JP2021533104A - アルミニウム化合物及びこれを使用したアルミニウム含有膜の形成方法 - Google Patents
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45553—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the use of precursors specially adapted for ALD
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Abstract
Description
前記化学式1において、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、炭素数1〜5の線状又は分枝状のアルキル基であり、R4及びR5は、それぞれ独立に、水素、あるいは1つ以上の炭素数1〜6の線状又は分枝状のアルキル基を含むアルキルアミノ基である。
前記化学式3及び4と前記ジアルキルアミンにおいて、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、炭素数1〜5の線状又は分枝状のアルキル基であり、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜3の線状又は分枝状のアルキル基であり、前記NHR6R7及びNHR8R9は、互いに同一あるいは異なるものであり、
前記AlX3において、Xは、ハロゲン元素である。
ジヒドリド(3−ジメチルアミノプロピル(tert−ブチル)アミド)アルミニウム[H2Al(NtBu(CH2)3NMe2)];
ジヒドリド(3−ジメチルアミノプロピル(イソブチル)アミド)アルミニウム[H2Al(NiBu(CH2)3NMe2)];
ジヒドリド(3−ジメチルアミノプロピル(sec−ブチル)アミド)アルミニウム[H2Al(NsecBu(CH2)3NMe2)];
ジヒドリド(3−ジメチルアミノプロピル(ネオペンチル)アミド)アルミニウム[H2Al(NneoPe(CH2)3NMe2)];
ジヒドリド(3−エチルメチルアミノプロピル(tert−ブチル)アミド)アルミニウム[H2Al(NtBu(CH2)3NEtMe)];
ジヒドリド(3−ジエチルアミノプロピル(tert−ブチル)アミド)アルミニウム[H2Al(NtBu(CH2)3NEt2)];
ビス(ジメチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)];
ビス(ジメチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルイソプロピルアミド)アルミニウム[(Me2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)];
ビス(エチルメチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)];
ビス(エチルメチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NMe2)];
ビス(エチルメチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルイソプロピルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)];
ビス(ジエチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NMe2)];
ビス(ジエチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)];
ビス(ジエチルアミド)(3−ジメチルアミノプロピルイソプロピルアミド)アルミニウム[(Et2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)];
ビス(ジメチルアミド)(3−エチルメチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)];
ビス(ジメチルアミド)(3−エチルメチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)];
ビス(エチルメチルアミド)(3−エチルメチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)];
ビス(エチルメチルアミド)(3−エチルメチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)];
ビス(ジエチルアミド)(3−エチルメチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)];
ビス(ジエチルアミド)(3−エチルメチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)];
ビス(ジメチルアミド)(3−ジエチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEt2)];
ビス(ジメチルアミド)(3−ジエチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEt2)];
ビス(エチルメチルアミド)(3−ジエチルアミノプロピルメチルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEt2)];及び
ビス(エチルメチルアミド)(3−ジエチルアミノプロピルエチルアミド)アルミニウム[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]。
当該化学式3及び4と当該ジアルキルアミンにおいて、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、炭素数1〜5の線状又は分枝状のアルキル基であり、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜3の線状又は分枝状のアルキル基であり、当該NHR6R7及びNHR8R9は、互いに同一あるいは異なるものであり、
当該AlX3において、Xは、ハロゲン元素である。
不活性気体雰囲気下において有機溶媒(非制限的な例:n−ヘキサンなど)にアルカリ金属塩(非制限的な例:n−BuLiなど)を溶解した後、これに上記化学式4のジアルキルアミノプロピルアルキルアミンを徐々に滴加して撹拌することにより、上記化学式4のジアルキルアミノプロピルアルキルアミンのアルカリ金属塩を製造しても良い。
有機溶媒(非制限的な例:n−ヘキサン溶媒など)にアルカリ金属塩(非制限的な例:n−BuLiなど)を溶解した後、これにジアルキルアミンを徐々に滴加して撹拌することにより、上記ジアルキルアミンのアルカリ金属塩を製造しても良い。
有機溶媒(非制限的な例:エーテル、ジエチルエーテルなど)にAlX3を溶解して撹拌しながら、これに(1)の上記化学式4のジアルキルアミノプロピルアルキルアミンのアルカリ金属塩を徐々に滴加して撹拌することにより、反応混合物を製造しても良い。ここで、上記Xは、ハロゲン元素であり、Cl、Br、及びIより選択されるものであっても良い。上記反応混合物に上記(2)のジアルキルアミンのアルカリ金属塩を徐々に滴加して撹拌した後、濾過及び減圧蒸留することで、上記化学式3で表されるアルミニウム含有化合物を得ても良い。
<実施例1>H2Al(NtBu(CH2)3NMe2)液体化合物の製造
アルゴン気体雰囲気下において、1LのシュレンクフラスコにLiAlH410.5g(0.263mol)を投入した後、ジエチルエーテル[(C2H5)2O]200mLを入れて0℃に冷却した。上記フラスコに、ジエチルエーテル[(C2H5)2O]100mLに溶けているAlCl311.6g(0.0809mol)を徐々に滴加した後、反応溶液を室温まで徐々に温度を上げ、1時間撹拌することで、AlH3(Et2O)xを製造した。その後、上記フラスコを再び−30℃まで冷却し、Me2N(CH2)3NHtBu50g(0.316mol)を徐々に滴加して、混合物を常温で14時間撹拌した。上記反応が完了した後、ガラスフリット(frit)を利用して濾過し、得られた濾過液を0.25torrの減圧下で溶媒を除去し、残った液体を蒸留することで、[化5]の常温で液体である透明な化合物46g(収率94%)が得られた。
元素分析(elemental analysis)
計算値−C9H23N2Al:C58.03、H12.45、N15.04;
実測値C57.97、H12.48、N15.01;
1H−NMR(400MHz、C6D6、25℃):δ3.016(t、2H、(CH3)2N(CH2CH2CH 2)NC(CH3)3)、2.044(t、2H、(CH3)2N(CH 2CH2CH2)NC(CH3)3)、1.914(s、6H、(CH 3)2N(CH2CH2CH2)NC(CH3)3)、1.335(s、9H、(CH3)2N(CH2CH2CH2)NC(CH 3)3)、1.242(m、2H、(CH3)2N(CH2CH2CH2)NC(CH3)3)。
アルゴン気体雰囲気下において、500mLのシュレンクフラスコにn−BuLi(81.02g、0.291mol)とn−ヘキサン300mLを入れて−15℃まで冷却し、Me2N(CH2)3NHMe(33.8g、0.291mol)を徐々に滴加した後、反応溶液を室温まで徐々に温度を上げ、4時間撹拌することで、[Me2N(CH2)3NMe]−Li+溶液を合成した。
元素分析
計算値−C12H31N4Al:C55.78、H12.09、N21.68;
実測値C55.68、H12.02、N21.75;
1H−NMR(400MHz、C6D6、25℃):δ3.166(m、2H、N−CH 2CH3)、3.045(m、2H、N−CH 2CH3)、2.962(t、2H、(CH3)2N−CH2CH2CH 2−NCH3)、2.877(s、3H、(CH3)2N−CH2CH2CH2−NCH 3)、2.807(s、6H、N−CH 3)、2.044(t、2H、(CH3)2N−CH 2CH2CH2−NCH3)、1.845(s、6H、(CH 3)2N−CH2CH2CH2−NCH3)、1.405(m、2H、N−(CH3)2N−CH2CH 2CH2−NCH3)、1.269(t、6H、N−CH2CH 3)。
アルゴン気体雰囲気下において、500mLのシュレンクフラスコにn−BuLi(81.02g、0.291mol)とn−ヘキサン300mLを入れて−15℃まで冷却し、Me2N(CH2)3NHMe(33.8g、0.291mol)を徐々に滴加した後、反応溶液を室温まで徐々に温度を上げ、4時間撹拌することで、[Me2N(CH2)3NMe]−Li+溶液を合成した。
元素分析
計算値−C14H35N4Al:C60.12、H12.89、N19.48;
実測値C60.07、H12.82、N19.56;
1H−NMR(400MHz、C6D6、25℃):δ3.127(m、8H、N−CH 2CH3)、2.950(t、2H、(CH3)2N−CH2CH2CH 2−NCH3)、2.888(s、3H、(CH3)2N−CH2CH2CH2−NCH 3)、2.100(t、2H、(CH3)2N−CH 2CH2CH2−NCH3)、1.890(s、6H、(CH 3)2N−CH2CH2CH2−NCH3)、1.405(m、2H、N−(CH3)2N−CH2CH 2CH2−NCH3)、1.234(t、12H、N−CH2CH 3)。
図1に示す装置を使用し、実施例1によって製造したH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)化合物の熱安定性を評価した。50gのH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)化合物を入れたソースキャニスタ(Source canister)を60℃の温度に維持しながら、減圧下で上記キャニスタにアルゴン(Ar)搬送ガス(carrier gas)を100sccmの流速で通過させた。ソースキャニスタから出たH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)化合物を含む気体を0〜4週間、5〜8週間、9〜12週間ドライアイスで冷却したレシーバキャニスタ(Receiver canister)1、2、及び3にそれぞれ収集して、状態又は色の変化を観察し、NMRスペクトルを測定した。レシーバキャニスタ1、2、及び3に収集された物質は、全て透明な液体であってソースキャニスタに入れる前と同じ状態であり、NMRスペクトルのピーク面積で計算した純度は、下記表1に示すように12週間全く変化がないか、事実上変わらなかった。従って、実施例1によって製造されたH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)化合物は、CVD又はALD前駆体としての用途に使用するのに十分なほど熱安定性が高いことが分かる。
原子層蒸着法(ALD)を利用し、実施例1によって製造したH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)化合物を前駆体に、アンモニア(NH3)を反応気体に使用し、シリコンウェハ、又は縦横比約10:1の非常に狭い溝があり表面にTiN膜が形成された基板を基材に使用して窒化アルミニウム薄膜を形成した。上記基材は300℃又は325℃の温度に加熱し、ステンレススチール材質の容器に入れたH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)は65℃の温度に加熱し、アルゴン(Ar)搬送ガス(carrier gas)を使用してALD反応器に供給した。アンモニアは、200sccmの流速でALD反応器に供給した。
原子層蒸着法(ALD)を利用し、実施例2によって製造した(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)化合物を前駆体に、アンモニア(NH3)を反応気体に使用して窒化アルミニウム薄膜を形成した。シリコン(Si)ウェハを基材に使用し、実施例5と同じALD反応器で窒化アルミニウム薄膜を形成した。上記基材は300℃、325℃、350℃、及び400℃の温度にそれぞれ加熱し、ステンレススチール材質の容器に入れた(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)は95℃の温度に加熱し、アルゴン(Ar)搬送ガスを使用して供給した。アンモニアは、200sccmの流速でALD反応器に供給した。上記反応器に15秒間アルゴン搬送ガスと共に(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)蒸気(vapor)を供給し、その後に15秒間アルゴン気体を供給し、その後に15秒間アンモニアを供給し、その後に再び15秒間アルゴン気体を供給することでALD気体供給周期を完成し、それを200回繰り返した。上記工程により基材温度300℃、325℃、350℃、及び400℃においてそれぞれ窒化アルミニウム膜を形成し、当該形成された膜の断面をSEMで観察した。上記観察の結果、上記測定された膜の厚さは、それぞれ29.1nm、30.1nm、32.1nm、及び34.0nmである。上記測定された厚さを単に気体供給週期200回で割ったALD膜成長を図7に示した。図7を参照すると、TMAとNH3を使用する場合とは異なり、(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)とNH3を使用する場合に、基材温度が上昇するにつれてALD膜成長が急激に増加するのではなく、比較的一定であることが分かる。
原子層蒸着法(ALD)を利用し、実施例1によって製造したH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)化合物を前駆体に、オゾン(O3)を反応気体に、シリコン(Si)ウェハを基材に使用して酸化アルミニウム薄膜を形成した。上記基材の温度を250℃〜350℃に加熱し、ステンレススチール材質の容器に入れたH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)は65℃の温度に加熱し、アルゴン(Ar)搬送ガスを使用して供給した。1000sccmの流速の酸素気体を利用して生成されたオゾンをALD反応器に供給した。上記反応器に15秒間アルゴン搬送ガスと共にH2Al(NtBu(CH2)3NMe2)蒸気(vapor)を供給し、その後に20秒間アルゴン気体を供給してパージし、その後に15秒間オゾンを供給し、その後に再び15秒間アルゴン気体を供給してパージすることで1周期を完成し、それを200回繰り返した。上記工程により形成されたアルミニウム酸化物薄膜の厚さを測定した結果、基材温度約250℃〜約350℃の範囲においてALD気体供給週期当たりの膜成長が比較的一定に示されたことが確認された。
原子層蒸着法(ALD)を利用し、実施例2によって製造した(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)化合物を前駆体に、オゾン(O3)を反応気体に、シリコン(Si)ウェハを基材に使用し、実施例7と同じ反応器で酸化アルミニウム薄膜を形成した。上記基材の温度を約250℃〜約350℃に加熱し、ステンレススチール材質の容器に入れた(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)は90℃の温度に加熱し、アルゴン(Ar)搬送ガスを使用して供給した。1000sccmの流速の酸素気体を利用して生成されたオゾンをALD反応器に供給した。上記反応器に3秒間アルゴン搬送ガスと共に(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)蒸気(vapor)を供給し、その後に5秒間アルゴン気体を供給してパージし、その後に5秒間オゾンを供給し、その後に再び10秒間アルゴン気体を供給してパージすることで1周期を完成し、それを200回繰り返した。上記工程により形成されたアルミニウム酸化物薄膜のALD気体供給週期当たりの膜成長を図8に示した。図8に示すように、基材温度約250℃〜約350℃の範囲においてALD気体供給週期当たりの膜成長が一定であることが確認された。
Claims (21)
- R1及びR2は、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、n−ブチル基、iso−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、iso−ペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、neo−ペンチル基、又は3−ペンチル基であり、
R3は、iso−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、iso−ペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、neo−ペンチル基、又は3−ペンチル基である、請求項2に記載のアルミニウム含有化合物。 - R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、n−ブチル基、iso−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、iso−ペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、neo−ペンチル基、又は3−ペンチル基であり、
R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、又はiso−プロピル基である、請求項3に記載のアルミニウム含有化合物。 - 前記アルミニウム含有化合物が、H2Al[NtBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NiBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NsecBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NneoPe(CH2)3NMe2]、H2Al[NtBu(CH2)3NEtMe]、又はH2Al[NtBu(CH2)3NEt2]である、請求項2に記載のアルミニウム含有化合物。
- 前記アルミニウム含有化合物が、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(Me2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEt2)]、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEt2)]、又は[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]である、請求項3に記載のアルミニウム含有化合物。
- AlX3を下記化学式4のジアルキルアミノプロピルアルキルアミンのアルカリ金属塩及びジアルキルアミンのアルカリ金属塩と順次に反応させることを含む、下記化学式3で表される、請求項3に記載のアルミニウム含有化合物の製造方法:
前記化学式3及び4と前記ジアルキルアミンにおいて、
R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、炭素数1〜5の線状又は分枝状のアルキル基であり、
R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、炭素数1〜3の線状又は分枝状のアルキル基であり、
前記NHR6R7及びNHR8R9は、互いに同一あるいは異なるものであり、
前記AlX3において、Xは、ハロゲン元素である。 - 窒化アルミニウム膜を形成するためのものである、請求項10に記載の膜形成前駆体組成物。
- 前記アルミニウム含有前駆体化合物が、H2Al[NtBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NiBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NsecBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NneoPe(CH2)3NMe2]、H2Al[NtBu(CH2)3NEtMe]、及びH2Al[NtBu(CH2)3NEt2]より選択される1つ以上である、請求項10に記載の膜形成前駆体組成物。
- 前記アルミニウム含有前駆体化合物が、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(Me2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEt2)]、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEt2)]、及び[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]より選択される1つ以上である、請求項10に記載の膜形成前駆体組成物。
- 前記アルミニウム含有前駆体化合物が、常温で液状である、請求項10に記載の膜形成前駆体組成物。
- アンモニア、窒素、ヒドラジン、及びジメチルヒドラジンより選択される1つ以上の窒素源をさらに含む、請求項10に記載の膜形成前駆体組成物。
- 前記アルミニウム含有膜が、窒化アルミニウム膜を含む、請求項16に記載のアルミニウム含有膜の形成方法。
- 前記アルミニウム含有膜は、熱原子層蒸着法(Thermal Atomic Layer Deposition)により蒸着される、請求項16に記載のアルミニウム含有膜の形成方法。
- 前記アルミニウム含有前駆体化合物が、H2Al[NtBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NiBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NsecBu(CH2)3NMe2]、H2Al[NneoPe(CH2)3NMe2]、H2Al[NtBu(CH2)3NEtMe]、及びH2Al[NtBu(CH2)3NEt2]より選択される1つ以上である、請求項16に記載のアルミニウム含有膜の形成方法。
- 前記アルミニウム含有前駆体化合物が、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(Me2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(EtMeN)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NMe2)]、[(Et2N)2Al(NiPr(CH2)3NMe2)]、[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(Et2N)2Al(NMe(CH2)3NEtMe)]、[(Et2N)2Al(NEt(CH2)3NEtMe)]、[(Me2N)2Al(NMe(CH2)3NEt2)]、[(Me2N)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]、[(EtMeN)2Al(NMe(CH2)3NEt2)]、及び[(EtMeN)2Al(NEt(CH2)3NEt2)]より選択される1つ以上である、請求項16に記載のアルミニウム含有膜の形成方法。
- 前記アルミニウム含有前駆体化合物が、常温で液状である、請求項16に記載のアルミニウム含有膜の形成方法。
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