JP2022169083A - 固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子機器 - Google Patents

固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子機器 Download PDF

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Abstract

【課題】低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路において、所望の電流をミラーさせることができるようにする。【解決手段】固体撮像装置は、光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタとを少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、カレントミラー回路とを備え、カレントミラー回路は、定電流源からの基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、複数の画素それぞれに配置された電流源トランジスタとを含み構成される。本開示に係る技術は、例えば、DC電流を流すアンプを画素内に有する固体撮像装置等に適用できる。【選択図】図4

Description

本開示は、固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子機器に関し、特に、低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路において、所望の電流をミラーさせることができるようにした固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子機器に関する。
光電変換膜としてInGaAsなどの化合物半導体を用いた固体撮像素子では、光電変換膜を形成する第1の基板と、光電変換膜に蓄積された電荷を読み出す読み出し回路を形成する第2の基板を、バンプや電極で接合した構造が採用されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1の画素構造では、第1の基板と第2の基板との接続のノードが電荷の蓄積部にもなっており、完全空乏化ができないため、ノイズが多くなりやすい。ノイズを改善する構成として、画素内にDC電流を流すアンプを搭載した構成が考えられる。
国際公開第2017/150167号
各画素にDC電流を流すアンプを搭載した場合、全画素分の消費電流を考慮すると、流せる電流はナノアンペア(nA)オーダである。また、画素回路の特性上、低閾値電圧のトランジスタを選択せざるを得ないケースがある。
各画素への電流供給は、各画素に配置された電流源トランジスタのゲート電圧を、ミラー元の供給源からカレントミラー回路により取り出す構成が一般的である。低閾値電圧のトランジスタを使ってカレントミラー回路を構成した場合、nAオーダの電流は、低閾値電圧のトランジスタにとってはリーク電流のオーダである故、ミラー元のトランジスタのゲート電圧を受け取った各画素回路の電流源は、ミラーされるべきミラー元の電流を反映しない場合がある。
本開示は、このような状況に鑑みてなされたものであり、低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路において、所望の電流をミラーさせることができるようにするものである。
本開示の第1の側面の固体撮像装置は、光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタとを少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、カレントミラー回路とを備え、前記カレントミラー回路は、定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタとを含み構成される。
本開示の第2の側面の固体撮像装置の駆動方法は、光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタとを少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、カレントミラー回路とを備え、前記カレントミラー回路は、定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタとを含み構成される固体撮像装置の、前記カレントミラー回路が、前記第1の容量に所定の電圧をチャージした後、前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を、前記電流源トランジスタのゲートに供給する。
本開示の第3の側面の電子機器は、光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタとを少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、カレントミラー回路とを備え、前記カレントミラー回路は、定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタとを含み構成される固体撮像装置を備える。
本開示の第1乃至第3の側面においては、光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタとを少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、カレントミラー回路とが設けられ、前記カレントミラー回路は、定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタとを含み構成され、前記カレントミラー回路において、前記第1の容量に所定の電圧がチャージされた後、前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位が、前記電流源トランジスタのゲートに供給される。
固体撮像装置及び電子機器は、独立した装置であっても良いし、他の装置に組み込まれるモジュールであっても良い。
本開示の技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。 画素の回路構成例を示す図である。 各画素の電流源トランジスタをミラー先の電流源とするカレントミラー回路の構成例を示す図である。 図1の固体撮像装置に搭載されるカレントミラー回路の基本構成例を示す図である。 図4のカレントミラー回路の動作を説明するタイムチャートである。 第2スイッチとして用いるトランジスタの構成を説明する図である。 図4のカレントミラー回路の第1変形例を示す図である。 図7のカレントミラー回路の動作を説明するタイムチャートである。 図4のカレントミラー回路の第2変形例を示す図である。 図9のカレントミラー回路の動作を説明するタイムチャートである。 図4のカレントミラー回路の第3変形例を示す図である。 図11のボトムプレートサンプリングのサンプルホールド動作を説明するタイムチャートである。 図11のボトムプレートサンプリングの具体的回路構成例を示す図である。 図4のカレントミラー回路の第4変形例を示す図である。 図4のカレントミラー回路の第5変形例を示す図である。 図15のカレントミラー回路の動作を説明するタイムチャートである。 イメージセンサの使用例を説明する図である。 本開示の技術を適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
以下、添付図面を参照しながら、本開示の技術を実施するための形態(以下、実施の形態という)について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。説明は以下の順序で行う。
1.固体撮像装置の全体構成例
2.画素の回路構成例
3.低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路の問題
4.カレントミラー回路の基本構成例
5.カレントミラー回路の第1変形例
6.カレントミラー回路の第2変形例
7.カレントミラー回路の第3変形例
8.カレントミラー回路の第4変形例
9.カレントミラー回路の第5変形例
10.イメージセンサの使用例
11.電子機器への適用例
12.移動体への応用例
<1.固体撮像装置の全体構成例>
図1は、本開示の技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。
図1の固体撮像装置1は、タイミング制御部11、垂直走査回路12、画素アレイ部13、定電流源回路部14、参照信号生成部15、カラムAD変換部16、水平走査回路17、信号処理回路18、および、出力部19から構成される。
タイミング制御部11は、所定周波数のマスタクロックに基づいて、所定の動作に必要なクロック信号やタイミング信号を垂直走査回路12および水平走査回路17に供給する。例えば、タイミング制御部11は、画素21のシャッタ動作や読み出し動作のタイミング信号を垂直走査回路12および水平走査回路17に供給する。また、図示は省略されているが、タイミング制御部11は、所定の動作に必要なクロック信号やタイミング信号を、参照信号生成部15、カラムAD変換部16などにも供給する。
垂直走査回路12は、画素アレイ部13の垂直方向に並ぶ画素21に、順次、所定のタイミングで、画素信号の出力を制御する信号を供給する。
画素アレイ部13には、複数の画素21が行列状に配列されている。画素アレイ部13内の各画素21は、水平信号線22を介して垂直走査回路12から供給される信号に従って、内部に蓄積された電荷に応じた画素信号を、垂直信号線23に出力する。画素21の詳細な構成については、図2を参照して後述する。
行列状に配列されている複数の画素21は、水平信号線22により、行単位で垂直走査回路12と接続されている。換言すれば、画素アレイ部13内の同一行に配置されている複数の画素21は、同じ一本の水平信号線22に接続され、その水平信号線22は、垂直走査回路12に接続されている。なお、図1では、水平信号線22について1本の配線として示しているが、1本に限られるものではない。
また、行列状に配列されている複数の画素21は、垂直信号線23により、列単位で水平走査回路17と接続されている。換言すれば、画素アレイ部13内の同一列に配置されている複数の画素21は、同じ一本の垂直信号線23に接続され、その垂直信号線23は、定電流源回路部14の定電流源24と、カラムAD変換部16のADC(Analog-Digital Converter)25に接続されている。
定電流源回路部14は複数の定電流源24を有し、一本の垂直信号線23に対して一つの定電流源24が接続されている。定電流源24は、垂直信号線23を介して接続される画素21内のトランジスタとソースフォロワ回路を構成する。
参照信号生成部15は、DAC(Digital to Analog Converter)15aを有して構成されており、タイミング制御部11からのクロック信号に応じて、ランプ(RAMP)波形の基準信号を生成して、カラムAD変換部16に供給する。
カラムAD変換部16には、画素アレイ部13の列単位にADC25が設けられている。したがって、一本の垂直信号線23には、列方向に並ぶ複数の画素21と、一個の定電流源24と、ADC25とが接続されている。
ADC25は、同じ列の画素21から垂直信号線23を介して供給される画素信号を、CDS(Correlated Double Sampling;相関2重サンプリング)処理し、さらにAD変換処理する。
ADC25それぞれは、AD変換後の画素データを一時的に記憶し、水平走査回路17の制御に従って、水平出力線20を介して信号処理回路18に出力する。
水平走査回路17は、複数のADC25に記憶されている画素データを、順次、所定のタイミングで水平出力線20に出力させる。
水平出力線20は、信号処理回路18に接続されており、各ADC25から出力されたAD変換後の画素データを、信号処理回路18へ供給する。
信号処理回路18は、各ADC25から供給されたAD変換後の画素データに対して、黒レベル調整、列ばらつき補正などの各種のデジタル信号処理を行った後、出力部19を介して、固体撮像装置1の外部へ出力する。信号処理回路18は、特定の信号処理を行わずに、バファリングだけ行って、出力してもよい。
以上のように構成される固体撮像装置1は、CDS処理とAD変換処理を行うADC25が垂直列ごとに配置されたカラムAD方式と呼ばれるCMOSイメージセンサである。
<2.画素の回路構成例>
図2は、画素21の回路構成例を示している。
画素21は、光電変換素子としてのフォトダイオードPD、転送トランジスタTG、フローティングディフュージョンFD、リセットトランジスタRST、第1増幅トランジスタAMP1、第2増幅トランジスタAMP2、選択トランジスタSEL、および、電流源トランジスタ51を有する。転送トランジスタTG、リセットトランジスタRST、第1増幅トランジスタAMP1、第2増幅トランジスタAMP2、選択トランジスタSEL、および、電流源トランジスタ51は、例えば、N型のMOSトランジスタ(MOS FET)により構成される。
フォトダイオードPDは、受光した光量に応じた電荷(信号電荷)を生成し、かつ、蓄積する。フォトダイオードPDは、アノード端子が接地されているとともに、カソード端子が転送トランジスタTGを介して、フローティングディフュージョンFDに接続されている。
転送トランジスタTGは、ゲートに供給される転送信号によりオンされたとき、フォトダイオードPDで生成された電荷を読み出し、フローティングディフュージョンFDに転送する。
フローティングディフュージョンFDは、フォトダイオードPDから読み出された電荷を保持する。リセットトランジスタRSTは、ゲートに供給されるリセット信号によりオンされたとき、フローティングディフュージョンFDに蓄積されている電荷がドレイン(定電圧源VDD)に排出されることで、フローティングディフュージョンFDの電位をリセットする。
第1増幅トランジスタAMP1は、フローティングディフュージョンFDの電位に応じた信号を増幅して、第2増幅トランジスタAMP2のゲートに供給する。第1増幅トランジスタAMP1は、電流源トランジスタ51とソースフォロワ回路を構成し、フローティングディフュージョンFDに蓄積されている電荷に応じた信号を、第2増幅トランジスタAMP2のゲートに供給する。
第2増幅トランジスタAMP2は、垂直信号線23を介して接続されている定電流源24とソースフォロワ回路を構成し、第1増幅トランジスタAMP1からの信号を増幅して、選択トランジスタSELおよび垂直信号線23を介して、カラムAD変換部16内のADC25に出力する。
選択トランジスタSELは、ゲートに供給される選択信号により画素21が選択されたときオンされ、画素21の画素信号を、垂直信号線23を介してカラムAD変換部16に出力する。転送信号、リセット信号、及び、選択信号が伝送される各信号線は、図1の水平信号線22に対応する。
画素21は、以上のように構成される。
<3.低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路の問題>
図1の固体撮像装置1は、図2で説明したように、第1増幅トランジスタAMP1と、所定のDC電流を流す電流源トランジスタ51とを、各画素21に有している。画素アレイ部13に配列された全画素分の消費電流を考慮すると、各画素21の電流源トランジスタ51が流せる電流はナノアンペア(nA)オーダである。また、電流源トランジスタ51には、画素回路の特性上、低閾値電圧のトランジスタが採用される。
各画素21への電流供給は、各画素21に配置された電流源トランジスタ51のゲート電圧を、ミラー元の供給源からカレントミラー回路により取り出す構成が一般的である。
図3は、各画素21の電流源トランジスタ51を、ミラー先の電流源とするカレントミラー回路の構成例を示している。図3に示されるカレントミラー回路の構成は固体撮像装置1の構成ではないが、対応関係を分かり易くするため、固体撮像装置1の符号を付して説明する。
図3のカレントミラー回路は、定電流源61と、ミラー元となるダイオード構成の基準電流源トランジスタ62と、ミラー先となる各画素21の電流源トランジスタ51とで構成される。このカレントミラー回路は、例えば、画素アレイ部13の行単位に設けられ、基準電流を生成する基準電流生成回路としての定電流源61と基準電流源トランジスタ62が垂直走査回路12に設けられる。生成された基準電流がミラーされる複数の電流源トランジスタ51は、同一行の各画素21に配置された電流源トランジスタ51である。図3の各画素21において、電流源トランジスタ51以外の構成は省略されている。
ここで、各電流源トランジスタ51と基準電流源トランジスタ62は、低閾値電圧のトランジスタで構成され、ミラーされる電流は、上述した全画素分の消費電流を考慮して、トランジスタのリーク電流程度のnAオーダの電流であるとする。例えば、カレントミラー回路が、10nAの電流をミラーさせるとする。
このように、低閾値電圧のトランジスタを使ってカレントミラー回路を構成した場合、nAオーダの電流は、低閾値電圧のトランジスタにとってはリーク電流のオーダである故、ミラー元の基準電流源トランジスタ62のゲート電圧が0Vであったとしても、ドレイン電圧が、例えば、0.1Vであれば10nAを達成する。このことから、カレントミラー回路のミラー元の基準電流源トランジスタ62のゲート電圧は、0.1V等で静定する。
一方で、基準電流源トランジスタ62のゲート・ソース間電圧Vgsで10nAを達成する場合、0Vよりもマイナス方向の例えば-0.1Vが適当であるとすると、橋渡しした0.1Vの電圧を受け取った各画素21の電流源トランジスタ51は、ミラーされるべき、基準電流源トランジスタ62の電流を反映しないことになる。電流源トランジスタ51のドレインの電位に応じて、例えば、30nA等の電流が流れる。電流源トランジスタ51の電流が、ミラー元と同じ10nAになるのは、電流源トランジスタ51のドレインの電位がミラー元と同じ0.1Vの場合となるが、実際には、ソースフォロア等で決まる0.1V以外の電位となるため、10nAにはならない。
すなわち、カレントミラー回路は、本来、ドレイン電圧に関係ない飽和領域で動作することが前提となるが、基準電流源トランジスタ62の10nAは、飽和領域ではなく、リーク電流で10nAが流れているに過ぎないため、基準電流源トランジスタ62の電流を反映しないことになる。
したがって、基準電流源トランジスタ62のゲートとドレインの間に電位差を設け、基準電流源トランジスタ62を飽和領域で動作させることができれば、カレントミラー回路が正常に機能する。以下では、飽和領域で動作するための基準電流源トランジスタ62のゲート・ドレイン間の電位差を1.2Vとし、基準電流源トランジスタ62のゲート・ソース間電圧Vgsで10nAを達成する場合のゲート電圧が、上述の-0.1Vであるとして説明する。
<4.カレントミラー回路の基本構成例>
図4は、固体撮像装置1に搭載されるカレントミラー回路の基本構成例を示している。
図4のカレントミラー回路100は、図3のカレントミラー回路において垂直走査回路12に配置される基準電流生成回路として、容量(容量素子)111と、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、および、第3スイッチSW3とを追加した構成を有する。
すなわち、カレントミラー回路100は、定電流源61と、定電流源61からの基準電流が入力される基準電流源トランジスタ62と、容量111と、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、および、第3スイッチSW3とを有する。
より詳しくは、容量111の一端と、基準電流源トランジスタ62のゲートとの接続点112が電圧供給線115に接続され、電圧供給線115が、ミラー先の各画素21の電流源トランジスタ51のゲートと接続されている。接続点112とは反対側の容量111の他端は、接続点113により、第1スイッチSW1と第3スイッチSW3それぞれの一端と接続されている。第1スイッチSW1は、接続点113と、1.2Vの電源電圧との間に挿入されている。第2スイッチSW2は、基準電流源トランジスタ62のゲートおよび容量111の一端、および、電圧供給線115が接続された接続点112と、グランド(GND)との間に挿入されている。第3スイッチSW3は、接続点113と接続点114との間に挿入されている。接続点114は、定電流源61と基準電流源トランジスタ62のドレインとの間の接点である。直列に接続された定電流源61と基準電流源トランジスタ62は、例えば3Vの電源電圧とグランドとの間に配置されている。
図5のタイムチャートを参照しながら、図4のカレントミラー回路100の動作を説明する。
図5の時刻t0から時刻t5までの期間が、1水平同期期間(1XHS)に相当する。
時刻t0から一定時間経過後の時刻t1から時刻t2までの間、第1スイッチSW1および第2スイッチSW2がオンされる。これにより、容量111に1.2Vがチャージされる。
そして、第1スイッチSW1および第2スイッチSW2がオフされた後、時刻t3から、1水平同期期間の終了直前の時刻t4まで、第3スイッチSW3がオンされる。
以上のように、図4のカレントミラー回路100は、基準電流源トランジスタ62のゲートとドレインとの間に容量111を挿入し、その容量111に1.2Vをチャージすることで、基準電流源トランジスタ62のゲートとドレイン間に電位差を設け、基準電流源トランジスタ62を飽和領域で動作させる。
基準電流源トランジスタ62のゲート・ドレイン間の電位差が1.2Vに設定され、基準電流源トランジスタ62のゲート電圧が、ゲート・ソース間電圧Vgsで決まる所定の値、上述の-0.1Vに静定し、ドレイン電圧は1.1Vとなる。基準電流源トランジスタ62は、飽和領域で動作するので、電圧供給線115を介して-0.1Vの電圧を受け取った各画素21の電流源トランジスタ51には、基準電流源トランジスタ62の電流を反映した10nAの電流が流れる。
以上のように、図4のカレントミラー回路100は、容量111に1.2Vをチャージし、容量111と基準電流源トランジスタ62のゲートとの間に接続された電圧供給線115を介して、基準電流源トランジスタ62のゲートの電位を、基準電流源トランジスタ62のゲートに供給するように構成されている。
なお、第1スイッチSW1ないし第3スイッチSW3のそれぞれをMOSトランジスタで実現する場合、第2スイッチSW2にはマイナス電圧のノードが発生することになるが、不要な電源種類を増やさないようにするため、図6に示されるように、第2スイッチSW2としてのMOSトランジスタのドレインとPウェルを接続するセルフバイアス構成をとることが望ましい。
図4に示したカレントミラー回路100が、低閾値電圧のトランジスタを用いて所望の電流を正確にミラーさせることができる構成となるが、図4のカレントミラー回路100は、出力インピーダンスが無限大の回路となる。そのため、実際の実装では、出力インピーダンスを下げておくことが望ましい。
以下では、出力インピーダンスを下げたカレントミラー回路100の回路構成を変形例として説明する。以下で説明するカレントミラー回路100の各変形例において、図4のカレントミラー回路100と共通する部分については同一の符号を付し、その部分の説明は適宜省略する。
<5.カレントミラー回路の第1変形例>
図7は、カレントミラー回路100の第1変形例を示している。
図7のカレントミラー回路100Aは、ミラー先の各画素21に、第4スイッチSW4と容量(容量素子)121を追加し、各画素21で1.2Vをチャージし、ホールドする構成である。
電圧供給線115の容量111への接続先が、基準電流源トランジスタ62のゲート側の接続点112ではなく、ドレイン側の接続点113となっている。
各画素21の容量121の一端は、電圧供給線115に接続され、他端は、電流源トランジスタ51のゲートおよび第4スイッチSW4の一端に接続されている。第4スイッチSW4は、電流源トランジスタ51のゲートおよび容量121の他端と、グランドとの間に挿入されている。
図8は、図5のタイムチャートの一部分に相当し、図7のカレントミラー回路100Aにおける第4スイッチSW4の動作を追加したタイムチャートである。
図7のカレントミラー回路100Aは、図8に示されるように、第1スイッチSW1および第2スイッチSW2がオンされる時刻t1から時刻t2までの間の最初の所定期間(時刻t11までの期間)第4スイッチSW4もオンされる。それ以外の第1スイッチSW1ないし第3スイッチSW3の動作は、図6と同様である。
すなわち、初めに、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、および、第4スイッチSW4がオンされることにより、容量111と、各画素21の容量121に1.2Vがチャージされる。その後、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、および、第4スイッチSW4がオフされ、第3スイッチSW3がオンされることで、基準電流源トランジスタ62のゲート電圧が-0.1Vに静定し、基準電流源トランジスタ62のドレイン電圧が1.1Vとなって、1.1Vの電圧を電圧供給線115を介して各画素21に供給する。各画素21の電流源トランジスタ51のゲートには、1.1Vに対して1.2Vの電位差となる-0.1Vの電圧が供給される。これにより、各画素21の電流源トランジスタ51には、基準電流源トランジスタ62の電流を反映した10nAの電流が流れる。
以上のように、図7のカレントミラー回路100Aは、容量111に1.2Vをチャージするとともに、容量111と基準電流源トランジスタ62のドレインとの間に接続された電圧供給線115を介して容量121にも1.2Vをチャージし、容量121から基準電流源トランジスタ62のゲートに所定の電位を供給するように構成されている。
図4のカレントミラー回路100では、基準電流生成回路の出力ノードが、基準電流源トランジスタ62のゲートのノードとされていたのに対して、図7のカレントミラー回路100Aでは、基準電流源トランジスタ62のドレインのノードとされている。これにより、出力インピーダンスを下げることができる。
<6.カレントミラー回路の第2変形例>
図9は、カレントミラー回路の第2変形例を示している。
図7のカレントミラー回路100Bは、各画素21で1.2Vをチャージし、ホールドする図7のカレントミラー回路100Aの変形例であり、ミラー先の電流源トランジスタ51の閾値電圧Vthばらつきによる電流誤差を含めてキャンセルする構成である。
この構成では、画素回路として、図9に示されるように、第1増幅トランジスタAMP1のソースと第2増幅トランジスタAMP2のゲートとの間に、スイッチトランジスタSWが追加される。そのため、図9の画素21には、リセットトランジスタRST、第1増幅トランジスタAMP1、および、スイッチトランジスタSWが図示されている。また、基準電流生成回路が配置される垂直走査回路12にも、構成を同一とするためのダミーとして、リセットトランジスタRST、第1増幅トランジスタAMP1、および、スイッチトランジスタSWが配置される。
図7のカレントミラー回路100Bは、垂直走査回路12に、基準電流生成回路として、定電流源61と、基準電流源トランジスタ62と、容量111と、第1スイッチSW1、第5スイッチSW5、および、第6スイッチSW6を有する。また、垂直走査回路12には、上述したようにダミーの画素回路として、リセットトランジスタRST、第1増幅トランジスタAMP1、および、スイッチトランジスタSWも構成されている。
垂直走査回路12の第1スイッチSW1の一端は、1.2V電源141と接続され、第1スイッチSW1の他端は、接続点144および145と、電圧供給線115に接続されている。接続点144は、第6スイッチSW6の一端と接続する接点であり、接続点145は、定電流源61と、容量111の一端と、電圧供給線115とを接続する接点である。第1スイッチSW1の他端は、電圧供給線115を介して、同一行の各画素21の容量121の一端とも接続されている。
垂直走査回路12の第5スイッチSW5は、接続点142と接続点143との間に接続されている。接続点142は、ダミーのスイッチトランジスタSWのソースと、第6スイッチSW6の他端と、基準電流源トランジスタ62のドレインとを接続する接点である。接続点143は、基準電流源トランジスタ62のゲートと、容量111の他端とを接続する接点である。
第6スイッチSW6は、接続点142と接続点144との間に配置されている。容量111は、接続点145と接続点143との間に接続されている。
各画素21に配置された第5スイッチSW5は、接続点151と接続点152との間に接続されている。接続点151は、容量121の他端と、電流源トランジスタ51のゲートとを接続する接点である。接続点152は、スイッチトランジスタSWのソース、第2増幅トランジスタAMP2のゲート、および、電流源トランジスタ51のドレインを接続する接点である。
各画素21の容量121は、接続点151と接続点153との間に配置されている。接続点153は、電圧供給線115と、容量121の一端とを接続する接点である。
図10のタイムチャートを参照しながら、図7のカレントミラー回路100Bの動作を説明する。図10のタイムチャートは、1水平同期期間(1XHS)の最初の所定期間に相当する。
1水平同期期間の最初の時刻t21に、リセットトランジスタRSTがオンに制御され、リセット動作が開始される。また、時刻t21から時刻t26までの期間、スイッチトランジスタSWのゲートに電圧Vmiddleが印加される。この電圧Vmiddleは、スイッチトランジスタSWの抵抗が十分高くなるような、0より大きい所定の値(例えば、0.5V)とされる。図10の右側のグラフに示されるように、スイッチトランジスタSWの抵抗が低抵抗である場合は、閾値電圧ずれを正確に補正できないためである。
また、時刻t21から時刻t22までの期間、第5スイッチSW5がオンに制御され、基準電流源トランジスタ62および電流源トランジスタ51がダイオード接続とされる。そして、時刻t21から時刻t23までの期間、第1スイッチSW1がオンに制御され、1.2V電源141から、1.2Vが、ミラー元の容量111とミラー先の容量121に供給され、トランジスタの閾値電圧Vthを差し引いた電圧ΔVが容量111および121にチャージされる。基準電流源トランジスタ62の閾値電圧をVth、同一行の所定の画素21の電流源トランジスタ51の閾値電圧をVth-a、同一行の他の所定の画素21’の電流源トランジスタ51の閾値電圧をVth+a’とし、ミラーされるドレイン電流を10nAとするための調整電圧ΔVthをγとすると、基準電流生成回路の容量111にチャージされる電圧ΔVは、ΔV=(1.2-Vth-γ)、所定の画素21の容量121にチャージされる電圧ΔVは、ΔV=(1.2-Vth+a-γ)、所定の画素21’の容量121にチャージされる電圧ΔVは、ΔV=(1.2-Vth-a’-γ)となる。
容量111および121へのチャージが完了した後、時刻t23に第1スイッチSW1がオフに制御され、時刻t24に第6スイッチSW6がオンに変更されて、基準電流源トランジスタ62がダイオード接続とされる。
時刻t25にリセットトランジスタRSTがオフに制御され、リセット動作が終了すると、時刻t26に、スイッチトランジスタSWのゲートに印加される電圧が、電圧Vmiddleから、スイッチトランジスタSWを無効化させる電圧(例えば3V)に変更される。そして、時刻t26以降、各画素21で通常の受光および読み出し動作が実行される。
<7.カレントミラー回路の第3変形例>
図11は、カレントミラー回路の第3変形例を示している。
図11のカレントミラー回路100Cは、サンプルホールド回路の一種であるボトムプレートサンプリング170を用いることにより、基準電流源トランジスタ62のゲートとドレインの間に電位差を設けた構成である。また、ボトムプレートサンプリング170は、低出力インピーダンスの回路であるので、出力インピーダンスを下げた構成となる。
ボトムプレートサンプリング170は、オペアンプ171と、容量(容量素子)172と、スイッチSW11ないしSW15とにより構成される。
図12は、ボトムプレートサンプリング170のサンプルホールド動作を説明するタイムチャートである。
時刻t31から時刻t34の期間、スイッチSW11がオンとされ、1.2Vがオペアンプ171の非反転入力端子(+)に供給される。
また、時刻t31から時刻t32の期間、スイッチSW13がオンとされ、1.2Vがサンプリング(容量172へチャージ)されると、時刻t31からオンとされたスイッチSW12が、時刻t33にオフされ、反対に、それまでオフとされていたスイッチSW14がオンされる。そして、時刻t34に、スイッチSW11がオフとされるとともに、スイッチSW15がオンとされることにより、ホールドされた電圧が、電圧供給線115から、各画素21の電流源トランジスタ51のゲートに供給される。
図13は、ボトムプレートサンプリング170のオペアンプ171の具体的回路構成例を示している。図13に示される回路規模であれば、垂直走査回路12内に行単位に十分に配置できる構成と言える。
<8.カレントミラー回路の第4変形例>
図14は、カレントミラー回路の第4変形例を示している。
図14のカレントミラー回路100Dは、図4のカレントミラー回路100の基準電流生成回路の出力ノードに、ボルテージフォロア181を追加することにより、出力インピーダンスを下げた構成である。すなわち、容量111と基準電流源トランジスタ62のゲートとの接続点112と、電圧供給線115との間に、ボルテージフォロア181が挿入されている。基準電流源トランジスタ62のゲートの電位が、ボルテージフォロア181を介して電圧供給線115に供給され、基準電流源トランジスタ62のゲートに供給される。
図14のカレントミラー回路100Dは、インピーダンス変換を行うためのバッファ回路としてボルテージフォロア181を用いた例であるが、その他のバッファ回路、例えば、プッシュプル回路等を用いてもよい。
図14のカレントミラー回路100Dの動作は、図5のタイムチャートを参照して説明した図4のカレントミラー回路100と同様であるので、説明は省略する。
<9.カレントミラー回路の第5変形例>
図15は、カレントミラー回路の第5変形例を示している。
図15のカレントミラー回路100Eは、垂直走査回路12内の基準電流生成回路の出力ノードの電圧をサンプルホールドするサンプルホールド回路201を、図7のカレントミラー回路100Aの回路構成に追加した構成とされている。サンプルホールド回路201は、サンプルホールドスイッチSHSWと、容量(容量素子)202とで構成される。
図16は、図8で示した図7のカレントミラー回路100Aのタイムチャートに、サンプルホールドスイッチSHSWの動作を追加したタイムチャートである。
図16に示されるように、図15のカレントミラー回路100Eにおいて、容量111と、各画素21の容量121に1.2Vをチャージし、第3スイッチSW3がオンされる時刻t3までの第1スイッチSW1ないし第4スイッチSW4の動作は、図7のカレントミラー回路100Aと同様である。
また、時刻t3までの期間、サンプルホールドスイッチSHSWもオンされており、サンプルホールド回路201の容量202にも、基準電流源トランジスタ62のドレインと同じ電圧(1.1V)がチャージされる。
そして、時刻t3から所定期間経過後の時刻t31において、サンプルホールドスイッチSHSWがオフされることにより、サンプルホールド回路201が、垂直走査回路12内の基準電流生成回路と切り離される。時刻t31以上、サンプルホールド回路201の容量202が、基準電流源トランジスタ62のドレインと同じ電圧(1.1V)を保持することで、電流源トランジスタ51には、基準電流源トランジスタ62の電流を反映した10nAの電流が流れる。
サンプルホールド回路201を設けたことにより、垂直走査回路12内の基準電流生成回路と切り離すことができ、垂直走査回路12側のノイズの伝搬を防止することができ、ノイズ耐性を向上させることができる。
図15のカレントミラー回路100Eは、サンプルホールド回路201を、図7のカレントミラー回路100Aの構成に追加した回路構成であるが、上述したカレントミラー回路100Bないし100Dの構成にも同様に追加することができる。換言すれば、出力ノードがインピーダンス変換されたカレントミラー回路100Aないし100Dの構成であれば、サンプルホールド回路201を追加することができる。
<10.イメージセンサの使用例>
図17は、上述の固体撮像装置1を用いたイメージセンサの使用例を示す図である。
上述の固体撮像装置1を用いたイメージセンサは、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
<11.電子機器への適用例>
本開示の技術は、固体撮像装置への適用に限られるものではない。即ち、本開示の技術は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に固体撮像装置を用いる複写機など、画像取込部(光電変換素子)に固体撮像装置を用いる電子機器全般に対して適用可能である。固体撮像装置は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
図18は、本開示の技術を適用した電子機器としての、撮像装置の構成例を示すブロック図である。
図18の撮像装置300は、レンズ群などからなる光学部301、図1の固体撮像装置1の構成が採用される固体撮像装置(撮像デバイス)302、およびカメラ信号処理回路であるDSP(Digital Signal Processor)回路303を備える。また、撮像装置300は、フレームメモリ304、表示部305、記録部306、操作部307、および電源部308も備える。DSP回路303、フレームメモリ304、表示部305、記録部306、操作部307および電源部308は、バスライン309を介して相互に接続されている。
光学部301は、被写体からの入射光(像光)を取り込んで固体撮像装置302の撮像面上に結像する。固体撮像装置302は、光学部301によって撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。この固体撮像装置302として、図1の固体撮像装置1、即ち、画素アレイ部に行列状に配列された各画素の画素内にDC電流を流すアンプを搭載した画素回路を有し、低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路によりアンプの電流源を構成した固体撮像装置を用いることができる。
表示部305は、例えば、LCD(Liquid Crystal Display)や有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ等の薄型ディスプレイで構成され、固体撮像装置302で撮像された動画または静止画を表示する。記録部306は、固体撮像装置302で撮像された動画または静止画を、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録する。
操作部307は、ユーザによる操作の下に、撮像装置300が持つ様々な機能について操作指令を発する。電源部308は、DSP回路303、フレームメモリ304、表示部305、記録部306および操作部307の動作電源となる各種の電源を、これら供給対象に対して適宜供給する。
上述したように、固体撮像装置302として、上述した固体撮像装置1を用いることで、低閾値電圧のトランジスタを用いたカレントミラー回路において、画素内の電流源が所望の電流を正確にミラーさせることができる。これにより、ビデオカメラやデジタルスチルカメラ、さらには携帯電話機等のモバイル機器向けカメラモジュールなどの撮像装置300においても、撮像画像の高画質化を図ることができる。
<12.移動体への応用例>
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図19は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図19に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図19の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
図20は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
図20では、車両12100は、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。撮像部12101及び12105で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図20には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。具体的には、撮像部12031として、上述した固体撮像装置1を適用することができる。撮像部12031に本開示に係る技術を適用することにより、小型化しつつも、より見やすい撮影画像を得ることができたり、距離情報を取得することができる。また、得られた撮影画像や距離情報を用いて、ドライバの疲労を軽減したり、ドライバや車両の安全度を高めることが可能になる。
本開示に係る実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
また、本開示に係る技術は、図2で説明した画素回路のように、DC電流を流すアンプ(第1増幅トランジスタAMP1)と、その電流源(電流源トランジスタ51)を各画素に備え、画素アレイ部全体の消費電流を抑制するため、画素内の電流源トランジスタとして低閾値のトランジスタを用いた固体撮像装置全般に適用することができる。例えば、特許文献1に開示されたような、光電変換膜としてInGaAsなどの化合物半導体を用いたイメージセンサに適用することができる。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、本明細書に記載されたもの以外の効果があってもよい。
なお、本開示に係る技術は、以下の構成を取ることができる。
(1)
光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、
前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタと
を少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、
カレントミラー回路と
を備え、
前記カレントミラー回路は、
定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、
前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、
複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタと
を含み構成される
固体撮像装置。
(2)
前記電流源トランジスタおよび前記基準電流源トランジスタは、低閾値電圧のトランジスタで構成される
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記カレントミラー回路は、
前記第1の容量に所定の電圧をチャージし、前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を、前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
前記(1)または(2)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記カレントミラー回路は、
前記基準電流源トランジスタのゲートと前記第1の容量との間に接続された電圧供給線を介して、所定の電位を前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(5)
前記カレントミラー回路は、
前記基準電流源トランジスタのドレインと前記第1の容量との間に接続された電圧供給線を介して、所定の電位を前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(6)
前記画素は、前記電圧供給線と前記電流源トランジスタのゲートとの間に第2の容量をさらに備え、
前記カレントミラー回路は、前記第1の容量および前記第2の容量に所定の電圧をチャージし、前記第2の容量から前記電流源トランジスタのゲートに前記所定の電位を供給するように構成された
前記(5)に記載の固体撮像装置。
(7)
前記カレントミラー回路は、前記第1の容量および前記第2の容量に所定の電圧をチャージする際、前記第2の容量をグランドに接続するスイッチを有する
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(8)
前記カレントミラー回路は、前記第1の容量および前記第2の容量に所定の電圧をチャージする際、前記電流源トランジスタのゲートとドレインを接続するスイッチを有する
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(9)
前記カレントミラー回路は、前記第2の容量に、前記電流源トランジスタの閾値電圧を差し引いた電圧をチャージするように構成された
前記(8)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記第1の容量として、ボトムプレートサンプリングを備える
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(11)
前記カレントミラー回路は、バッファ回路をさらに備え、
前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を前記バッファ回路を介して電圧供給線に供給し、前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
前記(1)乃至(10)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(12)
前記バッファ回路は、ボルテージフォロアである
前記(11)に記載の固体撮像装置。
(13)
前記基準電流源トランジスタと前記第1の容量とを含む基準電流生成回路からの所定の電圧をサンプルホールドするサンプルホールド回路をさらに備える
前記(1)乃至(12)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(14)
光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、
前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタと
を少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、
カレントミラー回路と
を備え、
前記カレントミラー回路は、
定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、
前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、
複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタと
を含み構成される固体撮像装置の、
前記カレントミラー回路が、前記第1の容量に所定の電圧をチャージした後、前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を、前記電流源トランジスタのゲートに供給する
固体撮像装置の駆動方法。
(15)
光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、
前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタと
を少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、
カレントミラー回路と
を備え、
前記カレントミラー回路は、
定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、
前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、
複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタと
を含み構成される
固体撮像装置
を備える電子機器。
1:固体撮像装置,12:垂直走査回路,13:画素アレイ部,21,21':画素,51:電流源トランジスタ,61:定電流源,62:基準電流源トランジスタ,100:カレントミラー回路,100A:カレントミラー回路,100B:カレントミラー回路,100C:カレントミラー回路,100D:カレントミラー回路,100E:カレントミラー回路,111:容量,115:電圧供給線,121:容量,170:ボトムプレートサンプリング,181:ボルテージフォロア,201:サンプルホールド回路,202:容量,300:撮像装置,302:固体撮像装置

Claims (15)

  1. 光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、
    前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタと
    を少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、
    カレントミラー回路と
    を備え、
    前記カレントミラー回路は、
    定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、
    前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、
    複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタと
    を含み構成される
    固体撮像装置。
  2. 前記電流源トランジスタおよび前記基準電流源トランジスタは、低閾値電圧のトランジスタで構成される
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記カレントミラー回路は、
    前記第1の容量に所定の電圧をチャージし、前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を、前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  4. 前記カレントミラー回路は、
    前記基準電流源トランジスタのゲートと前記第1の容量との間に接続された電圧供給線を介して、所定の電位を前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  5. 前記カレントミラー回路は、
    前記基準電流源トランジスタのドレインと前記第1の容量との間に接続された電圧供給線を介して、所定の電位を前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  6. 前記画素は、前記電圧供給線と前記電流源トランジスタのゲートとの間に第2の容量をさらに備え、
    前記カレントミラー回路は、前記第1の容量および前記第2の容量に所定の電圧をチャージし、前記第2の容量から前記電流源トランジスタのゲートに前記所定の電位を供給するように構成された
    請求項5に記載の固体撮像装置。
  7. 前記カレントミラー回路は、前記第1の容量および前記第2の容量に所定の電圧をチャージする際、前記第2の容量をグランドに接続するスイッチを有する
    請求項6に記載の固体撮像装置。
  8. 前記カレントミラー回路は、前記第1の容量および前記第2の容量に所定の電圧をチャージする際、前記電流源トランジスタのゲートとドレインを接続するスイッチを有する
    請求項6に記載の固体撮像装置。
  9. 前記カレントミラー回路は、前記第2の容量に、前記電流源トランジスタの閾値電圧を差し引いた電圧をチャージするように構成された
    請求項8に記載の固体撮像装置。
  10. 前記第1の容量として、ボトムプレートサンプリングを備える
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  11. 前記カレントミラー回路は、バッファ回路をさらに備え、
    前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を前記バッファ回路を介して電圧供給線に供給し、前記電流源トランジスタのゲートに供給するように構成された
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  12. 前記バッファ回路は、ボルテージフォロアである
    請求項11に記載の固体撮像装置。
  13. 前記基準電流源トランジスタと前記第1の容量とを含む基準電流生成回路からの所定の電圧をサンプルホールドするサンプルホールド回路をさらに備える
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  14. 光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、
    前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタと
    を少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、
    カレントミラー回路と
    を備え、
    前記カレントミラー回路は、
    定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、
    前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、
    複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタと
    を含み構成される固体撮像装置の、
    前記カレントミラー回路が、前記第1の容量に所定の電圧をチャージした後、前記基準電流源トランジスタのゲートまたはドレインの電位を、前記電流源トランジスタのゲートに供給する
    固体撮像装置の駆動方法。
  15. 光電変換素子で生成された電荷に応じた信号を増幅する増幅トランジスタと、
    前記増幅トランジスタに所定の基準電流を供給する電流源トランジスタと
    を少なくとも備える画素が行列状に複数配列された画素アレイ部と、
    カレントミラー回路と
    を備え、
    前記カレントミラー回路は、
    定電流源からの前記基準電流が入力される基準電流源トランジスタと、
    前記基準電流源トランジスタのゲートとドレインとの間に接続される第1の容量と、
    複数の前記画素それぞれに配置された前記電流源トランジスタと
    を含み構成される
    固体撮像装置
    を備える電子機器。
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