JP2022054938A - 検査装置、検査システム、検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査装置の汎用性を向上させることを目的とする。【解決手段】検査対象物と対応付いた、前記検査対象物に照射する光のパターンを特定するパターン画像データに基づき、前記検査対象物に光を照射する投影装置と、前記投影装置により光が照射された前記検査対象物を撮像し、撮像された画像データを出力する撮像装置と、を有する検査装置である。【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置、検査システム、検査方法に関する。

従来から、検査対象物に対して光を照射し、検査対象物の表面からの反射光を画像データとして撮像し、撮像した画像データに基づき検査対象物の異常を検出する検査装置が知られている。この検査装置では、検査対象物の種類や形状に合わせて、台座や光源の位置が固定されており、台座に設置された検査対象物に対して、決められた位置に光を照射する。

従来の検査装置では、検査対象物の種類や形状が変わる度に、光源と台座の位置の調整や、場合によっては新たな検査装置の導入等が必要となる。このため、従来の検査装置は、検査装置毎に決められた検査対象物以外の検査に用いることが困難であり、汎用性が乏しい。

開示の技術は、検査装置の汎用性を向上させることを目的とする。

開示の技術は、検査対象物と対応付いた、前記検査対象物に照射する光のパターンを特定するパターン画像データに基づき、前記検査対象物に光を照射する投影装置と、前記投影装置により光が照射された前記検査対象物を撮像し、撮像された画像データを出力する撮像装置と、を有する検査装置である。

検査装置の汎用性を向上させることができる。

第一の実施形態の検査システムのシステム構成の一例を示す図である。 検査装置の外観を説明する図である。 検査装置の枠部を説明する図である。 検査装置のＡ－Ａ断面図である。 第一の実施形態のパターン画像データについて説明する図である。 第二の実施形態の検査装置の断面図である。 第二の実施形態の筐体内部の正面図である。 第二の実施形態の筐体内部の側面図である。 管理装置の処理を説明する第一の図である。 管理装置の処理を説明する第二の図である。

（第一の実施形態）
以下に図面を参照して、第一の実施形態について説明する。図１は、第一の実施形態の検査システムのシステム構成の一例を示す図である。

本実施形態の検査システム１００は、検査装置２００と、管理装置３００とを有する。検査システム１００において、検査装置２００と、管理装置３００とは、有線又は無線等のネットワークを介して接続される。

本実施形態の検査装置２００は、投影装置２１０と、撮像装置２６０とを有する。検査装置２００は、投影装置２１０により、管理装置３００から送信されたパターン画像データに基づき、検査対象物に光を照射し、撮像装置２６０により、検査対象物の反射光を画像データとして撮像し、撮像した画像データを管理装置３００へ出力（送信）する。本実施形態のパターン画像データは、検査対象物に対して、投影装置２１０から出射される光が照射される位置を特定するための画像データである。

管理装置３００は、例えば、演算処理装置と記憶装置とを有する一般的な情報処理装置であってよい。管理装置３００は、検査対象物毎のパターン画像データを格納するパターン画像記憶装置３１０を有する。パターン画像記憶装置３１０は、例えば、管理装置３００の有する記憶装置の一部であってよい。

パターン画像記憶装置３１０では、検査対象物毎に、予め生成されたパターン画像データが格納される。言い換えれば、パターン画像記憶装置３１０は、検査対象物を識別する情報と、パターン画像データとを対応付けて格納する。

本実施形態では、例えば、１つの検査対象物に対して、複数のパターン画像データが対応付けられていてもよい。その場合、管理装置３００は、検査対象物が特定されると、検査対象物と対応したパターン画像データを検査装置２００に送信する。

本実施形態では、このように、検査対象物に対して複数のパターン画像データを照射し、反射光を撮像することで、検査対象物に照射される光の位置を、簡単に変更することができる。

また、本実施形態では、検査対象物毎のパターン画像データがパターン画像記憶装置３１０に格納されているため、検査対象物の種類や形状に関わらず、検査装置２００を用いて検査を行うことができる。

また、本実施形態では、検査対象物と対応するパターン画像データがパターン画像記憶装置３１０に格納されていない場合には、管理装置３００において、検査対象物と対応するパターン画像データを作成するだけで、検査を行うことができる。

また、検査対象物に対応付けられるパターン画像データは、例えば、パターン画像記憶装置３１０に格納されたパターン画像データを、順次切り替えて、検査対象物２５０に照射し、撮像装置２６０から得られる画像データが最も適切と判断されたものに決定されてもよい。

このように、本実施形態によれば、例えば、少量多品種の検査対象物の検査を行う場合であっても、検査対象物に合わせてパターン画像データを切り替えるだけで、各検査対象物の検査を行うことができ、検査装置２００の汎用性を向上させることができる。

次に、図２乃至図４を参照して、本実施形態の検査装置２００について説明する。図２は、検査装置の外観を説明する図である。図３は、検査装置の枠部を説明する図である。図４は、検査装置のＡ－Ａ断面図である。尚、以下の説明では、便宜上、図中Ｚ軸方向を上下方向とし、図中Ｙ軸方向を前後方向とし、図中Ｘ軸方向を左右方向とする。

本実施形態の検査装置２００は、投影装置２１０（図３参照）、カバー部材２１５、筐体２２０、枠部２２５、２２６、台座（ジグ）２３０を有する。

投影装置２１０は、枠部２２５に固定されて、カバー部材２１５に覆われた状態で、筐体２２０の上部に固定される。投影装置２１０は、検査装置２００から送信されたパターン画像データに基づき、筐体２２０の内部へ光を照射する。

筐体２２０は、枠部２２６の周囲を覆うように取り付けられるものであり、外光が検査対象物に照射されることを抑制する。筐体２２０の内側を黒色である。本実施形態では、この筐体２２０を有することで、検査装置２００の設置場所に基づく環境の変化の影響を受けず、再現性の高い検査を行うことができる。

また、筐体２２０は、台座２３０が差し込まれる開口部２４０を有する。

台座２３０は、検査対象物２５０毎に、検査対象物２５０の種類や形状等に合わせて予め作成される。開口部２４０には、検査対象物２５０が設置された状態の台座２３０が差し込まれる。

尚、図２の例では、開口部２４０に台座２３０が差し込まれるものとしたが、これに限定されない。本実施形態の検査装置２００において、開口部２４０は、前後方向に貫通するようなトンネル型に形成されていてもよく、検査装置２００が検査対象物２５０の製造ラインを跨ぐように設置されてもよい。また、検査対象物２５０を設置した台座２３０を、前後方向にスライドさせてもよい。

枠部２２５は、投影装置２１０と、カバー部材２１５とを固定するための部材である。枠部２２６は、撮像装置２６０が固定される固定部材２７０が取り付けられている。固定部材２７０の先端には、撮像装置２６０が固定されている。尚、固定部材２７０と撮像装置２６０とは、検査対象物２５０（ワーク）に対して照射される光を遮らない位置に配置される。

撮像装置２６０は、投影装置２１０から投影された光が照射された状態の検査対象物を撮像し、撮像した画像データを管理装置３００へ送信する。

次に、図５を参照して、本実施形態の管理装置３００から投影装置２１０へ送信されるパターン画像データについて説明する。図５は、第一の実施形態のパターン画像データについて説明する図である。

図５に示すパターン画像５１、５２、５３、５４のそれぞれは、管理装置３００のパターン画像記憶装置３１０に格納されたパターン画像データを投影した場合の投影画像である。

パターン画像記憶装置３１０に格納されるパターン画像データは、予め管理装置３００において生成されても良いし、管理装置３００が外部の装置等から取得したものであってもよい。パターン画像データは、任意の方法で、任意のパターンに生成することができる。

パターン画像５１は、中央の矩形領域５１ａに光が照射されるように生成されたパターン画像データを投影した場合の投影画像である。パターン画像５１を示すパターン画像データが検査対象物２５０に照射された場合、検査対象物２５０は、矩形領域５１ａと対応する部分にのみ、光が照射される。

したがって、例えば、検査対象物２５０の上面が、矩形領域５１ａよりも大きく、矩形領域５１ａを含む場合には、検査対象物２５０の上面のうち、矩形領域５１ａと対応する領域にのみ、光が照射される。

パターン画像５２は、矩形領域５１ａよりも広い矩形領域５２ａに光が照射されるように生成したパターン画像データを投影した場合の投影画像である。パターン画像５１を示すパターン画像データが検査対象物２５０に照射された場合も、検査対象物２５０の上面が、矩形領域５２ａよりも大きく、矩形領域５２ａを含む場合には、検査対象物２５０の上面にのみ、光が照射される。

また、例えば、検査対象物２５０の上面が、矩形領域５２ａよりも狭い領域には、投影装置２１０から照射される光は、検査対象物２５０の側面等にも照射されることになる。

パターン画像５３は、色の濃淡を有するように生成されたパターン画像データを投影した場合の投影画像である。パターン画像５３では、パターン画像の一部である領域５３ａにおいて、色の濃度が他の領域よりもうすくしている。尚、図５の例では、パターン画像５３は、黒色の濃淡を有するものとしたが、色は黒色に限定されず、ＲＧＢ値で表現される色であれば、どの色でもよい。

パターン画像５３が検査対象物２５０に投影された場合、検査対象物２５０における領域５３ａと対応する領域には、他の領域とは波長が異なる光が照射されることになる。

パターン画像５４は、光が投影される領域と、光が投影されない領域とが交互になるように生成されたパターン画像データを投影した場合の投影画像である。言い換えれば、パターン画像５４は、光が投影される領域と、光が投影されない領域とによって形成された縞模様を示すパターン画像データを投影した場合の投影画像である。パターン画像５４は、異なる縞模様を有するパターン画像５４Ａと、パターン画像５４Ｂとを含む。

したがって、検査対象物２５０に対し、パターン画像５４Ａを示すパターン画像データを照射した場合と、パターン画像５４Ｂを示すパターン画像データを照射した場合とでは、検査対象物２５０において、光が照射される領域が異なる。

このように、本実施形態では、光が照射される位置を特定するパターン画像データを、投影装置２１０に投影させることで、検査対象物２５０に照射される光の位置や、照射される光の波長等を予め特定することができる。

また、本実施形態では、パターン画像データは、管理装置３００において生成することができる。したがって、本実施形態では、検査対象物２５０の種類や形状等に応じて、パターン画像データを生成すればよく、検査対象物２５０毎に照射される光の位置や、照射される光の波長等を特定することができる。

言い換えれば、本実施形態では、検査対象物に応じて、光が照射される位置や波長を変更することができ、検査対象物毎に、台座や光源の位置を調整する必要がなく、検査装置の汎用性を向上させることができる。

（第二の実施形態）
以下に、図面を参照して、第二の実施形態について説明する。第二の実施形態は、検査装置の筐体の内部に、筐体内で光を反射させる反射部材と、光を拡散させる拡散部材とを設けた点が、第一の実施形態と相違する。よって、以下の第二の実施形態の説明では、第一の実施形態との相違点について説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには、第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。

図６は、第二の実施形態の検査装置の断面図である。図７は、第二の実施形態の筐体内部の正面図であり、図８は、第二の実施形態の筐体内部の側面図である。

図６に示す検査装置２００Ａは、筐体２２０の側面２２１、２２２のそれぞれの内側に設けられた反射部材２８１、２８２を有する。また、本実施形態の検査装置２００Ａは、台座２３０を覆う拡散部材２９０を有する。

尚、図６に示す検査装置２００Ａは、筐体２２０を有し、筐体２２０の内部に反射部材２８１、２８２と、拡散部材２９０とが設けられるものとしたが、これに限定されない。反射部材２８１、２８２と、拡散部材２９０とは、投影装置２１０（光源）と検査対象物２５０との間において、光を照射する方向を制御できれるように配置されればよい。言い換えれば、本実施形態では、検査装置２００Ａに筐体２２０を設けずに、暗室や、外光が遮蔽される空間等で検査を実施してもよい。

反射部材２８１、２８２は、枠部２２６に固定されている。言い換えれば、反射部材２８１、２８２は、筐体２２０の側面の内側に設けられている。また、反射部材２８１、２８２は、投影装置２１０から照射された光を、筐体２２０の内側に向かって反射させる。また、本実施形態の反射部材２８１、２８２は、枠部２２６に対して着脱可能に設けられていてもよい。

拡散部材２９０は、乳白色の樹脂等によって形成されており、投影装置２１０から照射された光を、拡散部材２９０の形状に応じた領域に拡散させる。尚、拡散部材２９０は、半透明のガラス等によって形成されていてもよい。

また、拡散部材２９０は、例えば、検査対象物２５０の表面に鏡面加工が施されている場合等において、検査対象物２５０を撮像した画像に、投影装置２１０が映り込むことを防止する機能を有する。また、本実施形態の拡散部材２９０は、枠部２２６に対して着脱可能に設けられていてもよい。また、本実施形態では、撮像装置２６０は、拡散部材２９０よりも下側に設置される。つまり、拡散部材２９０は、検査対象物２５０と撮像装置２６０とを覆うように配置される。

以下に、図７を参照して、反射部材２８１と拡散部材２９０を設けた場合の投影装置２１０から照射される光の光路について説明する。

投影装置２１０から照射された光Ｌ１は、反射部材２８１によって反射されて拡散部材２９０に入射し、拡散部材２９０によって屈折して、台座２３０上の検査対象物２５０の上面の領域Ｒ１に照射される。

また、投影装置２１０から照射された光Ｌ２は、反射部材２８１によって反射されて拡散部材２９０に入射し、拡散部材２９０によって屈折して、台座２３０上の検査対象物２５０の側面の領域Ｒ２に照射される。

したがって、例えば、このときのパターン画像データが示す投影画像が、光Ｌ１と対応する領域が赤色であり、光Ｌ２と対応する領域が青色である画像であった場合、検査対象物２５０の領域Ｒ１には赤色の光が照射され、領域Ｒ２には青色の光が照射される。

また、このときのパターン画像データが示す投影画像が、光Ｌ１と対応する領域が黒色であり、光Ｌ２と対応する領域が白色である画像であった場合、検査対象物２５０の領域Ｒ１には光が照射されず、領域Ｒ２には光が照射される。

本実施形態では、このように、反射部材２８１、２８２と拡散部材２９０とを設けることで、異なる角度にから検査対象物２５０に光を照射することができる。

また、本実施形態では、パターン画像データを切り替えることで、検査対象物２５０に対して照射される光の色、照射される光の角度、照射される光の位置を変化させることができる。

尚、本実施形態では、例えば、図８に示すように、投影装置２１０から照射される光を、反射板２１７によって反射させて、筐体２２０内へ照射させてもよい。このように、反射板２１７を設けることで、例えば、拡散部材２９０が設けられておらず、かつ、検査対象物２５０の上面に鏡面加工がされていた場合であっても、撮像装置２６０によって撮像される撮像画像に、投影装置２１０が写り込むことを防止できる。

また、本実施形態では、図８に示すように、本実施形態の検査装置２００Ａでは、台座２３０に固定部材２９５が設けられていてもよい。固定部材２９５は、検査対象物２５０を撮像装置２６０と正対させる位置に固定するためのものである。固定部材２９５は、例えば、台座２３０に対して着脱が可能な部材であり、検査対象物２５０の大きさや形状等に応じて台座２３０に取り付けられてもよい。

また、本実施形態では、拡散部材２９０は。図７に示すように、正面図における形状を台形状としたが、図７に示す形状は一例であり、拡散部材２９０の形状は、これに限定されない。拡散部材２９０は、例えば、半球状であってもよい。

また、本実施形態の検査装置２００Ａは、反射部材２８１、２８２と、拡散部材２９０とを有するものとしたが、これに限定されにない。検査装置２００Ａは、例えば、反射部材２８１、２８２と、拡散部材２９０との何れか一方が設けられていてもよい。

具体的には、検査装置２００Ａは、反射部材２８１、２８２のみが設けられていてもよいし、拡散部材２９０のみが設けられていてもよい。

次に、図９及び図１０を参照して、本実施形態の管理装置３００の処理について説明する。図９は、管理装置の処理を説明する第一の図である。図９（Ａ）は、検査対象物を示し、図９（Ｂ）は、撮像装置２６０が撮像した画像データを示し、図９（Ｃ）は、異常の有無の判定結果を示す。

管理装置３００は、検査装置２００の撮像装置２６０から送信された画像データに基づき、検査対象物の異常の有無を判定する。

図９（Ａ）に示す検査対象物２５０ａは、上面が緩やかな凸状であり、鏡面加工が施された樹脂めっき部品である。

図９に示す例では、検査対象物２５０ａに対し、光が照射される領域と光が照射されない領域との縞模様を検査対象物２５０ａの真上から照射するパターン画像データが対応づけれている。さらに、検査対象物２５０ａに対し、この縞模様を検査対象物２５０の上面に対して傾斜して照射するパターン画像データと、が対応付けられている。

したがって、図９の例では、検査対象物２５０ａに対して２つのパターン画像データが対応付けられている。以下の説明では、前者のパターン画像データを第一のパターン画像データと呼び、後者のパターン画像データを第二のパターン画像データと呼ぶ。

図９（Ｂ）は、撮像装置２６０により撮像された検査対象物２５０ａの画像９１と画像９２を示す。画像９１は、第一のパターン画像データを照射した検査対象物２５０ａを撮像装置２６０により撮像した画像データが示す画像である。画像９２は、第二のパターン画像データを照射した検査対象物２５０ａを撮像装置２６０により撮像した画像データが示す画像である。

具体的には、図９における第一のパターン画像データと第二のパターン画像データは、図５に示すパターン画像５４Ａを示すパターン画像データと、パターン画像５４Ｂを示すパターン画像データである。

本実施形態の管理装置３００は、この画像９１を示す画像データと、画像９２を示す画像データとを検査装置２００Ａから取得し、異常の有無を判定する。

図９（Ｃ）－１では、画像９２における箇所９２ａにキズが検出された。図９の例では、画像９２を示す画像データからヒートマップ９２′を生成し、ヒートマップ９２′上で箇所９２ａと対応する箇所９２ａ′を示している。

図９（Ｃ）－２では、画像９１における箇所９１ａ、９１ｂに突起が検出された。図９の例では、画像９１を示す画像データからヒートマップ９１′を生成し、ヒートマップ９１′上で箇所９１ａ、９１ｂと対応する箇所９１ａ′、９１ｂ′を示している。

図９（Ｃ）－３では、画像９１における箇所９１ｃにピット（溶接欠陥）が検出された。図９の例では、ヒートマップ９１′上で箇所９１ｃと対応する箇所９１ｃ′を示している。

本実施形態では、このように、検査対象物２５０ａの異常の有無の判定する際に、複数のパターン画像データを１つの検査対象物２５０ａに対して照射し、パターン画像データ毎の複数の検査対象物２５０ａの画像データを用いる。

その結果、画像９１からは、突起とピットとが検出され、画像９２からはキズが検出された。このように、本実施形態では、複数のパターン画像データを１つの検査対象物２５０ａに対して照射することで、検査対象物２５０ａの異常の検出精度を向上させることができる。

尚、管理装置３００による異常の有無の判定は、例えば、画像９１、画像９２のそれぞれを示す画像データにおける画素値の連続性の変化等に応じて判定されてもよい。また、管理装置３００には、予め、異常が無いと判定された検査対象物２５０の画像データを格納しておき、検査装置２００Ａから取得される画像データと、予め格納された画像データとを比較して、異常の有無を検出してもよい。

図１０は、管理装置の処理を説明する第二の図である。図１０（Ａ）は、検査対象物を示し、図１０（Ｂ）は、撮像装置２６０が撮像した画像データを示し、図１０（Ｃ）は、異常の有無の判定結果を示す。

図１０（Ａ）に示す検査対象物２５０ｂは、上面に鏡面加工が施され、かつ、若干の湾曲があり、長手方向に細かいスジが入った樹脂めっきプレート部品である。

図１０に示す例では、検査対象物２５０ｂに対し、上面に投影装置２１０から直接光を照射するパターン画像データが対応付けられている。

また、検査対象物２５０ｂには、上部から明るい領域と暗い領域との縞模様を検査対象物２５０ｂの真上から照射するパターン画像データと、この縞模様における明るい領域と暗い領域とを逆にしたパターン画像データとが対応づけられている。

したがって、図１０の例では、検査対象物２５０ｂに対して３つのパターン画像データが対応付けられている。以下の説明では、図１０における１つ目のパターン画像データを第一のパターン画像データと呼び、２つ目のパターン画像データを第二のパターン画像データと呼び、３つ目のパターン画像データを第三のパターン画像データと呼ぶ。

図１０における第二のパターン画像データは、例えば、図５のパターン画像５３を示すパターン画像データである。また、図１０における第三のパターン画像データは、例えば、図５のパターン画像５３のうち、領域５３ａの濃度を濃くし、領域５３ａの両隣の領域の濃度をうすくした画像を示すパターン画像データである。

図１０（Ｂ）は、撮像装置２６０により撮像された検査対象物２５０ｂの画像１０１、画像１０２、画像１０３を示す。画像１０１は、第一のパターン画像データを照射した検査対象物２５０ｂを撮像装置２６０により撮像した画像データが示す画像である。画像１０２は、第二のパターン画像データを照射した検査対象物２５０ｂを撮像装置２６０により撮像した画像データが示す画像である。画像１０３は、第三のパターン画像データを照射した検査対象物２５０ｂを撮像装置２６０により撮像した画像データが示す画像である。

本実施形態の管理装置３００は、この画像１０１を示す画像データと、画像１０２を示す画像データと、画像１０３を示す画像データと、を検査装置２００Ａから取得し、異常の有無を判定する。

図１０（Ｃ）において、画像１０１、画像１０２、画像１０３のそれぞれを示す画像データに基づく異常の有無の判定結果を示す。図１０（Ｃ）において、画像１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄは、それぞれが画像１０１の一部である。また、図１０（Ｃ）において、画像１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄは、それぞれが画像１０２の一部であり、画像１０３ａは、画像１０３の一部である。

図１０（Ｃ）－１では、画像１０３における画像１０３ａにおいて、検査対象物２５０ｂの表面のくもり（白モヤ）が検出された。これに対し、画像１０１において、画像１０３ａと対応する位置の画像１０１ａでは、くもりは検出されていないが、管理装置３００は、この場合、異常が有ると判定する。

図１０（Ｃ）－２では、画像１０２における画像１０２ｂにおいて、検査対象物２５０ｂの表面のキズが検出された。これに対し、画像１０１において、画像１０２ｂと対応する画像１０１ｂでは、キズは検出されていない。この場合も、管理装置３００は、検査対象物２５０ｂに異常が有ると判定する。

図１０（Ｃ）－３では、画像１０２における画像１０２ｃにおいて、検査対象物２５０ｂの表面のキズが検出された。これに対し、画像１０１において、画像１０２ｃと対応する位置の画像１０１ｃでは、キズは検出されていない。この場合も、管理装置３００は、検査対象物２５０ｂに異常が有ると判定する。

図１０（Ｃ）－４では、画像１０１における画像１０１ｄにおいて、検査対象物２５０ｂの表面のピンホールが検出された。これに対し、画像１０２において、画像１０１ｄと対応する位置の画像１０２ｄでは、ピンホールは検出されていない。この場合も、管理装置３００は、検査対象物２５０ｂに異常が有ると判定する。

このように、本実施形態では、複数のパターン画像データを検査対象物２５０ｂに照射して取得した複数の画像データのうち、１つでも異常が有ると判定された画像データがある場合には、検査対象物２５０ｂに異常が有るものと判定する。

本実施形態では、このように、複数のパターン画像データを用いることで、一般的に見逃しやすいとされる局所的な欠陥も検出することができる。また、本実施形態では、複数のパターン画像データを使い分けるため、例えば、白モヤとピンホール等のように、特性の異なる局所的な欠陥も、一度の検査で検出することができる。

以上に説明したように、本実施形態では、反射部材２８１、２８２と、拡散部材２９０との少なくとも何れか一方を設けることで、検査対象物２５０を照射する光の角度を多様化させることができる。言い換えれば、本実施形態では、反射部材２８１、２８２と、拡散部材２９０との少なくとも何れか一方を設けることで、検査対象物２５０に対し、様々な角度から光を照射できる。

また、本実施形態では、検査対象物毎に、検査対象物に対して照射するパターン画像データを使い分けることで、簡単に検査対象物２５０に照射される光の位置や角度を変更することができる。

このため、本実施形態によれば、検査対象物の種類や形状が変更された場合には、パターン画像データを切り替えるだけで、検査を行うことができる。つまり、本実施形態の検査装置２００Ａは、様々な種類の検査対象物の検査に用いることができ、検査装置の汎用性を向上させることができる。

尚、上述した実施形態では、検査装置が有する投影装置は１台としたが、これに限定されない。検査装置は、複数の投影装置を有してもよい。この場合には、複数の投影装置を用いて、筐体内部の空間に、パターン画像データに基づく画像を投影してもよい。

以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。

１００ 検査システム
２００、２００Ａ 検査装置
２１０ 投影装置
２２０ 筐体
２３０ 台座
２４０ 開口部
２５０ 検査対象物
２６０ 撮像装置
２７０ 固定部材
２８１、２８２ 反射部材
２９０ 拡散部材
３００ 管理装置
３１０ パターン画像記憶装置

特開２０１０－５０５１２２号公報

Claims (8)

1. 検査対象物と対応付いた、前記検査対象物に照射する光のパターンを特定するパターン画像データに基づき、前記検査対象物に光を照射する投影装置と、
   前記投影装置により光が照射された前記検査対象物を撮像し、撮像された画像データを出力する撮像装置と、を有する検査装置。
2. 前記投影装置から照射された光を前記検査対象物に向かう方向に反射させる反射部材を有する、請求項１記載の検査装置。
3. 前記検査対象物と前記撮像装置とを覆うように配置され、前記投影装置から照射された光を拡散させる拡散部材を有する、請求項１又は２記載の検査装置。
4. 前記検査対象物と、前記撮像装置とを覆う筐体を有し、
   前記反射部材は、前記筐体の側面の内側に設けられ、前記投影装置から照射された光を前記筐体の内側に反射させる、請求項２記載の検査装置。
5. 前記検査対象物と前記撮像装置とを覆う筐体を有し、
   前記拡散部材は、前記筐体内において、前記検査対象物と前記撮像装置とを覆うように配置される、請求項３記載の検査装置。
6. 前記拡散部材は、半透明である、請求項３又は５記載の検査装置。
7. 検査装置と、前記検査装置を管理する管理装置とを有する検査システムであって、
   前記管理装置は、
   検査対象物と対応付いた、前記検査対象物に照射する光のパターンを特定するパターン画像データを格納するパターン画像記憶装置を有し、
   前記検査装置は、
   前記検査対象物に対応付けられた前記パターン画像データに基づき、前記検査対象物に光を照射する投影装置と、
   前記投影装置により光が照射された前記検査対象物を撮像し、撮像された画像データを前記管理装置へ出力する撮像装置と、を有する、検査システム。
8. 検査装置による検査方法であって、前記検査装置が、
   投影装置に、検査対象物と対応付いた、前記検査対象物に照射する光のパターンを特定するパターン画像データに基づき、前記検査対象物に光を照射させ、
   撮像装置に、前記投影装置により光が照射された前記検査対象物を撮像させ、撮像された画像データを出力させる、検査方法。

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