KR20220102116A - Inspection apparatus and tape expansion apparatus - Google Patents

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KR20220102116A
KR20220102116A KR1020220002071A KR20220002071A KR20220102116A KR 20220102116 A KR20220102116 A KR 20220102116A KR 1020220002071 A KR1020220002071 A KR 1020220002071A KR 20220002071 A KR20220002071 A KR 20220002071A KR 20220102116 A KR20220102116 A KR 20220102116A
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요시히로 가와구치
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

An inspection apparatus capable of easily checking the distance between adjacent chips is provided. The inspection apparatus includes: a table holding an annular frame affixed to a tape so as to surround a workpiece affixed to the tape; a light source for radiating light to a first surface of the workpiece held on the table through the frame and the tape or to a second surface opposite to the first surface; a camera for generating an image by capturing an image of one of the first surface and the second surface to which light is not irradiated by the light source; a threshold value storage unit for storing a threshold value of luminance of a pixel between two adjacent chips captured in an image generated by the camera; an evaluation image generation unit for generating evaluation images in which pixels are assigned different colors according to luminance divisions divided by threshold values; an image display unit for displaying an evaluation image on a display device; and a threshold value change unit for changing the threshold value and storing the same in the threshold value storage unit.

Description

검사 장치 및 테이프 확장 장치{INSPECTION APPARATUS AND TAPE EXPANSION APPARATUS}INSPECTION APPARATUS AND TAPE EXPANSION APPARATUS

본 발명은 판형의 워크피스를 분할하여 얻어지는 칩의 간격을 확인할 때에 이용되는 검사 장치 및 이 검사 장치를 포함하는 테이프 확장 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an inspection apparatus used for checking the spacing of chips obtained by dividing a plate-shaped workpiece, and a tape expanding apparatus including the inspection apparatus.

휴대 전화기나 퍼스널 컴퓨터로 대표되는 전자 기기로서는, 각종 기능을 갖는 디바이스를 구비한 디바이스 칩이 필수적인 구성 요소로 되어 있다. 디바이스 칩은, 예컨대, 실리콘이나 사파이어 등의 재료를 포함하는 웨이퍼를 분할 예정 라인(스트리트)으로 복수의 영역으로 구획하고, 각 영역에 디바이스를 형성한 뒤에, 이 분할 예정 라인을 따라 웨이퍼를 분할함으로써 얻어진다.As an electronic device represented by a mobile phone or a personal computer, a device chip including devices having various functions is an essential component. A device chip divides a wafer containing a material, such as silicon or sapphire, into a plurality of regions with a predetermined division line (street), forms a device in each region, and then divides the wafer along this division line. is obtained

웨이퍼와 같은 판형의 워크피스를 복수의 칩으로 분할할 때에는, 예컨대, 이 워크피스를 투과하는 파장의 레이저 빔을 분할 예정 라인에 집광시켜, 워크피스를 분할 예정 라인에서 개질한다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 그 후, 외부로부터 워크피스에 힘을 가함으로써, 개질되어 취약해진 분할 예정 라인에 대응하는 영역을 경계로 워크피스가 복수의 칩으로 분할된다.When a plate-shaped workpiece such as a wafer is divided into a plurality of chips, for example, a laser beam having a wavelength passing through the workpiece is focused on a division scheduled line, and the workpiece is modified at the division scheduled line (eg, Patent Document). see 1). Thereafter, by applying a force to the work piece from the outside, the work piece is divided into a plurality of chips by the boundary of the area corresponding to the dividing line that has been modified and weakened.

그런데, 전술한 방법으로 워크피스를 분할하기 전에는, 힘을 가함으로써 확장하는 성질(확장성)을 갖는 테이프를 워크피스에 첩부해 두는 것이 일반적이다. 미리 워크피스에 테이프를 첩부해 둠으로써, 워크피스를 분할한 후에 복수의 칩이 테이프로 유지된 상태가 되기 때문에, 워크피스(복수의 칩)를 취급하기 쉬워진다. 또한, 테이프를 확장시키는 방향의 힘(장력)을 테이프에 가함으로써, 인접하는 칩 사이에 간극을 형성할 수도 있다.By the way, before dividing the work piece by the above method, it is common to stick a tape having a property of expanding by applying a force (expandability) to the work piece. By affixing the tape to the workpiece in advance, the plurality of chips are held by the tape after dividing the workpiece, so that the workpiece (a plurality of chips) can be easily handled. Further, by applying a force (tension) in the direction of expanding the tape to the tape, a gap may be formed between adjacent chips.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2002-192370호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2002-192370

그러나, 테이프에 가해지는 장력의 크기를 테이프 내의 모든 영역에서 일정하게 하는 것은 용이하지 않다. 따라서, 인접하는 칩 사이에 형성되는 간극의 크기는, 반드시 워크피스의 전체에서 같아지지 않는다. 예컨대, 인접하는 칩의 간극이 작으면, 반송 시에 칩끼리가 접촉하여 파손되거나, 테이프로부터 칩을 적절하게 픽업할 수 없게 되거나 한다.However, it is not easy to make the magnitude of the tension applied to the tape constant in all areas within the tape. Therefore, the size of the gap formed between adjacent chips is not necessarily the same throughout the workpiece. For example, if the gap between adjacent chips is small, the chips may come into contact with each other during conveyance and may be damaged, or it may become impossible to properly pick up the chips from the tape.

따라서, 본 발명의 목적은 인접하는 칩의 간격을 용이하게 확인할 수 있는 검사 장치 및 이 검사 장치를 포함하는 테이프 확장 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide an inspection apparatus capable of easily checking an interval between adjacent chips, and a tape expansion apparatus including the inspection apparatus.

본 발명의 일측면에 따르면, 제1 면측이 테이프에 첩부된 상태의 판형의 워크피스를 분할 예정 라인을 따라 분할함으로써 얻어지는 2개의 인접하는 칩의 간격을 확인할 때에 이용되는 검사 장치로서, 상기 워크피스를 둘러싸도록 상기 테이프에 첩부된 환형의 프레임을 유지하는 테이블과, 상기 프레임 및 상기 테이프를 통해 상기 테이블에 유지된 상기 워크피스의 상기 제1 면 또는 상기 제1 면과는 반대측의 제2 면에 광을 조사하는 광원과, 상기 제1 면과 상기 제2 면 중 상기 광원에 의해 광이 조사되지 않는 한쪽을 촬상하여 화상을 생성하는 카메라와, 상기 카메라로 생성된 화상에 찍힌 2개의 인접하는 상기 칩 사이의 화소의 휘도의 임계값을 기억하는 임계값 기억부와, 상기 임계값으로 나뉘는 상기 휘도의 구분에 따라 상기 화소에 다른 색이 부여된 평가 화상을 생성하는 평가 화상 생성부와, 상기 평가 화상을 표시 장치에 표시시키는 화상 표시부와, 상기 임계값을 변경하여 상기 임계값 기억부에 기억시키는 임계값 변경부를 포함하는 검사 장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus used when checking the gap between two adjacent chips obtained by dividing a plate-shaped workpiece with a first surface side affixed to a tape along a division scheduled line, the workpiece a table holding an annular frame affixed to the tape so as to surround the first surface or a second surface opposite to the first surface of the workpiece held on the table through the frame and the tape. a light source irradiating light; a camera generating an image by imaging one of the first surface and the second surface to which light is not irradiated by the light source; a threshold value storage unit for storing a threshold value of the luminance of the pixel between chips; An inspection apparatus is provided, comprising: an image display unit for displaying an image on a display apparatus; and a threshold value changing unit for changing the threshold value and storing the threshold value in the threshold value storage unit.

바람직하게는, 상기 임계값 변경부에 의해 변경된 상기 임계값이 상기 임계값 기억부에 기억된 경우에, 상기 평가 화상 생성부는, 변경된 상기 임계값에 대응하는 상기 평가 화상을 재차 생성하고, 상기 화상 표시부는, 상기 평가 화상 생성부에서 재차 생성된 상기 평가 화상을 상기 표시 장치에 표시시킨다. 또한, 바람직하게는, 상기 임계값 변경부는, 상기 표시 장치에 표시되는 슬라이더의 손잡이부의 위치에 따라 상기 임계값을 변경한다.Preferably, when the threshold value changed by the threshold value changing unit is stored in the threshold value storage unit, the evaluation image generating unit generates the evaluation image corresponding to the changed threshold value again, and the image A display unit causes the display device to display the evaluation image generated again by the evaluation image generating unit. Also, preferably, the threshold value changing unit changes the threshold value according to a position of a handle portion of a slider displayed on the display device.

본 발명의 별도의 일측면에 따르면, 전술한 검사 장치와, 상기 테이블에 상기 프레임이 유지된 상태에서 상기 테이프를 확장하는 테이프 확장 유닛을 포함하는 테이프 확장 장치가 제공된다.According to a separate aspect of the present invention, there is provided a tape expansion device including the above-described inspection device and a tape expansion unit for expanding the tape while the frame is maintained on the table.

분할된 후의 판형의 워크피스의 제1 면 또는 제2 면에 광을 조사하고, 그 반대측으로부터 워크피스를 촬영하여 화상을 생성하면, 이 화상에 찍힌 2개의 인접하는 칩 사이의 화소의 휘도는, 칩의 간격에 의존하게 된다. 예컨대, 칩의 간격이 크면, 칩 사이의 화소의 휘도는 높아지고, 칩의 간격이 작으면, 칩 사이의 화소의 휘도는 낮아진다.When light is irradiated to the first surface or the second surface of the plate-shaped workpiece after division, and the workpiece is photographed from the opposite side to generate an image, the luminance of pixels between two adjacent chips captured in this image is, It depends on the spacing of the chips. For example, if the gap between the chips is large, the luminance of the pixels between the chips is high, and if the gap between the chips is small, the luminance of the pixels between the chips is low.

이러한 전제하, 본 발명의 일측면에 따른 검사 장치는, 카메라로 생성된 화상에 찍힌 2개의 인접하는 칩 사이의 화소의 휘도의 임계값을 기억하는 임계값 기억부와, 임계값으로 나뉘는 휘도의 구분에 따라 칩 사이의 화소에 다른 색이 부여된 평가 화상을 생성하는 평가 화상 생성부와, 평가 화상을 표시 장치에 표시시키는 화상 표시부와, 임계값을 변경하여 임계값 기억부에 기억시키는 임계값 변경부를 포함하고 있다.Under this premise, the inspection apparatus according to one aspect of the present invention includes a threshold value storage unit for storing a threshold value of the luminance of a pixel between two adjacent chips captured in an image generated by a camera, and a luminance divided by the threshold value. An evaluation image generating unit for generating an evaluation image in which different colors are given to pixels between chips according to classification, an image display unit for displaying the evaluation image on a display device, and a threshold value for changing the threshold value and storing the evaluation image in the threshold value storage unit contains changes.

따라서, 이 검사 장치는, 임의의 임계값으로 나뉘는 휘도의 구분에 따라 칩 사이의 화소에 다른 색이 부여된 평가 화상을 생성하여, 표시 장치에 표시시킬 수 있다. 즉, 검사 장치는, 기준이 되는 칩의 간격에 따라 칩 사이의 화소에 다른 색이 부여된 평가 화상을 생성하여, 표시 장치에 표시시킬 수 있다. 그리고, 오퍼레이터는, 표시 장치에 표시되는 평가 화상에 기초하여, 인접하는 칩의 간격을 용이하게 확인할 수 있다.Accordingly, this inspection apparatus can generate an evaluation image in which different colors are given to pixels between chips according to the division of luminance divided by an arbitrary threshold value, and can be displayed on the display apparatus. That is, the inspection apparatus can generate evaluation images in which different colors are applied to the pixels between the chips according to the distance between the chips as a reference, and can be displayed on the display apparatus. And the operator can easily confirm the space|interval of the adjacent chip|tip based on the evaluation image displayed on a display apparatus.

도 1은 검사 장치를 포함하는 테이프 확장 장치 등을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 테이프 확장 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 검사 장치를 구성하는 제어 유닛의 기능적인 구조의 일부를 나타내는 기능 블록도이다.
도 4는 복수의 칩으로 분할된 후의 워크피스를 촬영하여 화상을 취득하는 모습을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 생성되는 화상의 예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 터치 스크린에 표시되는 슬라이더 및 평가용의 화상의 예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 터치 스크린에 표시되는 슬라이더 및 평가용의 화상의 별도의 예를 모식적으로 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows typically the tape expansion apparatus etc. which include an inspection apparatus.
2 is a cross-sectional view schematically showing a tape expansion device.
3 is a functional block diagram showing a part of a functional structure of a control unit constituting the inspection apparatus.
4 is a cross-sectional view schematically showing a state in which an image is acquired by photographing a workpiece after being divided into a plurality of chips.
5 is a diagram schematically illustrating an example of a generated image.
6 is a diagram schematically showing an example of a slider and an evaluation image displayed on a touch screen.
7 is a diagram schematically showing another example of a slider and an image for evaluation displayed on a touch screen.

이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 검사 장치(2)를 포함하는 테이프 확장 장치(4) 등을 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 테이프 확장 장치(4) 등을 모식적으로 나타내는 단면도이다. 또한, 도 1에서는 검사 장치(2) 및 테이프 확장 장치(4)의 일부의 요소를 기능 블록으로 나타내고 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring an accompanying drawing. 1 : is a perspective view which shows typically the tape expansion apparatus 4 etc. which include the test|inspection apparatus 2 of this embodiment, and FIG. 2 is sectional drawing which shows the tape expansion apparatus 4 etc. typically. In Fig. 1, some elements of the inspection device 2 and the tape expansion device 4 are shown as functional blocks.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 검사 장치(2)가 검사의 대상으로 하는 판형의 워크피스(11)는, 예컨대, 실리콘이나 사파이어 등의 재료를 포함하는 원반형의 웨이퍼이다. 이 워크피스(11)의 표면(제2 면)(11a)측은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 소영역으로 구획되어 있고, 각 소영역에는, IC(Integrated Circuit)나 LED(Light Emitting Diode) 등의 디바이스가 형성되어 있다.As shown in FIG. 1, the plate-shaped workpiece 11 which the inspection apparatus 2 of this embodiment makes the inspection object is a disk-shaped wafer containing materials, such as silicon|silicone and sapphire, for example. The surface (second surface) 11a side of the workpiece 11 is divided into a plurality of small regions by a plurality of division scheduled lines (streets) intersecting each other, and each small region has an IC (Integrated Circuit). A device such as an LED (Light Emitting Diode) is formed.

워크피스(11)는, 분할 시의 기점이 되도록 분할 예정 라인에서 개질되고 있고, 이 분할 예정 라인에 대응하는 영역은, 다른 영역에 비해서 취약해져 있다. 그 때문에, 외부로부터 워크피스(11)에 힘을 가하면, 워크피스(11)는, 분할 예정 라인을 따라 복수의 칩으로 분할된다. 또한, 워크피스(11)를 분할 예정 라인에서 개질할 때에는, 워크피스(11)를 투과하는 파장의 레이저 빔을 대상의 영역에 집광시키는 방법이 이용된다.The workpiece 11 is modified at the division scheduled line so as to be a starting point for division, and the area corresponding to the division scheduled line is weaker than other areas. Therefore, when a force is applied to the workpiece 11 from the outside, the workpiece 11 is divided into a plurality of chips along the dividing line. In addition, when modifying the workpiece 11 at the division scheduled line, a method of condensing a laser beam having a wavelength passing through the workpiece 11 on a target area is used.

예컨대, 이 워크피스(11)의 이면(제1 면)(11b)측에는, 힘을 가하면 확장하는 성질(확장성)을 갖는 익스팬드 테이프(테이프)(13)가 첩부되어 있다. 또한, 익스팬드 테이프(13)의 외주부에는, 워크피스(11)를 둘러싸는 환형의 프레임(15)이 첩부되어 있다. 즉, 익스팬드 테이프(13)의 직경 및 프레임(15)의 중앙에 위치하는 개구부의 직경은, 워크피스(11)의 직경보다 크다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 워크피스(11)가 익스팬드 테이프(13)를 통해 프레임(15)에 지지되어 있다.For example, on the back surface (first surface) 11b side of the workpiece 11, an expand tape (tape) 13 having a property of expanding when a force is applied (expandability) is affixed. Further, an annular frame 15 surrounding the work piece 11 is affixed to the outer periphery of the expand tape 13 . That is, the diameter of the expand tape 13 and the diameter of the opening located at the center of the frame 15 are larger than the diameter of the workpiece 11 . As described above, in the present embodiment, the work piece 11 is supported by the frame 15 via the expand tape 13 .

또한, 워크피스(11)의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대, 다른 반도체, 다른 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료를 포함하는 기판을 워크피스(11)로서 이용할 수도 있다. 마찬가지로, 워크피스(11)에 형성되는 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 워크피스(11)에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 좋다. 또한, 익스팬드 테이프(13)는, 워크피스(11)의 표면(11a)측에 첩부되어도 좋다.In addition, there is no limitation on the material, shape, structure, size, etc. of the workpiece 11 . For example, a substrate made of a material such as another semiconductor, another ceramic, resin, or metal may be used as the workpiece 11 . Similarly, there is no limitation on the type, quantity, shape, structure, size, arrangement, etc. of devices formed on the workpiece 11 . A device may not be formed on the workpiece 11 . In addition, the expand tape 13 may be affixed on the surface 11a side of the work piece 11.

본 실시형태의 테이프 확장 장치(4)는, 전술한 익스팬드 테이프(13)를 확장할 때에 이용된다. 익스팬드 테이프(13)를 확장하면, 워크피스(11)에는, 이 익스팬드 테이프(13)로부터 힘이 가해지고, 워크피스(11)는, 복수의 칩으로 분할된다. 그리고, 본 실시형태의 검사 장치(2)는, 워크피스(11)를 분할 예정 라인을 따라 분할함으로써 얻어지는 2개의 인접하는 칩의 간격을 확인(검사)할 때에 이용된다.The tape expansion device 4 of this embodiment is used when expanding the expand tape 13 mentioned above. When the expand tape 13 is expanded, a force is applied to the work piece 11 from the expanded tape 13, and the work piece 11 is divided into a plurality of chips. And the test|inspection apparatus 2 of this embodiment is used when confirming (inspecting) the space|interval of two adjacent chips|tips obtained by dividing|segmenting the workpiece|work 11 along a division|segmentation schedule line.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 테이프 확장 장치(4)는, 예컨대, 이 테이프 확장 장치(4)(검사 장치(2))를 구성하는 여러 가지의 요소를 지지하는 베이스(6)를 구비하고 있다. 베이스(6)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 베이스(6)의 상면(6a)에서 원형으로 개구하는 구멍(오목부)(6b)이 형성되어 있고, 구멍(6b)에는, 익스팬드 테이프(13)를 확장할 수 있는 테이프 확장 유닛(8)의 확장 드럼(10)이 부분적으로 삽입되어 있다.1 and 2, the tape expansion device 4 of the present embodiment includes, for example, a base ( 6) is provided. As shown in FIG. 2 , the base 6 is provided with a hole (recessed portion) 6b that is circularly opened from the upper surface 6a of the base 6, and the expand tape ( The expansion drum 10 of the tape expansion unit 8 capable of expanding 13) is partially inserted.

확장 드럼(10)은, 원통형의 드럼부(10a)와, 드럼부(10a)의 외측의 측면으로부터 돌출하는 환형의 플랜지부(10b)를 구비하고 있다. 드럼부(10a)의 외측의 측면의 직경(외직경)은, 구멍(6b)의 직경보다 약간 작고, 또한, 프레임(15)의 중앙에 위치하는 개구부의 직경(내직경)보다 작고, 또한, 드럼부(10a)의 내측의 측면의 직경(내직경)은, 워크피스(11)의 직경보다 크다.The expansion drum 10 includes a cylindrical drum portion 10a and an annular flange portion 10b protruding from an outer side surface of the drum portion 10a. The diameter (outer diameter) of the side surface of the outer side of the drum part 10a is slightly smaller than the diameter of the hole 6b, and smaller than the diameter (inner diameter) of the opening located in the center of the frame 15, and The diameter (inner diameter) of the inner side of the drum part 10a is larger than the diameter of the workpiece 11 .

플랜지부(10b)보다 하방에 위치하는 드럼부(10a)의 일부는, 베이스(6)의 상면(6a)에 대하여 대략 수직인 회전축의 둘레로 확장 드럼(10)을 회전시킬 수 있는 상태로 구멍(6b)에 삽입되어 있다. 또한, 드럼부(10a)는, 플랜지부(10b)의 하면이 베이스(6)의 상면(6a)과 접촉하도록 구멍(6b)에 삽입된다.A portion of the drum portion 10a positioned below the flange portion 10b is a hole in a state in which the expansion drum 10 can be rotated around a rotational axis substantially perpendicular to the upper surface 6a of the base 6 . (6b) is inserted. Further, the drum portion 10a is inserted into the hole 6b such that the lower surface of the flange portion 10b contacts the upper surface 6a of the base 6 .

플랜지부(10b)의 상면에는, 확장 드럼(10)과 함께 테이프 확장 유닛(8)을 구성하는 승강 기구(12)가 배치되어 있다. 승강 기구(12)는, 예컨대, 유체를 이용하는 액추에이터이며, 플랜지부(10b)의 상면에 하부가 고정되는 통형의 실린더 케이스(14)와, 상부가 노출되도록 실린더 케이스(14)에 삽입되는 피스톤 로드(16)를 구비하고 있다.On the upper surface of the flange portion 10b, a lifting mechanism 12 constituting the tape expansion unit 8 together with the expansion drum 10 is disposed. The lifting mechanism 12 is, for example, an actuator using a fluid, and a cylindrical cylinder case 14 having a lower part fixed to the upper surface of the flange part 10b, and a piston rod inserted into the cylinder case 14 so that the upper part is exposed. (16) is provided.

예컨대, 외부로부터 실린더 케이스(14)에 유체를 공급하거나, 실린더 케이스(14)로부터 외부에 유체를 배출하거나 함으로써, 피스톤 로드(16)를 상하로 이동시킬 수 있다. 또한, 액추에이터에 이용되는 유체에는, 공기 등의 기체나, 오일 등의 액체가 있다. 본 실시형태의 테이프 확장 장치(4)는, 이 테이프 확장 유닛(8)과 검사 장치(2)로 구성되어 있다.For example, the piston rod 16 can be moved up and down by supplying a fluid to the cylinder case 14 from the outside or discharging the fluid from the cylinder case 14 to the outside. Moreover, there exist gas, such as air, and liquid, such as oil, as a fluid used for an actuator. The tape expansion device 4 of the present embodiment is constituted by the tape expansion unit 8 and the inspection device 2 .

피스톤 로드(16)의 상단부에는, 프레임(15)을 유지할 수 있는 환형의 테이블(18)이 고정되어 있다. 테이블(18)의 중앙에 위치하는 개구부의 직경(내직경)은, 드럼부(10a)의 외측의 측면의 직경보다 크고, 드럼부(10a)의 상부는, 테이블(18)의 개구부 내에 배치되어 있다. 그 때문에, 승강 기구(12)의 피스톤 로드(16)를 상하로 이동시키면, 드럼부(10a)의 상부가 테이블(18)의 개구부 내에 배치된 상태에서, 확장 드럼(10)에 대한 테이블(18)의 높이가 변화한다.An annular table 18 capable of holding the frame 15 is fixed to the upper end of the piston rod 16 . The diameter (inner diameter) of the opening located in the center of the table 18 is larger than the diameter of the outer side surface of the drum part 10a, and the upper part of the drum part 10a is arranged in the opening part of the table 18, have. Therefore, when the piston rod 16 of the elevating mechanism 12 is moved up and down, the table 18 relative to the expansion drum 10 is placed in the opening of the table 18 with the upper part of the drum part 10a disposed in the opening of the table 18 . ) changes in height.

테이블(18)의 외주부에는, 테이블(18)의 상면에 실리는 프레임(15)을 고정하기 위한 복수의 클램프(20)가 마련되어 있다. 프레임(15)은, 예컨대, 워크피스(11)의 표면(11a)이 위를 향하도록 테이블(18)의 상면에 실리고, 복수의 클램프(20)로 테이블(18)에 고정된다. 또한, 워크피스(11)의 표면(11a)이 입력 장치를 향하도록 프레임(15)을 테이블(18)에 고정할 수도 있다.A plurality of clamps 20 for fixing the frame 15 mounted on the upper surface of the table 18 are provided on the outer peripheral portion of the table 18 . The frame 15 is mounted on the upper surface of the table 18 so that the surface 11a of the workpiece 11 faces upward, for example, and is fixed to the table 18 with a plurality of clamps 20 . It is also possible to fix the frame 15 to the table 18 so that the surface 11a of the workpiece 11 faces the input device.

예컨대, 프레임(15)이 테이블(18)에 고정된 상태에서, 승강 기구(12)에 의해 테이블(18)을 하강시키면, 드럼부(10a)의 상단부에서 밀어 올리도록 하여 익스팬드 테이프(13)를 확장할 수 있다. 워크피스(11)는 분할 예정 라인에서 개질되고 있고, 워크피스(11)의 분할 예정 라인에 대응하는 영역은, 다른 영역에 비해서 취약하다. 따라서, 익스팬드 테이프(13)를 확장하면, 워크피스(11)에 힘이 가해지고, 워크피스(11)는, 분할 예정 라인을 따라 복수의 칩으로 분할된다.For example, when the table 18 is lowered by the elevating mechanism 12 while the frame 15 is fixed to the table 18, the expand tape 13 is pushed up from the upper end of the drum unit 10a. can be expanded. The workpiece 11 is being modified at the dividing line, and the region corresponding to the dividing line of the work piece 11 is weaker than the other regions. Accordingly, when the expand tape 13 is expanded, a force is applied to the work piece 11, and the work piece 11 is divided into a plurality of chips along the line to be divided.

도 1에 나타내는 바와 같이, 확장 드럼(10)의 근방에는, 모터 등의 회전 기구(22)와, 이 회전 기구(22)에 연결되어 베이스(6)의 상면(6a)에 대하여 대략 수직인 회전축의 둘레로 회전하는 풀리(24)가 배치되어 있다. 풀리(24) 및 플랜지부(10b)의 외주면에는, 무단 벨트(26)가 가설되어 있다. 회전 기구(22)에 의해 풀리(24)를 회전시킴으로써, 테이프 확장 유닛(8)과, 테이블(18)을 베이스(6)의 상면(6a)에 대하여 대략 수직인 회전축의 둘레로 회전시킬 수 있다.As shown in FIG. 1 , in the vicinity of the expansion drum 10 , a rotation mechanism 22 , such as a motor, is connected to the rotation mechanism 22 and a rotation shaft substantially perpendicular to the upper surface 6a of the base 6 . A pulley 24 rotating around the periphery is arranged. An endless belt 26 is installed on the outer peripheral surfaces of the pulley 24 and the flange portion 10b. By rotating the pulley 24 by the rotating mechanism 22 , the tape expanding unit 8 and the table 18 can be rotated around an axis of rotation approximately perpendicular to the upper surface 6a of the base 6 . .

또한, 확장 드럼(10)의 근방에는, 승강 기구(28)가 배치되어 있다. 승강 기구(28)는, 예컨대, 유체를 이용하는 액추에이터이며, 베이스(6)에 고정되는 통형의 실린더 케이스(30)와, 일단측이 노출되도록 타단측이 실린더 케이스(14)에 삽입되는 L자형의 지지 아암(32)을 구비한다. 예컨대, 실린더 케이스(30)에 유체를 공급하거나, 실린더 케이스(30)로부터 유체를 배출하거나 함으로써, 지지 아암(32)을 상하로 이동시킬 수 있다.In addition, in the vicinity of the expansion drum 10, the lifting mechanism 28 is arrange|positioned. The elevating mechanism 28 is, for example, an actuator using a fluid, and has a cylindrical cylinder case 30 fixed to the base 6 and an L-shaped one in which the other end is inserted into the cylinder case 14 so that one end is exposed. A support arm (32) is provided. For example, by supplying the fluid to the cylinder case 30 or discharging the fluid from the cylinder case 30 , the support arm 32 can be moved up and down.

지지 아암(32)의 일단부에는, 프레임(15) 및 익스팬드 테이프(13)를 통해 테이블(18)에 유지되는 워크피스(11)의 위를 향한 표면(11a)(또는 이면(11b))을 촬영하여 화상(화상의 데이터)을 생성할 수 있는 카메라(34)가 고정되어 있다. 이 카메라(34)는, 표면(11a)(또는 이면(11b))의 전체가 찍힌 화상을 생성할 수 있도록, 예컨대, 드럼부(10a)보다 내측의 영역의 바로 위에 배치된다.At one end of the support arm 32 , an upward facing surface 11a (or backside 11b ) of a workpiece 11 held on a table 18 via a frame 15 and expand tape 13 ). A camera 34 capable of generating an image (image data) by photographing is fixed. This camera 34 is arranged, for example, just above the area inside the drum part 10a so as to produce an image in which the entire surface 11a (or the back surface 11b) is taken.

카메라(34)의 구체적인 구조에 제한은 없다. 예컨대, 워크피스(11)를 투과하기 어려운 임의의 파장의 광에 감도를 갖는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 이미지 센서나 CCD(Charge Coupled Device) 이미지 센서 등의 2차원 광센서와, 렌즈를 구비하는 카메라(34)를 이용할 수 있다.There is no limitation on the specific structure of the camera 34 . For example, a two-dimensional optical sensor such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor or a CCD (Charge Coupled Device) image sensor having sensitivity to light of an arbitrary wavelength that is difficult to pass through the workpiece 11, and a lens. A camera 34 may be used.

드럼부(10a)의 내측에는, 테이블(18)에 유지되는 워크피스(11)에 하방으로부터 광을 조사할 수 있는 광원(36)이 배치되어 있다. 광원(36)은, 대표적으로는, 워크피스(11)를 투과하기 어려운 임의의 파장의 광을 방사할 수 있는 LED이다. 또한, 이 광원(36)은, 광이 조사되는 이면(11b)(또는 표면(11a))의 전체에서 대략 균일한 조도를 실현할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.Inside the drum part 10a, the light source 36 which can irradiate light from below to the workpiece|work 11 hold|maintained by the table 18 is arrange|positioned. The light source 36 is typically an LED capable of emitting light of an arbitrary wavelength that is difficult to transmit through the workpiece 11 . Moreover, it is preferable that this light source 36 is comprised so that substantially uniform illuminance can be implement|achieved over the whole back surface 11b (or surface 11a) to which light is irradiated.

테이프 확장 장치(4)(검사 장치(2))를 구성하는 승강 기구(12), 회전 기구(22), 승강 기구(28), 카메라(34), 광원(36) 등의 요소는, 각각, 제어 유닛(38)에 접속되어 있다. 제어 유닛(38)은, 예컨대, 처리 장치와, 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되며, 익스팬드 테이프(13)의 확장이나, 칩의 간격의 확인에 필요한 일련의 공정에 맞추어, 전술한 각 요소를 제어한다.Elements such as the elevating mechanism 12 , the rotating mechanism 22 , the elevating mechanism 28 , the camera 34 , and the light source 36 constituting the tape expansion device 4 (inspection device 2 ) are, respectively, It is connected to the control unit 38 . The control unit 38 is constituted of, for example, a computer including a processing device and a storage device, and each of the above-described steps is performed in accordance with a series of steps necessary for expansion of the expandable tape 13 and confirmation of an interval between chips. control elements.

처리 장치는, 대표적으로는, CPU(Central Processing Unit)이며, 전술한 요소를 제어하기 위해 필요한 여러 가지의 처리를 행한다. 기억 장치는, 예컨대, DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등의 주기억 장치와, 하드 디스크 드라이브나 플래시 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함한다. 이 제어 유닛(38)의 기능은, 예컨대, 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치가 동작함으로써 실현된다. 단, 제어 유닛(38)의 기능은, 하드웨어에 의해서만 실현되어도 좋다.The processing apparatus is typically a CPU (Central Processing Unit), and performs various processes necessary for controlling the above-described elements. The storage device includes, for example, a main storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory) and an auxiliary storage device such as a hard disk drive or a flash memory. The function of this control unit 38 is realized by, for example, the processing device operates in accordance with software stored in the storage device. However, the function of the control unit 38 may be realized only by hardware.

제어 유닛(38)에는, 또한, 사용자 인터페이스가 되는 터치 스크린(표시 장치, 입력 장치)(40)이 접속되어 있다. 터치 스크린(40)에는, 예컨대, 제어 유닛(38)으로부터 보내오는 화상 등이 표시된다. 또한, 예컨대, 칩의 간격의 확인에 이용되는 정보는, 이 터치 스크린(40)을 통해 제어 유닛(38)에 입력된다.A touch screen (display device, input device) 40 serving as a user interface is further connected to the control unit 38 . The touch screen 40 displays, for example, an image sent from the control unit 38 . Further, for example, information used for checking the spacing of the chips is input to the control unit 38 via this touch screen 40 .

또한, 표시 장치와 입력 장치가 일체가 된 터치 스크린(40) 대신에, 액정 디스플레이 등의 표시 장치와, 키보드나 마우스 등의 입력 장치가 각각 제어 유닛(38)에 접속되어도 좋다. 또한, 표시 장치와 입력 장치는, 테이프 확장 장치(4)(검사 장치(2))를 구성하는 요소일 필요는 없고, 테이프 확장 장치(4)(검사 장치(2))의 외부에 마련되는 경우가 있다. 예컨대, 스마트 폰 등을 표시 장치나 입력 장치로서 대용하여도 좋다.Further, instead of the touch screen 40 in which the display device and the input device are integrated, a display device such as a liquid crystal display and an input device such as a keyboard or a mouse may be connected to the control unit 38 , respectively. In addition, the display device and the input device do not need to be elements constituting the tape expansion device 4 (inspection device 2), but when provided outside the tape expansion device 4 (inspection device 2) there is For example, a smart phone or the like may be substituted as a display device or an input device.

도 3은 검사 장치(2)를 구성하는 제어 유닛(38)의 기능적인 구조의 일부를 나타내는 기능 블록도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛(38)은, 복수의 칩으로 분할된 후의 워크피스(11)가 찍힌 화상을 취득할 수 있도록 각 요소의 동작을 제어하는 화상 취득부(38a)를 포함한다. 예컨대, 오퍼레이터가 터치 스크린(40) 등을 이용하여 칩의 간격을 확인(검사)하는 취지의 지시를 제어 유닛(38)에 입력하면, 화상 취득부(38a)는, 각 요소의 동작을 제어하여, 워크피스(11)가 찍힌 화상을 취득한다.3 is a functional block diagram showing a part of the functional structure of the control unit 38 constituting the inspection apparatus 2 . As shown in FIG. 3 , the control unit 38 includes an image acquisition unit 38a that controls the operation of each element so as to acquire an image of the workpiece 11 after being divided into a plurality of chips. . For example, when the operator inputs to the control unit 38 an instruction to confirm (inspection) the spacing of chips using the touch screen 40 or the like, the image acquisition unit 38a controls the operation of each element to , an image of the workpiece 11 is acquired.

도 4는 복수의 칩(17)으로 분할된 후의 워크피스(11)를 촬영하여 화상을 취득하는 모습을 모식적으로 나타내는 단면도이다. 화상 취득부(38a)는, 먼저, 광원(36)에의 전력의 공급을 제어하여, 이 광원(36)에 광(21)을 방사시킨다. 예컨대, 광원(36)으로부터 방사된 광(21)의 일부는, 익스팬드 테이프(13)를 투과하여, 워크피스(11)의 아래를 향한 이면(11b)에 조사된다.FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a state in which an image is acquired by photographing the workpiece 11 after being divided into a plurality of chips 17 . The image acquisition unit 38a first controls the supply of electric power to the light source 36 so that the light source 36 emits the light 21 . For example, a part of the light 21 emitted from the light source 36 passes through the expand tape 13 and is irradiated to the downward facing back surface 11b of the workpiece 11 .

워크피스(11) 내에서 서로 인접하는 2개의 칩(17) 사이에는, 간극(19)이 형성되어 있다. 따라서, 익스팬드 테이프(13)를 투과한 광(21)의 일부는, 간극(19)을 통과하여 상방의 카메라(34)에 입사한다. 한편으로, 워크피스(11)의 이면(11b)에 조사된 광(21)의 대부분은, 워크피스(11)를 투과하지 않으며, 카메라(34)에 입사하지 않는다.A gap 19 is formed between two chips 17 adjacent to each other in the workpiece 11 . Accordingly, a part of the light 21 transmitted through the expand tape 13 passes through the gap 19 and enters the upper camera 34 . On the other hand, most of the light 21 irradiated to the back surface 11b of the work piece 11 does not pass through the work piece 11 and does not enter the camera 34 .

이 상태에서, 화상 취득부(38a)는, 카메라(34) 등의 동작을 제어하여, 워크피스(11)의 위를 향한 표면(11a)의 전체를 카메라(34)에 촬영시킨다. 즉, 광(21)이 조사되지 않는 표면(11a)의 전체가 카메라(34)에 의해 촬영된다. 이에 의해, 카메라(34)는, 워크피스(11)의 표면(11a)의 전체가 찍힌 화상을 생성할 수 있다.In this state, the image acquisition part 38a controls the operation|movement of the camera 34 etc., and causes the camera 34 to image|photograph the whole surface 11a facing upwards of the workpiece|work 11. As shown in FIG. That is, the entire surface 11a to which the light 21 is not irradiated is photographed by the camera 34 . Thereby, the camera 34 can generate|occur|produce the image in which the whole surface 11a of the workpiece|work 11 was taken.

도 5는 카메라(34)에 의해 생성되는 화상(23)의 예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 또한, 도 5에서는 설명의 편의상, 화상(23) 내의 칩(17)에 대응하는 어두운 영역이 백색으로 표시되고, 화상(23) 내의 인접하는 칩(17)의 간극(19)에 대응하는 밝은 영역이 흑색으로 표시되어 있다. 즉, 화상(23) 내의 워크피스(11)에 대응하는 영역에서는, 명암이 반전되어 있다. 취득된 화상(23)은, 카메라(34)로부터 제어 유닛(38)에 보내져, 제어 유닛(38)의 화상 기억부(38b)에 기억된다.5 is a diagram schematically illustrating an example of an image 23 generated by the camera 34 . 5 , for convenience of explanation, a dark region corresponding to the chip 17 in the image 23 is displayed in white, and a bright region corresponding to the gap 19 between the adjacent chips 17 in the image 23 . This is marked in black. That is, in the area corresponding to the workpiece 11 in the image 23, the contrast is reversed. The acquired image 23 is sent from the camera 34 to the control unit 38, and is memorize|stored in the image storage part 38b of the control unit 38. As shown in FIG.

도 4에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛(38)은, 카메라(34)에 의해 생성되는 화상(23)을 가공하여 평가용의 화상(평가 화상)을 생성하는 평가 화상 생성부(38c)를 포함한다. 평가 화상 생성부(38c)는, 예컨대, 화상(23) 내의 칩(17)의 간극(19)에 대응하는 밝은 영역을 추출하고, 이 간극(19)에 대응하는 영역을 구성하는 화소(즉, 인접하는 칩(17) 사이의 화소)의 휘도의 크기에 따라, 각 화소에 색을 부여한다.As shown in FIG. 4 , the control unit 38 includes an evaluation image generating unit 38c that processes the image 23 generated by the camera 34 to generate an image for evaluation (evaluation image). . The evaluation image generation unit 38c extracts, for example, a bright area corresponding to the gap 19 of the chip 17 in the image 23, and pixels (that is, the pixel constituting the area corresponding to the gap 19 ). A color is given to each pixel according to the magnitude of the luminance (pixels between adjacent chips 17).

제어 유닛(38)은, 각 화소의 휘도의 크기를 판정할 때에 이용되는 1또는 복수의 임계값(휘도의 임계값)을 기억하는 임계값 기억부(38d)를 포함하고 있다. 평가 화상 생성부(38c)는, 예컨대, 미리 임계값 기억부(38d)에 기억되어 있는 임계값을 참조하여, 각 화소의 휘도와 임계값을 비교하고, 각 화소의 휘도가, 임계값으로 나뉘는 복수의 구분(휘도의 구분) 중 어느 것에 속하는지를 판정한다.The control unit 38 includes a threshold value storage unit 38d that stores one or a plurality of threshold values (threshold values of luminance) used when determining the magnitude of the luminance of each pixel. The evaluation image generation unit 38c compares the luminance of each pixel with a threshold value with reference to, for example, a threshold value stored in advance in the threshold value storage unit 38d, and the luminance of each pixel is divided by the threshold value. It is determined which of a plurality of divisions (classifications of luminance) belongs.

예컨대, 어떤 화소의 휘도가, 임계값 기억부(38d)에 기억된 임계값 이상의 크기(또는 임계값을 넘는 크기)의 제1 구분에 속하는 경우에, 평가 화상 생성부(38c)는, 이 화소에 제1 색을 부여한다. 또한, 어떤 화소의 휘도가, 임계값 미만의 크기(또는 임계값 이하의 크기)의 제2 구분에 속하는 경우에, 평가 화상 생성부(38c)는, 이 화소에 제1 색과는 다른 제2 색을 부여한다. 또한, 화소에 부여되는 제1 색이나 제2 색은, 오퍼레이터가 용이하게 구별할 수 있도록 선택되는 것이 바람직하다.For example, when the luminance of a certain pixel belongs to the first category of the size greater than or equal to the threshold value (or the size exceeding the threshold value) stored in the threshold value storage unit 38d, the evaluation image generation unit 38c generates this pixel gives the first color to In addition, when the luminance of a certain pixel belongs to the second category of the size less than the threshold value (or the size less than the threshold value), the evaluation image generating unit 38c sends the pixel to a second color different from the first color. give color Moreover, it is preferable that the 1st color and 2nd color given to a pixel are selected so that an operator can distinguish easily.

임계값 기억부(38d)에 다른 복수의 임계값이 기억되어 있는 경우의 처리도, 동일하다. 예컨대, 임계값 기억부(38d)에 다른 2개의 임계값이 기억되어 있는 경우에는, 평가 화상 생성부(38c)는, 2개의 임계값으로 나뉘는 3개의 구분에 따라, 대상의 화소에 다른 3개의 색 중 어느 하나를 부여한다.The processing in the case where a plurality of different threshold values are stored in the threshold value storage unit 38d is also the same. For example, when two different threshold values are stored in the threshold value storage unit 38d, the evaluation image generation unit 38c sets three different threshold values to the target pixel according to the three divisions divided by the two threshold values. Give one of the colors.

또한, 임계값 기억부(38d)에는, 대상의 화소의 성질이나 속성에 따라 선택적으로 적용되는 복수의 임계값이 기억되어도 좋다. 예컨대, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인이 설정되어 있는 워크피스(11)를 분할하면, 제1 방향으로 연장되는 분할 예정 라인을 따르는 간극(19)과, 제1 방향에 대하여 교차하는 제2 방향으로 연장되는 분할 예정 라인을 따르는 간극(19)이 형성되게 된다.In addition, the threshold value storage unit 38d may store a plurality of threshold values selectively applied according to the properties and attributes of the target pixel. For example, if the workpiece 11 in which a plurality of dividing lines intersecting each other is set is divided, the gap 19 along the dividing line extending in the first direction and the second direction intersecting with respect to the first direction are divided. A gap 19 along the line to be divided extending to is formed.

이러한 경우에는, 제1 방향으로 연장되는 간극(19)과, 제2 방향으로 연장되는 간극(19)에 다른 기준을 적용하여 인접하는 칩의 간격을 평가하고자 하는 경우가 있다. 그래서, 제1 방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 적용되는 임계값과, 제2 방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 적용되는 임계값을 각각 임계값 기억부(38d)에 기억시킨다. 이에 의해, 인접하는 칩의 간격을 보다 적절하게 평가할 수 있게 된다.In this case, there is a case where it is desired to evaluate the gap between adjacent chips by applying different criteria to the gap 19 extending in the first direction and the gap 19 extending in the second direction. Therefore, the threshold value applied to the pixel in the area corresponding to the gap 19 extending in the first direction and the threshold value applied to the pixel in the area corresponding to the gap 19 extending in the second direction are respectively the threshold values. It is made to be stored in the memory|storage part 38d. Thereby, it becomes possible to evaluate the space|interval of the adjacent chip|tip more appropriately.

평가 화상 생성부(38c)에서 생성되는 평가용의 화상은, 원래의 화상(23)과 마찬가지로, 화상 기억부(38b)에 기억된다. 제어 유닛(38)은, 평가용의 화상 등을 터치 스크린(40)에 표시시키는 화상 표시부(38e)를 포함한다. 화상 표시부(38e)는, 예컨대, 평가용의 화상이 화상 기억부(38b)에 기억될 때마다, 기억된 평가용의 화상을 터치 스크린(40)에 표시시킨다.The image for evaluation generated by the evaluation image generating unit 38c is stored in the image storage unit 38b, similarly to the original image 23 . The control unit 38 includes an image display unit 38e that displays an image for evaluation or the like on the touch screen 40 . The image display unit 38e causes the touch screen 40 to display the stored image for evaluation, for example, whenever an image for evaluation is stored in the image storage unit 38b.

제어 유닛(38)은, 평가용의 화상을 생성할 때에 이용되는 임계값을 변경하여 임계값 기억부(38d)에 기억시키는 임계값 변경부(38f)를 더 포함한다. 예컨대, 오퍼레이터가 터치 스크린(40)을 이용하여 변경 후의 새로운 임계값에 관한 정보를 제어 유닛(38)에 입력하면, 임계값 변경부(38f)는, 이 정보에 기초하여, 이미 기억되어 있는 임계값을 치환하도록 변경 후의 임계값을 임계값 기억부(38d)에 기억시킨다.The control unit 38 further includes a threshold value changing unit 38f that changes and stores the threshold value used when generating the image for evaluation in the threshold value storage unit 38d. For example, when the operator inputs information about the new threshold value after change into the control unit 38 using the touch screen 40, the threshold value change unit 38f, based on this information, sets the threshold value already stored in the memory. The threshold value after the change is stored in the threshold value storage unit 38d to replace the value.

또한, 화상 표시부(38e)는, 임계값 변경부(38f)의 지시에 기초하여, 임계값에 관한 정보를 입력할 때에 이용되는 입력란을 터치 스크린(40)에 표시시킨다. 본 실시형태에서는, 입력란으로서, 손잡이부를 직선적으로 이동시킴으로써 값을 선택(변경)할 수 있는 슬라이더가 채용된다. 즉, 임계값 변경부(38f)는, 슬라이더의 손잡이부의 위치에 따라 임계값을 변경한다. 단, 화상 표시부(38e)는, 수치 등을 직접 입력할 수 있는 입력란을 터치 스크린(40)에 표시시켜도 좋다.Further, the image display unit 38e causes the touch screen 40 to display an input field used when inputting information regarding the threshold value based on the instruction of the threshold value change unit 38f. In the present embodiment, as an input field, a slider capable of selecting (changing) a value by linearly moving a knob is employed. That is, the threshold value change unit 38f changes the threshold value according to the position of the handle portion of the slider. However, the image display unit 38e may display an input field in which a numerical value or the like can be directly inputted on the touch screen 40 .

임계값 변경부(38f)에 의해 변경 후의 임계값이 임계값 기억부(38d)에 기억되면, 평가 화상 생성부(38c)는, 변경 후의 임계값을 이용하여 평가용의 화상을 재차 생성한다. 변경 후의 임계값을 이용하여 재차 생성된 평가용의 화상은, 마찬가지로, 화상 기억부(38b)에 기억된다. 그리고, 화상 표시부(38e)는, 이 평가용의 화상을 터치 스크린(40)에 표시시킨다.When the threshold value after the change by the threshold value change unit 38f is stored in the threshold value storage unit 38d, the evaluation image generation unit 38c uses the changed threshold value to generate an image for evaluation again. The image for evaluation generated again using the changed threshold value is similarly stored in the image storage unit 38b. Then, the image display unit 38e displays the image for evaluation on the touch screen 40 .

도 6은 터치 스크린(40)에 표시되는 슬라이더(27a, 27b, 27c, 27d) 및 평가용의 화상(평가 화상)(25)의 예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 터치 스크린(40)의 표시 영역(40a)에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 4종류의 슬라이더(27a, 27b, 27c, 27d)가 표시되어 있다.6 is a diagram schematically showing an example of the sliders 27a, 27b, 27c, and 27d and an image for evaluation (evaluation image) 25 displayed on the touch screen 40 . In the display area 40a of the touch screen 40, as shown in FIG. 6, four types of sliders 27a, 27b, 27c, 27d are displayed.

예컨대, 슬라이더(27a)는, 횡방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 관한 제1 임계값을 변경할 때에 이용되고, 슬라이더(27c)는, 횡방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 관한 제2 임계값을 변경할 때에 이용된다. 즉, 도 6의 예에서는, 횡방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 관한 2개의 임계값이 임계값 기억부(38d)에 기억되어 있다.For example, the slider 27a is used when changing a first threshold value for a pixel in a region corresponding to the gap 19 extending in the lateral direction, and the slider 27c is a gap 19 extending in the lateral direction. It is used when changing the second threshold value for the pixel in the area corresponding to . That is, in the example of Fig. 6, two threshold values relating to pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the lateral direction are stored in the threshold value storage unit 38d.

또한, 예컨대, 슬라이더(27b)는, 종방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 관한 제3 임계값을 변경할 때에 이용되고, 슬라이더(27d)는, 종방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 관한 제4 임계값을 변경할 때에 이용된다. 즉, 도 6의 예에서는, 종방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에 관한 2개의 임계값이 임계값 기억부(38d)에 기억되어 있다.Further, for example, the slider 27b is used when changing the third threshold value for the pixel in the region corresponding to the gap 19 extending in the longitudinal direction, and the slider 27d is the gap extending in the longitudinal direction ( 19) is used when changing the fourth threshold value for the pixel in the area corresponding to . That is, in the example of Fig. 6, two threshold values relating to pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the longitudinal direction are stored in the threshold value storage unit 38d.

도 6에 나타내는 바와 같이, 4개의 임계값의 전부가 20.0으로 설정된 상태에서는, 간극(19)에 대응하는 영역의 모든 화소(25a)에 동일한 제1 색(예컨대, 녹색)이 부여된 화상(25)이 생성된다. 이것은, 간극(19)에 대응하는 영역의 모든 화소(25a)의 휘도가, 예컨대, 각 임계값(20.0) 이상의 크기의 구분에 속해 있는 것을 나타낸다. 또한, 도 6에서는, 설명의 편의상, 화소(25a)에 제1 색이 부여된 모습이 실선으로 표현되어 있다.As shown in FIG. 6 , in a state where all of the four threshold values are set to 20.0, the image 25 in which the same first color (eg, green) is given to all the pixels 25a in the area corresponding to the gap 19 . ) is created. This indicates that the luminance of all the pixels 25a in the region corresponding to the gap 19 belongs to, for example, the division of the size equal to or greater than the respective threshold value 20.0. In addition, in FIG. 6 , for convenience of explanation, a state in which the first color is applied to the pixel 25a is represented by a solid line.

다음에, 오퍼레이터가 슬라이더(27a)의 손잡이부를 이동시켜, 제1 임계값이 50.0으로 변경된 경우를 상정한다. 도 7은 이 경우에 터치 스크린(40)에 표시되는 슬라이더(27a, 27b, 27c, 27d) 및 평가용의 화상(평가 화상)(29)의 예를 모식적으로 나타내는 도면이다.Next, it is assumed that the operator moves the handle of the slider 27a so that the first threshold is changed to 50.0. 7 is a diagram schematically showing an example of the sliders 27a, 27b, 27c, 27d and the image for evaluation (evaluation image) 29 displayed on the touch screen 40 in this case.

도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 임계값이 50.0으로 설정되면, 횡방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 화소에는, 제1 임계값과 제2 임계값으로 나뉘는 3개의 구분(휘도의 구분)에 따라 다른 색이 부여된다. 예컨대, 워크피스(11)의 주로 외주측의 영역에서는, 간극(19)에 대응하는 영역의 화소(29a)에, 제1 임계값 이상 또한 제2 임계값 이상의 구분에 속해 있는 것을 나타내는 제1 색(예컨대, 녹색)이 부여된다. 또한, 도 7에서는 설명의 편의상, 화소(29a)에 제1 색이 부여된 모습이 실선으로 표현되어 있다.As shown in FIG. 7 , when the first threshold value is set to 50.0, pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the lateral direction have three divisions (luminance) divided into the first threshold value and the second threshold value. Different colors are given according to the classification of For example, in the region mainly on the outer periphery of the workpiece 11 , the first color indicating that the pixel 29a in the region corresponding to the gap 19 belongs to the division greater than or equal to the first threshold value and greater than or equal to the second threshold value. (eg, green) is given. In addition, in FIG. 7 , for convenience of explanation, the state in which the first color is applied to the pixel 29a is represented by a solid line.

또한, 예컨대, 워크피스(11)의 주로 중앙측의 영역에서는, 간극(19)에 대응하는 영역의 화소(29b)에, 제1 임계값과 제2 임계값 사이의 구분(즉, 제1 임계값 미만 또한 제2 임계값 이상의 구분)에 속해 있는 것을 나타내는 제2 색(예컨대, 적색)이 부여된다. 도 7에서는 화소(29b)에 제2 색이 부여된 모습이 파선으로 표현되어 있다. 또한, 화상(29) 내에는, 제1 임계값 미만 또한 제2 임계값 미만의 구분에 속하며 제3 색이 부여되는 화소는 존재하지 않는다. 또한, 종방향으로 연장되는 간극(19)에 대응하는 영역의 모든 화소에, 제1 색이 부여되어 있다.Further, for example, in the region mainly on the center side of the workpiece 11, in the pixel 29b in the region corresponding to the gap 19, a distinction between the first threshold value and the second threshold value (that is, the first threshold value) A second color (eg, red) is given to indicate belonging to a category below the value and above the second threshold. In FIG. 7 , the state in which the second color is applied to the pixel 29b is represented by a broken line. In addition, in the image 29, there is no pixel belonging to the category below the first threshold value and below the second threshold value, and to which the third color is assigned. In addition, the first color is given to all pixels in the region corresponding to the gap 19 extending in the longitudinal direction.

전술한 바와 같이, 분할된 후의 판형의 워크피스(11)의 이면(제1 면)(11b)에 광을 조사하고, 그 반대측으로부터 워크피스(11)를 촬영하여 화상(23)을 생성하면, 이 화상(23)에 찍힌 2개의 인접하는 칩(17) 사이의 화소의 휘도는, 인접하는 칩(17)의 간격에 의존한다. 예컨대, 인접하는 칩(17)의 간격이 크면, 인접하는 칩(17) 사이의 화소의 휘도는 높아지고, 인접하는 칩(17)의 간격이 작으면, 인접하는 칩(17) 사이의 화소의 휘도는 낮아진다.As described above, when light is irradiated to the back surface (first surface) 11b of the plate-shaped workpiece 11 after division, and the workpiece 11 is photographed from the opposite side to generate an image 23, The luminance of a pixel between two adjacent chips 17 captured in this image 23 depends on an interval between adjacent chips 17 . For example, when the spacing between adjacent chips 17 is large, the luminance of pixels between adjacent chips 17 is high. When the spacing between adjacent chips 17 is small, the luminance of pixels between adjacent chips 17 is small. is lowered

이러한 전제하에서, 본 실시형태에 따른 검사 장치(2)는, 카메라(34)로 생성된 화상(23)에 찍힌 2개의 인접하는 칩(17) 사이의 화소의 휘도의 임계값을 기억하는 임계값 기억부(38d)와, 임계값으로 나뉘는 휘도의 구분에 따라 칩 사이의 화소에 다른 색이 부여된 평가용의 화상(평가 화상)(25, 29)을 생성하는 평가 화상 생성부(38c)와, 평가용의 화상(25, 29)을 터치 스크린(표시 장치)(40)에 표시시키는 화상 표시부(38e)와, 임계값을 변경하여 임계값 기억부(38d)에 기억시키는 임계값 변경부(38f)를 포함하고 있다.Under this premise, the inspection apparatus 2 according to the present embodiment stores the threshold value of the luminance of the pixel between the two adjacent chips 17 captured in the image 23 generated by the camera 34 . a storage unit 38d; an evaluation image generation unit 38c for generating evaluation images (evaluation images) 25 and 29 in which pixels between chips are given different colors according to the division of luminance divided by a threshold value; , an image display unit 38e for displaying the images 25 and 29 for evaluation on the touch screen (display device) 40, and a threshold value changing unit for changing the threshold value and storing it in the threshold value storage unit 38d ( 38f).

따라서, 본 실시형태의 검사 장치(2)는, 임의의 임계값으로 나뉘는 휘도의 구분에 따라 칩(17) 사이의 화소에 다른 색이 부여된 평가용의 화상(25, 29)을 생성하여, 터치 스크린(40)에 표시시킬 수 있다. 즉, 검사 장치(2)는, 기준이 되는 칩(17)의 간격에 따라 칩(17) 사이의 화소에 다른 색이 부여된 평가용의 화상(25, 29)을 생성하여, 터치 스크린(40)에 표시시킬 수 있다. 그리고, 오퍼레이터는, 터치 스크린(40)에 표시되는 평가용의 화상(25, 29)에 기초하여, 인접하는 칩(17)의 간격을 용이하게 확인할 수 있다.Accordingly, the inspection apparatus 2 of the present embodiment generates images 25 and 29 for evaluation in which different colors are given to the pixels between the chips 17 according to the division of luminance divided by arbitrary threshold values, It can be displayed on the touch screen 40 . That is, the inspection device 2 generates images for evaluation 25 and 29 in which different colors are given to pixels between the chips 17 according to the spacing between the chips 17 serving as a reference, and the touch screen 40 ) can be displayed. And the operator can easily confirm the space|interval of the adjacent chip|tip 17 based on the images 25 and 29 for evaluation displayed on the touchscreen 40. As shown in FIG.

또한, 본 발명은 전술한 실시형태의 기재에 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 전술한 실시형태에서는, 워크피스(11)가 분할 예정 라인에서 개질되고 있고, 이 워크피스(11)에 힘을 가함으로써, 워크피스(11)가 복수의 칩(17)으로 분할되는 경우를 예로 들어 설명하였지만, 본 발명의 검사 장치(2)는, 임의의 방법으로 복수의 칩으로 분할된 워크피스 내의 인접하는 칩의 간격을 확인할 때에 이용할 수 있다.In addition, this invention is not restrict|limited to description of embodiment mentioned above, It can be implemented with various changes. For example, in the above-described embodiment, when the workpiece 11 is being modified at the line to be divided, and by applying a force to the workpiece 11 , the workpiece 11 is divided into a plurality of chips 17 . was described as an example, the inspection apparatus 2 of the present invention can be used when checking the spacing between adjacent chips in a workpiece divided into a plurality of chips by an arbitrary method.

그 외에, 전술한 실시형태 및 변형예에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, structures, methods, and the like according to the above-described embodiments and modifications can be implemented with appropriate changes without departing from the scope of the object of the present invention.

2: 검사 장치 4: 테이프 확장 장치
6: 베이스 6a: 상면
6b: 구멍(오목부) 8: 테이프 확장 유닛
10: 확장 드럼 10a: 드럼부
10b: 플랜지부 12: 승강 기구
14: 실린더 케이스 16: 피스톤 로드
18: 테이블 20: 클램프
22: 회전 기구 24: 풀리
26: 무단 벨트 28: 승강 기구
30: 실린더 케이스 32: 지지 아암
34: 카메라 36: 광원
38: 제어 유닛 38a: 화상 취득부
38b: 화상 기억부 38c: 평가 화상 생성부
38d: 임계값 기억부 38e: 화상 표시부
38f: 임계값 변경부 40: 터치 스크린(표시 장치, 입력 장치)
40a: 표시 영역 11: 워크피스
11a: 표면(제2 면) 11b: 이면(제1 면)
13: 익스팬드 테이프(테이프) 15: 프레임
17: 칩 19: 간극
21: 광 23: 화상
25: 평가용의 화상(평가 화상) 25a: 화소
27a: 슬라이더 27b: 슬라이더
27c: 슬라이더 27d: 슬라이더
29: 평가용의 화상(평가 화상) 29a: 화소
29b: 화소2: Inspection unit 4: Tape expansion unit
6: Base 6a: Top
6b: hole (recess) 8: tape expansion unit
10: expansion drum 10a: drum unit
10b: flange portion 12: elevating mechanism
14: cylinder case 16: piston rod
18: Table 20: Clamp
22: rotating mechanism 24: pulley
26: endless belt 28: elevating mechanism
30: cylinder case 32: support arm
34: camera 36: light source
38: control unit 38a: image acquisition unit
38b: image storage unit 38c: evaluation image generation unit
38d: threshold value storage unit 38e: image display unit
38f: threshold value change unit 40: touch screen (display device, input device)
40a: display area 11: workpiece
11a: surface (second side) 11b: back side (first side)
13: Expanded tape (tape) 15: Frame
17: chip 19: gap
21: light 23: image
25: image for evaluation (evaluation image) 25a: pixel
27a: slider 27b: slider
27c: slider 27d: slider
29: image for evaluation (evaluation image) 29a: pixel
29b: pixel

Claims (4)

제1 면측이 테이프에 첩부된 상태의 판형의 워크피스를 분할 예정 라인을 따라 분할함으로써 얻어지는 2개의 인접하는 칩의 간격을 확인할 때에 이용되는 검사 장치로서,
상기 워크피스를 둘러싸도록 상기 테이프에 첩부된 환형의 프레임을 유지하는 테이블과,
상기 프레임 및 상기 테이프를 통해 상기 테이블에 유지된 상기 워크피스의 상기 제1 면 또는 상기 제1 면과는 반대측의 제2 면에 광을 조사하는 광원과,
상기 제1 면과 상기 제2 면 중 상기 광원에 의해 광이 조사되지 않는 한쪽을 촬상하여 화상을 생성하는 카메라와,
상기 카메라로 생성된 화상에 찍힌 2개의 인접하는 상기 칩 사이의 화소의 휘도의 임계값을 기억하는 임계값 기억부와,
상기 임계값으로 나뉘는 상기 휘도의 구분에 따라 상기 화소에 다른 색이 부여된 평가 화상을 생성하는 평가 화상 생성부와,
상기 평가 화상을 표시 장치에 표시시키는 화상 표시부와,
상기 임계값을 변경하여 상기 임계값 기억부에 기억시키는 임계값 변경부
를 포함하는, 검사 장치.An inspection apparatus used when checking a gap between two adjacent chips obtained by dividing a plate-shaped workpiece with a first surface side affixed to a tape along a division scheduled line, the inspection apparatus comprising:
a table for holding an annular frame affixed to the tape to surround the workpiece;
a light source for irradiating light to the first surface or a second surface opposite to the first surface of the workpiece held on the table through the frame and the tape;
a camera that generates an image by imaging one of the first surface and the second surface that is not irradiated with light by the light source;
a threshold value storage unit for storing a threshold value of luminance of a pixel between two adjacent chips captured in an image generated by the camera;
an evaluation image generating unit generating an evaluation image in which different colors are assigned to the pixels according to the division of the luminance divided by the threshold value;
an image display unit for displaying the evaluation image on a display device;
Threshold change unit for changing the threshold value and storing it in the threshold value storage unit
Including, inspection device. 제1항에 있어서, 상기 임계값 변경부에 의해 변경된 상기 임계값이 상기 임계값 기억부에 기억된 경우에,
상기 평가 화상 생성부는, 변경된 상기 임계값에 대응하는 상기 평가 화상을 재차 생성하고,
상기 화상 표시부는, 상기 평가 화상 생성부에서 재차 생성된 상기 평가 화상을 상기 표시 장치에 표시시키는 것인, 검사 장치.The method according to claim 1, wherein when the threshold value changed by the threshold value changing unit is stored in the threshold value storage unit,
The evaluation image generating unit re-generates the evaluation image corresponding to the changed threshold value,
The image display unit causes the display device to display the evaluation image generated again by the evaluation image generation unit. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 임계값 변경부는, 상기 표시 장치에 표시되는 슬라이더의 손잡이부의 위치에 따라 상기 임계값을 변경하는 것인, 검사 장치.The inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the threshold value changing unit changes the threshold value according to a position of a handle portion of a slider displayed on the display device. 제1항 또는 제2항에 기재된 검사 장치와,
상기 테이블에 상기 프레임이 유지된 상태에서 상기 테이프를 확장하는 테이프 확장 유닛
을 포함하는, 테이프 확장 장치.The inspection device according to claim 1 or 2;
A tape expansion unit that expands the tape while the frame is held on the table
Including, tape expansion device.
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