配線表面から深さ方向に1.0μmである。他の例では、エッチング量は配線表面から深さ方向に0.5μmであってもよい。一方、配線12、14の表面はエッチングされなくてもよい(粗化されなくてもよい)。ここで、「エッチング量」とは、上記の粗面形成のためのエッチング(CZ粗化処理)によって配線表面を深さ方向にエッチングした深さ量である。
実施形態では、配線12、14の表面の二乗平均平方根高さ(Rq)は1.00μm以下である。配線12、14の表面の十点平均粗さ(Rz)は2.00μm以下である。上記の各数値(Rq、Rz)は、3D顕微鏡(例えば形状解析レーザ顕微鏡「VK-X1000」)によって測定された実測値に基づいて算出される。
実施形態のプリント配線板1のうち、第2導体層50の表面、ベタ層16、18の表面、第3導体層60の表面は、断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個より多くてもよい。第2導体層50の表面、ベタ層16、18の表面、第3導体層60の表面に多くのクレバス状凹部が形成されていれば、高いアンカー効果が実現される。また、第2導体層50、ベタ層16、18、第3導体層60は、いずれも電源線あるいはグランド線であるため、伝送損失は問題とならない。
[実施形態のプリント配線板1の製造方法]
図5A~図5Gは実施形態のプリント配線板1の製造方法を示す。図5Aは、シード層52とシード層52上の電解めっき膜54で形成されている第2導体層50を示す。第2導体層50の上面はエッチングによって粗化される。図5Bに示されるように、第2導体層50上に第1樹脂絶縁層30が形成される。第1樹脂絶縁層30の上面は過マンガン酸塩処理によって粗化される。図5Cに示されるように、第1樹脂絶縁層30上にシード層22が形成される。図5Dに示されるように、シード層22上にめっきレジスト80が形成される。めっきレジスト80は、配線12、14とベタ層16、18(図1)を形成するための開口を有する。
図5A~図5Gは実施形態のプリント配線板1の製造方法を示す。図5Aは、シード層52とシード層52上の電解めっき膜54で形成されている第2導体層50を示す。第2導体層50の上面はエッチングによって粗化される。図5Bに示されるように、第2導体層50上に第1樹脂絶縁層30が形成される。第1樹脂絶縁層30の上面は過マンガン酸塩処理によって粗化される。図5Cに示されるように、第1樹脂絶縁層30上にシード層22が形成される。図5Dに示されるように、シード層22上にめっきレジスト80が形成される。めっきレジスト80は、配線12、14とベタ層16、18(図1)を形成するための開口を有する。
図5Eに示されるように、めっきレジスト80から露出するシード層22上に電解めっき膜24が形成される。電解めっき膜24は、開口を充填する。シード層22とシード層22上に形成される電解めっき膜24によって、配線12、14とベタ層16、18が形成される。この結果、第1導体層10が形成される。
図5Fに示されるように、めっきレジスト80が除去される。図5Gに示されるように、電解めっき膜24から露出するシード層22がクイックエッチング処理によって除去される。
その後、配線12、14がマスクされた状態でベタ層16、18の表面がエッチング(CZ粗化処理)によって粗化される。マスクが除去された後の配線12、14の表面が1.0μmエッチングされる。配線12、14の表面が0.5μmエッチングされてもよい。配線12、14の表面がエッチングされなくてもよい。配線12、14の断面の外周の長さ100μm当たりにおける深さ0.2μm以上で、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部(クレバス状凹部)の数が10個以下であるように配線12、14の表面が処理されればよい。
その後、第1樹脂絶縁層30と第1導体層10上に第2樹脂絶縁層40が形成される。第1樹脂絶縁層30の上面は過マンガン酸塩処理によって粗化される。第2樹脂絶縁層40上に、シード層62とシード層62上の電解めっき膜64による第3導体層60が形成される。ストリップライン構造が形成される。その結果、実施形態のプリント配線板1(図1)が得られる。
[実施形態の第1改変例]
第1改変例のプリント配線板1について、実施形態と異なる点の例が以下に示される。第1改変例では、さらにベタ層16、18の断面の外周の長さ100μm当たりにおける深さ0.2μm以上で、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部(クレバス状凹部)の数が10個以下である。すなわち、第1改変例では、第1導体層10の配線12、14とベタ層16、18の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。第1改変例において、配線12、14とベタ層16、18が「導体回路」の一例である。
第1改変例のプリント配線板1について、実施形態と異なる点の例が以下に示される。第1改変例では、さらにベタ層16、18の断面の外周の長さ100μm当たりにおける深さ0.2μm以上で、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部(クレバス状凹部)の数が10個以下である。すなわち、第1改変例では、第1導体層10の配線12、14とベタ層16、18の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。第1改変例において、配線12、14とベタ層16、18が「導体回路」の一例である。
[実施形態の第2改変例]
第2改変例では、第2導体層50と第3導体層60のうちの少なくとも一方の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。すなわち、第2改変例では、第1導体層10の配線12、14と第2導体層50と第3導体層60のうちの少なくとも一方の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。第2改変例において、配線12、14と第2導体層50と第3導体層60のうちの少なくとも一方が「導体回路」の一例である。
第2改変例では、第2導体層50と第3導体層60のうちの少なくとも一方の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。すなわち、第2改変例では、第1導体層10の配線12、14と第2導体層50と第3導体層60のうちの少なくとも一方の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。第2改変例において、配線12、14と第2導体層50と第3導体層60のうちの少なくとも一方が「導体回路」の一例である。
[実施形態の第3改変例]
第3改変例では、第1導体層10の配線12、14とベタ層16、18、第2導体層50、第3導体層60のすべての断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。第3改変例において、配線12、14とベタ層16、18と第2導体層50と第3導体層60が「導体回路」の一例である。
第3改変例では、第1導体層10の配線12、14とベタ層16、18、第2導体層50、第3導体層60のすべての断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下である。第3改変例において、配線12、14とベタ層16、18と第2導体層50と第3導体層60が「導体回路」の一例である。
[実施形態の第4改変例]
第4改変例では、プリント配線板1はストリップライン構造を有していない。第4改変例のプリント配線板1は、複数の樹脂絶縁層と、複数の樹脂絶縁層と交互に積層される複数の導体層を有し、かつ、複数の導体層に含まれる導体回路の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下であれば、任意の構造を有していてもよい。
第4改変例では、プリント配線板1はストリップライン構造を有していない。第4改変例のプリント配線板1は、複数の樹脂絶縁層と、複数の樹脂絶縁層と交互に積層される複数の導体層を有し、かつ、複数の導体層に含まれる導体回路の断面の外周の長さ100μm当たりにおけるクレバス状凹部の数が10個以下であれば、任意の構造を有していてもよい。
[実施形態の第5改変例]
第5改変例では、配線12、14の表面の二乗平均平方根高さ(Rq)は1.0μmより大きい。配線12、14の表面の十点平均粗さ(Rz)は2.0μmより大きい。
第5改変例では、配線12、14の表面の二乗平均平方根高さ(Rq)は1.0μmより大きい。配線12、14の表面の十点平均粗さ(Rz)は2.0μmより大きい。
[実施形態の第6改変例]
第6改変例では、第1樹脂絶縁層30と第2樹脂絶縁層40の誘電正接(Df)は0.02より大きい。
第6改変例では、第1樹脂絶縁層30と第2樹脂絶縁層40の誘電正接(Df)は0.02より大きい。
1:プリント配線板
10:第1導体層
12、14:配線
16、18:ベタ層
30:第1樹脂絶縁層
40:第2樹脂絶縁層
50:第2導体層
60:第3導体層
80:めっきレジスト
10:第1導体層
12、14:配線
16、18:ベタ層
30:第1樹脂絶縁層
40:第2樹脂絶縁層
50:第2導体層
60:第3導体層
80:めっきレジスト
Claims (12)
- 複数の樹脂絶縁層と、前記複数の樹脂絶縁層と交互に積層される複数の導体層、とを有するプリント配線板であって、
前記複数の導体層は導体回路を含み、
前記導体回路の断面の外周の長さ100μm当たりにおける、深さ2.0μm以上、かつ、開口部の径よりも底部の径が大きい凹部の数が10個以下である。 - 請求項1のプリント配線板であって、前記凹部の前記深さは前記開口部から前記底部までの直線距離である。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記複数の導体層のうちの一の導体層は信号線と電源線あるいはグランド線とを有し、前記導体回路は少なくとも前記信号線を含む。
- 請求項3のプリント配線板であって、前記導体回路はさらに前記電源線あるいはグランド線を含む。
- 請求項3のプリント配線板であって、前記信号線のみが前記導体回路である。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記複数の導体層は、信号線を有する第1導体層と、電源線あるいはグランド線を有する第2導体層とを含み、前記導体回路は少なくとも前記信号線を含む。
- 請求項6のプリント配線板であって、前記導体回路はさらに前記電源線あるいはグランド線を含む。
- 請求項6のプリント配線板であって、前記信号線のみが前記導体回路である。
- 請求項6のプリント配線板であって、前記複数の導体層はさらに電源線あるいはグランド線を有する第3導体層を含み、前記複数の樹脂絶縁層は第1樹脂絶縁層と第2樹脂絶縁層を含み、前記第2導体層と前記第1樹脂絶縁層と前記第1導体層と前記第2樹脂絶縁層と前記第3導体層はストリップライン構造を形成しており、前記第2導体層、前記第1樹脂絶縁層、前記第1導体層、前記第2樹脂絶縁層、前記第3導体層の順で積層されている。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記導体回路の表面の二乗平均平方根高さ(Rq)は、1.0μm以下である。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記導体回路の表面の十点平均粗さ(Rz)は、2.0μm以下である。
- 請求項1のプリント配線板であって、前記複数の樹脂絶縁層の誘電正接は0.02以下である。
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