JP2022078590A - マニュアルアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】マニュアルアクチュエータのサイズの制約による影響を抑えつつ、プッシャを被検査装置に向けて付勢させる力を増強する。【解決手段】マニュアルアクチュエータ１０は、リッド２００と、リッド２００に取り付けられたコネクタ３００と、リッド２００と電子装置３０との間に設けられ、電子装置３０を押圧するプッシャ４００と、コネクタ３００とプッシャ４００との間に設けられ、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢する第１弾性部材５１０と、を備えている。【選択図】図２

Description

本発明は、マニュアルアクチュエータに関する。

集積回路（ＩＣ）等の被検査装置である電子装置を検査するため、マニュアルアクチュエータが用いられる場合がある。例えば特許文献１に記載されているように、マニュアルアクチュエータは、リッド部材と、リッド部材と半導体装置との間に設けられ、半導体装置を押圧する押圧体（プッシャ）と、を備えている。押圧体は、リッド部材と押圧体との間に設けられたコイルスプリング等の弾性部材によって半導体装置に向けて付勢されている。

特開２０１７－７６５８７号公報

例えば、特許文献１に記載されているマニュアルアクチュエータでは、押圧体を被検査装置に向けて付勢させる力を増強するために、押圧体とリッド部材との間に設けられるコイルスプリングの長さを長くしたり、当該コイルスプリングの数を増やしたりする場合がある。しかしながら、マニュアルアクチュエータの高さ、幅等のサイズの制約から、当該コイルスプリングの長さを長くしたり、当該コイルスプリングの数を増やしたりすることができない場合がある。

本発明の目的の一例は、マニュアルアクチュエータのサイズの制約による影響を抑えつつ、プッシャを被検査装置に向けて付勢させる力を増強することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。

本発明の一態様は、
リッドと、
前記リッドに取り付けられたコネクタと、
前記リッドと被検査装置との間に設けられ、前記被検査装置を押圧するプッシャと、
前記コネクタと前記プッシャとの間に設けられ、前記プッシャを前記被検査装置に向けて付勢する第１弾性部材と、
を備えるマニュアルアクチュエータである。

本発明の上記態様によれば、マニュアルアクチュエータのサイズの制約による影響を抑えつつ、プッシャを被検査装置に向けて付勢させる力を増強することができる。

実施形態に係るマニュアルアクチュエータの斜視図である。 実施形態に係るマニュアルアクチュエータの分解斜視図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

本明細書において、「第１」、「第２」、「第３」等の序数詞は、特に断りのない限り、同様の名称が付された構成を単に区別するために付されたものであり、構成の特定の特徴（例えば、順番又は重要度）を意味するものではない。

図１は、実施形態に係るマニュアルアクチュエータ１０の斜視図である。図２は、実施形態に係るマニュアルアクチュエータ１０の分解斜視図である。

図１及び図２において、第１方向Ｘは、鉛直方向に直交する水平方向に平行な方向である。具体的には、第１方向Ｘは、後述する２つのコネクタ３００が対向する方向である。第２方向Ｙは、水平方向に平行な方向であり、第１方向Ｘに直交している。第３方向Ｚは、鉛直方向に平行な方向である。第１方向Ｘ、第２方向Ｙ又は第３方向Ｚを示す矢印は、当該矢印の基端から先端に向かう方向が当該矢印によって示される方向の正方向であり、当該矢印の先端から基端に向かう方向が当該矢印によって示される方向の負方向であることを示している。第３方向Ｚの正方向は、鉛直方向の上方向となっており、第３方向Ｚの負方向は、鉛直方向の下方向となっている。

マニュアルアクチュエータ１０は、ベース１００、リッド２００、２つのコネクタ３００、プッシャ４００、２つの第１弾性部材５１０及び４つの第２弾性部材５２０を備えている。

本実施形態では、マニュアルアクチュエータ１０を用いて、ソケット２０の上面側に設けられた被検査装置であるＩＣ等の電子装置３０が検査される。電子装置３０は、ソケット２０の下面側に設けられる不図示のＰＣＢ（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ）等の検査基板に、ソケット２０を介して電気的に接続される。

ベース１００は、ソケット２０の上面側に設けられている。ベース１００は、ソケット２０の上面側に設けられた電子装置３０を囲む枠形状となっている。ベース１００のうち第１方向Ｘ側の両辺の各々には、後述するコネクタ３００の爪３２２が引っ掛かるラッチ１０２が設けられている。また、ベース１００は、ソケット２０の下方からソケット２０の一部分を貫通してベース１００に挿入されるネジ１１２によってソケット２０に固定されている。本実施形態では、ベース１００のうち第１方向Ｘの両側の各々にネジ１１２が設けられている。なお、ベース１００をソケット２０に固定する方法は、本実施形態に係る方法に限定されない。

リッド２００は、後述するプッシャ４００、２つの第１弾性部材５１０及び４つの第２弾性部材５２０を介して、電子装置３０及びベース１００の上方に配置されている。後述するように、リッド２００は、コネクタ３００によって、ベース１００に対して着脱自在になっている。

コネクタ３００は、リッド２００の第１方向Ｘの両側の各々に設けられている。各コネクタ３００は、リッド２００に回転可能に取り付けられている。各コネクタ３００は、第１延伸部３１０、第２延伸部３２０及び爪３２２を有している。また、詳細を後述するように、各コネクタ３００には、リッド２００に取り付けられた第１ポール２１２が貫通している。

以下、必要に応じて、リッド２００の第１方向Ｘの負方向側に設けられたコネクタ３００、第１延伸部３１０、第２延伸部３２０、爪３２２及び第１ポール２１２を、それぞれ、第１方向Ｘの負方向側のコネクタ３００、第１延伸部３１０、第２延伸部３２０、爪３２２及び第１ポール２１２という。また、必要に応じて、リッド２００の第１方向Ｘの正方向側に設けられたコネクタ３００、第１延伸部３１０、第２延伸部３２０、爪３２２及び第１ポール２１２を、それぞれ、第１方向Ｘの正方向側のコネクタ３００、第１延伸部３１０、第２延伸部３２０、爪３２２及び第１ポール２１２という。さらに、必要に応じて、ベース１００のうち第１方向Ｘの負方向側の辺に設けられたラッチ１０２を第１方向Ｘの負方向側のラッチ１０２という。また、必要に応じて、ベース１００のうち第１方向Ｘの正方向側の辺に設けられたラッチ１０２を第１方向Ｘの正方向側のラッチ１０２という。

第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０は、リッド２００の中心を第１方向Ｘに平行に通過する仮想線上に位置し、かつリッド２００の中心から第１方向Ｘの負方向側にずれて位置している。また、第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０は、第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０のうち第３方向Ｚの正方向側の端部と交差していて、第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０のうち第３方向Ｚの正方向側の端部からリッド２００の中心に向けて第１方向Ｘの正方向に延伸している。第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０は、第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの負方向側の端部と交差していて、第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの負方向側の端部から下方に向けて第３方向Ｚの負方向に延伸している。これによって、第２方向Ｙから見て、第１方向Ｘの負方向側のコネクタ３００は、略Ｌ字状になっている。第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０の先端、すなわち下端には、第１方向Ｘの負方向側のラッチ１０２に引っ掛かる爪３２２が設けられている。第１方向Ｘの負方向側のコネクタ３００は、リッド２００に取り付けられた第１方向Ｘの負方向側の第１ポール２１２がコネクタ３００のうち第１延伸部３１０と第２延伸部３２０との間の交差部を第２方向Ｙに沿って貫通した状態で、リッド２００に取り付けられている。これによって、コネクタ３００は、第１ポール２１２を回転軸として回転可能になっている。このため、第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの負方向側の第１ポール２１２に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する少なくとも一部分を下方に向けて押し込むことで、第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０の下端がリッド２００の第１方向Ｘの外側、すなわち、第１方向Ｘの負方向に向けて移動するようになる。

第１方向Ｘの正方向側のコネクタ３００は、リッド２００の中心を第２方向Ｙに平行に通過する仮想線に関して、第１方向Ｘの負方向側のコネクタ３００と対称に配置されている。第１方向Ｘの正方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの正方向側の第１ポール２１２に対して第１方向Ｘの負方向側に位置する少なくとも一部分を下方に向けて押し込むことで、第１方向Ｘの正方向側の第２延伸部３２０の下端がリッド２００の第１方向Ｘの外側、すなわち、第１方向Ｘの正方向に向けて移動するようになる。

リッド２００は、次のようにしてベース１００に取り付けられる。まず、第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの負方向側の第１ポール２１２に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する少なくとも一部分を下方に向けて押し込む。また、第１方向Ｘの正方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの正方向側の第１ポール２１２に対して第１方向Ｘの負方向側に位置する少なくとも一部分を下方に向けて押し込む。これによって、第１方向Ｘの負方向側のコネクタ３００が第１方向Ｘの負方向側の第１ポール２１２を回転軸として回転して、第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０の下端がリッド２００の第１方向Ｘの外側、すなわち、第１方向Ｘの負方向に向けて移動する。また、第１方向Ｘの正方向側のコネクタ３００が第１方向Ｘの正方向側の第１ポール２１２を回転軸として回転して、第１方向Ｘの正方向側の第２延伸部３２０の下端がリッド２００の第１方向Ｘの外側、すなわち、第１方向Ｘの正方向に向けて移動する。次いで、２つのコネクタ３００が第１方向Ｘにベース１００を挟むように、リッド２００をベース１００の上方に配置する。次いで、第１延伸部３１０を下方に向けて押し込む力を解除する。これによって、第１延伸部３１０が後述するように第１弾性部材５１０によって上方に向けて付勢されて、第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０の下端がベース１００、すなわち第１方向Ｘの正方向側に向けて移動し、第１方向Ｘの負方向側の爪３２２が第１方向Ｘの負方向側のラッチ１０２に引っ掛かる。また、第１方向Ｘの正方向側の第２延伸部３２０の下端がベース１００、すなわち第１方向Ｘの負方向側に向けて移動し、第１方向Ｘの正方向側の爪３２２が第１方向Ｘの正方向側のラッチ１０２に引っ掛かる。このようにして、図１に示すように、リッド２００がベース１００に取り付けられる。

図１に示すようにリッド２００がベース１００に取り付けられている場合、リッド２００は、次のようにしてベース１００から取り外される。まず、第１方向Ｘの負方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの負方向側の第１ポール２１２に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する少なくとも一部分を下方に向けて押し込む。また、第１方向Ｘの正方向側の第１延伸部３１０のうち第１方向Ｘの正方向側の第１ポール２１２に対して第１方向Ｘの負方向側に位置する少なくとも一部分を下方に向けて押し込む。これによって、第１方向Ｘの負方向側のコネクタ３００が第１方向Ｘの負方向側の第１ポール２１２を回転軸として回転して、第１方向Ｘの負方向側の第２延伸部３２０の下端がベース１００の第１方向Ｘの外側、すなわち、第１方向Ｘの負方向に向けて移動し、第１方向Ｘの負方向側の爪３２２が第１方向Ｘの負方向側のラッチ１０２から離れる。また、第１方向Ｘの正方向側のコネクタ３００が第１方向Ｘの正方向側の第１ポール２１２を回転軸として回転して、第１方向Ｘの正方向側の第２延伸部３２０の下端がベース１００の第１方向Ｘの外側、すなわち、第１方向Ｘの正方向に向けて移動し、第１方向Ｘの正方向側の爪３２２が第１方向Ｘの正方向側のラッチ１０２から離れる。次いで、リッド２００をベース１００の上方から別の場所へ移動させる。このようにして、リッド２００がベース１００から取り外される。

プッシャ４００は、リッド２００と電子装置３０との間、具体的には、リッド２００の下面と電子装置３０の上面との間に設けられている。図１に示すようにリッド２００がベース１００に取り付けられている場合、プッシャ４００は、後述する第１弾性部材５１０及び第２弾性部材５２０の付勢によって、電子装置３０を下方、すなわちソケット２０に向けて押圧する。具体的には、プッシャ４００は、リッド２００に取り付けられた第２ポール２１４がプッシャ４００の第１貫通孔４０２を第２方向Ｙに沿って貫通した状態で、リッド２００に取り付けられている。第１貫通孔４０２の第３方向Ｚの幅は、第２ポール２１４の第３方向Ｚの幅より広くなっている。このため、プッシャ４００は、第２ポール２１４が第１貫通孔４０２を貫通した状態で、リッド２００に対して第３方向Ｚに沿って移動可能になっている。本実施形態では、プッシャ４００の第１方向Ｘの中心を挟んで第１方向Ｘの両側の各々に第２ポール２１４が設けられている。なお、第２ポール２１４の数及び配置は、本実施形態に係る例に限定されない。

第１弾性部材５１０は、コネクタ３００とプッシャ４００との間、具体的には、第１延伸部３１０の下面とプッシャ４００の上面との間に設けられている。第１弾性部材５１０はバネとなっている。なお、第１弾性部材５１０は、ゴム等、バネ以外の弾性部材であってもよい。第１弾性部材５１０の下端は、プッシャ４００の上面に設けられた第１案内穴４１０に挿入されている。これによって、第１弾性部材５１０の位置合わせがなされている。なお、第１弾性部材５１０を位置合わせする方法は、本実施形態に係る方法に限定されない。例えば、プッシャ４００の上面に設けられた突起に第１弾性部材５１０の下端を貫通させることで、第１弾性部材５１０を位置合わせしてもよい。リッド２００がベース１００に取り付けられる際又はリッド２００がベース１００から取り外される際に第１延伸部３１０が下方に向けて押し込まれた場合、第１弾性部材５１０は、第１延伸部３１０を上方に向けて付勢する。また、図１に示すようにベース１００がリッド２００に取り付けられている場合、第１弾性部材５１０は、第３方向Ｚに圧縮されている。したがって、ベース１００がリッド２００に取り付けられている場合、第１弾性部材５１０は、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢する。

本実施形態では、プッシャ４００の第１方向Ｘの中心を挟んで第１方向Ｘの両側の各々に第１弾性部材５１０が設けられている。この場合、プッシャ４００の第１方向Ｘの中心を挟んで第１方向Ｘの両側の一方のみに第１弾性部材５１０が設けられている場合と比較して、プッシャ４００を第３方向Ｚにより均一に付勢することが可能になる。なお、第１弾性部材５１０は、プッシャ４００の第１方向Ｘの中心を挟んで第１方向Ｘの両側の一方のみに設けられていてもよい。また、プッシャ４００の第１方向Ｘの中心を挟んで第１方向Ｘの両側の一方には、複数の第１弾性部材５１０が設けられていてもよい。

また、本実施形態において、第１弾性部材５１０は、コネクタ３００とプッシャ４００との間でリッド２００の第２貫通孔２０２を第３方向Ｚに貫通して設けられている。この場合、既存のリッドに第２貫通孔２０２を形成することで本実施形態に係るマニュアルアクチュエータ１０を製造することができ、コストを比較的低くすることができる。なお、第１弾性部材５１０は、リッド２００を貫通して設けられていなくてもよい。

第２弾性部材５２０は、リッド２００とプッシャ４００との間、具体的には、リッド２００の下面とプッシャ４００の上面との間に設けられている。第２弾性部材５２０はバネとなっている。なお、第２弾性部材５２０は、ゴム等、バネ以外の弾性部材であってもよい。第２弾性部材５２０の下端は、プッシャ４００の上面に設けられた第２案内穴４２０に挿入されている。これによって、第２弾性部材５２０の位置合わせがなされている。なお、第２弾性部材５２０を位置合わせする方法は、本実施形態に係る方法に限定されない。例えば、プッシャ４００の上面に設けられた突起に第２弾性部材５２０の下端を貫通させることで、第１弾性部材５１０を位置合わせしてもよい。図１に示すようにベース１００がリッド２００に取り付けられている場合、第２弾性部材５２０は、第３方向Ｚに圧縮されている。したがって、ベース１００がリッド２００に取り付けられている場合、第２弾性部材５２０は、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢する。

本実施形態では、プッシャ４００の第１方向Ｘの中心を挟んで第１方向Ｘの両側の各々において、第１弾性部材５１０の第２方向Ｙの両側の各々に第２弾性部材５２０が設けられている。また、２つの第１弾性部材５１０及び４つの第２弾性部材５２０は、プッシャ４００の中心を第２方向Ｙに平行に通過する仮想線に関して対称に配置されている。この場合、第１弾性部材５１０及び第２弾性部材５２０が当該仮想線に関して非対称に配置されている場合と比較して、プッシャ４００を第３方向Ｚにより均一に付勢することが可能になる。なお、第１弾性部材５１０及び第２弾性部材５２０の数及び配置は、本実施形態に係る例に限定されない。

本実施形態では、リッド２００をベース１００に取り付ける際又はリッド２００をベース１００から取り外す際に下方に向けて押し込まれた第１延伸部３１０を上方に向けて付勢させる部材として機能する第１弾性部材５１０を、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢させる部材としても機能させている。このため、リッド２００とプッシャ４００との間に設けられる第２弾性部材５２０の第３方向Ｚの長さを長くしたり、第２弾性部材５２０の数を増やしたりすることなく、第１弾性部材５１０を設けない場合と比較して、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢させる力を増強することができる。第２弾性部材５２０の第３方向Ｚの長さを長くしたり、第２弾性部材５２０の数を増やしたりするといったことは、マニュアルアクチュエータ１０の第３方向Ｚの高さ、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ等の水平方向の幅等のサイズの制約の観点からできない場合がある。これに対して、本実施形態によれば、マニュアルアクチュエータ１０のサイズの制約による影響を抑えつつ、第１弾性部材５１０を設けない場合と比較して、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢させる力を増強することができる。

また、第１弾性部材５１０が設けられる第１延伸部３１０の下面とプッシャ４００の上面との間の第３方向Ｚの距離は、第２弾性部材５２０が設けられるリッド２００の下面とプッシャ４００の上面との間の第３方向Ｚの距離より長くなっている。したがって、第１弾性部材５１０の第３方向Ｚの長さは、第２弾性部材５２０の第３方向Ｚの長さより長くすることができる。このため、第１弾性部材５１０の第３方向Ｚのストローク長さは第２弾性部材５２０の第３方向Ｚのストローク長より長くすることができる。この場合、第１弾性部材５１０の第３方向Ｚの長さが第２弾性部材５２０の第３方向Ｚの長さ以下である場合と比較して、第１弾性部材５１０の設計に余裕を持たせることができる。

また、本実施形態では、第１弾性部材５１０だけでなく、第２弾性部材５２０も、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢している。この場合、第２弾性部材５２０を設けない場合と比較して、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢させる力を増強することができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

例えば、本実施形態では、マニュアルアクチュエータ１０は、リッド２００とプッシャ４００との間に設けられた第２弾性部材５２０を備えている。しかしながら、マニュアルアクチュエータ１０は、第２弾性部材５２０を備えていなくてもよい。この場合、第１弾性部材５１０のみによって、プッシャ４００を電子装置３０に向けて付勢することができる。

また、本実施形態では、ラッチ１０２がベース１００に設けられている。しかしながら、ラッチ１０２は、ソケット２０に設けられていてもよい。この場合、マニュアルアクチュエータ１０は、ベース１００を備えていなくてもよく、コネクタ３００がソケット２０のラッチ１０２に直接引っ掛かる。

また、本実施形態では、リッド２００の第１方向Ｘの両側にコネクタ３００が設けられている。しかしながら、コネクタ３００は、リッド２００の第１方向Ｘの両側のうちの一方のみに設けられていてもよい。この場合、例えば、リッド２００の第１方向Ｘの両側のうちもう一方には、ベース１００に接続されたヒンジが設けられていてもよい。この例において、リッド２００は、ヒンジによってベース１００に対して開閉可能になる。

また、本実施形態では、第１弾性部材５１０は、コネクタ３００及びプッシャ４００に溶接等で接合されておらず、マニュアルアクチュエータ１０の分解時においてコネクタ３００及びプッシャ４００から取り外し可能になっている。しかしながら、第１弾性部材５１０は、コネクタ３００及びプッシャ４００の少なくとも一方に溶接等で接合されていてもよい。

また、本実施形態では、第２弾性部材５２０は、リッド２００及びプッシャ４００に溶接等で接合されておらず、マニュアルアクチュエータ１０の分解時においてリッド２００及びプッシャ４００から取り外し可能になっている。しかしながら、第２弾性部材５２０は、リッド２００及びプッシャ４００の少なくとも一方に溶接等で接合されていてもよい。また、第２弾性部材５２０がリッド２００及びプッシャ４００に接合されている場合、第１貫通孔４０２及び第２ポール２１４を用いることなく、第２弾性部材５２０によってプッシャ４００をリッド２００に移動可能に取り付けることができる。

本明細書によれば、以下の態様が提供される。
（態様１）
態様１は、
リッドと、
前記リッドに取り付けられたコネクタと、
前記リッドと被検査装置との間に設けられ、前記被検査装置を押圧するプッシャと、
前記コネクタと前記プッシャとの間に設けられ、前記プッシャを前記被検査装置に向けて付勢する第１弾性部材と、
を備えるマニュアルアクチュエータである。
態様１によれば、リッドの取り付け又は取り外しの際に、プッシャが位置する側に向けて押し込まれたコネクタをプッシャが位置する側の反対側に向けて付勢させる部材として機能する第１弾性部材を、プッシャを被検査装置に向けて付勢させる部材としても機能させている。このため、リッドとプッシャとの間に設けられる弾性部材の長さを長くしたり、当該弾性部材の数を増やしたりすることなく、第１弾性部材を設けない場合と比較して、プッシャを電子装置に向けて付勢させる力を増強することができる。したがって、マニュアルアクチュエータのサイズの制約による影響を抑えつつ、第１弾性部材を設けない場合と比較して、プッシャを電子装置に向けて付勢させる力を増強することができる。
（態様２）
態様２は、
前記第１弾性部材は、前記コネクタと前記プッシャとの間で前記リッドを貫通して設けられている、態様１に記載のマニュアルアクチュエータである。
態様２によれば、既存のリッドに、第１弾性部材を通すための貫通孔を形成することでマニュアルアクチュエータを製造することができ、コストを比較的低くすることができる。
（態様３）
態様３は、
前記リッドと前記プッシャとの間に設けられ、前記プッシャを前記被検査装置に向けて付勢する第２弾性部材をさらに備える、態様１又は２に記載のマニュアルアクチュエータである。
態様３によれば、第２弾性部材を設けない場合と比較して、プッシャを電子装置に向けて付勢させる力を増強することができる。

１０ マニュアルアクチュエータ
２０ ソケット
３０ 電子装置
１００ ベース
１０２ ラッチ
１１２ ネジ
２００ リッド
２０２ 第２貫通孔
２１２ 第１ポール
２１４ 第２ポール
３００ コネクタ
３１０ 第１延伸部
３２０ 第２延伸部
３２２ 爪
４００ プッシャ
４０２ 第１貫通孔
４１０ 第１案内穴
４２０ 第２案内穴
５１０ 第１弾性部材
５２０ 第２弾性部材
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｚ 第３方向

Claims (3)

1. リッドと、
   前記リッドに取り付けられたコネクタと、
   前記リッドと被検査装置との間に設けられ、前記被検査装置を押圧するプッシャと、
   前記コネクタと前記プッシャとの間に設けられ、前記プッシャを前記被検査装置に向けて付勢する第１弾性部材と、
   を備えるマニュアルアクチュエータ。
2. 前記第１弾性部材は、前記コネクタと前記プッシャとの間で前記リッドを貫通して設けられている、請求項１に記載のマニュアルアクチュエータ。
3. 前記リッドと前記プッシャとの間に設けられ、前記プッシャを前記被検査装置に向けて付勢する第２弾性部材をさらに備える、請求項１又は２に記載のマニュアルアクチュエータ。

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