JP2022023919A - 窒化ガリウムデバイスに対する過電圧保護及び短絡回路耐性 - Google Patents

窒化ガリウムデバイスに対する過電圧保護及び短絡回路耐性 Download PDF

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Abstract

【課題】制御電圧に影響を与えて、トランジスタが少なくとも部分的にオンにするように動作するスイッチ回路及びスイッチングデバイスに対する過電圧保護を提供する。【解決手段】スイッチ回路(100)は、ドライバ回路(116)及び窒化ガリウム(GaN)又はその他の高電子移動度の第1のトランジスタ(101)と結合されるシリコントランジスタ(102)又はその他の電流源回路を含む。ドライバ(116)は、第1のモードにおいて、制御電圧信号(GC1)を第1のトランジスタ(101)に送出するように動作し、また、第2のモードにおいて、第1のトランジスタ(101)に関連する検出された過電圧状況に応答して、電流源回路(102)を制御して、第1のトランジスタ(101)からシンク電流(I2)を導通させる。【選択図】図1

Description

本願は、全般的に、スイッチ回路、及びスイッチングデバイスに対する過電圧保護に関する。
高電子移動度トランジスタ(HEMT)は、低いオン状態抵抗(例えば、RDSON)に起因し、高効率スイッチング電源、アンプ、及び他のスイッチ回路に対する魅力ある解決策になってきている。従来のシリコンスイッチングトランジスタに比べ、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)、炭化珪素(SiC)、及び他のHEMTは、特に高周波数で、電力回路における、より高い出力電力、より小型のサイズ、及び高い効率を約束する。しかしながら、これらの技術は、開発の早期段階にあり、概して、シリコン解決策に取って代わってはいない。GaNトランジスタは高電圧電力変換応用例に対して良好に適応するが、現在のGaNトランジスタが、多くのシリコン電力FETに見合った固有のアバランシェ性能を有さないので、バイアスによるブレークダウンの際に損傷を受け易い。更に、幾つかのシリコンFETも固有のアバランシェ性能を有さない。また、多くのスイッチ回路応用例は、短絡回路状況に耐える能力を必要とし、現在のGaN作製技法は充分な短絡回路耐性能力を提供しない。GaN又は低固有アバランシェ性能シリコントランジスタを組み込む1つの技法は、過剰なブレークダウン電圧マージンを備えるデバイスを過大に設計して、トランジスタがブレークダウンに駆動されることがないようにすることである。このアプローチは、コストがかさみ、システムを、さもなければシリコンスイッチ設計を用いてクランプされているはずの過剰な電圧に晒し得る。
説明される例示のスイッチ回路は、ドライバ、窒化ガリウム又は他のトランジスタと結合される電流源回路、及び駆動回路を含む。第1のモードにおいて、駆動回路は、制御電圧信号を第1のトランジスタに送出する。第2のモードにおいて、第1のトランジスタに関連する検出された過電圧状況に応答して、駆動回路は、第1のトランジスタをオンにするために第1のトランジスタからシンク電流を導通させるように電流源回路を制御する。電流源は、制御された方式で過電圧状況の放電を促進する。或る例において、ドライバは、検出された過電流状況に応答して、第1のトランジスタに対して恒久的な損傷を与えることなくスイッチ回路の短絡回路耐性能力を可能にするために、第1のトランジスタにおける電流を制限するために、第1のトランジスタから電流を導通させるように電流源を制御するように動作する。或る例において、電流源は、カスコード構成で第1のトランジスタと結合される第2のトランジスタである。或る例において、第2のトランジスタは、駆動回路及び過電圧検知回路とともにシリコンダイ内に作製される。他の例において、第2のトランジスタは第1のトランジスとともにモノリシックに作製されてもよく、或いは、
第1及び第2のトランジスタが駆動回路とモノリシックに統合され得る。第2のモードにおいて、ドライバは、第1のトランジスタを少なくとも部分的にオンにするために、第1のトランジスタからシンク電流を導通させるため及びカスコード構成の第1のトランジスタのゲートソース制御電圧に影響を与えるために、飽和モードにおいて第2のトランジスタを動作させるように制御電圧信号を提供する。或る例において、駆動回路は、過電圧状況に応答して、第2のトランジスタのアナログ又はデジタル制御を実装し、第2のトランジスタは、第1のトランジスタに関連する過電圧の量に従って制御される。説明される例は、過電圧及び短絡回路耐性能力を提供しつつ、高効率システムに対するGaN又は他のトランジスタスイッチの使用を促進するように、ハーフブリッジ又は他のハイサイド/ローサイド電力変換構成で用いられ得る。
窒化ガリウム高電子移動度トランジスタと、ドライバ及び低電圧シリコントランジスタを含む集積回路とを含むスイッチ回路の概略図である。
図1の集積回路に実装されるスイッチ回路を制御するためのプロセスのフローチャートである。
図1の集積回路における低電圧シリコントランジスタの動作を図示する出力特性図である。
デジタル制御を提供するインターリーブされたマルチゲート構成を備える、例示の低電圧シリコントランジスタの簡略化された部分平面図である。
過電圧及び過電流保護を備えるDC-DC電力コンバータを形成するハイサイド及びローサイド窒化ガリウムトランジスタ及び対応するドライバ集積回路を用いるハーフブリッジ電力回路の概略図である。
図1の集積回路において過電圧状況を検知するための回路の部分概略図である。
図1の集積回路において過電圧を検知するための別の例示の回路の部分概略図である。
図1のスイッチ回路における低電圧シリコントランジスタに対する例示の過電圧波形及び対応するアナログ及びデジタルゲート制御曲線を示す波形図である。
ハイサイド及びローサイド窒化ガリウムトランジスタと、ローサイドトランジスタを過電圧及び過電流保護のために用いるためのドライバ集積回路とを含む、例示のハーフブリッジスイッチ回路の概略図である。
図において、類似の参照番号は一貫して類似の要素を示し、種々の特徴は必ずしも寸法通りではない。本明細書において、用語「含む(including, includes)」、「有する(having, has)」、「備えて(with)」、又はそれらの変形は、用語「含む(comprising)」と同様に包括的であり、従って「含むがそれに限定されない」という意味に解釈されるべきである。また、「結合する(couple)」は、間接的又は直接的な電気的接続又はそれらの組み合わせを含む。例えば、第1のデバイスが第2のデバイスに結合するか又は結合される場合、その接続は、直接的な電気的接続を介してもよく、又は1つ又は複数の介在デバイス及び接続を介して間接的に接続されてもよい。
図1は、第1の回路ノード104(例えば、供給電圧ノード)と第2の回路ノード106(例えば、接地ノードGND、又はハイサイド構成におけるスイッチされたノード)との間でスイッチ回路を形成するように第2のトランジスタ102と直列に結合される第1のトランジスタ101を含むスイッチ回路100を示す。一例において、第1のトランジスタ101は、窒化ガリウムトランジスタ(例えば、GaN、AlGaN等)である。他の例において、第1のトランジスタ101は、シリコン(Si)炭化珪素(SiC)トランジスタ、又は他のFETであり得る。この例において、第2のトランジスタ102は、過電圧及び/又は過電流状況の検出に応答して、シンク電流12を第1のトランジスタ101から第2の回路ノード106に選択的に導通させるための電流源を提供する低電圧シリコントランジスタであり得る。図示される例において、第2のトランジスタ102を含む電流源は、過電圧検知回路112及びドライバ回路116とともに集積回路(IC)110内に作製される。ドライバ回路116は、第1及び第2のトランジスタ101及び102を、通常のスイッチング動作、及び過電圧及び/又は過電流状況に対する保護に備えるように、複数モードにおいて動作させる。他の例において、第2のトランジスタ102及びドライバ回路116は、第1のトランジスタ101の基板と同じ基板上にモノリシックに作製され得、例えば、全てのトランジスタがSi、GaN、又はSiCである。一例において、ドライバ回路116は、第1のモード(例えば、NORMALモード)において、第1のトランジスタ101に関連する検出された過電圧状況に応答して第2のモード(OVERVOLTAGE)において、及び、スイッチング回路100において検出された過電流状況に応答して第3のモード(OVERCURRENT)において動作する。一例において、過電圧検知回路112は、第1の回路ノード104の電圧を検知し、検知された電圧が閾値レベルを超えるとき、ドライバ回路116への入力としてライン114上に過電圧検出信号O-Vを選択的に提供する。過電圧検出信号O-Vは、検出された過電圧状況に応答して、ドライバ回路116を第2のモードで動作させる。ドライバ回路116は、これ以降に更に詳細に説明するように、第1の回路ノード104と第2の回路ノード106との間で電流源を第1のトランジスタ101と直列に実装するための第2のトランジスタ102の選択的動作によって過電圧/過電流保護を実装する。
スイッチ回路100は、一例において、第1のトランジスタ101を形成するためのGaNダイと、ドライバ回路116、過電圧検知回路112、及び第2のトランジスタ102を含む電流源を含むIC110を形成するためのシリコンダイとを含む、デュアルダイ構成要素であり得る。スイッチ回路100は、第1の回路ノード104及び第2の回路ノード106に対する適切な電気的接続、及び外部コントローラ(図示されない)から駆動信号DRVを受信するための駆動回路要素116への駆動信号入力108を備える単一のデュアルダイ製品であり得る。他の実装において、ドライバIC110は、接続されるHEMTトランジスタ101とともに用いるための個別の製品であり得る。IC110は、外部回路との電気的相互接続のため複数のパッド又はピンを有する。IC110は、一例において、第1のトランジスタ101の第1のソース端子S1との電気的結合(例えば、直接的又は間接的な電気的接続)のための第1のピン又はパッド131を含み、第2のパッド132が、第1のゲート制御電圧信号GC1を駆動回路116の出力118から第1のトランジスタ101の第1のゲート制御端子G1に搬送する。IC110はまた、第1のトランジスタ101のドレイン端子D1への電気的接続、及び第1のスイッチ回路ノード104への電気的接続を可能にするパッド134を含む。この例において、IC110は、駆動回路116に外部回路からの駆動信号DRVを受信させるパッド135を含み、IC110は、供給電圧VDDへの接続のための正の供給電圧パッド136、及び供給基準ノードCOMへの接続のための共通接続パッド137を含む。また、IC110はスイッチ回路接地ノード106(GND)への接続のためのパッド138を含む。別の例において、IC110は、特に、単一ダイチップを形成するための高電圧シリコン、GaN、又はSiC ICプロセスにおいて、第1のトランジスタ101をモノリシックに含み得る。
スイッチ回路100は、電力変換システムを実装するために、ハーフ又はフルブリッジスイッチング回路、多相インバータ等の任意の適切な電力電子回路要素において構成され得る。一例において、これ以降に説明する図5において図示されるように、スイッチ回路100のペアが互いに直列に接続され得、負荷を駆動するためDC-DCコンバータ回路又はハーフブリッジコンバータを形成するためにインダクタと組み合わせて、スイッチ回路100を接合するスイッチングノードを備える。そのようなスイッチ回路100の各々のための駆動信号入力108には、DC-DC変換を提供するために、対応するハイサイド又はローサイドスイッチングに対するパルス幅変調制御信号DRVが提供され得る。他の例において、複数のスイッチ回路100が相互接続されて、単相又は多相インバータを形成し、個々のスイッチ回路100に提供される対応するパルス幅変調DRV信号によってAC負荷を駆動するようにし得る。
図1において、第1のトランジスタ101は、第1の回路ノード104に接続される第1のドレイン端子D1、IC110の第1のパッド131を介して第2のトランジスタ102に接続される第1のソース端子SI、及びICパッド132を介して駆動回路116から第1のゲート制御信号GC1を受信するために接続される第1の制御端子(例えば、ゲート)G1を備えるGaN電界効果トランジスタ(FET)である。駆動回路116は、一例において、第1のトランジスタ101の制御されたスイッチングに対して、第1の(例えば、NORMAL)モードで入力108において受信したDRV信号に従って制御信号GC1を提供する。或る実装において、駆動回路116は、第2の(例えば、OVERVOLTAGE)モードでDRV信号に従ってGC1信号を提供し続ける。他の実装において、駆動回路116は、第2のモードで、第1のゲート端子G1の電圧を定電圧(例えば、0V)に設定するために信号GC1を提供する。一例において、駆動回路116は、第1のトランジスタ101に関連する検出された過電圧状況に応答して第2のモードで、シンク電流I2を第1のソース端子S1から第2の回路ノード106に導通させるための電流源として動作させるように、第2のトランジスタ102を飽和モードで制御するように動作する。第1のソース端子S1から電流I2をシンクする電流源102の制御された動作は、第1のトランジスタ101に、第1のトランジスタ101に流れる電流I1を電流源トランジスタ102に流れる電流I2に合致させるように制御するように第1のゲートソース電圧Vgs1を自己調節させる。このように、電流源トランジスタ102の制御された動作は、ゲートソース制御電圧Vgs1に影響を与えて、第1のトランジスタ101を少なくとも部分的にオンにする。
他の例において、駆動回路116は、第1のモードでDRV信号に従って、1つ又は複数の第2の制御電圧信号GC2(例えば、図1の例におけるGC2a及びGC2b)を、対応するライン120a及び120bに沿って第2のトランジスタ102に提供し、一方、スイッチ回路100の通常のスイッチング動作の間、第1のトランジスタ101のゲートG1において定電圧を提供するためGC1信号を保持する。これに関して、第1及び第2のトランジスタ102は、第1の(例えば、NORMAL)動作モードの間、セーフティカスコード構成として又は従来のカスコード組み合わせとして動作され得る。
この例において、第2のトランジスタ102は、制御された電流源を第1のトランジスタ101と直列に実装するためにIC110のシリコンダイ内に形成される低電圧シリコンFETトランジスタである。この例において、第2のトランジスタ102は、第1のソース端子S1に結合される第2のドレイン端子D2、第2の回路ノード106に結合される第2のソース端子S2、及び1つ又は複数の第2の制御端子(例えば、ゲート端子)G2を含む。第2のドレイン端子D2は、ライン124及び第1のパッド131を介して、第1のトランジスタ101のソース端子S1に結合される。駆動回路116は、スイッチ回路100に関連する短絡回路状況を検出するために、第1のトランジスタ101のソースS1を第2のトランジスタ102のドレインD2に接続する浮動ノード124に接続される。
第2及び第3のモードにおいて、駆動回路116は、第1のトランジスタ101に流れる電流I1を制限するために、シンク電流I2を第1のソース端子S1から第2の回路ノード106に導通させるため、第2のトランジスタ102をオンにするために第2の制御電圧信号GC2をゲートG2に送出する。或る例において、駆動回路116は、第1のトランジスタ101に関連する過電圧の量に従って制御電圧信号GC2を提供する。例えば、駆動回路116は、第2のモードにおいて、単一の信号GC2を、第1のトランジスタ101に関連する過電圧の量に従って制御される振幅を備えるアナログ電圧信号として、第2のトランジスタ102の単一のゲートに提供し得る。他の例において、複数の第2のトランジスタ102が、第1のトランジスタ101と第2の回路ノード106との間で、互いに並列に接続され得、駆動回路116は、シンク電流I2を設定するためのデジタル制御を実装するために、個々のゲート制御信号を第2のトランジスタ102のゲート制御端子に提供する。他の例において、図2に関連してこれ以降に説明するように、第2のトランジスタ102は複数のゲート制御構造を含み、これらの複数のゲート制御構造は、熱的熱拡散改善のため、或る実装において互いにインターリーブされ得る。そのような例において、駆動回路116は、第1のトランジスタ101に関連する過電圧の量に従ってシンク電流I2のデジタル制御を実装するために、個別の制御信号(例えば、図1におけるGC2a及びGC2b、図4におけるGC2a、GC2b、及びGC2c)を提供する。或る実施例において、駆動回路116は、第2のトランジスタ102のオン状態インピーダンス(例えば、RDSON)を通常動作に対して低値に設定するために、第1の動作モードの間、第2のトランジスタ102を線形モードで動作させ、スイッチ回路100における過電圧及び/又は過電流状況に対処するために第2及び第3の動作モードで電流源を実装するために、第2のトランジスタ(又は複数のトランジスタ)102を飽和モードで動作させる。
図2及び図3を参照すると、図2は、一例において、IC110に実装され得るスイッチ回路を動作させるためのプロセス及び方法200を図示し、図3は第2のトランジスタ102の線形及び飽和領域動作を示す曲線301~306を含むグラフ300を図示する。1つの可能な実装において、図1のドライバ及び過電圧/過電流保護回路116は、図2のプロセス200を実装するために、プログラム可能又はプログラム可能ではない、適切なロジックを含む。
202において、通常モード動作は第1のモードで実装され、駆動回路116は、DRV信号に従って第1のトランジスタ(例えば、GaN)を制御するために、信号GC1を送出する。この例において、駆動回路116は、Vgs2を相対的に高い第1の所定の値に設定するために、第2の制御信号GC2を提供する。一実施例において、所定の値は、第1のトランジスタ101と第2の回路ノード106との間に低インピーダンスを提供するように、最小又は相対的に低いRDSONを提供するために、第2のトランジスタ102(Si FET)を線形領域において駆動するように設定される。これは、通常動作における第2のトランジスタ102の電力消費を最小化し、それによって、スイッチ回路100の高効率動作を促進する。この例において、第1のトランジスタ101は、DRV信号に従って回路スイッチとして動作し、回路ノード104と回路ノード106との間のスイッチ回路電圧降下の大部分は、スイッチ101がオフのときに第1のトランジスタ101を横切る。従って、或る例において、第2のトランジスタ102は低電圧シリコントランジスタであり得、第1のトランジスタ101は、スイッチ回路101が用いられる電力変換システム又は他のホストシステムの予期される動作電圧及び電流に適応するように設計される。
第1の(NORMAL)モードにおける別の例では、202において、駆動回路116は、第1のトランジスタゲートG1を接地させるため(又はゲートG1の電圧を、その電源又は図1におけるスイッチングノード131を基準にする等、別の定電圧に設定するため)制御信号GC1を提供し、回路116は、DRV信号に従って第2のトランジスタ102を制御するために制御信号GC2を提供する。
204において、過電圧状況が検知又は検出されたか否かに関する判断がなされる。一例において、過電圧検知回路112は、第1の回路ノード104(例えば、第1のトランジスタ101のドレインD1)において電圧を測定又は検知し、図2における204において、ノード104における電圧を閾値電圧(図示されない)と比較する。例えば、過電圧検知回路112は、一例において、第1のトランジスタ101を横切る電圧が閾値より大きいか否かを判定する。過電圧状況が存在しない(204においてNOである)場合、駆動回路116は過電流状況が検出されたか否かを208において判定する。過電圧又は過電流状況が検出されない(204及び208においてNOである)場合、駆動回路116は、上述したように202において通常動作を継続する。
第1のトランジスタ101に関連する過電圧状況が検出された(204においてYESである)場合、駆動回路116は、206において第2のモードで動作する。一例において、検知回路112からの過電圧検出信号O-Vに応答して、駆動回路116は、トランジスタ102に非ゼロのシンク電流I2を第1のトランジスタ101から第2の回路ノード106に導通させるために、206において、信号GC2を提供することによって電流源を制御する。この制御されたシンク電流I2は、電圧Vgs1に影響を与え、第1のトランジスタ101を少なくとも部分的にオンにする。206における一例において、駆動回路116は、アナログ又はデジタル制御を用いて、第1のトランジスタ101に関連する過電圧の量に従ってトランジスタ電流源102を制御する。一例において、駆動回路116は、206において、第1のトランジスタ101を制御するために信号GC1を介してゲート電圧をゼロ又は別の定電圧に設定する。他の例において、駆動回路116は、第2のモードにおいてDRV信号に従ってゲート制御信号GC1を送出することを継続する。
図3において、グラフ300は、第2のトランジスタ102の動作のための、線形及び飽和モード又は領域における異なるゲートソース電圧Vgs2に対応する曲線301~306を示す。或る例において、駆動回路116は、202において、第1のモードにおいて線形領域におけるトランジスタ102のゲートソース電圧Vgs2を、所望の低いオン状態抵抗(例えば、低RDSON)に従って設定された第1の所定の値で制御するために、1つ又は複数のゲート制御信号GC2を提供する。例えば、第1の通常モード動作において駆動回路116は、図3の線形領域においてかなり高い傾斜を有する相対的に低いドレイン-ソース電圧VD2S2で曲線306に対応するゲートソースを提供し得、一方、第1のトランジスタ101(図1)はDRV信号に従って動作される。曲線305、304、303、302、及び301は、トランジスタ102の順次低くなるゲートソース電圧Vgs2に対応する。検出された過電圧状況に応答して、第2のモードにおいて、駆動回路116(一例において)は、第2のトランジスタ102を曲線303に沿って飽和領域において一層低いゲートソース電圧(例えば、Vgs2)で動作させるために、第2のゲート制御信号GC2を低下させる。飽和領域における第2のモードでの動作は、有利にも、第2のトランジスタ102を、第1のトランジスタ101のソースS1から電流I2をシンクするための電流源として制御する。これは過電圧状況の放電を促進し、その際、シンク電流I2が第1のトランジスタゲートソース電圧Vgs1に影響し、第1のトランジスタ101に、同量の電流(例えば、I1はI2にほぼ等しい)を導通させるようにその動作を自己調節させる。このようにして、駆動回路116は、第2のトランジスタ102のゲート電圧を、飽和領域における所望のオン電流I2に対応する一層低い第2の所定の電圧に設定することによって、過電圧放電電流の量を制御する。
図2におけるプロセス200に戻ると、駆動回路116は、204において、過電圧検知回路112からの過電圧検出信号O-Vの監視を継続し、過電圧状況が残存する間、第2のモードで動作し続ける。過電圧状況がクリアされると(204においてNOであると)、過電圧検知回路112は信号O-Vをシャットダウンし、駆動回路116は、208において、過電流状況が検出されるか否かを判定する。一例において、駆動回路116は、ノード104及び124における電圧を比較して、スイッチ回路100における過電流状況を示す短絡回路状況が検出されたか否かを判定する。別の例において、ノード124とノード138との間の電圧が比較される。一例において、この判定は、電流I1が図3のグラフに示される閾値電流ITHを超えるか否かを判定することに対応する。そうでない(208においてNOである)場合、プロセス200は、上述のように202において、第1のモードにおける通常動作に戻る。
過電流状況が検出された(208においてYESである)場合、駆動回路116は、第3の(例えば、OVERCURRENT)モードにおける動作を開始する。一例において、駆動回路116は、210において、第1のトランジスタ101のゲート電圧をゼロ又は他の定電圧に設定する。他の例において、駆動回路116は、210において、DRV信号に従って第1のトランジスタ101のゲート電圧の制御を継続する。第3のモードにおいて、駆動回路116は、第2のトランジスタゲートソース電圧Vgs2を、トランジスタ102を飽和モード又は領域において動作させるための低い第3の所定の電圧に制御する。選択されたゲートソース電圧は、1つの実装において、閾値レベルITHを僅かに上回って曲線305に沿うなど、所望の電流限界に対応する。或る実装において、駆動回路116は、210において、所定の時間(例えば、10μs)動作を維持し、その後、212において、トランジスタ101及び102両方をオフにすることによってスイッチ回路をシャットダウンする。他の実装において、駆動回路116は、208において、過電流状況の有無の監視を継続する。
過電流状況がクリアされた(208においてNOである)場合、駆動回路116は、上述のように202において通常動作に戻る。このようにして、駆動回路116は、過電圧状況が存在しないときに、短絡回路状況の検出に対応する、閾値ITHを超えるスイッチ回路電流を検出する。検出された過電流状況に応答して、駆動回路116は、スイッチ回路をカスコード構成で動作させるために、第2のトランジスタ102を飽和領域において動作させることによって、スイッチ回路100を所定の最大電流でクランプする。駆動回路116は、過電流状況のクリアリングの可能性を許容するために、或る時間、この最大電流動作を維持し得る。或いは、駆動回路116は、所定の時間の後、スイッチ回路100をシャットダウンし得る。IC110は、このように、任意の所望の短絡回路耐性定格を満たすようにGaN又は他のHEMTスイッチングトランジスタ101を用いて、スイッチ回路100に対する過電流保護を実装し、また、過電圧状況におけるトランジスタ101を保護するためにアバランシェ動作を提供して、所与の応用例に対して適したアバランシェ挙動及び短絡回路耐性能力を本来は提供しないスイッチングトランジスタ101の使用を促進する。
また、図4を参照すると、一例において、第2のトランジスタ102は、駆動回路116によるデジタル制御を可能にするマルチゲート構成を備えるシリコンFETである。図4は、ドレイン構造D2及びソース構造S2がシリコンダイ又はウエハ内に形成され、第1から第3の導電ゲート構造120a、120b、及び120cが、ドレインD2とソースS2のフィンガー間のチャネル領域に重なるインターリーブされたゲート構造G2を形成する、簡略化された平面図を示す。この例において、駆動回路116は、それぞれ、第1のゲート制御信号GC2a、第2のゲート制御信号GC2b、及び第3のゲート制御信号GC2cをゲート構造120a、120b、及び120cに提供し、駆動回路116はゲート構造120に印加された電圧を個別に制御する。駆動回路116は、一例において、ゲート構造120a~120cの各々に印加される電圧のアナログ制御を個別に実装し、ゲート制御信号GC2a、GC2b、及びGC2cを、第2の動作モードにおいて検出された過電圧の量に少なくとも部分的に基づいた個々の電圧で提供する。別の例において、駆動回路116は、ゲート制御信号GC2a、GC2b、及びGC2cを所定の電圧で提供し、デジタル制御を実装するために、ゲート構造120a及び120bを個別に、いずれも駆動しない、一方だけ駆動、又は両方を駆動し、その際、第2のモードにおける第1のトランジスタ101に関連する検出された過電圧の量に少なくとも部分的に従って第2のトランジスタ102の動作を制御するようにマルチゲート構造120のデジタル又はバイナリアクチュエーションが実装される。駆動回路116は、所与のゲート電圧に対して第2のトランジスタ102の飽和電流を制御するために、第2のトランジスタ102の一部を選択的にオンにする又はオフにするようにデジタル制御を実装し得る。例えば、駆動回路116は、第1の電流レベルI1/I2における制御された電流源を実装するためにスイッチ回路100の動作を制御するためにゲート部分120a又は120bの1つをオンにし、第2の一層高い電流レベルI1/I2を実装するために他のゲート部分122をオンにし得る。図4の例及び他のインターリーブされた実施例は、低電圧シリコントランジスタ102の自己加熱を低減するために、ゲート構造部分120a及び120bを有利にインターリーブする。下記の表1は、図4に示されるような、異なるサイズの3つのFET部分を用いるデジタル制御スキーム例を示す。
Figure 2022023919000002
図5は、ハーフブリッジ電力変換システム又は回路500を含む別の実施例を示し、それぞれ、スイッチ回路100a及び100bにおいて、第1及び第2の(例えば、ハイサイド及びローサイド)GaNトランジスタ101a及び101b、及び対応する第1及び第2のドライバIC110a及び110bを含む。集積回路110a及び110bは、図1に関連して上述したように、個々に、過電圧検知回路112、ドライバ及び過電圧/過電流保護回路116、及び低電圧シリコン第2のトランジスタ102を含む。入力電圧VINは、第1のスイッチ回路100aの第1の回路ノード104aに接続され、この入力電圧は、第1のIC110aの端子134及び第1のスイッチ回路100aの第1のトランジスタ101aのドレインD1に提供される。第1のスイッチ回路100aの第1のトランジスタ101aはドレイン-ソース電流I1aを導通させ、IC110aの内部の第2のトランジスタは、上述のように、対応する駆動回路116からの制御信号に従って第1、第2、及び第3のモードで動作する。第1のドライバIC110aは、電力変換システム制御回路502からライン108aに沿って第1の駆動制御信号DRVaを受信するように接続される端子135を含み、上述のように、第1の(例えば、NORMAL)モードにおいて、駆動信号DRVaに従って第1のトランジスタ101a又は内部の第2のトランジスタ102を選択的に動作させる。
第1のスイッチ回路100aに関連する第2の回路ノード106aが、第1のドライバIC110aのパッド138から第2のスイッチ回路100bの第1の回路ノード104bに接続されて、電力変換システム回路500におけるスイッチノードを形成する。出力インダクタLが、スイッチノード106a、104bと負荷504との間に接続される。通常動作において、過電圧も過電流状況も存在しない場合、第1及び第2のスイッチ回路100a及び100bは、それぞれハイサイド及びローサイドスイッチとして動作されて、電力コンバータ接地ノードGNDに対して負荷504を介して出力電圧VOUTを提供する。
第2のスイッチ回路100bは、ローサイドスイッチとして動作し、ドライバIC110bと、スイッチノード104bに接続されるドレインD1及び第2のドライバIC110bのパッド131に接続されるソースS1を備える第1のローサイドトランジスタ101bとを含む。トランジスタ101bは、図示されるようにドレインソース電流I1bを導通させ、第2のドライバIC110bは、図1に関連して上述したように、駆動回路116及び内部の第2のトランジスタ102を含む。第2のドライバIC110bの内部の第2のトランジスタ102のソースS2は、図5に示されるように、対応するパッド138及び第2の回路ノード106bを介して接地ノードGNDに接続される。第2のスイッチ回路100bは、ライン108bに沿って制御回路502から第2の駆動信号DRVbを受信する。
一例における動作において、制御回路502は、スイッチングノード106a、104bの入力電圧VINへの又は接地GNDへの交互の接続を提供するように信号DRVa及びDRVbを生成し、その際、駆動信号DRVa及びDRVbの相対的なオン時間が、負荷に提供される出力電圧VOUTをレギュレートする。制御回路502は、出力電圧VOUTを表すフィードバック信号を受信し、出力電圧VOUTをレギュレートするために閉ループ様式で駆動信号DRVa及びDRVbのパルス幅変調(例えば、オン時間)を選択的に調節する。
図1、図5、及び図6を参照すると、図示されたドライバIC110は、内部過電圧検知又は検出回路112を含む。図6は、接続される第1のトランジスタ101に関連する過電圧状況を検知するための、例示の過電圧検知回路112を示す。この例において、集積回路110を形成する際に用いられるシリコンダイのN領域とP領域との間に形成されるシリコンPN接合のアバランシェ性能が、それらのスイッチ回路100及び第1のトランジスタ101に関連する過電圧状況を検出するために、抵抗器回路R1、R2とともに用いられる。第1の抵抗器R1は、第1のトランジスタ101(例えば、図1)のドレイン(D1)において第1の回路ノード104に接続され、第2の抵抗器R2は、R1とN型ドープ領域602との間に接続される。P型ドープ領域600は、シリコンウエハにおけるP型ドーパントの注入などの、適切な半導体製造技法を用いて、半導体ボディー又はウエハに形成され得る。N型ドープ領域602は、PN接合を形成するP型ドープ領域600との少なくとも1つの境界又は接合を有する注入されたウェル又は他のN型ドープ領域602として形成され得る。
動作において、電圧VDがシリコンPN接合600/602に関連する或るアバランシェ閾値を超えるとき、シリコンダイのアバランシェ挙動は、接合の対応するダイオードの逆バイアスを介して導通を引き起こす。このアバランシェ電流の流れが、R1及びR2の抵抗分割器回路値によって設定される或る閾値に達するとき、R1及びR2を接合するノードにおける電圧は閾値レベルを上回って上昇する。一例において、過電圧検知回路要素112はレベルシフト回路604を含むが、この回路604は、或る実施例において省かれ得る。例えば、集積回路110が、ローサイド基板電流I_sub accessを備える高電圧接合を含む場合、レベルシフト回路604は必要ない。この例において、回路112は更に、R1及びR2を接合するノードから直接又は第1及び第2の抵抗器R1及びR2を接合するノードの電圧を表す介在レベルシフト回路604から、過電圧の大きさ又は量を表す検知信号OVMを受信するための第1の入力(-)を備える比較器回路606を含む。第2の比較器入力(+)は、閾値電圧信号VTHを受信するように接続される。比較器606の出力は、過電圧検出信号O-Vを送出して、検知信号が閾値電圧信号VTHを超えるときに駆動回路116を第2のモードで動作させる。回路116は、或る例において、比例アナログ又はデジタル制御を実装するために、過電圧規模信号OVMに従ってアナログ又はデジタル制御を用いる。
図7は、図1及び図5の集積回路110において過電圧を検知するための、別の例示の過電圧検知回路112を示す。この例は、一層低レベルの供給電圧(例えば、上述の図1におけるVDD)とノード702との間に接続されるバリスタ700(例えば、金属酸化物バリスタ又はMOV)を含む。他の例において、バリスタ700はツェナーダイオード(図示されない)に置き換えられ得る。この例において、過電圧検知回路112は、高電圧接続を必要としないが、代わりに、IC110の供給レベル(例えば、VDD)に接続され得る。これに関して、雷又は過電圧スパイクのその他の源がVDD供給電圧に反射され得、回路112は、このスパイクを、関連するスイッチ回路100において接続されたトランジスタ101の第1のトランジスタ101に関連する過電圧状況を検出するために用いる。図7に示されるように、ノード702と関連する共通接続COMとの間に抵抗器R3が接続され、VDDノード上の過剰な電圧が、バリスタ又はツェナーダイオード700を介して導通を引き起こす。そのような電流は、抵抗器R3を介して流れ、ノード702上で電圧上昇を引き起こす。この例において、回路112は比較器回路606を更に含み、比較器回路606は、ノード702の電圧を表す検知又は過電圧規模信号OVMを受信するための第1の入力(-)と、閾値電圧信号VTHを受信するための第2の入力(+)と、検知信号が閾値電圧信号VTHを超えるとき駆動回路116を第2のモードOVERVOLTAGEで動作させるための過電圧検出信号O-Vを送出するための出力とを備える。
図8は、例示の過電圧波形802、及び図1のスイッチ回路100における第2のトランジスタ102を制御するための対応するアナログ及びデジタル低電圧トランジスタゲート制御曲線804及び806を図示する波形又はグラフ800を示す。この例において、第1のトランジスタ101のドレイン電圧VDは、目盛り値1.0として示されるピーク又は頂にくるようにされ、曲線802は、ANSI IEEE C62.41-1991遷移過電圧耐性試験に従った合成波生成器CW G1.2/50電圧サージ試験波形に対して時間とともに低下する。駆動回路116は、上述したように或る例において、アナログ又はデジタル制御を用いて第2のトランジスタ102を制御するために、第1のトランジスタ101に関連する検出された過電圧状況に応答する。図8において、曲線804は、図1における制御信号GC2を用いる第2のゲートソース電圧Vgs2のアナログ制御を示し、駆動回路116は、印加されたゲート制御信号GC2の振幅を、曲線802に示される過電圧の量に少なくとも部分的に従って時間とともに調節する。図8における階段状の曲線806は、図1における制御信号GC2a及びGC2bを介する2ビットデジタル制御実装を図示し、これも、曲線802における過電圧の量に従って時間とともに変化する。マルチバリュー又はデジタル制御は、過電圧緩和が急激ではなくなるのでリンギングを有利に低下させる。また、デジタル制御は、第2のトランジスタ102の閾値電圧のプロセスばらつきに耐える一層優れた能力を提供する。
図9は、ハイサイド及びローサイド窒化ガリウムトランジスタ901及び902、及びトランジスタ901及び902を制御するドライバIC910を含む、例示のハーフブリッジスイッチ回路900を示す。この例において、トランジスタ901及び902は両方ともGaN FET又は他のHEMTであり、第1の回路ノード104aにおける入力電圧VINと第2の回路ノード106bにおける電力コンバータ接地ノードGNDとの間で互いに直列に結合される。この例において、ローサイドトランジスタ902は、インターリーブされた2要素制御ゲートを有する。中央ノードがトランジスタ901と902を接合して、出力インダクタLを介して負荷904を駆動するように接続されるスイッチングノードを形成する。IC910は、電力変換システム回路コントローラ制御906からICパッド935a及び936bを介して、ライン908a及び908bに沿って、第1及び第2の駆動制御信号DRVa及びDRVbを受信する。IC910は、上述のように、通常又は第1のモードにおいて、駆動信号DRVa及びDRVbに従ってトランジスタ901及び902を選択的に動作させる。また、一例において制御回路906は、閉ループ様式で負荷904に提供された出力電圧VOUTをレギュレートするため、駆動信号DRVa及びDRVbを交互の様式で提供して、第1及び第2のトランジスタ901及び902のハイサイド及びローサイド動作を実装する。IC910は、供給電圧VDDへの接続のためのパッド935、及び共通接続パッド937を含む。また、パッド932が第1のトランジスタ901のゲートG1にゲート制御信号を送出し、第1及び第2のパッド933a及び933bが、1つ又は複数のゲート制御信号を第2のトランジスタ902のゲートG2に提供し、パッド931が、第1のトランジスタ901のソースS1と、第2のトランジスタ902のドレインD2と、出力インダクタLとを接合するスイッチングノードに接続される。
IC910はまた、スイッチ回路900に関連する過電圧状況を選択的に検出するように、上述の回路112等の過電圧検知回路要素を含む。一例において、IC910は、第1のトランジスタ901の電圧を検知するように第1のトランジスタ901のドレインD1に接続されるパッド934を含み、過電圧状況が存在するか否かを選択的に検出する。スイッチ回路900に関連する過電圧が検出されたことに応答して、IC910は、対応するゲート制御信号を出力パッド933a及び933bに提供することによってペアのゲート制御端子の一方又は両方をオンにすることにより、ローサイドトランジスタ902を電流源又は電流クランプとして動作させるように制御する。これによって、動作において、第2のトランジスタ902は、スイッチ回路900における検出又は検知された過電圧又は過電流状況に応答して、第2のモード(OVERVOLTAGE)及び/又は第3のモード(OVERCURRENT)で、制御された電流源として動作する。このようにして、IC910は、マルチモード動作を提供するため概して図2に関連して上述したように動作し、その際、過電圧及び/又は過電流保護が、上側又は第1のトランジスタ901を備えるカスコード構成で、制御された電流源としての第2のトランジスタ902の動作によって提供される。
特許請求の範囲内で、説明された実施形態における変更が可能であり、他の実施形態が可能である。

Claims (21)

  1. 回路であって、
    第1のトランジスタ、電流源回路、及びドライバ回路を含み、
    前記第1のトランジスタが、第1の回路ノードと結合される第1のドレイン端子、第1のソース端子、及び第1の制御端子を含み、
    前記電流源回路が、前記第1のソース端子と第2の回路ノードとの間に結合され、
    前記ドライバ回路が、第1のモードにおいて、第1の制御電圧信号を前記第1の制御端子に提供するように動作可能であり、第2のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する検出された過電圧状況に応答して、前記第1のトランジスタを少なくとも部分的にオンにするために前記第1のソース端子と前記第1の制御端子との間の制御電圧に影響を与えるために前記第1のソース端子から前記第2の回路ノードにシンク電流を導通させるように前記電流源回路を制御するように動作可能である、回路。
  2. 請求項1に記載の回路であって、
    前記第1のトランジスタが窒化ガリウム(GaN)電界効果トランジスタ(FET)である、回路。
  3. 請求項1に記載の回路であって、
    前記電流源回路が第2のトランジスタを含み、前記第2のトランジスタが、
    前記第1のソース端子と結合される第2のドレイン端子、
    前記第2の回路ノードと結合される第2のソース端子、及び
    第2の制御端子、
    を含み、
    前記ドライバ回路が、前記第2のモードにおいて、前記第1のトランジスタに流れる第1の電流を制限するために前記シンク電流を前記第1のソース端子から前記第2の回路ノードに導通させるために前記第2のトランジスタをオンにするために、第2の制御電圧信号を前記第2の制御端子に提供するように動作可能である、回路。
  4. 請求項3に記載の回路であって、
    前記ドライバ回路が、前記第2のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する過電圧の量に従って前記第2の制御電圧信号を前記第2の制御端子に提供するように動作可能である、回路。
  5. 請求項3に記載の回路であって、
    前記第2のトランジスタが複数の第2の制御端子を含み、
    前記ドライバ回路が、前記第2のモードにおいて、前記第2のトランジスタの1つ又は複数のサブセクションをオンにするために前記第1のトランジスタに関連する過電圧の量に従って前記第2のトランジスタをオンにするために、デジタル制御を用いて複数の第2の制御電圧信号を前記第2の制御端子に提供するように動作可能である、回路。
  6. 請求項3に記載の回路であって、
    前記ドライバ回路及び前記第2のトランジスタがシリコンダイに作製され、前記第1のトランジスタが、窒化ガリウム(GaN)を用いて第2のダイに作製される、回路。
  7. 請求項6に記載の回路であって、
    前記シリコンダイが、前記第1のトランジスタに関連する前記過電圧状況の検出に応答して、前記ドライバ回路を前記第2のモードで動作させるように過電圧検出信号を提供するための過電圧検知回路を含む、回路。
  8. 請求項7に記載の回路であって、
    前記過電圧検知回路が、
    前記シリコンダイのシリコン基板のP型ドープ領域、
    前記シリコンダイの前記基板の前記P型ドープ領域によって少なくとも部分的に囲まれるN型ドープ領域、
    前記第1の回路ノードと前記N型ドープ領域との間で互いに直列に接続される第1及び第2の抵抗器、及び
    前記第1及び第2の抵抗器を接合するノードの電圧を表す検知信号を受信するための第1の入力と、閾値電圧信号を受信するための第2の入力と、前記検知信号が前記閾値電圧信号を超えるときに前記ドライバ回路に前記第2のモードで動作させるように前記過電圧検出信号を送出するための出力とを含む比較器回路、
    を含む、回路。
  9. 請求項7に記載の回路であって、
    前記過電圧検知回路が、
    前記シリコンダイの第1の電圧ノードと中間ノードとの間に結合されるバリスタ又はツェナーダイオード、
    前記中間ノードと前記シリコンダイの第2の電圧ノードとの間に結合される抵抗器、
    前記中間ノードの電圧を表す検知信号を受信するための第1の入力と、閾値電圧信号を受信するための第2の入力と、前記検知信号が前記閾値電圧信号を超えるときに前記ドライバ回路に前記第2のモードで動作させるように前記過電圧検出信号を送出するための出力とを含む比較器回路、
    を含む、回路。
  10. 請求項7に記載の回路であって、
    前記過電圧検知回路、前記ドライバ回路、前記第2のトランジスタ、及び前記第1のトランジスタがモノリシックに作製される、回路。
  11. 請求項3に記載の回路であって、
    前記ドライバ回路が、前記第2のモードにおいて、前記第2のトランジスタを飽和モードで動作させるために前記第2の制御電圧信号を前記第2の制御端子に送出するように動作可能である、回路。
  12. 請求項3に記載の回路であって、
    前記ドライバ回路が、第3のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する検出された過電圧状況に応答して、前記第1のトランジスタに流れる第1の電流を制限するために前記シンク電流を前記第1のソース端子から前記第2の回路ノードに導通させるため、前記第2のトランジスタを飽和モードで動作させるために、第2の制御電圧信号を前記第2の制御端子に送出するように動作可能である、回路。
  13. 請求項1に記載の回路であって、
    前記ドライバ回路が、第3のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する検出された過電圧状況に応答して、前記第1のトランジスタに流れる第1の電流を制限するためにシンク電流を前記第1のソース端子から前記第2の回路ノードに導通させるように前記電流源回路を制御するように動作可能である、回路。
  14. スイッチ回路を動作させる方法であって、
    前記スイッチ回路が、第1の回路ノードに接続される第1のトランジスタ、及び前記第1のトランジスタと第2の回路ノードとの間に接続される電流源を含み、前記方法が、
    第1のモードにおいて、ドライバ信号に従って第1の制御電圧信号を前記第1のトランジスタに送出すること、
    前記第1のモードにおいて、前記第1のトランジスタと前記第2の回路ノードとの間に低インピーダンスを提供するように前記電流源を制御すること、及び
    第2のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する過電圧状況の検出に応答して、前記第1のトランジスタを少なくとも部分的にオンにするためにシンク電流を前記第
    1のトランジスタから前記第2の回路ノードに導通させるように前記電流源を制御すること、
    を含む、方法。
  15. 請求項14に記載の方法であって、
    前記第2のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する過電圧の量に従って前記電流源を制御することを更に含む、方法。
  16. 請求項14に記載の方法であって、
    前記第2のモードにおいて、前記第2のトランジスタの1つ又は複数のサブセクションをオンにするように前記電流源をデジタルで制御することを更に含む、方法。
  17. 請求項14に記載の方法であって、
    第3のモードにおいて、前記第1のトランジスタに関連する過電流状況の検出に応答して、前記第1のトランジスタに流れる第1の電流を制限するために前記シンク電流を前記第1のトランジスタから前記第2の回路ノードに導通させるように前記電流源を制御することを更に含む、方法。
  18. スイッチ回路を制御するための集積回路であって、
    前記集積回路が、
    前記スイッチ回路の第1のトランジスタの第1のソース端子と電気的に結合するための第1のパッド、
    前記第1のトランジスタの第1の制御端子に第1の制御電圧信号を送出するための第2のパッド、
    前記第1のトランジスタに関連する過電圧状況の検出に応答して、過電圧検出信号を送出するための過電圧検知回路、及び
    第1のモードにおいて、前記第1のトランジスタを制御するために、前記第1の制御電圧信号を前記第2のパッドに送出するように動作し、第2のモードにおいて前記過電圧検出信号に応答して、前記第1のトランジスタを少なくとも部分的にオンにするために前記第1のパッドと前記第2のパッドとの間の制御電圧に影響を与えるため、シンク電流を前記第1のソース端子から導通させるように電流源回路を制御するように動作可能であるドライバ回路、
    を含む、集積回路。
  19. 請求項18に記載の集積回路であって、
    前記電流源回路が、前記集積回路に形成される第2のトランジスタを含み、前記第2のトランジスタが、前記第1のパッドと結合される第2のドレイン端子、及び第2の制御端子を含み、
    前記ドライバ回路が、前記第2のモードにおいて、前記第1のトランジスタに流れる第1の電流を制限するために前記シンク電流を前記第1のソース端子から導通させるため、前記第2のトランジスタをオンにするために第2の制御電圧信号を前記第2の制御端子に送出するように動作可能である、集積回路。
  20. 請求項18に記載の集積回路であって、
    前記過電圧検知回路が、
    前記集積回路のシリコン基板のP型ドープ領域、
    前記集積回路の前記基板の前記P型ドープ領域によって少なくとも部分的に囲まれるN型ドープ領域、
    前記第2のパッドと前記N型ドープ領域との間で互いに直列に接続される第1及び第2の抵抗器、
    前記第1及び第2の抵抗器を接合するノードの電圧を表す検知信号を受信するための第1の入力と、閾値電圧信号を受信するための第2の入力と、前記検知信号が前記閾値電圧信号を超えるときに前記ドライバ回路を前記第2のモードで動作させるように前記過電圧
    検出信号を送出するための出力とを含む比較器回路、
    を含む、集積回路。
  21. 請求項18に記載の集積回路であって、
    前記過電圧検知回路が、
    前記集積回路の第1の電圧ノードと中間ノードとの間に結合されるバリスタ又はツェナーダイオード、
    前記中間ノードと前記集積回路の第2の電圧ノードとの間に結合される抵抗器、及び
    前記中間ノードの電圧を表す検知信号を受信するための第1の入力と、閾値電圧信号を受信するための第2の入力と、前記検知信号が前記閾値電圧信号を超えるときに前記ドライバ回路を前記第2のモードで動作させるように前記過電圧検出信号を送出するための出力とを含む比較器回路、
    を含む、集積回路。
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