JP2022107989A - Inspection device and tape extension apparatus - Google Patents

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Abstract

To provide an inspection device which allows an interval between adjacent chips to be easily confirmed.SOLUTION: An inspection device comprises: a table which holds an annular frame attached to a tape so as to surround a workpiece attached to the tape; a light source which emits light to a first surface or a second surface opposite to the first surface of the workpiece held by the table via the frame and the tape; a camera which generates an image by imaging one of the first surface and the second surface to which the light is not emitted from the light source; a threshold storage unit which stores a threshold of luminance of a pixel between two adjacent chips captured in the image generated by the camera; an evaluation image generation unit which generates an evaluation image in which different colors are added to the pixel according to the classification of luminance classified by the threshold; an image display unit which displays the evaluation image on the display device; and a threshold change unit which changes the threshold to be stored in the threshold storage unit.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、板状のワークピースを分割して得られるチップの間隔を確認する際に用いられる検査装置、及びこの検査装置を含むテープ拡張装置に関する。 The present invention relates to an inspection device used to check the intervals between chips obtained by dividing a plate-shaped work piece, and a tape extending device including this inspection device.

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、各種の機能を持つデバイスを備えたデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコンやサファイア等の材料でなるウェーハを分割予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した上で、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することにより得られる。 In electronic equipment represented by mobile phones and personal computers, device chips having devices with various functions are essential components. For device chips, for example, a wafer made of a material such as silicon or sapphire is partitioned into multiple regions along dividing lines (streets), devices are formed in each region, and the wafer is divided along the dividing lines. obtained by

ウェーハのような板状のワークピースを複数のチップへと分割する際には、例えば、このワークピースを透過する波長のレーザービームを分割予定ラインに集光させて、ワークピースを分割予定ラインで改質する（例えば、特許文献１参照）。その後、外部からワークピースに力を加えることで、改質されて脆くなった分割予定ラインに対応する領域を境にワークピースが複数のチップへと分割される。 When dividing a plate-shaped work piece such as a wafer into a plurality of chips, for example, a laser beam having a wavelength that passes through the work piece is condensed on a line to divide the work piece, and the work piece is cut along the line to divide. It is modified (see, for example, Patent Document 1). After that, by applying force to the workpiece from the outside, the workpiece is divided into a plurality of chips along the regions corresponding to the splitting lines that have been modified and become brittle.

ところで、上述の方法でワークピースを分割する前には、力を加えることによって拡張する性質（拡張性）を持つテープをワークピースに貼付しておくのが一般的である。予めワークピースにテープを貼付しておくことで、ワークピースを分割した後に複数のチップがテープで保持された状態となるので、ワークピース（複数のチップ）を取り扱い易くなる。また、テープを拡張させる向きの力（張力）をテープに加えることで、隣接するチップの間に隙間を形成することもできる。 By the way, before dividing the work piece by the above-described method, it is common to attach a tape having a property (expandability) to the work piece to expand it by applying force. By affixing the tape to the work piece in advance, a plurality of chips are held by the tape after the work piece is divided, making it easier to handle the work piece (plurality of chips). A gap can also be formed between adjacent chips by applying a force (tension) to the tape in a direction that expands the tape.

特開２００２－１９２３７０号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-192370

しかしながら、テープに加わる張力の大きさをテープ内の全ての領域において一定にするのは容易でない。したがって、隣接するチップの間に形成される隙間の大きさは、必ずしもワークピースの全体で等しくならない。例えば、隣接するチップの隙間が小さいと、搬送の際にチップ同士が接触して破損したり、テープからチップを適切にピックアップできなくなったりする。 However, it is not easy to make the magnitude of the tension applied to the tape constant in all regions within the tape. Therefore, the size of gaps formed between adjacent chips is not necessarily the same across the workpiece. For example, if the gap between adjacent chips is small, the chips may come into contact with each other during transport and be damaged, or the chips may not be properly picked up from the tape.

よって、本発明の目的は、隣接するチップの間隔を容易に確認できる検査装置、及びこの検査装置を含むテープ拡張装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an inspection device capable of easily confirming the interval between adjacent chips, and a tape extending device including this inspection device.

本発明の一側面によれば、第１面側がテープに貼付された状態の板状のワークピースを分割予定ラインに沿って分割することで得られる２つの隣接するチップの間隔を確認する際に用いられる検査装置であって、該ワークピースを囲むように該テープに貼付された環状のフレームを保持するテーブルと、該フレーム及び該テープを介して該テーブルに保持された該ワークピースの該第１面又は該第１面とは反対側の第２面に光を照射する光源と、該第１面と該第２面とのうちの該光源により光が照射されていない一方を撮像して画像を生成するカメラと、該カメラで生成された画像に写る２つの隣接する該チップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、該閾値で分けられる該輝度の区分に応じて該画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、該評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、該閾値を変更して該閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含む検査装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, when checking the interval between two adjacent chips obtained by dividing a plate-shaped work piece with a first surface attached to a tape along a line to be divided, An inspection apparatus used, comprising: a table holding an annular frame attached to the tape so as to surround the workpiece; and the workpiece held on the table via the frame and the tape. A light source that irradiates light on one surface or a second surface opposite to the first surface, and one of the first surface and the second surface that is not irradiated with light by the light source is imaged. a camera that generates an image; a threshold storage unit that stores a luminance threshold of pixels between two adjacent chips captured in the image generated by the camera; An evaluation image generation unit that generates an evaluation image in which the pixels are colored differently, an image display unit that displays the evaluation image on a display device, and a threshold change unit that changes the threshold value and stores it in the threshold storage unit. and an inspection device is provided.

好ましくは、該閾値変更部によって変更された該閾値が該閾値記憶部に記憶された場合に、該評価画像生成部は、変更された該閾値に対応する該評価画像を再び生成し、該画像表示部は、該評価画像生成部で再び生成された該評価画像を該表示装置に表示させる。また、好ましくは、該閾値変更部は、該表示装置に表示されるスライダーのつまみ部の位置に応じて該閾値を変更する。 Preferably, when the threshold changed by the threshold change unit is stored in the threshold storage unit, the evaluation image generation unit regenerates the evaluation image corresponding to the changed threshold, The display unit causes the display device to display the evaluation image generated again by the evaluation image generation unit. Also, preferably, the threshold changing unit changes the threshold according to the position of the knob of the slider displayed on the display device.

本発明の別の一側面によれば、上述の検査装置と、該テーブルに該フレームが保持された状態で該テープを拡張するテープ拡張ユニットと、を含むテープ拡張装置が提供される。 According to another aspect of the present invention, there is provided a tape expansion device including the inspection device described above and a tape expansion unit that expands the tape while the frame is held by the table.

分割された後の板状のワークピースの第１面又は第２面に光を照射し、その反対側からワークピースを撮影して画像を生成すると、この画像に写る２つの隣接するチップの間の画素の輝度は、チップの間隔に依存することになる。例えば、チップの間隔が大きいと、チップの間の画素の輝度は高くなり、チップの間隔が小さいと、チップの間の画素の輝度は低くなる。 When an image is generated by irradiating the first surface or the second surface of the plate-shaped workpiece after being divided and photographing the workpiece from the opposite side to generate an image, the distance between the two adjacent chips in this image is will depend on the chip spacing. For example, if the chip spacing is large, the brightness of the pixels between the chips will be high, and if the chip spacing is small, the brightness of the pixels between the chips will be low.

このような前提の下、本発明の一側面にかかる検査装置は、カメラで生成された画像に写る２つの隣接するチップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、閾値を変更して閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含んでいる。 Under such a premise, an inspection apparatus according to one aspect of the present invention includes a threshold storage unit that stores a threshold value of luminance of pixels between two adjacent chips captured in an image generated by a camera, and a threshold value division unit. an evaluation image generating unit for generating an evaluation image in which pixels between chips are colored differently according to the brightness classification; an image display unit for displaying the evaluation image on a display device; and a threshold change unit for storing in the unit.

よって、この検査装置は、任意の閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価画像を生成し、表示装置に表示させることができる。すなわち、検査装置は、基準となるチップの間隔に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価画像を生成し、表示装置に表示させることができる。そして、オペレーターは、表示装置に表示される評価画像に基づいて、隣接するチップの間隔を容易に確認できる。 Therefore, this inspection apparatus can generate an evaluation image in which pixels between chips are given different colors according to brightness divisions divided by arbitrary thresholds, and can be displayed on a display device. That is, the inspection apparatus can generate an evaluation image in which pixels between chips are given different colors according to the distance between the chips serving as a reference, and display the evaluation image on the display device. Then, the operator can easily check the interval between the adjacent chips based on the evaluation image displayed on the display device.

図１は、検査装置を含むテープ拡張装置等を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a tape expanding device and the like including an inspection device. 図２は、テープ拡張装置を模式的に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a tape expanding device. 図３は、検査装置を構成する制御ユニットの機能的な構造の一部を示す機能ブロック図である。FIG. 3 is a functional block diagram showing part of the functional structure of a control unit that constitutes the inspection apparatus. 図４は、複数のチップへと分割された後のワークピースを撮影して画像を取得する様子を模式的に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing how a workpiece after being divided into a plurality of chips is photographed to obtain an image. 図５は、生成される画像の例を模式的に示す図である。FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of a generated image. 図６は、タッチスクリーンに表示されるスライダー及び評価用の画像の例を模式的に示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing an example of a slider displayed on the touch screen and an image for evaluation. 図７は、タッチスクリーンに表示されるスライダー及び評価用の画像の別の例を模式的に示す図である。FIG. 7 is a diagram schematically showing another example of the slider and evaluation image displayed on the touch screen.

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態の検査装置２を含むテープ拡張装置４等を模式的に示す斜視図であり、図２は、テープ拡張装置４等を模式的に示す断面図である。なお、図１では、検査装置２及びテープ拡張装置４の一部の要素が機能ブロックで示されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a tape expanding device 4 and the like including an inspection device 2 of this embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the tape expanding device 4 and the like. In FIG. 1, some elements of the inspection device 2 and the tape expansion device 4 are shown as functional blocks.

図１に示すように、本実施形態の検査装置２が検査の対象とする板状のワークピース１１は、例えば、シリコンやサファイア等の材料でなる円盤状のウェーハである。このワークピース１１の表面（第２面）１１ａ側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＥＤ（Light Emitting Diode）等のデバイスが形成されている。 As shown in FIG. 1, a plate-like workpiece 11 to be inspected by the inspection apparatus 2 of this embodiment is, for example, a disk-shaped wafer made of a material such as silicon or sapphire. A surface (second surface) 11a side of the workpiece 11 is partitioned into a plurality of small regions by a plurality of dividing lines (streets) that intersect with each other. (Light Emitting Diode) and other devices are formed.

ワークピース１１は、分割の際の起点となるように分割予定ラインにおいて改質されており、この分割予定ラインに対応する領域は、他の領域に比べて脆くなっている。そのため、外部からワークピース１１に力を加えれば、ワークピース１１は、分割予定ラインに沿って複数のチップへと分割される。なお、ワークピース１１を分割予定ラインで改質する際には、ワークピース１１を透過する波長のレーザービームを対象の領域に集光させる方法が用いられる。 The work piece 11 is modified at the line to be divided so as to serve as a starting point for division, and the area corresponding to the line to be divided is more fragile than other areas. Therefore, if a force is applied to the work piece 11 from the outside, the work piece 11 is split into a plurality of chips along the planned split lines. In addition, when modifying the work piece 11 along the dividing lines, a method is used in which a laser beam having a wavelength that passes through the work piece 11 is focused on a target region.

例えば、このワークピース１１の裏面（第１面）１１ｂ側には、力を加えると拡張する性質（拡張性）を持つエキスパンドテープ（テープ）１３が貼付されている。また、エキスパンドテープ１３の外周部には、ワークピース１１を囲む環状のフレーム１５が貼付されている。つまり、エキスパンドテープ１３の直径及びフレーム１５の中央に位置する開口部の直径は、ワークピース１１の直径よりも大きい。このように、本実施形態では、ワークピース１１がエキスパンドテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。 For example, an expandable tape (tape) 13 having a property (expandability) that expands when a force is applied is attached to the back surface (first surface) 11b side of the workpiece 11 . An annular frame 15 surrounding the workpiece 11 is attached to the outer peripheral portion of the expanding tape 13 . That is, the diameter of the expanding tape 13 and the diameter of the opening located in the center of the frame 15 are larger than the diameter of the workpiece 11 . Thus, in this embodiment, the workpiece 11 is supported by the frame 15 via the expanding tape 13 .

なお、ワークピース１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、他のセラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板をワークピース１１として用いることもできる。同様に、ワークピース１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。ワークピース１１には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、エキスパンドテープ１３は、ワークピース１１の表面１１ａ側に貼付されても良い。 The material, shape, structure, size, etc. of the workpiece 11 are not limited. For example, a substrate made of other semiconductors, other ceramics, resins, metals, or other materials can be used as the work piece 11 . Similarly, there are no restrictions on the type, quantity, shape, structure, size, arrangement, etc. of the devices formed on the work piece 11 . The work piece 11 may not have any devices formed thereon. Furthermore, the expanding tape 13 may be attached to the surface 11a side of the workpiece 11 .

本実施形態のテープ拡張装置４は、上述のエキスパンドテープ１３を拡張する際に用いられる。エキスパンドテープ１３を拡張すると、ワークピース１１には、このエキスパンドテープ１３から力が加わり、ワークピース１１は、複数のチップへと分割される。そして、本実施形態の検査装置２は、ワークピース１１を分割予定ラインに沿って分割することで得られる２つの隣接するチップの間隔を確認（検査）する際に用いられる。 The tape expanding device 4 of this embodiment is used when expanding the above-described expanding tape 13 . When the expanding tape 13 is expanded, a force is applied to the work piece 11 from the expanding tape 13, and the work piece 11 is split into a plurality of chips. The inspection apparatus 2 of the present embodiment is used to check (inspect) the interval between two adjacent chips obtained by dividing the workpiece 11 along the dividing line.

図１及び図２に示すように、本実施形態のテープ拡張装置４は、例えば、このテープ拡張装置４（検査装置２）を構成する種々の要素を支持する基台６を備えている。基台６には、図２に示すように、基台６の上面６ａで円形に開口する孔（凹部）６ｂが形成されており、孔６ｂには、エキスパンドテープ１３を拡張できるテープ拡張ユニット８の拡張ドラム１０が部分的に挿入されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the tape expansion device 4 of this embodiment includes, for example, a base 6 that supports various elements that constitute the tape expansion device 4 (inspection device 2). As shown in FIG. 2, the base 6 is formed with a hole (recess) 6b that opens circularly in the upper surface 6a of the base 6. The hole 6b is provided with a tape expansion unit 8 capable of expanding the expandable tape 13. expansion drum 10 is partially inserted.

拡張ドラム１０は、円筒状のドラム部１０ａと、ドラム部１０ａの外側の側面から突出する環状のフランジ部１０ｂと、を備えている。ドラム部１０ａの外側の側面の直径（外径）は、孔６ｂの直径よりも僅かに小さく、また、フレーム１５の中央に位置する開口部の直径（内径）よりも小さく、更に、ドラム部１０ａの内側の側面の直径（内径）は、ワークピース１１の直径よりも大きい。 The expansion drum 10 includes a cylindrical drum portion 10a and an annular flange portion 10b protruding from the outer side surface of the drum portion 10a. The diameter (outer diameter) of the outer side surface of the drum portion 10a is slightly smaller than the diameter of the hole 6b and smaller than the diameter (inner diameter) of the opening located in the center of the frame 15. is larger than the diameter of the workpiece 11 .

フランジ部１０ｂより下方に位置するドラム部１０ａの一部は、基台６の上面６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに拡張ドラム１０を回転させることができる状態で孔６ｂに挿入されている。なお、ドラム部１０ａは、フランジ部１０ｂの下面が基台６の上面６ａと接触するように孔６ｂに挿入される。 A portion of the drum portion 10a positioned below the flange portion 10b is inserted into the hole 6b in such a manner as to allow the expansion drum 10 to rotate about a rotation axis substantially perpendicular to the upper surface 6a of the base 6. there is The drum portion 10a is inserted into the hole 6b so that the lower surface of the flange portion 10b contacts the upper surface 6a of the base 6. As shown in FIG.

フランジ部１０ｂの上面には、拡張ドラム１０とともにテープ拡張ユニット８を構成する昇降機構１２が配置されている。昇降機構１２は、例えば、流体を利用するアクチュエーターであり、フランジ部１０ｂの上面に下部が固定される筒状のシリンダーケース１４と、上部が露出するようにシリンダーケース１４に挿入されるピストンロッド１６と、を備えている。 An elevating mechanism 12 that constitutes a tape extending unit 8 together with the extending drum 10 is arranged on the upper surface of the flange portion 10b. The elevating mechanism 12 is, for example, an actuator using fluid, and includes a cylindrical cylinder case 14 whose lower part is fixed to the upper surface of the flange part 10b, and a piston rod 16 inserted into the cylinder case 14 so that its upper part is exposed. and have.

例えば、外部からシリンダーケース１４に流体を供給したり、シリンダーケース１４から外部に流体を排出したりすることで、ピストンロッド１６を上下に移動させることができる。なお、アクチュエーターに利用される流体には、空気等の気体や、オイル等の液体がある。本実施形態のテープ拡張装置４は、このテープ拡張ユニット８と検査装置２とで構成されている。 For example, the piston rod 16 can be moved up and down by supplying fluid to the cylinder case 14 from the outside or discharging fluid from the cylinder case 14 to the outside. Fluids used in actuators include gases such as air and liquids such as oil. The tape expansion device 4 of this embodiment is composed of this tape expansion unit 8 and the inspection device 2 .

ピストンロッド１６の上端部には、フレーム１５を保持できる環状のテーブル１８が固定されている。テーブル１８の中央に位置する開口部の直径（内径）は、ドラム部１０ａの外側の側面の直径よりも大きく、ドラム部１０ａの上部は、テーブル１８の開口部内に配置されている。そのため、昇降機構１２のピストンロッド１６を上下に移動させると、ドラム部１０ａの上部がテーブル１８の開口部内に配置された状態で、拡張ドラム１０に対するテーブル１８の高さが変化する。 An annular table 18 capable of holding the frame 15 is fixed to the upper end of the piston rod 16 . The diameter (inner diameter) of the opening located in the center of the table 18 is larger than the diameter of the outer side surface of the drum portion 10a, and the upper portion of the drum portion 10a is arranged within the opening of the table 18. Therefore, when the piston rod 16 of the elevating mechanism 12 is moved up and down, the height of the table 18 relative to the extension drum 10 changes with the upper portion of the drum portion 10a being arranged in the opening of the table 18 .

テーブル１８の外周部には、テーブル１８の上面に載せられるフレーム１５を固定するための複数のクランプ２０が設けられている。フレーム１５は、例えば、ワークピース１１の表面１１ａが上を向くようにテーブル１８の上面に載せられ、複数のクランプ２０でテーブル１８に固定される。なお、ワークピース１１の表面１１ａが下を向くようにフレーム１５をテーブル１８に固定することもできる。 A plurality of clamps 20 for fixing the frame 15 placed on the upper surface of the table 18 are provided on the outer peripheral portion of the table 18 . The frame 15 is placed on the upper surface of the table 18 so that the surface 11 a of the workpiece 11 faces upward, and is fixed to the table 18 with a plurality of clamps 20 . The frame 15 can also be fixed to the table 18 so that the surface 11a of the workpiece 11 faces downward.

例えば、フレーム１５がテーブル１８に固定された状態で、昇降機構１２によりテーブル１８を下降させれば、ドラム部１０ａの上端部で突き上げるようにしてエキスパンドテープ１３を拡張できる。ワークピース１１は分割予定ラインで改質されており、ワークピース１１の分割予定ラインに対応する領域は、他の領域に比べて脆い。よって、エキスパンドテープ１３を拡張すると、ワークピース１１に力が加わり、ワークピース１１は、分割予定ラインに沿って複数のチップへと分割される。 For example, if the table 18 is lowered by the lifting mechanism 12 while the frame 15 is fixed to the table 18, the expanding tape 13 can be expanded by pushing up the upper end of the drum portion 10a. The work piece 11 is modified along the planned division lines, and the regions corresponding to the planned division lines of the work piece 11 are fragile compared to other regions. Therefore, when the expanding tape 13 is expanded, a force is applied to the work piece 11, and the work piece 11 is split into a plurality of chips along the planned split lines.

図１に示すように、拡張ドラム１０の近傍には、モーター等の回転機構２２と、この回転機構２２に連結され基台６の上面６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに回転するプーリー２４と、が配置されている。プーリー２４及びフランジ部１０ｂの外周面には、無端ベルト２６が架けられている。回転機構２２によってプーリー２４を回転させることで、テープ拡張ユニット８と、テーブル１８と、を基台６の上面６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに回転させることができる。 As shown in FIG. 1, a rotation mechanism 22 such as a motor, and a pulley connected to the rotation mechanism 22 and rotating around a rotation axis substantially perpendicular to the upper surface 6a of the base 6 are provided in the vicinity of the expansion drum 10. 24 and are arranged. An endless belt 26 is stretched over the outer peripheral surfaces of the pulley 24 and the flange portion 10b. By rotating the pulley 24 with the rotation mechanism 22 , the tape expansion unit 8 and the table 18 can be rotated around a rotation axis generally perpendicular to the upper surface 6 a of the base 6 .

また、拡張ドラム１０の近傍には、昇降機構２８が配置されている。昇降機構２８は、例えば、流体を利用するアクチュエーターであり、基台６に固定される筒状のシリンダーケース３０と、一端側が露出するように他端側がシリンダーケース１４に挿入されるＬ字状の支持アーム３２と、を備える。例えば、シリンダーケース３０に流体を供給したり、シリンダーケース３０から流体を排出したりすることで、支持アーム３２を上下に移動させることができる。 A lifting mechanism 28 is arranged near the expansion drum 10 . The elevating mechanism 28 is, for example, an actuator that uses fluid, and has a cylindrical cylinder case 30 fixed to the base 6 and an L-shaped cylinder case 14 whose one end is exposed and whose other end is inserted into the cylinder case 14. a support arm 32; For example, by supplying fluid to the cylinder case 30 or discharging fluid from the cylinder case 30, the support arm 32 can be moved up and down.

支持アーム３２の一端部には、フレーム１５及びエキスパンドテープ１３を介してテーブル１８に保持されるワークピース１１の上を向いた表面１１ａ（又は裏面１１ｂ）を撮影して画像（画像のデータ）を生成できるカメラ３４が固定されている。このカメラ３４は、表面１１ａ（又は裏面１１ｂ）の全体が写った画像を生成できるように、例えば、ドラム部１０ａより内側の領域の直上に配置される。 At one end of the support arm 32, the upper surface 11a (or the rear surface 11b) of the workpiece 11 held on the table 18 via the frame 15 and the expanding tape 13 is photographed and an image (image data) is captured. The cameras 34 that can be generated are fixed. The camera 34 is arranged, for example, directly above the area inside the drum section 10a so as to generate an image showing the entire front surface 11a (or back surface 11b).

カメラ３４の具体的な構造に制限はない。例えば、ワークピース１１を透過し難い任意の波長の光に感度を持つＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサーやＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサー等の２次元光センサーと、レンズと、を備えるカメラ３４を用いることができる。 The specific structure of camera 34 is not limited. For example, a camera comprising a two-dimensional optical sensor such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor or a CCD (Charge Coupled Device) image sensor sensitive to light of any wavelength that is difficult to pass through the workpiece 11, and a lens. 34 can be used.

ドラム部１０ａの内側には、テーブル１８に保持されるワークピース１１に下方から光を照射できる光源３６が配置されている。光源３６は、代表的には、ワークピース１１を透過し難い任意の波長の光を放射できるＬＥＤである。また、この光源３６は、光が照射される裏面１１ｂ（又は表面１１ａ）の全体で概ね均一な照度を実現できるように構成されることが望ましい。 A light source 36 capable of irradiating the work piece 11 held on the table 18 with light from below is arranged inside the drum portion 10a. Light source 36 is typically an LED capable of emitting light of any wavelength that is difficult to transmit through workpiece 11 . Moreover, it is desirable that the light source 36 be configured so as to achieve substantially uniform illuminance over the entire back surface 11b (or front surface 11a) irradiated with light.

テープ拡張装置４（検査装置２）を構成する昇降機構１２、回転機構２２、昇降機構２８、カメラ３４、光源３６等の要素は、それぞれ、制御ユニット３８に接続されている。制御ユニット３８は、例えば、処理装置と、記憶装置と、を含むコンピュータによって構成され、エキスパンドテープ１３の拡張や、チップの間隔の確認に必要な一連の工程に合わせて、上述した各要素を制御する。 Elements such as the elevating mechanism 12, the rotating mechanism 22, the elevating mechanism 28, the camera 34, the light source 36, etc. that constitute the tape expanding device 4 (inspection device 2) are connected to the control unit 38, respectively. The control unit 38 is composed of, for example, a computer including a processing device and a storage device, and controls each element described above in accordance with a series of processes necessary for expanding the expandable tape 13 and checking the intervals between chips. do.

処理装置は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）であり、上述した要素を制御するために必要な種々の処理を行う。記憶装置は、例えば、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含む。この制御ユニット３８の機能は、例えば、記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置が動作することによって実現される。ただし、制御ユニット３８の機能は、ハードウェアのみによって実現されても良い。 The processing device is typically a CPU (Central Processing Unit), and performs various processes necessary to control the elements described above. The storage device includes, for example, a main storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory) and an auxiliary storage device such as a hard disk drive and a flash memory. The functions of the control unit 38 are implemented by the processing device operating according to software stored in the storage device, for example. However, the functions of the control unit 38 may be realized only by hardware.

制御ユニット３８には、更に、ユーザーインターフェースとなるタッチスクリーン（表示装置、入力装置）４０が接続されている。タッチスクリーン４０には、例えば、制御ユニット３８から送られる画像等が表示される。また、例えば、チップの間隔の確認に利用される情報は、このタッチスクリーン４０を介して制御ユニット３８に入力される。 A touch screen (display device, input device) 40 that serves as a user interface is also connected to the control unit 38 . An image or the like sent from the control unit 38 is displayed on the touch screen 40, for example. Also, for example, information used for checking the chip spacing is input to the control unit 38 via the touch screen 40 .

なお、表示装置と入力装置とが一体になったタッチスクリーン４０の代わりに、液晶ディスプレイ等の表示装置と、キーボードやマウス等の入力装置と、がそれぞれ制御ユニット３８に接続されても良い。また、表示装置と入力装置とは、テープ拡張装置４（検査装置２）を構成する要素である必要はなく、テープ拡張装置４（検査装置２）の外部に設けられることがある。例えば、スマートフォン等を表示装置や入力装置として代用しても良い。 A display device such as a liquid crystal display and an input device such as a keyboard and a mouse may be connected to the control unit 38 instead of the touch screen 40 in which the display device and the input device are integrated. Moreover, the display device and the input device do not have to be components of the tape expansion device 4 (inspection device 2), and may be provided outside the tape expansion device 4 (inspection device 2). For example, a smartphone or the like may be used as a display device or an input device.

図３は、検査装置２を構成する制御ユニット３８の機能的な構造の一部を示す機能ブロック図である。図３に示すように、制御ユニット３８は、複数のチップへと分割された後のワークピース１１が写った画像を取得できるように各要素の動作を制御する画像取得部３８ａを含む。例えば、オペレーターがタッチスクリーン４０等を用いてチップの間隔を確認（検査）する旨の指示を制御ユニット３８に入力すると、画像取得部３８ａは、各要素の動作を制御して、ワークピース１１が写った画像を取得する。 FIG. 3 is a functional block diagram showing part of the functional structure of the control unit 38 that constitutes the inspection apparatus 2. As shown in FIG. As shown in FIG. 3, the control unit 38 includes an image acquisition section 38a that controls the operation of each element so as to acquire an image showing the workpiece 11 after being divided into a plurality of chips. For example, when the operator uses the touch screen 40 or the like to input an instruction to check (inspect) the tip spacing to the control unit 38, the image acquisition section 38a controls the operation of each element so that the workpiece 11 is Get the captured image.

図４は、複数のチップ１７へと分割された後のワークピース１１を撮影して画像を取得する様子を模式的に示す断面図である。画像取得部３８ａは、まず、光源３６への電力の供給を制御して、この光源３６に光２１を放射させる。例えば、光源３６から放射された光２１の一部は、エキスパンドテープ１３を透過し、ワークピース１１の下を向いた裏面１１ｂに照射される。 FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing how the workpiece 11 after being divided into a plurality of chips 17 is photographed to obtain an image. The image acquisition unit 38a first controls power supply to the light source 36 to cause the light source 36 to emit the light 21 . For example, part of the light 21 emitted from the light source 36 is transmitted through the expanding tape 13 and illuminates the downward-facing back surface 11 b of the workpiece 11 .

ワークピース１１内で互いに隣接する２つのチップ１７の間には、隙間１９が形成されている。よって、エキスパンドテープ１３を透過した光２１の一部は、隙間１９を通過して上方のカメラ３４に入射する。一方で、ワークピース１１の裏面１１ｂに照射された光２１の大部分は、ワークピース１１を透過せず、カメラ３４に入射しない。 A gap 19 is formed between two chips 17 adjacent to each other in the workpiece 11 . Therefore, part of the light 21 transmitted through the expandable tape 13 passes through the gap 19 and enters the camera 34 above. On the other hand, most of the light 21 applied to the back surface 11 b of the workpiece 11 does not pass through the workpiece 11 and does not enter the camera 34 .

この状態で、画像取得部３８ａは、カメラ３４等の動作を制御して、ワークピース１１の上を向いた表面１１ａの全体をカメラ３４に撮影させる。つまり、光２１が照射されていない表面１１ａの全体がカメラ３４により撮影される。これにより、カメラ３４は、ワークピース１１の表面１１ａの全体が写った画像を生成できる。 In this state, the image acquisition unit 38a controls the operation of the camera 34 and the like to cause the camera 34 to photograph the entire surface 11a of the work piece 11 facing upward. In other words, the entire surface 11a that is not irradiated with the light 21 is photographed by the camera 34 . This allows the camera 34 to generate an image that captures the entire surface 11a of the workpiece 11 .

図５は、カメラ３４により生成される画像２３の例を模式的に示す図である。なお、図５では、説明の便宜上、画像２３内のチップ１７に対応する暗い領域が白色で表され、画像２３内の隣接するチップ１７の隙間１９に対応する明るい領域が黒色で表されている。つまり、画像２３内のワークピース１１に対応する領域では、明暗が反転されている。取得された画像２３は、カメラ３４から制御ユニット３８へと送られ、制御ユニット３８の画像記憶部３８ｂに記憶される。 FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of the image 23 generated by the camera 34. As shown in FIG. In FIG. 5, for convenience of explanation, the dark areas corresponding to the chips 17 in the image 23 are represented in white, and the bright areas corresponding to the gaps 19 between the adjacent chips 17 in the image 23 are represented in black. . That is, in the area corresponding to the workpiece 11 in the image 23, the brightness is reversed. The captured image 23 is sent from the camera 34 to the control unit 38 and stored in the image storage section 38b of the control unit 38 .

図４に示すように、制御ユニット３８は、カメラ３４により生成される画像２３を加工して評価用の画像（評価画像）を生成する評価画像生成部３８ｃを含む。評価画像生成部３８ｃは、例えば、画像２３内のチップ１７の隙間１９に対応する明るい領域を抽出し、この隙間１９に対応する領域を構成する画素（つまり、隣接するチップ１７の間の画素）の輝度の大きさに応じて、各画素に色を付す。 As shown in FIG. 4, the control unit 38 includes an evaluation image generator 38c that processes the image 23 generated by the camera 34 to generate an evaluation image (evaluation image). The evaluation image generator 38c, for example, extracts a bright area corresponding to the gap 19 between the chips 17 in the image 23, and the pixels forming the area corresponding to this gap 19 (that is, the pixels between the adjacent chips 17). Each pixel is colored in accordance with the magnitude of the luminance of .

制御ユニット３８は、各画素の輝度の大きさを判定する際に用いられる１又は複数の閾値（輝度の閾値）を記憶する閾値記憶部３８ｄを含んでいる。評価画像生成部３８ｃは、例えば、予め閾値記憶部３８ｄに記憶されている閾値を参照し、各画素の輝度と閾値とを比較して、各画素の輝度が、閾値で分けられる複数の区分（輝度の区分）のいずれに属するかを判定する。 The control unit 38 includes a threshold storage section 38d that stores one or more thresholds (luminance thresholds) used in determining the magnitude of luminance of each pixel. The evaluation image generation unit 38c, for example, refers to a threshold stored in advance in the threshold storage unit 38d, compares the brightness of each pixel with the threshold, and divides the brightness of each pixel into a plurality of categories ( luminance classification).

例えば、ある画素の輝度が、閾値記憶部３８ｄに記憶された閾値以上の大きさ（又は閾値を超える大きさ）の第１区分に属する場合に、評価画像生成部３８ｃは、この画素に第１色を付す。また、ある画素の輝度が、閾値未満の大きさ（又は閾値以下の大きさ）の第２区分に属する場合に、評価画像生成部３８ｃは、この画素に第１色とは異なる第２色を付す。なお、画素に付される第１色や第２色は、オペレーターが容易に区別できるように選択されることが望ましい。 For example, when the luminance of a certain pixel belongs to the first division having a magnitude equal to or greater than the threshold value (or magnitude exceeding the threshold value) stored in the threshold storage unit 38d, the evaluation image generation unit 38c assigns the luminance of the pixel to the first add color. Further, when the luminance of a certain pixel belongs to the second category of the magnitude less than the threshold (or the magnitude equal to or less than the threshold), the evaluation image generation unit 38c assigns the pixel a second color different from the first color. attached. It is desirable that the first color and the second color applied to the pixels are selected so that the operator can easily distinguish them.

閾値記憶部３８ｄに異なる複数の閾値が記憶されている場合の処理も、同様である。例えば、閾値記憶部３８ｄに異なる２つの閾値が記憶されている場合には、評価画像生成部３８ｃは、２つの閾値で分けられる３つの区分に応じて、対象の画素に異なる３つの色のいずれかを付す。 The same applies to the processing when a plurality of different thresholds are stored in the threshold storage unit 38d. For example, when two different thresholds are stored in the threshold storage unit 38d, the evaluation image generation unit 38c selects one of three different colors for the target pixel according to the three categories divided by the two thresholds. or

なお、閾値記憶部３８ｄには、対象の画素の性質や属性に応じて選択的に適用される複数の閾値が記憶されても良い。例えば、互いに交差する複数の分割予定ラインが設定されているワークピース１１を分割すると、第１方向に延びる分割予定ラインに沿う隙間１９と、第１方向に対して交差する第２方向に延びる分割予定ラインに沿う隙間１９と、が形成されることになる。 Note that the threshold storage unit 38d may store a plurality of thresholds that are selectively applied according to the properties and attributes of the target pixel. For example, when dividing the workpiece 11 on which a plurality of planned division lines that intersect each other are set, a gap 19 along the planned division lines extending in the first direction and a division line extending in the second direction that intersects the first direction are formed. A gap 19 along the planned line is formed.

このような場合には、第１方向に延びる隙間１９と、第２方向に延びる隙間１９と、に異なる基準を適用して隣接するチップの間隔を評価したいことがある。そこで、第１方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に適用される閾値と、第２方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に適用される閾値と、をそれぞれ閾値記憶部３８ｄに記憶させる。これにより、隣接するチップの間隔をより適切に評価できるようになる。 In such a case, it may be desirable to evaluate the spacing of adjacent chips by applying different criteria to gaps 19 extending in the first direction and gaps 19 extending in the second direction. Therefore, the threshold value to be applied to the pixels in the area corresponding to the gap 19 extending in the first direction and the threshold value to be applied to the pixel in the area corresponding to the gap 19 extending in the second direction are stored in the threshold storage unit 38d. Let This allows the spacing of adjacent chips to be better evaluated.

評価画像生成部３８ｃで生成される評価用の画像は、元の画像２３と同様に、画像記憶部３８ｂに記憶される。制御ユニット３８は、評価用の画像等をタッチスクリーン４０に表示させる画像表示部３８ｅを含む。画像表示部３８ｅは、例えば、評価用の画像が画像記憶部３８ｂに記憶される度に、記憶された評価用の画像をタッチスクリーン４０に表示させる。 The image for evaluation generated by the evaluation image generating section 38c is stored in the image storage section 38b in the same manner as the original image 23. FIG. The control unit 38 includes an image display section 38e that causes the touch screen 40 to display images for evaluation and the like. For example, the image display unit 38e causes the touch screen 40 to display the stored image for evaluation each time the image for evaluation is stored in the image storage unit 38b.

制御ユニット３８は、評価用の画像を生成する際に用いられる閾値を変更して閾値記憶部３８ｄに記憶させる閾値変更部３８ｆを更に含む。例えば、オペレーターがタッチスクリーン４０を用いて変更後の新たな閾値に関する情報を制御ユニット３８に入力すると、閾値変更部３８ｆは、この情報に基づき、既に記憶されている閾値を置き換えるように変更後の閾値を閾値記憶部３８ｄに記憶させる。 The control unit 38 further includes a threshold changing section 38f that changes the threshold used when generating the image for evaluation and stores it in the threshold storing section 38d. For example, when the operator uses the touch screen 40 to input information about a new threshold after change to the control unit 38, the threshold change unit 38f replaces the already stored threshold based on this information. The threshold is stored in the threshold storage unit 38d.

なお、画像表示部３８ｅは、閾値変更部３８ｆの指示に基づき、閾値に関する情報を入力する際に用いられる入力欄をタッチスクリーン４０に表示させる。本実施形態では、入力欄として、つまみ部を直線的に移動させることで値を選択（変更）できるスライダーが採用される。すなわち、閾値変更部３８ｆは、スライダーのつまみ部の位置に応じて閾値を変更する。ただし、画像表示部３８ｅは、数値等を直に入力できる入力欄をタッチスクリーン４０に表示させても良い。 Note that the image display unit 38e causes the touch screen 40 to display an input field used when inputting information about the threshold based on the instruction from the threshold change unit 38f. In this embodiment, as the input field, a slider is used that allows the value to be selected (changed) by linearly moving the knob. That is, the threshold changing unit 38f changes the threshold according to the position of the knob of the slider. However, the image display unit 38e may cause the touch screen 40 to display input fields for directly inputting numerical values and the like.

閾値変更部３８ｆによって変更後の閾値が閾値記憶部３８ｄに記憶されると、評価画像生成部３８ｃは、変更後の閾値を用いて評価用の画像を再び生成する。変更後の閾値を用いて再び生成された評価用の画像は、同様に、画像記憶部３８ｂに記憶される。そして、画像表示部３８ｅは、この評価用の画像をタッチスクリーン４０に表示させる。 When the changed threshold value is stored in the threshold value storage unit 38d by the threshold change unit 38f, the evaluation image generation unit 38c uses the changed threshold value to generate the image for evaluation again. The image for evaluation generated again using the changed threshold value is similarly stored in the image storage unit 38b. Then, the image display unit 38e causes the touch screen 40 to display this image for evaluation.

図６は、タッチスクリーン４０に表示されるスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ、及び評価用の画像（評価画像）２５の例を模式的に示す図である。タッチスクリーン４０の表示領域４０ａには、図６に示すように、４種類のスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄが表示されている。 FIG. 6 is a diagram schematically showing an example of sliders 27a, 27b, 27c, and 27d displayed on the touch screen 40 and an image for evaluation (evaluation image) 25. As shown in FIG. Four types of sliders 27a, 27b, 27c, and 27d are displayed on the display area 40a of the touch screen 40, as shown in FIG.

例えば、スライダー２７ａは、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第１閾値を変更する際に用いられ、スライダー２７ｃは、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第２閾値を変更する際に用いられる。つまり、図６の例では、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する２つの閾値が閾値記憶部３８ｄに記憶されている。 For example, the slider 27a is used to change the first threshold for pixels in the area corresponding to the laterally extending gap 19, and the slider 27c is used to change the second threshold for pixels in the area corresponding to the laterally extending gap 19. is used when changing That is, in the example of FIG. 6, two thresholds for pixels in the area corresponding to the gap 19 extending in the horizontal direction are stored in the threshold storage unit 38d.

また、例えば、スライダー２７ｂは、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第３閾値を変更する際に用いられ、スライダー２７ｄは、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第４閾値を変更する際に用いられる。つまり、図６の例では、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する２つの閾値が閾値記憶部３８ｄに記憶されている。 Further, for example, the slider 27b is used to change the third threshold for pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the vertical direction, and the slider 27d is used to change the third threshold for pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the vertical direction. 4 Used when changing the threshold. That is, in the example of FIG. 6, two thresholds for pixels in the area corresponding to the gap 19 extending in the vertical direction are stored in the threshold storage unit 38d.

図６に示すように、４つの閾値の全てが２０．０に設定された状態では、隙間１９に対応する領域の全ての画素２５ａに同じ第１色（例えば、緑色）が付された画像２５が生成される。これは、隙間１９に対応する領域の全ての画素２５ａの輝度が、例えば、各閾値（２０．０）以上の大きさの区分に属していることを示す。なお、図６では、説明の便宜上、画素２５ａに第１色が付された様子が実線で表現されている。 As shown in FIG. 6, when all four thresholds are set to 20.0, an image 25 in which all pixels 25a in the area corresponding to the gap 19 are given the same first color (for example, green) is generated. This indicates that the brightness of all the pixels 25a in the region corresponding to the gap 19 belongs to the division of size equal to or greater than each threshold value (20.0), for example. In FIG. 6, for convenience of explanation, the state in which the first color is applied to the pixel 25a is represented by a solid line.

次に、オペレーターがスライダー２７ａのつまみ部を移動させて、第１閾値が５０．０に変更された場合を想定する。図７は、この場合にタッチスクリーン４０に表示されるスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ、及び評価用の画像（評価画像）２９の例を模式的に示す図である。 Next, it is assumed that the operator moves the knob of the slider 27a to change the first threshold value to 50.0. FIG. 7 is a diagram schematically showing an example of sliders 27a, 27b, 27c, and 27d displayed on the touch screen 40 in this case, and an image for evaluation (evaluation image) 29. As shown in FIG.

図７に示すように、第１閾値が５０．０に設定されると、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素には、第１閾値と第２閾値とで分けられる３つの区分（輝度の区分）に応じて異なる色が付される。例えば、ワークピース１１の主に外周側の領域では、隙間１９に対応する領域の画素２９ａに、第１閾値以上かつ第２閾値以上の区分に属していることを示す第１色（例えば、緑色）が付される。なお、図７では、説明の便宜上、画素２９ａに第１色が付された様子が実線で表現されている。 As shown in FIG. 7, when the first threshold is set to 50.0, the pixels in the region corresponding to the laterally extending gap 19 are divided into three categories ( Different colors are given according to luminance divisions). For example, in the region mainly on the outer peripheral side of the workpiece 11, the pixels 29a in the region corresponding to the gap 19 are given a first color (for example, green ) is attached. In FIG. 7, for convenience of explanation, the state in which the first color is applied to the pixel 29a is represented by a solid line.

また、例えば、ワークピース１１の主に中央側の領域では、隙間１９に対応する領域の画素２９ｂに、第１閾値と第２閾値との間の区分（つまり、第１閾値未満かつ第２閾値以上の区分）に属していることを示す第２色（例えば、赤色）が付される。図７では、画素２９ｂに第２色が付された様子が破線で表現されている。なお、画像２９内には、第１閾値未満かつ第２閾値未満の区分に属し第３色が付される画素は存在しない。また、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の全ての画素に、第１色が付されている。 Further, for example, in the region mainly on the central side of the workpiece 11, the pixels 29b in the region corresponding to the gap 19 are divided between the first threshold and the second threshold (that is, less than the first threshold and the second threshold). A second color (for example, red) is given to indicate that it belongs to the category above. In FIG. 7, the state in which the second color is applied to the pixel 29b is represented by a dashed line. Note that there is no pixel in the image 29 that belongs to the category of less than the first threshold and less than the second threshold and is given the third color. Also, all the pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the vertical direction are given the first color.

上述のように、分割された後の板状のワークピース１１の裏面（第１面）１１ｂに光を照射し、その反対側からワークピース１１を撮影して画像２３を生成すると、この画像２３に写る２つの隣接するチップ１７の間の画素の輝度は、隣接するチップ１７の間隔に依存する。例えば、隣接するチップ１７の間隔が大きいと、隣接するチップ１７の間の画素の輝度は高くなり、隣接するチップ１７の間隔が小さいと、隣接するチップ１７の間の画素の輝度は低くなる。 As described above, when the rear surface (first surface) 11b of the divided plate-shaped workpiece 11 is irradiated with light and the workpiece 11 is photographed from the opposite side to generate an image 23, this image 23 The brightness of a pixel between two adjacent chips 17 in the image depends on the spacing between the adjacent chips 17 . For example, if the spacing between adjacent chips 17 is large, the brightness of pixels between adjacent chips 17 will be high, and if the spacing between adjacent chips 17 is small, the brightness of pixels between adjacent chips 17 will be low.

このような前提の下で、本実施形態にかかる検査装置２は、カメラ３４で生成された画像２３に写る２つの隣接するチップ１７の間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部３８ｄと、閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価用の画像（評価画像）２５、２９を生成する評価画像生成部３８ｃと、評価用の画像２５、２９をタッチスクリーン（表示装置）４０に表示させる画像表示部３８ｅと、閾値を変更して閾値記憶部３８ｄに記憶させる閾値変更部３８ｆと、を含んでいる。 Under such a premise, the inspection apparatus 2 according to the present embodiment includes a threshold storage unit 38d that stores luminance thresholds of pixels between two adjacent chips 17 captured in the image 23 generated by the camera 34, and , an evaluation image generation unit 38c for generating evaluation images (evaluation images) 25 and 29 in which pixels between chips are given different colors according to brightness divisions divided by thresholds; an evaluation image 25; 29 on a touch screen (display device) 40, and a threshold changing unit 38f for changing the threshold and storing it in the threshold storage 38d.

よって、本実施形態の検査装置２は、任意の閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップ１７の間の画素に異なる色が付された評価用の画像２５、２９を生成し、タッチスクリーン４０に表示させることができる。すなわち、検査装置２は、基準となるチップ１７の間隔に応じてチップ１７の間の画素に異なる色が付された評価用の画像２５、２９を生成し、タッチスクリーン４０に表示させることができる。そして、オペレーターは、タッチスクリーン４０に表示される評価用の画像２５、２９に基づいて、隣接するチップ１７の間隔を容易に確認できる。 Therefore, the inspection apparatus 2 of the present embodiment generates the evaluation images 25 and 29 in which the pixels between the chips 17 are given different colors according to the luminance divisions divided by arbitrary thresholds, and the touch screen 40 can be displayed. That is, the inspection apparatus 2 can generate the evaluation images 25 and 29 in which the pixels between the chips 17 are given different colors according to the distance between the chips 17 serving as a reference, and display them on the touch screen 40 . . The operator can easily check the interval between the adjacent chips 17 based on the evaluation images 25 and 29 displayed on the touch screen 40 .

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、ワークピース１１が分割予定ラインで改質されており、このワークピース１１に力を加えることで、ワークピース１１が複数のチップ１７へと分割される場合を例に挙げて説明したが、本発明の検査装置２は、任意の方法で複数のチップへと分割されたワークピース内の隣接するチップの間隔を確認する際に用いることができる。 It should be noted that the present invention is not limited to the description of the above-described embodiment and can be implemented with various modifications. For example, in the above-described embodiment, the work piece 11 is reformed on the dividing line, and by applying a force to the work piece 11, the work piece 11 is divided into a plurality of chips 17 as an example. As mentioned above, the inspection apparatus 2 of the present invention can be used to ascertain the spacing of adjacent chips within a workpiece that has been divided into multiple chips in any manner.

その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structures, methods, and the like according to the above-described embodiments and modifications can be modified as appropriate without departing from the scope of the present invention.

２ ：検査装置
４ ：テープ拡張装置
６ ：基台
６ａ ：上面
６ｂ ：孔（凹部）
８ ：テープ拡張ユニット
１０ ：拡張ドラム
１０ａ ：ドラム部
１０ｂ ：フランジ部
１２ ：昇降機構
１４ ：シリンダーケース
１６ ：ピストンロッド
１８ ：テーブル
２０ ：クランプ
２２ ：回転機構
２４ ：プーリー
２６ ：無端ベルト
２８ ：昇降機構
３０ ：シリンダーケース
３２ ：支持アーム
３４ ：カメラ
３６ ：光源
３８ ：制御ユニット
３８ａ ：画像取得部
３８ｂ ：画像記憶部
３８ｃ ：評価画像生成部
３８ｄ ：閾値記憶部
３８ｅ ：画像表示部
３８ｆ ：閾値変更部
４０ ：タッチスクリーン（表示装置、入力装置）
４０ａ ：表示領域
１１ ：ワークピース
１１ａ ：表面（第２面）
１１ｂ ：裏面（第１面）
１３ ：エキスパンドテープ（テープ）
１５ ：フレーム
１７ ：チップ
１９ ：隙間
２１ ：光
２３ ：画像
２５ ：評価用の画像（評価画像）
２５ａ ：画素
２７ａ ：スライダー
２７ｂ ：スライダー
２７ｃ ：スライダー
２７ｄ ：スライダー
２９ ：評価用の画像（評価画像）
２９ａ ：画素
２９ｂ ：画素 2: inspection device 4: tape expansion device 6: base 6a: upper surface 6b: hole (recess)
8: Tape expansion unit 10: Expansion drum 10a: Drum portion 10b: Flange portion 12: Lifting mechanism 14: Cylinder case 16: Piston rod 18: Table 20: Clamp 22: Rotation mechanism 24: Pulley 26: Endless belt 28: Lifting mechanism 30: Cylinder case 32: Support arm 34: Camera 36: Light source 38: Control unit 38a: Image acquisition unit 38b: Image storage unit 38c: Evaluation image generation unit 38d: Threshold storage unit 38e: Image display unit 38f: Threshold change unit 40 : Touch screen (display device, input device)
40a: display area 11: workpiece 11a: surface (second surface)
11b: back surface (first surface)
13: Expanding tape (tape)
15: Frame 17: Chip 19: Gap 21: Light 23: Image 25: Image for evaluation (evaluation image)
25a: Pixel 27a: Slider 27b: Slider 27c: Slider 27d: Slider 29: Image for evaluation (evaluation image)
29a: pixel 29b: pixel

Claims (4)

第１面側がテープに貼付された状態の板状のワークピースを分割予定ラインに沿って分割することで得られる２つの隣接するチップの間隔を確認する際に用いられる検査装置であって、
該ワークピースを囲むように該テープに貼付された環状のフレームを保持するテーブルと、
該フレーム及び該テープを介して該テーブルに保持された該ワークピースの該第１面又は該第１面とは反対側の第２面に光を照射する光源と、
該第１面と該第２面とのうちの該光源により光が照射されていない一方を撮像して画像を生成するカメラと、
該カメラで生成された画像に写る２つの隣接する該チップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、
該閾値で分けられる該輝度の区分に応じて該画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、
該評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、
該閾値を変更して該閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含む検査装置。 1. An inspection device used for checking the interval between two adjacent chips obtained by dividing a plate-shaped work piece with a first surface attached to a tape along a planned division line,
a table holding an annular frame attached to the tape to surround the workpiece;
a light source that irradiates light onto the first surface of the workpiece held on the table via the frame and the tape or onto a second surface opposite to the first surface;
a camera that captures one of the first surface and the second surface that is not illuminated by the light source to generate an image;
a threshold storage unit for storing a luminance threshold of pixels between two adjacent chips in an image generated by the camera;
an evaluation image generation unit that generates an evaluation image in which the pixels are given different colors according to the luminance divisions divided by the threshold;
an image display unit for displaying the evaluation image on a display device;
and a threshold changing unit that changes the threshold and stores the threshold in the threshold storage unit. 該閾値変更部によって変更された該閾値が該閾値記憶部に記憶された場合に、
該評価画像生成部は、変更された該閾値に対応する該評価画像を再び生成し、
該画像表示部は、該評価画像生成部で再び生成された該評価画像を該表示装置に表示させる請求項１に記載の検査装置。 When the threshold changed by the threshold change unit is stored in the threshold storage unit,
The evaluation image generation unit regenerates the evaluation image corresponding to the changed threshold,
2. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the image display section causes the display device to display the evaluation image generated again by the evaluation image generation section. 該閾値変更部は、該表示装置に表示されるスライダーのつまみ部の位置に応じて該閾値を変更する請求項１又は請求項２に記載の検査装置。 3. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the threshold value changing unit changes the threshold value according to the position of the knob portion of the slider displayed on the display device. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置と、
該テーブルに該フレームが保持された状態で該テープを拡張するテープ拡張ユニットと、を含むテープ拡張装置。 an inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3;
a tape expansion unit for expanding the tape while the frame is held by the table.
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