JP2022070089A - 加熱装置および加熱システム - Google Patents

Abstract

【課題】電気的信頼性に優れた加熱装置および加熱システムを提供する。【解決手段】加熱装置２は、基体１０と、電極と、電極側給電線４１と、電源側給電線４２とを有する。基体は、セラミックスからなる。電極は、基体の内部に位置する。電極側給電線は、第１端部が電極と接続され、第２端部が基体から引き出される。電源側給電線は、第１端部が電極側給電線と接合材４３を介して接続され、第２端部が電力供給部に接続される。また、電極側給電線の第２端部は、電極側給電線の軸方向と交差する方向に突出する突出部４１１を有する。【選択図】図２

Description

本開示は、加熱装置および加熱システムに関する。

セラミックスは、金属および樹脂等と比較して耐熱性に優れる。このため、セラミックスは、各種素子および部品等の被処理体を加熱する加熱装置に用いられる場合がある。

特許文献１には、セラミックス基体の内部から引き出された端子側電極線と、電源に接続される電源側電極線とをロウ材により接続する技術が開示されている。

特許第３８７０８２４号公報

この種の加熱装置においては、電気的信頼性の向上が求められる場合がある。

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、電気的信頼性に優れた加熱装置および加熱システムを提供することを目的とする。

本開示の一態様による加熱装置は、基体と、電極と、電極側給電線と、電源側給電線とを有する。基体は、セラミックスからなる。電極は、基体の内部に位置する。電極側給電線は、第１端部が電極と接続され、第２端部が基体から引き出される。電源側給電線は、第１端部が電極側給電線と接合材を介して接続され、第２端部が電力供給部に接続される。また、電極側給電線の第２端部は、電極側給電線の軸方向と交差する方向に突出する突出部を有する。

本開示によれば、電気的信頼性に優れた加熱装置および加熱システムを提供することができる。

図１は、実施形態に係る加熱システムの模式的な斜視図である。 図２は、実施形態に係る加熱装置の模式的な断面図である。 図３は、実施形態に係る電極側給電線の模式的な斜視図である。 図４は、第１変形例に係る電極側給電線の下端部周辺における模式的な側面図である。 図５は、第２変形例に係る電極側給電線の下端部周辺における模式的な斜視図である。 図６は、第３変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。 図７は、第４変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。 図８は、第５変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。 図９は、第６変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。 図１０は、切断前における複数の電極側給電線の模式的な底面図である。 図１１は、複数の電極側給電線と電極層との接合工程を説明するための模式的な断面図である。 図１２は、複数の電極側給電線の切断工程を説明するための模式的な断面図である。

以下に、本開示による加熱装置および加熱システムを実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示による加熱装置および加熱システムが限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。

また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、たとえば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。

また、以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、鉛直上向き方向をＺ軸方向として規定する。

まず、実施形態に係る加熱システムの構成について図１および図２を参照して説明する。図１は、実施形態に係る加熱システム１の模式的な斜視図である。また、図２は、実施形態に係る加熱装置２の模式的な断面図である。なお、図２には、図１に示すＩＩ－ＩＩ矢視における模式的な断面図を示している。

図１に示す実施形態に係る加熱システム１は、半導体ウエハ、水晶ウエハその他のウエハ（以下、単に「ウエハ」と記載する）を加熱する。たとえば、加熱システム１は、ウエハに対してプラズマ処理等を行う基板処理装置に搭載される。

図１に示すように、加熱システム１は、加熱装置２と、電力供給部５と、制御部６とを有する。

加熱装置２は、基体１０と、シャフト２０と、電極層３０と、複数（ここでは、２つ）の給電線４０とを有する。

基体１０は、上下に厚みがある円板形状を有する。基体１０の上面１０１と下面１０２とは、略同形状である。また、基体１０の上面１０１と下面１０２とは、略平行である。基体１０の上面１０１には、ウエハが載置される。

基体１０は、セラミックスからなる。一例として、基体１０を構成するセラミックスは、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３、アルミナ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、及び窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）等を主成分とする。ここでいう主成分とは、たとえば、その材料の５０質量％以上又は８０質量％以上を占める材料のことである。

なお、基体１０の形状は任意である。たとえば、実施形態において、基体１０の形状は、平面視円形状であるが、これに限らず、平面視において楕円形状、矩形状、台形状などであってもよい。

シャフト２０は、両端が開放された筒形状を有する。シャフト２０は、基体１０の下面１０２に接続される。１つの態様として、シャフト２０は、接着材によって基体１０の下面１０２に接合（接着）される。その他の態様として、シャフト２０は、固相接合によって基体１０に接合されてもよい。シャフト２０の形状は任意である。１つの態様として、シャフト２０の形状は、円筒形状を呈している。その他の態様として、シャフト２０の形状は、たとえば、角筒などの形状を呈していてもよい。

シャフト２０の材料は、任意である。１つの態様として、シャフト２０の材料は絶縁性のセラミックスである。その他の態様として、シャフト２０の材料は、たとえば、導電性の材料（金属）であってもよい。

電極層３０は、基体１０の内部に位置する。電極層３０は、たとえば、Ｎｉ、Ｗ、ＭｏおよびＰｔ等の金属、または、上記金属の少なくとも１つを含む合金からなる。

電極層３０は、上面１０１に沿って延在している。具体的には、電極層３０は、たとえば渦巻き状やミアンダ状などの所定のパターンを描きながら上面１０１の略全面に張り巡らされている。

なお、実施形態に係る加熱装置２は、基体１０の上面１０１における１つの領域（例えば全面）を加熱するシングルゾーンヒータであり、上面１０１の略全面に張り巡らされた１つの電極層３０を有する。これに限らず、加熱装置２は、基体１０の上面１０１における複数の領域を個別に制御可能なマルチゾーンヒータであってもよい。この場合の加熱装置２は、基体１０の上面１０１のそれぞれ異なる領域に張り巡らされた複数の電極層３０を有していればよい。加熱装置２がマルチゾーンヒータである場合、後述する給電線４０の本数は、個別制御される領域の数に応じて増加する。

給電線４０は、基体１０の内部に位置する電極層３０を基体１０の外部に位置する電力供給部５と電気的に接続する。給電線４０の具体的な構成については後述する。

電力供給部５は、給電線４０を介して電極層３０と電気的に接続され、給電線４０を介して電極層３０に電力を供給する。たとえば、電力供給部５は、図示しない電源から給電された電力を適切な電圧に変換する電源回路を含む。制御部６は、電力供給部５における電力の供給を制御する。

加熱システム１は、上記のように構成されており、電力供給部５から供給される電力を用いて基体１０内部の電極層３０を発熱させることにより、上面１０１に載置されたウエハを加熱する。

次に、給電線４０の具体的な構成について図２および図３を参照して説明する。図３は、実施形態に係る電極側給電線の模式的な斜視図である。

図２に示すように、給電線４０は、シャフト２０の内部に位置する。給電線４０は、電極側給電線４１と、電源側給電線４２と、接合材４３とを有する。電極側給電線４１および電源側給電線４２は、たとえば金属などの導体からなる。また、接合材４３は、たとえばＡｕ（金）ロウ材である。

電極側給電線４１は、上下方向に延在する。電極側給電線４１の上端部（電極側給電線４１の第１端部に相当）は、電極層３０に接続される。なお、電極側給電線４１の上端部は、たとえば金属などの導体からなる給電端子を介して電極層３０に接続されてもよい。電極側給電線４１の下端部（電極側給電線４１の第２端部に相当）は、基体１０から引き出された状態となっている。

電源側給電線４２は、上下方向に延在する。電源側給電線４２の上端部（電源側給電線４２の第１端部に相当）は、接合材４３を介して電極側給電線４１の下端部と接続され、下端部（電源側給電線４２の第２端部に相当）は、電力供給部５に接続される。

電源側給電線４２の上端部には、接続部４２１が位置している。接続部４２１は、電源側給電線４２よりも大径である。接続部４２１の上面には、上方に向かって開口する凹部４２１ａが位置している。凹部４２１ａは、電極側給電線４１の下端部を収容する。

電極側給電線４１および電源側給電線４２は、たとえば、Ｎｉ（ニッケル）、Ｗ（タングステン）およびＭｏ（モリブデン）等の金属、または、上記金属の少なくとも１つを含む合金からなる。たとえば、電極側給電線４１としては、鉄－ニッケル－コバルト合金（コバール）が用いられ得る。また、電源側給電線４２としては、たとえば、ニッケルが用いられ得る。

接合材４３は、接続部４２１における凹部４２１ａに充填される。上述したように、凹部４２１ａには、電極側給電線４１の下端部が位置している。接合材４３は、電極側給電線４１の下端部および電源側給電線４２の上端部の両方に接触する。これにより、接合材４３は、電極側給電線４１と電源側給電線４２とを電気的に接続する。

実施形態に係る電極側給電線４１の下端部は、電極側給電線４１の径方向に突出する突出部４１１を有する。図３は、電極側給電線４１の下端部周辺における模式的な斜視図である。

図３に示すように、突出部４１１は、電極側給電線４１の軸方向、具体的には、電極側給電線４１における直線部４１０の軸線Ａｘの延在方向（ここでは、Ｚ軸方向）と直交する方向（ここでは、水平方向）に突出する。突出部４１１は、水平方向の全方向に、言い換えれば、軸線Ａｘを中心とする同心円状に広がる。かかる突出部４１１は、直線部４１０よりも大径である。

また、突出部４１１は、平板状である。具体的には、突出部４１１は、平坦な上面４１１ａと平坦な下面４１１ｂとを有する。電極側給電線４１の上面４１１ａおよび下面４１１ｂは、互いに平行であり、水平方向に広がっている。

電極側給電線４１の直線部４１０の下端部は、突出部４１１の上面４１１ａ中央部に位置している。直線部４１０の下端部には、突出部４１１との接続部４１２が位置している。

接続部４１２は、直線部４１０よりも大径である。たとえば、実施形態に係る直線部４１０の接続部４１２は、突出部４１１の上面４１１ａに向かうに従って漸次拡径する円錐台形状を有する。

このように、実施形態に係る加熱装置２は、電極側給電線４１の下端部に突出部４１１を有する。これにより、実施形態に係る加熱装置２は、下端部に突出部４１１を有しない電極側給電線を用いた加熱装置と比較して、電極側給電線４１と接合材４３との接触面積を大きくすることができる。また、電源側給電線４２に下向きの力がかかった場合に、突出部４１１が接合材４３に引っ掛かることで、電源側給電線４２が電極側給電線４１から抜けることを抑制することができる。

このように、実施形態に係る加熱装置２は、電極側給電線４１の下端部に突出部４１１を有することで、接合材４３を介した電極側給電線４１と電源側給電線４２との接続状態をより強固に維持することができる。したがって、実施形態に係る加熱装置２は、電気的信頼性に優れる。

また、実施形態に係る突出部４１１は、平板状である。このため、実施形態に係る加熱装置２によれば、たとえば突出部４１１が球状等である場合と比較して、電源側給電線４２が電極側給電線４１から抜けることを好適に抑制することができる。

また、実施形態に係る電極側給電線４１は、直線部４１０と突出部４１１との接続部４１２を有する。接続部４１２は、直線部４１０よりも大径である。このように、直線部４１０よりも大径の接続部４１２を有することにより、直線部４１０と突出部４１１との接続部分において電極側給電線４１が折れたり切断したりすることを抑制することができる。したがって、実施形態に係る加熱装置２によれば、電気的信頼性をさらに向上させることができる。

なお、実施形態では、接続部４１２が略円錐台形を有するものとした。この場合の接続部４１２の周面は、Ｃ面状である。これに限らず、接続部４１２の周面は、たとえばＲ面状であってもよい。すなわち、接続部４１２を側面視した場合に、接続部４１２の周面は、曲線状であってもよい。

（第１変形例）
図４は、第１変形例に係る電極側給電線の下端部周辺における模式的な側面図である。図４に示すように、第１変形例に係る電極側給電線４１Ａは、接続部４１２Ａを有する。接続部４１２Ａの上端部の径は、直線部４１０と同径であり、接続部４１２Ａの下端部の径は、突出部４１１と同径である。

このように、接続部４１２Ａは、突出部４１１の周面４１１ｃに向かって漸次拡径する形状を有していてもよい。かかる形状とすることにより、直線部４１０と突出部４１１との接続部分において電極側給電線４１Ａが折れたり切断したりすることをさらに抑制することができることから、加熱装置２の電気的信頼性をさらに向上させることができる。

（第２変形例）
図５は、第２変形例に係る電極側給電線の下端部周辺における模式的な斜視図である。図５に示すように、第２変形例に係る電極側給電線４１Ｂは、突出部４１１Ｂを有する。

突出部４１１Ｂは、突出部４１１Ｂの周面４１１ｃから直線部４１０の軸線Ａｘと交差する方向に突出する複数（ここでは、２つ）の突起４１３を有する、突起４１３は、突出部４１１Ｂの下面４１１ｂと同一の方向（ここでは、水平方向）に直線状に延在する。

このように、電極側給電線４１Ｂは、突出部４１１Ｂの周面４１１ｃに突起４１３を有していてもよい。かかる構成とすることにより、電極側給電線４１Ｂと接合材４３との接触面積をさらに大きくすることができることから、加熱装置２の電気的信頼性をさらに向上させることができる。

なお、図示の例について、突出部４１１Ｂは、２つの突起４１３を有するが、突出部４１１Ｂは、少なくとも１つの突起４１３を有していればよい。

（第３変形例）
図６は、第３変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。

図６に示すように、第３変形例に係る電極側給電線４１Ｃは、突出部４１１Ｃを有する。突出部４１１Ｃは、直線部４１０の軸線Ａｘの延在方向（ここでは、Ｚ軸方向）に対して傾斜している。

このように、突出部４１１Ｃの突出方向は、必ずしも電極側給電線４１Ｃの軸方向に対して直交していることを要さない。第３変形例に係る突出部４１１Ｃのように、電極側給電線４１Ｃの軸方向に対して斜めに傾斜していることで、電源側給電線４２が電極側給電線４１Ｃから抜けることをさらに抑制することができる。

また、加熱装置２Ｃが有する２つの電極側給電線４１Ｃの各突出部４１１Ｃは、傾斜の態様が互いに異なっていてもよい。たとえば、図６には、２つの突出部４１１Ｃの傾斜方向が異なる場合の例を示している。これに限らず、たとえば、２つの突出部４１１Ｃは、傾斜角度が互いに異なっていてもよい。また、２つの突出部４１１Ｃは、傾斜角度および傾斜方向の両方が異なっていてもよい。

このように、２つの突出部４１１Ｃの傾斜態様を異ならせることで、電源側給電線４２が電極側給電線４１Ｃから抜けることをさらに抑制することができる。

なお、加熱装置２Ｃが３つ以上の電極側給電線４１Ｃを備える場合、３つ以上の突出部４１１Ｃのうち少なくとも２つの傾斜態様が異なっていればよい。

（第４変形例）
図７は、第４変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。

図７に示すように、第４変形例に係る加熱装置２Ｄは、２つの電極側給電線４１Ｄを有する。第４変形例において、２つの電極側給電線４１Ｄが有する２つの突出部４１１は、基体１０（図２参照）からの距離が互いに異なる。言い換えれば、２つの電極側給電線４１Ｄは、直線部４１０の引き出し長さが互いに異なる。図７に示す例において、紙面左側に位置する突出部４１１は、紙面右側に位置する突出部４１１よりも基体１０から遠い場所に位置している。

このように、基体１０から各突出部４１１までの距離を異ならせることで、たとえば複数の電源側給電線４２に引っ張り力が加わった場合に、各突出部４１１に加わる力を異ならせることができる。これにより、複数の電源側給電線４２がまとめて抜けてしまうことを抑制することができることから、加熱装置２Ｄの電気的信頼性をさらに高めることができる。

なお、加熱装置２Ｄが３つ以上の電極側給電線４１Ｄを備える場合、３つ以上の突出部４１１のうち少なくとも２つの基体１０からの距離が異なっていればよい。また、図７に示す例では、２つの電源側給電線４２が有する２つの接続部４２１の基体１０からの距離が同一であるが、これに限らず、２つの接続部４１２は、基体１０からの距離が互いに異なっていてもよい。

（第５変形例）
図８は、第５変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。

図８に示すように、第５変形例に係る電極側給電線４１Ｅは、直線部４１０の下端部が、突出部４１１の中央部からずれた場所に位置している。また、２つの電極側給電線４１Ｅは、直線部４１０と突出部４１１とのずれの方向が互いに異なっている。

このように、直線部４１０の軸線Ａｘと突出部４１１の中央部とのずれの方向を複数の突出部４１１間で異ならせることで、たとえば複数の電源側給電線４２に対して斜め方向に引っ張り力が加わった場合に、各突出部４１１に加わる力を異ならせることができる。これにより、複数の電源側給電線４２がまとめて抜けてしまうことを抑制することができることから、加熱装置２Ｅの電気的信頼性をさらに高めることができる。

なお、加熱装置２Ｅが３つ以上の電極側給電線４１Ｅを備える場合、３つ以上の突出部４１１のうち少なくとも２つの直線部４１０からのずれが異なっていればよい。また、図８に示す例では、直線部４１０の軸線Ａｘの位置が電源側給電線４２の軸線の位置とずれているが、これに限らず、直線部４１０の軸線Ａｘの位置は、電源側給電線４２の軸線の位置と一致していてもよい。

（第６変形例）
図９は、第６変形例に係る電極側給電線と電源側給電線との接続部分周辺における模式的な断面図である。

図９に示すように、第６変形例に係る加熱装置２Ｆは、隣り合う２つの接続部４２１の間に絶縁性の隔壁５０を有する。隔壁５０は、たとえばセラミックスからなる。

隔壁５０の上端は、基体１０の下面１０２（図２参照）に接続され、隔壁５０の下端は、接続部４２１よりも下方に位置する。隔壁５０は、隣り合う２つの接続部４２１の間だけでなく、各接続部４２１の周囲全体に位置している。具体的には、隔壁５０は、上下に延在する円筒状の収容空間５１を形成しており、かかる収容空間５１に接続部４２１が位置している。

このように、加熱装置２Ｆは、隣り合う２つの接続部４２１の間に絶縁性の隔壁５０を有していてもよい。これにより、給電線４０同士が導通してしまうことを抑制することができる。したがって、加熱装置２Ｆによれば、電気的信頼性をさらに高めることができる。

＜加熱装置の製造方法＞
次に、実施形態に係る加熱装置の製造方法の一例について説明する。ここでは、一例として、合計８つの給電線４０を備えるマルチゾーンヒータとしての加熱装置の製造方法について説明する。図１０は、切断前における複数の電極側給電線４１の模式的な底面図である。図１１は、複数の電極側給電線４１と電極層３０との接合工程を説明するための模式的な断面図である。図１２は、複数の電極側給電線４１の切断工程を説明するための模式的な断面図である。

まず、基体１０を構成する複数のセラミックグリーンシート（以下、「第１シート」と記載する）と、電極層３０を構成するＷ金属粉末を主成分とする複数の金属シート（以下、「第２シート」と記載する）とを用意する。つづいて、第１，第２シートを適宜積層して成形体を作製した後、成形体を例えば１７００℃以上１８５０℃以下の温度で焼成する。その後、焼成後の成形体に対し、電極側給電線４１を挿入するための穴をたとえばドリル加工等によって形成する。ここでは、８つの電極側給電線４１を挿入するための８つの穴を積層体に形成する。これにより、内部に電極層３０を有する基体１０が得られる。

その後、公知の技術で作製したセラミックス製のシャフト２０を基体１０の下面１０２に接合した後、基体１０の下面１０２に形成された８つの穴に８つの電極側給電線４１を挿入する。

ここで、図１０に示すように、８つの電極側給電線４１は、たとえば７角形の各頂点および中心に位置するように配置される。７角形の頂点に位置する電極側給電線４１は、隣り合う３つの電極側給電線４１と連結部４１５を介して連結されている。また、７角形の中心に位置する電極側給電線４１は、隣り合う７つの電極側給電線４１と連結部４１５を介して連結されている。連結部４１５は、電極側給電線４１における突出部４１１の周面から直線状に突出しており、隣り合う２つの電極側給電線４１の突出部４１１同士を連結する。

このように、製造過程において、８つの電極側給電線４１は、連結部４１５を介して互いに連結された状態となっている。かかる一塊の電極側給電線４１Ｇは、たとえば、射出成形により形成することができる。また、一塊の電極側給電線４１Ｇは、連結部４１５によって互いに連結された一塊の突出部４１１と、８つの直線部４１０とを溶接により接合することによって形成されてもよい。

つづいて、図１１に示すように、基体１０がシャフト２０の下方に位置するように基体１０およびシャフト２０を上下反転させた状態で、基体１０の下面１０２に形成された８つの穴に、一塊の電極側給電線４１Ｇの各直線部４１０を挿入する。各直線部４１０の先端部（上端部）には、電極側給電線４１と電極層３０とを接続するための接合材が塗布されている。かかる接合材としては、たとえば活性金属ロウ材等が用いられ得る。

つづいて、一塊の突出部４１１の上に重り７０を載置し、この状態で熱処理を行う。これにより、電極側給電線４１と電極層３０とが接合される。その後、シャフト２０から重り７０を取り出す。

上述したように、突出部４１１の下面４１１ｂ（図３参照）は、直線部４１０よりも大径であり、かつ、平坦面である。また、８つの突出部４１１は、連結部４１５によって互いに連結されている。これにより、一塊の突出部４１１は、１つの大きな平坦面を形成している。したがって、重り７０を安定して載置しておくことができる。また、各電極側給電線４１は、連結部４１５によって互いに連結されているため、個々の電極側給電線４１の高さに微妙な差があったとしても、重り７０に接触していない電極側給電線４１にも重り７０の重さを伝えることができる。これにより、電極側給電線４１と電極層３０との接合不良を抑制することができる。

つづいて、図１２に示すように、８つの電極側給電線４１を連結している連結部４１５を、たとえば図１２に示す破線の位置で切断して、８つの電極側給電線４１を分離させる。このとき、各突出部４１１の周面には、連結部４１５の一部が残った状態となる。この連結部４１５の残りは、たとえば、図５に示す突起４１３として利用され得る。

つづいて、凹部４２１ａに接合材４３を充填した電源側給電線４２をシャフト２０に挿入して、電源側給電線４２の各凹部４２１ａに電極側給電線４１の突出部４１１を差し込む。この作業を８つの電源側給電線４２に対して行う。その後、熱処理を行うことにより、電極側給電線４１と電極層３０とが接合される。以上により、実施形態に係る加熱装置２が得られる。

上述してきたように、実施形態に係る加熱装置（一例として、加熱装置２，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ，２Ｆ）は、基体（一例として、基体１０）と、電極（一例として、電極層３０）と、電極側給電線（一例として、電極側給電線４１，４１Ａ～４１Ｅ）と、電源側給電線（一例として、電源側給電線４２）とを有する。基体は、セラミックスからなる。電極は、基体の内部に位置する。電極側給電線は、第１端部（一例として、上端部）が電極と接続され、第２端部（一例として、下端部）が基体から引き出される。電源側給電線は、第１端部（一例として、上端部）が電極側給電線と接合材（一例として、接合材４３）を介して接続され、第２端部（一例として、下端部）が電力供給部（一例として、電力供給部５）に接続される。また、電極側給電線の第２端部は、電極側給電線の軸方向と交差する方向に突出する突出部（一例として、突出部４１１，４１１Ｂ，４１１Ｃ）を有する。

実施形態に係る加熱装置は、電極側給電線の下端部に突出部を有することで、接合材を介した電極側給電線と電源側給電線との接続状態をより強固に維持することができる。したがって、実施形態に係る加熱装置によれば、電気的信頼性に優れる。

突出部は、平板状であってもよい。かかる構成によれば、電源側給電線が電極側給電線から抜けることを好適に抑制することができる。

電極側給電線は、軸方向に延在する直線部（一例として、直線部４１０）と、直線部と突出部とを接続する接続部（一例として、接続部４１２，４１２Ａ）とを有していてもよい。この場合、接続部は、直線部よりも大径であってもよい。これにより、直線部と突出部との接続部分において電極側給電線が折れたり切断したりすることを抑制することができる。したがって、電気的信頼性をさらに向上させることができる。

突出部は、突出部の周面（一例として、周面４１１ｃ）から軸方向と交差する方向に突出する少なくとも１つの突起（一例として、突起４１３）を有していてもよい。かかる構成によれば、電極側給電線と接合材との接触面積をさらに大きくすることができることから、加熱装置の電気的信頼性をさらに向上させることができる。

突出部（一例として、突出部４１１Ｃ）は、電極側給電線（一例として、電極側給電線４１Ｃ）の軸方向に対して傾斜していてもよい。かかる構成によれば、電源側給電線が電極側給電線から抜けることをさらに抑制することができる。

実施形態に係る加熱装置（一例として、加熱装置２Ｃ）は、複数の電極側給電線（一例として、電極側給電線４１Ｃ）を有していてもよい。この場合、複数の電極側給電線が有する複数の突出部（一例として、突出部４１１Ｃ）のうち少なくとも２つは、傾斜の態様が互いに異なっていてもよい。かかる構成によれば、電源側給電線が電極側給電線から抜けることをさらに抑制することができる。

実施形態に係る加熱装置（一例として、加熱装置２Ｄ）は、複数の電極側給電線（一例として、電極側給電線４１Ｄ）を有していてもよい。この場合、複数の電極側給電線が有する複数の突出部のうち少なくとも２つは、基体からの距離が互いに異なっていてもよい。かかる構成によれば、複数の電源側給電線がまとめて抜けてしまうことを抑制することができることから、加熱装置の電気的信頼性をさらに高めることができる。

実施形態に係る加熱装置（一例として、加熱装置２Ｆ）は、複数の電極側給電線および複数の電源側給電線を有していてもよい。また、実施形態に係る加熱装置は、電極側給電線と電源側給電線との接続部（一例として、接続部４２１）である第１接続部と、第１接続部に隣り合う接続部である第２接続部との間に絶縁性の隔壁（一例として、隔壁５０）をさらに有していてもよい。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ ：加熱システム
２ ：加熱装置
５ ：電力供給部
６ ：制御部
１０ ：基体
２０ ：シャフト
３０ ：電極層
４０ ：給電線
４１ ：電極側給電線
４２ ：電源側給電線
４３ ：接合材
５０ ：隔壁
５１ ：収容空間
７０ ：重り
４１０ ：直線部
４１１ ：突出部
４１２ ：接続部
４１３ ：突起
４１５ ：連結部
４２１ ：接続部
４２１ａ ：凹部

Claims (9)

1. 基体と、電極と、電極側給電線と、電源側給電線とを有し、
   前記基体は、セラミックスからなり、
   前記電極は、前記基体の内部に位置し、
   前記電極側給電線は、第１端部が前記電極と接続され、第２端部が前記基体から引き出され、
   前記電源側給電線は、第１端部が前記電極側給電線と接合材を介して接続され、第２端部が電力供給部に接続され、
   前記電極側給電線の前記第２端部は、前記電極側給電線の軸方向と交差する方向に突出する突出部を有する、加熱装置。
2. 前記突出部は、平板状である、請求項１に記載の加熱装置。
3. 前記電極側給電線は、
   前記軸方向に延在する直線部と、
   前記直線部と前記突出部とを接続する接続部と
   を有し、
   前記接続部は、前記直線部よりも大径である、請求項１または２に記載の加熱装置。
4. 前記突出部は、前記突出部の周面から前記軸方向と交差する方向に突出する少なくとも１つの突起を有する、請求項１～３のいずれか一つに記載の加熱装置。
5. 前記突出部は、前記電極側給電線の軸方向に対して傾斜している、請求項１～４のいずれか一つに記載の加熱装置。
6. 複数の前記電極側給電線を有し、
   前記複数の電極側給電線が有する複数の前記突出部のうち少なくとも２つは、傾斜の態様が互いに異なる、請求項５に記載の加熱装置。
7. 複数の前記電極側給電線を有し、
   前記複数の電極側給電線が有する複数の前記突出部のうち少なくとも２つは、前記基体からの距離が互いに異なる、請求項１～６のいずれか一つに記載の加熱装置。
8. 複数の前記電極側給電線および複数の前記電源側給電線を有し、
   前記電極側給電線と前記電源側給電線との接続部である第１接続部と、前記第１接続部に隣り合う前記接続部である第２接続部との間に絶縁性の隔壁をさらに有する、請求項１～７のいずれか一つに記載の加熱装置。
9. 請求項１～８のいずれか一つに記載の加熱装置と、電力供給部と、制御部とを有し、
   前記電力供給部は、前記電源側給電線の前記第２端部に接続され、前記電源側給電線および前記電極側給電線を介して前記電極に電力を供給し、
   前記制御部は、前記電力供給部による前記電極に対する電力の供給を制御する、加熱システム。

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