JP2022092734A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2022092734A5
JP2022092734A5 JP2020205610A JP2020205610A JP2022092734A5 JP 2022092734 A5 JP2022092734 A5 JP 2022092734A5 JP 2020205610 A JP2020205610 A JP 2020205610A JP 2020205610 A JP2020205610 A JP 2020205610A JP 2022092734 A5 JP2022092734 A5 JP 2022092734A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
imprint
gas supply
target shot
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020205610A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7581033B2 (ja
JP2022092734A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2020205610A priority Critical patent/JP7581033B2/ja
Priority claimed from JP2020205610A external-priority patent/JP7581033B2/ja
Priority to KR1020210167967A priority patent/KR102812044B1/ko
Priority to US17/542,834 priority patent/US12228855B2/en
Publication of JP2022092734A publication Critical patent/JP2022092734A/ja
Publication of JP2022092734A5 publication Critical patent/JP2022092734A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7581033B2 publication Critical patent/JP7581033B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2020205610A 2020-12-11 2020-12-11 インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、およびコンピュータプログラム Active JP7581033B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020205610A JP7581033B2 (ja) 2020-12-11 2020-12-11 インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、およびコンピュータプログラム
KR1020210167967A KR102812044B1 (ko) 2020-12-11 2021-11-30 임프린트 장치, 임프린트 방법, 물품 제조 방법 및 저장 매체
US17/542,834 US12228855B2 (en) 2020-12-11 2021-12-06 Imprint apparatus, imprint method, article manufacturing method, and storage medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020205610A JP7581033B2 (ja) 2020-12-11 2020-12-11 インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、およびコンピュータプログラム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2022092734A JP2022092734A (ja) 2022-06-23
JP2022092734A5 true JP2022092734A5 (https=) 2023-11-20
JP7581033B2 JP7581033B2 (ja) 2024-11-12

Family

ID=81942415

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020205610A Active JP7581033B2 (ja) 2020-12-11 2020-12-11 インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、およびコンピュータプログラム

Country Status (3)

Country Link
US (1) US12228855B2 (https=)
JP (1) JP7581033B2 (https=)
KR (1) KR102812044B1 (https=)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5828626B2 (ja) * 2010-10-04 2015-12-09 キヤノン株式会社 インプリント方法
JP5868215B2 (ja) 2012-02-27 2016-02-24 キヤノン株式会社 インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法
JP6494185B2 (ja) * 2013-06-26 2019-04-03 キヤノン株式会社 インプリント方法および装置
JP6294679B2 (ja) * 2014-01-21 2018-03-14 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6320183B2 (ja) * 2014-06-10 2018-05-09 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法
JP6525567B2 (ja) * 2014-12-02 2019-06-05 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6628491B2 (ja) * 2015-04-13 2020-01-08 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP2017157635A (ja) 2016-02-29 2017-09-07 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP2018029101A (ja) 2016-08-16 2018-02-22 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品製造方法
KR102369538B1 (ko) * 2017-09-28 2022-03-03 캐논 가부시끼가이샤 성형 장치 및 물품 제조 방법
JP7210155B2 (ja) 2018-04-16 2023-01-23 キヤノン株式会社 装置、方法、および物品製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3345735B1 (en) Method of printing on a 3d jet printer
US9283609B2 (en) Metal forming system with accelerated mass production
US10197911B2 (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
JP2013175631A5 (https=)
JP2015138842A5 (https=)
JP2012079969A5 (https=)
JP2005508776A5 (https=)
TWI671798B (zh) 基板處理方法、基板處理裝置、及程式
JP2012238674A5 (https=)
CN207124181U (zh) 基板处理装置
JP2016021532A5 (https=)
JP2018093122A5 (https=)
JP2012134466A5 (https=)
JP2015233100A5 (https=)
JP2016201485A5 (https=)
JP2022092734A5 (https=)
JP2022163679A5 (https=)
JP5622701B2 (ja) 減圧乾燥装置
JP2023100536A5 (https=)
WO2007094229A1 (ja) 基板の処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
JP2019192821A5 (https=)
JP2017163039A (ja) インプリント装置、及び物品の製造方法
JP7399986B2 (ja) 製造方法および射出成形システム
JP2013258284A5 (ja) 露光装置、露光方法、物品の製造方法、およびアライメント方法
JP2023141408A5 (https=)