JP2022152757A - ガラス基板装置 - Google Patents

Abstract

【課題】軸方向に分割された管部分の間から熔融ガラスが漏れ出て外部に流出することを抑制できるガラス基板製造装置を提供する。【解決手段】ガラス基板製造装置は、白金族金属を含む材料からなり、熔融ガラスが流れる管部材であって、軸方向に分割された２つの管部分を有し、加熱されることにより、軸方向に離間して配置された前記管部分の間の間隔が狭まるよう構成された管部材と、互いに向き合う前記管部分の軸方向端部を含む前記管部材の軸方向領域を全周にわたり、前記管部分の周状の壁面と接するように覆う覆い部材と、を備える。【選択図】図５

Description

本発明は、軸方向に分割された管部材を備えるガラス基板装置に関する。

液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のディスプレイに用いられるガラス基板は、ガラス原料を熔解してつくった熔融ガラスに、移送、清澄、均質化等の処理を行った後、板状に成形する工程を経て製造される。

熔融ガラスを移送するために、白金族金属を含む材料からなる管部材が用いられている。管部材は、操業のために昇温される際に熱膨張するが、管部材と接続された他の管部材や、管部材の周りに配置された耐火レンガ等の構造体によって拘束され、熱膨張が制限されて、管部材に内部応力が発生する。管部材に内部応力が発生し、歪が生じると、管部材は変形し、破損する場合がある。

従来、操業のために昇温したときの管部材の熱膨脹が制限されないよう、管部材を軸方向に分割した２つの管を互いに離間して配置することが知られている。特許文献１には、離間して設置される第１管及び第２管と、第１管及び第２管の間に形成された、操業時の熱膨張を許容する熱膨張許容空間とを覆い部材で覆うことが記載されている。覆い部材は、断面が略半円の円弧形状の２つの覆い部からなり、熱膨張許容空間から漏れ出した熔融ガラスを、覆い部の間の周方向の隙間から、径方向に延びて互いに向き合う覆い部のフランジの間を流すことで熔融ガラスの粘度を高めることが特許文献１には記載されている。これにより、熔融ガラスが外部に漏れ出すのを抑制できるとされている。

国際公開第２０１２／１３２３６８号

特許文献１に記載の上記技術では、管部材を流れる熔融ガラスの粘度や、覆い部のフランジ間の隙間の大きさによっては、熱膨張許容空間から漏れ出た熔融ガラスの粘度を十分に高められずに外部に流れ出す場合があることがわかった。熔融ガラスが外部に流れ出すと、管部材の周辺領域のみでなく、ガラス基板の生産設備の他の領域に行き渡り、設備が破損することで、ガラス基板の生産を停止せざるを得ない場合がある。

そこで、本発明は、軸方向に分割された管部分の間から熔融ガラスが漏れ出て外部に流出することを抑制できるガラス基板製造装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様は、ガラス基板製造装置である。
ガラス基板製造装置は、白金族金属を含む材料からなり、熔融ガラスが流れる管部材であって、軸方向に分割された２つの管部分を有し、加熱されることにより、軸方向に離間して配置された前記管部分の間の間隔が狭まるよう構成された管部材と、
互いに向き合う前記管部分の軸方向の端部を含む前記管部材の軸方向領域を全周にわたり、前記管部分の周状の壁面と接するように覆う覆い部材と、を備えることを特徴とする。

前記管部分のそれぞれは、前記覆い部材に対し軸方向両側に位置する一対のフランジのうちの１つであって、前記壁面から外周側に延びるよう設けられたフランジを有している、ことが好ましい。

前記覆い部材は、前記覆い部材の軸方向両側の端部から前記フランジと対向するよう外周側に延びる一対のフランジを有している、ことが好ましい。

前記覆い部材の前記フランジ、及び、前記管部分の前記フランジ、の互いに対向する表面は隙間なく接している、ことが好ましい。

前記管部分の前記フランジの径方向長さは、前記覆い部材の前記フランジの径方向長さより長い、ことが好ましい。

前記覆い部材は、周方向に分割された複数の覆いを有し、
前記覆いは、互いに向き合う前記覆いの周方向の端部が隙間をあけずに互いに接続されている、ことが好ましい。

前記覆いは、径方向に重ねて配置される内側覆い及び外側覆いを有している、ことが好ましい。

前記内側覆い及び前記外側覆いのそれぞれは、一部の軸方向領域において互いに重ならない非重なり領域を有し、
前記内側覆い及び前記外側覆いのそれぞれは、前記非重なり領域に位置する当該覆いの軸方向の端部に、前記覆い部材の前記フランジのうちの１つを有している、ことが好ましい。

加熱により前記間隔が狭まった前記管部材において、前記管部分のうち第１の管部分は、第２の管部分と比べ温度が高く、
前記内側覆いの前記フランジは、前記第１の管部分の前記フランジと対向している、ことが好ましい。

加熱により前記間隔が狭まった前記管部材において、前記管部分は軸方向に隙間なく接している、ことが好ましい。

上述の態様のガラス基板製造装置によれば、軸方向に分割された管部分の間から熔融ガラスが漏れ出て外部に流出することを抑制できる。

ガラス基板製造装置により行われるガラス基板の製造方法の概略構成を示す図である。 ガラス基板製造装置の概略構成を示す図である。 管部材及び覆い部材の一例の分解斜視図である。 管部分の熱膨脹を説明する図であり、（ａ）は操業前の管部材を示し、（ｂ）は操業中の管部材を示す図である。 管部材及び覆い部材の別の一例を示す一部分解図である。 覆いの一例を示す外観図である。

以下、本実施形態のガラス基板製造装置について説明する。

図１は、本実施形態に係るガラス基板製造装置により行われるガラス基板の製造方法の一部のフローチャートである。以下、図１を用いてガラス板の製造方法について説明する。

ガラス板は、図１に示すように、熔解工程ＳＴ１、清澄工程ＳＴ２、均質化工程ＳＴ３、供給工程ＳＴ４、及び、成形工程ＳＴ５を含む種々の工程を経て製造される。以下、これらの工程について詳細する。

熔解工程ＳＴ１では、ガラス原料を熔解する。ガラス原料は、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３等の組成からなる。炉に投入されたガラス原料は、加熱されて熔解され、熔融ガラスとなり、次の工程である清澄工程ＳＴ２が行われる清澄槽へ流れ出る。

清澄工程ＳＴ２では、熔融ガラスを清澄する。具体的には、熔融ガラス中に含まれるガス成分を気泡として熔融ガラス外に放出する、又は、熔融ガラス中に熔解させる。清澄された熔融ガラスは、次の工程である均質化工程ＳＴ３が行われる攪拌槽に向けて移送管へ流れ出る。

均質化工程ＳＴ３では、熔融ガラスを均質化する。具体的には、熔融ガラスを、攪拌することにより均質化する。なお、この工程では、清澄が済んだ熔融ガラスの温度調整を行う。均質化された熔融ガラスは、次の工程である供給工程ＳＴ４が行われるガラス供給管へ流れ出る。

供給工程ＳＴ４では、熔融ガラスを成形する装置に供給する。この工程では、シート状のシートガラスの成形を開始するのに適した温度になるように熔融ガラスを冷却する。

成形工程ＳＴ５では、熔融ガラスをシートガラスに成形する。成形されたシートガラス板は、切断装置を用いて切断工程において切断されてガラス板となる。成形方法としては、ダウンドロー法、フロート法、ロールアウト法等を用いることができる。なお、本実施形態では、ダウンドロー法のオーバーダウンドロー法を用いることが好ましい。オーバーダウンドロー法については後述する。なお、切断されたガラス板は、その後、切断、研削・研磨等の加工が行われて、洗浄、検査が行われる。

（ガラス基板製造装置の概要構成）
図２は、本実施形態に係るガラス基板製造装置１００の一例を示したものである。

図２に示すように、ガラス基板製造装置１００は、熔解槽１０１と、清澄槽１０２と、攪拌槽１０３と、成形装置１０４と、移送管１０５（管部材に相当）と、ガラス供給管１０６とを有する。

熔解槽１０１は、ガラス原料を熔解するための槽である。熔解槽１０１は、レンガ等の耐火物により構成されており、下部に、熔融ガラスが配置される液槽を有する。例えば、熔解槽１０１は、適宜壁面に配置されるバーナーによって加熱される。そして、壁面がバーナーによって加熱されることで輻射熱が発生し、当該輻射熱によってガラス原料が加熱されて熔解される。液槽には、熔融ガラスを通電することにより熔融ガラスにジュール熱を発生させるための通電加熱装置が設けられている。液槽の壁面には、熔融ガラスと接するように通電加熱装置の電極が設けられている。熔解槽１０１では、熔解工程ＳＴ１を行う。なお、上記では、ガラス原料の加熱手段としてバーナーと電極とを有するものを例として挙げて説明したが、これに限られるものではなく、いずれかを有していればよい。また、ガラス原料の熔解方法は特にこれに限定されるものではなく、他の加熱手段を用いてガラス原料を熔解することも可能である。

清澄槽１０２は、熔解槽１０１で熔解された熔融ガラスから泡を除去するための槽である。熔解槽１０１より送り込まれた熔融ガラスを、清澄槽１０２でさらに加熱することで、熔融ガラス中の気泡の脱泡が促進される。清澄槽１０２では、清澄工程ＳＴ２を行う。より詳細には、清澄槽１０２における熔融ガラスの温度は、清澄剤がガス成分（例えば、酸化スズであれば酸素）を放出する温度以上であって、熔融ガラス中の既存の泡に上記ガス成分が拡散し既存の泡の泡径が拡大する温度に昇温される。また、熔融ガラス中の気泡が十分な浮上速度となる粘度（２００～８００ｐｏｉｓｅ）を実現する温度以上に熔融ガラスの温度は昇温される。これにより、熔融ガラス中の気泡は熔融ガラス内から外部に放出される。その後、熔融ガラスは降温され、熔融ガラス中に残存している気泡が清澄剤に吸収される。これにより、熔融ガラス中の泡を消滅させることができ清澄が行われる。なお、泡の消滅は、清澄槽１０２、移送管１０５及び攪拌槽１０３において行われてもよい。

攪拌槽１０３は、熔融ガラスを収容する容器と、回転軸と、当該回転軸に取り付けられた攪拌翼とを含む攪拌装置を有している。容器、回転軸、及び、攪拌翼としては、例えば、白金等の白金族元素又は白金族元素合金製のものを用いることができるが、これに限られない。モータ等の駆動部（図示せず）の駆動によって回転軸が回転することによって、回転軸に取り付けられた攪拌翼が、熔融ガラスを攪拌する。攪拌槽１０３では、均質化工程ＳＴ３を行う。

成形装置１０４は、上部に溝が形成され縦方向の断面が楔形形状をした成形体を備える。溝は、成形体の長手方向に沿って形成されている。成形体は、耐火物である。このほか、成形装置１０４は、成形体を溢れ出て成形体の下端で合流した熔融ガラスを下方に延伸するローラ、ガラスを徐々に冷却する冷却装置等を備える。成形装置１０４では、成形工程ＳＴ５を行う。なお、供給工程ＳＴ４では、１日あたり６ｔ以上の熔融ガラスが成形装置１０４に供給される。

移送管１０５、及び、ガラス供給管１０６は、白金族元素（白金、イリジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウム、ルテニウム等）又は白金族元素合金製の配管である。移送管１０５は、清澄槽１０２と攪拌槽１０３とを接続する配管である。ガラス供給管１０６は、攪拌槽１０３と成形装置１０４とを接続する配管である。
なお、白金族元素又は白金族元素合金からなる清澄槽１０２、移送管１０５、攪拌槽１０３、ガラス供給管１０６は、当該白金族元素又は白金族元素合金に直接電流を流すことで加熱されることが好ましい。白金族元素又は白金族元素合金に直接電流を流して加熱することで、効率よく熔融ガラスの温度を調節することができる。このため、清澄剤として酸化スズを用いた場合であっても、酸化スズが清澄剤として効果的に機能する温度（例えば１６２０℃以上に）に熔融ガラスを容易に昇温させることができる。
なお、清澄槽１０２、移送管１０５、攪拌槽１０３、ガラス供給管１０６の加熱方法は上記方法に限定されず、例えば、清澄槽１０２、移送管１０５、攪拌槽１０３、ガラス供給管１０６の周囲に電気ヒータなどの加熱装置を設置し、当該加熱装置によって加熱することも可能である。

図３は、移送管１０５及び覆い部材１１３の一例の分解斜視図である。

（移送管）
移送管１０５は、第１の管部分１１１と、第２の管部分１１２と、を有する。
第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２は、移送管１０５が軸方向に２つに分割されてなる移送管１０５の部分である。本明細書において、軸方向とは、管部材の中心軸が延びる方向及びこれと平行な方向を意味し、図３～図５の左右方向である。

第１の管部分１１１は、清澄槽１０２と接続されている。

第２の管部分１１２は、攪拌槽１０３と接続されている。第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２には、例えば、径が１０～１０００ｍｍ、好ましくは７０ｍｍ～２００ｍの管が使用される。

移送管１０５は、加熱されることにより、軸方向に離間して配置された第１の管部分１１１と第２の管部分１１２との間の間隔が狭まるよう構成されている。具体的に、第１の管部分１１１と、第２の管部分１１２との間には、少なくともガラス基板製造装置１００の運転（操業）前において、離間部Ｓ１が存在する。すなわち、少なくとも操業前において、第１の管部分１１１と第２の管部分１１２とは離間して設置されている。離間部Ｓ１は、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の加熱に伴う軸方向の膨張を許容する空間であり、予め計算された第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の熱膨張量に従い、軸方向の長さが定められている。

図４は、移送管１０５の熱膨脹を説明する図であり、（ａ）は操業前の移送管１０５を示し、（ｂ）は操業中の移送管１０５を示す図である。上述したように、操業前において、第１の管部分１１１と第２の管部分１１２とは、図４（ａ）に示すように、離間部Ｓ１を介して離間している。第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２は、清澄槽１０２及び攪拌槽１０３と接続されているので、操業のために加熱され昇温される際に互いに接近するように軸方向に膨張し、離間部Ｓ１を軸方向に狭める。このように、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の熱膨脹が制限されないことにより、移送管１０５に内部応力が発生し、歪が生じることを抑えられる。一実施形態によれば、加熱により間隔が狭まった操業中の管部分１１１，１１２の互いに向き合う端部は、図４（ｂ）に示すように、軸方向に隙間なく接していることが好ましい。これにより、管部分１１１，１１２の間から熔融ガラスが漏れ出ることを阻止できる。

（覆い部材）
覆い部材１１３は、図４に示すように、互いに向き合う第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の軸方向の端部を含む移送管１０５の軸方向領域ＡＲを全周にわたり、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の外周面（周状の壁面）と接するように覆う。すなわち、覆い部材１１３は、離間した状態にある第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２を隙間なく連結する連結部として機能する。これにより、第１の管部分１１１の内部を流れる熔融ガラスが第２の管部分１１２の内部に流れるようにすることができ、その際に、熔融ガラスが、第１の管部分１１１と第２の管部分１１２の間から、管部分１１１，１１２の外周側に漏れ出ることを阻止できる。これにより、熔融ガラスが移送管１０５の外部に流出することを抑制でき、熔融ガラスが移送管１０５の周辺領域のみでなく、ガラス基板製造装置１００の他の領域に行き渡り、ガラス基板製造装置１００の上述した構成要素（生産設備）が破損することを防止でき、操業を継続できる。覆い部材１１３は、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の外周面と隙間なく接している一方で、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２が覆い部材１１３に対して軸方向に移動自在であることが好ましい。

一実施形態によれば、覆い部材１１３は、図３及び図４に示すように、周方向に分割された複数の覆いを有していることが好ましい。図３及び図４に示す覆い部材１１３は、上部覆い１１４と、下部覆い１１５とを有する。上部覆い１１４及び下部覆い１１５は、移送管１０５の中心軸を境として、上下に対称な形状を有している。

上部覆い１１４は、白金族元素又は白金族元素合金製であり、移送管１０５の軸方向領域ＡＲの上部を覆う。

図３及び図４に示す例の上部覆い１１４は、覆い部２１３ａと、フランジ部２１３ｂ，２１３ｃとを有する。覆い部２１３ａは、第１の管部分１１１、第２の管部分１１２、及び、離間部Ｓ１を覆う部分である。覆い部２１３ａは、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２を覆うことができるように、軸方向と直交する断面が略半円の円弧形状を有している。フランジ部２１３ｂ，２１３ｃは、覆い部２１３ａの周方向の両端部からそれぞれ径方向外側に水平方向に延びる。

下部覆い１１５は、白金族元素又は白金族元素合金製であり、移送管１０５の軸方向領域ＡＲの下部を覆う。

下部覆い１１５は、覆い部２１４ａと、フランジ部２１４ｂ，２１４ｃとを有する。

このように、覆い部材１１３が周方向に分割されていることにより、覆い部材１１３を移送管１０５に被せるように取り付けられる。覆い部材１１３は、図３及び図４に示す例において、周方向に２つに分割されているが、これに限定されず、３つあるいは４つ以上に分割されていてもよい。また、覆い部材１１３は、周上の一か所で途切れた、軸方向と直交する断面が略Ｃ字形状の形態を有していてもよい。

一方で、周方向に分割された、あるいは、周上の一か所で途切れた形態の覆い部材１１３は、互いに向き合う覆いの周方向の端部が周方向に隙間をあけずに互いに接続されていることが好ましい。具体的に、覆いの周方向の端部同士は、溶接されるか、フランジ部を有している場合は、図４に示すように、互いに向き合うフランジ部同士が密着あるいは溶接されていることが好ましい。これにより、覆い部材１１３の移送管１０５に対する取り付けやすさを確保しつつ、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の間から熔融ガラスが漏れ出て、管部分１１１，１１２の外周側に流出することを阻止できる。

図５は、移送管１０５及び覆い部材１１３の別の一例を示す一部分解図である。
図５に示す例の移送管１０５は、覆い部材１１３の軸方向両側に位置する一対のフランジ１１１ａ，１１２ａを有している。フランジ１１１ａ，１１２ａは、管部分１１１，１１２の外周面から外周側に延びるよう設けられた部分である。図５に示す例のフランジ１１１ａ，１１２ａは、移送管１０５の径方向外側に延びる円板状の部分である。一実施形態によれば、図５に示すように、第１の管部分１１１はフランジ１１１ａを有し、第２の管部分１１２はフランジ１１２ａを有していることが好ましい。

上述したように、覆い部材１１３は、移送管１０５の軸方向領域ＡＲを、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の外周面と接するように覆っているが、その加工精度や、操業中の変形によって、覆い部材と管部分の外周面との間にわずかな隙間があいて、熔融ガラスが入り込み、覆い部材と管部分の外周面との間から漏れ出す場合がある。子の実施形態のように、移送管１０５にフランジ１１１ａ，１１２ａが設けられていると、覆い部材１１３と管部分１１１，１１２の外周面との間から熔融ガラスが万一漏れ出しても、これを堰き止め、フランジ１１１ａ，１１２ａの外側に回り込むように流出することを防止できる。これにより、ガラス基板製造装置１００の運転停止に至るような生産設備の破損を確実に防ぐことができる。

覆い部材１１３の軸方向長さは、フランジ１１１ａ，１１２ａの間隔より短く、操業前において、例えば、フランジ１１１ａ，１１２ａの間隔の９０～９８％の長さであることが好ましい。これにより、覆い部材１１３と、管部分１１１，１１２の外周面との間から万一熔融ガラスが漏れ出しても、これを確実に堰き止めつつ、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の熱膨脹によってフランジ１１１ａ，１１２ａ間の距離が縮まっても、第１の管部分１１１及び第２の管部分１１２の熱膨脹は阻害されない。

この実施形態では、さらに、覆い部材１１３は、覆い部材１１３の軸方向両側の端部から、上記フランジ１１１ａ，１１２ａと対向するよう外周側に延びる一対のフランジを有していることが好ましい。図５に示す例において、覆い部材１１３は、管部分１１１，１１２のフランジ１１１ａ，１１２ａと対向するフランジとして、図５に示すように、フランジ１１６ａ，１１７ａ，１１８ａ，１１９ａを有している。このうち、フランジ１１６ａ及びフランジ１１７ａが移送管１０５の上部において対をなし、フランジ１１８ａ及びフランジ１１９ａが移送管１０５の下部において対をなしている。覆い部材１１３がこのようなフランジ１１６ａ～１１９ａを有していることにより、覆い部材１１３と、管部分１１１，１１２の外周面との間から熔融ガラスが万一漏れ出しても、管部分１１１，１１２のフランジ１１１ａ，１１２ａと、覆い部材１１３のフランジ１１６ａ～１１９ａとの間に閉じ込めるように堰き止めることができ、フランジ１１１ａ，１１２ａの外側に回り込むように流出することを有効に防止できる。

この点で、一実施形態によれば、管部分１１１，１１２のフランジ１１１ａ，１１２ａ、及び、覆い部材１１３のフランジ１１６ａ～１１９ａ、の互いに対向する表面は隙間なく接していることが好ましい。これにより、操業中に、隙間なく接するフランジ同士が拡散接合することができ、覆い部材１１３と管部分１１１，１１２の外周面との間から漏れ出した熔融ガラスの外部に向かって流れ出す経路を断つことができ、熔融ガラスの流出を効果的に阻止できる。

一実施形態によれば、上述した上部覆い１１４及び下部覆い１１５のそれぞれは、図５に示すように、径方向に重ねて配置される内側覆い１１７，１１９及び外側覆い１１６，１１８を有していることが好ましい。上部覆い１１４は、内側覆い１１７及び外側覆い１１６を有している。下部覆い１１５は、内側覆い１１９及び外側覆い１１８を有している。内側覆い１１７と内側覆い１１９は、移送管１０５の中心軸を境として、上下に対称な形状を有している。外側覆い１１６と外側覆い１１８は、移送管１０５の中心軸を境として、上下に対称な形状を有している。なお、図５において、下部覆いのうち、内側覆い１１１９及び外側覆い１１８が径方向に分解して示されている。

図６に、覆い１１５～１１９のうち、代表して内側覆い１１７の一例の外観を示す。内側覆い１１７は、覆い部２１３ａと、フランジ部２１３ｂ，２１３ｃと、を有している。内側覆い１１９、外側覆い１１６，１１８も同様に、覆い部とフランジ部とを有している。

内側覆い１１７及び外側覆い１１６のそれぞれは、図５に示すように、一部の軸方向領域において互いに重ならない非重なり領域ＮＲ１，ＮＲ２を有している。同様に、内側覆い１１９及び外側覆い１１８のそれぞれは、図５に示すように、一部の軸方向領域において互いに重ならない非重なり領域ＮＲ３，ＮＲ４を有している。

一実施形態によれば、図５に示すように、非重なり領域ＮＲ１に位置する外側覆い１１６の軸方向の端部に、一対のフランジ１１７ａ，１１６ａのうちのフランジ１１６ａが設けられていることが好ましい。また、非重なり領域ＮＲ３に位置する内側覆い１１７の軸方向の端部に、一対のフランジ１１７ａ，１１６ａのうちのフランジ１１７ａが設けられていることが好ましい。
同様に、図５に示すように、非重なり領域ＮＲ３に位置する外側覆い１１８の軸方向の端部に、一対のフランジ１１９ａ，１１８ａのうちのフランジ１１８ａが設けられていることが好ましい。また、非重なり領域ＮＲ４に位置する内側覆い１１９の軸方向の端部に、一対のフランジ１１９ａ，１１８ａのうちのフランジ１１９ａが設けられていることが好ましい。

このような内側覆い１１７，１１９及び外側覆い１１６，１１８の形態によれば、管部分１１１，１１２の熱膨張を許容しつつ、熱膨張に伴って軸方向に移動するフランジ１１１ａ，１１２ａに追随してフランジ１１７ａ～１１９ａが軸方向に移動することができ、フランジ１１１ａとフランジ１１７ａ，１１９ａとが対向した状態（好ましくは密着した状態）が維持される。同様に、フランジ１１２ａとフランジ１１８ａ，１１６ａとが対向した状態（好ましくは密着した状態）が維持される。また、このような内側覆い１１７，１１９及び外側覆い１１６，１１８の形態によれば、覆い１１７～１１９の移送管１０５に対する取り付けやすさが確保される。

外側覆い１１６，１１８は、非重なり領域ＮＲ１，ＮＲ３において第１の管部分１１１の外周面と接していることが好ましい。

管部分１１１，１１２のフランジ１１１ａ，１１２ａの径方向長さは、図５に示すように、覆い部材１１３のフランジ１１６ａ～１１９ａの径方向長さより長いことが好ましい。ここでいう径方向長さは、移送管１０５の中心軸からの長さを意味する。これにより、覆い部材１１３と、管部分１１１，１１２の外周面との間から漏れ出した熔融ガラスを確実に堰き止め、フランジ１１１ａ，１１２ａの外側に回り込むように流出することを防止する効果を高められる。

加熱により間隔が狭まった管部分１１１，１１２において、管部分１１１，１１２のうち第１の管部分１１１は、第２の管部分１１２と比べ温度が高くなる場合がある。この場合において、一実施形態によれば、内側覆いのフランジは、第１の管部分１１１のフランジ１１１ａと対向していることが好ましい。これにより、より高温の熔融ガラスが漏れ出る可能性の高い第１の管部分１１１の側において、第１の管部分１１１と内側覆いとの密着した領域を確保し、熔融ガラスが漏れ出ることを防止する効果を向上させることができる。

以上、本発明のガラス基板製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

１００ ガラス基板製造装置
１０１ 熔解槽
１０２ 清澄槽
１０３ 攪拌槽
１０４ 成形装置
１０５ 移送管（管部材）
１１１ 第１の管部分
１１１ａ フランジ
１１２ 第２の管部分
１１２ａ フランジ
１１３ 覆い部材
１１４ 上部覆い
１１４ａ 非重なり領域
１１５ 下部覆い
１１５ａ 非重なり領域
１１７，１１９ 内側覆い
１１６，１１８ 内側覆い
１１６ａ，１１７ａ，１１８ａ，１１９ａ フランジ
２１３ａ，２１４ａ 覆い部
２１３ｂ，２１３ｃ，２１４ｂ，２１４ｃ フランジ部
Ｓ１ 離間部
ＡＲ 軸方向領域
ＮＲ１，ＮＲ２，ＮＲ３，ＮＲ４ 非重なり領域

Claims (10)

1. 白金族金属を含む材料からなり、熔融ガラスが流れる管部材であって、軸方向に分割された２つの管部分を有し、加熱されることにより、軸方向に離間して配置された前記管部分の間の間隔が狭まるよう構成された管部材と、
   互いに向き合う前記管部分の軸方向の端部を含む前記管部材の軸方向領域を全周にわたり、前記管部分の周状の壁面と接するように覆う覆い部材と、を備えることを特徴とするガラス基板製造装置。
2. 前記管部分のそれぞれは、前記覆い部材に対し軸方向両側に位置する一対のフランジのうちの１つであって、前記壁面から外周側に延びるよう設けられたフランジを有している、請求項１に記載のガラス基板製造装置。
3. 前記覆い部材は、前記覆い部材の軸方向両側の端部から前記フランジと対向するよう外周側に延びる一対のフランジを有している、請求項２に記載のガラス基板製造装置。
4. 前記覆い部材の前記フランジ、及び、前記管部分の前記フランジ、の互いに対向する表面は隙間なく接している、請求項３に記載のガラス基板製造装置。
5. 前記管部分の前記フランジの径方向長さは、前記覆い部材の前記フランジの径方向長さより長い、請求項３または４に記載のガラス基板製造装置。
6. 前記覆い部材は、周方向に分割された複数の覆いを有し、
   前記覆いは、互いに向き合う前記覆いの周方向の端部が隙間をあけずに互いに接続されている、請求項３から５のいずれか１項に記載のガラス基板製造装置。
7. 前記覆いは、径方向に重ねて配置される内側覆い及び外側覆いを有している、請求項６に記載のガラス基板製造装置。
8. 前記内側覆い及び前記外側覆いのそれぞれは、一部の軸方向領域において互いに重ならない非重なり領域を有し、
   前記内側覆い及び前記外側覆いのそれぞれは、前記非重なり領域に位置する当該覆いの軸方向の端部に、前記覆い部材の前記フランジのうちの１つを有している、請求項７に記載のガラス基板製造装置。
9. 加熱により前記間隔が狭まった前記管部材において、前記管部分のうち第１の管部分は、第２の管部分と比べ温度が高く、
   前記内側覆いの前記フランジは、前記第１の管部分の前記フランジと対向している、請求項８に記載のガラス基板製造装置。
10. 加熱により前記間隔が狭まった前記管部材において、前記管部分は軸方向に隙間なく接している、請求項１から９のいずれか１項に記載のガラス基板製造装置。

Images