JP2022140516A - イメージング装置及びイメージング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係るテラヘルツ波撮像装置は、テラヘルツ波を対象物に照射する照射手段と、前記対象物により反射又は透過された前記テラヘルツ波を検出し、第1の画像を取得する第1画像取得手段と、前記対象物により反射又は透過された前記テラヘルツ波とは異なる光を検出し、第2の画像を取得する第2画像取得手段と、前記第2の画像に基づいて、前記第2の画像に対応する複数の前記第1の画像を合成する合成手段とを備える。
本実施形態に係るテラヘルツ波撮像装置の一態様では、前記第2画像取得手段は、前記対象物により反射された可視光を検出し、前記第2の画像を取得する。
本実施形態に係るテラヘルツ波撮像装置の他の態様では、前記第2画像取得手段は、前記対象物を覆うインデックス部の模様を含むものとして前記第2の画像を取得し、前記合成手段は、前記第2の画像に含まれる前記インデックス部の模様に基づいて、複数の前記第1の画像を合成する。
上述の如くインデックス部の模様を利用する態様では、前記インデックス部は、前記テラヘルツ波の透過率が所定の閾値よりも高い材料を含んでいてもよい。
本実施形態に係るテラヘルツ波撮像装置の他の態様では、前記合成手段で合成された前記第1の画像及び前記第の2画像を、別々に又は互いの対応関係に応じて重ねて表示させる表示手段を備える。
本実施形態に係るテラヘルツ波撮像方法は、テラヘルツ波を対象物に照射する照射工程と、前記対象物により反射又は透過された前記テラヘルツ波を検出し、第1の画像を取得する第1画像取得工程と、前記対象物により反射又は透過された前記テラヘルツ波とは異なる光を検出し、第2の画像を取得する第2画像取得工程と、前記第2の画像に基づいて、前記第2の画像に対応する複数の前記第1の画像を合成する合成工程とを備える。
初めに、図1を参照しながら、第1実施例に係るテラヘルツ波撮像装置の構成及び基本的動作について説明する。ここに図1は、第1実施例に係るテラヘルツ波撮像装置の全体構成を示す概略図である。
次に、第2実施例に係るテラヘルツ波撮像装置について説明する。なお、第2実施例は、上述した第1実施例と比べて一部の構成が異なるのみであり、その他の点については概ね同様である。このため、以下では既に説明した第1実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
110 テラヘルツ波発信部
111 テラヘルツ波発生素子
112 シリコンレンズ
113 コリメートレンズ
120 ビームスプリッタ
130 ビームスキャナ
140 対物レンズ
150 テラヘルツ波受信部
151 集光レンズ
152 シリコンレンズ
153 テラヘルツ波検出素子
160 I-V変換器
170 可視光撮像器
180 作動距離保持部
190 作動距離調整部
200 制御・信号処理部
210 バイアス生成部
220 ロックイン検出部
230 スキャナ駆動部
240 画像処理部
250 イメージ表示部
300 本体部
400 インデックス部
500 検査対象
Claims (8)
- テラヘルツ波を対象物に照射する照射手段と、
前記対象物により反射又は透過された前記テラヘルツ波を検出し、前記対象物の第1の画像を取得する第1画像取得手段と、
前記テラヘルツ波とは異なる光を検出し、前記対象物の第2の画像を取得する第2画像取得手段と、
前記第2の画像に基づいて、前記第2の画像に対応する複数の前記第1の画像を合成する合成手段と
を備えることを特徴とするイメージング装置。 - 前記第2画像取得手段は、前記テラヘルツ波とは異なる光として可視光を検出し、前記第2の画像を取得することを特徴とする請求項1に記載のイメージング装置。
- 前記第2画像取得手段は、前記対象物を覆うインデックス部の模様を含むものとして前記第2の画像を取得し、
前記合成手段は、前記第2の画像に含まれる前記インデックス部の模様に基づいて、複数の前記第1の画像を合成する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のイメージング装置。 - 前記インデックス部は、前記テラヘルツ波の透過率が所定の閾値よりも高い材料を含んでいることを特徴とする請求項3に記載のイメージング装置。
- 前記合成手段で合成された前記第1の画像及び前記第2の画像を、別々に又は互いの対応関係に応じて重ねて表示させる表示手段を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のイメージング装置。
- 可視光とは異なる電磁波を対象物に照射する照射手段と、
前記対象物により反射又は透過された前記電磁波を検出することで、前記対象物の第1の画像を取得する第1画像取得手段と、
可視光を検出することで、前記対象物の第2の画像を取得する第2画像取得手段と、
前記第2の画像に基づいて、前記第2の画像に対応する複数の前記第1の画像を合成する合成手段と
を備えることを特徴とするイメージング装置。 - テラヘルツ波を対象物に照射する照射工程と、
前記対象物により反射又は透過された前記テラヘルツ波を検出し、前記対象物の第1の画像を取得する第1画像取得工程と、
前記テラヘルツ波とは異なる光を検出し、前記対象物の第2の画像を取得する第2画像取得工程と、
前記第2の画像に基づいて、前記第2の画像に対応する複数の前記第1の画像を合成する合成工程と
を備えることを特徴とするイメージング方法。 - 可視光とは異なる電磁波を対象物に照射する照射工程と、
前記対象物により反射又は透過された前記電磁波を検出することで、前記対象物の第1の画像を取得する第1画像取得工程と、
可視光を検出することで、前記対象物の第2の画像を取得する第2画像取得工程と、
前記第2の画像に基づいて、前記第2の画像に対応する複数の前記第1の画像を合成する合成工程と
を備えることを特徴とするイメージング方法。
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