JP2022169945A - クリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材 - Google Patents

クリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材 Download PDF

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Abstract

【課題】基板処理装置内に搬送する搬送部材に好適に用い得る、クリーニング層を備えるクリーニングシートであって、該クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーを効果的に抑制できる、クリーニングシートを提供する。また、そのようなクリーニングシートと搬送部材を有する、クリーニング機能付搬送部材を提供する。【解決手段】本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層を備える、クリーニングシートであって、該クリーニング層の表面に対する法線方向から見て、該表面の端部から中心に向かう方向を中心方向とし、該表面において該端部から中心方向に向かって１０ｍｍの幅が占める領域を端部領域とし、該端部領域内における該クリーニング層の法線方向の最大厚みＬと、該クリーニング層の該端部領域以外の領域における該クリーニング層の法線方向の平均厚みＴとが、Ｌ－Ｔ≦５μｍの関係を有する。【選択図】図６

Description

本発明は、クリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材に関する。
半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う各種の基板処理装置では、搬送装置（代表的には、チャックテーブルなど）と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、搬送装置に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎと汚染するため、定期的に装置を停止し、洗浄処理する必要があった。その結果、処理装置の稼動率が低下するという問題や装置の洗浄処理のために多大な労力が必要となるという問題があった。
このような問題を克服するため、板状部材を基板処理装置内に搬送することにより搬送装置に付着している異物を除去する方法（特許文献１参照）が提案されている。この方法によれば、基板処理装置を停止させて洗浄処理を行う必要がないので、処理装置の稼動率が低下するという問題は解消される。しかし、この方法によっては、搬送装置に付着している異物を十分に除去することができていない。
一方、粘着性物質を固着した基板をクリーニング部材として基板処理装置内に搬送することにより、搬送装置に付着した異物を除去する方法（特許文献２参照）が提案されている。この方法は、特許文献１に記載の方法に比べて、異物の除去性に優れる。
しかし、特許文献２に記載の方法においては、粘着性物質と搬送装置との接触部分が強く接着しすぎて離れなくなる問題が生じ得る。その結果、粘着性物質を固着した基板を確実に搬送できないという問題や、搬送装置を破損させるという問題、また、搬送装置を汚染してしまうという問題が生じ得る。一方、粘着性物質と搬送装置との密着力が小さくなりすぎると、クリーニング部材の異物の除去性が低下してしまい、十分なクリーニング効果が得られないという問題が生じ得る。
上記のような各種問題などを解決する手段として、本出願人は、ポリマー成分をクリーニング部材としてのクリーニング層の材料として採用した、基板処理装置内に搬送する搬送部材に好適に用い得る、クリーニング層を備えるクリーニングシートを報告している（特許文献３、４）。
ポリマー成分をクリーニング層の材料として採用する場合、代表的には、クリーニング層の材料となるポリマー成分を含むワニスを、任意の適切な基板の表面（例えば、シリコンウェハのミラー面）上にスピンコートにより塗工し、必要に応じて加熱や乾燥などを行い、基板上にクリーニング層を形成する。
ところが、上記のようにして得られたクリーニング層を備えるクリーニングシートやクリーニング機能付搬送部材を用いて搬送装置（代表的には、チャックテーブルなど）のクリーニングを行う場合、搬送装置の吸着ステージ上にクリーニングシートやクリーニング機能付搬送部材を、該クリーニング層側が吸着ステージ側に向くように載置して真空吸着を行うことが一般的であるが、この真空吸着において吸着エラーが発生することがある。
特開平１１－８７４５８号公報 特開平１０－１５４６８６号公報 特開２００７－３０７５２１号公報 特開２０１０－２５９９７０号公報
本発明の課題は、基板処理装置内に搬送する搬送部材に好適に用い得る、クリーニング層を備えるクリーニングシートであって、該クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーを効果的に抑制できる、クリーニングシートを提供することにある。また、そのようなクリーニングシートと搬送部材を有する、クリーニング機能付搬送部材を提供することにある。
本出願人は、上記の吸着エラーの原因について検討を行った。そして、搬送装置の吸着ステージ上にクリーニングシートやクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側を真空吸着させる手段として、該吸着ステージ上に設けられているシールバンド等の接触シール部材と該クリーニング層との間のシール性に着目して詳細な検討を行った。その結果、吸着ステージ上に真空吸着させるクリーニングシートやクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層の周縁部に盛り上がり部分（クラウン）が形成されており、このクラウンが所定の大きさ以上の盛り上がりを有する場合に、吸着エラーが起こっていることが判明した。そこで、このクラウンの大きさを適切に調整することによって上記の吸着エラーを抑制する方法について検討を重ね、本発明を完成するに至った。
本発明の実施形態によるクリーニングシートは、
クリーニング層を備える、クリーニングシートであって、
該クリーニング層の表面に対する法線方向から見て、該表面の端部から中心に向かう方向を中心方向とし、
該表面において該端部から中心方向に向かって１０ｍｍの幅が占める領域を端部領域とし、
該端部領域内における該クリーニング層の法線方向の最大厚みＬと、該クリーニング層の該端部領域以外の領域における該クリーニング層の法線方向の平均厚みＴとが、Ｌ－Ｔ≦５μｍの関係を有する。
一つの実施形態においては、上記クリーニング層中の上記平均厚みＴよりも１μｍ以上大きい厚みを有する部分の上記中心方向の幅ｄが４０００μｍ以下である。
一つの実施形態においては、上記クリーニング層が、ポリイミド系樹脂およびポリベンゾオキサゾール系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む。
一つの実施形態においては、上記クリーニング層の厚みが１μｍ～１００μｍである。
一つの実施形態においては、上記クリーニングシートは、粘着剤層を含む。
一つの実施形態においては、上記クリーニングシートは、支持体を含む。
本発明の実施形態によるクリーニング機能付搬送部材は、上記クリーニングシートと搬送部材を有する。
本発明によれば、基板処理装置内に搬送する搬送部材に好適に用い得る、クリーニング層を備えるクリーニングシートであって、該クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーを効果的に抑制できる、クリーニングシートを提供することができる。また、そのようなクリーニングシートと搬送部材を有する、クリーニング機能付搬送部材を提供することができる。
本発明のクリーニングシートの一つの実施形態を示す概略断面図である。 本発明のクリーニングシートの別の一つの実施形態を示す概略断面図である。 本発明のクリーニングシートの別の一つの実施形態を示す概略断面図である。 本発明のクリーニングシートの別の一つの実施形態を示す概略断面図である。 本発明の実施形態によるクリーニングシートにおける、法線方向、中心方向、端部領域を説明する、概略説明図である。 本発明の実施形態によるクリーニングシートにおける、端部領域内におけるクリーニング層の法線方向の最大厚みＬと、クリーニング層の端部領域以外の領域におけるクリーニング層の法線方向の平均厚みＴとの差（Ｌ－Ｔ）を説明する、概略断面図である。 本発明の実施形態によるクリーニングシートにおける、クリーニング層中の平均厚みＴよりも１μｍ以上大きい厚みを有する部分の中心方向の幅を説明する、概略断面図である。 本発明のクリーニング機能付搬送部材の一つの実施形態を示す概略断面図である。
≪≪１．クリーニングシート≫≫
本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層を備える。本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層のみから構成されていてもよいし、他の層を有していてもよい。
図１は、本発明の実施形態によるクリーニングシートの一つの実施形態を示す概略断面図である。図１において、クリーニングシート１００は、クリーニング層１０と、保護フィルム２０とを有する。保護フィルム２０は、クリーニング層１０の保護等を目的として備えられ得るものであり、目的に応じて省略されてもよい。すなわち、本発明のクリーニングシートは、クリーニング層１０のみから構成されていてもよい。
図２は、本発明の実施形態によるクリーニングシートの別の一つの実施形態を示す概略断面図である。図２において、クリーニングシート１００は、保護フィルム２０と、クリーニング層１０と、粘着剤層３０とを有する。保護フィルム２０は、クリーニング層１０の保護等を目的として備えられ得るものであり、目的に応じて省略されてもよい。
図３は、本発明の実施形態によるクリーニングシートの別の一つの実施形態を示す概略断面図である。図３において、クリーニングシート１００は、保護フィルム２０と、クリーニング層１０と、支持体４０とを有する。保護フィルム２０は、クリーニング層１０の保護等を目的として備えられ得るものであり、目的に応じて省略されてもよい。
図４は、本発明の実施形態によるクリーニングシートの別の一つの実施形態を示す概略断面図である。図４において、クリーニングシート１００は、保護フィルム２０と、クリーニング層１０と、支持体４０と、粘着剤層３０とを有する。保護フィルム２０は、クリーニング層１０の保護等を目的として備えられ得るものであり、目的に応じて省略されてもよい。
本発明の実施形態によるクリーニングシートの厚みは、その構成（特に、支持体や粘着剤層を有するか否か、それらの厚みがどの程度かなど）によって、任意の適切な厚みが採用され得る。
本発明の実施形態によるクリーニングシートにおいては、図５に示すように、クリーニング層１０の表面１０ａに対する法線方向Ａから見て、該表面１０ａの端部１１から中心１２に向かう方向を中心方向Ｂと定義する。
本発明の実施形態によるクリーニングシートにおいては、図５に示すように、クリーニング層１０の表面１０ａにおいて端部１１から中心方向Ｂに向かって１０ｍｍの幅が占める領域を端部領域Ｃと定義する。
本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層の周縁部に形成される盛り上がり部分（クラウン）の大きさを適切に調整することにより、クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーを効果的に抑制し得る。本発明においては、このクラウンの大きさを適切に調整するための指標の一つとして、クリーニング層１０の中心１２を通る概略断面図である図６に示すように、端部領域Ｃ内におけるクリーニング層１０の法線方向Ａの最大厚みＬと、クリーニング層１０の端部領域Ｃ以外の領域におけるクリーニング層１０の法線方向Ａの平均厚みＴとの差（Ｌ－Ｔ）を採用したところ、この差を適切に設定した場合に、クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーを効果的に抑制し得ることが判明した。
すなわち、本発明の実施形態によるクリーニングシートは、端部領域Ｃ内におけるクリーニング層１０の法線方向Ａの最大厚みＬと、クリーニング層１０の端部領域Ｃ以外の領域におけるクリーニング層１０の法線方向Ａの平均厚みＴとが、Ｌ－Ｔ≦５μｍの関係を有し、好ましくはＬ－Ｔ≦４．５μｍであり、より好ましくはＬ－Ｔ≦４．０μｍであり、さらに好ましくはＬ－Ｔ≦３．５μｍであり、特に好ましくはＬ－Ｔ≦３．０μｍであり、最も好ましくはＬ－Ｔ≦２．５μｍである。上記Ｌ－Ｔが上記範囲内にあれば、クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーを効果的に抑制し得る。上記Ｌ－Ｔが上記範囲を外れて大きくなると、例えば、搬送装置の吸着ステージにクリーニング層を真空吸着させる際に、該吸着ステージ上に設けられているシールバンド等の接触シール部材と該クリーニング層との間にわずかではあるが空隙が生じてしまうと推察され、この空隙が原因となって、真空状態を保つためのシール性が損なわれてしまい、吸着エラーが生じるおそれがある。
本発明の実施形態によるクリーニングシートは、本発明の効果をより発現させ得る点で、図７に示すように、クリーニング層１０中の平均厚みＴよりも１μｍ以上大きい厚みを有する部分の中心方向Ｂの幅ｄが、好ましくは４０００μｍ以下である。クリーニング層中の平均厚みＴよりも１μｍ以上大きい厚みを有する部分の中心方向の幅ｄが上記範囲内にあれば、クリーニング層を吸着ステージ等に吸着させた際の吸着エラーをより効果的に抑制し得る。クリーニング層中の平均厚みＴよりも１μｍ以上大きい厚みを有する部分の中心方向の幅ｄが上記範囲内を外れて大きくなると、例えば、搬送装置の吸着ステージにクリーニング層を真空吸着させる際に、該吸着ステージ上に設けられているシールバンド等の接触シール部材と該クリーニング層との間にわずかではあるが空隙が生じてしまうと推察され、この空隙が原因となって、真空状態を保つためのシール性が損なわれてしまい、吸着エラーが生じるおそれがある。
≪１－１．クリーニング層≫
クリーニング層は、本発明の効果を発現させ得る点で、好ましくは、ポリイミド系樹脂およびポリベンゾオキサゾール系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む。
ポリイミド系樹脂としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、ソフトセグメントが導入されたポリイミド系樹脂が好ましい。ポリベンゾオキサゾール系樹脂としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、ソフトセグメントが導入されたポリベンゾオキサゾール系樹脂が好ましい。したがって、クリーニング層は、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、ソフトセグメントが導入されたポリイミド系樹脂およびソフトセグメントが導入されたポリベンゾオキサゾール系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む。ソフトセグメントとしては、ポリマーに柔軟性を付与し得るいわゆる「ソフトセグメント」と称されるものであれば、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なソフトセグメントを採用しうる。
クリーニング層中のポリイミド系樹脂およびポリベンゾオキサゾール系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種の含有割合は、本発明の効果を十分に発現させ得る点で、好ましくは５０重量％～１００重量％であり、より好ましくは７０重量％～１００重量％であり、さらに好ましくは９０重量％～１００重量％であり、特に好ましくは９５重量％～１００重量％であり、最も好ましくは９８重量％～１００重量％である。
ポリイミド系樹脂としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なポリイミド系樹脂を採用し得る。
ポリイミド系樹脂としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、ポリアミック酸をイミド化して得られるポリイミド系樹脂である。ポリアミック酸は、代表的には、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを実質的に等モル比で任意の適切な有機溶媒中で反応させて得ることができる。
テトラカルボン酸二無水物成分としては、例えば、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、４，４’－オキシジフタル酸二無水物、２，２－ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物（６ＦＤＡ）、ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ピロメリット酸二無水物、エチレングリコールビストリメリット酸二無水物が挙げられる。これらは、１種であってもよいし、２種以上であってもよい。
ジアミン成分としては、例えば、アミン構造を有する末端を少なくとも二つ有し、ポリエーテル構造を有するジアミン化合物（以下、ＰＥジアミン化合物と称することがある）、脂肪族ジアミン、芳香族ジアミンが挙げられる。これらの中でも、本発明の効果をより発現させ得る点で、ジアミン成分としては、ＰＥジアミン化合物が好ましい。
ＰＥジアミン化合物としては、ポリエーテル構造を有し、アミン構造を有する末端を少なくとも二つ有する化合物である限り、任意の適切な化合物を採用し得る。ＰＥジアミン化合物としては、例えば、ポリプロピレングリコール構造を有する末端ジアミン、ポリエチレングリコール構造を有する末端ジアミン、ポリテトラメチレングリコール構造を有する末端ジアミン、さらにこれら複数の構造を有する末端ジアミンが挙げられる。ＰＥジアミン化合物としては、より具体的には、例えば、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、ポリテトラメチレングリコール、ポリアミン、またはこれらの混合体から調製されるアミン構造を有する末端を少なくとも二つ有するＰＥジアミン化合物が挙げられる。これらのようなＰＥジアミン化合物は、ソフトセグメントとしてポリエーテル構造が導入されており、本発明の効果をより発現させ得る。すなわち、ＰＥジアミン化合物は、ソフトセグメントが導入されたポリイミド系樹脂である。
脂肪族ジアミンとしては、例えば、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、１，８－、１，１０－ジアミノデカン、１，１２－ジアミノドデカン、４，９－ジオキサ－１，１２－ジアミノドデカン、１，３－ビス（３－アミノプロピル）－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサン（α，ω－ビスアミノプロピルテトラメチルジシロキサン）が挙げられる。脂肪族ジアミンの分子量としては、好ましくは５０～１００００００であり、より好ましくは１００～３００００である。
芳香族ジアミンとしては、例えば、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，３’－ジアミノジフェニルエーテル、ｍ－フェニレンジアミン、ｐ－フェニレンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルプロパン、３，３’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’－ジアミノジフェニルスルフィド、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）－２，２－ジメチルプロパン、４，４’－ジアミノベンゾフェノンが挙げられる。
テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応に用いられる有機溶媒としては、例えば、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミドが挙げられる。原材料等の溶解性を調整するために、非極性溶媒（例えば、トルエンや、キシレン）を併用してもよい。
テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応温度は、好ましくは４０℃以上であり、より好ましくは５０℃～１５０℃である。
ポリアミック酸のイミド化は、代表的には、不活性雰囲気（代表的には、真空または窒素雰囲気）下で加熱処理することにより行われる。加熱処理温度は、好ましくは１５０℃以上であり、さらに好ましくは１８０℃～４５０℃である。
ポリベンゾオキサゾール系樹脂は、耐熱性および絶縁性を有する樹脂である。ポリベンゾオキサゾール系樹脂としては、本発明の効果を発現させ得る点で、ポリベンゾオキサゾールにソフトセグメントを導入した変成ポリベンゾオキサゾールが好ましい。すなわち、変成ポリベンゾオキサゾールは、ソフトセグメントが導入されたポリベンゾオキサゾール系樹脂である。
変成ポリベンゾオキサゾールが含むソフトセグメントは、ポリマーに柔軟性を付与し得るいわゆる「ソフトセグメント」と称されるものであれば、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なソフトセグメントを採用しうる。このようなソフトセグメントの中でも、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、－（Ｏ－Ｒ）ｎ－および－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－から選ばれる少なくとも１種で表される繰り返し骨格を有するソフトセグメントである。ソフトセグメント中に含まれ得る－（Ｏ－Ｒ）ｎ－は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。ソフトセグメント中に含まれ得る－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
－（Ｏ－Ｒ）ｎ－および－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－から選ばれる少なくとも１種で表される繰り返し骨格において、Ｒは炭素数２～１８のアルキレン基を表し、ｎは１～１００の数を表す。Ｒは、好ましくは炭素数２～１２のアルキレン基であり、より好ましくは炭素数３～１０のアルキレン基であり、さらに好ましくは炭素数３～６のアルキレン基であり、特に好ましくは炭素数３～４のアルキレン基である。ｎは、好ましくは５～９０の数であり、より好ましくは１０～７０の数であり、特に好ましくは１０～５０の数である。
変成ポリベンゾオキサゾールは、好ましくは、－（Ｏ－Ｒ）ｎ－および－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－から選ばれる少なくとも１種で表される繰り返し骨格を有する化合物（Ｓ）を用いて製造し得る。このような化合物（Ｓ）としては、好ましくは、両末端に、クロライド（－Ｃｌ）と反応する官能基を有する。このような官能基としては、例えば、アミノ基、置換アミノ基、水酸基などが挙げられる。
化合物（Ｓ）としては、例えば、Ｈ２Ｎ－Ｒ１－（Ｏ－Ｒ）ｎ－Ｒ２－ＮＨ２、Ｈ２Ｎ－Ｒ１－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－Ｒ２－ＮＨ２、ＨＯ－Ｒ１－（Ｏ－Ｒ）ｎ－Ｒ２－ＯＨ、Ｏ－Ｒ１－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－Ｒ２－ＯＨなどが挙げられる。ここで、Ｒ１、Ｒ２は、それぞれ独立に、単結合であってもよいし、炭素数１～１８（好ましくは炭素数２～１２、より好ましくは炭素数３～１０、さらに好ましくは炭素数３～６、特に好ましくは炭素数３～４）のアルキレン基である。なお、上述の通り、－（Ｏ－Ｒ）ｎ－は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよく、－（Ｏ－ＣＯＯ－Ｒ）ｎ－は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。すなわち、例えば、Ｈ２Ｎ－Ｒ１－（Ｏ－Ｒ）ｎ－Ｒ２－ＮＨ２を例に説明すると、－（Ｏ－Ｒ）ｎ－が、－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））ｘ－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ２）ｙ－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））ｚ－で表されるものであってもよい（ｘ、ｙ、ｚはそれぞれ独立に１～１００の数）。
化合物（Ｓ）の分子量は、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは３００～３５００であり、より好ましくは５００～３０００であり、さらに好ましくは６００～２５００であり、特に好ましくは８００～２２００である。
ソフトセグメントを有する変成ポリベンゾオキサゾールを製造するために用いるアミン成分の全量に対する、化合物（Ｓ）の配合割合（「ソフトセグメント比率」と称することがある）は、本発明の効果をより発現させ得る点で、モル割合として、好ましくは２モル％～４０モル％であり、より好ましくは３モル％～３５モル％であり、さらに好ましくは５モル％～３２モル％であり、特に好ましくは８モル％～３１モル％であり、最も好ましくは１０モル％～３０モル％である。
化合物（Ｓ）を用いて変成ポリベンゾオキサゾール製造する方法としては、例えば、攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）、ソフトセグメント、ピリジン、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを仕込み、各材料が完全に溶解するまで室温で攪拌し、その後、トリメチルクロロシランを所定時間（例えば、１分間）かけて滴下し、所定時間（例えば、６０分間）、所定温度（例えば、室温）で攪拌する。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテルを所定時間（例えば、５分間）かけてゆっくりと添加し、所定温度（例えば、室温）で所定時間（例えば、５時間）攪拌し、得られた合成液を所定量（例えば、２Ｌ）のイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を所定温度（例えば、１００℃）で所定時間（例えば、２４時間）乾燥し、乾燥後の沈殿物に所定量（例えば、４倍量）のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾールのワニスが得られ、得られた変性ポリベンゾオキサゾールのワニスをシリコンウェハのミラー面上にスピンコートにより塗工し、所定温度（例えば、１５０℃）で所定時間（例えば、３０分間）加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、所定温度（例えば、３００℃）で所定時間（例えば、２時間）加熱することなどが挙げられる。
クリーニング層中には、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なその他の成分が含まれていてもよい。このようなその他の成分としては、例えば、ポリイミド系樹脂およびポリベンゾオキサゾール系樹脂以外の耐熱性樹脂、界面活性剤、可塑剤、酸化防止剤、導電性付与剤、紫外線吸収剤、光安定化剤などが挙げられる。
クリーニング層の厚みは、好ましくは１μｍ～１００μｍであり、より好ましくは１μｍ～５０μｍであり、さらに好ましくは１μｍ～３０μｍであり、特に好ましくは１μｍ～２０μｍであり、最も好ましくは２μｍ～１０μｍである。クリーニング層の厚みが上記範囲内にあることにより、本発明の効果がより発現し得る。
クリーニング層は、好ましくは、実質的に粘着力を有さない。すなわち、例えば、粘着性物質から形成されたクリーニング層や、粘着テープを固着することで形成したクリーニング層は、本発明におけるクリーニング層からは除外される。本発明の実施形態によるクリーニングシートが実質的に粘着力を有するクリーニング層を備えると、該クリーニング層と、例えば、基板処理装置内の搬送装置との接触部分が強く接着しすぎて離れなくなるおそれがある。その結果、基板を確実に搬送できないという問題や、搬送装置を破損させるという問題が生じるおそれがある。
クリーニング層は、上述の通り、好ましくは、実質的に粘着力を有さない。具体的には、シリコンウェハのミラー面に対する、ＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０°引き剥がし粘着力Ａが、好ましくは０．２０Ｎ／１０ｍｍ未満であり、より好ましくは０．０１～０．１０Ｎ／１０ｍｍである。クリーニング層のシリコンウェハのミラー面に対するＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０°引き剥がし粘着力Ａがこのような範囲内にあれば、クリーニング層は実質的に粘着力を有さず、該クリーニング層と、例えば、基板処理装置内の搬送装置との接触部分との粘着性が低減でき、その結果、基板を確実に搬送し得るとともに、搬送装置が破損し難くなり得る。
クリーニング層は、ダミーウェハのミラー面に対するＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０度引き剥がし粘着力Ｂが、好ましくは１０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、より好ましくは１５Ｎ／１０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは２０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、特に好ましくは２５Ｎ／１０ｍｍ以上であり、最も好ましくは３０Ｎ／１０ｍｍ以上である。クリーニング層のダミーウェハのミラー面に対するＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０度引き剥がし粘着力Ｂが上記範囲内にあれば、例えば、クリーニング層とダミーウェハ等の搬送部材との密着性が高くなり、クリーニング中にクリーニング層がダミーウェハ等の搬送部材から剥離し難くなる。
クリーニング層のダミーウェハのミラー面に対するＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０度引き剥がし粘着力Ｂは、例えば、ダミーウェハとしてのシリコンウェハのミラー面にクリーニング層を形成し、ＪＩＳ－Ｚ－０２３７に準じて測定できる。
≪１－２．支持体≫
本発明のクリーニングシートは、支持体を備えていても良い。支持体は単層であっても多層体であってもよい。
支持体の厚みは、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な厚みを採用し得る。このような厚みとしては、好ましくは５００μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ～４００μｍであり、さらに好ましくは１μｍ～３００μｍであり、特に好ましくは１μｍ～２００μｍであり、最も好ましくは１μｍ～１００μｍである。
支持体は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な支持体を採用し得る。このような支持体としては、例えば、プラスチックやエンジニアリングプラスチックやスーパーエンジニアリングプラスチックのフィルムが挙げられる。プラスチックやエンジニアリングプラスチックやスーパーエンジニアリングプラスチックの具体例としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミドなどが挙げられる。
支持体の材料の分子量などの諸物性は、目的に応じて適宜選択され得る。
支持体の成形方法は、目的に応じて適宜選択され得る。
支持体の表面は、隣接する層との密着性、保持性などを高めるために、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理などの化学的または物理的処理、下塗剤によるコーティング処理などが施されていてもよい。
≪１－３．粘着剤層≫
本発明のクリーニングシートは、粘着剤層を備えていても良い。このような粘着剤層の材料としては、本発明の効果を損なわない範囲で任意の適切な材料を採用し得る。このような粘着剤層の材料としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤、ウレタン系粘着剤などを採用し得る。
粘着剤層は、例えば、ダミーウェハのミラー面に貼り付けるために設けられる。これにより、搬送部材としてのダミーウェハに本発明のクリーニングシートが貼り付けられ、本発明のクリーニング機能付搬送部材となり得る。
粘着剤層は、ダミーウェハのミラー面に対するＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０度引き剥がし粘着力Ｃが、好ましくは１０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、より好ましくは１５Ｎ／１０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは２０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、特に好ましくは２５Ｎ／１０ｍｍ以上であり、最も好ましくは３０Ｎ／１０ｍｍ以上である。粘着剤層のダミーウェハのミラー面に対するＪＩＳ－Ｚ－０２３７で規定される１８０度引き剥がし粘着力Ｃが上記範囲内にあれば、例えば、粘着剤層とダミーウェハとの密着力が高くなり、クリーニング中にクリーニングシートがダミーウェハから剥離し難くなる。
粘着剤層の厚みは、好ましくは１μｍ～２００μｍであり、より好ましくは２μｍ～１００μｍであり、さらに好ましくは３μｍ～８０μｍであり、特に好ましくは４μｍ～６０μｍであり、最も好ましくは５μｍ～５０μｍである。
≪１－４．保護フィルム≫
本発明のクリーニングシートは、クリーニング層や支持体や粘着剤層などを保護するため、保護フィルムを有してもよい。保護フィルムは、適切な段階で剥離され得る。
保護フィルムは、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なフィルムを採用し得る。このようなフィルムの材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリイミド、フッ素樹脂などが挙げられる。
保護フィルムは、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な剥離処理が施されてもよい。剥離処理は、代表的には、剥離剤によってなされる。剥離剤としては、例えば、シリコーン系剥離剤、長鎖アルキル系剥離剤、フッ素系剥離剤、脂肪酸アミド系剥離剤、シリカ系剥離剤などを挙げることができる。
保護フィルムの厚みは、好ましくは１μｍ～１００μｍである。
保護フィルムの形成方法は、目的に応じて適宜選択され、例えば、射出成形法、押出成形法、ブロー成形法などにより形成することができる。
≪１－５．クリーニングシートの製造方法≫
本発明の実施形態によるクリーニングシートを製造する方法としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な製造方法を採用し得る。このような製造方法としては、例えば、（１）クリーニング層のワニス溶液を支持体や搬送部材上にキャストし、スピンコーター等で均一に成膜した後に、加熱することで、支持体や搬送部材上に直接クリーニング層を形成する方法、（２）ラベルおよび補強部の構成材料となる粘着フィルム（ラベル支持体の片面にクリーニング層、他面に通常の粘着剤層を設けたもの）をセパレータ上に貼付する方法などによって、セパレータと粘着フィルムからなる積層体を形成し、次いで、この積層体の粘着フィルムのみをラベルおよび／または補強部の各形状に同時にまたは別々に打ち抜き、不要な粘着フィルムをセパレータから剥離除去する方法、などが挙げられる。
本発明の効果をより発現させ得る点で、本発明の実施形態によるクリーニングシートを製造する方法としては、好ましくは、クリーニング層のワニス溶液を支持体や搬送部材上にスピンコーターにより塗工して成膜し、必要に応じて静置し、また、必要に応じて加熱および／または乾燥することで、支持体や搬送部材上にクリーニング層を形成することにより、本発明の実施形態によるクリーニングシートを製造する方法が挙げられる。
本発明の効果をより発現させ得る点で、クリーニング層のワニス溶液の粘度は、好ましくは１００ｍＰａ・ｓ～２０００ｍＰａ・ｓであり、より好ましくは３００ｍＰａ・ｓ～１５００ｍＰａ・ｓであり、さらに好ましくは５００ｍＰａ・ｓ～１２００ｍＰａ・ｓである。
クリーニング層のワニス溶液を支持体や搬送部材上にスピンコーターにより塗工して成膜する際の回転数は、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは４００ｒｐｍ以上であり、より好ましくは６００ｒｐｍ以上であり、さらに好ましくは８００ｒｐｍ以上であり、さらに好ましくは１０００ｒｐｍ以上であり、さらに好ましくは１５００ｒｐｍ以上であり、特に好ましくは２０００ｒｐｍ以上であり、最も好ましくは３０００ｒｐｍ以上である。上記回転数の上限は、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは６０００ｒｐｍ以下である。
クリーニング層のワニス溶液を支持体や搬送部材上にスピンコーターにより塗工して成膜する際の回転時間は、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは５秒～２００秒であり、より好ましくは１０秒～１５０秒であり、さらに好ましくは２０秒～６０秒である。
本発明の実施形態によるクリーニングシートを製造する方法においては、クリーニング層のワニス溶液を支持体や搬送部材上にスピンコーターにより塗工して成膜した後、静置することにより、支持体や搬送部材上でワニス溶液をより平滑化し得る。この静置する時間としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは５秒～１０００秒であり、より好ましくは３０秒～６００秒であり、さらに好ましくは１００秒～４００秒である。
本発明の実施形態によるクリーニングシートを製造する方法においては、クリーニング層のワニス溶液を支持体や搬送部材上にスピンコーターにより塗工して成膜した後、加熱および／または乾燥してもよい。この加熱または乾燥の温度としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは５０℃～２００℃であり、より好ましくは８０℃～１５０℃である。この加熱または乾燥の時間としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは１００秒～９００秒であり、より好ましくは３００秒～９００秒であり、さらに好ましくは６００秒～９００秒である。
≪≪２．クリーニング機能付搬送部材≫≫
本発明のクリーニング機能付搬送部材は、本発明のクリーニングシートと搬送部材を有する。
図８は、本発明のクリーニング機能付搬送部材の一つの実施形態を示す概略断面図である。図８において、クリーニング機能付搬送部材３００は、クリーニングシート１００と搬送部材２００を有する。クリーニングシート１００が粘着剤層を有する場合は、好ましくは、クリーニングシート１００の搬送部材２００側の最外層が粘着剤層となる。
搬送部材としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な搬送部材を採用し得る。このような搬送部材としては、例えば、半導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ）、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどが挙げられる。これらの搬送部材の中でも、基板処理装置内におけるウェハの搬送装置のクリーニングを目的とする場合は、代表的には、半導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ）が挙げられる。
以下に、実施例および比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明は、それらに何ら制限されるものではない。なお、以下の説明において、「部」および「％」は、特に明記のない限り、重量基準である。
＜クラウンサイズの測定方法＞
クラウン高さとクラウン幅は、触針式表面粗さ測定装置（Ｖｅｅｃｏ社製、Ｄｅｃｔａｋ８）を用いて測定した。測定スピードは２００μｍ／秒、測定範囲は１０ｍｍとし、ダイヤモンド製の触針（先端部の曲率は２．５μｍ）を動かして測定した。ウェハ上の樹脂層の端部より内側１０ｍｍを測定開始点とし、外周部に向かい１０ｍｍの範囲で測定した最大高さをクラウン高さとし、開始点より＋０．５μｍとなった点から樹脂層端部までの距離をクラウン幅とした。
＜吸着エラーの評価＞
真空吸着ステージは、直径３００ｍｍの円形で、その表面に等間隔に並んだ直径３００μｍ、高さ３００μｍの円形凸部を有しており、外縁部より３ｍｍの箇所に、高さおよび幅がそれぞれ３００μｍのシールバンドを有する。
この真空吸着ステージにクリーニング機能付搬送部材を載置して、－４２０００Ｐａに減圧した際に、吸着圧力が－４２０００Ｐａ以上－３５０００Ｐａ未満を示すものを〇、－３５０００Ｐａ以上－３００００Ｐａ未満を示すものを△、－３００００Ｐａ以上を示すものを×とした。
［実施例１］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で１時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（１）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（１）のワニスの粘度は５４０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（１）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝４０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが２．８μｍであるクリーニング層（１）を備えるクリーニング機能付搬送部材（１）を得た。クリーニング機能付搬送部材（１）は、クリーニング層（１）からなるクリーニングシート（１）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［実施例２］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：５４．０ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））ｎ－ＮＨ２（商品名「ジェファーミンＤ－２０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量２０００、ｎ＝約３３）：６６ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とジェファーミンＤ－２０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：４８．０ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５５．２ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で１時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（２）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（２）のワニスの粘度は５８０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（２）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが２．２μｍであるクリーニング層（２）を備えるクリーニング機能付搬送部材（２）を得た。クリーニング機能付搬送部材（２）は、クリーニング層（２）からなるクリーニングシート（２）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［実施例３］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で２時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（３）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（３）のワニスの粘度は９８０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（３）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝２０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが５．４μｍであるクリーニング層（３）を備えるクリーニング機能付搬送部材（３）を得た。クリーニング機能付搬送部材（３）は、クリーニング層（３）からなるクリーニングシート（３）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［実施例４］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で２時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（４）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（４）のワニスの粘度は７８０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（４）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが５．０μｍであるクリーニング層（４）を備えるクリーニング機能付搬送部材（４）を得た。クリーニング機能付搬送部材（４）は、クリーニング層（４）からなるクリーニングシート（４）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［実施例５］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で２時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（５）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（５）のワニスの粘度は８４０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（５）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが６．２μｍであるクリーニング層（５）を備えるクリーニング機能付搬送部材（５）を得た。クリーニング機能付搬送部材（５）は、クリーニング層（５）からなるクリーニングシート（５）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［実施例６］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で３時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（６）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（６）のワニスの粘度は１２３０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（６）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが５．８μｍであるクリーニング層（６）を備えるクリーニング機能付搬送部材（６）を得た。クリーニング機能付搬送部材（６）は、クリーニング層（６）からなるクリーニングシート（６）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［実施例７］
（ポリイミドのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－ジアミンジフェニルエーテル：５１．０ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））ｎ－ＮＨ２（商品名「ジェファーミンＤ－４０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量４０００、ｎ＝約６８）：８９ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：１０００ｇを仕込み、４，４’－ジアミンジフェニルエーテルとジェファーミンＤ－４０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、ピロメリット酸無水物：６０ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で１時間攪拌し、７０℃に加温し、４時間攪拌することで、ポリイミド（７）のワニスを得た。得られたポリイミド（７）のワニスの粘度は１０００ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られたポリイミド（７）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で２分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが７．０μｍであるクリーニング層（７）を備えるクリーニング機能付搬送部材（７）を得た。クリーニング機能付搬送部材（７）は、クリーニング層（７）からなるクリーニングシート（７）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［比較例１］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で６時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ１）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ１）のワニスの粘度は１７４０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ１）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが９．０μｍであるクリーニング層（Ｃ１）を備えるクリーニング機能付搬送部材（Ｃ１）を得た。クリーニング機能付搬送部材（Ｃ１）は、クリーニング層（Ｃ１）からなるクリーニングシート（Ｃ１）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［比較例２］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で２時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ２）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ２）のワニスの粘度は８８０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ２）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝８００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、３００秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが７．２μｍであるクリーニング層（Ｃ２）を備えるクリーニング機能付搬送部材（Ｃ２）を得た。クリーニング機能付搬送部材（Ｃ２）は、クリーニング層（Ｃ２）からなるクリーニングシート（Ｃ２）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
［比較例３］
（変性ポリベンゾオキサゾールのワニスの製造）
攪拌装置を取り付けたセパラブルフラスコに、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）：４３．８ｇ、Ｈ２Ｎ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２－（Ｏ－ＣＨ（ＣＨ３）－ＣＨ２）２－（Ｏ－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２）９－（Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ（ＣＨ３））３－ＮＨ２（商品名「エラスタミンＲＴ－１０００」、ＨＵＮＴＳＭＡＮ製、分子量１０００）：６４．４ｇ、ピリジン：４７．０ｇ、Ｎ－メチル－２－ピロリドン：６００ｇを仕込み、４，４’－（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ビス（２－アミノフェノール）とエラスタミンＲＴ－１０００とが完全に溶解するまで室温で攪拌した。その後、トリメチルクロロシラン：３２．６ｇを１０分間かけて滴下し、６０分間室温で攪拌した。その後、４，４’－ビス（クロロカルボニル）ジフェニルエーテル：５４．３ｇを１０分間かけてゆっくりと添加し、室温で２時間攪拌した。
得られた合成液を１０Ｌのイオン交換水に滴下し、得られた沈殿物を１２０℃で４時間乾燥し、乾燥後の沈殿物に４倍量のＮ－メチル－２－ピロリドンを加えて再溶解することで、変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ３）のワニスを得た。得られた変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ３）のワニスの粘度は８８０ｍＰａ・ｓであった。
（クリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材の製造と評価）
得られた変性ポリベンゾオキサゾール（Ｃ３）のワニスを１２インチシリコンウェハのミラー面上にスピンコーター（東京エレクトロン製、ＡＣＴ－１２、回転数＝１０００ｒｐｍ、回転時間＝３０秒）により塗工し、９９９秒間静置した後、１００℃で１０分間加熱し、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除去した後、真空下、２８０℃で２時間加熱して、厚みが６．９μｍであるクリーニング層（Ｃ３）を備えるクリーニング機能付搬送部材（Ｃ３）を得た。クリーニング機能付搬送部材（Ｃ３）は、クリーニング層（Ｃ３）からなるクリーニングシート（Ｃ３）と搬送部材としてのシリコンウェハを有する。
結果を表１に示した。
Figure 2022169945000002
本発明のクリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材は、各種の製造装置や検査装置のような基板処理装置のクリーニングに好適に用いられる。
１００ クリーニングシート
１０ クリーニング層
１０ａ クリーニング層の表面
１１ 端部
１２ 中心
２０ 保護フィルム
３０ 粘着剤層
４０ 支持体
３００ クリーニング機能付搬送部材
２００ 搬送部材

Claims (7)

  1. クリーニング層を備える、クリーニングシートであって、
    該クリーニング層の表面に対する法線方向から見て、該表面の端部から中心に向かう方向を中心方向とし、
    該表面において該端部から中心方向に向かって１０ｍｍの幅が占める領域を端部領域とし、
    該端部領域内における該クリーニング層の法線方向の最大厚みＬと、該クリーニング層の該端部領域以外の領域における該クリーニング層の法線方向の平均厚みＴとが、Ｌ－Ｔ≦５μｍの関係を有する、
    クリーニングシート。
  2. 前記クリーニング層中の前記平均厚みＴよりも１μｍ以上大きい厚みを有する部分の前記中心方向の幅ｄが４０００μｍ以下である、請求項１に記載のクリーニングシート。
  3. 前記クリーニング層が、ポリイミド系樹脂およびポリベンゾオキサゾール系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む、請求項１または２に記載のクリーニングシート。
  4. 前記クリーニング層の厚みが１μｍ～１００μｍである、請求項１から３までのいずれかに記載のクリーニングシート。
  5. 粘着剤層を含む、請求項１から４までのいずれかに記載のクリーニングシート。
  6. 支持体を含む、請求項１から５までのいずれかに記載のクリーニングシート。
  7. 請求項１から６までのいずれかに記載のクリーニングシートと搬送部材を有する、クリーニング機能付搬送部材。
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