JP2022086069A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022086069A5 JP2022086069A5 JP2020197880A JP2020197880A JP2022086069A5 JP 2022086069 A5 JP2022086069 A5 JP 2022086069A5 JP 2020197880 A JP2020197880 A JP 2020197880A JP 2020197880 A JP2020197880 A JP 2020197880A JP 2022086069 A5 JP2022086069 A5 JP 2022086069A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- opening
- container body
- movement mechanism
- processing space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020197880A JP7557352B2 (ja) | 2020-11-30 | 2020-11-30 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| KR1020237017247A KR102692696B1 (ko) | 2020-11-30 | 2021-11-26 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
| CN202180079981.1A CN116529862A (zh) | 2020-11-30 | 2021-11-26 | 基板处理装置及基板处理方法 |
| PCT/JP2021/043391 WO2022114127A1 (ja) | 2020-11-30 | 2021-11-26 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| TW110144510A TWI804076B (zh) | 2020-11-30 | 2021-11-30 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020197880A JP7557352B2 (ja) | 2020-11-30 | 2020-11-30 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022086069A JP2022086069A (ja) | 2022-06-09 |
| JP2022086069A5 true JP2022086069A5 (enExample) | 2023-05-30 |
| JP7557352B2 JP7557352B2 (ja) | 2024-09-27 |
Family
ID=81755637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020197880A Active JP7557352B2 (ja) | 2020-11-30 | 2020-11-30 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7557352B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102692696B1 (enExample) |
| CN (1) | CN116529862A (enExample) |
| TW (1) | TWI804076B (enExample) |
| WO (1) | WO2022114127A1 (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020127513A (ja) * | 2019-02-07 | 2020-08-27 | 京楽産業.株式会社 | 遊技機 |
| JP2020127512A (ja) * | 2019-02-07 | 2020-08-27 | 京楽産業.株式会社 | 遊技機 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5471740B2 (ja) | 2010-04-08 | 2014-04-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP6015738B2 (ja) | 2014-11-25 | 2016-10-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置、処理方法及び記憶媒体 |
| KR102055712B1 (ko) * | 2015-10-04 | 2019-12-13 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 감소된 용적의 처리 챔버 |
| JP2017157746A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
| JP6922048B2 (ja) | 2016-11-04 | 2021-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 |
| JP2018082043A (ja) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| US10872789B2 (en) * | 2017-09-28 | 2020-12-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer cooling system |
| JP6906416B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2021-07-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP7038524B2 (ja) * | 2017-11-14 | 2022-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置の洗浄装置および洗浄方法 |
| JP7308688B2 (ja) * | 2019-08-05 | 2023-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板乾燥方法 |
-
2020
- 2020-11-30 JP JP2020197880A patent/JP7557352B2/ja active Active
-
2021
- 2021-11-26 CN CN202180079981.1A patent/CN116529862A/zh active Pending
- 2021-11-26 KR KR1020237017247A patent/KR102692696B1/ko active Active
- 2021-11-26 WO PCT/JP2021/043391 patent/WO2022114127A1/ja not_active Ceased
- 2021-11-30 TW TW110144510A patent/TWI804076B/zh active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2022086069A5 (enExample) | ||
| US6796545B2 (en) | Poppet valve seal mechanism | |
| JP2009533144A5 (enExample) | ||
| CN207027548U (zh) | 一种多指柔性夹具 | |
| JP2006216710A5 (enExample) | ||
| CN104302929A (zh) | 直通真空泵 | |
| JP2008504113A5 (enExample) | ||
| JPS5999179A (ja) | 複座弁 | |
| KR101792496B1 (ko) | 수문형 게이트밸브 | |
| RU2007104048A (ru) | Выдачной кран с двухкаскадным клапаном | |
| CN115848803A (zh) | 便于提取样本的医疗消化科存放装置 | |
| CN107061761B (zh) | 一种改进型蝶阀 | |
| CN115596311A (zh) | 一种深海高压浑浊介质环境自动启闭和密封装置 | |
| JP2004203059A5 (enExample) | ||
| CN212455707U (zh) | 二向移动的阀件驱动装置 | |
| JP2007107643A (ja) | フロート式ドレントラップ | |
| CN103574090B (zh) | 一种新型阀门 | |
| JP2010031979A (ja) | 弁構造 | |
| CN109899538A (zh) | 一种新型龙头 | |
| JP4723167B2 (ja) | シール機構のための洗浄装置及び該洗浄装置の使用方法 | |
| JP6555701B2 (ja) | 水排出装置 | |
| CN221647593U (zh) | 一种快开容器充气密封结构 | |
| CN222046670U (zh) | 一种防漏插板阀装置 | |
| KR900003851Y1 (ko) | 욕탕용 샤워기 | |
| CN219866508U (zh) | 一种灌溉进排水一体阀 |