JP2022065206A - Element analyzer, element analyzer program, and element analysis method - Google Patents

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Akihiro Hirano
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Abstract

To further enhance analysis accuracy by performing baseline correction using a base line that simulates a temporal change of signal intensity caused by a gas generated from a graphite crucible.SOLUTION: An element analyzer 100 for analyzing a gas generated by heating a sample stored in a graphite crucible, includes: a signal intensity receiving unit 11 for receiving signal intensity obtained by a gas detector; and a baseline correction unit 12 for performing baseline correction of a spectrum S using a correction function with start point intensity that is signal intensity at a rising point A of a peak of the spectrum S showing a temporal change in the signal intensity and end point intensity that is signal intensity at a falling end point B of the peak as a parameter. The correction function converges to the start point intensity and the end point intensity, and has a portion X having an inclination different from an inclination of a straight line Z connecting the rising point A and the falling end point B between these two points.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、元素分析装置、元素分析装置用プログラム、及び元素分析方法に関するものである。 The present invention relates to an elemental analyzer, a program for an elemental analyzer, and an elemental analysis method.

従来の元素分析装置としては、特許文献1に示すように、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱溶融し、その際に発生するガスを分析することによって、試料に含まれる元素を測定するものがある。 As a conventional elemental analyzer, as shown in Patent Document 1, an element contained in a sample is measured by heating and melting a sample contained in a graphite crucible and analyzing the gas generated at that time. There is.

かかる元素分析装置において、ガス検出器により得られた信号強度の経時変化、すなわち信号強度のスペクトルは、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度をベースとし、その上に試料から発生するガス起因の信号強度が重畳されたものであるから、試料に含まれる各種成分の濃度等の算出にはベースライン補正が必要である。 In such an elemental analyzer, the change over time of the signal intensity obtained by the gas detector, that is, the spectrum of the signal intensity is based on the signal intensity caused by the gas generated from the graphite pot, and is derived from the gas generated from the sample. Since the signal strength is superimposed, baseline correction is required to calculate the concentration of various components contained in the sample.

ところで、上述した信号強度のスペクトルは、図6に示すように、ピークの立ち上がり点の前よりも、ピークの下がり終わり点の後の方が低くなる。これは、試料が溶融することで、試料と黒鉛るつぼとが反応して黒鉛るつぼに流れる電流への抵抗値が変化し、黒鉛るつぼの温度が変わり、黒鉛るつぼから発生するガス量が変化するからである。なお、試料の種類や測定する元素によっては、信号強度スペクトルにおけるピークの立ち上がり点の前よりも、ピークの下がり終わり点の後の方が高くなる場合もある。 By the way, as shown in FIG. 6, the spectrum of the above-mentioned signal intensity is lower after the falling end point of the peak than before the rising point of the peak. This is because when the sample melts, the sample reacts with the graphite crucible and the resistance value to the current flowing through the graphite crucible changes, the temperature of the graphite crucible changes, and the amount of gas generated from the graphite crucible changes. Is. Depending on the type of sample and the element to be measured, the value may be higher after the peak fall end point than before the peak rise point in the signal intensity spectrum.

そこで、これまでは、同図6に示す直線L、すなわちピークの立ち上がり点及び下がり終わり点を結んだ直線Lを黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化とみなし、その直線Lをベースラインとしたベースライン補正がなされていた。 Therefore, until now, the straight line L shown in FIG. 6, that is, the straight line L connecting the rising point and the falling end point of the peak, is regarded as a change over time of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible, and the straight line L is used as a base. The baseline was corrected as a line.

特開2013-250061号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-250061

このような中で、本発明者は、分析精度のさらなる向上を図るべく鋭意検討を重ね、試料の溶融が図6の直線Lに示されるような線形的に進行する現象ではなく、実際には、例えばあるタイミングで非線形的に進行する現象であることに初めて着目し、従来のベースライン(すなわち、図6の直線L)では、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を表せていないことを見出した。 Under such circumstances, the present inventor has made extensive studies in order to further improve the analysis accuracy, and the melting of the sample is not a phenomenon in which the melting of the sample progresses linearly as shown by the straight line L in FIG. For example, focusing on the phenomenon that progresses non-linearly at a certain timing, the conventional baseline (that is, the straight line L in FIG. 6) shows the change over time of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible. I found that there wasn't.

本発明は、上述した鋭意検討によりなされたものであり、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを用いてベースライン補正できるようにすることで、分析精度のさらなる向上を図ることを主な課題とするものである。 The present invention has been made by the above-mentioned diligent study, and by making it possible to correct the baseline by using a baseline simulating the change over time of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible, the analysis accuracy can be further improved. The main issue is to improve.

すなわち、本発明に係る元素分析装置は、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置であって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部とを有し、前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数であることを特徴とするものである。 That is, the element analyzer according to the present invention is an element analyzer that analyzes the gas generated by heating the sample contained in the graphite pot, and is a signal intensity receiving unit that receives the signal intensity obtained by the gas detector. Using a correction function using the start point strength, which is the signal strength of the rising point of the peak of the spectrum showing the change over time of the signal strength, and the ending point strength, which is the signal strength of the falling end point of the peak, as parameters. It has a baseline correction unit that corrects the spectrum by baseline, and the correction function converges on the start point intensity and the end point intensity, and a straight line connecting these two points between the rising point and the falling end point. It is characterized in that it is a function having a slope portion different from the slope of.

このように構成された元素分析装置であれば、補正関数が、ピークの立ち上がり点及び下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有するので、その異なる傾き部分によって、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを表すことができる。これにより、この補正関数を用いてベースライン補正することで、分析精度のさらなる向上を図れる。 In the elemental analyzer configured in this way, the correction function has a slope portion between the rising point and the falling end point of the peak, which is different from the slope of the straight line connecting these two points. Depending on the portion, it is possible to represent a baseline that simulates the change over time in the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible. As a result, the analysis accuracy can be further improved by performing baseline correction using this correction function.

黒鉛るつぼから発生する実際のガス量の変化が試料の溶融に伴って単調減少であることに鑑みれば、前記始点強度よりも前記終点強度の方が低く、前記補正関数が、前記直線よりも傾きの小さい部分を有する単調減少関数であることが好ましい。 Considering that the change in the actual amount of gas generated from the graphite crucible is monotonically decreasing with the melting of the sample, the end point strength is lower than the start point strength, and the correction function is tilted more than the straight line. It is preferably a monotonic decrease function having a small portion of.

黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化をより尤もらしく模擬するためには、前記補正関数が、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に変曲点を有する関数であることが好ましい。 In order to more likely simulate the change over time of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible, it is preferable that the correction function has an inflection point between the rising point and the falling end point. ..

溶融した試料と黒鉛るつぼとの反応は、試料の燃焼により生じるガス量がピークになるタイミングの手前で収束する傾向にあることから、前記変曲点が、前記スペクトルのピークよりも前記立ち上がり点側にあることが好ましい。 Since the reaction between the molten sample and the graphite crucible tends to converge before the timing when the amount of gas generated by the combustion of the sample reaches its peak, the inflection point is closer to the rising point side than the peak of the spectrum. It is preferable to be in.

上述したように、試料と黒鉛るつぼとの反応が、試料の燃焼により生じるガス量がピークになるタイミングの手前で収束することに鑑みれば、前記補正関数が、前記スペクトルのピーク又は当該ピークよりも前記立ち上がり点側において、前記終点強度に収束することが好ましい。 As described above, considering that the reaction between the sample and the graphite crucible converges before the timing when the amount of gas generated by the combustion of the sample peaks, the correction function is larger than the peak of the spectrum or the peak. It is preferable that the end point strength is converged on the rising point side.

また、本発明に係る元素分析装置用プログラムは、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置に用いられるプログラムであって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部としてのコンピュータに発揮させるものであり、前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数であることを特徴とするものである。 Further, the program for an element analyzer according to the present invention is a program used for an element analyzer that analyzes a gas generated by heating a sample housed in a graphite pot, and is a signal intensity obtained by a gas detector. Correction using the signal strength receiving unit, the start point strength, which is the signal strength of the rising point of the peak of the spectrum showing the change over time of the signal strength, and the end point strength, which is the signal strength of the falling end point of the peak, as parameters. The function is used by a computer as a baseline correction unit for correcting the spectrum, and the correction function converges on the start point intensity and the end point intensity, and at the same time, the rising point and the falling end. It is characterized in that it is a function having a slope portion between the points, which is different from the slope of the straight line connecting these two points.

さらに、本発明に係る元素分析方法は、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析方法であって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付ステップと、前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正ステップとを有し、前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数であることを特徴とする方法である。 Further, the element analysis method according to the present invention is an element analysis method for analyzing a gas generated by heating a sample housed in a graphite pot, and is a signal strength reception step for receiving a signal strength obtained by a gas detector. Using a correction function using the start point strength, which is the signal strength of the rising point of the peak of the spectrum showing the change over time of the signal strength, and the ending point strength, which is the signal strength of the falling end point of the peak, as parameters. It has a baseline correction step for correcting the spectrum with a baseline, and the correction function converges on the start point intensity and the end point intensity, and a straight line connecting these two points between the rising point and the falling end point. This method is characterized in that it is a function having a slope portion different from the slope of.

このような元素分析装置用プログラムや元素分析方法であっても、上述した元素分析装置と同様の作用効果を奏し得る。 Even with such a program for an elemental analyzer or an elemental analysis method, the same effects as those of the above-mentioned elemental analyzer can be obtained.

このように構成した本発明によれば、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを用いてベースライン補正をすることができ、分析精度のさらなる向上を図れる。 According to the present invention configured in this way, it is possible to perform baseline correction using a baseline that simulates the time-dependent change in signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible, and further improve the analysis accuracy.

本実施形態の元素分析装置の構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of the elemental analyzer of this embodiment. 同実施形態に係る演算装置の機能を示す機能ブロック図。The functional block diagram which shows the function of the arithmetic unit which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係るベースライン補正部の機能を説明するための図。The figure for demonstrating the function of the baseline correction part which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る補正関数を説明するための図。The figure for demonstrating the correction function which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る補正関数を説明するための図。The figure for demonstrating the correction function which concerns on the same embodiment. 従来のベースライン補正を説明するための図。The figure for demonstrating the conventional baseline correction.

以下に、本発明に係る元素分析装置を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, the elemental analyzer according to the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態の元素分析装置100は、るつぼR内に収容された金属試料又はセラミック試料(以下、単に試料ともいう。)を加熱溶融し、その際に発生するガス成分を分析することによって、当該試料内部に含まれている元素を測定するものである。 The elemental analyzer 100 of the present embodiment heats and melts a metal sample or a ceramic sample (hereinafter, also simply referred to as a sample) housed in the crucible R, and analyzes the gas component generated at that time. It measures the elements contained in the sample.

具体的に元素分析装置100は、図1に示すように、加熱炉1内に発生した試料ガスをキャリアガス(例えばHeガス等)とともに流通させるガス流路2を有し、当該ガス流路2にCO検出器3、酸化部4、CO検出器5、HO検出器6、CO除去部7、HO除去部8及びN検出器9が、この順に直列に設けられている。なお、必ずしもこれらの検出器を全て備えている必要はなく、検出器の数や配置は適宜変更して構わない。 Specifically, as shown in FIG. 1, the element analyzer 100 has a gas flow path 2 for flowing a sample gas generated in the heating furnace 1 together with a carrier gas (for example, He gas), and the gas flow path 2 A CO detector 3, an oxidation unit 4, a CO 2 detector 5, an H 2 O detector 6, a CO 2 removal unit 7, an H 2 O removal unit 8 and an N 2 detector 9 are provided in series in this order. There is. It is not always necessary to have all of these detectors, and the number and arrangement of the detectors may be changed as appropriate.

CO検出器3は、試料ガスに含まれる一酸化炭素(CO)を検出してその濃度を測定(検出)するものであり、非分散型赤外線ガス分析計(NDIR)により構成されている。 The CO detector 3 detects (detects) carbon monoxide (CO) contained in the sample gas and measures (detects) the concentration thereof, and is composed of a non-dispersive infrared gas analyzer (NDIR).

酸化部4は、CO検出器3の下流側に設けられ、試料ガスに含まれる一酸化炭素(CO)を二酸化炭素(CO)に酸化するとともに、水素(H)を水(HO)に酸化して水蒸気を生成するものである。本実施形態の酸化部4は、例えば酸化銅(CuO)を用いて構成されており、具体的には、石英管内に酸化銅(CuO)を充填することにより構成され、その酸化銅(CuO)は、約600度程度に加熱されている。この酸化銅(CuO)の加熱方法は、発熱抵抗体により加熱する方法等が考えられる。 The oxidizing unit 4 is provided on the downstream side of the CO detector 3 and oxidizes carbon monoxide (CO) contained in the sample gas to carbon dioxide (CO 2 ) and hydrogen (H) to water (H 2 O). It oxidizes to produce water vapor. The oxidized portion 4 of the present embodiment is configured by using, for example, copper oxide (CuO), and specifically, it is configured by filling a quartz tube with copper oxide (CuO), and the copper oxide (CuO) thereof. Is heated to about 600 degrees. As a method for heating this copper oxide (CuO), a method of heating with a heat generation resistor or the like can be considered.

CO検出器5は、試料ガスに含まれる二酸化炭素(CO)を検出してその濃度を測定するものであり、非分散型赤外線ガス分析計(NDIR)により構成されている。 The CO 2 detector 5 detects carbon dioxide (CO 2 ) contained in the sample gas and measures the concentration thereof, and is composed of a non-dispersive infrared gas analyzer (NDIR).

O検出器6は、試料ガスに含まれる水(水蒸気)を検出してその濃度を測定するものであり、非分散型赤外線ガス分析計(NDIR)により構成されている。 The H2O detector 6 detects water (water vapor) contained in the sample gas and measures the concentration thereof, and is composed of a non-dispersive infrared gas analyzer (NDIR).

CO除去部7は、酸化部6を通過した試料ガスから二酸化炭素(CO)を吸着して除去するものであり、試料ガスに含まれる窒素(N)に対して反応及び吸着等しないものであり、例えば、アスカライト又はゼオライト系モレキュラーシーブ等を用いることができる。 The CO 2 removing unit 7 adsorbs and removes carbon dioxide (CO 2 ) from the sample gas that has passed through the oxidizing unit 6, and does not react or adsorb to nitrogen (N 2 ) contained in the sample gas. For example, ascarite or a zeolite-based molecular sieve can be used.

O除去部8は、酸化部6を通過した試料ガスから水(水蒸気)を吸着して除去するものであり、試料ガスに含まれる窒素(N)に対して反応及び吸着等しないものであり、例えば、過塩素酸マグネシウム又は塩化カルシウム等を用いることができる。 The H 2 O removing unit 8 adsorbs and removes water (water vapor) from the sample gas that has passed through the oxidizing unit 6, and does not react or adsorb to the nitrogen (N 2 ) contained in the sample gas. For example, magnesium perchlorate, calcium chloride, or the like can be used.

検出器9は、試料ガスに含まれる窒素(N)を検出してその濃度を測定するものであり、熱伝導度型分析計(TCD)により構成されている。 The N 2 detector 9 detects nitrogen (N 2 ) contained in the sample gas and measures the concentration thereof, and is composed of a thermal conductivity type analyzer (TCD).

各検出器により得られた測定信号(各ガス成分の濃度を示す測定値)は、演算装置10に出力される。 The measurement signal (measured value indicating the concentration of each gas component) obtained by each detector is output to the arithmetic unit 10.

演算装置10は、例えばCPU、内部メモリ、入出力インタフェース、AD変換器等からなる汎用又は専用のコンピュータである。なお、演算装置10は、コンピュータによることなくバッファや増幅器、比較器等を用いたディスクリートアナログ回路を用いて構成しても構わない。 The arithmetic unit 10 is a general-purpose or dedicated computer including, for example, a CPU, an internal memory, an input / output interface, an AD converter, and the like. The arithmetic unit 10 may be configured by using a discrete analog circuit using a buffer, an amplifier, a comparator, or the like without using a computer.

この演算装置10は、前記内部メモリの所定領域に格納してあるプログラムに基づいてCPUやその周辺機器等が作動することにより、図2に示すように、各検出器により得られた測定信号を受け付ける信号強度受付部11と、測定信号強度の経時変化を示すスペクトルをベースライン補正するベースライン補正部12と、ベースライン補正された測定信号強度に基づいてガスに含まれる各種成分の濃度を算出する濃度算出部13などの機能を発揮するように構成されている。 As shown in FIG. 2, the arithmetic unit 10 operates a CPU, its peripheral devices, and the like based on a program stored in a predetermined area of the internal memory, and obtains a measurement signal obtained by each detector. The signal strength receiving unit 11 to receive, the baseline correction unit 12 that baseline-corrects the spectrum showing the change of the measured signal strength with time, and the concentration of various components contained in the gas are calculated based on the measured signal strength corrected by the baseline. It is configured to exert the function of the concentration calculation unit 13 and the like.

ここではベースライン補正部12が特徴的であるので、以下に詳述する。 Here, the baseline correction unit 12 is characteristic, and will be described in detail below.

まず、測定信号強度のスペクトルS(以下、測定スペクトルSともいう)は、図3に示すように、ガスに含まれる検出成分の濃度に応じた高さのピークが現れるものである。ここで、例えばCO検出器3やCO検出器5を構成する非分散型赤外線ガス分析計(NDIR)からの測定信号強度を信号強度受付部11が受け付けた場合、その測定スペクトルSは、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度をベースとし、その上に試料から発生するガス起因の信号強度が重畳されたものとなる。 First, in the spectrum S of the measured signal intensity (hereinafter, also referred to as the measured spectrum S), as shown in FIG. 3, a peak having a height corresponding to the concentration of the detected component contained in the gas appears. Here, for example, when the signal intensity receiving unit 11 receives the measured signal intensity from the non-dispersive infrared gas analyzer (NDIR) constituting the CO detector 3 and the CO 2 detector 5, the measurement spectrum S is graphite. The signal strength caused by the gas generated from the sample is based on the signal strength caused by the gas generated from the sample, and the signal strength caused by the gas generated from the sample is superimposed on the signal strength.

そこで、ベースライン補正部12は、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の影響を測定スペクトルSから除くものであり、具体的には、図3に示すように、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインBLを作成し、そのベースラインBLを測定スペクトルSから差し引くことでベースライン補正するように構成されている。 Therefore, the baseline correction unit 12 removes the influence of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible from the measurement spectrum S, and specifically, as shown in FIG. 3, the gas caused by the graphite crucible. A baseline BL simulating the change with time of the signal strength of the above is created, and the baseline BL is subtracted from the measurement spectrum S to correct the baseline.

つまり、ここでいうベースライン補正とは、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の影響を測定スペクトルSから除くことであり、具体的には、ベースラインBLから測定スペクトルSまでの距離に応じた信号強度やその信号強度の時系列変化を補正結果データとして得ることである。
なお、このベースライン補正としては、各時間それぞれにおいてベースラインBLの信号強度を測定スペクトルSの信号強度から差し引いた値を補正結果データとして算出しても良いし、所定区間(例えば立ち上がり点Aから下がり終わり点Bまでの区間)におけるベースラインBLの信号強度の積算値を同区間における測定スペクトルSの信号強度の積算値から差し引いた値を補正結果データとして算出しても良い。
That is, the baseline correction referred to here is to remove the influence of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible from the measurement spectrum S, and specifically, according to the distance from the baseline BL to the measurement spectrum S. It is to obtain the signal strength and the time-series change of the signal strength as the correction result data.
As the baseline correction, a value obtained by subtracting the signal strength of the baseline BL from the signal strength of the measurement spectrum S at each time may be calculated as the correction result data, or a predetermined section (for example, from the rising point A). The value obtained by subtracting the integrated value of the signal strength of the baseline BL in the section up to the falling end point B from the integrated value of the signal intensity of the measurement spectrum S in the same section may be calculated as the correction result data.

本実施形態のベースライン補正部12は、ベースラインBLを表す補正関数を作成し、その補正関数を用いてベースライン補正するように構成されている。なお、補正関数は、時間を変数として信号強度を表す関数である。 The baseline correction unit 12 of the present embodiment is configured to create a correction function representing the baseline BL and to perform baseline correction using the correction function. The correction function is a function that expresses the signal strength with time as a variable.

ここで、測定スペクトルSは、図3に示すように、ピークの立ち上がり点Aの前よりも、ピークの下がり終わり点Bの後の方が低く、立ち上がり点Aの信号強度である始点強度よりも、下がり終わり点Bの信号強度である終点強度の方が低い。これは、試料が溶融することで、溶融した試料と黒鉛るつぼとが反応し、黒鉛るつぼに流れる電流に対する抵抗値が変化し、黒鉛るつぼの温度が変わり、黒鉛るつぼから発生するガス量が変化するからである。なお、この場合に黒鉛るつぼから発生するガスとしては、黒鉛るつぼに含まれる酸素と黒鉛るつぼの材質である炭素とが反応して生じるCOやCOが挙げられる。 Here, as shown in FIG. 3, the measurement spectrum S is lower after the peak falling end point B than before the peak rising point A, and is higher than the starting point strength which is the signal strength of the rising point A. , The end point strength, which is the signal strength of the falling end point B, is lower. This is because when the sample melts, the melted sample reacts with the graphite crucible, the resistance value to the current flowing through the graphite crucible changes, the temperature of the graphite crucible changes, and the amount of gas generated from the graphite crucible changes. Because. In this case, examples of the gas generated from the graphite crucible include CO and CO 2 generated by the reaction between oxygen contained in the graphite crucible and carbon, which is the material of the graphite crucible.

そこで、ベースライン補正部12は、まず測定スペクトルSのピークの立ち上がり点Aと、その立ち上がり点Aよりも低いピークの下がり終わり点Bを特定し、これらの点の座標、すなわち立ち上がり点Aの時間及び始点強度と、下がり終わり点Bの時間及び終点強度とを取得する。 Therefore, the baseline correction unit 12 first identifies the rising point A of the peak of the measurement spectrum S and the falling end point B of the peak lower than the rising point A, and the coordinates of these points, that is, the time of the rising point A. And the start point intensity, the time of the falling end point B, and the end point intensity are acquired.

そして、ベースライン補正部12は、始点強度及び終点強度をパラメータとしてベースラインBLを表す補正関数を作成する。 Then, the baseline correction unit 12 creates a correction function representing the baseline BL with the start point strength and the end point strength as parameters.

より詳細に説明すると、ベースライン補正部12は、図3に示すように、少なくともピークの立ち上がり点Aから下がり終わり点Bまでの区間における信号強度を表す関数を補正関数として作成するように構成されており、ここでの補正関数は、単調減少する非線形関数である。 More specifically, as shown in FIG. 3, the baseline correction unit 12 is configured to create, as a correction function, a function representing at least the signal strength in the section from the rising point A of the peak to the falling end point B. The correction function here is a non-linear function that decreases monotonically.

ここで、測定スペクトルSのピーク前後は測定信号強度が殆ど変化せず安定していることから、本実施形態のベースライン補正部12は、始点強度及び終点強度に収束するように、言い換えればピークの立ち上がり点Aより前のピーク前ラインL1、及び、下がり終わり点Bより後のピーク後ラインL2が漸近線となるように補正関数を作成する。 Here, since the measured signal intensity hardly changes and is stable before and after the peak of the measurement spectrum S, the baseline correction unit 12 of the present embodiment converges to the start point intensity and the end point intensity, in other words, the peak. A correction function is created so that the pre-peak line L1 before the rising point A and the post-peak line L2 after the falling end point B are asymptotes.

そして、この補正関数は、図3に示すように、立ち上がり点A及び下がり終わり点Bの間に、これら2点を結ぶ直線Zよりも傾きが小さい部分である急峻部Xを有する。 Then, as shown in FIG. 3, this correction function has a steep portion X between the rising point A and the falling end point B, which is a portion having a smaller inclination than the straight line Z connecting these two points.

より具体的に説明すると、補正関数は、急峻部Xよりも立ち上がり点A側では直線Zよりも値が大きくなり、急峻部Xよりも下がり終わり点B側では直線Zよりも値が小さくなるように作成されており、ここでは例えばアークタンジェント関数を含む関数である。なお、変曲点は、上述した急峻部Xに含まれており、ここでは測定スペクトルSのピークよりも立ち上がり点A側に設定されている。 More specifically, the correction function has a larger value than the straight line Z on the rising point A side than the steep part X, and a smaller value than the straight line Z on the lowering end point B side than the steep part X. Here, for example, it is a function including an arctangent function. The inflection point is included in the steep portion X described above, and is set here on the rising point A side of the peak of the measurement spectrum S.

このように、ベースライン補正部12は、ベースラインBLを表す補正関数を作成するとともに、そのベースラインBLから測定スペクトルSまでの距離に応じた信号強度を補正結果データとして算出し、その補正結果データに基づいて、ガスに含まれる成分の濃度等が濃度算出部13によって算出される。 In this way, the baseline correction unit 12 creates a correction function representing the baseline BL, calculates the signal strength according to the distance from the baseline BL to the measurement spectrum S as the correction result data, and the correction result. Based on the data, the concentration calculation unit 13 calculates the concentration and the like of the components contained in the gas.

このように構成された元素分析装置100によれば、ベースライン補正部12が、ピークの立ち上がり点A及び下がり終わり点Bの間に、これら2点を結ぶ直線よりも傾きが小さい急峻部Xを有する補正関数を用いてベースライン補正するので、その急峻部Xによって、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインBLを作成ることができる。そして、このように作成されたベースラインBLを用いたベースライン補正がなされるので、分析精度のさらなる向上を図れる。 According to the elemental analyzer 100 configured in this way, the baseline correction unit 12 provides a steep portion X having a smaller inclination than the straight line connecting these two points between the rising point A and the falling end point B of the peak. Since the baseline is corrected using the correction function provided, it is possible to create a baseline BL that simulates the change over time in the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible by the steep portion X. Then, since the baseline correction is performed using the baseline BL created in this way, the analysis accuracy can be further improved.

また、補正関数が測定スペクトルSのピークよりも立ち上がり点A側に変曲点を有するので、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化をより尤もらしく模擬することができる。 Further, since the correction function has an inflection point on the rising point A side of the peak of the measurement spectrum S, it is possible to more likely simulate the change with time of the signal intensity caused by the gas generated from the graphite crucible.

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。 The present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、前記実施形態の補正関数は、測定スペクトルSのピークよりも立ち上がり点A側に変曲点を有するアークタンジェント関数を用いたものであったが、図4に示すように、複数の直線を組み合わせた関数であっても良いし、図5に示すように、測定スペクトルSのピークよりも下がり終わり点B側に変曲点を有する関数であっても良い。
また、補正関数は、サイン関数、コサイン関数、タンジェント関数などの1又は複数の三角関数を用いたものであっても良い。
For example, the correction function of the above embodiment uses an arctangent function having an inflection point on the rising point A side of the peak of the measurement spectrum S, but as shown in FIG. 4, a plurality of straight lines are used. It may be a combined function, or as shown in FIG. 5, it may be a function having an inflection point on the end point B side, which is lower than the peak of the measurement spectrum S.
Further, the correction function may be one using one or a plurality of trigonometric functions such as a sine function, a cosine function, and a tangent function.

さらに、ベースライン補正部12は、前記実施形態では補正関数を作成するように構成されていたが、1又は複数の補正関数を予め格納させた補正関数格納部から補正関数を取得するように構成されていても良い。
具体的には、補正関数格納部が、例えば試料の種類等に応じて予め作成された複数の補正関数を、その試料の種類と紐付けて格納している場合であれば、ベースライン補正部12としては、試料の種類を受け付けるとともに、その種類に紐付けられている補正関数を取得する構成が挙げられる。また、別の態様としては、ベースライン補正部12が、補正関数格納部に格納されている複数の補正関数の中から、オペレータが選択したものを取得するように構成されていても良い。
なお、複数の補正関数としては、前記実施形態で述べた急峻部Xを有するベースラインを表す関数の他、例えば立ち上がり点A又は下がり終わり点Bを通過し、横軸に平行な直線を表す関数や、立ち上がり点A及び下がり終わり点Bを結ぶ直線Zを表す関数などが挙げられる。
Further, the baseline correction unit 12 is configured to create a correction function in the above embodiment, but is configured to acquire a correction function from a correction function storage unit in which one or a plurality of correction functions are stored in advance. It may have been done.
Specifically, if the correction function storage unit stores a plurality of correction functions created in advance according to the type of sample, for example, in association with the type of the sample, the baseline correction unit Example 12 includes a configuration in which a type of sample is accepted and a correction function associated with the type is acquired. Further, as another aspect, the baseline correction unit 12 may be configured to acquire a correction function selected by the operator from a plurality of correction functions stored in the correction function storage unit.
As the plurality of correction functions, in addition to the function representing the baseline having the steep portion X described in the above embodiment, for example, a function that passes through the rising point A or the falling end point B and represents a straight line parallel to the horizontal axis. And a function representing a straight line Z connecting the rising point A and the falling end point B.

また、前記実施形態では、信号強度受付部11が非分散型赤外線ガス分析計(NDIR)からの測定信号強度を受け付ける場合について説明したが、信号強度受付部11としては、その他の光学分析計からの測定信号を受け付けるものであっても良い。
さらに、信号強度受付部11は、必ずしもCO検出器3及びCO検出器5からの測定信号強度を受け付けるものに限らず、その他の成分を検出する検出器からの信号強度を受け付けるものであっても良い。
つまり、前記実施形態のベースライン補正は、非分散型赤外線ガス分析計(NDIR)のみならず、その他の光学分析計に用いることができるし、CO検出器3及びCO検出器5のみならず、その他の成分を検出する検出器にも用いることができる。
なお、試料の種類や測定する元素によっては、立ち上がり点Aの信号強度よりも下がり終わり点Bの方が高くなる場合があり、このような場合においては、補正関数が、始点強度及び終点強度に収束するとともに、立ち上がり点A及び下がり終わり点Bの間に、これら2点を結ぶ直線よりも傾きの大きい部分を有する関数であっても良い。
Further, in the above embodiment, the case where the signal intensity receiving unit 11 receives the measured signal intensity from the non-dispersive infrared gas analyzer (NDIR) has been described, but the signal intensity receiving unit 11 is from another optical analyzer. It may be the one that accepts the measurement signal of.
Further, the signal strength receiving unit 11 is not necessarily limited to receiving the measured signal strength from the CO detector 3 and the CO 2 detector 5, but also receives the signal strength from the detector that detects other components. Is also good.
That is, the baseline correction of the above embodiment can be used not only for the non-dispersive infrared gas analyzer (NDIR) but also for other optical analyzers, and not only for the CO detector 3 and the CO 2 detector 5. It can also be used as a detector for detecting other components.
Depending on the type of sample and the element to be measured, the falling end point B may be higher than the signal strength of the rising point A. In such a case, the correction function determines the starting point strength and the ending point strength. It may be a function that converges and has a portion having a slope larger than the straight line connecting these two points between the rising point A and the falling end point B.

その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。 In addition, the present invention is not limited to each of the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

100・・・元素分析装置
10 ・・・演算装置
11 ・・・信号強度受付部
12 ・・・ベースライン補正部
S ・・・測定スペクトル
A ・・・立ち上がり点
B ・・・下がり終わり点
BL ・・・ベースライン
L1 ・・・ピーク前ライン
L2 ・・・ピーク後ライン
X ・・・急峻部
Z ・・・直線
100 ・ ・ ・ Elemental analyzer 10 ・ ・ ・ Arithmetic unit 11 ・ ・ ・ Signal strength reception unit 12 ・ ・ ・ Baseline correction unit S ・ ・ ・ Measurement spectrum A ・ ・ ・ Rising point B ・ ・ ・ Falling end point BL ・・ ・ Baseline L1 ・ ・ ・ Pre-peak line L2 ・ ・ ・ Post-peak line X ・ ・ ・ Steep part Z ・ ・ ・ Straight line

Claims (7)

黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置であって、
ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、
前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部とを有し、
前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数である、元素分析装置。
An elemental analyzer that analyzes the gas generated by heating a sample contained in a graphite crucible.
A signal strength reception unit that receives the signal strength obtained by the gas detector,
Using a correction function with parameters of the start point strength, which is the signal strength of the rising point of the peak of the spectrum showing the change over time of the signal strength, and the end point strength, which is the signal strength of the falling end point of the peak, the spectrum is displayed. It has a baseline correction unit that corrects the baseline,
An element, which is a function in which the correction function converges on the start point strength and the end point strength, and has a slope portion between the rising point and the falling end point, which is different from the slope of the straight line connecting these two points. Analysis equipment.
前記始点強度よりも前記終点強度の方が低く、
前記補正関数が、前記直線よりも傾きの小さい部分を有する単調減少関数である、請求項1記載の元素分析装置。
The end point strength is lower than the start point strength,
The elemental analyzer according to claim 1, wherein the correction function is a monotonic decreasing function having a portion having a portion having a slope smaller than that of the straight line.
前記補正関数が、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に変曲点を有する関数である、請求項2記載の元素分析装置。 The elemental analyzer according to claim 2, wherein the correction function is a function having an inflection point between the rising point and the falling end point. 前記変曲点が、前記スペクトルのピークよりも前記立ち上がり点側にある、請求項3記載の元素分析装置。 The elemental analyzer according to claim 3, wherein the inflection point is on the rising point side of the peak of the spectrum. 前記補正関数が、前記スペクトルのピーク又は当該ピークよりも前記立ち上がり点側において、前記終点強度に収束する、請求項4記載の元素分析装置。 The elemental analyzer according to claim 4, wherein the correction function converges to the end point intensity at the peak of the spectrum or on the rising point side of the peak. 黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置に用いられるプログラムであって、
ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、
前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部としてのコンピュータに発揮させるものであり、
前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数である、元素分析装置用プログラム。
A program used in elemental analyzers that analyze the gas generated by heating a sample contained in a graphite crucible.
A signal strength reception unit that receives the signal strength obtained by the gas detector,
Using a correction function with parameters of the start point strength, which is the signal strength of the rising point of the peak of the spectrum showing the change over time of the signal strength, and the end point strength, which is the signal strength of the falling end point of the peak, the spectrum is displayed. It is intended to be demonstrated by the computer as a baseline correction unit that corrects the baseline.
An element, which is a function in which the correction function converges on the start point strength and the end point strength, and has a slope portion between the rising point and the falling end point, which is different from the slope of the straight line connecting these two points. Program for analyzer.
黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析方法であって、
ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付ステップと、
前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正ステップとを有し、
前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら2点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数である、元素分析方法。
An elemental analysis method that analyzes the gas generated by heating a sample contained in a graphite crucible.
A signal strength reception step that accepts the signal strength obtained by the gas detector,
Using a correction function with parameters of the start point strength, which is the signal strength of the rising point of the peak of the spectrum showing the change over time of the signal strength, and the end point strength, which is the signal strength of the falling end point of the peak, the spectrum is displayed. Has a baseline correction step to correct the baseline,
An element, which is a function in which the correction function converges on the start point strength and the end point strength, and has a slope portion between the rising point and the falling end point, which is different from the slope of the straight line connecting these two points. Analysis method.
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