JP7458253B2 - Calibration method for elemental analyzer, elemental analyzer, and program for elemental analyzer - Google Patents

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本発明は、試料に含まれる元素をガス化して抽出し、抽出されたガスを赤外線吸収法に基づいて分析して、試料に含まれていた元素の質量を検出する元素分析装置の校正方法に関するものである。 The present invention relates to a method for calibrating an elemental analyzer that gasifies and extracts elements contained in a sample, analyzes the extracted gas based on infrared absorption method, and detects the mass of the element contained in the sample. It is something.

例えば金属、セラミクス等の材料の研究開発や品質管理のために、試料中に含まれている分析対象の各元素の質量%濃度を測定することが行われている。 For example, for research and development and quality control of materials such as metals and ceramics, the mass % concentration of each element to be analyzed contained in a sample is measured.

このような測定に用いられる元素分析装置は、予め秤量した固体の試料中に含まれる分析対象の各元素をガス化して抽出する加熱炉と、例えばNDIR(Non Dispersive Infrared:非分散型赤外線ガス分析法)により、抽出されたガスに含まれる各元素の補正前質量を検出する検出機構と、予め作成された検量線を用いて補正前質量を補正後質量に換算する補正演算部と、試料の秤量値に対する補正後質量の質量%濃度を最終的な分析値として算出する分析値算出部と、を備えている。 The elemental analyzer used for such measurements consists of a heating furnace that gasifies and extracts each element to be analyzed contained in a pre-weighed solid sample, and an NDIR (Non Dispersive Infrared) gas analysis system. A detection mechanism that detects the uncorrected mass of each element contained in the extracted gas using the method), a correction calculation unit that converts the uncorrected mass to the corrected mass using a calibration curve created in advance, and An analysis value calculation unit that calculates the mass % concentration of the corrected mass with respect to the weighed value as a final analysis value.

また、最初に設定される検量線は、分析対象となる元素の理論含有量が既知の標準試料を分析して、検出機構で検出される補正前質量と、理論含有量との関係から補正前質量x、補正後質量y,勾配係数Aとする比例式y=Axとして作成される。 The calibration curve that is initially set is created by analyzing a standard sample with a known theoretical content of the element to be analyzed, and from the relationship between the uncorrected mass detected by the detection mechanism and the theoretical content, as a proportional equation y = Ax, where x is the uncorrected mass, y is the corrected mass, and A is the gradient coefficient.

ところで、元素分析装置を長期間運用した場合、NDIRの出力には経時的な変化が生じ、試料に含まれている実際の元素の含有量や濃度に対して測定誤差が発生する。このような場合、標準試料を用いて再び検量線を作成し直すこともできるが、多くの工数が必要となるとともに、元素分析は破壊測定であるため標準試料を多量に消費してしまうことになる。このため検量線を作成し直す代わりに、より簡易な方法で検量線を校正することが行われている。 However, when an elemental analyzer is operated for a long period of time, the output of the NDIR changes over time, resulting in measurement errors with respect to the actual content and concentration of elements contained in the sample. In such cases, it is possible to recreate the calibration curve using standard samples, but this requires a lot of labor and, because elemental analysis is a destructive measurement, consumes a large amount of standard sample. For this reason, instead of recreating the calibration curve, a simpler method is used to calibrate the calibration curve.

元素分析装置の検量線の校正方法としては、JIS等(非特許文献1参照)に定義されているαβ補正法がある。具体的に赤外線吸収法を用いた元素分析装置の校正方法は以下のようなものである。 As a method for calibrating a calibration curve of an elemental analyzer, there is an αβ correction method defined in JIS, etc. (see Non-Patent Document 1). Specifically, the method for calibrating an elemental analyzer using infrared absorption method is as follows.

まず、検出機構に経時変化が生じていない時点において基準時管理試料を分析し、分析値算出部が算出する質量%濃度C0[wt%]を記録する。 First, the reference time control sample is analyzed at a time when no change occurs in the detection mechanism over time, and the mass % concentration C0 [wt%] calculated by the analysis value calculation unit is recorded.

次に、検出機構に経時変化が生じた時点において校正時管理試料を分析し、分析値算出部が算出する質量%濃度C1[wt%]を記録する。 Next, the calibration control sample is analyzed at the time when a change over time occurs in the detection mechanism, and the mass % concentration C1 [wt%] calculated by the analysis value calculation section is recorded.

最後に校正係数α=C0/C1を算出し、式y=A(αx)を校正後の検量線とする。 Finally, calculate the calibration coefficient α = C0/C1, and use the equation y = A(αx) as the calibration curve after calibration.

しかしながら、上記のような元素分析装置の校正方法は分析値である質量%濃度[wt%]の変化量に基づいて検量線を校正しているのであって、実際に経時変化が生じている検出機構が検出している補正前質量である分析対象の元素の含有量[mg]を校正しているのではない。 However, the calibration method for elemental analyzers as described above calibrates the calibration curve based on the amount of change in mass% concentration [wt%], which is the analysis value, and it is difficult to detect actual changes over time. It does not calibrate the content [mg] of the element to be analyzed, which is the uncorrected mass detected by the mechanism.

また、このような校正方法は原点を通る1次式で作成したものにしか適用できない。このため、検出機構の特性に合わせて検量線を多項式として定義した場合にはこのような校正方法を用いることはできない。 Furthermore, such a calibration method can only be applied to a linear equation that passes through the origin. For this reason, such a calibration method cannot be used when the calibration curve is defined as a polynomial in accordance with the characteristics of the detection mechanism.

さらに、検量線の校正に用いる管理試料は1種類となる。このため、理論含有量又は理論濃度の異なる管理試料を複数種類用意して、検量線全体の特性変化が考慮された校正により校正精度を高めることはできない。 Furthermore, only one type of control sample is used to calibrate the calibration curve. For this reason, it is not possible to improve calibration accuracy by preparing multiple types of control samples with different theoretical contents or concentrations and performing calibration that takes into account changes in the characteristics of the entire calibration curve.

JIS G 1211-3JIS G 1211-3

本発明は上述したような問題を一挙に解決することを意図してなされたものであり、検出機構が検出している分析対象の元素の含有量自体を校正できるようにし、校正可能な検量線が比例式に限られず、従来よりも検量線の校正精度を向上させることが可能な元素分析装置の校正方法を提供することを目的とする。 The present invention was made with the intention of solving the above-mentioned problems all at once, and it enables the content of the element to be analyzed detected by the detection mechanism itself to be calibrated, and provides a calibration curve that can be calibrated. An object of the present invention is to provide a method for calibrating an elemental analyzer, which is not limited to a proportional type and is capable of improving the calibration accuracy of a calibration curve compared to the conventional method.

すなわち、本発明に係る元素分析装置の校正方法は、試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉と、赤外線吸収法に基づいて抽出されたガスを分析して前記試料に含まれる元素の補正前質量を検出し、分析後のガスが排気されるように構成された検出機構と、前記試料が標準試料である場合に前記検出機構が検出した前記補正前質量と、前記標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する検量線記憶部と、前記補正前質量を前記検量線に基づいて補正後質量に換算する補正演算部と、を備えた元素分析装置の校正方法であって、基準時において前記試料が基準時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記基準時管理試料の実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出し、前記基準時から所定期間経過した校正時において前記試料が校正時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記校正時管理試料の実測秤量値に基づいて前記目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出し、前記基準含有量と、前記校正時含有量とに基づいて前記検量線を校正する校正係数を算出することを特徴とする。 That is, the method for calibrating an elemental analyzer according to the present invention includes a heating furnace that gasifies and extracts the element to be analyzed contained in a sample, and a heating furnace that gasifies and extracts the element to be analyzed contained in the sample, and a heating furnace that analyzes the extracted gas based on an infrared absorption method to extract the element contained in the sample. a detection mechanism configured to detect the uncorrected mass of the element contained in the sample and exhaust the gas after analysis, the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a standard sample, and the standard a calibration curve storage unit that stores a calibration curve showing the relationship between the theoretical content of an element to be analyzed contained in a sample; and a correction calculation unit that converts the pre-correction mass to a post-correction mass based on the calibration curve. A method for calibrating an elemental analyzer comprising Calculating the reference content normalized to a value per target weighing value based on the reference time, and detecting the correction by the detection mechanism when the sample is a calibration control sample at the time of calibration after a predetermined period has passed from the reference time. A content at the time of calibration is calculated by normalizing the pre-mass to a value per the target weighing value based on the actual measured weight value of the control sample at the time of calibration, and the content at the time of calibration is calculated based on the reference content and the content at the time of calibration. The method is characterized in that a calibration coefficient for calibrating the calibration curve is calculated.

また、本発明に係る元素分析装置は、試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉と、赤外線吸収法に基づいて抽出されたガスを分析して前記試料に含まれる元素の補正前質量を検出し、分析後のガスが排気されるように構成された検出機構と、前記試料が標準試料である場合に前記検出機構が検出した前記補正前質量と、前記標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する検量線記憶部と、前記補正前質量を前記検量線に基づいて補正後質量に換算する補正演算部と、基準時において前記試料が基準時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記基準時管理試料の実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出する基準含有量算出部と、前記基準時から所定期間経過した校正時において前記試料が校正時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記校正時管理試料の実測秤量値に基づいて前記目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出する校正時含有量算出部と、前記基準含有量と、前記校正時含有量とに基づいて前記検量線を校正する校正係数を算出する校正係数算出部と、を備えたことを特徴とする。 Furthermore, the elemental analyzer according to the present invention includes a heating furnace that gasifies and extracts the elements to be analyzed contained in the sample, and a heating furnace that gasifies and extracts the elements to be analyzed contained in the sample, and a heating furnace that analyzes the extracted gas based on an infrared absorption method to extract the elements contained in the sample. a detection mechanism configured to detect a pre-correction mass and exhaust gas after analysis; a detection mechanism configured to detect a pre-correction mass and exhaust gas after analysis; a calibration curve storage unit that stores a calibration curve showing the relationship between the theoretical content of the element to be analyzed and the theoretical content of the element to be analyzed; a correction calculation unit that converts the uncorrected mass to a corrected mass based on the calibration curve; Reference content that is obtained by normalizing the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a reference time control sample to a value per target weight value based on the actual measured weight value of the reference time control sample. a reference content calculation unit that calculates the pre-correction mass detected by the detection mechanism when the sample is a calibration control sample at the time of calibration after a predetermined period has elapsed from the reference time; a calibration content calculation unit that calculates a content at the time of calibration normalized to a value per the target weighing value based on the actually measured weighing value; and a calibration curve based on the reference content and the content at the time of calibration. A calibration coefficient calculation unit that calculates a calibration coefficient for calibrating the .

このようなものであれば、実際に経時変化が生じる前記検出機構が検出する前記補正前質量自体を校正できる。このため、従来のように検量線が比例式であるといった前提を必要せず、様々な形態の関数として定義できる。 With such a device, it is possible to calibrate the uncorrected mass itself detected by the detection mechanism, which actually changes over time. Therefore, it is not necessary to assume that the calibration curve is a proportional equation as in the past, and it can be defined as a function in various forms.

また、前記基準含有量及び前記校正含有量は、実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化された値であるので、実測秤量値にばらつきが生じていたとしても、前記目標秤量値に相当する値で校正できる。したがって、実測秤量値のばらつきの影響を排除した確からしい校正係数を得ることが可能となる。 In addition, the reference content and the calibration content are values that are standardized to the target weight value based on the actual measurement weight value, so even if there is variation in the actual measurement weight value, the target weight value Can be calibrated with a value equivalent to the value. Therefore, it is possible to obtain reliable calibration coefficients that eliminate the influence of variations in actually measured weight values.

さらに、前記基準含有量及び前記校正含有量が規格化された値であるので、管理試料を複数種類指定して用いることもでき、検量線の校正精度を向上させることができる。 Furthermore, since the reference content and the calibration content are standardized values, multiple types of control samples can be specified and used, and the calibration accuracy of the calibration curve can be improved.

前記検出機構における経時変化による前記補正前質量の変化自体が校正されるようにするには、前記検量線が、前記補正前質量を入力変数x、前記補正後質量を出力変数y、とする関数であり、前記校正係数として前記入力変数xに乗じられるαを少なくとも算出するものであればよい。 In order to calibrate the change in the pre-correction mass due to a change over time in the detection mechanism, the calibration curve may be a function in which the pre-correction mass is an input variable x and the post-correction mass is an output variable y. It is sufficient that the calibration coefficient is one that at least calculates α by which the input variable x is multiplied.

一対の前記基準含有量と前記校正時含有量に基づいて前記校正係数を求められるようにするには、前記基準時において1種類の基準時管理試料について1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、各補正前質量の平均値を1つの前記基準含有量として算出し、前記校正時において1種類の校正時管理試料について1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、各補正前質量の平均値を1つの前記校正時含有量として算出し、前記基準含有量に対する前記校正時含有量の比の値を前記校正係数αとして算出するものであればよい。また、複数回分析して得られた前記補正前質量を平均して前記基準含有量及び前記校正時含有量を用いる場合には、様々な要因で発生する偶然誤差の影響を緩和し、さらに確からしい前記校正係数を得ることができる。 In order to be able to obtain the calibration coefficient based on a pair of the reference content and the content at the time of calibration, the calibration coefficient obtained by analyzing one type of reference time control sample one or more times at the reference time is required. The mass before correction, or the average value of each mass before correction is calculated as one of the reference contents, and the mass before correction is obtained by analyzing one type of calibration control sample once or multiple times during the calibration. Alternatively, the average value of each mass before correction may be calculated as one content at the time of calibration, and the value of the ratio of the content at the time of calibration to the reference content may be calculated as the calibration coefficient α. In addition, when using the standard content and the calibration content by averaging the uncorrected mass obtained from multiple analyzes, the influence of random errors caused by various factors can be alleviated, and further accuracy can be achieved. It is possible to obtain the calibration coefficients that are likely to be the same.

複数対の前記基準含有量と前記校正時含有量をすべて加味して、さらに確からしい前記校正係数を得られるようにするには、前記基準時において分析対象の元素の理論含有量又は理論濃度が異なる複数種類の基準時管理試料についてそれぞれ1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、種類ごとの各補正前質量の平均値を複数の前記基準含有量として算出し、前記校正時において複数種類の前記基準時管理試料と対応する複数種類の校正時管理試料についてそれぞれ1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、種類ごとの各補正前質量の平均値を複数の前記校正時含有量として算出し、複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組に基づく最小二乗法によって前記校正係数αを算出するものであればよい。 In order to obtain a more reliable calibration coefficient by taking into account all the pairs of the reference content and the content at the time of calibration, the theoretical content or theoretical concentration of the element to be analyzed is determined at the reference time. The above-mentioned mass before correction obtained by analyzing each of a plurality of different types of reference control samples once or multiple times, or the average value of each mass before correction for each type, is calculated as a plurality of reference contents, and the above-mentioned calibration is performed. The mass before correction obtained by analyzing multiple types of standard control samples and the corresponding multiple types of calibration control samples one or more times, or the average value of each type of mass before correction. The calibration coefficient α may be calculated as a plurality of the calibration contents, and the calibration coefficient α may be calculated by the least squares method based on a plurality of pairs of the reference content and the calibration content.

例えば従来から使用されている比例式の検量線に対応した校正方法としては、校正前の前記検量線が、傾きAを有する比例式y=Axであり、前記校正係数αとして複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組の原点を通る回帰直線の傾きを最小二乗法によって算出し、前記検量線記憶部に式y=A(αx)を校正後の検量線として記憶させるものが挙げられる。 For example, as a calibration method corresponding to a conventionally used proportional type calibration curve, the calibration curve before calibration is a proportional type y=Ax having a slope A, and the calibration coefficient α is composed of a plurality of pairs of calibration coefficients α. Calculating the slope of a regression line passing through the origin of the set of the reference content and the content at the time of calibration by the least squares method, and storing the formula y=A(αx) in the calibration curve storage unit as a calibration curve after calibration. can be mentioned.

試料のマトリクス影響やブランク試料影響によって検量線に生じる切片についても考慮できるようにするには、校正前の前記検量線が、傾きA、切片Bを有する一次関数y=Ax+Bであり、前記校正係数αとして複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組の回帰直線の傾きを算出するとともに、校正係数βとして前記回帰直線の切片を算出し、前記検量線記憶部に式y=A(αx+β)+Bを校正後の検量線として記憶させるものであればよい。 In order to be able to take into account intercepts that occur in the calibration curve due to sample matrix effects and blank sample effects, the calibration curve before calibration is a linear function y=Ax+B with slope A and intercept B, and the calibration coefficient As α, the slope of the regression line of the plurality of pairs of the reference content and the calibration content is calculated, and as the calibration coefficient β, the intercept of the regression line is calculated, and the equation y= Any method is sufficient as long as A(αx+β)+B is stored as a calibration curve after calibration.

校正前の前記検量線が、入力変数xの多項式であったとしても、校正を可能とするには、前記校正係数αとして複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組の回帰直線の傾きを算出するとともに、校正係数βとして前記回帰直線の切片を算出し、前記検量線記憶部に入力変数を(αx+β)に変換した式を校正後の検量線として記憶させるものであればよい。 Even if the calibration curve before calibration is a polynomial of the input variable x, calibration can be made possible by calculating the slope of the regression line of the pairs of the reference content and the content at the time of calibration as the calibration coefficient α, calculating the intercept of the regression line as the calibration coefficient β, and storing the equation in which the input variable is converted to (αx + β) in the calibration curve storage unit as the calibration curve after calibration.

前記検量線が多項式である場合の具体的な校正方法としては、校正前の前記検量線が、2次係数A、1次係数B、定数項Cを有する2次関数y=Ax+Bx+Cであり、1種類の基準時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量の平均値である前記基準含有量と、1種類の校正時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量の平均値である前記校正時含有量の比の値を前記校正係数αとして算出し、前記検量線記憶部に式y=A(αx)+B(αx)+Cを校正後の検量線として記憶させるものが挙げられる。 As a specific calibration method when the calibration curve is a polynomial, the calibration curve before calibration is a quadratic function y=Ax 2 +Bx+C having a quadratic coefficient A, a linear coefficient B, and a constant term C. , the reference content, which is the average value of each uncorrected mass obtained by analyzing one type of standard control sample multiple times, and each correction obtained by analyzing one type of calibration control sample multiple times. The value of the ratio of the contents at the time of calibration, which is the average value of the pre-mass, is calculated as the calibration coefficient α, and the formula y=A(αx) 2 +B(αx)+C is stored in the calibration curve storage unit as the calibration curve after calibration. Examples include things that can be memorized.

ブランク試料影響を前記補正前質量から差し引いた検量線についても校正できるようにするには、校正前の前記検量線が、傾きA、検量線作成時において試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出していない場合に前記検出機構が出力する前記補正前質量又はその平均値Dを有するy=A(x-D)であり、前記校正時において試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出していない場合に前記検出機構が出力する前記補正前質量又はその平均値D1として、1種類の基準時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量からDを引いた値の平均値である前記基準含有量と、1種類の校正時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量からD1を引いた値の平均値である前記校正時含有量の比の値を前記校正係数αとして算出し、前記検量線記憶部に式y=A(α(x-D1))を校正後の検量線として記憶させるものであればよい。 In order to be able to calibrate the calibration curve obtained by subtracting the blank sample influence from the mass before correction, the calibration curve before calibration has a slope of A, and the element to be analyzed contained in the sample is gasified when the calibration curve is created. y=A(x-D), which has the uncorrected mass or its average value D output by the detection mechanism when the detection mechanism has not extracted the sample, and gasifies the element to be analyzed contained in the sample during the calibration. The uncorrected mass or its average value D1 that is output by the detection mechanism when the detection mechanism has not extracted is the value obtained by subtracting D from each uncorrected mass obtained by analyzing one type of reference control sample multiple times. The ratio of the standard content, which is the average value of It is sufficient if the value is calculated as the calibration coefficient α and the equation y=A(α(x−D1)) is stored in the calibration curve storage unit as the calibration curve after calibration.

分析される前の試料にどのくらい分析対象の元素が含まれていたかを材料分析や品質管理等において使用しやすい形で表示するには、前記補正演算部が換算した前記補正後質量を前記試料の秤量値で割って、前記試料中に含まれる元素の質量%濃度を算出する分析値算出部をさらに備えたものであればよい。 In order to display how much of the target element was contained in the sample before being analyzed in a form that is easy to use in material analysis, quality control, etc., the corrected mass converted by the correction calculation section is Any device may be used as long as it further includes an analysis value calculation section that calculates the mass % concentration of the element contained in the sample by dividing it by the weighed value.

既存の元素分析装置において例えばプログラムをアップデートするだけで、本発明に係る元素分析装置の校正方法を簡単に利用できるようにするには、試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉と、赤外線吸収法に基づいて抽出されたガスを分析して前記試料に含まれる元素の補正前質量を検出し、分析後のガスが排気されるように構成された検出機構と、前記試料が標準試料である場合に前記検出機構が検出した前記補正前質量と、前記標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する検量線記憶部と、前記補正前質量を前記検量線に基づいて補正後質量に換算する補正演算部と、を備えた元素分析装置に用いられるプログラムであって、基準時において前記試料が基準時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記基準時管理試料の実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出する基準含有量算出部と、前記基準時から所定期間経過した校正時において前記試料が校正時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記校正時管理試料の実測秤量値に基づいて前記目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出する校正時含有量算出部と、前記基準含有量と、前記校正時含有量とに基づいて前記検量線を校正する校正係数を算出する校正係数算出部と、としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする元素分析装置用プログラムを用いれば良い。 In order to be able to easily use the calibration method of an elemental analyzer according to the present invention by simply updating the program in an existing elemental analyzer, it is possible to use heating to gasify and extract the element to be analyzed contained in the sample. a furnace; a detection mechanism configured to analyze the extracted gas based on infrared absorption to detect the uncorrected mass of the element contained in the sample; and exhaust the gas after the analysis; and the sample. a calibration curve storage unit that stores a calibration curve indicating the relationship between the uncorrected mass detected by the detection mechanism and the theoretical content of the element to be analyzed contained in the standard sample when is a standard sample; , a correction calculation unit that converts the uncorrected mass into a corrected mass based on the calibration curve, and the program is used in an elemental analyzer, where the sample is a reference time control sample at a reference time. a reference content calculation unit that calculates a reference content in which the uncorrected mass detected by the detection mechanism is normalized to a value per target weight value based on the actual measured weight value of the control sample at reference time; When the sample is a calibration control sample at the time of calibration after a predetermined period has elapsed since then, the uncorrected mass detected by the detection mechanism is calculated based on the actual weight value of the calibration control sample per the target weight value. a calibration content calculation unit that calculates a content at the time of calibration standardized to a value; and a calibration coefficient calculation unit that calculates a calibration coefficient for calibrating the calibration curve based on the reference content and the content at the time of calibration. What is necessary is to use a program for an elemental analyzer that is characterized by causing a computer to perform the functions of and.

なお、元素分析装置用プログラムは電子的に配信されるものであってもよいし、CD、DVD、フラッシュメモリ等のプログラム記録媒体に記録されているものであってもよい。 The program for the elemental analysis device may be distributed electronically or may be recorded on a program recording medium such as a CD, DVD, or flash memory.

このように本発明に係る元素分析装置の校正方法であれば、前記検出機構の検出する補正前質量を直接校正し、従来のように校正前後における分析値である質量%濃度の比率に基づいて校正係数を算出する場合と比較してより確からしい校正を実現できる。また、前記基準含有量及び前記校正時含有量は実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化された値であるので、実測秤量値におけるばらつきが校正に対して影響を与えにくくできる。 In this way, the calibration method for an elemental analyzer according to the present invention directly calibrates the uncorrected mass detected by the detection mechanism, and can achieve more accurate calibration than the conventional method of calculating a calibration coefficient based on the ratio of mass percent concentrations, which are the analytical values before and after calibration. In addition, since the reference content and the content at the time of calibration are values normalized to a value per target weighing value based on the actual weighing value, variations in the actual weighing value are less likely to affect the calibration.

本発明の第1実施形態における元素分析装置を示す模式図。FIG. 1 is a schematic diagram showing an elemental analyzer according to a first embodiment of the present invention. 第1実施形態の制御演算機構の構成を示す機能ブロック図。FIG. 2 is a functional block diagram showing the configuration of a control calculation mechanism according to the first embodiment. 第1実施形態の元素分析装置を校正するための基準時における管理試料の分析に関する動作を示すフローチャート。5 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample at a reference time for calibrating the elemental analyzer of the first embodiment. 第1実施形態の元素分析装置を校正するための校正時における管理試料の分析と検量線の更新に関する動作を示すフローチャート。4 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample and updating of a calibration curve during calibration of the elemental analyzer of the first embodiment. 第2実施形態の元素分析装置を校正するための基準時における管理試料の分析に関する動作を示すフローチャート。10 is a flowchart showing an operation related to the analysis of a control sample at a reference time for calibrating an elemental analyzer of a second embodiment. 第2実施形態の元素分析装置を校正するための校正時における管理試料の分析と検量線の更新に関する動作を示すフローチャート。7 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample and updating of a calibration curve during calibration to calibrate the elemental analyzer of the second embodiment. 第3実施形態の元素分析装置を校正するための基準時における管理試料の分析に関する動作を示すフローチャート。13 is a flowchart showing an operation related to the analysis of a control sample at a reference time for calibrating the elemental analyzer of the third embodiment. 第3実施形態の元素分析装置を校正するための校正時における管理試料の分析と検量線の更新に関する動作を示すフローチャート。13 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample and updating of a calibration curve during calibration of the elemental analyzer of the third embodiment. 第4実施形態の元素分析装置を校正するための校正時における管理試料の分析と検量線の更新に関する動作を示すフローチャート。12 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample and updating of a calibration curve during calibration to calibrate the elemental analyzer of the fourth embodiment. 第5実施形態の元素分析装置を校正するための基準時における管理試料の分析に関する動作を示すフローチャート。12 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample at a reference time for calibrating the elemental analyzer of the fifth embodiment. 第5実施形態の元素分析装置を校正するための校正時における管理試料の分析と検量線の更新に関する動作を示すフローチャート。12 is a flowchart showing operations related to analysis of a control sample and updating of a calibration curve during calibration to calibrate the elemental analyzer of the fifth embodiment.

本発明の第1実施形態における元素分析装置100について各図を参照しながら説明する。 An elemental analysis apparatus 100 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to each figure.

<構成の説明>
元素分析装置100は、黒鉛るつぼ内に収容された例えば金属試料やセラミックス試料等(以下、単に試料という)を加熱溶解し、その際に発生する試料ガスを分析することにより、当該試料内に含まれている元素の量を測定するものである。第1実施形態では試料中に含まれているO(酸素)、H(水素)、N(窒素)が測定対象となる。
<Description of configuration>
The elemental analyzer 100 heats and melts, for example, a metal sample or a ceramic sample (hereinafter simply referred to as a sample) contained in a graphite crucible, and measures the amount of elements contained in the sample by analyzing the sample gas generated during the process. In the first embodiment, the elements to be measured are O (oxygen), H (hydrogen), and N (nitrogen) contained in the sample.

具体的には図1に示すように、元素分析装置100は、るつぼMPに収容された試料が加熱され、分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉2と、加熱炉2に対してキャリアガスを導入する導入流路L1と、加熱炉からキャリアガスと試料ガスの混合ガスが導出される導出流路L2と、を備えている。より具体的には元素分析装置100は、加熱炉と、導入流路L1又は導出流路L2に設けられた各機器と、各機器の制御や測定された濃度等の演算処理を司る制御演算機構COMによって構成されている。 Specifically, as shown in FIG. 1, the elemental analyzer 100 includes a heating furnace 2 in which a sample accommodated in a crucible MP is heated, gasifies and extracts the element to be analyzed, and a carrier for the heating furnace 2. It includes an introduction channel L1 through which gas is introduced, and an outlet channel L2 through which a mixed gas of carrier gas and sample gas is led out from the heating furnace. More specifically, the elemental analyzer 100 includes a heating furnace, each device provided in the introduction channel L1 or the derivation channel L2, and a control calculation mechanism that controls each device and performs calculation processing of measured concentrations, etc. It is configured by COM.

各部について詳述する。 Each part will be explained in detail.

導入流路L1の基端にはキャリアガスの供給源1であるガスボンベが接続されている。第1実施形態では供給源1からHe(ヘリウム)が導入流路L1内に供給される。 A gas cylinder serving as a carrier gas supply source 1 is connected to the base end of the introduction channel L1. In the first embodiment, He (helium) is supplied from the supply source 1 into the introduction channel L1.

加熱炉2は、試料を収容した黒鉛るつぼMPを一対の電極で挟持し、当該るつぼMPに直接電流を流して、るつぼMP及び試料を加熱するように構成されている。試料からは分析対象の元素であるO、H、NがそれぞれCOガス、Hガス、Nガスの形で抽出される。 The heating furnace 2 is configured so that a graphite crucible MP containing a sample is held between a pair of electrodes, and a current is passed directly through the crucible MP to heat the crucible MP and the sample. O, H, and N, which are the elements to be analyzed, are extracted from the sample in the form of CO gas, H 2 gas, and N 2 gas, respectively.

次に導出流路L2上に設けられている各機器について説明する。 Next, each device provided on the outlet channel L2 will be explained.

図1に示すように導出流路L2上には、ダストフィルタ3と、CO検出部4、酸化器5、CO検出部6、HO検出部7、除去機構8、N検出部9が上流側からこの順番で並べて設けられている。 As shown in FIG. 1, a dust filter 3, a CO detector 4, an oxidizer 5, a CO2 detector 6, an H2O detector 7, a removal mechanism 8, and an N2 detector 9 are arranged in this order from the upstream side on the outlet flow path L2.

各部について詳述する。 Each part will be explained in detail.

ダストフィルタ3は、混合ガスに含まれているすすなどのダストを濾し取り、除塵するものである。 The dust filter 3 filters and removes dust such as soot contained in the mixed gas.

CO検出部4は、ダストフィルタ3を通過した混合ガスに含まれるCO(一酸化炭素)を検出し、その濃度を測定するものであり、NDIR(非分散赤外線吸収法)により、混合ガス中のCOの濃度に応じた電圧信号を出力するように構成されている。このCO検出部4は、その測定精度から試料内部に含まれている酸素が高濃度の場合に有効に動作する。具体的には150ppm以上のCOを測定対象とするのが好ましい。 The CO detection unit 4 detects CO (carbon monoxide) contained in the mixed gas that has passed through the dust filter 3 and measures its concentration. It is configured to output a voltage signal according to the concentration of CO. The CO detection unit 4 operates effectively when the oxygen contained within the sample is high in concentration due to its measurement accuracy. Specifically, it is preferable to measure CO with a concentration of 150 ppm or more.

酸化器5は、CO検出部4を通過した混合ガスに含まれるCOやCOを酸化するとともに、HをHO(水)に酸化して水蒸気を生成するものである。 The oxidizer 5 oxidizes CO and CO 2 contained in the mixed gas that has passed through the CO detection unit 4, and also oxidizes H 2 to H 2 O (water) to generate water vapor.

CO検出部6は、酸化器6を通過した混合ガス中のCOを検出して、その濃度を測定するものであり、NDIRにより混合ガス中のCOの濃度に応じた信号を出力する。このCO検出部6は、測定精度の観点から試料に含まれる酸素が低濃度(例えば150ppm未満)の場合に有効に動作する。 The CO2 detector 6 detects CO2 in the mixed gas that has passed through the oxidation reactor 6 and measures its concentration, outputting a signal according to the concentration of CO2 in the mixed gas by NDIR. From the viewpoint of measurement accuracy, the CO2 detector 6 operates effectively when the oxygen contained in the sample is at a low concentration (for example, less than 150 ppm).

O検出部7は、CO検出部6を通過した混合ガス中のHOを検出して、その濃度を測定するものであり、NDIRにより混合ガス中のH0の濃度に応じた電圧信号を出力する。 The H 2 O detector 7 detects H 2 O in the mixed gas that has passed through the CO2 detector 6 to measure its concentration, and outputs a voltage signal according to the concentration of H 2 O in the mixed gas by NDIR.

除去機構8は、混合ガス中に含まれているCO及びHOを吸着して除去するものである。 The removal mechanism 8 adsorbs and removes CO 2 and H 2 O contained in the mixed gas.

検出部9は、TCD(熱伝導度検出器)であり、混合ガスの熱伝導度の変化と、供給されている混合ガスの流量から混合ガスに含まれている所定成分であるN混合ガス中の濃度を測定する。すなわち、N検出部9に供給される混合ガスはほぼキャリアガスとNだけで構成されているので、混合ガス中に含まれるNの濃度は測定される熱伝導度の変化に対応した値となる。なお、N検出部9を通過した混合ガスは回収されず、排気される。したがって、第1実施形態の元素分析は試料が消失することになる破壊分析である。 The N2 detection unit 9 is a TCD (thermal conductivity detector), and detects N2, which is a predetermined component contained in the mixed gas, based on changes in the thermal conductivity of the mixed gas and the flow rate of the supplied mixed gas. Measures the concentration in a mixed gas. In other words, since the mixed gas supplied to the N2 detection unit 9 consists almost only of the carrier gas and N2 , the concentration of N2 contained in the mixed gas corresponds to the change in the measured thermal conductivity. value. Note that the mixed gas that has passed through the N 2 detection section 9 is not recovered but is exhausted. Therefore, the elemental analysis of the first embodiment is a destructive analysis in which the sample disappears.

制御演算機構COMは例えばCPU、メモリ、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ、各種入出力手段を備えたいわゆるコンピュータであって、メモリに格納されているプログラムが実行され、各種機器が協業することにより元素分析装置100としての分析動作、又は、校正動作が実現される。具体的に制御演算機構COMは、図2の機能ブロック図に示すように少なくとも受付部C1、補正前質量算出部C2、検量線記憶部C3、補正演算部C4、N含有量算出部C5、分析値算出部C6、基準含有量算出部C7、校正時含有量算出部C8、校正データ記憶部C9、校正係数算出部C10、検量線更新部C11としての機能を発揮する。 The control calculation mechanism COM is, for example, a so-called computer equipped with a CPU, memory, A/D converter, D/A converter, and various input/output means, and programs stored in the memory are executed and various devices cooperate. Thus, the analysis operation or calibration operation of the elemental analyzer 100 is realized. Specifically, as shown in the functional block diagram of FIG. 2, the control calculation mechanism COM includes at least a reception section C1, a pre-correction mass calculation section C2, a calibration curve storage section C3, a correction calculation section C4, an N2 content calculation section C5, It functions as an analysis value calculation unit C6, a reference content calculation unit C7, a content calculation unit during calibration C8, a calibration data storage unit C9, a calibration coefficient calculation unit C10, and a calibration curve update unit C11.

各部について詳述する。まず、通常分析に関連する構成について説明する。 We will now go into detail about each part. First, we will explain the configuration related to normal analysis.

受付部C1は、ユーザから元素分析装置100をどのモードで動作させるかを示すモード設定を受け付ける。制御演算機構COMは受け付けられたモード設定に応じて動作が変化するように構成されている。モード設定は、例えば検量線作成モード、通常分析モード、基準データ取得モード、検量線校正モード等がある。また、受付部C1は各種モードで演算に必要となる例えば秤量値等のデータについても受け付ける。 The receiving unit C1 receives a mode setting indicating in which mode the elemental analyzer 100 is to be operated from the user. The control calculation mechanism COM is configured to change its operation depending on the accepted mode setting. Mode settings include, for example, a calibration curve creation mode, a normal analysis mode, a reference data acquisition mode, a calibration curve calibration mode, and the like. The receiving unit C1 also receives data such as weighing values, etc., which are necessary for calculations in various modes.

補正前質量算出部C2は、NDIRに基づいて各ガスの濃度を検出するCO検出部4、CO検出部6、H0検出部7から出力される電圧信号から、各ガス成分の混合ガス中の濃度を取得するとともに、図示しない流量センサから混合ガスの流量を取得する。補正前質量算出部C2は、各時刻での濃度と流量の積算値から、試料に含まれていた分析対象の元素であるO又はHの補正前質量を算出する。なお、CO検出部4、CO検出部6、H0検出部7、及び、補正前質量算出部C2が検出機構DMDMを構成する。 The pre-correction mass calculation unit C2 calculates the mixed gas of each gas component from the voltage signals output from the CO detection unit 4, the CO 2 detection unit 6, and the H 2 0 detection unit 7, which detect the concentration of each gas based on NDIR. At the same time, the flow rate of the mixed gas is obtained from a flow rate sensor (not shown). The pre-correction mass calculation unit C2 calculates the pre-correction mass of O or H, which is the element to be analyzed, contained in the sample from the integrated value of the concentration and flow rate at each time. Note that the CO detection unit 4, the CO 2 detection unit 6, the H 2 0 detection unit 7, and the pre-correction mass calculation unit C2 constitute a detection mechanism DMDM.

検量線記憶部C3は、試料が標準試料である場合に検出機構DMが検出した補正前質量と、標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する。第1実施形態では、検量線は入力変数を補正前質量x、出力変数を補正後質量y、勾配係数Aからなる比例式y=Axである。ここで、補正前質量xは各検出部4、6、7の出力から算出されたO又はHの質量であり、勾配係数Aは各元素で異なる値である。 The calibration curve storage unit C3 stores a calibration curve that indicates the relationship between the uncorrected mass detected by the detection mechanism DM and the theoretical content of the element to be analyzed contained in the standard sample when the sample is a standard sample. do. In the first embodiment, the calibration curve is a proportional equation y=Ax in which the input variable is the mass before correction x, the output variable is the mass after correction y, and the slope coefficient A. Here, the mass before correction x is the mass of O or H calculated from the output of each detection unit 4, 6, and 7, and the gradient coefficient A is a different value for each element.

補正演算部C4は、O又はHの補正前質量をそれぞれの検量線に基づいてO又はHの補正後質量に換算する。 The correction calculation unit C4 converts the pre-correction mass of O or H into the post-correction mass of O or H based on the respective calibration curves.

含有量算出部C5は、N検出部9で検出されたNのガス濃度と混合ガスの流量の積算値から試料に含まれていたNの質量を算出する。 The N 2 content calculation unit C5 calculates the mass of N contained in the sample from the integrated value of the N 2 gas concentration detected by the N 2 detection unit 9 and the flow rate of the mixed gas.

分析値算出部C6は、受付部C1に受け付けられた試料の実測秤量値と、補正演算部C4の出力するO又はHの補正後質量、N含有量算出部C5から算出されるNの質量に基づいて、各元素の試料中の質量%濃度[wt%]を算出する。この算出された値が最終的な分析値としてユーザに対して出力される。 The analysis value calculation section C6 calculates the measured weight value of the sample received by the reception section C1, the corrected mass of O or H output from the correction calculation section C4, and the mass of N calculated from the N2 content calculation section C5. Based on this, the mass % concentration [wt%] of each element in the sample is calculated. This calculated value is output to the user as a final analysis value.

次に検量線の校正に関わるものについて説明する。以下に説明する各部は例えばユーザがモード設定により、元素分析装置100を基準データ取得モード又は検量線校正モードで動作させる場合に機能する。 Next, things related to calibration of the calibration curve will be explained. Each section described below functions, for example, when the user operates the elemental analyzer 100 in a reference data acquisition mode or a calibration curve calibration mode by setting a mode.

基準含有量算出部C7は、基準データ取得モードに設定された場合に検量線の校正を行う場合に必要となる検出機構DMに経時変化が生じる前の状態を示す基準となるデータを算出する。より具体的には基準含有量算出部C7は、基準時において加熱炉2内に基準時管理試料が設置され、当該基準時管理試料の元素分析が行われた場合に検出機構DMが検出する分析対象の元素であるO又はHの補正前質量と、ユーザから受け付けられた基準時管理試料の目標秤量値及び実測秤量値とを取得する。さらに基準含有量算出部C7は、基準時管理試料の実測秤量値に基づいて、基準時管理試料の補正前質量を目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出する。第1実施形態では、基準時管理試料を分析した場合に検出機構DMから得られた補正前質量をm0[mg]、目標秤量値をM[g]、実測秤量値をM0[g]、乗算記号を*、除算記号を/とした場合に、規格化された基準含有量は、m0*M/M0として表すことができる。 The reference content calculation unit C7 calculates reference data indicating a state before a change over time occurs in the detection mechanism DM, which is necessary when calibrating the calibration curve when set to the reference data acquisition mode. More specifically, the reference content calculation unit C7 calculates the analysis detected by the detection mechanism DM when a reference time control sample is installed in the heating furnace 2 at the reference time and elemental analysis of the reference time control sample is performed. The mass before correction of O or H, which is the target element, and the target weight value and the actual weight value of the reference control sample accepted from the user are acquired. Further, the reference content calculation unit C7 calculates a reference content in which the pre-correction mass of the reference time control sample is normalized to a value per target weight value based on the actually measured weight value of the reference time control sample. In the first embodiment, the uncorrected mass obtained from the detection mechanism DM when analyzing the reference control sample is multiplied by m0 [mg], the target weight value by M [g], and the actual measured weight value by M0 [g]. When the symbol is * and the division symbol is /, the standardized reference content can be expressed as m0*M/M0.

校正時含有量算出部C8は、検量線校正モードに設定された場合に検量線の校正を行う場合に必要となる検出機構DMに経時変化が生じた後の状態を示すデータを算出する。より具体的には、校正時含有量算出部C8は、基準時から所定期間経過した後において加熱炉2内に校正時管理試料が設置されて、当該校正時管理試料の元素分析が行われた場合に検出機構DMが検出する分析対象の元素であるO又はHの補正前質量と、ユーザから受け付けられた校正時管理試料の目標秤量値及び実測秤量値とを取得する。なお、校正時において用いられる校正時管理試料は例えば基準時において用いられた基準時管理試料と同じ母材から切り出され、組成がほぼ同じ試料、もしくは、組成が同じことが保証されている試料である。また、目標秤量値は基準時において分析した基準時基準時管理試料の目標秤量値と同じ値である。さらに、校正時含有量算出部C8は、校正時管理試料の実測秤量値に基づいて、校正時管理試料の補正前質量を目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出する。第1実施形態では、校正時管理試料を分析した場合に検出機構DMから得られた補正前質量をm1[mg]、目標秤量値をM[g]、実測秤量値をM1[g]とした場合に、規格化された校正時含有量は、m1*M/M1として表すことができる。 The calibration content calculation unit C8 calculates data indicating the state after a change over time occurs in the detection mechanism DM, which is necessary when calibrating the calibration curve when set to the calibration curve calibration mode. More specifically, the calibration content calculation unit C8 calculates that the calibration control sample is installed in the heating furnace 2 after a predetermined period of time has elapsed from the reference time, and elemental analysis of the calibration control sample is performed. In this case, the uncorrected mass of O or H, which is the element to be analyzed detected by the detection mechanism DM, and the target weight value and actual weight value of the calibration control sample accepted from the user are acquired. Note that the calibration control sample used during calibration is, for example, a sample cut from the same base material as the reference control sample used at the reference time, and has approximately the same composition, or a sample that is guaranteed to have the same composition. be. Further, the target weight value is the same value as the target weight value of the reference time control sample analyzed at the reference time. Further, the calibration content calculation unit C8 calculates the calibration content in which the pre-correction mass of the calibration management sample is normalized to a value per target weight value, based on the actually measured weight value of the calibration management sample. In the first embodiment, when a calibration control sample is analyzed, the mass before correction obtained from the detection mechanism DM is m1 [mg], the target weight value is M [g], and the actual weight value is M1 [g]. In this case, the normalized calibration content can be expressed as m1*M/M1.

校正データ記憶部C9は、対応する基準含有量、及び、校正時含有量を記憶するものである。例えば検量線作成時に合わせて測定された基準含有量がその時点で記憶される。 The calibration data storage unit C9 stores the corresponding reference content and content at the time of calibration. For example, the reference content measured at the time of creating the calibration curve is stored at that time.

校正係数算出部C10は、基準時に得られた基準含有量と、校正時に得られた校正時含有量に基づいて、検量線を校正するための校正係数を算出する。第1実施形態では校正係数算出部C10は、基準含有量に対する校正時含有量の比の値を校正係数αとして算出する。すなわち、校正係数αはα=(m0*M/M0)/(m1*M/M1)として表すことができる。 The calibration coefficient calculation unit C10 calculates a calibration coefficient for calibrating the calibration curve based on the reference content obtained at the reference time and the content at the time of calibration obtained at the time of calibration. In the first embodiment, the calibration coefficient calculation unit C10 calculates the ratio of the content at the time of calibration to the reference content as the calibration coefficient α. That is, the calibration coefficient α can be expressed as α=(m0*M/M0)/(m1*M/M1).

検量線更新部C11は、検量線記憶部C3に記憶されている校正前の検量線y=Axを校正係数αに基づいて校正する。第1実施形態では入力変数xにαを乗じた式y=A(αx)を新たな検量線として検量線記憶部C3に記憶させる。 The calibration curve updating unit C11 calibrates the calibration curve y=Ax before calibration stored in the calibration curve storage unit C3 based on the calibration coefficient α. In the first embodiment, the equation y=A(αx) obtained by multiplying the input variable x by α is stored in the calibration curve storage unit C3 as a new calibration curve.

<校正に関する説明>
このように構成された元素分析装置100の校正に関する動作や、ユーザの操作等について図3及び図4のフローチャートを参照しながら説明する。
<Explanation regarding calibration>
The operation related to the calibration of the elemental analyzer 100 configured in this way, the user's operations, etc. will be explained with reference to the flowcharts of FIGS. 3 and 4.

まず、例えば標準試料に基づいて検量線が作成された直後を基準時として、基準時に基準時管理試料により基準含有量を算出する手順について図3を参照しながら説明する。 First, with reference to Figure 3, we will explain the procedure for calculating the standard content from the reference time control sample, assuming that the reference time is immediately after the calibration curve is created based on the standard sample.

ユーザは目標秤量値となるように秤量した基準時管理試料をるつぼMP内に入れて加熱炉2内に設置する(ステップS1)。次に元素分析装置100を動作させて元素分析を開始する(ステップS2)。基準含有量算出部C7は元素分析によって検出機構DMで検出されたH又はOの補正前質量m0を取得し(ステップS3)、併せて受付部C1にユーザから受け付けられた基準時管理試料の目標秤量値M及び実測秤量値M0を取得する(ステップS4)。基準含有量算出部C7は、取得された各値に基づいて、補正前質量を規格化した基準含有量m0*M/M0を算出する(ステップS5)。算出された基準含有量m0*M/M0が校正データ記憶部C9に記憶される(ステップS6)。 The user places a reference control sample weighed to the target weight value into the crucible MP and places it in the heating furnace 2 (step S1). Next, the elemental analyzer 100 is operated to start elemental analysis (step S2). The reference content calculation unit C7 obtains the uncorrected mass m0 of H or O detected by the detection mechanism DM through elemental analysis (step S3), and also obtains the target of the reference time control sample accepted by the user in the reception unit C1. The weighed value M and the measured weighed value M0 are acquired (step S4). The reference content calculation unit C7 calculates the reference content m0*M/M0, which is the normalized mass before correction, based on each acquired value (step S5). The calculated reference content m0*M/M0 is stored in the calibration data storage section C9 (step S6).

次に、基準時から所定期間経過し検出機構DMに経時変化が現れている時点を校正時として、校正時において校正時管理試料により校正時含有量を算出する手順、さらに検量線を校正する手順について図4を参照しながら説明する。 Next, the time when a certain period of time has passed since the reference time and a change over time is occurring in the detection mechanism DM is defined as the calibration time. The procedure for calculating the calibration time content using the calibration time control sample at the calibration time and the procedure for calibrating the calibration curve will be explained with reference to Figure 4.

校正時含有量を算出する手順は図3に示した基準時含有量を算出する手順(ステップS1~S6)に対応する。すなわち、図4に示すようにユーザは目標秤量値となるように秤量した校正時管理試料をるつぼMP内に入れて加熱炉2内に設置する(ステップS7)。次に元素分析装置100を動作させて元素分析を開始する(ステップS8)。校正時含有量算出部C8は元素分析によって検出機構DMで検出されたH又はOの補正前質量m1を取得し(ステップS9)、併せて受付部C1にユーザから受け付けられた校正時管理試料の目標秤量値M及び実測秤量値M1を取得する(ステップS10)。校正時含有量算出部C8は、取得された各値に基づいて、補正前質量を規格化した校正時含有量m1*M/M1を算出する(ステップS11)。算出された校正時含有量m1*M/M1が校正データ記憶部C9に記憶される(ステップS12)。 The procedure for calculating the calibration content corresponds to the procedure for calculating the reference content shown in FIG. 3 (steps S1 to S6). That is, as shown in FIG. 4, the user places the calibration control sample, which has been weighed to obtain the target weight value, in the crucible MP and places it in the heating furnace 2 (step S7). Next, the elemental analysis device 100 is operated to start elemental analysis (step S8). The calibration content calculation unit C8 acquires the uncorrected mass m1 of H or O detected by the detection mechanism DM through elemental analysis (step S9), and also acquires the target weight value M and the actual weight value M1 of the calibration control sample accepted by the acceptance unit C1 from the user (step S10). The calibration content calculation unit C8 calculates the calibration content m1*M/M1, which is the uncorrected mass standardized based on the acquired values (step S11). The calculated calibration content m1*M/M1 is stored in the calibration data storage unit C9 (step S12).

次に校正係数算出部C10は、基準含有量に対する校正時含有量の比の値(m0*M/M0)/(m1*M/M1)を校正係数αとして算出する(ステップS13)。最後に検量線更新部C11は検量線記憶部C3に記憶されている検量線をy=A(αx)に更新する(ステップS14)。 Next, the calibration coefficient calculation unit C10 calculates the ratio of the content at the time of calibration to the reference content (m0*M/M0)/(m1*M/M1) as the calibration coefficient α (step S13). Finally, the calibration curve updating unit C11 updates the calibration curve stored in the calibration curve storage unit C3 to y=A(αx) (step S14).

<効果の説明>
このような第1実施形態の元素分析装置100の校正方法であれば、分析値として算出される質量%濃度[wt%]ではなく、経時変化が生じる赤外線吸収法に基づく検出機構DMが検出する補正前質量[mg]に基づいて、検量線が校正されるのでより確からしい校正係数αを得ることができる。
<Explanation of effects>
In such a method of calibrating the elemental analyzer 100 of the first embodiment, the detection mechanism DM based on the infrared absorption method, which changes over time, detects the concentration rather than the mass % concentration [wt%] calculated as the analysis value. Since the calibration curve is calibrated based on the mass before correction [mg], a more reliable calibration coefficient α can be obtained.

また、実測秤量値のばらつきについては検出された補正前質量を目標秤量値当たりの値に規格化しているので、基準含有量及び校正時含有量には影響が現れないようにできる。 Further, regarding the variation in the actual measured weight value, since the detected mass before correction is normalized to a value per the target weight value, it is possible to prevent the reference content and the content at the time of calibration from being affected.

次に本発明の第2実施形態における元素分析装置100の校正方法について図5、図6を参照しながら説明する。なお、以降の説明において第1実施形態において説明した部材に対応する部材には同じ符号を付すこととする。 Next, a method for calibrating the elemental analyzer 100 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. In the following description, members corresponding to those described in the first embodiment will be given the same reference numerals.

<校正に関する説明>
第2実施形態の元素分析装置100の校正方法は、理論含有量又は理論濃度が同一の1種類の基準時管理試料について複数回分析を行って基準含有量を算出している点と、理論含有量又は理論濃度が同一の1種類の校正時管理試料について複数回分析を行って校正時含有量を算出している点が第1実施形態の校正方法とは異なっている。
<Explanation regarding calibration>
The calibration method of the elemental analysis apparatus 100 of the second embodiment differs from the calibration method of the first embodiment in that one type of reference time control sample with the same theoretical content or theoretical concentration is analyzed multiple times to calculate the reference content, and in that one type of calibration time control sample with the same theoretical content or theoretical concentration is analyzed multiple times to calculate the calibration time content.

まず、基準含有量の算出手順について図5のフローチャートを参照しながら説明する。 First, the procedure for calculating the reference content will be explained with reference to the flowchart of FIG. 5.

ユーザは目標秤量値となるように秤量した基準時管理試料をるつぼMP内に入れて加熱炉2内に設置する(ステップST1)。次に元素分析装置100を動作させて元素分析を開始する(ステップST2)。基準含有量算出部C7は元素分析によって検出機構DMで検出されたH又はOの補正前質量m0を取得し(ステップST3)、併せて受付部C1にユーザから受け付けられた基準時管理試料の目標秤量値M及び実測秤量値M0を取得する(ステップST4)。ここで、サフィックスiはi回目の分析時に得られたことを示す。基準含有量算出部C7は、取得された各値に基づいて、補正前質量を規格化した値m0*M/M0を算出する(ステップST5)。 The user puts a standard control sample weighed to the target weight value into the crucible MP and places it in the heating furnace 2 (step ST1). Next, the elemental analyzer 100 is operated to start elemental analysis (step ST2). The reference content calculation unit C7 acquires the uncorrected mass m0i of H or O detected by the detection mechanism DM by elemental analysis (step ST3), and also acquires the mass m0 i of the reference time control sample received from the user in the reception unit C1. A target weight value M and an actual weight value M0i are acquired (step ST4). Here, the suffix i indicates that it was obtained during the i-th analysis. The reference content calculation unit C7 calculates a value m0 i *M/M0 i , which is the normalized mass before correction, based on each acquired value (step ST5).

さらに目標回数の分析が終わっていない場合には(ステップST6)、再び同じ種類の基準時管理試料が目標秤量値Mとなるように秤量され、ステップST1~ST5の動作が繰り返される。目標回数の基準時管理試料の分析が完了すると、基準含有量算出部C7は、それぞれの分析で得られた補正前質量を規格化した値の平均値を基準含有量として算出する(ステップST7)。すなわち、基準含有量はAVE(m0*M/M0)と表せる(ここで、AVE( )は( )内の値の平均値を示す)。算出された基準含有量は校正データ記憶部C9に記憶される(ステップST8)。 Further, if the target number of analyzes has not been completed (step ST6), the same type of reference time control sample is weighed again to the target weight value M, and the operations of steps ST1 to ST5 are repeated. When the analysis of the target number of reference time control samples is completed, the reference content calculation unit C7 calculates the average value of the normalized values of the uncorrected masses obtained in each analysis as the reference content (step ST7). . That is, the reference content can be expressed as AVE (m0 i *M/M0 i ) (here, AVE ( ) indicates the average value of the values in ( )). The calculated reference content is stored in the calibration data storage section C9 (step ST8).

次に、校正時含有量の算出手順及び検量線の校正手順について図6のフローチャートを参照しながら説明する。 Next, the procedure for calculating the content at the time of calibration and the procedure for calibrating the calibration curve will be described with reference to the flowchart of FIG. 6.

校正時含有量を算出する手順は図5に示した基準時含有量を算出する手順(ステップST1~ST8)に対応する。すなわち、ユーザは目標秤量値となるように秤量した校正時管理試料をるつぼMP内に入れて加熱炉2内に設置する(ステップST9)。次に元素分析装置100を動作させて元素分析を開始する(ステップST10)。校正時含有量算出部C8は元素分析によって検出機構DMで検出されたH又はOの補正前質量m1を取得し(ステップST11)、併せて受付部C1にユーザから受け付けられた校正時管理試料の目標秤量値M及び実測秤量値M1を取得する(ステップST12)。ここで、サフィックスiはi回目の分析時に得られたことを示す。校正時含有量算出部C8は、取得された各値に基づいて、補正前質量を規格化した値、m1*M/M1を算出する(ステップST13)。 The procedure for calculating the content at the time of calibration corresponds to the procedure for calculating the content at the reference time (steps ST1 to ST8) shown in FIG. That is, the user puts the calibration control sample weighed to the target weight value into the crucible MP and places it in the heating furnace 2 (step ST9). Next, the elemental analyzer 100 is operated to start elemental analysis (step ST10). The calibration content calculation unit C8 acquires the uncorrected mass m1i of H or O detected by the detection mechanism DM by elemental analysis (step ST11), and also obtains the calibration control sample accepted by the user in the reception unit C1. The target weighing value M and the actual measured weighing value M1i are obtained (step ST12). Here, the suffix i indicates that it was obtained during the i-th analysis. The calibration content calculation unit C8 calculates a value obtained by normalizing the mass before correction, m1 i *M/M1 i , based on each acquired value (step ST13).

さらに目標回数の分析が終わっていない場合には(ステップST14)、再び同じ種類の校正時管理試料が目標秤量値Mとなるように秤量され、ステップST9~ST13の動作が繰り返される。目標回数の校正時管理試料の分析が完了すると、基準含有量算出部C7は、それぞれの分析で得られた補正前質量を規格化した値の平均値を基準含有量として算出する(ステップST15)。すなわち、校正時含有量はAVE(m1*M/M1)と表せる。算出された校正時含有量は校正データ記憶部C9に記憶される(ステップST16)。 Furthermore, if the target number of analyses has not been completed (step ST14), the same type of calibration control sample is weighed again to reach the target weighing value M, and the operations of steps ST9 to ST13 are repeated. When the target number of analyses of the calibration control sample are completed, the reference content calculation unit C7 calculates the average value of the normalized values of the uncorrected masses obtained in each analysis as the reference content (step ST15). In other words, the calibration content can be expressed as AVE( m1i *M/ M1i ). The calculated calibration content is stored in the calibration data storage unit C9 (step ST16).

最後に校正係数算出部C10は、基準含有量に対する校正時含有量の値を校正係数αとして算出する(ステップST17)。すなわち、校正係数はα=AVE(m0*M/M0)/AVE(m1*M/M1)と表すことができる。また、検量線更新部C11は得られた校正係数αを用いて、y=A(αx)を新たな検量線として検量線記憶部C3に記憶させる。 Finally, the calibration coefficient calculation unit C10 calculates the value of the content at the time of calibration with respect to the reference content as the calibration coefficient α (step ST17). That is, the calibration coefficient can be expressed as α=AVE(m0 i *M/M0 i )/AVE(m1 i *M/M1 i ). Further, the calibration curve updating unit C11 uses the obtained calibration coefficient α to store y=A(αx) in the calibration curve storage unit C3 as a new calibration curve.

<効果の説明>
このように第2実施形態の元素分析装置100の校正方法であれば、基準含有量及び校正時含有量を理論含有量又は理論濃度が同一の管理試料を複数回分析して得られた値の平均値として算出しているので、様々な要因で発生する偶然誤差の影響を緩和してさらに確からしい校正係数αを得ることができる。
<Explanation of effects>
In this way, in the method of calibrating the elemental analyzer 100 of the second embodiment, the reference content and the content at the time of calibration can be calculated using values obtained by analyzing control samples with the same theoretical content or theoretical concentration multiple times. Since it is calculated as an average value, it is possible to reduce the influence of random errors caused by various factors and obtain a more reliable calibration coefficient α.

次に第2実施形態の変形例について説明する。この変形例では校正前の前記検量線が、2次係数A、1次係数B、定数項Cを有する2次関数y=Ax+Bx+Cである。このように検量線が2次関数である場合でも第2実施形態の校正方法で得られた校正係数αを各入力変数xに乗じることで校正することができる。すなわち、校正後の検量線は、式y=A(αx)+B(αx)+Cとして検量線記憶部C3に記憶される。 Next, a modification of the second embodiment will be described. In this modification, the calibration curve before calibration is a quadratic function y=Ax 2 +Bx+C having a quadratic coefficient A, a first coefficient B, and a constant term C. Even when the calibration curve is a quadratic function as described above, it can be calibrated by multiplying each input variable x by the calibration coefficient α obtained by the calibration method of the second embodiment. That is, the calibration curve after calibration is stored in the calibration curve storage unit C3 as the formula y=A(αx) 2 +B(αx)+C.

次に第3実施形態の元素分析装置100の校正方法について、図7及び図8のフローチャートを参照しながら説明する。なお、第2実施形態の校正方法と同一のステップについては同じ番号を付与するとともに、異なっているステップには番号に-1を付与している。また、第2実施形態の校正方法では存在しなかったステップについては別の番号を付与している。 Next, a method for calibrating the elemental analyzer 100 of the third embodiment will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 7 and 8. Note that steps that are the same as those in the calibration method of the second embodiment are given the same numbers, and steps that are different are given -1. In addition, different numbers are given to steps that did not exist in the calibration method of the second embodiment.

第3実施形態の元素分析装置100の校正方法は、理論含有量又は理論濃度が異なる複数種類の基準時管理試料(基準時第1管理試料、基準時第2管理試料、・・・基準時第n管理試料)をそれぞれ複数回分析して基準含有量が算出される点と、理論含有量又は理論濃度が異なる複数種類の校正時管理試料(校正時第1管理試料、校正時第2管理試料、・・・校正時第n管理試料)をそれぞれ複数回分析して校正時含有量が算出される点が、第2実施形態とは異なっている。また、校正係数算出部C10が複数対の基準含有量と校正時含有量を用いた最小二乗法により校正係数αを算出する点も第2実施形態と異なっている。 The calibration method of the elemental analyzer 100 of the third embodiment differs from the second embodiment in that a reference content is calculated by analyzing multiple types of reference time control samples (first reference time control sample, second reference time control sample, ... nth reference time control sample) with different theoretical content or theoretical concentration multiple times, and a calibration content is calculated by analyzing multiple types of calibration time control samples (first calibration time control sample, second calibration time control sample, ... nth calibration time control sample) with different theoretical content or theoretical concentration multiple times. It also differs from the second embodiment in that the calibration coefficient calculation unit C10 calculates the calibration coefficient α by the least squares method using multiple pairs of reference content and calibration time content.

まず、基準含有量の算出手順について図7のフローチャートを参照しながら説明する。 First, the procedure for calculating the reference content will be explained with reference to the flowchart of FIG. 7.

<校正に関する説明>
ステップST1~ST7でのある種類の基準時管理試料(基準時第j管理試料)について複数回分析して規格化された補正前質量の平均値を基準含有量m0ij*M/M0ijとして算出する手順は第2実施形態と同様であるので説明を省略する。ここで、iはある種類の基準時管理試料(基準時第j管理試料)についてi回目の分析で得られた値であることを示し、jは基準時管理試料の種類を示す識別子である。
<Explanation regarding calibration>
The procedure for calculating the average uncorrected mass normalized by analyzing a certain type of reference control sample (jth reference control sample) multiple times in steps ST1 to ST7 as the reference content m0ij *M/ M0ij is the same as in the second embodiment, and therefore will not be described again, where i indicates the value obtained in the i-th analysis of a certain type of reference control sample (jth reference control sample), and j is an identifier indicating the type of reference control sample.

算出された基準含有量は、その基準時管理試料の種類を示す識別子とともに校正データ記憶部C9に記憶される(ステップST8-1)。全ての種類の基準時管理試料について分析が終了していない場合には(ステップSTA)、基準時管理試料の種類を変更して(ステップSTB)、ステップST1からステップST8-1が繰り返される。最終的には校正データ記憶部C9には、AVE(m0i1*M/M0i1)、AVE(m0i2*M/M0i2)、AVE(m0i3*M/M0i3)・・・が記憶される。 The calculated reference content is stored in the calibration data storage section C9 together with an identifier indicating the type of the reference time control sample (step ST8-1). If the analysis has not been completed for all types of reference time control samples (step STA), the type of reference time control sample is changed (step STB), and steps ST1 to ST8-1 are repeated. Finally, AVE (m0 i1 *M/M0 i1 ), AVE (m0 i2 *M/M0 i2 ), AVE (m0 i3 *M/M0 i3 ), etc. are stored in the calibration data storage unit C9. Ru.

次に、校正時含有量の算出手順及び検量線の校正手順について図8のフローチャートを参照しながら説明する。 Next, the procedure for calculating the content during calibration and the procedure for calibrating the calibration curve will be explained with reference to the flowchart in Figure 8.

校正時含有量を算出する手順は図7に示した基準時含有量を算出する手順(ステップST1~STA)に対応する。また、図8のステップST9からステップST15において、ある種類の校正時管理試料について複数回分析して規格化された補正前質量の平均値を基準含有量m1ij*M/M1ijとして算出する手順は、第2実施形態と同様であるので説明を省略する。ここで、iはある種類の校正時管理試料(校正時第j管理試料)についてi回目の分析で得られた値であることを示し、jは校正時管理試料の種類を示す識別子である。また、校正時における校正時管理試料(校正時第1管理試料、校正時第2管理試料、・・・校正時第n管理試料)の種類は基準時において使用した校正時管理試料(校正時第1管理試料、校正時第2管理試料、・・・校正時第n管理試料)と対応するように設定されている。すなわち、分析対象となる元素の理論含有量又は理論濃度が同一の基準時管理試料と校正時管理試料の対が存在するように選択されている。 The procedure for calculating the content at the time of calibration corresponds to the procedure for calculating the content at the reference time (steps ST1 to STA) shown in FIG. Further, from step ST9 to step ST15 in FIG. 8, a procedure for calculating the average value of the normalized mass before correction by analyzing a certain type of calibration control sample multiple times as the reference content m1 ij *M/M1 ij is the same as the second embodiment, so the explanation will be omitted. Here, i indicates a value obtained in the i-th analysis of a certain type of calibration control sample (jth calibration control sample), and j is an identifier indicating the type of calibration control sample. In addition, the types of calibration control samples (calibration 1st control sample, calibration 2nd control sample, ... calibration nth control sample) during calibration are the calibration control samples used at the reference time (calibration control sample 2). 1 control sample, 2nd control sample at the time of calibration, . . . nth control sample at the time of calibration). That is, the samples are selected so that there are pairs of reference control samples and calibration control samples that have the same theoretical content or theoretical concentration of the element to be analyzed.

算出された校正時含有量は、その校正時管理試料の種類を示す識別子とともに校正データ記憶部C9に記憶される(ステップST16-1)。全ての種類の校正時管理試料について分析が終了していない場合には(ステップSTC)、校正時管理試料の種類を変更して(ステップSTD)、ステップST9からステップST16-1が繰り返される。最終的には校正データ記憶部C9には、AVE(m1i1*M/M1i1)、AVE(m1i2*M/M1i2)、AVE(m1i3*M/M1i3)・・・が記憶される。 The calculated calibration content is stored in the calibration data storage unit C9 together with an identifier indicating the type of the calibration control sample (step ST16-1). If analysis of all types of calibration control samples has not been completed (step STC), the type of calibration control sample is changed (step STD) and steps ST9 to ST16-1 are repeated. Finally, AVE(m1 i1 *M/M1 i1 ), AVE(m1 i2 *M/M1 i2 ), AVE(m1 i3 *M/M1 i3 ), ... are stored in the calibration data storage unit C9.

最後に校正係数算出部C10は、複数対の基準含有量と基準時含有量の原点を通る回帰直線を最小二乗法で算出する。校正係数算出部C10は、その回帰直線の傾きを校正係数αとして出力する(ステップST17-1)。また、検量線更新部C11は得られた校正係数αを用いて、y=A(αx)を新たな検量線として検量線記憶部C3に記憶させる(ステップST18)。 Finally, the calibration coefficient calculation unit C10 calculates a regression line passing through the origin of the plurality of pairs of reference contents and reference contents using the least squares method. The calibration coefficient calculation unit C10 outputs the slope of the regression line as the calibration coefficient α (step ST17-1). Further, the calibration curve updating unit C11 uses the obtained calibration coefficient α to store y=A(αx) as a new calibration curve in the calibration curve storage unit C3 (step ST18).

このように第3実施形態の元素分析装置100の校正方法であれば、検出機構DMから出力される様々な補正前質量の値に基づいて、校正係数αを決定することができるので、例えば補正前質量の値の大きさごとに経時変化が異なっていたとしても、もっとも妥当な校正係数を乗じる事が可能となる。 In this way, according to the method for calibrating the elemental analyzer 100 of the third embodiment, the calibration coefficient α can be determined based on various values of the mass before correction output from the detection mechanism DM. Even if the change over time differs depending on the size of the previous mass value, it is possible to multiply by the most appropriate calibration coefficient.

次に第4実施形態の元素分析装置100の校正方法について、図9のフローチャートを参照しながら説明する。 Next, a method for calibrating the elemental analyzer 100 of the fourth embodiment will be described with reference to the flowchart in FIG.

第4実施形態の元素分析装置100の校正方法は、校正対象となる検量線が比例式ではなく一次式y=Ax+Bである点と、校正係数算出部C10が複数対の基準含有量と校正時含有量の回帰直線から2つの校正係数α、βを算出する点で第3実施形態と異なっている。 The calibration method of the elemental analyzer 100 of the fourth embodiment is that the calibration curve to be calibrated is not a proportional equation but a linear equation y=Ax+B, and that the calibration coefficient calculation unit C10 uses multiple pairs of reference contents and This embodiment differs from the third embodiment in that two calibration coefficients α and β are calculated from the content regression line.

<校正に関する説明>
基準含有量を算出する手順は第3実施形態と同様のため省略する。また、図8におけるステップST9~ステップSTCにおける校正時含有量を算出する手順も第3実施形態と同様であるため省略する。
<Explanation regarding calibration>
The procedure for calculating the reference content is the same as in the third embodiment and will therefore be omitted. Further, the procedure for calculating the content at the time of calibration in steps ST9 to STC in FIG. 8 is also omitted because it is the same as in the third embodiment.

図9に示すように複数対の基準含有量と校正時含有量から校正係数算出部C10は、最小二乗法により回帰直線の傾きを校正係数αとして算出するとともに、回帰直線の切片を校正係数βとして算出する(ステップST17-2)。そして、検量線更新部C11は、y=A(αx+β)+Bを新たな検量線として検量線記憶部C3に記憶させる(ステップST18-2)。 As shown in FIG. 9, the calibration coefficient calculation unit C10 uses the least squares method to calculate the slope of the regression line as the calibration coefficient α, and also calculates the intercept of the regression line as the calibration coefficient β. (Step ST17-2). Then, the calibration curve updating unit C11 stores y=A(αx+β)+B as a new calibration curve in the calibration curve storage unit C3 (step ST18-2).

<効果の説明>
このような第4実施形態の元素分析装置100の校正方法であれば、検量線が例えばブランク影響等を考慮して1次関数として定義されている場合でも、検量線の傾き及び切片について校正することができる。
<Explanation of effects>
With such a method of calibrating the elemental analyzer 100 of the fourth embodiment, even if the calibration curve is defined as a linear function in consideration of blank effects, etc., the slope and intercept of the calibration curve can be calibrated. be able to.

次に第5実施形態の元素分析装置100の校正方法について図10及び図11を参照しながら説明する。 Next, a method for calibrating the elemental analyzer 100 of the fifth embodiment will be described with reference to FIGS. 10 and 11.

第5実施形態の元素分析装置100の校正方法は、検量線がブランク含有量Dを引いた、式y=A(x-D)として定義されている点と、補正前質量からブランク含有量を引いた値を秤量値で規格化している点で第3実施形態と異なっている。 The calibration method of the elemental analysis apparatus 100 of the fifth embodiment differs from that of the third embodiment in that the calibration curve is defined as the equation y = A(x-D) with the blank content D subtracted, and that the value obtained by subtracting the blank content from the uncorrected mass is normalized by the weighing value.

<校正に関する説明>
第5実施形態の校正手順は、図5及び図6で示した第2実施形態の校正手順と一部異なっている。ここでは、異なっている部分のみについて説明する。
<Explanation regarding calibration>
The calibration procedure of the fifth embodiment is partially different from the calibration procedure of the second embodiment shown in FIGS. 5 and 6. Here, only the different parts will be explained.

図10に示すように基準含有量を算出する前に例えば検量線作成時に予めブランク含有量Dの測定が行われる。すなわち、ユーザは加熱炉2に試料なしでるつぼMPのみを設置し(ステップSTE)、元素分析が開始される(ステップSTF)。基準含有量算出部C7は、検出機構DMが検出した補正前質量をブランク含有量Dとして取得する(ステップSTG)。ステップST1~ステップST4は第2実施形態と同様であり、ステップST5-1に示すように、基準含有量算出部C7は、補正前質量m0からブランク含有量Dを差し引いた値について、実測秤量値M0に基づき目標秤量値M当たりの値(m0-D)*M/M0に規格化する。また、ステップST5-1で算出された値(m0-D)*M/M0の平均値AVE((m0-D)*M/M0)が基準含有量として算出される(ステップST7-1)。 As shown in FIG. 10, before calculating the reference content, the blank content D is measured in advance, for example, when creating a calibration curve. That is, the user places only the crucible MP without a sample in the heating furnace 2 (step STE), and elemental analysis is started (step STF). The reference content calculation unit C7 obtains the uncorrected mass detected by the detection mechanism DM as the blank content D (step STG). Steps ST1 to ST4 are the same as those in the second embodiment, and as shown in step ST5-1, the reference content calculation unit C7 normalizes the value obtained by subtracting the blank content D from the uncorrected mass m0 i to a value (m0 i -D) * M/M0 i per target weighing value M based on the actual weighing value M0 i . In addition, the average value AVE ((m0 i -D) * M/M0 i ) of the value (m0 i -D) * M/M0 i calculated in step ST5-1 is calculated as the reference content (step ST7-1).

図11に示すように校正時含有量を算出する際にも、校正時におけるブランク含有量D1が測定される。すなわち、ユーザは加熱炉2に試料なしでるつぼのみを設置し(ステップSTH)、元素分析が開始される(ステップSTI)。校正時含有量算出部C8は、検出機構DMが検出した補正前質量をブランク含有量D1として取得する(ステップSTJ)。ステップST10~ステップST12は第2実施形態と同様であり、ステップST13-1に示すように、校正時含有量算出部C8は、補正前質量m1からブランク含有量D1を差し引いた値について、実測秤量値M1iに基づき目標秤量値M当たりの値(m1-D1)*M/M1に規格化する。また、ステップST13-1で算出された値(m1-D1)*M/M1の平均値AVE((m1-D1)*M/M1)が校正時含有量として算出される(ステップST15-1)。 As shown in FIG. 11, when the calibration content is calculated, the blank content D1 at the time of calibration is also measured. That is, the user places only the crucible without a sample in the heating furnace 2 (step STH), and elemental analysis is started (step STI). The calibration content calculation unit C8 obtains the uncorrected mass detected by the detection mechanism DM as the blank content D1 (step STJ). Steps ST10 to ST12 are the same as those in the second embodiment, and as shown in step ST13-1, the calibration content calculation unit C8 normalizes the value obtained by subtracting the blank content D1 from the uncorrected mass m1 i to a value (m1 i -D1)*M/M1 i per target weighing value M based on the actual weighing value M1 i. In addition, the average value AVE ((m1 i -D1)*M/M1 i ) of the value (m1 i -D1)*M/M1 i calculated in step ST13-1 is calculated as the calibration content (step ST15-1).

最後に校正係数算出部C10は、基準含有量に対する校正時含有量の比の値AVE((m0-D)*M/M0)/AVE((m1-D1)*M/M1)を校正係数αとして算出する(ステップST17)。そして、検量線更新部C11は校正係数αを用いて式y=A(α(x-D1))を新たな検量線として検量線記憶部C3に記憶させる。 Finally, calibration coefficient calculation unit C10 calculates the ratio of the content at calibration to the reference content, AVE(( m0i -D)*M/ M0i )/AVE((m1i - D1)*M/ M1i ), as the calibration coefficient α (step ST17). Then, calibration curve update unit C11 uses the calibration coefficient α to store the equation y=A(α(x-D1)) as a new calibration curve in calibration curve memory unit C3.

<効果の説明>
このように第5実施形態の元素分析装置100の校正方法であれば、検量線がブランク成分を引いて作成された場合でも校正できる。なお、ブランク含有量Dの測定については、試料なしでるつぼMPのみを設置した状態で元素分析をした場合に限られず、ゼロ点としたい状態での元素分析時に測定される値であればよい。すなわち、第5実施形態のように加熱炉2がインパルス加熱をするものであって、試料とともにフラックスを加えて元素分析が行われる場合には、るつぼMP内にフラックスのみを加えた状態で元素分析を行い、ブランク含有量Dの測定を行えば良い。また、加熱炉において試料を高周波加熱し、試料とともに助燃剤を使用する場合、又は、試料とともに助燃剤及び純鉄を使用する場合には、試料なしで助燃剤だけを元素分析する、又は、助燃剤及び純鉄だけを元素分析してブランク含有量Dの測定を行えばよい。
<Explanation of effects>
As described above, the method for calibrating the elemental analyzer 100 of the fifth embodiment allows calibration even when the calibration curve is created by subtracting blank components. Note that the measurement of the blank content D is not limited to the case where elemental analysis is performed in a state where only the crucible MP is installed without a sample, and any value that is measured during elemental analysis in a state where the zero point is desired may be used. That is, when the heating furnace 2 performs impulse heating as in the fifth embodiment and elemental analysis is performed with flux added together with the sample, elemental analysis is performed with only the flux added in the crucible MP. The blank content D may be measured by performing the following steps. In addition, when a sample is high-frequency heated in a heating furnace and a combustion improver is used together with the sample, or when a combustion improver and pure iron are used together with the sample, elemental analysis of only the combustion improver without the sample, or The blank content D may be measured by elemental analysis of only the fuel and pure iron.

その他の実施形態について説明する。 Other embodiments will be described.

検出機構が赤外線吸収法によりその質量を検出する分析対象の元素はOやHに限られない。例えば分析対象の元素はC(炭素)やS(硫黄)であっても構わない。すなわち、元素分析装置は図1に示したものに限られず、検出機構がCやSの補正前質量を検出するように構成されているものであってもよい。より具体的には前述した各実施形態では分析対象の元素であるOやHを測定するために、加熱炉内に対してArやHe等の不活性ガスを導入しながら、黒鉛るつぼ内の試料をインパルス加熱により溶融させて成分ガスを抽出するものであった。これに対して、分析対象の元素であるCやSを測定するために、加熱炉内に対して助燃ガスを導入しながら、セラミックるつぼ内に収容された試料を高周波誘導加熱で燃焼させることで、成分ガスを得るようにしてもよい。また、分析対象の元素であるCやSを測定するために、加熱炉内に助燃ガスを導入しながら、石英ボート内に収容された試料を電気抵抗加熱により燃焼させるようにしてもよい。これらのように加熱方式、導入されるガスやるつぼの種類が異なっていても、検量線による質量の算出過程はほぼ同様であるので、本発明に係る校正方法によって検量線を校正できる。 The elements to be analyzed, the mass of which is detected by the detection mechanism using infrared absorption, are not limited to O and H. For example, the elements to be analyzed may be C (carbon) and S (sulfur). That is, the elemental analysis device is not limited to that shown in FIG. 1, and the detection mechanism may be configured to detect the uncorrected mass of C and S. More specifically, in the above-mentioned embodiments, in order to measure the elements to be analyzed, O and H, the sample in the graphite crucible is melted by impulse heating while an inert gas such as Ar or He is introduced into the heating furnace, and the component gas is extracted. In contrast, in order to measure the elements to be analyzed, C and S, the component gas may be obtained by burning the sample contained in the ceramic crucible by high-frequency induction heating while introducing a supporting gas into the heating furnace. In addition, in order to measure the elements to be analyzed, C and S, the sample contained in the quartz boat may be burned by electrical resistance heating while introducing a supporting gas into the heating furnace. As described above, even if the heating method and the type of gas introduced and the crucible are different, the calculation process of the mass using the calibration curve is almost the same, so the calibration curve can be calibrated by the calibration method according to the present invention.

また、元素分析装置は赤外線吸収法により1種類の元素のみを分析対象とするものであってもよい。 The elemental analyzer may also be one that analyzes only one type of element using infrared absorption.

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や各実施形態の一部同士を組み合わせても構わない。 In addition, various modifications of the embodiments or combinations of parts of each embodiment may be made as long as they do not go against the spirit of the present invention.

100・・・元素分析装置
2 ・・・加熱炉
DM ・・・検出機構
C3 ・・・検量線記憶部
C4 ・・・補正演算部
C6 ・・・分析値算出部
C7 ・・・基準含有量算出部
C8 ・・・校正時含有量算出部
C10・・・校正係数算出部
100...Elemental analyzer 2...Heating furnace DM...Detection mechanism C3...Calibration curve storage section C4...Correction calculation section C6...Analysis value calculation section C7...Standard content calculation Part C8... Calibration content calculation part C10... Calibration coefficient calculation part

Claims (12)

試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉と、赤外線吸収法に基づいて抽出されたガスを分析して前記試料に含まれる元素の補正前質量を検出し、分析後のガスが排気されるように構成された検出機構と、前記試料が標準試料である場合に前記検出機構が検出した前記補正前質量と、前記標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する検量線記憶部と、前記補正前質量を前記検量線に基づいて補正後質量に換算する補正演算部と、を備えた元素分析装置の校正方法であって、
基準時において前記試料が基準時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記基準時管理試料の実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出し、
前記基準時から所定期間経過した校正時において前記試料が校正時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記校正時管理試料の実測秤量値に基づいて前記目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出し、
前記基準含有量と、前記校正時含有量とに基づいて前記検量線を校正する校正係数を算出することを特徴とする元素分析装置の校正方法。
A heating furnace that gasifies and extracts the element to be analyzed contained in the sample, and a heating furnace that analyzes the extracted gas based on infrared absorption method to detect the uncorrected mass of the element contained in the sample, and extracts the gas after analysis. a detection mechanism configured to exhaust the sample, the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a standard sample, and the theoretical content of the element to be analyzed contained in the standard sample. A method for calibrating an elemental analyzer, comprising: a calibration curve storage section that stores a calibration curve showing a relationship between ,
A reference content in which the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a reference time control sample at the reference time is normalized to a value per target weight value based on the actual measured weight value of the reference time control sample. Calculate the amount,
When the sample is a calibration control sample at the time of calibration after a predetermined period has elapsed from the reference time, the pre-correction mass detected by the detection mechanism is set to the target weight value based on the actually measured weight value of the calibration control sample. Calculate the content at the time of calibration normalized to the permissible value,
A method for calibrating an elemental analyzer, comprising calculating a calibration coefficient for calibrating the calibration curve based on the reference content and the content at the time of calibration.
前記検量線が、前記補正前質量を入力変数x、前記補正後質量を出力変数y、とする関数であり、
前記校正係数として前記入力変数xに乗じられるαを少なくとも算出する請求項1記載の元素分析装置の校正方法。
The calibration curve is a function in which the pre-correction mass is an input variable x and the post-correction mass is an output variable y,
The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 1, further comprising calculating at least α by which the input variable x is multiplied as the calibration coefficient.
前記基準時において1種類の基準時管理試料について1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、各補正前質量の平均値を1つの前記基準含有量として算出し、
前記校正時において1種類の校正時管理試料について1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、各補正前質量の平均値を1つの前記校正時含有量として算出し、
前記基準含有量に対する前記校正時含有量の比の値を前記校正係数αとして算出する請求項2記載の元素分析装置の校正方法。
Calculating the pre-correction mass obtained by analyzing one type of reference time control sample one or more times at the reference time, or the average value of each pre-correction mass as one reference content,
Calculate the pre-correction mass obtained by analyzing one type of calibration control sample one or more times during the calibration, or the average value of each pre-correction mass as one content at the time of calibration,
3. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 2, wherein a value of the ratio of the content at the time of calibration to the reference content is calculated as the calibration coefficient α.
前記基準時において分析対象の元素の理論含有量又は理論濃度が異なる複数種類の基準時管理試料についてそれぞれ1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、種類ごとの各補正前質量の平均値を複数の前記基準含有量として算出し、
前記校正時において複数種類の前記基準時管理試料と対応する複数種類の校正時管理試料についてそれぞれ1又は複数回分析して得られた前記補正前質量、又は、種類ごとの各補正前質量の平均値を複数の前記校正時含有量として算出し、
複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組に基づく最小二乗法によって前記校正係数αを算出する請求項2記載の元素分析装置の校正方法。
The mass before correction obtained by analyzing multiple types of reference time control samples each having different theoretical content or theoretical concentration of the element to be analyzed at the reference time once or multiple times, or each mass before correction for each type. Calculate the average value of the plurality of reference contents,
The mass before correction obtained by analyzing each of the plurality of types of standard time control samples and the corresponding plurality of types of calibration control samples at the time of calibration one or more times, or the average of each type of mass before correction. Calculate the value as a plurality of contents at the time of calibration,
3. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 2, wherein the calibration coefficient α is calculated by a least squares method based on a plurality of pairs of the reference content and the content at the time of calibration.
校正前の前記検量線が、傾きAを有する比例式y=Axであり、
前記校正係数αとして複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組の原点を通る回帰直線の傾きを最小二乗法によって算出し、
前記検量線記憶部に式y=A(αx)を校正後の検量線として記憶させる請求項4記載の元素分析装置の校正方法。
The calibration curve before calibration is a proportional equation y=Ax with a slope A,
Calculating the slope of a regression line passing through the origin of a plurality of pairs of the reference content and the calibration content as the calibration coefficient α by the least squares method;
5. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 4, wherein the equation y=A(αx) is stored in the calibration curve storage unit as a calibration curve after calibration.
校正前の前記検量線が、傾きA、切片Bを有する一次関数y=Ax+Bであり、
前記校正係数αとして複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組の回帰直線の傾きを算出するとともに、校正係数βとして前記回帰直線の切片を算出し、
前記検量線記憶部に式y=A(αx+β)+Bを校正後の検量線として記憶させる請求項4記載の元素分析装置の校正方法。
The calibration curve before calibration is a linear function y=Ax+B having a slope A and an intercept B,
Calculating the slope of a regression line of a plurality of pairs of the reference content and the calibration content as the calibration coefficient α, and calculating the intercept of the regression line as the calibration coefficient β;
5. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 4, wherein the equation y=A(αx+β)+B is stored in the calibration curve storage unit as a calibration curve after calibration.
校正前の前記検量線が、入力変数xの多項式であり、
前記校正係数αとして複数対からなる前記基準含有量と前記校正時含有量の組の回帰直線の傾きを算出するとともに、校正係数βとして前記回帰直線の切片を算出し、
前記検量線記憶部に入力変数を(αx+β)に変換した式を校正後の検量線として記憶させる請求項4記載の元素分析装置の校正方法。
The calibration curve before calibration is a polynomial of input variable x,
Calculating the slope of a regression line of a plurality of pairs of the reference content and the calibration content as the calibration coefficient α, and calculating the intercept of the regression line as the calibration coefficient β;
5. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 4, wherein an equation obtained by converting an input variable into (αx+β) is stored in the calibration curve storage unit as a calibration curve after calibration.
校正前の前記検量線が、2次係数A、1次係数B、定数項Cを有する2次関数y=Ax+Bx+Cであり、
1種類の基準時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量の平均値である前記基準含有量と、1種類の校正時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量の平均値である前記校正時含有量の比の値を前記校正係数αとして算出し、
前記検量線記憶部に式y=A(αx)+B(αx)+Cを校正後の検量線として記憶させる請求項3記載の元素分析装置の校正方法。
The calibration curve before calibration is a quadratic function y=Ax 2 +Bx+C having a quadratic coefficient A, a linear coefficient B, and a constant term C,
The reference content is the average value of each pre-correction mass obtained by analyzing one type of standard control sample multiple times, and each pre-correction mass obtained by analyzing one type of calibration control sample multiple times. Calculate the ratio value of the content at the time of calibration, which is the average value of the mass, as the calibration coefficient α,
4. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 3, wherein the equation y=A(αx) 2 +B(αx)+C is stored in the calibration curve storage unit as a calibration curve after calibration.
校正前の前記検量線が、傾きA、検量線作成時において試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出していない場合に前記検出機構が出力する前記補正前質量又はその平均値Dを有するy=A(x-D)であり、
前記校正時において試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出していない場合に前記検出機構が出力する前記補正前質量又はその平均値D1として、
1種類の基準時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量からDを引いた値の平均値である前記基準含有量と、1種類の校正時管理試料について複数回分析して得られた各補正前質量からD1を引いた値の平均値である前記校正時含有量の比の値を前記校正係数αとして算出し、
前記検量線記憶部に式y=A(α(x-D1))を校正後の検量線として記憶させる請求項3記載の元素分析装置の校正方法。
The calibration curve before calibration has a slope A, and the detection mechanism outputs the mass before correction or its average value D when the analysis target element contained in the sample is not extracted by gasification at the time of creating the calibration curve. y=A(x-D),
As the uncorrected mass or its average value D1 output by the detection mechanism when the element to be analyzed contained in the sample is not gasified and extracted during the calibration,
The standard content is the average value of the values obtained by subtracting D from each uncorrected mass obtained by analyzing one type of standard control sample multiple times, and Calculate the value of the ratio of the content at the time of calibration, which is the average value of the values obtained by subtracting D1 from each obtained mass before correction, as the calibration coefficient α,
4. The method for calibrating an elemental analyzer according to claim 3, wherein the equation y=A(α(x-D1)) is stored in the calibration curve storage unit as a calibration curve after calibration.
試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉と、
赤外線吸収法に基づいて抽出されたガスを分析して前記試料に含まれる元素の補正前質量を検出し、分析後のガスが排気されるように構成された検出機構と、
前記試料が標準試料である場合に前記検出機構が検出した前記補正前質量と、前記標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する検量線記憶部と、
前記補正前質量を前記検量線に基づいて補正後質量に換算する補正演算部と、
基準時において前記試料が基準時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記基準時管理試料の実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出する基準含有量算出部と、
前記基準時から所定期間経過した校正時において前記試料が校正時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記校正時管理試料の実測秤量値に基づいて前記目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出する校正時含有量算出部と、
前記基準含有量と、前記校正時含有量とに基づいて前記検量線を校正する校正係数を算出する校正係数算出部と、を備えたことを特徴とする元素分析装置。
A heating furnace that gasifies and extracts the element to be analyzed contained in the sample;
a detection mechanism configured to analyze the extracted gas based on an infrared absorption method, detect the uncorrected mass of the element contained in the sample, and exhaust the gas after the analysis;
a calibration curve memory that stores a calibration curve indicating the relationship between the uncorrected mass detected by the detection mechanism and the theoretical content of the element to be analyzed contained in the standard sample when the sample is a standard sample; Department and
a correction calculation unit that converts the pre-correction mass into a post-correction mass based on the calibration curve;
A reference content in which the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a reference time control sample at the reference time is normalized to a value per target weight value based on the actual measured weight value of the reference time control sample. a standard content calculation unit that calculates the amount;
When the sample is a calibration control sample at the time of calibration after a predetermined period has elapsed from the reference time, the pre-correction mass detected by the detection mechanism is set to the target weight value based on the actually measured weight value of the calibration control sample. a calibration content calculation unit that calculates the calibration content normalized to the permissible value;
An elemental analysis device comprising: a calibration coefficient calculation unit that calculates a calibration coefficient for calibrating the calibration curve based on the reference content and the content at the time of calibration.
前記補正演算部が換算した前記補正後質量を前記試料の秤量値で割って、前記試料中に含まれる元素の質量%濃度を算出する分析値算出部をさらに備えた請求項10記載の元素分析装置。 The elemental analysis according to claim 10, further comprising an analysis value calculation unit that calculates the mass % concentration of the element contained in the sample by dividing the corrected mass converted by the correction calculation unit by the weighed value of the sample. Device. 試料に含まれる分析対象の元素をガス化して抽出する加熱炉と、赤外線吸収法に基づいて抽出されたガスを分析して前記試料に含まれる元素の補正前質量を検出し、分析後のガスが排気されるように構成された検出機構と、前記試料が標準試料である場合に前記検出機構が検出した前記補正前質量と、前記標準試料に含まれる分析対象の元素の理論含有量との間の関係を示す検量線を記憶する検量線記憶部と、前記補正前質量を前記検量線に基づいて補正後質量に換算する補正演算部と、を備えた元素分析装置に用いられるプログラムであって、
基準時において前記試料が基準時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記基準時管理試料の実測秤量値に基づいて目標秤量値当たりの値に規格化した基準含有量を算出する基準含有量算出部と、
前記基準時から所定期間経過した校正時において前記試料が校正時管理試料である場合に前記検出機構が検出する前記補正前質量を、前記校正時管理試料の実測秤量値に基づいて前記目標秤量値当たりの値に規格化した校正時含有量を算出する校正時含有量算出部と、
前記基準含有量と、前記校正時含有量とに基づいて前記検量線を校正する校正係数を算出する校正係数算出部と、としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする元素分析装置用プログラム。
A heating furnace that gasifies and extracts the element to be analyzed contained in the sample, and a heating furnace that analyzes the extracted gas based on infrared absorption method to detect the uncorrected mass of the element contained in the sample, and extracts the gas after analysis. a detection mechanism configured to exhaust the sample, the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a standard sample, and the theoretical content of the element to be analyzed contained in the standard sample. A program for use in an elemental analyzer, comprising: a calibration curve storage unit that stores a calibration curve showing a relationship between hand,
A reference content in which the uncorrected mass detected by the detection mechanism when the sample is a reference time control sample at the reference time is normalized to a value per target weight value based on the actual measured weight value of the reference time control sample. a standard content calculation unit that calculates the amount;
When the sample is a calibration control sample at the time of calibration after a predetermined period has elapsed from the reference time, the pre-correction mass detected by the detection mechanism is set to the target weight value based on the actually measured weight value of the calibration control sample. a calibration content calculation unit that calculates the calibration content normalized to the permissible value;
A program for an elemental analyzer, characterized in that the program causes a computer to perform a function as a calibration coefficient calculation unit that calculates a calibration coefficient for calibrating the calibration curve based on the reference content and the content at the time of calibration. .
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