JP2022054250A - サンプルショット領域のセットを決定する方法、計測値を得る方法、情報処理装置、リソグラフィ装置、プログラム、および物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る露光装置1の構成を示す図である。露光装置1は、投影光学系3と、基板チャック5と、基板ステージ6と、アライメント検出光学系7とを有する。レチクルともよばれる原版2には、基板4に転写されるべきパターン(例えば回路パターン)が描画されており、原版2は、不図示の原版ステージによって支持されている。投影光学系3は、パターン(例えば回路パターン)が描画された原版2を基板4に投影する。基板チャック5は、前工程で下地パターンおよびアライメントマークが形成された基板4を保持する。
+ k7x2+k9xy
+ k11y2+k13x3
+ k15x2y+k17xy2
+ k19y3,
ShiftY = k2+k4y+k6x
+ k8y2+k10xy
+ k12x2+k14y3
+ k16xy2+k18x2y
+ k20x3 (式1)
ただし、x,yは、基板面内のショット領域の位置を表す。制御部Cは、実際の各ショット領域のアライメント計測値から回帰係数k1~k20を求め、それによって補正値を算出する。
・前工程のオーバーレイ計測値101(上下レイヤーのオーバーレイ計測値)、
・デバイス製造プロセスパラメータ102、
・露光装置センサデータ103、
・実測により得られたサンプルショット領域のアライメント計測値であるサンプリングアライメント計測値104。
ただし、θは、モデルパラメータ、
Dは、観測データ、
p(θ|D)は、追加の観測データDが得られた際のモデルパラメータθの事後分布、
p(D|θ)は、モデルパラメータθから観測データDが発生する確率を表す尤度関数、
p(θ)は、モデルパラメータθの事前分布、
p(D)は、観測データDの周辺尤度、である。
第2実施形態では、基板の上下レイヤーの重ね合わせマーク間の相対位置であるオーバーレイ計測値を推定するVirtual Metrologyシステムについて説明する。
・アライメント推定値111、
・デバイス製造プロセスパラメータ112、
・露光装置センサデータ113、
・オーバーレイ検査パラメータ114。
第3実施形態では、露光装置1は、推定モデルの表現力が低い場合にユーザに通知する機能を有する。この機能は、第1実施形態のアライメント計測値の推定モデル、第2実施形態のオーバーレイ計測値の推定モデルのどちらにも適用可能である。以下では一例として、第1実施形態のアライメント計測値の推定モデルを例に説明する。
第4実施形態では、露光装置は、計測値の異常検知機能を有する。アライメント計測値の推定モデルの分布から、各ショット領域でのアライメント計測値が通常取り得る範囲が経験的に分かる。そこで、制御部Cは、各サンプルショット領域でアライメント計測を実施したとき(S304)に得られた計測値が、推定モデルから算出されるアライメント計測値の推定値の分布の分散に基づき設定された所定の範囲内にあるかどうかを判定する。制御部Cは、計測値がその範囲を超えている場合、その計測値を計測異常値として判定する。
第5実施形態では、第1実施形態のアライメント計測値の推定モデル、または、第2実施形態のオーバーレイ計測値の推定モデルで求めた、基板面内における各ショット領域の位置での回帰係数の確率分布が、マップとしてGUI上に表示される。表示する際の表現としては、例えば図9のような形でありうる。これにより、ユーザは、不確実性が高いショット領域に着目した工程改善アクションを実施するタイミングを把握することができる。
本発明の実施形態における物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、上記のリソグラフィ装置(露光装置やインプリント装置、描画装置など)を用いて基板に原版のパターンを転写する工程と、かかる工程でパターンが転写された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (18)
- 基板の複数のショット領域のうち、マークの位置を実測すべきショット領域であるサンプルショット領域のセットを決定する方法であって、
サンプルショット領域のセットの初期配置を設定する設定工程と、
前記初期配置におけるサンプルショット領域以外のショット領域のうち、推定モデルを用いたマークの位置の計測値の推定値の分散が所定の閾値を超えるショット領域を、前記サンプルショット領域のセットに追加する追加工程と、
を有することを特徴とする方法。 - 前記推定モデルは、上下レイヤーのオーバーレイ計測値、デバイス製造プロセスパラメータ、リソグラフィ工程で使用されるセンサのパラメータ、および前記サンプルショット領域におけるマークの位置の実測による計測値を含む入力データを入力し、前記サンプルショット領域以外のショット領域のマークの位置の計測値の推定値を出力する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記推定モデルは、前記サンプルショット領域のマークの位置の実測による計測値を教師データとして入出力の関係性が学習されたモデルである、ことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記推定モデルは、前記教師データから多項式の回帰係数を学習する多項式回帰モデルである、ことを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記追加工程は、前記分散が前記閾値を超えるショット領域を抽出し、該抽出されたショット領域のうち前記分散が最も大きいショット領域を前記サンプルショット領域のセットに追加する、ことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記追加工程で新たなサンプルショット領域が追加された後に回帰係数の確率分布の事後分布を算出する第1算出工程と、
前記算出された事後分布から、各ショット領域におけるマークの位置の計測値の推定値の分散を算出する第2算出工程と、
を更に有し、前記第2算出工程で算出された分散が前記閾値を超えるショット領域がなくなるまで、前記追加工程、前記第1算出工程、および前記第2算出工程が繰り返し行われる、ことを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記マークの位置は、前記基板の表面に平行な方向における前記マークの位置であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マークの位置は、前記基板の表面に垂直な方向における前記マークの位置であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マークの位置は、上下レイヤーの重ね合わせマーク間の相対位置であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 決定された前記サンプルショット領域のセットの情報をユーザに通知する通知工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の方法。
- 実測による計測値に対する前記推定値の誤差である推定誤差の平均値を算出する工程と、
前記算出された平均値が所定値を超えるショット領域がある場合に、ユーザに通知を行う工程と、
を更に有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の方法。 - 決定されたサンプルショット領域のマークの位置の実測による計測値が、前記分散に基づき設定された所定の範囲を超えている場合に、ユーザに通知を行う工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記回帰係数の確率分布の情報を表示部に表示する工程を更に有することを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 基板の複数のショット領域のそれぞれのマークの位置の計測値を得る方法であって、
請求項1乃至13のいずれか1項に記載の方法によって決定されたサンプルショット領域のセットにおける各サンプルショット領域のマークの位置を計測し、
前記推定モデルを用いて、前記サンプルショット領域のセットにおける各サンプルショット領域のマークの計測結果に基づいて、サンプルショット領域のセットに含まれない各ショット領域のマークの位置の計測値を推定する、
ことを特徴とする方法。 - 基板の複数のショット領域のうち、マークの位置を実測すべきショット領域であるサンプルショット領域のセットを決定する情報処理装置であって、
処理部を有し、前記処理部は、
サンプルショット領域のセットの初期配置を設定し、
前記初期配置におけるサンプルショット領域以外のショット領域のうち、推定モデルを用いたマークの位置の計測値の推定値の分散が所定の閾値を超えるショット領域を、前記サンプルショット領域のセットに追加する、
ことを特徴とする情報処理装置。 - 請求項14に記載の方法により得られたマークの位置の計測値に基づいて基板を位置決めする基板ステージを有することを特徴とするリソグラフィ装置。
- 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項16に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
を有し、前記加工された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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