JP2021522524A - 部品の位置決め装置及び位置決め方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、検査対象の複数部品を、光学制御装置による検査の間、位置決めする位置決め支持装置(1)であって、前記光学制御装置との間のインターフェース部として機能するケース基部(3)と、前記ケース基部の1平面内で光学軸線に垂直な「Y」軸線に沿って摺動可能な摺動基部(5)と、前記摺動基部の前記1平面に平行な1平面内で「Y」軸線に垂直な「X」軸線に沿って摺動可能な板部(7)と、前記板部上に測定対象の複数の部品を位置決めする複数の治具又は複数のバー(15)とを備える。
Description
・標準的な(アナログ)外形プロジェクタ
・特に、(場所の制約のない)全視野測定用と、(場所の制約がある)XY位置決め後の部分測定用との少なくとも一方の、画像のコンピュータ処理を持つ外形プロジェクタ
・各種顕微鏡
・各種双眼鏡
・X線検査機(例えば蛍光X線式測定器(Fischerscope(登録商標))
・プローブ型機器(例えば、各種粗さ計)
・その他
・平坦を維持して測定手段の光学軸線に垂直な部品に、典型的に実装される、自由位置決め。
・測定手段の光学軸線に体系上、垂直に部品自体は位置しないか、機械的接触要素に位置合わせできない(例えば、複数種類の直径を持つ円筒部分、又は小さすぎて一定状態を確実に保てない平面)部分のために、典型的に実装される、整列位置決め。
光制御装置との間のインターフェース部として機能するケース基部。
光軸線に直交する基部筐体の1平面内の「Y」軸線に沿って摺動可能な摺動基部。
摺動基部の前記平面に平行な1平面内の、「Y」軸線に垂直な「X」軸線に沿って摺動可能な板部。
前記板部上で測定される複数の構成要素の位置決めのための治具(テンプレート)又はバー。
治具は、例えば、部品の位置決め用に、6つ又は別の数が付けられている区分611で構成される。基部治具713は、(試験機及び使用される倍率レベルに応じて)様々な形状及びサイズの相互に交換可能な治具のセットから選択され、磁石621によって、四隅に、ガラスパネル固定フランジ714への磁化によって、ガラスパネル上に取り付けられる。基本治具713はまた、治具の区分に位置合わせされている磁石622を備え、その結果、摺動の動きの過程で、治具は、摺動基部5の磁石53で、したがって光学軸線によって、インデックスが付けられる。
落下した部品などは自動的に縦トレイ26に回収される(図8、図12)。板部を傾けると、部品が傾斜した板部に流れ、縦トレイにまたまとまるようにすることで、部品を回収すべく、制御後に位置合わせステーション(位置合わせ装置)を使用してもよい。
・光制御装置に応じて選択される相互に交換可能なアダプター(ケース基部)。
・搭載基部(摺動基部)。これは、アダプターに係合する基部であり、部品を位置合わせする板部を受けるように機能する。
・摺動基部に適合するガラス表面又はサファイア表面を備えた摺動板部。
・異なる複数治具のセットから選択される、部品の事前調整治具。これらの治具を使用すると、ガラス又はサファイア板部上の部品を可能な限りバランスの取れた(分散)に配置及び分散し、測定の瞬間まで事前の位置合わせ可能である。したがって、ガラス張りの領域は囲まれているため、部品が領域から転がり出て、機械の測定テーブル上に散乱することはない。位置合わせ治具を使用すると、部品を機械に配置する前に事前に配置できる。これにより、部品をより迅速に、より人間工学的及び視覚的な状態で配置できる。これらの治具を使用すると、測定の瞬間まで、ウェーハの全ての操作中に以前に配置された部品を維持できる。治具を使用すると、部品が機器の測定範囲外になる場所に配置されるのを防止や制限をしてもよい。
・測定済部品の回収用1つ又はそれ以上のユニット(蓋部や引き出し部)。(1個ずつ部品を回収するのに替えて)回収ユニットにより、1回の操作で全部品の回収が可能となる。
Claims (26)
- 検査対象の複数部品を、光学制御装置による検査の間、位置決めする位置決め支持装置(1)であって、
前記光学制御装置との間のインターフェース部として機能するケース基部(3)と、
前記ケース基部の1平面内で光学軸線に垂直な「Y」軸線に沿って摺動可能な摺動基部(5)と、
前記摺動基部の前記平面に平行な1平面内で「Y」軸線に垂直な「X」軸線に沿って摺動可能な板部(7)と、
前記板部上に測定対象の複数の部品を位置決めする複数の治具(713)又は複数のバー(15)と
を備える、位置決め支持装置(1)。 - 異なる光学制御装置に適合可能な複数のケース基部のセットから、ケース基部(3)は選択されている、請求項1に記載の位置決め支持装置。
- ケース基部(3)は、さまざまな光学制御装置の外形に適合するため幾何学形状を変更可能な汎用(普遍)基部である、請求項1に記載の位置決め支持装置。
- 摺動基部(5)は、ケース基部に沿った摺動用の摺動レール(51、52)を持つ枠部(50)を備える、請求項1から3のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 摺動基部(5)は、板部(7)の摺動用の摺動レール(51、52)を持つ枠部を備える請求項1から4のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 摺動基部(50)は、前記摺動基部に対して、摺動要素にインデックスを付ける磁石(48)を備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 板部(7)は、ガラスパネル(711)が固定されている枠部を備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 検査対象の部品を位置決めするため、ガラスパネルに搭載されている治具(713)を備える、請求項7に記載の位置決め支持装置。
- 前記治具を枠部に対して位置決めする磁石(622)を備える、請求項8に記載の位置決め支持装置。
- 板部(70)が複数のレベルを備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 下レベル(71、72)が、
基部と、
上レベルの部品の取り外し可能な取り付け用の穿孔された穴部又は座部を持つ枠部とを備える、請求項10に記載の位置決め支持装置。 - 各レベルが、検査対象の部品によって、相互交換可能な要素の複数の変え部を備えられるようになっている、請求項10又は11に記載の位置決め支持装置。
- 板部(7)は、バー(15)と、インサート(16、37、37、39)と、スラット(17)と、止め部(18)と、平板部(40)と、インデックスと、横バー(19、21、22、23)とのような位置合わせ要素を支持している、請求項10から12のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 板部(7)に搭載されているバー(15)を備え、位置合わせ要素(16、17、18、19、21、22、23)を、複数の選択可能な位置へ固定可能にしている、請求項13に記載の位置決め支持装置。
- 縦方向の位置を調整可能な複数のバー(15)を備える、請求項14に記載の位置決め支持装置。
- 板部(7)の各側部で縦方向に延在する複数のバー(15)を備える、請求項14又は15に記載の位置決め支持装置。
- 複数のバー(15)の上面は、座部(25)が設けられていて、インサート(16、37)、固定タブ(24)、又は位置合わせ要素の磁気基部を、選択可能な位置へ配置可能にしている、請求項14から16のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 複数のバー(15)と、複数のスラット(17)と、横位置決めバー(19、21、22、23)とは、視覚的に検査される部品を適切な位置に維持可能にするものである、請求項14から17のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 位置合わせ要素は、前記板部の主平面に垂直な軸線Zに沿って調整可能である、請求項14から18のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 位置合わせ要素は、前記板部の主平面に平行な軸線Xに沿って調整可能である、請求項14から19のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 位置合わせ要素は、前記板部の主平面に平行な2つの軸線XとYに沿って調整可能である、請求項14から20のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 位置合わせ要素は、(前記軸線に垂直な)軸線Zに対して傾斜して調整可能である、請求項14から21のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 前記部品が回転できるようにする位置合わせ要素を少なくともいくつか備える、請求項14から22のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 測定済部品の回収用キャップを備える、請求項1から23のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 前記部品の位置合わせの間、前記板部を保持する、傾斜可能なテーブル位置合わせ基部を備える、請求項1から24のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
- 前記部品の位置の調整用の、少なくとも1つのベルトを備える、請求項1から25のいずれか一項に記載の位置決め支持装置。
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