JP2022092626A - インプリント用光硬化性組成物 - Google Patents
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Abstract
【課題】新規なインプリント用光硬化性組成物の提供。【解決手段】下記(a)成分、下記(b)成分、下記(c)成分及び下記(d)成分を含む、インプリント用光硬化性組成物。(a):(メタ)アクリロイル基とこれに連結した炭素原子数1乃至8のアルキレン基を有し、OH基又は炭素原子数1乃至4のアルコキシ基及び炭素原子数1乃至4のアルキル基を有する特定のアルコキシシラン化合物と、炭素原子数1乃至12のフルオロアルキル基と、OH基又は炭素原子数1乃至4のアルコキシ基及び炭素原子数1乃至4のアルキル基を有する特定のアルコキシシラン化合物とを含む少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物、(b):芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物、(c):特定の多官能チオール化合物、(d):光ラジカル開始剤。【選択図】なし
Description
本発明は、特定のシラン化合物の加水分解重縮合物であるオルガノポリシロキサン、芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物、特定の多官能チオール化合物、及び光ラジカル開始剤を含むインプリント用光硬化性組成物に関する。詳細には、次の特徴を備えた硬化物及び成形体が作製される、光硬化性組成物に関する。その硬化物及び成形体の特徴は、-20℃以下の低温及び80℃以上の高温に連続的に晒される熱衝撃試験を経ても、支持体から剥離しない優れた密着性を有するとともに、該硬化物及び成形体の上層に反射防止層(AR層)を成膜後、熱処理を経ても該反射防止層にクラックが発生しない。
樹脂レンズは、携帯電話、デジタルカメラ、車載カメラなどの電子機器に用いられており、その電子機器の目的に応じた、優れた光学特性を有するものであることが求められる。また、使用態様に合わせて、高い耐久性、例えば耐熱性及び耐候性、並びに歩留まりよく成形できる高い生産性が求められている。このような要求を満たす樹脂レンズ用の材料としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、シクロオレフィンポリマー、メタクリル樹脂等の熱可塑性の透明樹脂が使用されてきた。
また、高解像度カメラモジュールには複数枚のレンズが用いられるが、波長分散性が低い、すなわち高アッベ数を有するレンズが主に使用されており、それを形成する光学材料が要求されている。さらに、樹脂レンズの製造にあたり、歩留まりや生産効率の向上、さらにはレンズ積層時の光軸ずれの抑制のために、熱可塑性樹脂の射出成型から、室温で液状の硬化性樹脂を使った押し付け成形によるウェハレベル成形への移行が盛んに検討されている。ウェハレベル成形では、生産性の観点から、ガラス基板等の支持体上にレンズを形成するハイブリッドレンズ方式が一般的である。
ウェハレベル成形が可能な光硬化性樹脂としては、従来、高透明性、耐熱黄変色性及び金型からの離型性の観点から、ラジカル硬化性樹脂組成物が用いられている(特許文献1)。
また、シラン化合物で表面修飾されたシリカ粒子、分散剤で表面修飾された酸化ジルコニウム粒子等の、表面修飾された酸化物粒子を含有することで、高いアッベ数の硬化物が得られる硬化性組成物が知られている(例えば、特許文献2及び特許文献3)。しかし、表面修飾された酸化物粒子を含有する硬化性組成物から得られる硬化物は、透明性が低い、脆く耐クラック性に劣る、という問題が発生するおそれがあり、この問題は、該硬化性組成物中の表面修飾された酸化物粒子の含有量が増加するほど顕著になる。
ウェハレベル成形により作製される成形体がレンズである場合、その上層に酸化ケイ素、酸化チタン等の無機物からなる反射防止層が形成される。そのため、該反射防止層で被覆されたレンズを熱処理することによって、その反射防止層にクラックが発生するという課題を有している。また、前記表面修飾された酸化物粒子を含む硬化性組成物の硬化物は、-20℃以下の低温と80℃以上の高温に連続的に晒される熱衝撃試験を行うと、該硬化物は、支持体からの剥離という課題を有している。
高アッベ数(例えば53以上)を有し、高解像度カメラモジュール用レンズとして使用し得る成形体が得られ、その後の熱処理によって該成形体の上層に成膜された反射防止層にクラックが発生せず、さらには、熱衝撃試験に晒されても、該成形体が支持体から剥離しない、硬化性樹脂材料は未だなく、その開発が望まれていた。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものである。すなわち、高アッベ数を示す成形体を形成でき、且つ該成形体を熱処理することによってその上層の反射防止層にクラックが発生せず、熱衝撃試験に晒されても、該成形体が支持体から剥離しない、高い熱衝撃耐性を有する成形体を形成できる光硬化性組成物を提供することを課題とする。
本発明者らは、前記の課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、特定のシラン化合物の加水分解重縮合物であるオルガノポリシロキサン、芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物、特定の多官能チオール化合物、及び光ラジカル開始剤を、光硬化性組成物に所定の比率で配合することにより、該光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体は、高いアッベ数νD(53以上)を有し、波長410nmにおいて90%以上の高い透過率を示すとともに、該硬化物及び成形体の上層の反射防止層が175℃での熱処理によってクラックが発生しないことを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明の第一態様は、下記(a)成分、該(a)成分100質量部に対して50質量部乃至1000質量部の下記(b)成分、該(a)成分100質量部に対して5質量部乃至100質量部の下記(c)成分、及び該(a)成分100質量部に対して0.5質量部乃至30質量部の下記(d)成分を含む、インプリント用光硬化性組成物である。
(a):前記式(1)で表されるシラン化合物と下記式(2)で表されるシラン化合物とを含む少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物
(式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素原子数1乃至8のアルキレン基を表し、R3はそれぞれ独立に水素原子又は炭素原子数1乃至4のアルキル基を表し、R4は炭素原子数1乃至4のアルキル基を表し、aは2又は3を表し、Rfは炭素原子数1乃至12のフルオロアルキル基を表し、R5はそれぞれ独立に水素原子又は炭素原子数1乃至4のアルキル基を表し、R6は炭素原子数1乃至4のアルキル基を表し、bは2又は3を表す。)
(b):芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物
(c):下記式(3)で表される多官能チオール化合物
(式中、R7は単結合、又は炭素原子数1乃至6の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキレン基を表し、Xはエーテル結合又はエステル結合を表し、Aはヘテロ原子を少なくとも1つ含む若しくはヘテロ原子を含まない炭素原子数2乃至12の有機基、又はヘテロ原子を表し、rは2乃至6の整数を表す。)
(d):光ラジカル開始剤
(a):前記式(1)で表されるシラン化合物と下記式(2)で表されるシラン化合物とを含む少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物
(b):芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物
(c):下記式(3)で表される多官能チオール化合物
(d):光ラジカル開始剤
前記(a)成分は、例えば、下記式(1a)で表される構造単位及び下記式(2a)で表される構造単位を有するオルガノポリシロキサン、又は下記式(1b)で表される構造単位及び下記式(2b)で表される構造単位を有するオルガノポリシロキサンである。
(式中、R1、R2及びR4は前記式(1)における定義と同義であり、R6及びRfは前記式(2)における定義と同義である。)
前記(b)成分は、例えば、下記式(5)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物、1分子中に(メタ)アクリロイルオキシ基を少なくとも2つ及び-NH-C(=O)O-で表されるウレタン構造を少なくとも2つ有するウレタン(メタ)アクリレート化合物、並びに下記式(6)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物からなる群から選ばれる2種の化合物を含む。
(式(5)中、2つのR7はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Q1は炭素原子数2乃至16の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキレン基、又は下記式(7)で表される二価の基を表す。式(6)中、2つのR8はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、R9及びR10はそれぞれ独立に炭素原子数2又は3のアルキレン基を表し、t及びuは2≦(t+u)≦14の関係式を満たす整数を表す。)
前記ウレタン(メタ)アクリレート化合物は、例えば下記式(8)で表される化合物である。
(式中、2つのR8、R9、R10、t及びuは前記式(6)における定義と同義であり、Q2は脂環構造を少なくとも1つ有する炭素原子数3乃至13のアルキレン基を表す。)
本発明のインプリント用光硬化性組成物はさらに、下記(e)成分を含有してもよい。
(e):フェノール系酸化防止剤
(e):フェノール系酸化防止剤
本発明の第二態様は、前記インプリント用光硬化性組成物の硬化物である。
本発明に第三態様は、前記インプリント用光硬化性組成物をインプリント成形する工程を含む、樹脂レンズの製造方法である。
本発明の第四態様は、インプリント用光硬化性組成物の成形体の製造方法であって、前記インプリント用光硬化性組成物を、接し合う支持体と鋳型との間の空間、又は分割可能な鋳型の内部の空間に充填する工程、及び該空間に充填されたインプリント用光硬化性組成物を露光して光硬化する工程、を含む成形体の製造方法である。前記鋳型はモールドとも称する。
本発明の成形体の製造方法において、前記光硬化する工程の後、得られた光硬化物を取り出して離型する工程、並びに、該光硬化物を、該離型する工程の前、中途又は後において加熱する工程をさらに含んでもよい。
本発明の成形体の製造方法において、前記離型する工程後、前記加熱する工程の前に有機溶媒を用いた現像工程をさらに含んでもよい。
本発明の成形体の製造方法において、該成形体は、例えばカメラモジュール用レンズである。
本発明のインプリント用光硬化性組成物は、前記(a)成分乃至前記(d)成分を含み、さらに任意で、前記(e)成分を含む。そのため、該光硬化性組成物から作製される硬化物及び成形体は、光学デバイス、例えば、高解像度カメラモジュール用のレンズとして望ましい光学特性、すなわち高アッベ数、高屈折率、高透明性及び耐熱黄変性を示す。また、支持体上に作製された前記硬化物及び成形体は、高温に連続的に晒される熱衝撃試験を経ても、該支持体から剥離しない優れた密着性を有する。さらに、前記硬化物及び成形体の上層に反射防止層(AR層)を成膜後、熱処理を経ても、該反射防止層にクラックが発生しない。
[(a)成分:少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物]
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(a)成分として使用可能な、少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物は、(メタ)アクリロイルオキシ基を有する前記式(1)で表されるシラン化合物とフルオロアルキル基を有する前記式(2)で表されるシラン化合物との加水分解重縮合物、又は該式(1)で表されるシラン化合物と該式(2)で表されるシラン化合物とその他のシラン化合物との加水分解重縮合物である。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(a)成分として使用可能な、少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物は、(メタ)アクリロイルオキシ基を有する前記式(1)で表されるシラン化合物とフルオロアルキル基を有する前記式(2)で表されるシラン化合物との加水分解重縮合物、又は該式(1)で表されるシラン化合物と該式(2)で表されるシラン化合物とその他のシラン化合物との加水分解重縮合物である。
前記式(1)で表されるシラン化合物として、例えば、(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、(メタ)アクリロイルオキシオクチルトリメトキシシラン、(メタ)アクリロイルオキシオクチルトリエトキシシラン、(メタ)アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、及び(メタ)アクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシランが挙げられる。
前記式(2)で表されるシラン化合物として、例えば、3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルメチルジメトキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルメチルジエトキシシラン、トリメトキシ(1H,1H,2H,2H-ノナフルオロヘキシル)シラン、メチルジメトキシ(1H,1H,2H,2H-ノナフルオロヘキシル)シラン、トリエトキシ(1H,1H,2H,2H-ノナフルオロヘキシル)シラン、メチルジエトキシ(1H,1H,2H,2H-ノナフルオロヘキシル)シラン、トリメトキシ(1H,1H,2H,2H-トリデカフルオロ-n-オクチル)シラン、及びトリエトキシ(1H,1H,2H,2H-トリデカフルオロ-n-オクチル)シランが挙げられる。
前記その他のシラン化合物は、前記式(1)で表されるシラン化合物、前記式(2)で表されるシラン化合物のいずれにも該当しないシラン化合物である。該その他のシラン化合物として、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n-プロピルトリメトキシシラン、n-プロピルトリエトキシシラン、n-ブチルトリメトキシシラン、イソブチルトリメトキシシラン、n-ヘキシルトリメトキシシラン、n-ヘキシルトリエトキシシラン、n-オクチルトリメトキシシラン、n-オクチルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、及びテトラエトキシシランが挙げられる。
上記(a)成分の加水分解重縮合物はオルガノポリシロキサンであり、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(b)成分:芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物]
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(b)成分として使用可能な多官能(メタ)アクリレート化合物は、ベンゼン環、ナフタレン環等の芳香環を含まない、二官能以上の(メタ)アクリレート化合物である。ここで芳香環とは、ヒュッケル則を満たす炭素環又は複素環、例えば、ベンゼン、ナフタレン、アズレン、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、フェナントレン、ピレン、フラン、チオフェン、ピロール、ピラゾール、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン及びトリアジンが挙げられる。したがって、芳香環を含まないとは、ヒュッケル則を満たす炭素環又は複素環を含まないことを意味する。該(b)成分として、前記式(5)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物、前記ウレタン(メタ)アクリレート化合物、及び前記式(6)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(b)成分として使用可能な多官能(メタ)アクリレート化合物は、ベンゼン環、ナフタレン環等の芳香環を含まない、二官能以上の(メタ)アクリレート化合物である。ここで芳香環とは、ヒュッケル則を満たす炭素環又は複素環、例えば、ベンゼン、ナフタレン、アズレン、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、フェナントレン、ピレン、フラン、チオフェン、ピロール、ピラゾール、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン及びトリアジンが挙げられる。したがって、芳香環を含まないとは、ヒュッケル則を満たす炭素環又は複素環を含まないことを意味する。該(b)成分として、前記式(5)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物、前記ウレタン(メタ)アクリレート化合物、及び前記式(6)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(b)成分として使用可能な、前記式(5)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物として、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3-プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3-メチル-1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,7-ヘプタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,11-ウンデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,12-ドデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,13-トリデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,14-テトラデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,15-ペンタデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,16-ヘキサデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3-オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10-ウンデカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3-ドデカンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4,4-トリメチル-1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4-ジエチル-1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2,2,9,9-テトラメチル-1,10-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、及びジオキサングリコールジ(メタ)アクリレートが挙げられる。
前記式(5)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物として市販品、例えば、ビスコート#195、ビスコート#230、ビスコート#260(以上、大阪有機化学工業(株)製)、BD、NPG、A-NPG、HD-N、A-HD-N、NOD-N、A-NOD-N、DOD-N、A-DOD-N、A-DOG(以上、新中村化学工業(株)製)、ライトエステルEG、ライトアクリレートMPD-A(以上、共栄社化学(株)製)を採用することができる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(b)成分として使用可能なウレタン(メタ)アクリレート化合物は、1分子中に(メタ)アクリロイルオキシ基を少なくとも2つ及び-NH-C(=O)O-で表されるウレタン構造を少なくとも2つ有する化合物である。該ウレタン(メタ)アクリレート化合物として、例えば、EBECRYL(登録商標)230、同270、同280/15IB、同284、同4491、同4683、同4858、同8307、同8402、同8411、同8804、同8807、同9270、同8800、同294/25HD、同4100、同4220、同4513、同4738、同4740、同4820、同8311、同8465、同9260、同8701、KRM7735、同8667、同8296(以上、ダイセル・オルネクス(株)製)、UV-2000B、UV-2750B、UV-3000B、UV-3200B、UV-3210EA、UV-3300B、UV-3310B、UV-3500B、UV-3520EA、UV-3700B、UV-6640B、UV-6630B、UV-7000B、UV-7510B、UV-7461TE(以上、日本合成化学(株)製)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、UA-510H、UF-8001G(以上、共栄社化学(株)製)、M-1100、M-1200(以上、東亞合成(株)製)、及びNKオリゴU-2PPA、同U-6LPA、同U-200PA、U-200PA、同U-160TM、同U-290TM、同UA-4200、同UA-4400、同UA-122P、同UA-7100、同UA-W2A(以上、新中村化学工業(株)製)が挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(b)成分として使用可能な、前記式(6)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物として、例えば、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、及びポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレートが挙げられる。該式(6)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物として市販品、例えば、NKエステル2G、同3G、同4G、同9G、同14G、同A-200、同A-400、同A-600、同APG-100、同APG-200、同APG-400、同APG-700(以上、新中村化学工業(株)製)を採用することができる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(b)成分の含有量は、前記(a)成分100質量部に対して、例えば50質量部乃至1000質量部、好ましくは80質量部乃至900質量部である。該(b)成分の含有量が50質量部より少ないと、前記光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の屈折率が低下するおそれがある。該(b1)成分の含有量が1000質量部より多いと、該光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の上層の反射防止層が175℃での熱処理によってクラックが発生するおそれがある。
上記(b)成分の芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(c)成分:前記式(3)で表される多官能チオール化合物]
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(c)成分として使用可能な、前記式(3)で表される多官能チオール化合物として、例えば、1,2-エタンジチオール、1,3-プロパンジチオール、ビス(2-メルカプトエチル)エーテル、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、及びトリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピル)エーテルが挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(c)成分として使用可能な、前記式(3)で表される多官能チオール化合物として、例えば、1,2-エタンジチオール、1,3-プロパンジチオール、ビス(2-メルカプトエチル)エーテル、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、及びトリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピル)エーテルが挙げられる。
前記式(3)で表される多官能チオール化合物として、市販品、例えば、カレンズMT(登録商標)PE1、同NR1、同BD1、TPMB、TEMB(以上、昭和電工(株)製)、及びTMMP、TEMPIC、PEMP、EGMP-4、DPMP、TMMP II-20P、PEMP II-20P、PEPT(以上、SC有機化学(株)製)を採用することができる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(c)成分の含有量は、前記(a)成分100質量部に対して5質量部乃至100質量部、好ましくは5質量部乃至50質量部である。該(c)成分の含有量が5質量部より少ないと、熱衝撃試験時に、前記光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体が基板から剥離するおそれがある。該(c)成分の含有量が100質量部より多いと、該光硬化性組成物の硬化が不均一になり、高温、高湿度などの過酷な環境に晒された際に相分離して白濁するおそれがある。
上記(c)成分の多官能チオール化合物は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(d)成分:光ラジカル開始剤]
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(d)成分として使用可能な光ラジカル開始剤として、例えば、アルキルフェノン類、ベンゾフェノン類、ミヒラー(Michler)のケトン類、アシルホスフィンオキシド類、ベンゾイルベンゾエート類、オキシムエステル類、テトラメチルチウラムモノスルフィド類及びチオキサントン類が挙げられ、特に、光開裂型の光ラジカル重合開始剤が好ましい。前記光ラジカル開始剤として市販品、例えば、IRGACURE(登録商標)184、同369、同651、同500、同819、同907、同784、同2959、同CGI1700、同CGI1750、同CGI1850、同CG24-61、同TPO、同1116、同1173(以上、BASFジャパン(株)製)、及びESACURE KIP150、同KIP65LT、同KIP100F、同KT37、同KT55、同KTO46、同KIP75(以上、Lamberti社製)を採用することができる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(d)成分として使用可能な光ラジカル開始剤として、例えば、アルキルフェノン類、ベンゾフェノン類、ミヒラー(Michler)のケトン類、アシルホスフィンオキシド類、ベンゾイルベンゾエート類、オキシムエステル類、テトラメチルチウラムモノスルフィド類及びチオキサントン類が挙げられ、特に、光開裂型の光ラジカル重合開始剤が好ましい。前記光ラジカル開始剤として市販品、例えば、IRGACURE(登録商標)184、同369、同651、同500、同819、同907、同784、同2959、同CGI1700、同CGI1750、同CGI1850、同CG24-61、同TPO、同1116、同1173(以上、BASFジャパン(株)製)、及びESACURE KIP150、同KIP65LT、同KIP100F、同KT37、同KT55、同KTO46、同KIP75(以上、Lamberti社製)を採用することができる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の(d)成分の含有量は、前記(a)成分100質量部に対して0.5質量部乃至30質量部、好ましくは1質量部乃至20質量部である。該(d)成分の含有量が0.5質量部より少ないと、前記光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の強度が低下するおそれがある。該(d)成分の含有量が30質量部より多いと、該光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の耐熱黄変性が悪化するおそれがある。
上記(d)成分の光ラジカル開始剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(e)成分:フェノール系酸化防止剤]
本発明のインプリント用光硬化性組成物の任意成分である(e)成分として使用可能なフェノール系酸化防止剤として、例えば、IRGANOX(登録商標)245、同1010、同1035、同1076、同1135(以上、BASFジャパン(株)製)、SUMILIZER(登録商標)GA-80、同GP、同MDP-S、同BBM-S、同WX-R(以上、住友化学(株)製)、及びアデカスタブ(登録商標)AO-20、同AO-30、同AO-40、同AO-50、同AO-60、同AO-80、同AO-330(以上、(株)ADEKA製)が挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の任意成分である(e)成分として使用可能なフェノール系酸化防止剤として、例えば、IRGANOX(登録商標)245、同1010、同1035、同1076、同1135(以上、BASFジャパン(株)製)、SUMILIZER(登録商標)GA-80、同GP、同MDP-S、同BBM-S、同WX-R(以上、住友化学(株)製)、及びアデカスタブ(登録商標)AO-20、同AO-30、同AO-40、同AO-50、同AO-60、同AO-80、同AO-330(以上、(株)ADEKA製)が挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物が(e)成分を含む場合、その含有量は、前記(a)成分100質量部に対して例えば0.1質量部乃至10質量部、好ましくは1質量部乃至10質量部である。該(e)成分の含有量が0.1質量部より少ないと、熱処理を伴う実装プロセスの前後で、前記光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の透過率が変化するおそれがある。該(e)成分の含有量が10質量部より多いと、該光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体は脆化し、また使用環境で太陽光等の強い光に曝された際に緑色に変色するおそれがある。
上記(e)成分のフェノール系酸化防止剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
<その他添加剤>
さらに本発明のインプリント用光硬化性組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、連鎖移動剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定化剤、レベリング剤、レオロジー調整剤、シランカップリング剤等の接着補助剤、顔料、染料、消泡剤などを含有することができる。
さらに本発明のインプリント用光硬化性組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、連鎖移動剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定化剤、レベリング剤、レオロジー調整剤、シランカップリング剤等の接着補助剤、顔料、染料、消泡剤などを含有することができる。
<インプリント用光硬化性組成物の調製方法>
本発明のインプリント用光硬化性組成物の調製方法は、特に限定されない。調製法としては、例えば、(a)成分、(b)成分、(c)成分及び(d)成分、並びに必要により(e)成分を所定の割合で混合して混合し均一な溶液とする方法が挙げられる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物の調製方法は、特に限定されない。調製法としては、例えば、(a)成分、(b)成分、(c)成分及び(d)成分、並びに必要により(e)成分を所定の割合で混合して混合し均一な溶液とする方法が挙げられる。
また、溶液に調製した本発明のインプリント用光硬化性組成物は、孔径が0.1μm乃至5μmのフィルターなどを用いてろ過した後、使用することが好ましい。
<硬化物>
本発明のインプリント用光硬化性組成物を、露光(光硬化)して、硬化物を得ることができ、本発明は該硬化物も対象とする。露光する光線としては、例えば、紫外線、電子線及びX線が挙げられる。紫外線照射に用いる光源としては、例えば、太陽光線、ケミカルランプ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、及びUV-LEDが使用できる。また、露光後、硬化物の物性を安定化させるためにポストベークを施してもよい。ポストベークの方法としては、特に限定されないが、通常、ホットプレート、オーブン等を使用して、50℃乃至260℃、1分乃至24時間の範囲で行われる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物を、露光(光硬化)して、硬化物を得ることができ、本発明は該硬化物も対象とする。露光する光線としては、例えば、紫外線、電子線及びX線が挙げられる。紫外線照射に用いる光源としては、例えば、太陽光線、ケミカルランプ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、及びUV-LEDが使用できる。また、露光後、硬化物の物性を安定化させるためにポストベークを施してもよい。ポストベークの方法としては、特に限定されないが、通常、ホットプレート、オーブン等を使用して、50℃乃至260℃、1分乃至24時間の範囲で行われる。
本発明のインプリント用光硬化性組成物を光硬化することにより得られる硬化物は、アッベ数νDが53以上と高いものであり、波長589nm(D線)における屈折率nDが1.48以上であり、また、加熱による黄変も見られない。そのため、本発明のインプリント用光硬化性組成物は、樹脂レンズ形成用として好適に使用することができる。
<成形体>
本発明のインプリント用光硬化性組成物は、例えばインプリント成形法を使用することによって、硬化物の形成と並行して各種成形体を容易に製造することができる。成形体を製造する方法としては、例えば接し合う支持体と鋳型との間の空間、又は分割可能な鋳型の内部の空間に本発明のインプリント用光硬化性組成物を充填する工程、該空間に充填された本発明のインプリント用組成物を露光して光硬化する工程、得られた光硬化物を取り出して離型する工程、並びに、該光硬化物を、該離型する工程の前、中途又は後において加熱する工程を含む方法が挙げられる。その際、前記光硬化する工程により得られた光硬化物を取り出して離型する工程の後、前記加熱する工程の前に有機溶媒にて未硬化部を洗浄・除去する現像工程をさらに含んでもよい。前記未硬化部を作製する手法としては、特に制限はないが、マスク露光、投影露光等により所定の位置のみを露光することで、露光されない部分すなわち未硬化部を作製することができる。さらに、必要に応じて、前記現像工程後の光硬化物を、再度露光して光硬化してもよい。
本発明のインプリント用光硬化性組成物は、例えばインプリント成形法を使用することによって、硬化物の形成と並行して各種成形体を容易に製造することができる。成形体を製造する方法としては、例えば接し合う支持体と鋳型との間の空間、又は分割可能な鋳型の内部の空間に本発明のインプリント用光硬化性組成物を充填する工程、該空間に充填された本発明のインプリント用組成物を露光して光硬化する工程、得られた光硬化物を取り出して離型する工程、並びに、該光硬化物を、該離型する工程の前、中途又は後において加熱する工程を含む方法が挙げられる。その際、前記光硬化する工程により得られた光硬化物を取り出して離型する工程の後、前記加熱する工程の前に有機溶媒にて未硬化部を洗浄・除去する現像工程をさらに含んでもよい。前記未硬化部を作製する手法としては、特に制限はないが、マスク露光、投影露光等により所定の位置のみを露光することで、露光されない部分すなわち未硬化部を作製することができる。さらに、必要に応じて、前記現像工程後の光硬化物を、再度露光して光硬化してもよい。
上記露光して光硬化する工程は、前述の硬化物を得るための条件を適用して実施することができる。さらに、上記光硬化物を加熱する工程の条件としては、特に限定されないが、通常、50℃乃至260℃、1分乃至24時間の範囲から適宜選択される。また、加熱手段としては、特に限定されないが、例えば、ホットプレート及びオーブンが挙げられる。このような方法によって製造された成形体は、カメラモジュール用レンズとして好適に使用することができる。
以下、実施例を挙げて、本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。なお、下記実施例において、試料の調製及び物性の分析に用いた装置及び条件は、以下の通りである。
(1)撹拌脱泡機
装置:(株)シンキー製 自転・公転ミキサー あわとり練太郎(登録商標)ARE-310
(2)UV露光
装置:シーシーエス(株)製 バッチ式UV-LED照射装置(波長365nm)
(3)屈折率nD、アッベ数νD
装置:アントンパール社製 多波長屈折計Abbemat MW
測定温度:23℃
(4)熱衝撃試験機
装置:エスペック(株)製 小型熱衝撃試験機TSE-11-A
条件:-40℃/85℃、-40℃及び85℃での曝し時間=30分、50サイクル
(5)デジタルマイクロスコープ(熱衝撃試験における剥離観察)
装置:(株)ハイロックス製 KH-7700、MXG-2500REZ
条件:反射(暗視野)、Low-Range、100倍
(6)透過率測定
装置:日本分光(株)製 紫外可視近赤外分光光度計 V-670
リファレンス:空気
(7)反射防止層の成膜
装置:神港精機(株)製 SRV4300シリーズ
方式:RFスパッタ・マグネトロン方式
条件:ターゲット材=SiO2、ターゲット・基板間の垂直距離=100mm、
温度=室温、スパッタ時間=29分
(8)光学顕微鏡(反射防止膜の観察)
装置:(株)キーエンス製 VHX-1000、VH-Z1000R
条件:反射(明視野)、対物500倍
装置:(株)シンキー製 自転・公転ミキサー あわとり練太郎(登録商標)ARE-310
(2)UV露光
装置:シーシーエス(株)製 バッチ式UV-LED照射装置(波長365nm)
(3)屈折率nD、アッベ数νD
装置:アントンパール社製 多波長屈折計Abbemat MW
測定温度:23℃
(4)熱衝撃試験機
装置:エスペック(株)製 小型熱衝撃試験機TSE-11-A
条件:-40℃/85℃、-40℃及び85℃での曝し時間=30分、50サイクル
(5)デジタルマイクロスコープ(熱衝撃試験における剥離観察)
装置:(株)ハイロックス製 KH-7700、MXG-2500REZ
条件:反射(暗視野)、Low-Range、100倍
(6)透過率測定
装置:日本分光(株)製 紫外可視近赤外分光光度計 V-670
リファレンス:空気
(7)反射防止層の成膜
装置:神港精機(株)製 SRV4300シリーズ
方式:RFスパッタ・マグネトロン方式
条件:ターゲット材=SiO2、ターゲット・基板間の垂直距離=100mm、
温度=室温、スパッタ時間=29分
(8)光学顕微鏡(反射防止膜の観察)
装置:(株)キーエンス製 VHX-1000、VH-Z1000R
条件:反射(明視野)、対物500倍
さらに、下記合成例に示すオルガノポリシロキサンの重量平均分子量Mwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、本明細書ではGPCと略称する。)による測定結果である。測定には、(株)島津製作所製GPCシステムを用いた。該GPCシステムの構成と、測定条件は下記のとおりである。
GPCシステム構成
システムコントローラ:CBM-20A、カラムオーブン:CTO-20A、オートサンプラ:SIL-10AF、検出器:SPD-20A及びRID-10A、排気ユニット:DGU-20A3
GPCカラム:Shodex(登録商標)KF-804L及びKF-803L
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン
流量:1mL/分
標準試料:異なる重量平均分子量(197000、55100、12800、3950、1260)のポリスチレン5種
GPCシステム構成
システムコントローラ:CBM-20A、カラムオーブン:CTO-20A、オートサンプラ:SIL-10AF、検出器:SPD-20A及びRID-10A、排気ユニット:DGU-20A3
GPCカラム:Shodex(登録商標)KF-804L及びKF-803L
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン
流量:1mL/分
標準試料:異なる重量平均分子量(197000、55100、12800、3950、1260)のポリスチレン5種
各合成例、実施例及び比較例において使用した化合物の供給元は以下の通りである。
APTMS:アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製 商品名:KBM-5103
MPTMS:メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製 商品名:KBM-503
TFPTMS:3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製 商品名:KBM-7103
iBTMS:イソブチルトリメトキシシラン、ダウ・東レ(株)製 商品名:XIAMETER(登録商標)OFS-2306 Silane
NFHTMS:トリメトキシ(1H,1H,2H,2H-ノナフルオロヘキシル)シラン、東京化成工業(株)製
B1:新中村化学工業(株)製 商品名:NKオリゴ UA-4200
B2:大阪有機化学(株)製 商品名:ビスコート#260
B3:新中村化学工業(株)製 商品名:NKエステル APG-400
B4:新中村化学工業(株)製 商品名:NKエステル A-DOG
C1:昭和電工(株)製 商品名:カレンズ(登録商標)MT NR1
C2:SC有機化学(株)製 商品名:PEPT
D1:BASFジャパン(株)製 商品名:Irgacure(登録商標)184
E1:BASFジャパン(株)製 商品名:Irganox(登録商標)245
S1:東亞合成(株)製 商品名:AC-SQ TA-100
APTMS:アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製 商品名:KBM-5103
MPTMS:メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製 商品名:KBM-503
TFPTMS:3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製 商品名:KBM-7103
iBTMS:イソブチルトリメトキシシラン、ダウ・東レ(株)製 商品名:XIAMETER(登録商標)OFS-2306 Silane
NFHTMS:トリメトキシ(1H,1H,2H,2H-ノナフルオロヘキシル)シラン、東京化成工業(株)製
B1:新中村化学工業(株)製 商品名:NKオリゴ UA-4200
B2:大阪有機化学(株)製 商品名:ビスコート#260
B3:新中村化学工業(株)製 商品名:NKエステル APG-400
B4:新中村化学工業(株)製 商品名:NKエステル A-DOG
C1:昭和電工(株)製 商品名:カレンズ(登録商標)MT NR1
C2:SC有機化学(株)製 商品名:PEPT
D1:BASFジャパン(株)製 商品名:Irgacure(登録商標)184
E1:BASFジャパン(株)製 商品名:Irganox(登録商標)245
S1:東亞合成(株)製 商品名:AC-SQ TA-100
[合成例1]オルガノポリシロキサン(A1)の製造
凝縮器を備えた500mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液7.71g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして18.3mmol)、イオン交換水24.7g(1371mmol)、及びテトラヒドロフラン(以下、本明細書ではTHFと略称する。)165.9gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 107.4g(458mmol)及びTFPTMS 100.0g(458mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
凝縮器を備えた500mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液7.71g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして18.3mmol)、イオン交換水24.7g(1371mmol)、及びテトラヒドロフラン(以下、本明細書ではTHFと略称する。)165.9gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 107.4g(458mmol)及びTFPTMS 100.0g(458mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
撹拌終了後、得られた反応物を室温(およそ25℃)に冷却し、イオン交換樹脂アンバーリスト(登録商標)15JWET20.7g及び粉末セルロースKCフロック(登録商標)W-100GK(日本製紙(株)製)4.15gを加え、1時間撹拌することで反応を停止させた。その後、0.5μmメンブレンフィルターにて濾過し、酢酸エチル207.4gにて濾物を洗浄した。得られた濾液に重合禁止剤として4-メトキシフェノール(東京化成工業(株)製)0.144gを加え、撹拌することで溶解させた後、エバポレーターを用いて溶媒を留去することで、目的とするオルガノポリシロキサン(A1)145.1gを得た。得られたオルガノポリシロキサン(A1)をGPCで測定したところ、ポリスチレン換算で重量平均分子量Mwは2,200、分散度:Mw/Mnは1.1であった。
[合成例2]オルガノポリシロキサン(A2)の製造
凝縮器を備えた500mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液6.94g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして16.5mmol)、イオン交換水22.2g(1234mmol)、及びTHF153.9gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、MPTMS 102.4g(412mmol)及びTFPTMS 90.0g(412mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
凝縮器を備えた500mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液6.94g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして16.5mmol)、イオン交換水22.2g(1234mmol)、及びTHF153.9gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、MPTMS 102.4g(412mmol)及びTFPTMS 90.0g(412mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
撹拌終了後、得られた反応物を室温(およそ25℃)に冷却し、イオン交換樹脂アンバーリスト(登録商標)15JWET 19.2g及び粉末セルロースKCフロック(登録商標)W-100GK(日本製紙(株)製)3.85gを加え、1時間撹拌することで反応を停止させた。その後、0.5μmメンブレンフィルターにて濾過し、酢酸エチル192.4gにて濾物を洗浄した。得られた濾液に重合禁止剤として4-メトキシフェノール(東京化成工業(株)製)0.135gを加え、撹拌することで溶解させた後、エバポレーターを用いて溶媒を留去することで、目的とするオルガノポリシロキサン(A2)134.1gを得た。得られたオルガノポリシロキサン(A2)をGPCで測定したところ、ポリスチレン換算で重量平均分子量Mwは2,000、分散度:Mw/Mnは1.1であった。
[合成例3]オルガノポリシロキサン(A3)の製造
凝縮器を備えた200mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液1.80g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして4.27mmol)、イオン交換水5.75g(319mmol)、及びTHF53.6gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 10.0g(42.7mmol)、iBTMS 11.4g(61.0mmol)、及びTFPTMS 23.3g(107mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
凝縮器を備えた200mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液1.80g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして4.27mmol)、イオン交換水5.75g(319mmol)、及びTHF53.6gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 10.0g(42.7mmol)、iBTMS 11.4g(61.0mmol)、及びTFPTMS 23.3g(107mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
撹拌終了後、得られた反応物を室温(およそ25℃)に冷却し、イオン交換樹脂アンバーリスト(登録商標)15JWET 8.94gと粉末セルロースKCフロック(登録商標)W-100GK(日本製紙(株)製)1.79gを加え、1時間撹拌することで反応を停止させた。その後、0.5μmメンブレンフィルターにて濾過し、酢酸エチル44.7gにて濾物を洗浄した。得られた濾液に重合禁止剤として4-メトキシフェノール(東京化成工業(株)製)0.0300gを加え、撹拌することで溶解させた後、エバポレーターを用いて溶媒を留去することで、目的とするオルガノポリシロキサン(A3)を得た。得られたオルガノポリシロキサン(A3)をGPCで測定したところ、ポリスチレン換算で重量平均分子量Mwは2100、分散度:Mw/Mnは1.1であった。
[合成例4]オルガノポリシロキサン(A4)の製造
凝縮器を備えた100mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液0.771g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして1.83mmol)、イオン交換水2.47g(137mmol)、及びTHF24.7gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 8.59g(36.7mmol)、及びTFPTMS 12.0g(55.0mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
凝縮器を備えた100mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液0.771g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして1.83mmol)、イオン交換水2.47g(137mmol)、及びTHF24.7gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 8.59g(36.7mmol)、及びTFPTMS 12.0g(55.0mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
撹拌終了後、得られた反応物を室温(およそ25℃)に冷却し、イオン交換樹脂アンバーリスト(登録商標)15JWET 4.12gと粉末セルロースKCフロック(登録商標)W-100GK(日本製紙(株)製)0.824gを加え、1時間撹拌することで反応を停止させた。その後、0.5μmメンブレンフィルターにて濾過し、酢酸エチル20.6gにて濾物を洗浄した。得られた濾液に重合禁止剤として4-メトキシフェノール(東京化成工業(株)製)0.0143gを加え、撹拌することで溶解させた後、エバポレーターを用いて溶媒を留去することで、目的とするオルガノポリシロキサン(A4)を得た。得られたオルガノポリシロキサン(A4)をGPCで測定したところ、ポリスチレン換算で重量平均分子量Mwは2000、分散度:Mw/Mnは1.1であった。
[合成例5]オルガノポリシロキサン(A5)の製造
凝縮器を備えた100mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液0.826g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして1.96mmol)、イオン交換水2.65g(147mmol)、及びTHF26.3gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 6.90g(29.5mmol)、及びTFPTMS 15.0g(68.7mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
凝縮器を備えた100mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液0.826g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして1.96mmol)、イオン交換水2.65g(147mmol)、及びTHF26.3gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 6.90g(29.5mmol)、及びTFPTMS 15.0g(68.7mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
撹拌終了後、得られた反応物を室温(およそ25℃)に冷却し、イオン交換樹脂アンバーリスト(登録商標)15JWET 4.38gと粉末セルロースKCフロック(登録商標)W-100GK(日本製紙(株)製)0.876gを加え、1時間撹拌することで反応を停止させた。その後、0.5μmメンブレンフィルターにて濾過し、酢酸エチル21.9gにて濾物を洗浄した。得られた濾液に重合禁止剤として4-メトキシフェノール(東京化成工業(株)製)0.0151gを加え、撹拌することで溶解させた後、エバポレーターを用いて溶媒を留去することで、目的とするオルガノポリシロキサン(A5)を得た。得られたオルガノポリシロキサン(A5)をGPCで測定したところ、ポリスチレン換算で重量平均分子量Mwは2000、分散度:Mw/Mnは1.1であった。
[合成例6]オルガノポリシロキサン(A6)の製造
凝縮器を備えた100mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液0.718g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして1.71mmol)、イオン交換水2.30g(128mmol)、及びTHF25.0gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 10.0g(42.7mmol)、iBTMS 4.57g(25.6mmol)、及びNFHTMS 6.29g(17.1mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
凝縮器を備えた100mLの反応フラスコに、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液0.718g(水酸化テトラエチルアンモニウムとして1.71mmol)、イオン交換水2.30g(128mmol)、及びTHF25.0gを仕込み、窒素バルーンを用いて該反応フラスコ中の空気を窒素で置換した。その後、室温下、滴下ロートを用いて、APTMS 10.0g(42.7mmol)、iBTMS 4.57g(25.6mmol)、及びNFHTMS 6.29g(17.1mmol)の混合物を、約10分間かけて前記反応フラスコに滴下した。この反応フラスコ内の混合物を40℃に昇温し、4時間撹拌した。
撹拌終了後、得られた反応物を室温(およそ25℃)に冷却し、イオン交換樹脂アンバーリスト(登録商標)15JWET 4.17gと粉末セルロースKCフロック(登録商標)W-100GK(日本製紙(株)製)0.834gを加え、1時間撹拌することで反応を停止させた。その後、0.5μmメンブレンフィルターにて濾過し、酢酸エチル20.9gにて濾物を洗浄した。得られた濾液に重合禁止剤として4-メトキシフェノール(東京化成工業(株)製)0.0150gを加え、撹拌することで溶解させた後、エバポレーターを用いて溶媒を留去することで、目的とするオルガノポリシロキサン(A5)を得た。得られたオルガノポリシロキサン(A5)をGPCで測定したところ、ポリスチレン換算で重量平均分子量Mwは2400、分散度:Mw/Mnは1.2であった。
[実施例1]
(a)前記オルガノポリシロキサンとしてA1、(b)芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物としてB1及びB2、(d)光ラジカル開始剤としてD1、及び(e)フェノール系酸化防止剤としてE1を、それぞれ下記表1に記載の割合で配合し、50℃で3時間振とうさせ、混合した。その後、(c)多官能チオール化合物としてC1を添加し、前記撹拌脱泡機を用いて30分間、撹拌混合した。さらに同装置を用いて10分間撹拌脱泡することで、本発明のインプリント用光硬化性組成物1を調製した。なお、下記表1中、「部」は「質量部」を表す。
(a)前記オルガノポリシロキサンとしてA1、(b)芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物としてB1及びB2、(d)光ラジカル開始剤としてD1、及び(e)フェノール系酸化防止剤としてE1を、それぞれ下記表1に記載の割合で配合し、50℃で3時間振とうさせ、混合した。その後、(c)多官能チオール化合物としてC1を添加し、前記撹拌脱泡機を用いて30分間、撹拌混合した。さらに同装置を用いて10分間撹拌脱泡することで、本発明のインプリント用光硬化性組成物1を調製した。なお、下記表1中、「部」は「質量部」を表す。
[実施例2乃至実施例13]
前記実施例1と同様の手順にて、(a)成分乃至(e)成分を下記表1に示す割合で混合することで、本発明のインプリント用光硬化性組成物2乃至13を調製した。
前記実施例1と同様の手順にて、(a)成分乃至(e)成分を下記表1に示す割合で混合することで、本発明のインプリント用光硬化性組成物2乃至13を調製した。
[比較例1]
前記実施例1と同様の手順にて、(b)成分乃至(e)成分を下記表1に示す割合で混合することで、インプリント用光硬化性組成物14を調製した。
前記実施例1と同様の手順にて、(b)成分乃至(e)成分を下記表1に示す割合で混合することで、インプリント用光硬化性組成物14を調製した。
[比較例2]
前記実施例1と同様の手順にて、(b)成分、(d)成分及び(e)成分、並びにフルオロアルキル基を有さないため(a)成分に該当しないポリシロキサンS1を下記表1に示す割合で混合することで、インプリント用光硬化性組成物15を調製した。
前記実施例1と同様の手順にて、(b)成分、(d)成分及び(e)成分、並びにフルオロアルキル基を有さないため(a)成分に該当しないポリシロキサンS1を下記表1に示す割合で混合することで、インプリント用光硬化性組成物15を調製した。
[比較例3]
前記実施例1と同様の手順にて、(a)成分、(b)成分、(d)成分及び(e)成分を下記表1に示す割合で混合することで、インプリント用光硬化性組成物16を調製した。
前記実施例1と同様の手順にて、(a)成分、(b)成分、(d)成分及び(e)成分を下記表1に示す割合で混合することで、インプリント用光硬化性組成物16を調製した。
[硬化膜の作製]
実施例1乃至実施例13、比較例1及び比較例3で調製した各インプリント用光硬化性組成物を、500μm厚のシリコーンゴム製スペーサーとともに、NOVEC(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理したガラス基板2枚で挟み込んだ。この挟み込んだ光硬化性組成物を、前記UV-LED照射装置を用いて30mW/cm2で200秒間UV露光した。露光後得られた硬化物を、前記離型処理したガラス基板から剥離した後、100℃のホットプレートで10分間加熱することで、直径3cm、厚さ0.5mmの硬化膜を作製した。
実施例1乃至実施例13、比較例1及び比較例3で調製した各インプリント用光硬化性組成物を、500μm厚のシリコーンゴム製スペーサーとともに、NOVEC(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理したガラス基板2枚で挟み込んだ。この挟み込んだ光硬化性組成物を、前記UV-LED照射装置を用いて30mW/cm2で200秒間UV露光した。露光後得られた硬化物を、前記離型処理したガラス基板から剥離した後、100℃のホットプレートで10分間加熱することで、直径3cm、厚さ0.5mmの硬化膜を作製した。
[透過率評価]
前記の方法で作製した硬化膜の波長410nmの透過率を、前記紫外可視近赤外分光光度計を用いて測定した。その結果を下記表2に示す。
前記の方法で作製した硬化膜の波長410nmの透過率を、前記紫外可視近赤外分光光度計を用いて測定した。その結果を下記表2に示す。
[屈折率nD・アッベ数νD評価]
前記の方法で作製した硬化膜の波長589nmにおける屈折率nD、及びアッベ数νDを、前記多波長屈折計を用いて測定した。その結果を下記表2に合わせて示す。
前記の方法で作製した硬化膜の波長589nmにおける屈折率nD、及びアッベ数νDを、前記多波長屈折計を用いて測定した。その結果を下記表2に合わせて示す。
[熱衝撃試験における硬化膜の剥離耐性の評価]
実施例1乃至実施例13、比較例1及び比較例3で調製した各インプリント用光硬化性組成物を適量、NOVEC(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理したフォトマスク基板(開口部1cm角)上に滴下した。その後、500μm厚のシリコーンゴム製スペーサーを介して、無アルカリガラス基板(10cm角、0.7mm厚)で、前記離型処理したフォトマスク基板上のインプリント用光硬化性組成物を挟み込んだ。前記無アルカリガラス基板は、信越化学工業(株)製接着補助剤(製品名:KBM-5103)をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、本明細書ではPGMEAと略称する。)で30質量%に希釈した溶液を塗布し乾燥することで密着処理したものである。この挟み込んだ光硬化性組成物を、前記UV-LED照射装置を用いて115mW/cm2で2.2秒間UV露光した。露光後得られた硬化物を、前記離型処理したフォトマスク基板から剥離した後、撹拌されたPGMEA中に浸漬(現像)し、さらにPGMEAでリンスして未露光部を除去することで、前記密着処理した無アルカリガラス基板上に、1cm角、厚さ0.5mmの硬化膜を作製した。この硬化膜を、再度前記UV-LED照射装置を用いて30mW/cm2で191.7秒間UV露光し、100℃のホットプレートで10分間加熱した後、前記エスペック(株)製小型熱衝撃試験機内に投入した。熱衝撃試験100サイクル終了後に、硬化膜を該試験機から取り出し、前記(株)ハイロックス製デジタルマイクロスコープにて硬化膜の角部を観察した。前記密着処理した無アルカリガラス基板から該硬化膜の剥離が確認される場合を“×”と判定し、該硬化膜の剥離が確認されない場合を“○”と判定し、その結果を下記表2に合わせて示す。
実施例1乃至実施例13、比較例1及び比較例3で調製した各インプリント用光硬化性組成物を適量、NOVEC(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理したフォトマスク基板(開口部1cm角)上に滴下した。その後、500μm厚のシリコーンゴム製スペーサーを介して、無アルカリガラス基板(10cm角、0.7mm厚)で、前記離型処理したフォトマスク基板上のインプリント用光硬化性組成物を挟み込んだ。前記無アルカリガラス基板は、信越化学工業(株)製接着補助剤(製品名:KBM-5103)をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、本明細書ではPGMEAと略称する。)で30質量%に希釈した溶液を塗布し乾燥することで密着処理したものである。この挟み込んだ光硬化性組成物を、前記UV-LED照射装置を用いて115mW/cm2で2.2秒間UV露光した。露光後得られた硬化物を、前記離型処理したフォトマスク基板から剥離した後、撹拌されたPGMEA中に浸漬(現像)し、さらにPGMEAでリンスして未露光部を除去することで、前記密着処理した無アルカリガラス基板上に、1cm角、厚さ0.5mmの硬化膜を作製した。この硬化膜を、再度前記UV-LED照射装置を用いて30mW/cm2で191.7秒間UV露光し、100℃のホットプレートで10分間加熱した後、前記エスペック(株)製小型熱衝撃試験機内に投入した。熱衝撃試験100サイクル終了後に、硬化膜を該試験機から取り出し、前記(株)ハイロックス製デジタルマイクロスコープにて硬化膜の角部を観察した。前記密着処理した無アルカリガラス基板から該硬化膜の剥離が確認される場合を“×”と判定し、該硬化膜の剥離が確認されない場合を“○”と判定し、その結果を下記表2に合わせて示す。
[反射防止層(AR層)の成膜と耐クラック性評価]
実施例1乃至実施例13及び比較例1乃至比較例3で調製した各インプリント用光硬化性組成物0.040gを、NOVEC(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理した無アルカリガラス基板上に秤量した。その後、500μm厚のシリコーンゴム製スペーサーを介して、信越化学(株)製接着補助剤(製品名:KBM-5103)をPGMEAで30質量%に希釈した溶液を塗布し乾燥することで密着処理した無アルカリガラス基板(6cm角、0.7mm厚)で、前記離型処理した無アルカリガラス基板上のインプリント用光硬化性組成物を挟み込んだ。この挟み込んだ光硬化性組成物を、前記UV-LED照射装置を用いて30mW/cm2で200秒間UV露光した。露光後得られた硬化物を、前記離型処理したガラス基板から剥離した後、100℃のホットプレートで10分間加熱した。その結果、前記密着処理した無アルカリガラス基板上に、直径1cm、厚さ0.5mm及び質量0.040gの硬化膜が作製された。同様の操作を繰り返し、同一の密着処理した無アルカリガラス基板上に2つの該硬化膜を作製した。
実施例1乃至実施例13及び比較例1乃至比較例3で調製した各インプリント用光硬化性組成物0.040gを、NOVEC(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理した無アルカリガラス基板上に秤量した。その後、500μm厚のシリコーンゴム製スペーサーを介して、信越化学(株)製接着補助剤(製品名:KBM-5103)をPGMEAで30質量%に希釈した溶液を塗布し乾燥することで密着処理した無アルカリガラス基板(6cm角、0.7mm厚)で、前記離型処理した無アルカリガラス基板上のインプリント用光硬化性組成物を挟み込んだ。この挟み込んだ光硬化性組成物を、前記UV-LED照射装置を用いて30mW/cm2で200秒間UV露光した。露光後得られた硬化物を、前記離型処理したガラス基板から剥離した後、100℃のホットプレートで10分間加熱した。その結果、前記密着処理した無アルカリガラス基板上に、直径1cm、厚さ0.5mm及び質量0.040gの硬化膜が作製された。同様の操作を繰り返し、同一の密着処理した無アルカリガラス基板上に2つの該硬化膜を作製した。
前記密着処理した無アルカリガラス基板上に作製された2つの硬化膜上に、前記RFスパッタ装置を用いて前記成膜条件にて、膜厚200nmの酸化ケイ素層を反射防止層として成膜した。前記(株)キーエンス製光学顕微鏡を用いて、前記2つの硬化膜上の反射防止層を観察しクラックの有無を確認した後、前記密着処理した無アルカリガラス基板を175℃のホットプレートで2分30秒間加熱することで耐熱性試験を行った。耐熱性試験後の前記密着処理したガラス基板についても、前記光学顕微鏡を用いて前記2つの硬化膜上の反射防止層のクラックの有無を観察し、該反射防止層の耐クラック性を判定した。該2つの硬化膜上の反射防止層全てにクラックが視認できる場合を“×”と判定し、該2つの硬化膜上の反射防止層の内1つのみにクラックが視認できる場合を“△”、該2つの硬化膜上の反射防止層全てにクラックが視認できない場合を“○”と判定した。それぞれの結果を下記表2に合わせて示す。
(a)成分を含まない比較例1のインプリント用光硬化性組成物から作製した硬化膜上に成膜した反射防止層は、耐熱性試験後にクラックが発生する結果となった。また、(a)成分の代わりに、フルオロアルキル基を含まないポリシロキサンS1を用いた比較例2のインプリント用光硬化性組成物から作製した硬化膜上に成膜した反射防止層においても、比較例1と同様に耐熱性試験後、該反射防止層にクラックが発生する結果となった。比較例3のインプリント用光硬化性組成物から作製した硬化膜は、該硬化膜上に成膜した反射防止層は耐クラック性を示すものの、熱衝撃試験に晒すと該硬化膜が無アルカリガラス基板から剥離する結果となった。この結果は、比較例1乃至比較例3のインプリント用光硬化性組成物から作製した硬化膜が、高画素(メガピクセル)カメラモジュール用レンズに好適でないことを示唆している。これに対して本発明のインプリント用光硬化性組成物から作製した硬化膜は、透過率、該硬化膜上に成膜した反射防止層の耐クラック性、及び熱衝撃試験における該硬化膜の剥離耐性の全ての特性で良好な特性を示し、かつ高アッベ数を有するレンズとして好適な屈折率nD及びアッベ数νDを示したことから、本発明の優位性が確認された。
Claims (13)
- 下記(a)成分、該(a)成分100質量部に対して50質量部乃至1000質量部の下記(b)成分、該(a)成分100質量部に対して5質量部乃至100質量部の下記(c)成分、及び該(a)成分100質量部に対して0.5質量部乃至30質量部の下記(d)成分を含む、インプリント用光硬化性組成物。
(a):前記式(1)で表されるシラン化合物と下記式(2)で表されるシラン化合物とを含む少なくとも2種のシラン化合物の加水分解重縮合物
(b):芳香環を含まない多官能(メタ)アクリレート化合物
(c):下記式(3)で表される多官能チオール化合物
(d):光ラジカル開始剤 - 前記(b)成分は、下記式(5)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物、1分子中に(メタ)アクリロイルオキシ基を少なくとも2つ及び-NH-C(=O)O-で表されるウレタン構造を少なくとも2つ有するウレタン(メタ)アクリレート化合物、並びに下記式(6)で表される二官能(メタ)アクリレート化合物からなる群から選ばれる2種の化合物を含む、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のインプリント用光硬化性組成物。
- さらに下記(e)成分を含有する、請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のインプリント用光硬化性組成物。
(e):フェノール系酸化防止剤 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載のインプリント用光硬化性組成物の硬化物。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載のインプリント用光硬化性組成物をインプリント成形する工程を含む、樹脂レンズの製造方法。
- インプリント用光硬化性組成物の成形体の製造方法であって、請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載のインプリント用光硬化性組成物を、接し合う支持体と鋳型との間の空間、又は分割可能な鋳型の内部の空間に充填する工程、及び該空間に充填されたインプリント用光硬化性組成物を露光して光硬化する工程を含む、成形体の製造方法。
- 前記光硬化する工程の後、得られた光硬化物を取り出して離型する工程、並びに、該光硬化物を、該離型する工程の前、中途又は後において加熱する工程を含む、請求項10に記載の成形体の製造方法。
- 前記離型する工程後、前記加熱する工程の前に有機溶媒を用いた現像工程をさらに含む、請求項11に記載の成形体の製造方法。
- 前記成形体がカメラモジュール用レンズである、請求項10乃至請求項12のいずれか一項に記載の成形体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019079591A JP2022092626A (ja) | 2019-04-18 | 2019-04-18 | インプリント用光硬化性組成物 |
PCT/JP2020/014200 WO2020213373A1 (ja) | 2019-04-18 | 2020-03-27 | インプリント用光硬化性組成物 |
TW109111911A TW202104443A (zh) | 2019-04-18 | 2020-04-09 | 壓印用光硬化性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019079591A JP2022092626A (ja) | 2019-04-18 | 2019-04-18 | インプリント用光硬化性組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022092626A true JP2022092626A (ja) | 2022-06-23 |
Family
ID=72836858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019079591A Pending JP2022092626A (ja) | 2019-04-18 | 2019-04-18 | インプリント用光硬化性組成物 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022092626A (ja) |
TW (1) | TW202104443A (ja) |
WO (1) | WO2020213373A1 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60239321A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-28 | Hitachi Metals Ltd | 金属ホウ化物の製造方法 |
WO2015152154A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | 日産化学工業株式会社 | 反応性含フッ素シリコーン化合物を含む重合性組成物 |
TW201544547A (zh) * | 2014-04-18 | 2015-12-01 | Nissan Chemical Ind Ltd | 含反應性聚矽氧化合物之聚合性樹脂組成物 |
JP2018130716A (ja) * | 2017-01-20 | 2018-08-23 | 株式会社トクヤマ | 表面修飾可能な積層体の製法 |
-
2019
- 2019-04-18 JP JP2019079591A patent/JP2022092626A/ja active Pending
-
2020
- 2020-03-27 WO PCT/JP2020/014200 patent/WO2020213373A1/ja active Application Filing
- 2020-04-09 TW TW109111911A patent/TW202104443A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202104443A (zh) | 2021-02-01 |
WO2020213373A1 (ja) | 2020-10-22 |
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