JP2022094660A - 水質測定システム及び水質測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の処理水を流通させる第1の配管11と、第1の配管11から分岐し、第1のバルブV11を有する第1の分岐管11aと、第2の処理水を流通させる第2の配管12と、第2の配管12から分岐し、第2のバルブV12を有する第2の分岐管12aと、第1の配管11及び第2の配管12と接続され、第1の処理水及び第2の処理水を流通させる第3の配管13と、第3の配管13を流通する処理水の水質を測定する水質測定装置14と、を有する水質測定システム10。
【選択図】図1A
Description
[水質測定システム]
図1Aに示したように、本実施形態の水質測定システム10は、第1の配管11と、第1の分岐管11aと、第2の配管12と、第2の分岐管12aと、第3の配管13と、水質測定装置14と、を有して構成される。
次に、本実施形態における水質測定方法について説明する。この水質測定方法では、図1Aに示した水質測定システム10を用いる場合を例に、図2A及び図2Bを参照しながら説明する。
本実施形態における第1の供給工程は、第1の処理水を、第1の配管11に供給する工程であり、ここで第1の配管11は、第1のバルブV11を備えた第1の分岐管11aを有する。また、本実施形態における第2の供給工程は、第2の処理水を、第2の配管12に供給する工程であり、第2のバルブV12を備えた第2の分岐管12aを有する。
次いで、第1のバルブV11を閉め、第2のバルブV12を開ける又は第1のバルブV11を開け第2のバルブV12を閉め、第1の配管11及び第2の配管12と接続された第3の配管13に、第1の処理水又は第2の処理水の一方を流通させる。なお、第1のバルブV11及び第2のバルブを「閉める」とは、本明細書においては、完全に閉める場合の他、開度調節により流路を絞って処理水の一部が排出される場合も含む。
また、同様に、第2の処理水の水質を測定する場合、第2のバルブV12を閉とするが、このとき、分岐点C2から第2の配管12に流れる流量Q12と第2の分岐管12aに流れる流量Q12aとの流量比(Q12:Q12a)は10:0~8:2とすることが好ましく、10:0~9:1とすることがより好ましい。
なお、上記の場合、流量Q11aと流量Q12aは、バルブの開度調節又は逃がし配管を設けた場合により、分岐管から外部に排出される流量とも言える。
次に、第3の配管13を流通する処理水(第1の処理水又は第2の処理水)について、その水質を、水質測定装置14により測定する。
次に、第2の実施形態である水質測定システム及び水質測定方法について、図3を参照しながら説明する。
このように水質測定をすることで、例えば、超純水の製造工程に不具合が生じ、本来含まれてはいけない微粒子が混入していた場合、フィルター処理されない第1の処理水において微粒子が検出され、フィルター22で処理される第2の処理水において微粒子が検出されない(微粒子が低減する)こととなり、超純水製造装置に生じた不具合の有無を判定できる。
本実施例で用いる水質測定システムとして、基本構成として、図3に記載した水質測定システム20を用意した。
・微粒子測定装置14:PMS社製、Ultra DI 50(商品名;最小可測粒子径 0.05μm)
・バルブV11、V12:CKD株式会社製、ADK11-15A(商品名;電磁弁)
・フィルター22:日本ポール株式会社製、ウルチプリーツ SP DR(商品名;小型カプセルタイプ(5nm))
・流量計:東京計装株式会社製、P-060(商品名)
・クランプオン式流量センサ:株式会社キーエンス製、FD-X(商品名)
この超純水製造装置の上記限外ろ過膜の出口に設けたサンプリングバルブに、上記水質測定システムを取り付け、この超純水製造装置で製造された超純水を第4の配管から水質測定システム内に導入した。
実施例1と同一の超純水製造装置及び水質測定システムを用いて、同様の動作により水質測定を行った。なお、本実施例では、超純水製造装置で製造された超純水中に微粒子が混入している場合の例であり、その微粒子測定の結果を図5に示した。
実施例1と同一の超純水製造装置と、同一構成の水質測定システムを用いて、同様の動作により水質測定を行った。その微粒子測定の結果を図6に示した。
Claims (12)
- 第1の処理水を流通させる第1の配管と、
前記第1の配管から分岐し、第1のバルブを有する第1の分岐管と、
第2の処理水を流通させる第2の配管と、
前記第2の配管から分岐し、第2のバルブを有する第2の分岐管と、
前記第1の配管及び前記第2の配管と接続され、前記第1の処理水及び第2の処理水を流通させる第3の配管と、
前記第3の配管を流通する処理水の水質を測定する水質測定装置と、
を有し、
前記第3の配管は、前記第1の配管及び前記第2の配管との接続部分も含め、バルブを有しないことを特徴とする水質測定システム。 - 前記第1のバルブ及び前記第2のバルブの開閉を、一方が開、他方が閉となるように切替える切替手段を有することを特徴とする請求項1に記載の水質測定システム。
- 前記水質測定装置が、微粒子測定装置又は微生物測定装置であることを特徴とする請求項1又は2に記載の水質測定システム。
- 前記第1の配管と前記第2の配管は、同一の処理水が流通するように、1つの処理水を供給する第4の配管に接続して設けられ、
前記第2の配管に、微粒子又は微生物を捕捉できるフィルターを有することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の水質測定システム。 - 前記フィルターが微粒子を捕捉できる精密ろ過膜又は限外ろ過膜であり、前記水質測定装置が微粒子測定装置であることを特徴とする請求項4に記載の水質測定システム。
- 前記第1のバルブと前記第2のバルブの開閉を、所定の時間で交互に繰り返し切替える制御手段を有することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の水質測定システム。
- 第1の処理水を、第1のバルブを備えた第1の分岐管を有する第1の配管に供給する第1の供給工程と、
第2の処理水を、第2のバルブを備えた第2の分岐管を有する第2の配管に供給する第2の供給工程と、
前記第1のバルブを閉め前記第2のバルブを開ける又は前記第1のバルブを開け前記第2のバルブを閉めて、前記第1の配管及び前記第2の配管と接続された第3の配管に、前記第1の処理水又は前記第2の処理水の一方を流通させる切替工程と、
前記第3の配管を流通する前記第1の処理水又は前記第2の処理水の水質を測定する水質測定工程と、
を有し、
前記第3の配管は、前記第1の配管及び前記第2の配管との接続部分も含め、バルブを有しないことを特徴とする水質測定方法。 - 前記第1の処理水及び前記第2の処理水が、医薬用水、純水又は超純水であることを特徴とする請求項7に記載の水質測定方法。
- 前記水質測定が、微粒子測定装置又は微生物測定装置により測定されることを特徴とする請求項7又は8に記載の水質測定方法。
- 前記第1の配管と前記第2の配管は、同一の処理水が流通するように、1つの処理水を供給する第4の配管に接続して設けられ、
前記第2の配管に、微粒子又は微生物を捕捉できるフィルターを有することを特徴とすることを特徴とする請求項7~9のいずれか1項に記載の水質測定方法。 - 前記フィルターが微粒子を捕捉できる精密ろ過膜又は限外ろ過膜であり、前記水質測定装置が微粒子測定装置であることを特徴とする請求項10に記載の水質測定方法。
- 前記切替工程において、前記第1のバルブを閉め前記第2のバルブを開ける状態と、前記第1のバルブを開け前記第2のバルブを閉める状態を、所定の時間により交互に繰り返し行う制御工程を有することを特徴とする請求項7~11のいずれか1項に記載の水質測定方法。
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