JP2022037588A - 流体制御機器用子局 - Google Patents
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Abstract
Description
圧力センサ14からの出力は、流体制御機器用子局52に送られ、さらにマスタ51に送られる。そして、この出力に基づいたフィードバック指令値が、マスタ51から流体制御機器用子局52に送られ、さらに電空レギュレータ13に送られる。このように信号の授受を行うに当たって、信号が経由する機器の個数が多いため、圧力センサ14の出力があってから、実際に電空レギュレータ13が出力する圧力値が変動するまでの応答時間に遅延が生じるおそれがある。また、信号が経由する機器の個数が多いと、信号の授受を行う際に、信号がノイズの影響を受ける可能性が高くなる。応答時間の遅延やノイズの影響は微少なものと考えられるが、特に、電空レギュレータ13がウエハの研磨装置に用いられる場合、ウエハ表面には極めて高い平坦性が要求されるため、微少な応答時間の遅延やノイズによる影響が、ウエハの品質に悪影響を与えるおそれがある。
(1)流体制御機器(例えば電空レギュレータ13)と、流体制御機器(電空レギュレータ13)の出力の目標値(例えば電空レギュレータ13が出力する制御流体の目標圧力値)を指令するための信号である指令目標値を出力するマスタ11と、流体制御機器の出力(例えば電空レギュレータ13が出力する制御流体の圧力値)を検知し、検知信号を出力するセンサ(例えば圧力センサ14)と、から構成されるフィールドネットワーク1に用いられ、マスタ11と、流体制御機器(電空レギュレータ13)と、センサ(圧力センサ14)との間の信号を中継する流体制御機器用子局12において、流体制御機器用子局12が、指令目標値と、検知信号に基づき、流体制御機器(電空レギュレータ13)のフィードバック制御を行うフィードバック制御演算部121Aを備えること、を特徴とする。
11 マスタ
12 流体制御機器用子局
13 電空レギュレータ(流体制御機器の一例)
14 圧力センサ(センサの一例)
121A フィードバック制御演算部
121B パラメータ設定部
Claims (3)
- 流体制御機器と、前記流体制御機器の出力の目標値を指令するための信号である指令目標値を出力するマスタと、前記流体制御機器の出力を検知し、検知信号を出力するセンサと、から構成されるフィールドネットワークに用いられ、前記マスタと、前記流体制御機器と、前記センサとの間の信号を中継する流体制御機器用子局において、
流体制御機器用子局が、前記指令目標値と、前記検知信号に基づき、前記流体制御機器のフィードバック制御を行うフィードバック制御演算部を備えること、
を特徴とする流体制御機器用子局。 - 請求項1に記載の流体制御機器用子局において、
前記フィードバック制御はPID制御であり、前記流体制御機器用子局は、 PIDパラメータを設定するパラメータ設定部を備えること、
を特徴とする流体制御機器用子局。 - 請求項1または2に記載の流体制御機器用子局において、
前記流体制御機器は電空レギュレータであること、
前記マスタは、前記指令目標値として、前記電空レギュレータが出力する制御流体の目標圧力値を指令すること、
前記センサは圧力センサであり、前記電空レギュレータが出力する制御流体の圧力値を検知すること、
前記フィードバック制御演算部は、前記圧力値を、前記目標圧力値に近づけるよう、前記電空レギュレータを制御すること、
を特徴とする流体制御機器用子局。
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Citations (4)
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JPH11184535A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Smc Corp | 電空レギュレータシステム |
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2020
- 2020-08-25 JP JP2020141803A patent/JP2022037588A/ja active Pending
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