JP2022154444A - めっき装置及び太陽電池パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、従来に比べて被めっき体に加わる負荷を低減できるめっき装置及び従来に比べて歩留まりが向上する太陽電池パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】導電部を有する被めっき面を備えた被めっき体をめっき液内に浸漬させ、導電部に電圧を印加することで導電部上にめっき層を積層させるものであり、少なくとも２つの線状給電部を有し、２つの線状給電部を被めっき面の形状に追従させて、線状給電部の少なくとも一部を導電部に線接触させ、導電部に給電可能である構成とする。
【選択図】図７

Description

本発明は、めっき装置及び太陽電池パネルの製造方法に関する。

従来から、結晶シリコンを光電変換基板に使用した結晶型の太陽電池パネルが知られている（例えば、特許文献１）。
特許文献１の太陽電池パネルは、光電変換基板の一方の主面にｐ側電極及び表面集電極がこの順に積層され、他方の主面にｎ側電極及び裏面集電極がこの順に積層された構造となっている。

ところで、近年、材料コストを低減するべく、太陽電池パネルの集電極をめっき層で形成する方法が提案されている（例えば、特許文献２）。
例えば、特許文献２では、ｐ側電極上及びｎ型電極上に集電極の形状に合わせて金属シード層を形成した太陽電池基板を使用し、電解めっき法で太陽電池基板の金属シード層上にめっき層を形成することでｐ側電極上及びｎ型電極上に集電極を形成することを提案している。
特許文献２では、めっき層の形成において、第１支持部材と、第２支持部材と、めっき浴を有しためっき装置を使用し、めっき浴のめっき液内で第１支持部材の給電ピンと第２支持部材の給電ピンで太陽電池基板を挟み、給電ピンを介して太陽電池基板の金属シード層に通電することで、シード層上にめっき層を形成している。

特開２０１９－１４５５３３号公報 特開２０１８－９３０３４号公報

ところで、特許文献２のめっき装置は、給電ピンと太陽電池基板との接触部分にめっき層が付着することを防止するべく、太陽電池基板への給電をピンで形成し、第１支持部材の給電ピンと第２支持部材の給電ピンがそれぞれ同じ位置で点接触している。
しかしながら、太陽電池基板は、厚みが極めて薄いため、特許文献２のめっき装置を使用すると、給電ピンから太陽電池基板に局所的な負荷が加わり、まれに太陽電池基板が割れてしまう事態が生じており、改良の余地があった。

そこで、本発明は、従来に比べて、被めっき体に加わる負荷を低減できるめっき装置及び従来に比べて歩留まりが向上する太陽電池パネルの製造方法を提供することを目的とする。

上記した課題を解決するための本発明の一つの様相は、導電部を有する被めっき面を備えた被めっき体をめっき液内に浸漬させ、前記導電部に電圧を印加することで前記導電部上にめっき層を積層させるめっき装置であって、少なくとも２つの線状給電部を有し、前記２つの線状給電部を前記被めっき面の形状に追従させて、前記線状給電部の少なくとも一部を前記導電部に線接触させ、前記導電部に給電可能である、めっき装置である。

本様相によれば、線状給電部が線接触することで被めっき体の導電部に給電可能であるため、従来に比べて被めっき体に加わる負荷を緩和でき、被めっき体に加わる負荷を低減できる。

好ましい様相は、前記２つの線状給電部の間隔は、０．０１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。

本様相によれば、２つの線状給電部の間の部分にめっき液を行き渡らせつつ、被めっき体への局所的な負荷を緩和できる。

好ましい様相は、前記線状給電部は、難めっき材料で構成されていることである。

本様相によれば、めっき層を形成した後に、線状給電部の表面に形成されためっき層を線状給電部から剥がしやすい。

より好ましい様相は、前記線状給電部は、ニオブ、炭素、アルミニウム、チタンからなる群から選ばれる少なくとも１種以上の金属又は合金で構成されていることである。

好ましい様相は、前記被めっき面は、絶縁部を有し、前記２つの線状給電部のうち、一方の線状給電部は前記導電部と接触し、他方の線状給電部は前記絶縁部に接触することである。

本様相によれば、２つの線状給電部が導電部と絶縁部に跨って設けられ、２つの線状給電部が絶縁部と導電部との間の段差に追随し、絶縁部の厚みを吸収するので、より確実に一方の線状給電部を導電部に接触させることができる。

好ましい様相は、前記２つの線状給電部は、前記被めっき面の形状に合わせて弾性変形し、その復元力によって前記被めっき面を押圧することである。

本様相によれば、より確実に導電部に線状給電部を接触させることができる。

好ましい様相は、前記２つの線状給電部は、前記被めっき面への押圧方向とは反対側に空間があり、前記２つの線状給電部は、前記被めっき体を取り付けたときに、前記被めっき面の形状に合わせて前記空間側に移動することである。

本様相によれば、被めっき体からの抗力の一部が空間側に逃げるため、過剰な負荷が被めっき体に加わりにくい。

好ましい様相は、断面の外郭形状が円形の線状体を有し、前記線状給電部は、前記線状体で構成されており、前記導電部に給電する際には、前記線状体の側面を前記導電部に線接触させて給電することである。

本様相によれば、導電部に対して線接触させやすい。

より好ましい様相は、前記線状体が螺旋状に巻かれた導電体を有し、前記２つの線状給電部は、前記導電体の側面の一部によって構成されていることである。

本様相によれば、より簡単に被めっき面の形状に２つの線状給電部を追従させることができる。

好ましい様相は、複数の線状給電部を有し、前記複数の線状給電部には、第１線状給電部と、第２線状給電部があり、前記被めっき体は、板状であって、前記被めっき面を有する第１主面と、第２主面を有し、第１ホルダーと、第２ホルダーを有しためっき用治具を有し、前記第１ホルダーは、前記第１線状給電部を有した第１給電部材を有し、前記第２ホルダーは、前記第２線状給電部を有した第２給電部材を有し、前記めっき用治具は、前記第１給電部材の前記第１線状給電部を前記第１主面に接触させ、前記第２給電部材の前記第２線状給電部を前記第２主面に接触させることで、前記被めっき体を保持することである。

本様相によれば、線状給電部を被めっき体の保持に使用しているため、別途被めっき体を支持する部材が必要なく、被めっき体のより広範囲をめっき液に漬けることができる。

好ましい様相は、前記第１線状給電部の前記第１主面との接触部分は、平面視したときに、前記第２線状給電部の前記第２主面との接触部分と重なっていないことである。

本様相によれば、被めっき体に第１線状給電部と第２線状給電部による局所的な集中荷重が加わりにくい。

好ましい様相は、前記第１線状給電部の前記第１主面との接触部分の延び方向と、前記第２線状給電部の前記第２主面との接触部分の延び方向は、前記第１主面を平面視したときに、互いに交差することである。

本様相によれば、より安定して被めっき体を保持することができる。

本発明の一つの様相は、上記のめっき装置を使用して太陽電池基板に集電極を形成する太陽電池パネルの製造方法であって、前記太陽電池基板は、第１電極層と、第２電極層と、前記第１電極層と前記第２電極層に挟まれた光電変換部を有し、前記光電変換部を基準として前記第１電極層の外側に絶縁層が積層されており、前記絶縁層は、開口部を有し、前記開口部から前記第１電極層の一部又は前記第１電極層上に積層された下地層が露出しており、前記めっき液に前記太陽電池基板を浸漬させ、前記線状給電部の少なくとも一部を前記第１電極層又は前記下地層に接触させて給電し、前記第１電極層上又は前記下地層上にめっき層を形成するめっき工程を含む、太陽電池パネルの製造方法である。

本様相によれば、従来に比べて太陽電池基板に加わる負荷を低減できるので、太陽電池基板が破損しにくく、歩留まりを向上できる。

本発明のめっき装置によれば、従来に比べて被めっき体に加わる負荷を低減できる。
本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、従来に比べて歩留まりを向上できる。

本発明の第１実施形態のめっき装置の概念図である。 図１のめっき用治具の分解斜視図である。 図２の第１給電部材及び第２給電部材の説明図であり、（ａ）は第１給電部材の分解斜視図であり、（ｂ）は第２給電部材の分解斜視図である。 図２の第１給電部材の説明図であり、（ａ）は第１給電部材の断面図であり、（ｂ）は（ａ）の第１給電部材の要部の拡大図である。 図１の被めっき基板の説明図であり、（ａ）は被めっき基板の正面図であり、（ｂ）は被めっき基板の背面図であり、（ｃ）は（ａ）のＡ－Ａ断面図である。 本発明の第１実施形態の太陽電池パネルの説明図であり、（ａ）は太陽電池パネルの正面図であり、（ｂ）は太陽電池パネルの背面図であり、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ断面図である。 図２のめっき用治具で被めっき基板を保持した状態の説明図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は（ａ）とは直交する断面図である。 図２のめっき用治具の第１弾性給電部と第２弾性給電部の位置関係を表す説明図であり、（ａ）は第１弾性給電部と被めっき基板、第２弾性給電部と被めっき基板のそれぞれの接触位置を表す正面図であり、（ｂ）は第１弾性給電部と被めっき基板、第２弾性給電部と被めっき基板のそれぞれの接触位置を表す断面図である。 本発明の他の実施形態の被めっき基板及び太陽電池パネルの説明図であり、（ａ）は被めっき基板の断面図であり、（ｂ）は太陽電池パネルの断面図である。 本発明の他の実施形態の第１給電部材の説明図であり、（ａ）は被めっき基板に接触していない無負荷状態の斜視図であり、（ｂ）は被めっき基板に接触した状態の斜視図である。

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。

本発明の第１実施形態のめっき装置１は、電解めっきによって、被めっき基板１００（被めっき体）にめっき層１０５，１０６を形成する電解めっき装置である。
本実施形態のめっき装置１は、太陽電池パネル１５０の製造に使用されるものであり、被めっき基板１００として太陽電池基板を使用し、被めっき基板１００の被めっき面たる両主面１０１，１０２にめっき層１０５，１０６を形成する際に使用されるものである。

めっき装置１は、図１のように、主に、めっき用治具２と、めっき浴３と、めっき電極５，６と、電源装置７を備えている。

めっき用治具２は、図１，図２のように、一対の基板ホルダー１０，１１を備えており、基板ホルダー１０，１１で被めっき基板１００を挟んで被めっき基板１００を保持するものである。

第１基板ホルダー１０（第１ホルダー）は、図２のように、本体フレーム１５と、桟フレーム１６～１８と、複数の第１給電部材２０と、第１嵌合部２１を備えている。
本体フレーム１５は、被めっき基板１００と相似形状の開口部２２を有する額縁状のフレームである。本体フレーム１５は、四角形状の開口部２２を有しており、開口部２２の周囲に、縦方向に延びる縦フレーム２５，２６と、横方向に延びる横フレーム２７，２８を有している。

桟フレーム１６～１８は、開口部２２を縦断し、上側の横フレーム２７（上フレーム）と下側の横フレーム２８（下フレーム）を接続するフレームである。
桟フレーム１６～１８は、被めっき基板１００を基準として、横フレーム２７，２８の外側で横フレーム２７，２８に対して立体交差しており、桟フレーム１６～１８の内側には空間が形成されている。

第１給電部材２０は、電源装置７と電気的に接続され、被めっき基板１００に対して電圧を印加する部材である。
第１給電部材２０は、図３（ａ）のように、第１ケース部３０と、第１弾性給電部３１を有しており、第１弾性給電部３１が第１ケース部３０の内外に亘って設けられている。
第１ケース部３０は、保持孔３３ａ，３３ｂを介して内外が連通した箱状ケースであり、内部に第１弾性給電部３１を固定する固定部３２を有している。

第１弾性給電部３１は、被めっき基板１００の第１主面１０１に接触し、被めっき基板１００に給電する部位である。
第１弾性給電部３１は、図４のように、断面の外郭形状が円形状の線状体が螺旋状に巻かれた導電体であり、自然状態において図３のように螺旋軸Ｃ１が円環状に連続している。すなわち、第１弾性給電部３１は、図４のように、平面視したときに第１ケース部３０から円弧状に延びて露出した第１給電領域３５を有している。
第１給電領域３５は、被めっき基板１００と接触し、被めっき基板１００に給電する領域である。第１給電領域３５は、図４のように螺旋軸Ｃ１の内側（第１ケース部３０側）に空間が形成されており、螺旋軸Ｃ１に対して交差する方向への移動が許容されている。

第１給電領域３５は、図４のように、複数の第１線状給電部３６が形成されている。
第１線状給電部３６は、被めっき基板１００を取り付けたときに、側面が被めっき基板１００の第１主面１０１に線接触する部位である。

第１弾性給電部３１は、具体的にはコイルばねであり、螺旋軸Ｃ１方向において、弾性変形可能となっており、各第１線状給電部３６が螺旋軸Ｃ１に対する直交方向に移動可能となっている。
第１弾性給電部３１は、線状体の外径が５．０ｍｍ以上２０．０ｍｍ以下であることが好ましい。
第１弾性給電部３１は、ピッチ（隣接する第１線状給電部３６，３６間の間隔）が０．０１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であることが好ましい。

第１弾性給電部３１は、導電性を有した難めっき材料で構成されており、ニオブ、炭素、アルミニウム、チタンからなる群から選ばれる少なくとも１種以上の金属又は合金で構成されていることが好ましい。

第１嵌合部２１は、図２のように、第２基板ホルダー１１の第２嵌合部６１と嵌合可能な部位であり、本実施形態では本体フレーム１５から窪んだ凹部である。

第２基板ホルダー１１（第２ホルダー）は、図２のように、第１基板ホルダー１０と対をなす部材であり、本体フレーム５５と、桟フレーム５６～５８と、複数の第２給電部材６０と、第２嵌合部６１を備えている。
本体フレーム５５は、被めっき基板１００と相似形状の開口部６２を有する額縁状のフレームである。本体フレーム５５は、四角形状の開口部６２を有しており、開口部６２の周囲に、縦方向に延びる縦フレーム６５，６６と、横方向に延びる横フレーム６７，６８を有している。

桟フレーム５６～５８は、開口部６２を縦断し、上側の横フレーム６７（上フレーム）と下側の横フレーム６８（下フレーム）を接続するフレームである。
桟フレーム５６～５８は、被めっき基板１００を基準として、横フレーム６７，６８に対して立体交差しており、桟フレーム５６～５８の内側には空間が形成されている。

第２給電部材６０は、電源装置７と電気的に接続され、被めっき基板１００に対して電圧を印加する部材である。
第２給電部材６０は、第１給電部材２０とともに被めっき基板１００を挟んで保持する保持部材でもある。
第２給電部材６０は、第２ケース部７０と、第２弾性給電部７１を有しており、第２弾性給電部７１が第２ケース部７０の内外に亘って設けられている。
第２ケース部７０は、図３（ｂ）のように、保持孔７３ａ，７３ｂを介して内外が連通した箱状ケースであり、内部に第２弾性給電部７１を固定する固定部７２を有している。

第２弾性給電部７１は、被めっき基板１００に接触し、被めっき基板１００に給電する部位である。
第２弾性給電部７１は、断面の外郭形状が円形状の線状体が螺旋状に巻かれた導電体であり、螺旋軸Ｃ２が円環状に連続している。すなわち、第２弾性給電部７１は、平面視したときに第２ケース部７０から円弧状に延びて露出した第２給電領域７５を有している。
第２給電領域７５は、螺旋軸Ｃ２の内側に空間が形成されており、螺旋軸Ｃ２に対して交差する方向への移動が許容されている。
第２給電領域７５は、複数の第２線状給電部７６が形成されている。
第２線状給電部７６は、被めっき基板１００を取り付けたときに、側面が被めっき基板１００の第２主面１０２に線接触する部位である。

第２弾性給電部７１は、具体的にはコイルばねであり、螺旋軸Ｃ２方向において、弾性変形可能となっており、各第２線状給電部７６が螺旋軸Ｃ２に対する直交方向に移動可能となっている。
第２弾性給電部７１は、線状体の外径が５．０ｍｍ以上２０．０ｍｍ以下であることが好ましい。
第２弾性給電部７１は、ピッチ（隣接する第２線状給電部７６，７６間の間隔）が０．０１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であることが好ましい。

第２弾性給電部７１は、導電性を有した難めっき材料で構成されており、ニオブ、炭素、アルミニウム、チタンからなる群から選ばれる少なくとも１種以上の金属又は合金で構成されていることが好ましい。

第２嵌合部６１は、図２のように、第１基板ホルダー１０の第１嵌合部２１と嵌合可能な部位であり、本実施形態は本体フレーム５５から突出した凸部である。

被めっき基板１００は、めっき装置１によってめっき層１０５，１０６が形成される基板である。本実施形態の被めっき基板１００は、図５のように、光電変換部１１０を有した太陽電池基板であり、第１主面１０１と、第２主面１０２を有する板状基板である。
被めっき基板１００は、図５（ｃ）のように、第１主面１０１側において光電変換部１１０上に第１電極層１１１と、第１下地層１１２（導電部）と、第１絶縁層１１３（絶縁部）を有しており、第２主面１０２側において光電変換部１１０上に第２電極層１１５と、第２下地層１１６（導電部）と、第２絶縁層１１７（絶縁部）を有している。

光電変換部１１０は、ＰＮ接合を有し、光エネルギーを電気エネルギーに変換する部位であり、半導体基板上に半導体層が形成されたものである。

第１電極層１１１は、第２電極層１１５と対をなし、第２電極層１１５とともに光電変換部１１０で光電変換された電気エネルギーを取り出す電極である。
第１電極層１１１は、透明性と導電性を有する透明導電層であり、具体的には、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）やタングステンドープ酸化インジウム（ＩＷＯ）などの透明導電性酸化物で構成された透明導電性酸化物層である。
第１電極層１１１は、第１主面１０１を平面視したときに光電変換部１１０の８０％以上の範囲に形成されていることが好ましく、９５％以上の範囲に形成されていることがより好ましく、全面に形成されていることがさらに好ましい。

第１下地層１１２は、第１電極層１１１よりも高い導電率を有し、第１めっき層１０５の下地となる層である。
第１下地層１１２は、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば、銅、銀、ニッケル、スズ、アルミニウムなどの金属又はこれらの金属合金を使用できる。

第１下地層１１２は、図５（ａ）のように、所定の形状（櫛歯状）にパターニングされ、第１電極層１１１上に部分的に形成されている。すなわち、被めっき基板１００は、第１下地層１１２が形成された第１下地層形成領域１２２と、第１下地層１１２が形成されていない第１下地層非形成領域１２３を有している。

第１絶縁層１１３は、絶縁性とめっき液に対する化学的安定性を有する層であり、電解めっきによって第１めっき層１０５を製膜する際に光電変換部１１０や第１電極層１１１をめっき液から保護する保護層である。
第１絶縁層１１３は、絶縁性とめっき液に対する化学的安定性を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ノボラック樹脂やフェノール樹脂などのポジ型のフォトレジスト材料や、アクリル樹脂などのネガ型のフォトレジスト材料、酸化シリコン、酸化マグネシウムや酸化銅、酸化ニオブなどの無機材料が使用できる。

第１絶縁層１１３は、図５（ｃ）のように、第１電極層１１１上に積層されており、第１下地層形成領域１２２の形状に沿って開口部１１８が形成され、開口部１１８から第１下地層１１２が露出している。すなわち、被めっき基板１００の第１主面１０１は、第１露出領域１２０と、第１被覆領域１２１がある。

第１露出領域１２０は、めっき時において、第１絶縁層１１３から第１下地層１１２が露出して第１下地層１１２上に第１めっき層１０５が形成されるめっき領域である。
第１被覆領域１２１は、めっき時において、第１絶縁層１１３に第１電極層１１１が覆われて第１電極層１１１上に第１めっき層１０５が形成されない非めっき領域である。

第２電極層１１５は、透明性と導電性を有する透明導電層であり、具体的には、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）やタングステンドープ酸化インジウム（ＩＷＯ）などの透明導電性酸化物で構成された透明導電性酸化物層である。
第２電極層１１５は、第１主面１０１（第２主面１０２）を平面視したときに光電変換部１１０の８０％以上の範囲に形成されていることが好ましく、９５％以上の範囲に形成されていることがより好ましく、全面に形成されていることがさらに好ましい。

第２下地層１１６は、第２電極層１１５よりも高い導電率を有し、第２めっき層１０６の下地となる層である。
第２下地層１１６は、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば、銅、銀、ニッケル、スズ、アルミニウムなどの金属又はこれらの金属合金を使用できる。

第２下地層１１６は、図５（ｂ）のように、所定の形状（櫛歯状）にパターニングされ、第２電極層１１５上に部分的に形成されている。すなわち、被めっき基板１００は、第２下地層１１６が形成された第２下地層形成領域１３２と、第２下地層１１６が形成されていない第２下地層非形成領域１３３を有している。

第２絶縁層１１７は、絶縁性とめっき液に対する化学的安定性を有する層であり、電解めっきによって第２めっき層１０６を製膜する際に光電変換部１１０や第２電極層１１５をめっき液から保護する保護層である。
第２絶縁層１１７は、絶縁性とめっき液に対する化学的安定性を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ノボラック樹脂やフェノール樹脂などのポジ型のフォトレジスト材料や、アクリル樹脂などのネガ型のフォトレジスト材料、酸化シリコン、酸化マグネシウムや酸化銅、酸化ニオブなどの無機材料が使用できる。

第２絶縁層１１７は、第２電極層１１５上に積層されており、第２下地層形成領域１３２の形状に沿って開口部１２８が形成され、開口部１２８から第２下地層１１６が露出している。すなわち、被めっき基板１００の第２主面１０２は、第２露出領域１３０と、第２被覆領域１３１がある。
第２露出領域１３０は、めっき時において、第２絶縁層１１７から第２下地層１１６が露出して第２下地層１１６上に第２めっき層１０６が形成されるめっき領域である。
第２被覆領域１３１は、めっき時において、第２絶縁層１１７に第２電極層１１５が覆われて第２電極層１１５上に第２めっき層１０６が形成されない非めっき領域である。

続いて、本実施形態のめっき装置１を使用して好適に製造される太陽電池パネル１５０について説明する。

太陽電池パネル１５０は、図６のように、第１主面１５１と、第２主面１５２を有する板状パネルである。
太陽電池パネル１５０は、図６（ｃ）のように、第１主面１５１側において光電変換部１１０上に第１電極層１１１と、第１下地層１１２と、第１めっき層１０５を有しており、第２主面１５２側において光電変換部１１０上に第２電極層１１５と、第２下地層１１６と、第２めっき層１０６を有している。

太陽電池パネル１５０は、図６（ａ）のように第１主面１５１に第１集電極１６０が形成されており、図６（ｂ）のように第２主面１５２に第２集電極１６１が形成されている。

第１集電極１６０は、櫛歯状であり、図６（ａ）のように第１バスバー電極部１５５と第１フィンガー電極部１５６で構成されている。

第１バスバー電極部１５５は、タブ線等の外部配線を接続する部位である。
第１バスバー電極部１５５は、図６（ａ）のように所定の方向に延びており、図６（ｃ）のように第１下地層１１２と第１めっき層１０５によって構成されている。
第１フィンガー電極部１５６は、図６（ａ）のように第１バスバー電極部１５５の延び方向に対する交差方向（本実施形態では直交方向）に延びており、第１下地層１１２と第１めっき層１０５によって構成されている。
第１フィンガー電極部１５６の幅は、図６（ａ）のように第１バスバー電極部１５５の幅よりも小さい。

第２集電極１６１は、櫛歯状であり、図６（ｂ）のように第２バスバー電極部１５７と第２フィンガー電極部１５８で構成されている。
第２バスバー電極部１５７は、タブ線等の外部配線を接続する部位である。
第２バスバー電極部１５７は、図６（ｂ）のように所定の方向に延びており、第２下地層１１６と第２めっき層１０６によって構成されている。
第２フィンガー電極部１５８は、第２バスバー電極部１５７の延び方向に対する交差方向（本実施形態では直交方向）に延びており、第２下地層１１６と第２めっき層１０６によって構成されている。
第２フィンガー電極部１５８の幅は、第２バスバー電極部１５７の幅よりも小さい。

続いて、被めっき基板１００を取り付けたときの本実施形態のめっき用治具２の各部位の位置関係について説明する。

めっき用治具２は、図１のように、第１基板ホルダー１０と第２基板ホルダー１１が被めっき基板１００を厚み方向に挟んで対向しており、第１給電部材２０と第２給電部材６０によって被めっき基板を保持している。
第１基板ホルダー１０の第１弾性給電部３１は、図７（ａ）のように、側面が第１主面１０１と接触しており、被めっき基板１００の第１絶縁層１１３と第１下地層１１２に跨って接触している。
第１弾性給電部３１の第１線状給電部３６には、第１下地層１１２と線接触する部分と第１下地側線状給電部３６ａと、第１絶縁層１１３と線接触する第１絶縁側線状給電部３６ｂがある。
各第１線状給電部３６は、図７（ａ）のように、それぞれ被めっき基板１００の第１主面１０１の形状に追従しており、被めっき基板１００の第１絶縁層１１３の厚みによる段差が吸収されている。すなわち、被めっき基板１００の第１主面１０１と接触する各第１線状給電部３６は、第１主面１０１の形状に合わせて第１主面１０１への押圧方向とは反対側に空間があって当該空間に向かって弾性変形しており、その復元力によって被めっき基板１００の第１主面１０１を押圧している。
第１下地側線状給電部３６ａの第１下地層１１２との接触部分は、光電変換部１１０を基準として、第１絶縁側線状給電部３６ｂの第１絶縁層１１３との接触部分よりも内側に位置している。

第２基板ホルダー１１の第２弾性給電部７１は、側面が第２主面１０２と接触しており、被めっき基板１００の第２絶縁層１１７と第２下地層１１６に跨って接触している。
第２下地層１１６と第２絶縁層１１７の境界部分に跨る第２弾性給電部７１の第２線状給電部７６には、第２下地層１１６と線接触する部分と、第２絶縁層１１７と線接触する部分がある。
各第２線状給電部７６は、それぞれ被めっき基板１００の第２主面１０２の形状に追従しており、被めっき基板１００の第２絶縁層１１７の厚みによる段差が吸収されている。
すなわち、被めっき基板１００の第２主面１０２と接触し第２下地層１１６と第２絶縁層１１７の境界部分に跨る第２線状給電部７６は、第２主面１０２の形状に合わせて弾性変形しており、その復元力によって被めっき基板１００の第２主面１０２を押圧している。
第２線状給電部７６の第２下地層１１６との接触部分は、図７（ｂ）のように、光電変換部１１０を基準として、第２線状給電部７６の第２絶縁層１１７との接触部分よりも内側に位置している。

第１弾性給電部３１の第１線状給電部３６と第２弾性給電部７１の第２線状給電部７６は、図８（ａ）のように、平面視したときに、重ならない位置に配されている。
すなわち、第１基板ホルダー１０の第１線状給電部３６の被めっき基板１００との接触部分と第２基板ホルダー１１の第２線状給電部７６の被めっき基板１００との接触部分（接点）は、縦方向及び横方向においてオフセットして、ずれた位置にある。

また、第１基板ホルダー１０の第１線状給電部３６の延び方向は、第１主面１０１を平面視したとき、第２基板ホルダー１１の第２線状給電部７６の延び方向と直交している。

めっき浴３は、図１のように、めっき槽内にめっき液が導入されたものである。
めっき液は、めっき層１０５，１０６を構成する金属のイオンを含む金属塩を溶解した電解液である。

めっき電極５，６は、電解めっきに用いられる金属単体又は金属合金で形成される陽極である。

電源装置７は、めっき用治具２に固定された被めっき基板１００とめっき電極５との間及び被めっき基板１００とめっき電極６との間のそれぞれに電圧を選択的に印加する装置である。

続いて、本実施形態のめっき装置１を使用した太陽電池パネル１５０の製造方法の一例について説明する。

本実施形態の太陽電池パネル１５０の製造方法は、主要な工程として、電極層形成工程と、下地層形成工程と、絶縁層形成工程と、めっき工程と、必要に応じて絶縁層除去工程をこの順に含むものである。

具体的には、まず、スパッタ装置等によって光電変換部１１０の一方の主面上に第１電極層１１１を形成し、他方の主面上に第２電極層１１５を形成する（電極層形成工程）。

続いて、被めっき基板１００の電極層１１１，１１５上に所定の形状にパターニングされた下地層１１２，１１６を積層させ、下地層形成領域１２２，１３２を形成する（下地層形成工程）。

このとき、下地層１１２，１１６は、スクリーン印刷やフォトレジスト等によってパターニングすることができる。

続いて、下地層形成領域１２２，１３２が形成された基板に対して、平面視したときに下地層形成領域１２２，１３２と重なる部分に開口部１１８，１２８を有する絶縁層１１３，１１７を積層させ、被めっき基板１００を形成する（絶縁層形成工程）。

このとき、絶縁層１１３，１１７は、図５（ｃ）のように、下地層形成領域１２２，１３２に対応するようにマスクを用いて形成しても良いし、下地層１１２，１１６を覆うように形成した後に絶縁層１１３，１１７を部分的に除去して開口部１１８，１２８を形成してもよい。

続いて、被めっき基板１００をめっき用治具２に取り付け、めっき電極５，６とともにめっき浴３のめっき液に浸漬して、下地層形成領域１２２，１３２をめっき液に晒し、電源装置７から給電して、下地層形成領域１２２，１３２の下地層１１２，１１６上にめっき層１０５，１０６を形成する（めっき工程）。

このとき、下地層１１２はめっき電極５と対向しており、下地層１１６はめっき電極６と対向している。
このとき、めっき層１０５，１０６を別々に製膜してもよいし、同時に製膜してもよい。

そして、必要に応じて、絶縁層１１３，１１７を下地層１１２，１１６から剥がし（絶縁層除去工程）、基板をレーザーや折割等によって分割して、太陽電池パネル１５０が完成する。

本実施形態のめっき装置１によれば、線状給電部３６，７６が被めっき基板１００の下地層１１２，１１６に線接触することでめっき電極５，６と下地層１１２，１１６との間に電圧を印加してめっき層１０５，１０６を形成できる。そのため、点接触で給電する場合に比べて、被めっき基板１００に集中的に荷重が加わることを防止でき、被めっき基板１００が薄い場合であっても、被めっき基板１００が割れることを防止できる。

本実施形態のめっき装置１によれば、線状給電部３６，７６がクッション性があって被めっき基板１００の両主面１０１，１０２の形状に追従するため、弾性給電部３１，７１が被めっき基板１００の下地層１１２，１１６と絶縁層１１３，１１７との間に跨っていても、下地層１１２，１１６への給電が可能である。そのため、接点位置の位置決めが容易である。

本実施形態のめっき装置１によれば、弾性給電部３１，７１が導電性を有する難めっき材料で形成されているため、線状給電部３６，７６の表面にめっき層１０５，１０６が形成されても容易に線状給電部３６，７６の表面からめっき層１０５，１０６を剥がすことができる。

本実施形態のめっき装置１によれば、被めっき基板１００を固定したときに、線状給電部３６，７６の被めっき基板１００との接触位置がずれているため、被めっき基板１００に対して集中荷重がかかりにくい。

本実施形態の太陽電池パネル１５０の製造方法によれば、めっき装置１を使用するので、被めっき基板１００が破損しにくく、従来に比べて歩留まりを向上できる。

上記した実施形態では、電極層１１１，１１５上にめっき層１０５，１０６の下地となる下地層１１２，１１６を形成していたが、本発明はこれに限定されるものではない。図９（ｂ）のように、電極層１１１，１１５上に下地層１１２，１１６を形成せずに、電極層１１１，１１５上に直接めっき層１０５，１０６を形成してもよい。
この場合、めっき工程において、図９（ａ）のように、開口部１１８，１２８から電極層１１１，１１５が露出してめっき液に晒されることとなる。

上記した実施形態では、各線状給電部３６，７６は、それぞれ弾性給電部３１，７１の一部であったが、本発明はこれに限定されるものではない。各線状給電部３６（線状給電部７６）は図１０のように、それぞれ個別に独立した部材によって構成されていてもよい。この場合、各線状給電部３６（線状給電部７６）は付勢部材によって付勢されているか、各線状給電部３６（線状給電部７６）が個別に弾性変形可能であって、被めっき面への押圧方向の基端側に空間が形成されて移動可能となっていることが好ましい。

上記した実施形態では、線状体の断面の外郭形状は、円形であったが、本発明はこれに限定されるものではない。線状体の断面の外郭形状は、線接触できるものであればよい。例えば、楕円形であってもよいし、オーバル状であってもよい。線状体の断面の外郭形状は、部分的に円弧面を有していることが好ましい。

上記した実施形態では、第１線状給電部３６の延び方向と第２線状給電部７６の延び方向は異なる方向を向いていたが、本発明はこれに限定されるものではない。第１線状給電部３６の延び方向と第２線状給電部７６の延び方向は同一方向を向いていてもよい。

上記した実施形態では、被めっき体たる被めっき基板１００が太陽電池基板である場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。めっき装置１は他の被めっき体に対してもめっき層１０５，１０６を形成できる。例えば、プリント基板や電子部品などに対してめっき層１０５，１０６を形成してもよい。

上記した実施形態は、本発明の技術的範囲に含まれる限り、各実施形態間で各構成部材を自由に置換や付加できる。

１ めっき装置
２ めっき用治具
１０ 第１基板ホルダー（第１ホルダー）
１１ 第２基板ホルダー（第２ホルダー）
２０ 第１給電部材
３１ 第１弾性給電部
３６ 第１線状給電部（線状給電部）
３６ａ 第１下地側線状給電部
３６ｂ 第１絶縁側線状給電部
６０ 第２給電部材
７１ 第２弾性給電部
７６ 第２線状給電部（線状給電部）
７６ａ 第２下地側線状給電部
７６ｂ 第２絶縁側線状給電部
１００ 被めっき基板（被めっき体）
１０１ 第１主面（被めっき面）
１０２ 第２主面（被めっき面）
１０５ 第１めっき層
１０６ 第２めっき層
１１０ 光電変換部
１１１ 第１電極層
１１２ 第１下地層（導電部）
１１３ 第１絶縁層（絶縁部）
１１５ 第２電極層
１１６ 第２下地層（導電部）
１１７ 第２絶縁層（絶縁部）
１１８ 開口部
１２８ 開口部
１５０ 太陽電池パネル

Claims (13)

1. 導電部を有する被めっき面を備えた被めっき体をめっき液内に浸漬させ、前記導電部に電圧を印加することで前記導電部上にめっき層を積層させるめっき装置であって、
   少なくとも２つの線状給電部を有し、
   前記２つの線状給電部を前記被めっき面の形状に追従させて、前記線状給電部の少なくとも一部を前記導電部に線接触させ、前記導電部に給電可能である、めっき装置。
2. 前記２つの線状給電部の間隔は、０．０１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である、請求項１に記載のめっき装置。
3. 前記線状給電部は、難めっき材料で構成されている、請求項１又は２に記載のめっき装置。
4. 前記線状給電部は、ニオブ、炭素、アルミニウム、チタンからなる群から選ばれる少なくとも１種以上の金属又は合金で構成されている、請求項３に記載のめっき装置。
5. 前記被めっき面は、絶縁部を有し、
   前記２つの線状給電部のうち、一方の線状給電部は前記導電部と接触し、他方の線状給電部は前記絶縁部に接触する、請求項１～４のいずれか１項に記載のめっき装置。
6. 前記２つの線状給電部は、前記被めっき面の形状に合わせて弾性変形し、その復元力によって前記被めっき面を押圧する、請求項１～５のいずれか１項に記載のめっき装置。
7. 前記２つの線状給電部は、前記被めっき面への押圧方向とは反対側に空間があり、
   前記２つの線状給電部は、前記被めっき体を取り付けたときに、前記被めっき面の形状に合わせて前記空間側に移動する、請求項６に記載のめっき装置。
8. 断面の外郭形状が円形の線状体を有し、
   前記線状給電部は、前記線状体で構成されており、
   前記導電部に給電する際には、前記線状体の側面を前記導電部に線接触させて給電する、請求項１～７のいずれか１項に記載のめっき装置。
9. 前記線状体が螺旋状に巻かれた導電体を有し、
   前記２つの線状給電部は、前記導電体の側面の一部によって構成されている、請求項８に記載のめっき装置。
10. 複数の線状給電部を有し、
    前記複数の線状給電部には、第１線状給電部と、第２線状給電部があり、
    前記被めっき体は、板状であって、前記被めっき面を有する第１主面と、第２主面を有し、
    第１ホルダーと、第２ホルダーを有しためっき用治具を有し、
    前記第１ホルダーは、前記第１線状給電部を有した第１給電部材を有し、
    前記第２ホルダーは、前記第２線状給電部を有した第２給電部材を有し、
    前記めっき用治具は、前記第１給電部材の前記第１線状給電部を前記第１主面に接触させ、前記第２給電部材の前記第２線状給電部を前記第２主面に接触させることで、前記被めっき体を保持する、請求項１～９のいずれか１項に記載のめっき装置。
11. 前記第１線状給電部の前記第１主面との接触部分は、平面視したときに、前記第２線状給電部の前記第２主面との接触部分と重なっていない、請求項１０に記載のめっき装置。
12. 前記第１線状給電部の前記第１主面との接触部分の延び方向と、前記第２線状給電部の前記第２主面との接触部分の延び方向は、前記第１主面を平面視したときに、互いに交差する、請求項１０又は１１に記載のめっき装置。
13. 請求項１～１２のいずれか１項に記載のめっき装置を使用して太陽電池基板に集電極を形成する太陽電池パネルの製造方法であって、
    前記太陽電池基板は、第１電極層と、第２電極層と、前記第１電極層と前記第２電極層に挟まれた光電変換部を有し、前記光電変換部を基準として前記第１電極層の外側に絶縁層が積層されており、
    前記絶縁層は、開口部を有し、前記開口部から前記第１電極層の一部又は前記第１電極層上に積層された下地層が露出しており、
    前記めっき液に前記太陽電池基板を浸漬させ、前記線状給電部の少なくとも一部を前記第１電極層又は前記下地層に接触させて給電し、前記第１電極層上又は前記下地層上にめっき層を形成するめっき工程を含む、太陽電池パネルの製造方法。

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