JP2022014180A - 純水生成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】水に所定の処理を実施する各部で水を十分に浄化でき、不純物の極めて少ない純水を生成する。【解決手段】純水生成装置であって、水を貯水する貯水タンクと、該貯水タンクに連通し、該貯水タンクから水を送り出すポンプと、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水を濾過する第１の濾過部と、該第１の濾過部で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニットと、該紫外線照射ユニットにより紫外線が照射された水に含まれる不純物イオンを交換するイオン交換ユニットと、該イオン交換ユニットで不純物イオンが除去された水を濾過する第２の濾過部と、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該第２の濾過部と、のいずれか一つへの水の流入を規制できるバルブと、該貯水タンクに接続されており、該バルブにより規制された該水が該貯水タンクに戻るための経路となる戻し経路と、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、水に含まれる不純物等を除去し、不純物が極めて少ない純水を生成する純水生成装置に関する。

電子機器に搭載されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体材料で形成されたウエーハの表面に互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）を設定する。そして、該分割予定ラインで区画された各領域にそれぞれＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスを形成する。その後、分割予定ラインに沿ってウエーハを分割すると、複数のデバイスチップが得られる。ウエーハの分割には、環状の切削ブレードでウエーハを切削する切削装置等が用いられる。

また、近年では、電子機器の小型化、薄型化に伴い、デバイスチップにも薄型化が求められている。そこで、ウエーハの分割前にウエーハを裏面側から研削することでウエーハを薄化する処理が施される。ウエーハの研削には、複数の研削砥石を備える研削ホイールでウエーハを研削する研削装置等が用いられる。

切削装置、研削装置等の加工装置を用いてウエーハを加工する際には、ウエーハに純水等の加工液が供給される。この加工液によって、ウエーハと加工工具（切削ブレード、研削ホイール等）とが冷却されるとともに、発生した加工屑が洗い流される。加工装置で使用された純水は、廃液として加工装置の外部に排出される。ここで、加工装置等から排出された水を浄化し、純水を生成する純水生成装置が知られている（特許文献１参照）。

純水生成装置は、水を貯める貯水タンクと、貯水タンクから送り出された水を濾過する第１の濾過部と、濾過部で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニットと、を備える。さらに、紫外線照射ユニットで紫外線が照射された該水に含まれる不純物イオンを交換するイオン交換ユニットと、イオン交換ユニットで不純物イオンが除去された水をさらに濾過する第２の濾過部と、を有する。純水生成装置を構成する各構成要素は、それぞれ、所定の方法で水を浄化する。

特開２００９－２１４１９３号公報

純水生成装置の各構成要素では、水を十分に浄化できず、許容される水準を超える不純物を含む水が下流の他の構成要素に流れる場合がある。この場合、十分に浄化されていない水を受けた該他の構成要素に過度の負荷がかかり、該構成要素が急速に劣化する。また、純水生成装置の最後部である第２の濾過部で水を十分に浄化できなかった場合、清浄度が所定の水準に満たない水が純水生成装置から流出することとなり、純水の使用箇所で問題が生じる。このように純水生成装置には解決すべき課題がある。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、水に所定の処理を実施する各構成要素で水を十分に浄化でき、不純物の極めて少ない純水を生成できる純水生成装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、純水を生成する純水生成装置であって、水を貯水する貯水タンクと、該貯水タンクに連通し、該貯水タンクから水を送り出すポンプと、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水を濾過する第１の濾過部と、該第１の濾過部で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニットと、該紫外線照射ユニットにより紫外線が照射された水に含まれる不純物イオンを交換するイオン交換ユニットと、該イオン交換ユニットで不純物イオンが除去された水を濾過する第２の濾過部と、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該第２の濾過部と、のいずれか一つへの水の流入を規制できるバルブと、該貯水タンクに接続されており、該バルブにより規制された該水が該貯水タンクに戻るための経路となる戻し経路と、を備えることを特徴とする純水生成装置が提供される。

また、本発明の他の一態様によれば、純水を生成する純水生成装置であって、水を貯水する貯水タンクと、該貯水タンクに連通し水を送り出すポンプと、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水を濾過する第１の濾過部と、該第１の濾過部に連通し、該第１の濾過部で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニットと、該紫外線照射ユニットに連通し、該紫外線照射ユニットにより紫外線が照射された水に含まれる不純物イオンを交換するイオン交換ユニットと、該イオン交換ユニットに連通し、該イオン交換ユニットで不純物イオンが除去された水を濾過する第２の濾過部と、該第１の濾過部から該紫外線照射ユニットへの水の流出を規制できる第１のバルブと、該紫外線照射ユニットから該イオン交換ユニットへの水の流出を規制できる第２のバルブと、該イオン交換ユニットから該第２の濾過部への水の流出を規制できる第３のバルブと、該第２の濾過部からの流出する水を規制できる第４のバルブと、該第１のバルブで該第１の濾過部から該紫外線照射ユニットへの流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第１の戻し経路と、該第２のバルブで該紫外線照射ユニットから該イオン交換ユニットへの流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第２の戻し経路と、該第３のバルブで該イオン交換ユニットから該第２の濾過部への流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第３の戻し経路と、該第４のバルブで該第２の濾過部からの流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第４の戻し経路と、該第１のバルブと、該第２のバルブと、該第３のバルブと、該第４のバルブと、制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該第１のバルブで該第１の濾過部から該紫外線照射ユニットへの水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該貯水タンクと、を該第１の戻し経路を介して接続して水を循環させる第１の循環モードと、該第１のバルブで水の流出を規制せず、該第２のバルブで該紫外線照射ユニットから該イオン交換ユニットへの水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該貯水タンクと、を該第２の戻し経路を介して接続して水を循環させる第２の循環モードと、該第１のバルブ及び該第２のバルブで水の流出を規制せず、該第３のバルブで該イオン交換ユニットから該第２の濾過部への水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該貯水タンクと、を該第３の戻し経路を介して接続して水を循環させる第３の循環モードと、該第１のバルブ、該第２のバルブ、及び該第３のバルブで水の流出を規制せず、該第４のバルブで該第２の濾過部からの水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該第２の濾過部と、該貯水タンクと、を該第４の戻し経路を介して接続して水を循環させる第４の循環モードと、に切り替え可能であることを特徴とする純水生成装置が提供される。

好ましくは、該イオン交換ユニットは、第１のイオン交換樹脂部と、該第１のイオン交換樹脂部に連通された第２のイオン交換樹脂部と、を有し、該第１のイオン交換樹脂部から該第２のイオン交換樹脂部への水の流出を規制できる第５のバルブと、該第５のバルブで該第１のイオン交換樹脂部から該第２のイオン交換樹脂部への流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第５の戻し経路と、をさらに有し、該制御ユニットは、さらに、該第５のバルブで該第１のイオン交換樹脂部から該第２のイオン交換樹脂部への水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットの該第１のイオン交換樹脂部と、を該第５の戻し経路を介して接続して水を循環させる第５の循環モードに切り替えられる。

本発明のさらに他の一態様によれば、純水を生成する純水生成装置であって、水を貯水する貯水タンクと、該貯水タンクに連通し水を送り出すポンプと、該ポンプから送り出された水の流路となる主流路と、第１のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水を濾過し、第１の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻す第１の濾過部と、第２のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊し、第２の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻す紫外線照射ユニットと、第３のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水に含まれる不純物イオンを交換し、第３の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻すイオン交換ユニットと、第４のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水を濾過し、第４の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻す第２の濾過部と、該第１のバルブと、該第２のバルブと、該第３のバルブと、該第４のバルブと、を制御できる制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該第１のバルブを開にし、該第２のバルブ、該第３のバルブ、及び該第４のバルブを閉にして、該第１の濾過部及び該貯水タンクに該第１の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第１の循環モードと、該第２のバルブを開にし、該第１のバルブ、該第３のバルブ、及び該第４のバルブを閉にして、該紫外線照射ユニット及び該貯水タンクに該第２の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第２の循環モードと、該第３のバルブを開にし、該第１のバルブ、該第２のバルブ、及び該第４のバルブを閉にして、該イオン交換ユニット及び該貯水タンクに該第３の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第３の循環モードと、該第４のバルブを開にし、該第１のバルブ、該第２のバルブ、及び該第３のバルブを閉にして、該第２の濾過部及び該貯水タンクに該第４の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第４の循環モードと、を切り替え可能であることを特徴とする純水生成装置が提供される。

好ましくは、該貯水タンクは、蓋状のコネクターが着脱可能に固定される開口部を有し、該コネクターは、該ポンプに接続し、該貯水タンクに貯水された水を送り出す経路となる主ポートを備える。

また、好ましくは、該コネクターは、該第１の戻し経路に接続する第１の戻しポートと、該第２の戻し経路に接続する第２の戻しポートと、該第３の戻し経路に接続する第３の戻しポートと、該第４の戻し経路に接続する第４の戻しポートと、をさらに備える。

さらに、好ましくは、該コネクターは、該貯水タンクの該開口部に該コネクターが固定されたときに該貯水タンクの内部に突き出る突出部と、一端が該主ポートに接続され、他端が該突出部の外面に形成された吸水口に接続された吸水路と、該吸水口よりも該主ポートに近い位置で該突出部の該外面に形成された吸気口と、該貯水タンクの該開口部に該コネクターが固定されたときに該貯水タンクの外部に露出する排気口と、一端が該吸気口に接続され、他端が該排気口に接続された排気路と、をさらに備える。

また、好ましくは、該貯水タンクに戻される水、または、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水に含まれるパーティクルを計数するパーティクルカウンターと、該貯水タンクに戻される水、または、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水の比抵抗値を測定する比抵抗値センサーと、の一方または両方をさらに備える。

さらに、好ましくは、該貯水タンクは、外気との接触を避ける密閉容器である。

また、好ましくは、該貯水タンクは、内部に貯水された水の量に応じて変形することにより容量を増減できる。

本発明の一態様に係る純水生成装置は、第１の濾過部と、紫外線照射ユニットと、イオン交換ユニットと、第２の濾過部と、のいずれかへの水の流入を規制できるバルブと、該バルブにより規制された水が貯水タンクに戻るための経路となる戻し経路と、を備える。そのため、各構成要素において水を十分に浄化できなかった場合、該バルブで水の流れを規制して該水を該戻し経路を経て貯水タンクに戻せる。そのため、各構成要素で十分に浄化されていない水が下流に流れることはない。

すなわち、該下流側の他の構成要素に過度な負荷がかかることがなく、または、所定の水準に満たない清浄度の水が純水生成装置から流出することもない。そして、貯水タンクに戻された水は、純水生成装置の内部を循環することで浄化される。その後、水の清浄度が所定の水準となったときに該バルブによる規制を解除することで、該水を下流に流出できる。そのため、各構成要素が急速に劣化することはなく、純水生成装置から流出する水に含まれる不純物を極めて少なくできる。

したがって、本発明により水に所定の処理を実施する各構成要素で水を十分に浄化でき、不純物の極めて少ない純水を生成できる純水生成装置を提供が提供される。

純水生成装置の内部を模式的に示す斜視図である。 純水生成装置を構成する各部の接続関係の一例を模式的に示す斜視図である。 純水生成装置を構成する各部の接続関係の他の一例を模式的に示す斜視図である。 純水生成装置を構成する各部の接続関係のさらに他の一例を模式的に示す斜視図である。 図５（Ａ）は、貯水タンクを模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、開口部から水が入れられている貯水タンクを模式的に示す斜視図であり、図５（Ｃ）は、コネクターが接続される貯水タンクを模式的に示す斜視図であり、図５（Ｄ）は、変形した貯水タンクを模式的に示す斜視図である。 コネクターを模式的に示す斜視図である。 コネクターを模式的に示す断面図である。 コネクターを模式的に示す断面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る純水生成装置の構成例について説明する。該純水生成装置は、不純物等を多く含む水から該不純物等を除去し、不純物等の少ない純水を生成する装置である。純水生成装置では、例えば、半導体ウエーハ等の被加工物に切削や研削、研磨等の処理を実施する加工装置において使用された加工廃液や市水等が浄化され、純水が生成される。

図１には、本実施形態に係る純水生成装置２の内部の構成例を模式的に示す斜視図である。図１では、説明の便宜のために水が流れる水路が部分的に省略されている。また、図２は、純水生成装置２の筐体の内部に収容された各構成要素の接続関係を模式的に示す分解斜視図である。図２等では、説明の便宜のため水路の一部が線状に簡略化されて示されている。水路は、例えば、金属または樹脂製の配管、チューブ等である。

純水生成装置２は、純水生成装置２を構成する各構成要素を支持する枠体３８を備える。枠体３８は、外装体（不図示）により覆われる。純水生成装置２の前面上部には、純水生成装置２の状態等を表示する液晶ディスプレイ等で構成される表示部４４と、作業者が指令を純水生成装置２に入力するためのインターフェースとなるタッチパネルやボタン等で構成される入力部４６と、が設けられている。

純水生成装置２は、配管、チューブ等で構成された給水路４を備えてもよい。純水生成装置２には、浄化される対象である水が該給水路４を介して外部から供給される。枠体３８の底面上には、浄化の対象となる水を貯留する貯水タンク６が設けられている。例えば、加工屑等の異物や不純物イオンを含む水が貯水タンク６に供給される。

貯水タンク６には、水の流入口及び流出口となる開口部が上部に設けられており、貯水タンク６の該開口部には、該開口部を介した貯水タンク６への水の流入及び流出を同時に可能とする蓋状のコネクター８が取り付けられる。なお、コネクター８について、詳細は後述する。

純水生成装置２は、貯水タンク６に連通し、該貯水タンク６から水を送り出すポンプ５６（図２参照）を備える。図２に示す通り、コネクター８には貯水タンク６に貯水されていた水が流れる流路４８ａが接続されており、流路４８ａの下流側には該ポンプ５６が接続されている。ポンプ５６は、流路４８ａ及びコネクター８を介して貯水タンク６に貯水された水を吸引し、吸引した水を流路４８ｂに送り出す。

純水生成装置２は、ポンプ５６により貯水タンク６から送り出された水を濾過する第１の濾過部１４を流路４８ｂの下流側に備える。そして、ポンプ５６によって、貯水タンク６から第１の濾過部１４に供給される水の量が制御される。図１に示す通り、純水生成装置２は、２以上の第１の濾過部１４を備えてもよく、複数の第１の濾過部１４のいずれかが選択的に使用されてもよい。

図１に示す通り、貯水タンク６の上方には、一対のガイドレール１０が設けられている。一対のガイドレール１０は、純水生成装置２の幅方向に所定の距離離れた状態で、純水生成装置２の長さ方向に沿って枠体３８に固定されている。また、一対のガイドレール１０には、第１の濾過部１４を着脱可能に搭載する受け皿（パン）１２が、ガイドレール１０に沿ってスライド可能な状態で装着されている。これにより、受け皿１２の枠体３８からの引き出しと、受け皿１２の枠体３８への収容とが可能となる。

第１の濾過部１４は、例えば、活性炭、ゼオライト、布、樹脂製ファイバー、グラスファイバー、金属メッシュ、逆浸透膜（ＲＯ膜）等で形成された第１のフィルター（不図示）を備える。そして、第１の濾過部１４は、流入する水に含まれる不純物を該第１のフィルターで吸着することで、または、濾しとることで除去し、該水を浄化する。第１の濾過部１４で濾過された水（清水）は受け皿１２に溜まり、排水路１６から排出されて下流側に進行する。

貯水タンク６に貯水された浄化前の水には、比較的径の大きい屑が比較的多量に含まれている。そこで、第１の濾過部１４に使用される第１のフィルターには、そのような屑を効率的にかつ長期にわたり除去できる性能が求められる。例えば、第１の濾過部１４には、比較的目の粗いフィルターが使用される。

水の濾過を実施している間、第１のフィルターが捕獲する不純物が該第１のフィルターに溜まり続ける。そして、第１のフィルターに溜まる不純物の量が第１のフィルターの能力の限界を超えると、水が適切に濾過されず、十分に濾過されていない水が第１の濾過部１４から排出されるようになる。そのため、第１の濾過部１４は、定期的に交換されることが望まれる。第１の濾過部１４は、例えば、丸ごと交換可能なカートリッジ方式でもよく、フィルターだけを交換することで機能を回復できる方式でもよい。

図１に示す通り、第１の濾過部１４及び受け皿１２の下側の貯水タンク６に隣接する領域には、第１の濾過部１４によって濾過された水を貯留する清水タンク２４が設けられてもよい。第１の濾過部１４は、それぞれ、受け皿１２を介して清水タンク２４に接続されている。

具体的には、受け皿１２の排水路１６及び清水タンク２４は、フレキシブルなホース２０により接続されている。ホース２０は、例えば、傾斜する支持板２２に支持されている。第１の濾過部１４で濾過され排出された水は、受け皿１２に一時的に貯留された後、ホース２０を介して清水タンク２４に供給され、貯留される。清水タンク２４の下流側には、清水ポンプ（不図示）が接続されている。ただし、清水タンク２４及び清水ポンプ等は、省略されてもよい。

枠体３８の清水タンク２４に隣接する位置には、一対のガイドレール２６が設けられている。ガイドレール２６は、取り付け位置が異なること以外、ガイドレール１０と同様の態様で枠体３８に固定されている。一対のガイドレール２６には、受け皿（パン）２８が、ガイドレール２６に沿ってスライド可能な状態で装着されている。これにより、受け皿２８の枠体３８からの引き出しと、受け皿２８の枠体３８への収容とが可能となる。

純水生成装置２は、紫外線ランプ等の紫外光源を含み、第１の濾過部１４で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニット３０を受け皿２８の上に備える。紫外線照射ユニット３０には、該清水ポンプにより清水タンク２４に貯留された水が供給される。ただし、純水生成装置２は、清水タンク２４及び清水ポンプを備えなくてもよく、第１の濾過部１４から紫外線照射ユニット３０に直接水が供給されてもよい。

例えば、図２に示す通り、第１の濾過部１４には、ホース２０等で構成された流路４８ｃが接続される。そして、該流路４８ｃの下流側には、紫外線照射ユニット３０が接続される。第１の濾過部１４で濾過された水は、流路４８ｃを介して紫外線照射ユニット３０に供給される。

貯水タンク６に収容される前、水には大気中に浮遊する微生物が不純物として混入する。そこで、紫外線照射ユニット３０では水の殺菌処理のために、例えば、波長２５４ｎｍの紫外線が該水に照射される。微生物を含む水に紫外線が照射されると、該微生物が死滅してその死骸が該水中に生じる。そこで、紫外線照射ユニット３０では、さらに、波長１８５ｎｍの紫外線が水に照射されてもよい。波長１８５ｎｍの紫外線は、該水に含まれるオゾンを活性化し、オゾンによる有機物の分解を促進する。

紫外線照射ユニット３０の下流側には、イオン交換ユニット３２が接続されている。図１に示す通り、受け皿２８上には、イオン交換ユニット３２を構成する２つのイオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂが搭載されている。ただし、イオン交換ユニット３２を構成するイオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂの数はこれに限定されない。

各イオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂは、例えば、円筒状の容器と、該容器に充填されたイオン交換樹脂と、を有する。イオン交換ユニット３２に進入した水は、該容器中でイオン交換樹脂の間を通過する。

各イオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂの容器には、カチオンを交換するイオン交換樹脂（カチオン交換樹脂）と、アニオンを交換するイオン交換樹脂（アニオン交換樹脂）と、が互いに混合された状態で収容される。そして、水に含まれるイオンのうち水素イオン及び水酸化物イオン以外のイオンは、水素イオンまたは水酸化物イオンに交換される。

図２に示す通り、紫外線照射ユニット３０には流路４８ｄが接続されており、流路４８ｄの下流側にはイオン交換ユニット３２を構成する第１のイオン交換樹脂部３２ａが接続されている。紫外線照射ユニット３０で紫外線が照射された水は、流路４８ｄを介してイオン交換ユニット３２の第１のイオン交換樹脂部３２ａに供給される。

また、第１のイオン交換樹脂部３２ａには流路４８ｅが接続されており、流路４８ｅの下流側にはイオン交換ユニット３２を構成する第２のイオン交換樹脂部３２ｂが接続されている。第１のイオン交換樹脂部３２ａでイオンが交換された水は、流路４８ｅを介して第２のイオン交換樹脂部３２ｂに供給される。

イオン交換ユニット３２（第２のイオン交換樹脂部３２ｂ）には流路４８ｆが接続されており、流路４８ｆの下流側にはイオン交換ユニット３２でイオンが交換された水を濾過する第２の濾過部３４が接続されている。イオン交換ユニット３２でイオンが交換された水は、流路４８ｆを介して第２の濾過部３４に供給される。図１の示す通り、第２の濾過部３４は、受け皿２８の上に着脱可能に搭載されている。第２の濾過部３４は、水を最終的に濾過する機能を有する。

第２の濾過部３４は、第１の濾過部１４と同様に、例えば、活性炭、ゼオライト、布、樹脂製ファイバー、グラスファイバー、金属メッシュ、逆浸透膜（ＲＯ膜）等で形成された第２のフィルター（不図示）を備える。

貯水タンク６に貯水されていた水は、純水生成装置２の各構成要素を進行する過程で浄化が進み、第２の濾過部３４に到達する段階において浄化の最終段階となっている。水に含まれる不純物は極めて小さく微量であるため、第２のフィルターにはそのような不純物を除去するのに適した性能が要求される。例えば、第２の濾過部３４の第２のフィルターには、第１の濾過部１４の第１のフィルターよりも目が細かく、精密フィルターと呼ばれる水準の膜が使用されるとよい。

そして、第２の濾過部３４は、流入する水に含まれる極微量の不純物を該第２のフィルターで吸着することで、または、濾しとることで、該水を浄化する。水の濾過を実施している間、第２のフィルターが捕獲する不純物が該第２のフィルターに溜まり続ける。そして、限界を超えた量の不純物が第２のフィルターに溜まると、水が適切に濾過されず清浄度が所定の水準に達していない水が第２の濾過部３４から排出されるようになる。

そのため、第２の濾過部３４は、所定の性能を維持できる間に定期的に交換されることが望まれる。第２の濾過部３４は、例えば、丸ごと交換可能なカートリッジ方式でもよく、フィルターだけを交換することで機能を回復できる方式でもよい。

第２の濾過部３４で濾過された水は、不純物が除去された純水となる。第２の濾過部３４には流路４８ｇ及び流出路３６が接続されており、第２の濾過部３４で濾過されて生成された純水は、該流路４８ｇ及び流出路３６を介して純水生成装置２の外部に排出される。なお、純水生成装置２を構成する第１の濾過部１４、紫外線照射ユニット３０、イオン交換ユニット３２、及び第２の濾過部３４等が十分な性能を有していると、純水生成装置２により超純水と呼ばれる水準の純水を生成することもできる。

純水生成装置２は、図１に示す通り、生成された純水を一時的に貯留する純水タンク４０を枠体３８の上部に備えてもよい。純水タンク４０は、例えば、電熱線等の熱源やペルチェ素子等の冷却源等の温度調節機構（不図示）を備え、外部に供給される純水の温度を調整する機能を有してもよい。

枠体３８の上部には、純水生成装置２の各構成要素を制御する制御ユニット４２が設けられている。例えば、制御ユニット４２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、プログラムが格納されたフラッシュメモリ等の記憶装置と、を有するコンピュータを備える。記憶装置に記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御ユニット４２は、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

なお、純水生成装置２の第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、イオン交換ユニット３２と、第２の濾過部３４と、には、それぞれ、浄化の対象となる水の清浄度に関する限度がある。すなわち、各構成要素に限度を超えた不純物等を含む水が供給されると、該水を適切に浄化できない場合や、各構成要素が急速に劣化する場合がある。

例えば、第１の濾過部１４で水を期待される水準にまで浄化できず、紫外線照射ユニット３０に処理できる清浄度の範囲を外れた水が流入すると、該紫外線照射ユニット３０に問題が生じる場合がある。この場合、紫外線照射ユニット３０においても水を十分に浄化できないため、期待される水準にまで浄化されていない水が紫外線照射ユニット３０からさらに下流のイオン交換ユニット３２に供給され、イオン交換ユニット３２にも問題が生じる場合がある。

このように、ある構成要素において十分に浄化できなかった水が下流の次の構成要素に供給されると、純水生成装置の内部で次々に連鎖的に問題が生じる。しかしながら、従来の純水生成装置では、清浄度が所定の水準に満たない水を流路の途中で止めることができなかった。

そこで、本実施形態に係る純水生成装置２では、各構成要素に流入しようとする水の清浄度が十分でない場合等に、該構成要素等への水の流入を阻止する。そして、水の清浄度が所定の水準に達するまで手前の構成要素でさらなる浄化を実施する。次に、本実施形態に係る純水生成装置２について、各構成要素への水の流入の阻止する構成について説明する。

図２に示す純水生成装置２は、第１の濾過部１４から紫外線照射ユニット３０へ流れる水の経路となる流路４８ｃに、第１の濾過部１４から紫外線照射ユニット３０への水の流出を規制できる第１のバルブ５０ａを備える。また、紫外線照射ユニット３０からイオン交換ユニット３２へ流れる水の経路となる流路４８ｄに、紫外線照射ユニット３０からイオン交換ユニット３２への水の流出を規制できる第２のバルブ５０ｂを備える。

また、純水生成装置２は、イオン交換ユニット３２から第２の濾過部３４へ流れる水の経路となる流路４８ｆに、イオン交換ユニット３２から第２の濾過部３４への水の流出を規制できる第３のバルブ５０ｄを備える。さらに、第２の濾過部３４から純水生成装置２の外部へ流れる水の経路となる流路４８ｇに、第２の濾過部３４からの流出する水を規制できる第４のバルブ５０ｅを備える。

また、イオン交換ユニット３２が第１のイオン交換樹脂部３２ａと、第２のイオン交換樹脂部３２ｂと、を有する場合、第１のイオン交換樹脂部３２ａから第２のイオン交換樹脂部３２ｂへの水の流出を規制できる第５のバルブ５０ｃをさらに備えてもよい。

そして、純水生成装置２は、第１のバルブ５０ａで第１の濾過部１４から紫外線照射ユニット３０への流出が規制された水を貯水タンク６に戻す第１の戻し経路５２ａを備える。また、第２のバルブ５０ｂで紫外線照射ユニット３０からイオン交換ユニット３２への流出が規制された水を貯水タンク６に戻す第２の戻し経路５２ｂを備える。

さらに、純水生成装置２は、第３のバルブ５０ｄでイオン交換ユニット３２から第２の濾過部３４への流出が規制された水を貯水タンク６に戻す第３の戻し経路５２ｄを備える。また、第４のバルブ５０ｅで第２の濾過部３４からの流出が規制された水を貯水タンク６に戻す第４の戻し経路５２ｅを備える。そして、第５のバルブ５０ｃで第１のイオン交換樹脂部３２ａから第２のイオン交換樹脂部３２ｂへの流出が規制された水を貯水タンク６に戻す第５の戻し経路５２ｃを備えてもよい。

図２に示す通り、純水生成装置２では、各戻し経路５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅは、１つの戻し経路５４に接続されてもよく、該戻し経路５４を介して貯水タンク６に接続されてもよい。この場合、戻し経路５４の下流側には貯水タンク６に装着されたコネクター８が接続され、各バルブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅで規制された水は、戻し経路５４及びコネクター８を介して貯水タンク６に戻される。

なお、各流路４８ｃ，４８ｄ，４８ｅ，４８ｆ，４８ｇを規制する各バルブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅは、例えば、規制された水を各戻し経路５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅに流す三方弁である。すなわち、各バルブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅは、各流路４８ｃ，４８ｄ，４８ｆ，４８ｇと、各戻し経路５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅと、の一方に選択的に水を流す機能を有する。

また、純水生成装置２は、貯水タンク６に戻される水に含まれるパーティクルを計数するパーティクルカウンター５８と、貯水タンク６に戻される水の比抵抗値を測定する比抵抗値センサー６０と、の一方または両方を備えてもよい。パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０を使用すると、貯水タンク６に戻される水の清浄度の水準を確認できる。

ここで、図２では、各戻し経路５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅが一つの戻し経路５４に合流し、統合された戻し経路５４がコネクター８に接続される場合について説明したが、本実施形態に係る純水生成装置２はこれに限定されない。また、図２では、貯水タンク６に戻される水の清浄度の水準をパーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０で監視する場合について説明したが、本実施形態に係る純水生成装置２はこれに限定されない。

図３は、本実施形態に係る純水生成装置２の変形例である純水生成装置２ａの構成を模式的に示す分解斜視図である。図３に示す純水生成装置２ａにおいても、純水生成装置２と同様に貯水タンク６に貯水された水は、ポンプ５６により送り出され、第１の濾過部１４、紫外線照射ユニット３０、イオン交換ユニット３２、及び第２の濾過部３４で浄化される。また、各構成要素への水の流入は、バルブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅにより規制される。

そして、図３に示す純水生成装置２ａは、図２に示された純水生成装置２と異なり、規制された水の貯水タンク６への戻し経路６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ，６２ｅは、互いに合流されず、直接的に貯水タンク６に装着されたコネクター８に接続される。この場合、各戻し経路６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ，６２ｅで貯水タンク６に戻される互いに清浄度の異なる水は、該貯水タンク６に戻される途上では交じり合わない。そのため、各戻し経路６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ，６２ｅが互いに汚染されることはない。

この場合、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０は、流路４８ａに設けられるとよい。そして、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０は、ポンプ５６により貯水タンク６から送り出された水を監視するとよい。なお、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０の戻し経路５４（図２参照）、または、流路４８ａにおける順序に制限はない。

さらに、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０は、流路４８ｂ，４８ｃ，４８ｄ，４８ｅ，４８ｆ，４８ｇのうち一つ以上に設けられてもよい。複数のパーティクルカウンター５８及び複数の比抵抗値センサー６０が純水生成装置２，２ａに設けられると、段階毎に水の清浄度を監視できる。その一方で、純水生成装置２，２ａに設けられるパーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０がそれぞれ一つであると、コストを低減できる上、制御が容易となる。

各バルブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅは、例えば、制御ユニット４２により制御される電磁弁である。また、制御ユニット４２には、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０が接続される。そして、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０により得られた水の清浄度に関する情報は、制御ユニット４２による各バルブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅの制御に活用される。

次に、制御ユニット４２による純水生成装置２の制御の態様について説明することで、制御ユニット４２の機能について説明する。まず、純水生成装置２の稼働を開始する際、制御ユニット４２は、ポンプ５６を作動させて貯水タンク６に貯水された水を第１の濾過部１４に送り出す。第１の濾過部１４では、水に含まれる不純物が第１のフィルターにより除去される。

制御ユニット４２は、純水生成装置２の稼働を開始した直後では、第１のバルブ５０ａで第１の濾過部１４から紫外線照射ユニット３０への水の流出を規制することで、該純水生成装置２を第１の循環モードで作動させる。第１の循環モードでは、ポンプ５６と、第１の濾過部１４と、貯水タンク６と、を第１の戻し経路５２ａを介して接続して水を循環させ、該水を浄化する。

第１の循環モードでは、例えば、パーティクルカウンター５８により貯水タンク６に戻される水に含まれるパーティクルが計数される。例えば、制御ユニット４２は、水１ｍＬに含まれる０．１μｍ以上の径のパーティクルの数が１００個以下であるとの条件を満たすか否かを判定する。第１の濾過部１４では、水が該条件を満たすように該水を浄化することが期待される。そして、紫外線照射ユニット３０では、該条件を満たす水が流入することで該水を適切に浄化できる。

そして、制御ユニット４２は、貯水タンク６に戻される水が該条件を満たさない場合に第１の循環モードを継続し、該条件を満たす場合に第１の循環モードから次に説明する第２の循環モードに切り替える。

第２の循環モードでは、第１のバルブ５０ａで水の流出を規制せず、第２のバルブ５０ｂで紫外線照射ユニット３０からイオン交換ユニット３２への水の流出を規制する。第２の循環モードでは、ポンプ５６と、第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、貯水タンク６と、を第２の戻し経路５２ｂを介して接続して水を循環させ、該水を浄化する。

第２の循環モードにおいても、例えば、パーティクルカウンター５８により貯水タンク６に戻される水に含まれるパーティクルが計数される。例えば、制御ユニット４２は、水１ｍＬに含まれる０．１μｍ以上の径のパーティクルの数が１００個以下であるとの条件を満たすか否かを判定する。すなわち、第２の循環モードにおける判定の条件は、上述の第１の循環モードにおける判定の条件と一致していてもよい。

第１の循環モードにおける判定の条件を満たす水においても紫外線照射ユニット３０で紫外線を照射すると、該水に含まれる有機物等が破壊されることで該水に含まれるパーティクルが増えることがある。また、紫外線照射ユニット３０の紫外光源を交換する際や、純水生成装置２の稼働を長期間停止したとき、紫外線照射ユニット３０の内部の流路に留まっていた水の清浄度が悪化し、パーティクルの数が増えることがある。

そのため、紫外線照射ユニット３０から流出する水の清浄度が該条件を満たさなくなる場合がある。この場合、紫外線照射ユニット３０から流出した水がイオン交換ユニット３２に流入すると、イオン交換ユニット３２に過度な負荷がかかるおそれや、イオン交換ユニット３２で水を適切に浄化できないおそれがある。そこで、制御ユニット４２は、貯水タンク６に戻される水が該条件を満たさない場合に第２の循環モードを継続し、該条件を満たす場合に第２の循環モードから次に説明する第３の循環モードに切り替える。

第３の循環モードでは、第１のバルブ５０ａ及び第２のバルブ５０ｂで水の流出を規制せず、第３のバルブ５０ｄでイオン交換ユニット３２から第２の濾過部３４への水の流出を規制する。第３の循環モードでは、ポンプ５６と、第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、イオン交換ユニット３２と、貯水タンク６と、を第３の戻し経路５２ｄを介して接続して水を循環させ、該水を浄化する。

第３の循環モードでは、例えば、比抵抗値センサー６０により貯水タンク６に戻される水の比抵抗値が測定される。例えば、制御ユニット４２は、該水の比抵抗値が１７ＭΩ・ｃｍ以上であるとの条件を満たすか否かを判定する。イオン交換ユニット３２では、水が該条件を満たすように該水を浄化することが期待される。そして、第２の濾過部３４では、該条件を満たす水が流入することで該水を適切に浄化できる。

制御ユニット４２は、貯水タンク６に戻される水が該条件を満たさない場合に第３の循環モードを継続し、該条件を満たす場合に第３の循環モードから次に説明する第４の循環モードに切り替える。

第４の循環モードでは、第１のバルブ５０ａ、第２のバルブ５０ｂ、及び第３のバルブ５０ｄで水の流出を規制せず、第４のバルブ５０ｅで第２の濾過部３４からの水の流出を規制する。そして、第４の循環モードでは、ポンプ５６と、第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、イオン交換ユニット３２と、第２の濾過部３４と、貯水タンク６と、を第４の戻し経路５２ｅを介して接続して水を循環させ、該水を浄化する。

第４の循環モードでは、例えば、パーティクルカウンター５８により貯水タンク６に戻される水に含まれるパーティクルが計数されるとともに、比抵抗値センサー６０により該水の比抵抗値が測定される。例えば、制御ユニット４２は、水１ｍＬに含まれる０．１μｍ以上の径のパーティクルの数が１０個以下であり、かつ、該水の比抵抗値が１７ＭΩ・ｃｍ以上であるとの条件を満たすか否かを判定する。

制御ユニット４２は、貯水タンク６に戻される水が該条件を満たさない場合に第４の循環モードを継続する。その一方で、該条件を満たす場合、貯水タンク６に貯水された水が十分に浄化され、純水生成装置２から高い清浄度の純水が生成されたことが確認されるため、第４の循環モードを終了する。制御ユニット４２は、例えば、第４のバルブ５０ｅによる水の流出の規制を解除し、純水を外部に供給する純水供給モードに切り替える。

なお、制御ユニット４２は、該第１の循環モード、該第２の循環モード、該第３の循環モード、該第４の循環モード、及び該純水供給モードの他に、第５の循環モードに切り替え可能でもよい。第５の循環モードでは、制御ユニット４２は、イオン交換ユニット３２の第１のイオン交換樹脂部３２ａから第２のイオン交換樹脂部３２ｂへの水の流出を第５のバルブ５０ｃで規制する。

そして、ポンプ５６と、第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、イオン交換ユニット３２の第１のイオン交換樹脂部３２ａと、を第５の戻し経路５２ｃを介して接続して水を循環させる。第５の循環モードは、例えば、イオン交換ユニット３２のイオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂを交換する際に実施される。

イオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂに収容されたイオン交換樹脂は水の浄化を繰り返すうちに劣化するため、定期的に交換する必要がある。イオン交換ユニット３２に流入する水は、まず、第１のイオン交換樹脂部３２ａでイオンが交換され、次に、第２のイオン交換樹脂部３２ｂでイオンが交換される。そのため、純水生成装置２の稼働を開始したとき、第１のイオン交換樹脂部３２ａのイオン交換樹脂の劣化が比較的早く進行し、第１のイオン交換樹脂部３２ａの交換が必要となる。

イオン交換ユニット３２では、比較的劣化の進んだイオン交換樹脂部に最初に水を通し、比較的新しいイオン交換樹脂部に最後に水を通すことで、より浄化の進んだ水を下流に流出できる。そこで、第１のイオン交換樹脂部３２ａを純水生成装置２から取り外した際、それまで第２のイオン交換樹脂部３２ｂとして使用されていたイオン交換樹脂部を流路４８ｄの下流に接続し、新たな第１のイオン交換樹脂部３２ａとして使用する。そして、新しいイオン交換樹脂部を新たな第２のイオン交換樹脂部３２ｂとして使用する。

イオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂを交換する際には純水生成装置２の稼働を停止させなければならず、イオン交換樹脂部３２ａ，３２ｂに留まる水の清浄度が時間の経過にしたがって悪化する。そこで、純水生成装置２の稼働を再開する際、第１及び第２の循環モードを完了した後には、第３の循環モードに移行する前に第５の循環モードに切り替えるとよい。そして、制御ユニット４２は、第１のイオン交換樹脂部３２ａに留まる水を回収して浄化した後、第５の循環モードから第３の循環モードに移行させるとよい。

新しいイオン交換樹脂部を第２のイオン交換樹脂部３２ｂとして使用を開始する際には、該イオン交換樹脂部の内部に貯留されていた水が第１の濾過部１４及び紫外線照射ユニット３０で浄化されていないため、第３の循環モードにてこの水を回収して浄化する。そして、所定の条件を満たすことが確認されたとき、制御ユニット４２は、第３の循環モードから第４の循環モードに切り替える。

ここで、第５の循環モードを実施する際には、貯水タンク６に戻る水の比抵抗値を比抵抗値センサー６０で測定する。そして、該水の比抵抗値が１７ＭΩ・ｃｍ以上との条件を満たす場合に第５の循環モードを終了して第３の循環モードを開始する。なお、第５の循環モードは、何らかの理由で純水生成装置２をしばらく停止させていた場合において、純水生成装置２の稼働を再開させるときにも実施されるとよい。

なお、第４の循環モードが完了し、純水供給モードを開始した後においても第４のバルブ５０ｅを定期的に切り替える等して、第２の濾過部３４で濾過された水の一部を戻し経路５２ｅに通す。そして、パーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０で水の清浄度を確認し、該水の清浄度が所定の基準に満たない場合、制御ユニット４２は、純水供給モードを停止して、いずれかの循環モードに切り替える。

ただし、図３に示す純水生成装置２ａのように、ポンプ５６から送り出される水をパーティクルカウンター５８及び比抵抗値センサー６０を監視できる場合、純水供給モード中に第４のバルブ５０ｅを切り替える必要はなく、貯水タンク６に水を戻す必要はない。

以上に説明する通り、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａでは、各構成要素には所定の水準に浄化されたことが確認された水が流入する。そのため、各構成要素に過度な負荷がかかることはなく、各構成要素では流入された水を適切に浄化できる。そして、清浄度が不十分であることが確認された水は、純水生成装置２，２ａの内部をさらに循環することで清浄度が高められる。したがって、所定の水準の清浄度であることが確認された純水を純水生成装置２，２ａから供給できる。

特に、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａでは、従来の純水生成装置とは異なり水を各構成要素に循環できるため、各構成要素で水をより高い清浄度に浄化できる。例えば、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａによると、研究用途や特定の化学用途で使用される超純水と呼ばれる水準の純水を生成することも可能となる。

ここで、不純物等が極めて少ない超純水を生成するためには、水を浄化する各構成要素に高性能な部材を使用する必要がある。高性能な部材は高価である上、劣化しやすい傾向にあるが、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａによると各構成要素に過度な負荷がかかるのを防止できるため、高価な各構成要素を浪費することもない。すなわち、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａは、超純水生成装置としても好適に使用できる。

次に、本実施形態に係る純水生成装置の他の構成例について説明する。上述の純水生成装置２，２ａでは、第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、イオン交換ユニット３２と、第２の濾過部３４と、が各流路により直列的に接続されていた。しかし、各構成要素の配置はこれに限定されない。図４では、該他の構成例に係る純水生成装置６４の各構成要素の接続関係が模式的に示されている。次に、純水生成装置６４について説明する。

純水生成装置６４は、上述の純水生成装置２，２ａと同様に、浄化の対象となる水を貯水する貯水タンク６６と、ポンプ７２と、第１の濾過部８２と、紫外線照射ユニット８４と、イオン交換ユニット８６と、第２の濾過部８８と、を備える。そして、純水生成装置６４では、第１の濾過部８２と、紫外線照射ユニット８４と、イオン交換ユニット８６と、第２の濾過部８８と、が主流路７８を介して並列的に接続されている。以下、純水生成装置６４の各構成要素について詳述する。

なお、純水生成装置６４について、上述の純水生成装置２，２ａが備える構成要素と同名の構成要素は、特段言及しない限り、純水生成装置２，２ａにおける当該構成要素の説明を適宜参酌できる。また、下記の純水生成装置６４の説明は、純水生成装置２，２ａの説明として適宜参酌できる。

貯水タンク６６の開口部６８にはコネクター９８が接続されている。コネクター９８は、流路７０を介してポンプ７２に接続されている。流路７０には、例えば、該流路を流れる水の清浄度を監視するパーティクルカウンター７４と、比抵抗値センサー７６と、が配される。ポンプ７２は、貯水タンク６６に貯水された水を主流路７８に送り出す。

第１の濾過部８２は、第１のバルブ８０ａを介して主流路７８に接続され、主流路７８から供給された水を濾過し、第１の戻し経路９０ａを介して該水を貯水タンク６６に戻す。紫外線照射ユニット８４は、第２のバルブ８０ｂを介して主流路７８に接続され、主流路７８から供給された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊し、第２の戻し経路９０ｂを介して該水を貯水タンク６６に戻す。

イオン交換ユニット８６は、第３のバルブ８０ｃを介して主流路７８に接続され、主流路７８から供給された水に含まれる不純物イオンを交換し、第３の戻し経路９０ｃを介して該水を貯水タンク６６に戻す。なお、イオン交換ユニット８６は、２つのイオン交換樹脂部を有してもよい。第２の濾過部８８は、第４のバルブ８０ｄを介して主流路７８に接続され、主流路７８から供給された水を濾過し、第４の戻し経路９０ｄを介して該水を該貯水タンク６６に戻す。

純水生成装置６４は、第１のバルブ８０ａと、第２のバルブ８０ｂと、第３のバルブ８０ｃと、第４のバルブ８０ｄと、を制御する制御ユニット９２を備える。純水生成装置６４の制御ユニット９２は、水を洗浄する各構成要素が所定の水準まで水を浄化するまで該構成要素に水を循環させるように各バルブ８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄを制御する。

純水生成装置６４の稼働を開始されるとき、制御ユニット９２は、停止モードから第１の循環モードに切り替える。第１の循環モードでは、第１のバルブ８０ａを開にし、第２のバルブ８０ｂ、第３のバルブ８０ｃ、及び第４のバルブ８０ｄを閉にする。第１の循環モードでは、第１の濾過部８２及び貯水タンク６６に第１の戻し経路９０ａ及び主流路７８を介して水を循環させる。第１の循環モードを終了する条件は、上述の純水生成装置２，２ａにおける相当する条件と同様とするとよい。

次に、制御ユニット９２は、第１の循環モードから第２の循環モードに切り替える。第２の循環モードでは、第２のバルブ８０ｂを開にし、第１のバルブ８０ａ、第３のバルブ８０ｃ、及び第４のバルブ８０ｄを閉にする。第２の循環モードでは、紫外線照射ユニット８４及び貯水タンク６６に第２の戻し経路９０ｂ及び主流路７８を介して水を循環させる。第２の循環モードを終了する条件は、上述の純水生成装置２，２ａにおける相当する条件と同様とするとよい。

次に、制御ユニット９２は、第２の循環モードから第３の循環モードに切り替える。第３の循環モードでは、第３のバルブ８０ｃを開にし、第１のバルブ８０ａ、第２のバルブ８０ｂ、及び該第４のバルブ８０ｄを閉にする。第３の循環モードでは、イオン交換ユニット８６及び貯水タンク６６に第３の戻し経路９０ｃ及び主流路７８を介して水を循環させる。第３の循環モードを終了する条件は、上述の純水生成装置２，２ａにおける相当する条件と同様とするとよい。

次に、制御ユニット９２は、第３の循環モードから第４の循環モードに切り替える。第４の循環モードでは、第４のバルブ８０ｄを開にし、第１のバルブ８０ａ、第２のバルブ８０ｂ、及び第３のバルブ８０ｃを閉にする。第４の循環モードでは、第２の濾過部８８及び貯水タンク６６に第４の戻し経路９０ｄ及び主流路７８を介して水を循環させる。第４の循環モードを終了する条件は、上述の純水生成装置２，２ａにおける相当する条件と同様とするとよい。

図４に示す純水生成装置６４では、第１の濾過部８２で十分に水が浄化されたことが確認された後、紫外線照射ユニット８４に水を供給する。そして、紫外線照射ユニット８４で十分に水が浄化されたことが確認された後、イオン交換ユニット８６に水を供給する。さらに、イオン交換ユニット８６で十分に水が浄化されたことが確認された後、第２の濾過部８８に水を供給する。そして、第２の濾過部８８で十分に水が浄化されたことが確認されたとき、水の浄化を完了する。

水の浄化が完了すると、貯水タンク６６は純水で満たされることとなる。この貯水タンク６６を純水生成装置６４から取り外して所定の使用箇所に運搬し、該貯水タンク６６から純水を所定の対象に純水を供給してもよい。または、純水生成装置６４は、第５のバルブ（不図示）を介して主流路７８に接続された流出路（不図示）を有してもよい。この場合、制御ユニット９２は、水の浄化が完了した際に該第５のバルブを開き、貯水タンク６６に貯水された純水をポンプ７２により該流出路を介して外部に送り出してもよい。

以上に説明する通り、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａ，６４では浄化の途上にある水が貯水タンク６，６６に戻される。そして、各構成要素から水が貯水タンク６，６６に戻されるとともに、貯水タンク６，６６に貯水された水がポンプ５６，７２により各構成要素に送り出される。次に、このような貯水タンク６，６６の送水及び受水を可能にする貯水タンク６，６６及びコネクター８，９８について、純水生成装置６４で使用される貯水タンク６６及びコネクター９８を例に説明する。

図５（Ａ）は、貯水タンク６６を模式的に示す斜視図である。貯水タンク６６は、蓋状のコネクターが着脱可能に固定される開口部６８を上部に有する。例えば、開口部６８の外周面６８ａには、ネジ溝が形成される。貯水タンク６６の使用を開始する前や、貯水タンク６６を運搬する際には、開口部６８にキャップ９４を螺合して該開口部６８を閉塞しておき、貯水タンク６６の内部の汚染を防止する。そして、貯水タンク６６の使用を開始する際には、図５（Ａ）に示す通り、キャップ９４を外しておく。

純水生成装置６４で浄化される水は、予め貯水タンク６６に収容された状態で該純水生成装置６４に運搬されてもよい。図５（Ｂ）は、貯水タンク６６に浄化の対象となる水を入れる様子を模式的に示す斜視図である。貯水タンク６６に水を入れる際には、例えば、送水管９６を開口部６８に挿し入れる。そして、該送水管９６を介して水を貯水タンク６６に注入する。

次に、図５（Ｃ）に示すようにコネクター９８を貯水タンク６６の開口部６８に取り付ける。貯水タンク６６から純水生成装置６４への水の送り出しと、貯水タンク６６への水の再注入と、の同時作業はコネクター９８により実現される。次に、コネクター９８について詳述する。

図６は、蓋状のコネクター９８を模式的に示す斜視図である。また、図７及び図８は、コネクター９８を模式的に示す断面図である。コネクター９８は、貯水タンク６６の開口部６８に螺合される蓋部１００と、コネクター９８が該開口部６８に装着された際に貯水タンク６６の外部に露出される頭部１０２と、貯水タンク６６の内部に収容される突出部１０４と、を備える。蓋部１００の外周面１００ａには、該蓋部１００を回転させる作業者の手の滑り抑制する凹凸が形成される。

蓋部１００は、開口部６８の径に対応した径の凹部を有する。該凹部の内周面１００ｂには、開口部６８の外周面６８ａに形成されたネジ溝に螺合できるネジ山が形成されている。蓋部１００を開口部６８に螺合することで、コネクター９８を貯水タンク６６に装着できる。このとき、コネクター９８で貯水タンク６６が密閉される。なお、貯水タンク６６は密閉容器であり、開口部６８にコネクター９８が装着されたときに汚染源となる空気が外部から侵入できない状態となる。

コネクター９８を開口部６８に装着したとき、円柱状の頭部１０２が貯水タンク６６の外部に露出する。頭部１０２には、各種の配管等が接続される。コネクター９８は、ポンプ５６，７２に接続し、貯水タンク６６に貯水された水を送り出す経路となる主ポート１０６を頭部１０２に備える。すなわち、主ポート１０６にはチューブ等で形成された流路４８ａ，７０が接続される。そして、ポンプ５６，７２で生じた負圧は、流路４８ａ，７０及び主ポート１０６を通じて貯水タンク６６に貯水された水に作用する。

また、コネクター９８の頭部１０２には、ポンプ５６，７２で送り出された水が貯水タンク６６の内部に戻される際の流入口となる戻しポートが設けられる。例えば、頭部１０２の外周面１０２ａには、第１の戻しポート１０８ａと、第２の戻しポート１０８ｂと、第３の戻しポート１０８ｃと、第４の戻しポート１０８ｄと、が設けられる。

例えば、図３に示される純水生成装置２ａにおいては、第１の戻しポート１０８ａには第１の戻し経路６２ａが接続され、第２の戻しポート１０８ｂには第２の戻し経路６２ｂが接続される。また、第３の戻しポート１０８ｃには第３の戻し経路６２ｄが接続され、第４の戻しポート１０８ｄには第４の戻し経路６２ｅが接続される。コネクター９８は、さらに、第５の戻し経路６２ｃが接続される第５の戻しポート（不図示）が頭部１０２に設けられてもよい。

また、図４に示される純水生成装置６４においては、第１の戻しポート１０８ａには第１の戻し経路９０ａが接続され、第２の戻しポート１０８ｂには第２の戻し経路９０ｂが接続される。また、第３の戻しポート１０８ｃには第３の戻し経路９０ｃが接続され、第４の戻しポート１０８ｄには第４の戻し経路９０ｄが接続される。また、図２に示される純水生成装置２においては、いずれかの戻しポートに戻し経路５４が接続され、他の戻しポートには、キャップ等の閉塞具（不図示）が装着される。

コネクター９８は、貯水タンク６６の開口部６８にコネクター９８が固定されたときに貯水タンク６６の内部に突き出る円柱状の突出部１０４を備える。図７は、コネクター９８の断面を模式的に示す断面図である。図７に示す通り、コネクター９８は、一端が主ポート１０６に接続され、他端が突出部１０４の外面に形成された吸水口１１２に接続された吸水路１１０を内部に備える。

ポンプ５６，７２は、貯水タンク６６に貯水された水を吸水口１１２から吸い込み、吸水路１１０を通じて該水を貯水タンク６６の外部に吸い出す。貯水タンク６６に貯水された水の水位が低い場合においても該水を吸い出せるように、吸水口１１２は、突出部１０４の最下部に形成されているとよい。

図８は、図７とは異なる面でコネクター９８を切断したときに現れる断面を模式的に示す断面図である。図８に示す通り、コネクター９８は、一端が第１の戻しポート１０８ａに接続され、他端が突出部１０４の外面に形成された注水口１２０ａに接続された注水路１２２ａを内部に備える。また、コネクター９８は、一端が第３の戻しポート１０８ｃに接続され、他端が突出部１０４の外面に形成された注水口１２０ｃに接続された注水路１２２ｃを内部に備える。

すなわち、コネクター９８は、各戻しポート１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃ，１０８ｄに接続された注水路１２２ａ，１２２ｃを内部に有し、それぞれの注水路１２２ａ，１２２ｃの出口となる注水口１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃを突出部１０４の外面に備える。なお、コネクター９８の内部では、各注水路１２２ａ，１２２ｃが合流されてもよく、コネクター９８の突出部１０４の外面には、一つの注水口が形成されてもよい。

また、各注水口１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃは、例えば、蓋部１００と、吸水口１１２と、の間の高さ位置で突出部１０４の外周面１０４ａに形成されるとよい。そして、水を貯水する貯水タンク６６にコネクター９８が固定されたとき、該水の中に注水口１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃに沈むことが好ましい。この場合、注水口１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃから貯水タンク６６に注水される流入水が該水の上面に降り注いで該上面を泡立てることがなく、該水が泡立つことによる該水の汚染を抑制できる。

貯水タンク６６に外部から気体が侵入して滞留すると、該気体中に舞う塵や微生物等が貯水タンク６６に貯水されている水に混入したり、また、該気体の一部の成分が該水に溶解したりするため、該気体が該水を汚染させる原因となる。そこで、コネクター９８は、コネクター９８は、貯水タンク６６の内部に侵入した気体を外部に逃がすための排気機構を備えるとよい。

例えば、図７等に示す通り、コネクター９８は、突出部１０４の外面に形成された吸気口１１４と、頭部１０２の外面に形成された排気口１１６と、一端が吸気口１１４に接続され他端が排気口１１６に接続された排気路１１８と、を備える。すなわち、排気口１１６は、貯水タンク６６の開口部６８にコネクター９８が固定されたときに貯水タンク６６の外部に露出する。このとき、吸気口１１４は、貯水タンク６６の内部空間に露出する。

排気口１１６は、外部から塵等が侵入しにくいように頭部１０２の外周面１０２ａに水平方向に向けて形成されているとよい。そして、排気口１１６への塵等の侵入を防止すフィルターが該排気口１１６に装着されていてもよい。さらに、該排気機構には、気体の逆流を防止する逆流防止弁が設けられてもよい。

吸気口１１４は、吸水口１１２よりも主ポート１０６に近い位置で突出部１０４の外面に形成されているとよい。特に、注水口１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃよりも蓋部１００に近い位置で突出部１０４の外周面１０４ａに形成されていることが好ましい。貯水タンク６６の内部では気体が上方に溜まるため、吸気口１１４の形成位置が蓋部１００に近いほど気体の排出に有利となる。

ここで、貯水タンク６６に貯水される水の量は一定ではなく増減する。貯水タンク６６の容量が一定である場合、貯水タンク６６の内部の水の量が減ったときに該水が占めていた空間を埋めるように貯水タンク６６の内部に気体が侵入し、該気体により水が汚染されるため問題となる。

そこで、貯水タンク６６は変形可能であるとよく、内部に貯水された水の量に応じて変形することにより容量を増減できるとよい。図５（Ｄ）は、容量が変化した貯水タンク６を模式的に示す斜視図である。例えば、貯水タンク６６は、蛇腹構造を胴体部に有し、内部に貯水された水の量に従って蛇腹が伸縮するとよい。または、貯水タンク６６は、柔軟な樹脂シート等で袋状に形成されていてもよい。

貯水タンク６６が密閉容器であり、かつ、変形可能であると、内部に貯水された水の量が変化したときに外部から気体が侵入できるような空間が該貯水タンク６６の内部に形成されないように該貯水タンク６６が変形できるため、水の汚染を防止できる。

なお、本実施形態に係る純水生成装置６４には、変形可能な貯水タンク６６に収容された水の量を監視するために、移動可能なプローブを備える接触式のセンサー等が設けられてもよい。例えば、貯水タンク６６が大きくなるときに該貯水タンク６６に接触する該プローブが移動することで貯水タンク６６に収容された水の量に関する情報を得てもよい。

または、貯水タンク６６の内部に収容された水の量は、他の方法により監視されてもよい。例えば、純水生成装置６４は、貯水タンク６６の収容位置に、該貯水タンク６６が載る重量計を備えてもよい。そして、重量計が測定する貯水タンク６６の重量により貯水された水の量を監視してもよい。貯水タンク６６に収容された水の量を監視すると、貯水タンク６６の収容能力を超えた水が貯水タンク６６に進入するのを防止できる。

なお、収容能力の限界まで貯水タンク６６に水が進入している場合、貯水タンク６６から外部に水が捨てられてもよい。例えば、貯水タンク６６の内外の空間を接続する排気機構を利用すると水を貯水タンク６６の外部に排出できる。例えば、余剰な水を吸気口１１４から排気路１１８を経て排気口１１６まで水を移動させ、該排気口１１６から噴出させることで該水を外部に排出できる。

この場合、排気機構は、貯水タンク６６の収容能力の限界を超えて水が貯水タンク６６に供給されたとき、自動的に余剰な水が外部に進行することで貯水タンク６６の破損を防止する安全装置として機能できる。

以上に説明する通り、本実施形態に係る純水生成装置２，２ａ，６４によると、貯水タンク６，６６との間で水を循環させつつ、該純水生成装置２，２ａ，６４の各部で該水を十分に浄化できる。そのため、不純物の極めて少ない純水を生成できる。

なお、上記実施形態では、純水生成装置２，２ａ，６４が、第１の濾過部１４，８２と、紫外線照射ユニット３０，８４と、イオン交換ユニット３２，８６と、第２の濾過部３４，８８と、を備える場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、純水生成装置２，２ａ，６４は、一部の構成要素が省略されていてもよく、水を浄化するためのさらに他の構成要素を備えてもよい。

本発明の一態様に係る純水生成装置２，２ａ，６４は、各構成要素の一つへの水の流入を規制できるバルブと、該バルブにより規制された水が貯水タンクに戻るための経路となる戻し経路と、を有する。そのため、当該構成要素において水を十分に浄化でき、所定の基準に満たない清浄度の水が下流の構成要素に流入することはなく、所定の基準に満たない清浄度の水が純水生成装置２，２ａ，６４から排出されることもない。

また、上記実施形態では、純水生成装置２，２ａが、４つ以上のバルブと、該バルブにより規制された水が貯水タンク６に戻る経路となる４つ以上の戻し経路と、を有する場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、本発明の一態様に係る純水生成装置２，２ａは、バルブ及び戻し経路を１組以上３組以下の数で有してもよい。

例えば、純水生成装置２，２ａは、第１の濾過部１４と、紫外線照射ユニット３０と、イオン交換ユニット３２と、第２の濾過部３４と、のいずれか一つへの水の流入を規制できる少なくとも一つのバルブを有していればよい。そして、該バルブにより規制された水が貯水タンク６に戻るための経路となる少なくとも一つの戻し経路を有していればよい。この場合においても、純水生成装置２，２ａの特定の構成要素に清浄度の低い水が流れるのを防止でき、該特定の構成要素における問題の発生を抑制できる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２，２ａ，６４ 純水生成装置
４ 給水路
６，６６ 貯水タンク
８，９８ コネクター
１０，２６ ガイドレール
１２，２８ 受け皿（パン）
１４，８２ 第１の濾過部
１６ 排水路
２０ ホース
２２ 支持板
２４ 清水タンク
３０，８４ 紫外線照射ユニット
３２，８６ イオン交換ユニット
３２ａ，３２ｂ イオン交換樹脂部
３４，８８ 第２の濾過部
３６ 流出路
３８ 枠体
４０ 純水タンク
４２，９２ 制御ユニット
４４ 表示部
４６ 入力部
４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄ，４８ｅ，４８ｆ，４８ｆ，７０ 流路
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ バルブ
５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅ，５４ 戻し経路
５６，７２ ポンプ
５８，７４ パーティクルカウンター
６０，７６ 比抵抗値センサー
６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ，６２ｅ 戻し経路
６８ 開口部
６８ａ 外周面
７８ 主流路
８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄ バルブ
９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄ 戻し経路
９４ キャップ
９６ 送水管
１００ 蓋部
１００ａ，１０２ａ，１０４ａ 外周面
１００ｂ 内周面
１０２ 頭部
１０４ 突出部
１０６ 主ポート
１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃ，１０８ｄ 戻しポート
１１０ 吸水路
１１２ 吸水口
１１４ 吸気口
１１６ 排気口
１１８ 排気路
１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ 注水口
１２２ａ，１２２ｃ 注水路

Claims (11)

1. 純水を生成する純水生成装置であって、
   水を貯水する貯水タンクと、
   該貯水タンクに連通し、該貯水タンクから水を送り出すポンプと、
   該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水を濾過する第１の濾過部と、
   該第１の濾過部で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニットと、
   該紫外線照射ユニットにより紫外線が照射された水に含まれる不純物イオンを交換するイオン交換ユニットと、
   該イオン交換ユニットで不純物イオンが除去された水を濾過する第２の濾過部と、
   該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該第２の濾過部と、のいずれか一つへの水の流入を規制できるバルブと、
   該貯水タンクに接続されており、該バルブにより規制された水が該貯水タンクに戻るための経路となる戻し経路と、
   を備えることを特徴とする純水生成装置。
2. 純水を生成する純水生成装置であって、
   水を貯水する貯水タンクと、
   該貯水タンクに連通し水を送り出すポンプと、
   該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水を濾過する第１の濾過部と、
   該第１の濾過部に連通し、該第１の濾過部で濾過された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊する紫外線照射ユニットと、
   該紫外線照射ユニットに連通し、該紫外線照射ユニットにより紫外線が照射された水に含まれる不純物イオンを交換するイオン交換ユニットと、
   該イオン交換ユニットに連通し、該イオン交換ユニットで不純物イオンが除去された水を濾過する第２の濾過部と、
   該第１の濾過部から該紫外線照射ユニットへの水の流出を規制できる第１のバルブと、
   該紫外線照射ユニットから該イオン交換ユニットへの水の流出を規制できる第２のバルブと、
   該イオン交換ユニットから該第２の濾過部への水の流出を規制できる第３のバルブと、
   該第２の濾過部からの流出する水を規制できる第４のバルブと、
   該第１のバルブで該第１の濾過部から該紫外線照射ユニットへの流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第１の戻し経路と、
   該第２のバルブで該紫外線照射ユニットから該イオン交換ユニットへの流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第２の戻し経路と、
   該第３のバルブで該イオン交換ユニットから該第２の濾過部への流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第３の戻し経路と、
   該第４のバルブで該第２の濾過部からの流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第４の戻し経路と、
   該第１のバルブと、該第２のバルブと、該第３のバルブと、該第４のバルブと、制御する制御ユニットと、を備え、
   該制御ユニットは、
   該第１のバルブで該第１の濾過部から該紫外線照射ユニットへの水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該貯水タンクと、を該第１の戻し経路を介して接続して水を循環させる第１の循環モードと、
   該第１のバルブで水の流出を規制せず、該第２のバルブで該紫外線照射ユニットから該イオン交換ユニットへの水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該貯水タンクと、を該第２の戻し経路を介して接続して水を循環させる第２の循環モードと、
   該第１のバルブ及び該第２のバルブで水の流出を規制せず、該第３のバルブで該イオン交換ユニットから該第２の濾過部への水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該貯水タンクと、を該第３の戻し経路を介して接続して水を循環させる第３の循環モードと、
   該第１のバルブ、該第２のバルブ、及び該第３のバルブで水の流出を規制せず、該第４のバルブで該第２の濾過部からの水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットと、該第２の濾過部と、該貯水タンクと、を該第４の戻し経路を介して接続して水を循環させる第４の循環モードと、
   に切り替え可能であることを特徴とする純水生成装置。
3. 該イオン交換ユニットは、第１のイオン交換樹脂部と、該第１のイオン交換樹脂部に連通された第２のイオン交換樹脂部と、を有し、
   該第１のイオン交換樹脂部から該第２のイオン交換樹脂部への水の流出を規制できる第５のバルブと、
   該第５のバルブで該第１のイオン交換樹脂部から該第２のイオン交換樹脂部への流出が規制された水を該貯水タンクに戻す第５の戻し経路と、をさらに有し、
   該制御ユニットは、さらに、該第５のバルブで該第１のイオン交換樹脂部から該第２のイオン交換樹脂部への水の流出を規制し、該ポンプと、該第１の濾過部と、該紫外線照射ユニットと、該イオン交換ユニットの該第１のイオン交換樹脂部と、を該第５の戻し経路を介して接続して水を循環させる第５の循環モードに切り替えられることを特徴とする請求項２に記載の純水生成装置。
4. 純水を生成する純水生成装置であって、
   水を貯水する貯水タンクと、
   該貯水タンクに連通し水を送り出すポンプと、
   該ポンプから送り出された水の流路となる主流路と、
   第１のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水を濾過し、第１の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻す第１の濾過部と、
   第２のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水に紫外線を照射して該水に含まれる有機物を破壊し、第２の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻す紫外線照射ユニットと、
   第３のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水に含まれる不純物イオンを交換し、第３の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻すイオン交換ユニットと、
   第４のバルブを介して該主流路に接続され、該主流路から供給された水を濾過し、第４の戻し経路を介して該水を該貯水タンクに戻す第２の濾過部と、
   該第１のバルブと、該第２のバルブと、該第３のバルブと、該第４のバルブと、を制御できる制御ユニットと、を備え、
   該制御ユニットは、
   該第１のバルブを開にし、該第２のバルブ、該第３のバルブ、及び該第４のバルブを閉にして、該第１の濾過部及び該貯水タンクに該第１の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第１の循環モードと、
   該第２のバルブを開にし、該第１のバルブ、該第３のバルブ、及び該第４のバルブを閉にして、該紫外線照射ユニット及び該貯水タンクに該第２の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第２の循環モードと、
   該第３のバルブを開にし、該第１のバルブ、該第２のバルブ、及び該第４のバルブを閉にして、該イオン交換ユニット及び該貯水タンクに該第３の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第３の循環モードと、
   該第４のバルブを開にし、該第１のバルブ、該第２のバルブ、及び該第３のバルブを閉にして、該第２の濾過部及び該貯水タンクに該第４の戻し経路及び該主流路を介して水を循環させる第４の循環モードと、
   を切り替え可能であることを特徴とする純水生成装置。
5. 該貯水タンクは、蓋状のコネクターが着脱可能に固定される開口部を有し、
   該コネクターは、該ポンプに接続し、該貯水タンクに貯水された水を送り出す経路となる主ポートを備えることを特徴とする請求項１に記載の純水生成装置。
6. 該貯水タンクは、蓋状のコネクターが着脱可能に固定される開口部を有し、
   該コネクターは、該ポンプに接続し、該貯水タンクに貯水された水を送り出す経路となる主ポートを備えることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の純水生成装置。
7. 該コネクターは、
   該第１の戻し経路に接続する第１の戻しポートと、
   該第２の戻し経路に接続する第２の戻しポートと、
   該第３の戻し経路に接続する第３の戻しポートと、
   該第４の戻し経路に接続する第４の戻しポートと、
   をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の純水生成装置。
8. 該コネクターは、
   該貯水タンクの該開口部に該コネクターが固定されたときに該貯水タンクの内部に突き出る突出部と、
   一端が該主ポートに接続され、他端が該突出部の外面に形成された吸水口に接続された吸水路と、
   該吸水口よりも該主ポートに近い位置で該突出部の該外面に形成された吸気口と、
   該貯水タンクの該開口部に該コネクターが固定されたときに該貯水タンクの外部に露出する排気口と、
   一端が該吸気口に接続され、他端が該排気口に接続された排気路と、
   をさらに備えることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれかに記載の純水生成装置。
9. 該貯水タンクに戻される水、または、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水に含まれるパーティクルを計数するパーティクルカウンターと、
   該貯水タンクに戻される水、または、該ポンプにより該貯水タンクから送り出された水の比抵抗値を測定する比抵抗値センサーと、
   の一方または両方をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の純水生成装置。
10. 該貯水タンクは、外気との接触を避ける密閉容器である請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の純水生成装置。
11. 該貯水タンクは、内部に貯水された水の量に応じて変形することにより容量を増減できることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の純水生成装置。

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