JP2022041697A - Cutting device and cutting method of workpiece - Google Patents

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Abstract

To provide a cutting device and a cutting method of a workpiece, capable of further reducing vibrations of a cutting blade than before.SOLUTION: A cutting device has a chuck table that holds a workpiece, a cutting unit 20 that cuts the workpiece held by the chuck table with a cutting blade 21 fixed at a tip end of a spindle 22 through a mount 24, and a nozzle 30 that supplies cutting water to the cutting blade 21. The cutting blade 21 has a thickness of 0.2 mm or less and an aspect ratio of 30 or more indicated by cutting edge takeout amount/blade thickness, is fixed to the mount 24, and is equipped with a nozzle 31 supplying a cutting water from an outer peripheral to an outer peripheral surface of the cutting blade 21 in parallel with a side surface 21-3 of the cutting blade 21. The nozzle 31 is equipped with a partitioning plate 38 straightening a flow of the cutting water inside.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、切削装置及び被加工物の切削方法に関する。 The present invention relates to a cutting device and a method of cutting a workpiece.

半導体デバイスが形成されたウエーハや樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板など、各種板状の被加工物をチップに分割したり、溝を形成したりするために、高速回転するスピンドルの先端に切削ブレードを固定する切削装置及び被加工物の切削方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。 Various plate-shaped workpieces such as wafers, resin package substrates, ceramic substrates, and glass substrates on which semiconductor devices are formed are cut into chips and cut at the tip of a spindle that rotates at high speed to form grooves. A cutting device for fixing a blade and a cutting method for a workpiece are known (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１５－０２３２２２号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-0232222

切削ブレードは、刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が高ければ高いほど振動しやすく、切削溝が蛇行したり、切削したチップの側面にソーマークが付いたりするため、切削ブレードの剛性に合わせてアスペクト比を適度に調整する必要があった。しかしながら、切削溝の溝幅を狭くする事で、分割予定ライン（ストリート）も細くでき、採取できるチップの数が増えるため、高アスペクト比による加工は常に求められていた。更に、マウントにバキューム力（負圧）で切削ブレードを固定する、所謂バキュームフランジは、マウントにナット等で機械的に切削ブレードを固定するよりも、切削ブレードの振動が発生しやすい恐れがあり、高アスペクト比の条件では、更にブレードが振動する恐れがあるという問題があった。 The higher the aspect ratio indicated by the cutting edge extension amount / blade thickness, the easier it is for the cutting blade to vibrate. It was necessary to adjust the aspect ratio appropriately. However, by narrowing the groove width of the cutting groove, the scheduled division line (street) can be narrowed and the number of chips that can be collected increases, so processing with a high aspect ratio has always been required. Furthermore, the so-called vacuum flange, which fixes the cutting blade to the mount with a vacuum force (negative pressure), may cause vibration of the cutting blade more easily than mechanically fixing the cutting blade to the mount with a nut or the like. Under the condition of high aspect ratio, there is a problem that the blade may further vibrate.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、従来よりも切削ブレードの振動を低減できる切削装置及び被加工物の切削方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a cutting device capable of reducing vibration of a cutting blade as compared with the conventional case, and a method for cutting a workpiece.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端にマウントを介して固定された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有し、該切削ブレードは、厚さ０．２ｍｍ以下で刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が３０以上で該マウントに固定された切削装置であって、該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって切削水を供給するノズルを備え、該ノズルは、切削水の流れを整流する仕切り板を内部に備えていることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the cutting apparatus of the present invention holds the work piece on the chuck table with a chuck table and a cutting blade fixed to the tip of the spindle via a mount. It has a cutting unit that cuts the machined work piece and a nozzle that supplies cutting water to the cutting blade, and the cutting blade has an aspect represented by the cutting edge amount / blade thickness with a thickness of 0.2 mm or less. A cutting device fixed to the mount with a ratio of 30 or more, comprising a nozzle that supplies cutting water from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade in parallel with the side surface of the cutting blade, and the nozzle is used for cutting. It is characterized by having a partition plate inside that rectifies the flow of water.

該マウントは、該スピンドルの先端に嵌合し該切削ブレードを支持する支持マウントと、該支持マウントに支持された該切削ブレードを該支持マウントに固定する固定マウントと、を備え、該支持マウントは、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジング側である後方側から該固定マウントに対面する支持面へ貫通する吸引路を内部に有し、該スピンドルハウジングの前方に設けられたロータリージョイントからの負圧を、該支持マウントの該吸引路を介して該固定マウントに作用させ、該固定マウントを該支持マウントの該支持面に吸引固定することで、該支持マウントと該固定マウントとで該切削ブレードを挟持してもよい。 The mount comprises a support mount that fits into the tip of the spindle and supports the cutting blade, and a fixed mount that secures the cutting blade supported by the support mount to the support mount. It has a suction path inside that penetrates from the rear side, which is the spindle housing side that rotatably supports the spindle, to the support surface facing the fixed mount, and is negative from the rotary joint provided in front of the spindle housing. Pressure is applied to the fixed mount through the suction path of the support mount, and the fixed mount is suction-fixed to the support surface of the support mount so that the support mount and the fixed mount have the cutting blade. May be sandwiched.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の切削方法は、上記したいずれかの切削装置を用いた被加工物の切削方法であって、該ノズルからの該切削水を該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって供給しつつ、該チャックテーブルで保持した該被加工物を該切削ブレードで切削し、該ノズルから供給される切削水に起因する該切削ブレードの振動を抑制しながら被加工物を切削することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the cutting method of the workpiece of the present invention is a cutting method of the workpiece using any of the above-mentioned cutting devices, and the cutting method from the nozzle. While supplying cutting water from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade in parallel with the side surface of the cutting blade, the workpiece held by the chuck table is cut by the cutting blade and supplied from the nozzle. It is characterized in that the workpiece is cut while suppressing the vibration of the cutting blade caused by the cutting water.

本発明は、従来よりも切削ブレードの振動を低減できる。 The present invention can reduce the vibration of the cutting blade as compared with the conventional case.

図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device according to an embodiment. 図２は、図１の切削ユニットを示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the cutting unit of FIG. 図３は、図１の切削ユニットを示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing the cutting unit of FIG. 図４は、図３のノズルを示す部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the nozzle of FIG. 図５は、図３のノズルを示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the nozzle of FIG. 図６は、図３のノズルの供給口と切削ブレードとの位置関係を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating the positional relationship between the nozzle supply port of FIG. 3 and the cutting blade. 図７は、実施形態に係る被加工物の切削方法の一例を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a method of cutting a workpiece according to an embodiment. 図８は、実施形態に係る切削装置及び被加工物の切削方法の作用効果を説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating the operation and effect of the cutting device and the cutting method of the workpiece according to the embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る切削装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る切削装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態に係る切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削ユニット２０と、ノズル３０と、制御ユニット４０と、を有する。 [Embodiment]
The cutting apparatus 1 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of the cutting device 1 according to the embodiment. As shown in FIG. 1, the cutting device 1 according to the embodiment includes a chuck table 10, a cutting unit 20, a nozzle 30, and a control unit 40.

本実施形態において、切削装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン（ストリート）１０２によって区画された領域にチップサイズのデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、本実施形態では、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状のフレーム１０６が装着されているが、本発明ではこれに限定されない。また、被加工物１００は、本発明では、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。 In the present embodiment, the workpiece 100 to be machined by the cutting device 1 is, as shown in FIG. 1, a disk whose base material is, for example, silicon, sapphire, silicon carbide (SiC), gallium arsenide, or the like. Such as semiconductor wafers and optical device wafers. In the workpiece 100, a chip-sized device 103 is formed in a region partitioned by a plurality of scheduled division lines (streets) 102 formed in a grid pattern on a flat surface 101. In the present embodiment, the work piece 100 has an adhesive tape 105 attached to the back surface 104 on the back side of the front surface 101, and an annular frame 106 is attached to the outer edge of the adhesive tape 105. Not limited. Further, in the present invention, the workpiece 100 may be a rectangular package substrate, a ceramic plate, a glass plate or the like having a plurality of devices sealed with a resin.

チャックテーブル１０は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。チャックテーブル１０の吸着部は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１０の吸着部の上面は、被加工物１００が載置されて、載置された被加工物１００を吸引保持する保持面１１である。保持面１１とチャックテーブル１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面であるＸＹ平面に平行に形成されている。チャックテーブル１０は、不図示のＸ軸移動ユニットにより水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動自在で、不図示の回転駆動源により鉛直方向でありＸＹ平面に直交するＺ軸回りに回転自在に設けられている。 The chuck table 10 includes a disk-shaped frame body in which a recess is formed, and a disk-shaped suction portion fitted in the recess. The suction portion of the chuck table 10 is formed of a porous ceramic or the like having a large number of porous holes, and is connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown). The upper surface of the suction portion of the chuck table 10 is a holding surface 11 on which the workpiece 100 is placed and which sucks and holds the placed workpiece 100. The holding surface 11 and the upper surface of the frame of the chuck table 10 are arranged on the same plane and are formed in parallel with the XY plane which is a horizontal plane. The chuck table 10 is movable in the X-axis direction, which is one direction in the horizontal direction, by an X-axis movement unit (not shown), and is rotatable around the Z-axis, which is in the vertical direction and orthogonal to the XY plane, by a rotation drive source (not shown). It is provided in.

切削ユニット２０は、切削ブレード２１で、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。切削ユニット２０は、図１に示すように、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削装置１は、切削ユニット２０の切削ブレード２１を回転させながら、Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の切削ブレード２１をチャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿った切削溝２００（図７参照）を形成する。 The cutting unit 20 cuts the workpiece 100 held by the chuck table 10 with the cutting blade 21. As shown in FIG. 1, the cutting unit 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction with respect to the workpiece 100 held on the chuck table 10 by the Y-axis moving unit, and is Z by the Z-axis moving unit. It is provided so as to be movable in the axial direction. The cutting device 1 rotates the cutting blade 21 of the cutting unit 20 while holding the cutting blade 21 of the cutting unit 20 on the chuck table 10 by the X-axis moving unit, the Y-axis moving unit and the Z-axis moving unit. By moving the workpiece 100 relative to the planned division line 102, the workpiece 100 is machined to form a cutting groove 200 (see FIG. 7) along the planned division line 102.

切削装置１は、図１に示すように、カセット載置台９１と、洗浄ユニット９２と、不図示の搬送ユニットと、をさらに有する。カセット載置台９１は、複数の被加工物１００を収容するための収容器であるカセット９５を載置する載置台であり、載置されたカセット９５をＺ軸方向に昇降させる。洗浄ユニット９２は、切削加工後の被加工物１００を洗浄し、被加工物１００に付着した切削屑等の異物を除去する。不図示の搬送ユニットは、切削加工前の被加工物１００をカセット９５内からチャックテーブル１０上に搬送し、切削加工後の被加工物１００をチャックテーブル１０上から洗浄ユニット９２に搬送し、洗浄後の被加工物１００を洗浄ユニット９２からカセット９５内に搬送する。 As shown in FIG. 1, the cutting device 1 further includes a cassette mounting table 91, a cleaning unit 92, and a transfer unit (not shown). The cassette mounting table 91 is a mounting table on which a cassette 95, which is a container for accommodating a plurality of workpieces 100, is placed, and the placed cassette 95 is moved up and down in the Z-axis direction. The cleaning unit 92 cleans the workpiece 100 after cutting to remove foreign substances such as cutting chips adhering to the workpiece 100. In the transfer unit (not shown), the workpiece 100 before cutting is conveyed from the cassette 95 onto the chuck table 10, and the workpiece 100 after cutting is conveyed from the chuck table 10 to the cleaning unit 92 for cleaning. The subsequent workpiece 100 is conveyed from the cleaning unit 92 into the cassette 95.

図２は、図１の切削ユニット２０の構成例を示す断面図である。図３は、図１の切削ユニット２０を示す正面図である。切削ユニット２０は、図２及び図３に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、マウント２４と、ロータリージョイント２５と、ブレードカバー２６と、を備える。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration example of the cutting unit 20 of FIG. FIG. 3 is a front view showing the cutting unit 20 of FIG. As shown in FIGS. 2 and 3, the cutting unit 20 includes a cutting blade 21, a spindle 22, a spindle housing 23, a mount 24, a rotary joint 25, and a blade cover 26.

切削ブレード２１は、マウント２４を介してスピンドル２２の先端に固定され、スピンドル２２の回転動作に伴い、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向と平行な軸心周りに回転する。切削ブレード２１は、本実施形態では所謂ハブレスブレードであり、円盤状（円環状）の切り刃２１－１を有する。切削ブレード２１は、中央に、切削ブレード２１をマウント２４に固定するための孔である装着穴２１－２を有している。切り刃２１－１の外周面は、軸方向の長さが所定厚みを備え、切削ブレード２１で切削加工する際に切削面となる。切り刃２１－１の両側の側面２１－３は、互いに平行に形成されており、いずれも切り刃２１－１の外周面に直交している。切り刃２１－１は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり、所定厚みに形成されている。 The cutting blade 21 is fixed to the tip of the spindle 22 via the mount 24, and is around the axis parallel to the Y-axis direction, which is another horizontal direction and orthogonal to the X-axis direction, as the spindle 22 rotates. Rotate to. The cutting blade 21 is a so-called hubless blade in the present embodiment, and has a disk-shaped (annular) cutting blade 21-1. The cutting blade 21 has a mounting hole 21-2 in the center, which is a hole for fixing the cutting blade 21 to the mount 24. The outer peripheral surface of the cutting edge 21-1 has a length in the axial direction having a predetermined thickness, and becomes a cutting surface when cutting with the cutting blade 21. The side surfaces 21-3 on both sides of the cutting edge 21-1 are formed parallel to each other, and both are orthogonal to the outer peripheral surface of the cutting edge 21-1. The cutting edge 21-1 is composed of abrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride) and a bonding material (bonding material) such as metal and resin, and is formed to have a predetermined thickness.

スピンドル２２は、スピンドルハウジング２３から先端を外部に露出させた状態で、スピンドルハウジング２３にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転可能に支持されて、スピンドルハウジング２３内に収容されている。スピンドル２２の先端は、図２に示すように、部分的に先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル２２の基端部には、スピンドル２２を回転させるための不図示のモータが連結されている。 The spindle 22 is rotatably supported by the spindle housing 23 around an axis parallel to the Y-axis direction with the tip exposed from the spindle housing 23, and is housed in the spindle housing 23. As shown in FIG. 2, the tip of the spindle 22 is formed in a tapered shape so that the outer diameter gradually decreases toward the tip. A motor (not shown) for rotating the spindle 22 is connected to the base end portion of the spindle 22.

マウント２４は、図２に示すように、支持マウント５０と、固定マウント６０と、を備える。支持マウント５０は、スピンドル２２の先端に嵌合し、切削ブレード２１をスピンドルハウジング２３側である後方側（＋Ｙ方向側）から支持する。支持マウント５０は、ボス部５１と、支持フランジ部５２と、円筒部５３と、を備える。ボス部５１は、スピンドル２２の回転軸の方向であるＹ軸方向に伸長する円筒状に形成されている。支持フランジ部５２は、ボス部５１の後方側からボス部５１の径方向外向きに延出して円盤状（円環状）に形成されている。円筒部５３は、支持フランジ部５２の後方側に突出して形成されている。ボス部５１と、支持フランジ部５２と、円筒部５３とは、一体的に形成され、それぞれの中心軸が互いに重なりＹ軸方向に沿って配されている。 The mount 24 includes a support mount 50 and a fixed mount 60, as shown in FIG. The support mount 50 is fitted to the tip of the spindle 22 and supports the cutting blade 21 from the rear side (+ Y direction side) which is the spindle housing 23 side. The support mount 50 includes a boss portion 51, a support flange portion 52, and a cylindrical portion 53. The boss portion 51 is formed in a cylindrical shape extending in the Y-axis direction, which is the direction of the rotation axis of the spindle 22. The support flange portion 52 extends radially outward from the boss portion 51 from the rear side of the boss portion 51 and is formed in a disk shape (annular shape). The cylindrical portion 53 is formed so as to project to the rear side of the support flange portion 52. The boss portion 51, the support flange portion 52, and the cylindrical portion 53 are integrally formed, and their central axes overlap each other and are arranged along the Y-axis direction.

支持マウント５０は、内側に装着穴５４が形成されている。装着穴５４は、部分的に先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル２２の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。支持マウント５０は、スピンドル２２の先端を装着穴５４に挿入して、スピンドル２２の先端側である前方側（－Ｙ方向側）から内周にねじ溝が形成された締付ナット２７を、スピンドル２２の先端に形成されたねじ溝２２－１に螺合して締め付けることにより、スピンドル２２の先端に固定される。 The support mount 50 has a mounting hole 54 formed inside. The mounting hole 54 is formed in a tapered shape so that the inner diameter gradually decreases toward the tip, and is fitted to the outer periphery of the tip of the spindle 22 without a gap. In the support mount 50, the tip of the spindle 22 is inserted into the mounting hole 54, and a tightening nut 27 having a thread groove formed on the inner circumference from the front side (−Y direction side), which is the tip side of the spindle 22, is inserted into the spindle. It is fixed to the tip of the spindle 22 by screwing and tightening the screw groove 22-1 formed at the tip of the 22.

ボス部５１は、固定マウント６０の装着穴６１に挿入されて、外周側で、固定マウント６０を装着穴６１の内周側から支持する。円筒部５３は、ロータリージョイント２５の収容穴２５－１に対してＹ軸周りに回転可能に隙間なく嵌合される。 The boss portion 51 is inserted into the mounting hole 61 of the fixed mount 60, and supports the fixed mount 60 from the inner peripheral side of the mounting hole 61 on the outer peripheral side. The cylindrical portion 53 is rotatably and tightly fitted around the Y axis with respect to the accommodating hole 25-1 of the rotary joint 25.

支持フランジ部５２は、前方側に向いた支持面５２－１と、環状凹部５２－２と、を有する。支持面５２－１は、環状凹部５２－２を囲繞し、支持フランジ部５２の前方側に向いた面の径方向外側に環状に形成されており、切削ブレード２１の後方側の面を支持する。環状凹部５２－２は、ボス部５１を囲繞し、支持面５２－１よりも後方側に凹んで形成されており、固定マウント６０の環状凸部６３が嵌合される。 The support flange portion 52 has a support surface 52-1 facing forward and an annular recess 52-2. The support surface 52-1 surrounds the annular recess 52-2 and is formed in an annular shape on the radial outer side of the surface facing the front side of the support flange portion 52 to support the rear surface of the cutting blade 21. .. The annular recess 52-2 surrounds the boss portion 51 and is formed so as to be recessed rearward from the support surface 52-1, and the annular convex portion 63 of the fixed mount 60 is fitted.

支持マウント５０は、支持フランジ部５２から円筒部５３にわたって、内部に形成された吸引路５５を有する。吸引路５５は、前方側が、環状凹部５２－２の底面５２－３に連通し、支持面５２－１へ連通する。また、吸引路５５は、後方側が、支持マウント５０の円筒部５３がロータリージョイント２５の収容穴２５－１に嵌合された際に、ロータリージョイント２５の吸引路２５－２と連通する。 The support mount 50 has a suction path 55 formed inside from the support flange portion 52 to the cylindrical portion 53. The front side of the suction path 55 communicates with the bottom surface 52-3 of the annular recess 52-2 and communicates with the support surface 52-1. Further, the suction path 55 communicates with the suction path 25-2 of the rotary joint 25 on the rear side when the cylindrical portion 53 of the support mount 50 is fitted into the accommodating hole 25-1 of the rotary joint 25.

固定マウント６０は、支持マウント５０の支持面５２－１に支持された切削ブレード２１に前方側からかぶせてボス部５１の外周側に装着することで、切削ブレード２１を支持マウント５０に固定する。固定マウント６０は、内側に装着穴６１が形成されている。装着穴６１は、支持マウント５０のボス部５１の外周に隙間なく嵌め合わせされる。 The fixed mount 60 fixes the cutting blade 21 to the support mount 50 by covering the cutting blade 21 supported on the support surface 52-1 of the support mount 50 from the front side and mounting it on the outer peripheral side of the boss portion 51. The fixed mount 60 has a mounting hole 61 formed inside. The mounting hole 61 is fitted to the outer periphery of the boss portion 51 of the support mount 50 without a gap.

固定マウント６０は、後方側に向いた支持面６２と、環状凸部６３と、を有する。支持面６２は、環状凸部６３を囲繞し、固定マウント６０の後方側に向いた面の径方向外側に環状に形成されており、切削ブレード２１の前方側の面を支持する。環状凸部６３は、支持面６２よりも後方側に突出して形成されており、固定マウント６０が支持マウント５０に装着された際にボス部５１を囲繞し、切削ブレード２１の装着穴２１－２及び支持マウント５０の環状凹部５２－２に嵌合される。 The fixed mount 60 has a support surface 62 facing rearward and an annular protrusion 63. The support surface 62 surrounds the annular convex portion 63 and is formed in an annular shape on the radial outer side of the surface facing the rear side of the fixed mount 60 to support the front surface of the cutting blade 21. The annular convex portion 63 is formed so as to project rearward from the support surface 62, surrounds the boss portion 51 when the fixed mount 60 is mounted on the support mount 50, and has a mounting hole 21-2 for the cutting blade 21. And is fitted into the annular recess 52-2 of the support mount 50.

固定マウント６０が切削ブレード２１を間に挟んで支持マウント５０に装着されると、支持マウント５０の支持面５２－１と固定マウント６０の支持面６２とが切削ブレード２１を介して互いにＹ軸方向に対向する。また、同様に固定マウント６０が支持マウント５０に装着されると、支持マウント５０の環状凹部５２－２の底面５２－３と、固定マウント６０の環状凸部６３の凸面６４とがＹ軸方向に対面し、密閉空間７５を形成する。 When the fixed mount 60 is mounted on the support mount 50 with the cutting blade 21 sandwiched between them, the support surface 52-1 of the support mount 50 and the support surface 62 of the fixed mount 60 are attached to each other via the cutting blade 21 in the Y-axis direction. Facing. Similarly, when the fixed mount 60 is attached to the support mount 50, the bottom surface 52-3 of the annular recess 52-2 of the support mount 50 and the convex surface 64 of the annular convex portion 63 of the fixed mount 60 are aligned in the Y-axis direction. Face to face and form a closed space 75.

ロータリージョイント２５は、スピンドルハウジング２３の前方に設けられている。ロータリージョイント２５は、内側に収容穴２５－１が形成されている。収容穴２５－１は、前方側から支持マウント５０の円筒部５３が嵌合される。ロータリージョイント２５は、径方向外向きに延出して吸引路２５－２が形成されている。吸引路２５－２は、外周側が、吸引路２５－２に負圧を導入する吸引源７９と接続されている。吸引路２５－２は、内周側が、支持マウント５０の円筒部５３がロータリージョイント２５の収容穴２５－１に嵌合された際に、支持マウント５０の吸引路５５と連通する。 The rotary joint 25 is provided in front of the spindle housing 23. The rotary joint 25 is formed with a housing hole 25-1 inside. The cylindrical portion 53 of the support mount 50 is fitted into the accommodating hole 25-1 from the front side. The rotary joint 25 extends outward in the radial direction to form a suction path 25-2. The outer peripheral side of the suction path 25-2 is connected to a suction source 79 that introduces a negative pressure into the suction path 25-2. The suction path 25-2 communicates with the suction path 55 of the support mount 50 on the inner peripheral side when the cylindrical portion 53 of the support mount 50 is fitted into the accommodating hole 25-1 of the rotary joint 25.

マウント２４は、ロータリージョイント２５からの負圧を、支持マウント５０の吸引路５５及び密閉空間７５を介して固定マウント６０に作用させ、固定マウント６０を支持マウント５０側（後方側）に向けて吸引固定することで、支持マウント５０の支持面５２－１と固定マウント６０の支持面６２とで切削ブレード２１を挟持する。 The mount 24 applies a negative pressure from the rotary joint 25 to the fixed mount 60 via the suction path 55 of the support mount 50 and the closed space 75, and sucks the fixed mount 60 toward the support mount 50 side (rear side). By fixing, the cutting blade 21 is sandwiched between the support surface 52-1 of the support mount 50 and the support surface 62 of the fixed mount 60.

なお、マウント２４は、本発明では上記した形態に限定されない。マウント２４は、本発明では、例えば、固定マウント６０が締付ナット２７及び支持マウント５０のボス部５１を前方側から覆う形態であってもよい。また、マウント２４は、本発明では、切り刃２１－１と切り刃２１－１の内周に設けられた基台とを有する所謂ハブブレードの基台部分を、上記と同様の形状の支持マウント５０と固定マウント６０とで挟持する形態であってもよい。また、マウント２４は、本発明では、ロータリージョイント２５からの負圧により切削ブレード２１をスピンドル２２の先端に固定する所謂バキュームフランジ構造の形態に限定されず、ボス部５１の先端に設けられた雄ネジに螺合するナットの締め付け等のみにより切削ブレード２１をスピンドル２２の先端に固定する形態であってもよい。 The mount 24 is not limited to the above-described form in the present invention. In the present invention, the mount 24 may have, for example, a form in which the fixed mount 60 covers the tightening nut 27 and the boss portion 51 of the support mount 50 from the front side. Further, in the present invention, the mount 24 has a so-called hub blade base portion having a cutting blade 21-1 and a base provided on the inner circumference of the cutting blade 21-1 as a support mount having the same shape as described above. It may be sandwiched between the 50 and the fixed mount 60. Further, in the present invention, the mount 24 is not limited to the form of a so-called vacuum flange structure in which the cutting blade 21 is fixed to the tip of the spindle 22 by the negative pressure from the rotary joint 25, and the male provided at the tip of the boss portion 51. The cutting blade 21 may be fixed to the tip of the spindle 22 only by tightening the nut screwed to the screw.

切削ブレード２１の切り刃２１－１は、刃先出し量７１を刃厚７２で割った値で示されるアスペクト比（無次元量）が３０以上でマウント２４に固定されている。ここで、刃先出し量７１は、切削ブレード２１の切り刃２１－１が切り刃２１－１を支持する部材の外周縁から突出している径方向の長さである。刃先出し量７１は、本実施形態のように切削ブレード２１がハブレスブレードである場合、図２に示すように、マウント２４の外周縁から切り刃２１－１の外周縁までの径方向の長さである。なお、マウント２４の外周縁は、切削ブレード２１を挟持する支持面５２－１の外周縁と支持面６２の外周縁とのうち外周側に位置する方の外周縁を指す。また、刃先出し量７１は、切削ブレード２１がハブブレードである場合、基台の外周縁から切り刃２１－１の外周縁までの径方向の長さである。刃厚７２は、図２に示すように、切削ブレード２１の切り刃２１－１の刃先出しされている部分の厚さである。刃厚７２は、本実施形態では、０．２ｍｍ以下である。アスペクト比は、刃先出し量７１と刃厚７２との単位が揃えられて、刃先出し量７１の数値を刃厚７２の数値で割ることで算出される。 The cutting edge 21-1 of the cutting blade 21 is fixed to the mount 24 when the aspect ratio (dimensionless amount) indicated by the value obtained by dividing the cutting edge amount 71 by the blade thickness 72 is 30 or more. Here, the cutting edge extension amount 71 is the radial length of the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21 protruding from the outer peripheral edge of the member supporting the cutting edge 21-1. When the cutting blade 21 is a hubless blade as in the present embodiment, the cutting edge extension amount 71 is the radial length from the outer peripheral edge of the mount 24 to the outer peripheral edge of the cutting edge 21-1 as shown in FIG. That's right. The outer peripheral edge of the mount 24 refers to the outer peripheral edge of the support surface 52-1 sandwiching the cutting blade 21 and the outer peripheral edge of the support surface 62, whichever is located on the outer peripheral side. Further, the cutting edge extension amount 71 is the radial length from the outer peripheral edge of the base to the outer peripheral edge of the cutting edge 21-1 when the cutting blade 21 is a hub blade. As shown in FIG. 2, the blade thickness 72 is the thickness of the portion of the cutting blade 21 where the cutting edge 21-1 is extended. The blade thickness 72 is 0.2 mm or less in this embodiment. The aspect ratio is calculated by aligning the units of the cutting edge extension amount 71 and the blade thickness 72 and dividing the numerical value of the cutting edge extension amount 71 by the numerical value of the blade thickness 72.

ブレードカバー２６は、図３に示すように、スピンドルハウジング２３の前方側に装着されており、切削ブレード２１及びスピンドル２２の前方側の少なくとも一部を覆う。ブレードカバー２６は、内部に複数の水路２６－１，２６－２が形成されている。 As shown in FIG. 3, the blade cover 26 is mounted on the front side of the spindle housing 23 and covers at least a part of the cutting blade 21 and the front side of the spindle 22. The blade cover 26 has a plurality of water channels 26-1 and 26-2 formed therein.

ノズル３０は、図３に示すように、ノズル３１と、ノズル３２と、を備える。ノズル３１は、概ね円筒状であり、先端に切削水を供給する概ね円形の供給口３１－１が形成されている。ノズル３１は、水路２６－１の下端に回動部３６及び回動部３７を介して設けられ、水路２６－１の上端から切削水供給部３３を介して切削水供給源３９から供給される切削水を、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって供給する。ノズル３２は、水路２６－２の下端に設けられ、水路２６－２の上端から切削水供給部３４を介して切削水供給源３９から供給される切削水を、切削ブレード２１の切り刃２１－１の側方に供給する。切削水は、例えば、純水である。 As shown in FIG. 3, the nozzle 30 includes a nozzle 31 and a nozzle 32. The nozzle 31 has a substantially cylindrical shape, and a substantially circular supply port 31-1 for supplying cutting water to the tip thereof is formed. The nozzle 31 is provided at the lower end of the water channel 26-1 via the rotating portion 36 and the rotating portion 37, and is supplied from the upper end of the water channel 26-1 from the cutting water supply source 39 via the cutting water supply unit 33. Cutting water is supplied from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade 21 in parallel with the side surface 21-3 of the cutting blade 21. The nozzle 32 is provided at the lower end of the water channel 26-2, and the cutting water supplied from the cutting water supply source 39 from the upper end of the water channel 26-2 via the cutting water supply unit 34 is supplied to the cutting blade 21- of the cutting blade 21. Supply to the side of 1. The cutting water is, for example, pure water.

ここで、ノズル３１が、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって供給するとは、図３のように切削ブレード２１の外周から切削ブレード２１の中心に向かう径方向成分８１に沿って切り刃２１－１の外周面に向けて切削水を供給したり、切削ブレード２１の周方向に沿う周方向成分８２に沿って切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に向けて切削水を供給したりすることである。ここで、切削水の供給方向８０は、ノズル３１の供給口３１－１の面に直交している。また、切削水の供給方向８０は、切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に交差する。ノズル３１は、回動部３６，３７により切削ブレード２１の切り刃２１－１の側面２１－３に平行な所定の面内で切削水の供給方向８０を変更できる。 Here, the nozzle 31 supplies from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade 21 in parallel with the side surface 21-3 of the cutting blade 21 from the outer periphery of the cutting blade 21 to the center of the cutting blade 21 as shown in FIG. Cutting water is supplied toward the outer peripheral surface of the cutting blade 21-1 along the radial component 81 toward which the cutting blade 21 is directed, or the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 is supplied along the circumferential component 82 along the circumferential direction of the cutting blade 21. It is to supply cutting water toward the outer peripheral surface of the blade. Here, the supply direction 80 of the cutting water is orthogonal to the surface of the supply port 31-1 of the nozzle 31. Further, the cutting water supply direction 80 intersects the outer peripheral surface of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21. The nozzle 31 can change the supply direction 80 of the cutting water in a predetermined plane parallel to the side surface 21-3 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 by the rotating portions 36 and 37.

図４は、図３のノズル３１を示す部分断面図である。図４は、図３のノズル３１の供給口３１－１付近の先端領域の、供給口３１－１の中心を通り供給方向８０を含む面における断面を示している。図５は、図３のノズル３１を示す断面図である。図５は、図３のノズル３１の先端領域の、供給口３１－１に平行な面における断面図であり、図４のＶ－Ｖ線に沿う断面図である。ノズル３１は、図４及び図５に示すように、仕切り板３８を備える。仕切り板３８は、ノズル３１の切削水が流れる内部の、供給口３１－１付近の先端領域に設けられており、供給口３１－１から供給方向８０に供給される直前の切削水の流れを整流する。仕切り板３８は、切削水の供給方向８０に沿って延びる１つまたは複数の薄い板状の部材であり、図５に示す例では、ノズル３１の内部に挿入して設けられた、切削水の供給方向８０に沿って延びる７つの円筒状の部材である。 FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the nozzle 31 of FIG. FIG. 4 shows a cross section of the tip region of the nozzle 31 in the vicinity of the supply port 31-1 in FIG. 3 on a surface that passes through the center of the supply port 31-1 and includes the supply direction 80. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the nozzle 31 of FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of the tip region of the nozzle 31 of FIG. 3 in a plane parallel to the supply port 31-1 and is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. The nozzle 31 includes a partition plate 38 as shown in FIGS. 4 and 5. The partition plate 38 is provided in the tip region near the supply port 31-1 inside the cutting water of the nozzle 31 to flow the cutting water immediately before being supplied from the supply port 31-1 to the supply direction 80. Rectify. The partition plate 38 is one or a plurality of thin plate-shaped members extending along the cutting water supply direction 80, and in the example shown in FIG. 5, the cutting water is inserted and provided inside the nozzle 31. Seven cylindrical members extending along the supply direction 80.

図６は、図３のノズル３１の供給口３１－１と切削ブレード２１との位置関係を説明する図である。図６は、供給方向８０とは反対方向から、切削ブレード２１の切り刃２１－１を介してノズル３１の供給口３１－１を見た図である。ノズル３１の供給口３１－１は、図６に示すように、供給方向８０から見て切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面を厚さ方向に跨ぐように位置付けられ、切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に向けられている。ノズル３１の供給口３１－１は、図６に示す例では、供給方向８０が切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面の厚さ方向の中央部分に交差するように配置されている。 FIG. 6 is a diagram illustrating the positional relationship between the supply port 31-1 of the nozzle 31 of FIG. 3 and the cutting blade 21. FIG. 6 is a view of the supply port 31-1 of the nozzle 31 viewed from the direction opposite to the supply direction 80 through the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21. As shown in FIG. 6, the supply port 31-1 of the nozzle 31 is positioned so as to straddle the outer peripheral surface of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 in the thickness direction when viewed from the supply direction 80, and the supply port 31-1 of the cutting blade 21. It is directed toward the outer peripheral surface of the cutting edge 21-1. In the example shown in FIG. 6, the supply port 31-1 of the nozzle 31 is arranged so that the supply direction 80 intersects the central portion of the outer peripheral surface of the cutting blade 21 of the cutting blade 21 in the thickness direction.

制御ユニット４０は、切削装置１の各種構成要素の動作を制御して、被加工物１００の切削加工処理を切削装置１に実施させる。制御ユニット４０は、回動部３６，３７を制御して、ノズル３１の供給口３１－１の方向、すなわちノズル３１による切削水の供給方向８０を制御する。制御ユニット４０は、切削水供給源３９からの切削水の供給量及び供給圧を制御することで、ノズル３１，３２からの切削水の供給量及び供給圧を制御する。 The control unit 40 controls the operation of various components of the cutting device 1 to cause the cutting device 1 to perform the cutting process of the workpiece 100. The control unit 40 controls the rotating portions 36 and 37 to control the direction of the supply port 31-1 of the nozzle 31, that is, the supply direction 80 of the cutting water by the nozzle 31. The control unit 40 controls the supply amount and supply pressure of the cutting water from the nozzles 31 and 32 by controlling the supply amount and supply pressure of the cutting water from the cutting water supply source 39.

制御ユニット４０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット４０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット４０の演算処理装置は、制御ユニット４０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット４０の入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。 The control unit 40 includes a computer system in this embodiment. The computer system included in the control unit 40 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (Central Processing Unit), a storage device having a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), and a storage device having a memory. It has an input / output interface device. The arithmetic processing unit of the control unit 40 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device of the control unit 40, and outputs a control signal for controlling the cutting apparatus 1 to an input / output interface device of the control unit 40. Is output to each component of the cutting device 1 via.

次に、本明細書は、実施形態に係る被加工物の切削方法を図面に基づいて説明する。実施形態に係る被加工物の切削方法は、実施形態に係る切削装置１を用いて実施される。図７は、実施形態に係る被加工物の切削方法の一例を示す断面図である。 Next, this specification describes the cutting method of the workpiece according to the embodiment based on the drawings. The method of cutting the workpiece according to the embodiment is carried out by using the cutting device 1 according to the embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a method of cutting a workpiece according to an embodiment.

実施形態に係る被加工物の切削方法は、図７に示すように、ノズル３１からの切削水を切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって供給しつつ、回転中の切削ブレード２１をチャックテーブル１０の保持面１１で保持した被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って（図７ではＸ軸方向に沿って）相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿った切削溝２００を形成する。実施形態に係る被加工物の切削方法は、ノズル３１の内部に仕切り板３８を設けて、ノズル３１から供給する切削水を整流しているので、ノズル３１から切削ブレード２１の切り刃２１－１の外周面に供給される切削水に生じる揺らぎを抑制でき、これにより、ノズル３１から供給される切削水に起因する切削ブレード２１の振動を抑制しながら被加工物１００を切削加工できる。 In the cutting method of the workpiece according to the embodiment, as shown in FIG. 7, the cutting water from the nozzle 31 is supplied from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade 21 in parallel with the side surface 21-3 of the cutting blade 21. At the same time, the rotating cutting blade 21 is relatively moved along the planned division line 102 (along the X-axis direction in FIG. 7) with respect to the workpiece 100 held by the holding surface 11 of the chuck table 10. The work piece 100 is machined to form a cutting groove 200 along the planned division line 102. In the method of cutting the workpiece according to the embodiment, since the partition plate 38 is provided inside the nozzle 31 to rectify the cutting water supplied from the nozzle 31, the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 is rectified from the nozzle 31. Fluctuations generated in the cutting water supplied to the outer peripheral surface of the machine can be suppressed, whereby the workpiece 100 can be machined while suppressing the vibration of the cutting blade 21 caused by the cutting water supplied from the nozzle 31.

以上のような構成を有する実施形態に係る切削装置１は、切削ブレード２１の側面２１－３と平行に外周から切削ブレード２１の外周面に向かって切削水を供給するノズル３１の内部に仕切り板３８を設けて、ノズル３１から供給する切削水を整流しているので、切削ブレード２１が厚さ０．２ｍｍ以下でアスペクト比が３０以上という従来では切削ブレード２１が振動しやすかった条件下でも、ノズル３１から供給される切削水に起因する切削ブレード２１の振動を低減できるという作用効果を奏する。これにより、実施形態に係る切削装置１は、切削溝２００の蛇行を抑制でき、切削したチップの側面にソーマークが付くことを抑制できるという作用効果を奏する。 The cutting device 1 according to the embodiment having the above configuration has a partition plate inside a nozzle 31 that supplies cutting water from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade 21 in parallel with the side surface 21-3 of the cutting blade 21. Since 38 is provided to rectify the cutting water supplied from the nozzle 31, even under the condition that the cutting blade 21 has a thickness of 0.2 mm or less and an aspect ratio of 30 or more, which is conventionally easy for the cutting blade 21 to vibrate. It has the effect of reducing the vibration of the cutting blade 21 caused by the cutting water supplied from the nozzle 31. As a result, the cutting device 1 according to the embodiment has the effect of suppressing the meandering of the cutting groove 200 and suppressing the saw mark from being attached to the side surface of the cut tip.

また、実施形態に係る切削装置１は、マウント２４が、ロータリージョイント２５からの負圧を固定マウント６０に作用させて、支持マウント５０の支持面５２－１と固定マウント６０の支持面６２とで切削ブレード２１を挟持する所謂バキュームフランジ構造を備えているという従来では切削ブレード２１がさらに振動しやすかった条件下でも、ノズル３１から供給される切削水に起因する切削ブレード２１の振動を低減できるという作用効果を奏する。 Further, in the cutting device 1 according to the embodiment, the mount 24 exerts a negative pressure from the rotary joint 25 on the fixed mount 60 to form a support surface 52-1 of the support mount 50 and a support surface 62 of the fixed mount 60. It is said that the vibration of the cutting blade 21 due to the cutting water supplied from the nozzle 31 can be reduced even under the condition that the cutting blade 21 has a so-called vacuum flange structure for sandwiching the cutting blade 21 and the cutting blade 21 is more likely to vibrate in the past. It has an effect.

次に、本発明の発明者らは、実施形態に係る切削装置１及び被加工物の切削方法の作用効果を確認した。図８は、実施形態に係る切削装置１及び被加工物の切削方法の作用効果を説明する図である。図８は、作用効果を確認した際に得られた結果をまとめて示している。 Next, the inventors of the present invention confirmed the operation and effect of the cutting device 1 and the cutting method of the workpiece according to the embodiment. FIG. 8 is a diagram illustrating the operation and effect of the cutting device 1 and the cutting method of the workpiece according to the embodiment. FIG. 8 summarizes the results obtained when the action and effect were confirmed.

図８は、実施形態に係る切削装置１もしくは実施形態に係る切削装置１からノズル３１の内部の仕切り板３８を取り外した実質的に従来相当の切削装置において、切削ブレード２１として厚さ５０μｍのメタルブレードを使用し、被加工物１００として樹脂ボンドのドレスボードを使用し、回転中の切削ブレード２１の被加工物１００に対する相対速度である加工送り速度を１０ｍｍ／ｓとして、切削ブレード２１の刃先出し量７１／刃厚７２で示されるアスペクト比をそれぞれ２５，３０，４０，４５として、それぞれ切削ブレード２１で形成した切削溝２００の蛇行評価の結果を示している。なお、切削ブレード２１として使用したメタルブレードは、一般的なウエーハ等を切削加工する砥粒含有ブレードと比較して、振動のしやすさは同等である。また、被加工物１００として使用した樹脂ボンドのドレスボードのメタルブレードによる切削性は、一般的な母材のウエーハの砥粒含有ブレードによる切削性と同等である。 FIG. 8 shows a metal having a thickness of 50 μm as a cutting blade 21 in a substantially conventional cutting device in which the partition plate 38 inside the nozzle 31 is removed from the cutting device 1 according to the embodiment or the cutting device 1 according to the embodiment. A blade is used, a resin-bonded dress board is used as the workpiece 100, and the machining feed rate, which is the relative velocity of the rotating cutting blade 21 to the workpiece 100, is set to 10 mm / s, and the cutting edge of the cutting blade 21 is extended. The aspect ratios indicated by the amount 71 / blade thickness 72 are set to 25, 30, 40, and 45, respectively, and the results of meandering evaluation of the cutting groove 200 formed by the cutting blade 21 are shown. The metal blade used as the cutting blade 21 has the same ease of vibration as a blade containing abrasive grains for cutting a general wafer or the like. Further, the machinability of the resin-bonded dressboard used as the workpiece 100 by the metal blade is equivalent to the machinability of the general base material wafer by the abrasive grain-containing blade.

図８の「仕切り板有りノズル」の列は、仕切り板３８を設けたノズル３１を備える実施形態に係る切削装置１を使用した場合の結果を示しており、図８の「仕切り板無しノズル」の列は、ノズル３１の内部の仕切り板３８を取り外した従来相当の切削装置を使用した場合の結果を示している。図８の「○」は、切削溝２００の蛇行が所定の閾値以下であったという結果を示しており、図８の「×」は、切削溝２００の蛇行が所定の閾値よりも大きかったという結果を示している。ここで、切削溝２００の蛇行評価で使用した所定の閾値は、被加工物１００として使用した樹脂ボンドのドレスボードを切削加工して得たチップを仮に製品として取り扱う場合に、切削された面が製品として合格か不合格かを評価する現行の評価基準に基づいて決定したものである。 The row of "nozzles with partition plate" in FIG. 8 shows the result when the cutting device 1 according to the embodiment including the nozzle 31 provided with the partition plate 38 is used, and the "nozzle without partition plate" in FIG. 8 shows the result. Rows show the results when a conventional equivalent cutting device with the partition plate 38 inside the nozzle 31 removed was used. “◯” in FIG. 8 indicates the result that the meandering of the cutting groove 200 was equal to or less than a predetermined threshold value, and “×” in FIG. 8 indicates that the meandering of the cutting groove 200 was larger than the predetermined threshold value. The result is shown. Here, the predetermined threshold value used in the meandering evaluation of the cutting groove 200 is that the cut surface is used when the chip obtained by cutting the resin-bonded dress board used as the workpiece 100 is temporarily handled as a product. It was decided based on the current evaluation criteria for evaluating whether the product passed or failed.

図８に示すように、実施形態に係る切削装置１を使用した場合には、アスペクト比が２５，３０，４０の時には切削溝２００の蛇行が所定の閾値以下となったが、アスペクト比が４５の時には、切削溝２００の蛇行が所定の閾値より大きくなった。一方、従来相当の切削装置を使用した場合には、アスペクト比が２５の時には切削溝２００の蛇行が所定の閾値以下となったが、アスペクト比が３０，４０，４５の時には、切削溝２００の蛇行が所定の閾値より大きくなった。 As shown in FIG. 8, when the cutting device 1 according to the embodiment is used, when the aspect ratios are 25, 30, and 40, the meandering of the cutting groove 200 is equal to or less than a predetermined threshold value, but the aspect ratio is 45. At this time, the meandering of the cutting groove 200 became larger than the predetermined threshold value. On the other hand, when a conventional cutting device equivalent to the conventional one is used, the meandering of the cutting groove 200 is equal to or less than a predetermined threshold when the aspect ratio is 25, but when the aspect ratio is 30, 40, 45, the cutting groove 200 The meandering became larger than the predetermined threshold.

これにより、図８に示す実施例では、アスペクト比が３０以上４０以下の時には、仕切り板３８を設けたノズル３１を備える実施形態に係る切削装置１を使用することで、従来相当の切削装置を使用した場合と比較して、切削溝２００の蛇行を所望のレベルまで十分に抑制できることが明らかとなった。また、これにより、アスペクト比が３０以上４０以下の時には、仕切り板３８を設けたノズル３１を備える実施形態に係る切削装置１を使用することで、従来相当の切削装置を使用した場合と比較して、切削ブレード２１の振動を十分に抑制できることも明らかになった。 As a result, in the embodiment shown in FIG. 8, when the aspect ratio is 30 or more and 40 or less, the cutting device 1 according to the embodiment including the nozzle 31 provided with the partition plate 38 is used to obtain a cutting device equivalent to the conventional one. It has been clarified that the meandering of the cutting groove 200 can be sufficiently suppressed to a desired level as compared with the case of using the cutting groove 200. Further, as a result, when the aspect ratio is 30 or more and 40 or less, by using the cutting device 1 according to the embodiment provided with the nozzle 31 provided with the partition plate 38, it is compared with the case where the cutting device equivalent to the conventional one is used. It was also clarified that the vibration of the cutting blade 21 can be sufficiently suppressed.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, it can be variously modified and carried out within a range that does not deviate from the gist of the present invention.

１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２１－３ 側面
２２ スピンドル
２３ スピンドルハウジング
２４ マウント
２５ ロータリージョイント
３０，３１，３２ ノズル
３８ 仕切り板
５０ 支持マウント
５２－１，６２ 支持面
５５ 吸引路
６０ 固定マウント
７１ 刃先出し量
７２ 刃厚
１００ 被加工物 1 Cutting equipment 10 Chuck table 20 Cutting unit 21 Cutting blade 21-3 Side surface 22 Spindle 23 Spindle housing 24 Mount 25 Rotary joint 30, 31, 32 Nozzle 38 Partition plate 50 Support mount 52-1, 62 Support surface 55 Suction path 60 Fixed Mount 71 Cutting edge amount 72 Blade thickness 100 Work piece

Claims (3)

被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端にマウントを介して固定された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有し、該切削ブレードは、厚さ０．２ｍｍ以下で刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比が３０以上で該マウントに固定された切削装置であって、
該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって切削水を供給するノズルを備え、
該ノズルは、切削水の流れを整流する仕切り板を内部に備えていることを特徴とする切削装置。 A chuck table that holds the workpiece, a cutting unit that cuts the workpiece held on the chuck table with a cutting blade fixed to the tip of the spindle via a mount, and a cutting unit that supplies cutting water to the cutting blade. A cutting device having a nozzle and the cutting blade having a thickness of 0.2 mm or less and having an aspect ratio of 30 or more indicated by the cutting edge amount / blade thickness and fixed to the mount.
A nozzle for supplying cutting water from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade in parallel with the side surface of the cutting blade is provided.
The nozzle is a cutting device including a partition plate that rectifies the flow of cutting water inside. 該マウントは、該スピンドルの先端に嵌合し該切削ブレードを支持する支持マウントと、該支持マウントに支持された該切削ブレードを該支持マウントに固定する固定マウントと、を備え、
該支持マウントは、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジング側である後方側から該固定マウントに対面する支持面へ貫通する吸引路を内部に有し、
該スピンドルハウジングの前方に設けられたロータリージョイントからの負圧を、該支持マウントの該吸引路を介して該固定マウントに作用させ、該固定マウントを該支持マウントの該支持面に吸引固定することで、該支持マウントと該固定マウントとで該切削ブレードを挟持する請求項１に記載の切削装置。 The mount comprises a support mount that fits into the tip of the spindle and supports the cutting blade, and a fixed mount that secures the cutting blade supported by the support mount to the support mount.
The support mount internally has a suction path that penetrates from the rear side, which is the spindle housing side that rotatably supports the spindle, to the support surface facing the fixed mount.
A negative pressure from a rotary joint provided in front of the spindle housing is applied to the fixed mount via the suction path of the support mount, and the fixed mount is suction-fixed to the support surface of the support mount. The cutting device according to claim 1, wherein the cutting blade is sandwiched between the support mount and the fixed mount. 請求項１又は２に記載の切削装置を用いた被加工物の切削方法であって、
該ノズルからの該切削水を該切削ブレードの側面と平行に外周から該切削ブレードの外周面に向かって供給しつつ、該チャックテーブルで保持した該被加工物を該切削ブレードで切削し、該ノズルから供給される切削水に起因する該切削ブレードの振動を抑制しながら被加工物を切削することを特徴とする被加工物の切削方法。 A method for cutting a workpiece using the cutting device according to claim 1 or 2.
While supplying the cutting water from the nozzle from the outer periphery toward the outer peripheral surface of the cutting blade in parallel with the side surface of the cutting blade, the workpiece held by the chuck table is cut by the cutting blade. A method for cutting a workpiece, which comprises cutting the workpiece while suppressing vibration of the cutting blade caused by cutting water supplied from a nozzle.
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