JP2021515887A - 容量性圧力センサを用いる圧力検出 - Google Patents
容量性圧力センサを用いる圧力検出 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021515887A JP2021515887A JP2020544889A JP2020544889A JP2021515887A JP 2021515887 A JP2021515887 A JP 2021515887A JP 2020544889 A JP2020544889 A JP 2020544889A JP 2020544889 A JP2020544889 A JP 2020544889A JP 2021515887 A JP2021515887 A JP 2021515887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- capacitive pressure
- electrode
- membrane
- capacitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 75
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 52
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 29
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 12
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 62
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 18
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 10
- 210000001367 artery Anatomy 0.000 description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 9
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 210000000748 cardiovascular system Anatomy 0.000 description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 208000031481 Pathologic Constriction Diseases 0.000 description 5
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000003902 lesion Effects 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000036262 stenosis Effects 0.000 description 5
- 208000037804 stenosis Diseases 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical group CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010002383 Angina Pectoris Diseases 0.000 description 1
- 208000024172 Cardiovascular disease Diseases 0.000 description 1
- 206010020772 Hypertension Diseases 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000006011 Stroke Diseases 0.000 description 1
- 229920002600 TPX™ Polymers 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002547 anomalous effect Effects 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 238000002144 chemical decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 235000005911 diet Nutrition 0.000 description 1
- 230000000378 dietary effect Effects 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 230000035622 drinking Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 208000010125 myocardial infarction Diseases 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000000276 sedentary effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000000391 smoking effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002966 stenotic effect Effects 0.000 description 1
- 230000035488 systolic blood pressure Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/02—Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
- A61B5/021—Measuring pressure in heart or blood vessels
- A61B5/0215—Measuring pressure in heart or blood vessels by means inserted into the body
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/02—Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
- A61B5/021—Measuring pressure in heart or blood vessels
- A61B5/0215—Measuring pressure in heart or blood vessels by means inserted into the body
- A61B5/02158—Measuring pressure in heart or blood vessels by means inserted into the body provided with two or more sensor elements
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
- A61B5/6801—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be attached to or worn on the body surface
- A61B5/6843—Monitoring or controlling sensor contact pressure
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
- A61B5/6846—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive
- A61B5/6847—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive mounted on an invasive device
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
- A61B5/6846—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive
- A61B5/6847—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive mounted on an invasive device
- A61B5/6852—Catheters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
- G01L9/0048—Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/02—Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
- A61B2562/0247—Pressure sensors
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/04—Arrangements of multiple sensors of the same type
- A61B2562/043—Arrangements of multiple sensors of the same type in a linear array
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/12—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
- G01L9/0047—Diaphragm with non uniform thickness, e.g. with grooves, bosses or continuously varying thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Cardiology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Public Health (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Surgery (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physiology (AREA)
- Vascular Medicine (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
Abstract
Description
これは、典型的には、圧力センサの寸法(例えば直径)が1mmを大きく下回ることを必要とする。このような用途のための圧力センサの特に有望なクラスは、容量性マイクロマシン圧力センサのような容量性マイクロマシン圧力センサを含む。このような圧力センサは、典型的には、キャビティの上に懸架された可撓性膜を有し、膜は、キャビティの床、すなわち基板におけるさらなる電極と対向する電極を有する。膜における圧力は、基板に対する膜の変形の程度を規定し、これは、対向電極間の(平均)距離を変化させる。これは、空間的に分離された対向電極によって形成されるキャパシタの静電容量を変化させ、静電容量は、電極を挟んで電位差を提供することによって測定されることができる。
このような医療器具、例えば低侵襲医療器具は、容量性圧力センサの改善された動作安定性及び感度から利益を得て、したがって、患者の心血管系内の血圧を正確に決定するために、例えば狭窄のような異常又は病変を決定するために使用されてもよい。第1の実施形態のセットでは、このような異常は、初期位置において前記容量性圧力センサで第1の測定を実行し、(例えば、前記医療器具の前記患者内への挿入の程度を変更することによって)前記容量性圧力センサを変位させ、例えば、前記初期位置及び変更された位置においてそれぞれ感知された圧力からFFRを決定するように、前記変更された置で前記容量性圧力センサで更なる測定を実行することにより決定されてもよい。
容量性圧力センサ10は、マイクロマシニングされたものであってもよく、例えばCMUTであってもよい。少なくともいくつかの実施形態では、以下でさらに詳細に説明するように、容量性圧力センサ10は、非崩壊モードで動作可能である。疑義を避けるために、非崩壊モードは、圧力感知中に容量性圧力センサ10の可撓性膜21が容量性圧力センサ10の基板11に接触しないモードとして定義される。容量性圧力センサ10の基板11は、典型的には、キャビティ20によって可撓性膜21から分離される。本発明の少なくともいくつかの実施形態によると、キャビティ20は、可撓性膜21の中央領域を超音波圧力センサ10の基板11に恒久的に取り付ける中央柱22の周りの環状キャビティである。
可撓性膜21の内径、すなわち中央柱22の幅Wは、可撓性膜21に所望の可撓性を与えるために、好ましくは0.05D<W<0.3Dとなるように選択される。もちろん、以前に説明したように、容量性圧力センサ10の前述の寸法は、本発明の教示から逸脱することなく、例えば、Pcollapse〜T3×H/D4の関係に基づいて、他の寸法が使用されてもよいようにスケーラブルであることが理解されるべきである。さらに、アプリケーションの領域に応じて、前述の寸法の他の比率は、例えば、容量性圧力センサ10が、可撓性膜21に対する異なる崩壊圧力が考えられうるような超音波トランスデューサとして動作可能である場合として考えられるかもしれない。
その後、オプションの誘電体層25及び第2の電極23が、結果として生じる構造体の上に形成されてもよく、次いで、可撓性膜21の形成が続き、その間に、中央柱22の形成と、環状キャビティ20を形成するための前記犠牲材料のその後のリリースと、前記犠牲材料がリリースされた1つ以上の開口のシーリングとが実現されてもよい。このような1つ以上の開口を封止するのに使用されるシーリング材料は、可撓性膜21の厚さの一部を形成してもよく、この場合、可撓性膜21は、前記犠牲材料のリリース時にその目標厚さの一部に対してのみ形成され、残りの厚さは前記シーリング材料の堆積によって提供される。
この実施形態では、リム31は、2乃至5ミクロンの範囲内、例えば4ミクロンの幅Cを持つ隙間35によって、環状キャビティ20の外縁20aから(すなわち、可撓性膜21から)横方向に変位される。容易に理解されるように、このような隙間35は、図2の助けで上でより詳細に説明したように、可撓性膜21の厚さを減少させるために、エッチング停止層27及び前記エッチングステップで使用される前記マスクの寸法を調整することによって作成されてもよい。驚くべきことに、このような隙間35を導入することは、長期間にわたって容量性圧力センサ10の動作安定性を大幅に改善することが分かっている。例えば、可撓性膜21の周囲の隙間35の導入は、このような圧力センサによって経験される経時的な感度のドリフトを有意に減少したことが判明した。
例えば、このような圧力センサは、患者の動脈又は静脈内の第1の位置と第2の位置との間の患者の血圧の勾配を決定するために配置されてもよく、これは、第1の位置と第2の位置との間の病変又は狭窄のような狭窄異常の存在を示すものでありうる。
Claims (15)
- 容量性圧力センサにおいて、
第2の電極に対向する第1の電極を含む基板からキャビティによって空間的に分離された前記第2の電極を含む膜と、
前記キャビティが中央柱を囲む環状キャビティであるように、前記膜から前記基板に延在する前記中央柱と、
を有し、
前記キャビティは、前記中央柱によって規定される内縁及び対向する外縁を持ち、前記容量性圧力センサが、前記膜を取り囲むリムをさらに有し、"前記リムは、前記リムが前記外縁よりも前記中央柱からさらに移動されるように、前記環状キャビティの外縁に対して横方向に変位される、
容量性圧力センサ。 - 前記内縁及び外縁が、実質的に同じ高さを持つ、請求項1に記載の容量性圧力センサ。
- 前記第2の電極が、閉じた構造を持つ、請求項1又は2に記載の容量性圧力センサ。
- 前記膜が、好ましくは0.8乃至2.0ミクロンの範囲の第1の厚さを持つ、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の容量性圧力センサ。
- 前記リムが、前記第1の厚さよりも大きい第2の厚さを持つ、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の容量性圧力センサ。
- 前記リムが、2乃至5ミクロンの範囲の距離だけ前記外縁に対して横方向に変位される、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の容量性圧力センサ。
- 請前記膜が、20乃至200ミクロンの範囲の直径を持つ、求項1乃至6のいずれか一項に記載の容量性圧力センサ。
- 前記環状キャビティが、50乃至500nmの範囲、好ましくは100乃至400nmの範囲の高さを持つ、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の容量性圧力センサ。
- 前記基板が、
前記容量性圧力センサで生成されたセンサ信号を処理するように構成された回路装置と、
電源ワイヤを受けるように前記回路装置に導電的に結合された一対の端子と、
を更に有する、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の容量性圧力センサ。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の容量性圧力センサを有する器具先端部を持つ患者内に挿入する医療器具。
- 前記医療器具が、前記医療器具の細長方向に沿って配置された複数の前記容量性圧力センサを有する、請求項10に記載の医療器具。
- 容量性圧力センサを製造する方法において、
基板を提供するステップと、
前記基板上に第1の電極を形成するステップと、
犠牲材料のアニュラスを前記基板上に堆積するステップと、
前記アニュラス上に第2の電極を形成するステップと、
膜材料を前記アニュラスの上に堆積し、これによって前記アニュラスの中央キャビティを充填するステップと、
前記アニュラスを露出するように前記膜材料に開口形成するステップと、
環状キャビティを形成するように前記開口を通して前記犠牲材料を除去するステップと、
前記開口を更なる材料で塞ぐステップと、
少なくとも前記容量性トランスデューサの膜を規定する前記膜材料の領域上にエッチング停止層を堆積するステップと、
前記開口を塞ぐ場合に前記エッチング停止層を前記更なる材料で覆うステップと、
前記エッチング停止層上で終端する前記領域から前記更なる材料を選択的に除去するステップであって、これによって、前記領域の周りに前記更なる材料のリムを形成し、前記領域が、前記犠牲材料のアニュラスの外縁を超えて横方向に延在する、ステップと、
を有する方法。 - 前記膜が、好ましくは0.8乃至2.0ミクロンの範囲の第1の厚さを持ち、前記リムが、前記第1の厚さよりも大きい第2の厚さを持つ、請求項12に記載の方法。
- 前記リムが、2乃至5ミクロンの範囲の距離だけ前記外縁に対して横方向に変位される、請求項13又は14に記載の方法。
- 前記アニュラスを露出するように前記膜材料に開口形成する前に、前記エッチング停止層を持つ前記膜材料の上に保護層を堆積するステップを更に有する、請求項13又は14に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18159049.8A EP3533386A1 (en) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | Pressure sensing with capacitive pressure sensor |
EP18159049.8 | 2018-02-28 | ||
PCT/EP2019/054009 WO2019166263A1 (en) | 2018-02-28 | 2019-02-19 | Pressure sensing with capacitive pressure sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021515887A true JP2021515887A (ja) | 2021-06-24 |
JPWO2019166263A5 JPWO2019166263A5 (ja) | 2022-02-22 |
Family
ID=61569050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020544889A Pending JP2021515887A (ja) | 2018-02-28 | 2019-02-19 | 容量性圧力センサを用いる圧力検出 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200397321A1 (ja) |
EP (2) | EP3533386A1 (ja) |
JP (1) | JP2021515887A (ja) |
CN (1) | CN111787850A (ja) |
WO (1) | WO2019166263A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7383869B2 (ja) * | 2020-02-13 | 2023-11-21 | シャープ株式会社 | タッチパネル及び表示装置 |
WO2022250939A1 (en) * | 2021-05-27 | 2022-12-01 | The University Of Chicago | Strain-insensitive soft pressure sensor and method of measuring pressure |
CN114323403A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-04-12 | 上海交通大学 | 实现在体压力传感器长期性能稳定的方法 |
CN114910196A (zh) * | 2022-04-22 | 2022-08-16 | 西安交通大学 | 微米尺度的平面电容式压力传感器制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08320268A (ja) * | 1995-05-26 | 1996-12-03 | Omron Corp | 静電容量型センサ |
JP2001099734A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体容量式圧力センサ |
JP2002250665A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Omron Corp | 静電容量式センサ及びその製造方法 |
WO2014103334A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波振動子セル、超音波プローブ、及び超音波振動子セルの制御方法 |
JP2014200089A (ja) * | 2007-12-14 | 2014-10-23 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 輪郭成形基板を含む崩壊モードで動作可能なcMUT |
JP2014533907A (ja) * | 2011-11-17 | 2014-12-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 円環形状の崩壊領域を持つ崩壊前の静電容量型トランスデューサーセル |
US20170023426A1 (en) * | 2014-04-04 | 2017-01-26 | Ando Lars Feyh | Membrane-Based Sensor and Method for Robust Manufacture of a Membrane-Based Sensor |
WO2017036827A1 (en) * | 2015-09-03 | 2017-03-09 | Koninklijke Philips N.V. | Ic die, probe and ultrasound system |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050121734A1 (en) * | 2003-11-07 | 2005-06-09 | Georgia Tech Research Corporation | Combination catheter devices, methods, and systems |
US8118748B2 (en) * | 2005-04-28 | 2012-02-21 | Medtronic, Inc. | Implantable capacitive pressure sensor system and method |
ITRM20060238A1 (it) * | 2006-05-03 | 2007-11-04 | Esaote Spa | Trasduttore ultracustico capacitivo multipiano |
CN101730841B (zh) * | 2007-04-23 | 2012-12-26 | 基文影像(洛杉矶)有限公司 | 悬式膜压力传感阵列 |
WO2009027897A2 (en) * | 2007-08-27 | 2009-03-05 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Pressure sensor, sensor probe comprising a pressure sensor, medical apparatus comprising a sensor probe and a method of fabricating a sensor probe |
JP5733898B2 (ja) | 2010-02-14 | 2015-06-10 | キヤノン株式会社 | 静電容量型電気機械変換装置 |
US8704538B2 (en) * | 2010-07-01 | 2014-04-22 | Mks Instruments, Inc. | Capacitance sensors |
CN105592940B (zh) * | 2013-09-24 | 2018-09-25 | 皇家飞利浦有限公司 | Cmut装置制造方法、cmut装置和设备 |
CN112603273A (zh) * | 2014-04-23 | 2021-04-06 | 皇家飞利浦有限公司 | 具有用于成像和压力感测的集成控制器的导管 |
US9067779B1 (en) | 2014-07-14 | 2015-06-30 | Butterfly Network, Inc. | Microfabricated ultrasonic transducers and related apparatus and methods |
-
2018
- 2018-02-28 EP EP18159049.8A patent/EP3533386A1/en not_active Withdrawn
-
2019
- 2019-02-19 WO PCT/EP2019/054009 patent/WO2019166263A1/en unknown
- 2019-02-19 US US16/970,882 patent/US20200397321A1/en active Pending
- 2019-02-19 CN CN201980015946.6A patent/CN111787850A/zh active Pending
- 2019-02-19 JP JP2020544889A patent/JP2021515887A/ja active Pending
- 2019-02-19 EP EP19706943.8A patent/EP3758581B1/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08320268A (ja) * | 1995-05-26 | 1996-12-03 | Omron Corp | 静電容量型センサ |
JP2001099734A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体容量式圧力センサ |
JP2002250665A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Omron Corp | 静電容量式センサ及びその製造方法 |
JP2014200089A (ja) * | 2007-12-14 | 2014-10-23 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 輪郭成形基板を含む崩壊モードで動作可能なcMUT |
JP2014533907A (ja) * | 2011-11-17 | 2014-12-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 円環形状の崩壊領域を持つ崩壊前の静電容量型トランスデューサーセル |
WO2014103334A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波振動子セル、超音波プローブ、及び超音波振動子セルの制御方法 |
US20170023426A1 (en) * | 2014-04-04 | 2017-01-26 | Ando Lars Feyh | Membrane-Based Sensor and Method for Robust Manufacture of a Membrane-Based Sensor |
WO2017036827A1 (en) * | 2015-09-03 | 2017-03-09 | Koninklijke Philips N.V. | Ic die, probe and ultrasound system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200397321A1 (en) | 2020-12-24 |
WO2019166263A1 (en) | 2019-09-06 |
EP3533386A1 (en) | 2019-09-04 |
CN111787850A (zh) | 2020-10-16 |
EP3758581B1 (en) | 2023-12-20 |
EP3758581A1 (en) | 2021-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2021515887A (ja) | 容量性圧力センサを用いる圧力検出 | |
JP2016518870A (ja) | 流体圧力を検出するためのガイドワイヤを含むシステム | |
JP2011505205A (ja) | 容量性マイクロマシン加工超音波変換器(cmuts)で構築される超音波スキャナ | |
US9974518B2 (en) | Ultrasonic transducer electrode assembly | |
US20070282210A1 (en) | Implantable wireless sensor for in vivo pressure measurement and continuous output determination | |
US20050121734A1 (en) | Combination catheter devices, methods, and systems | |
US9750418B2 (en) | Pressure-sensing intravascular devices, systems, and methods | |
JP2007528153A (ja) | Cmutデバイス及び製造方法 | |
WO2002034130A1 (en) | A piezoelectric sensor in a living organism for fluid pressure measurement. | |
JP2010004199A (ja) | 超音波トランスデューサおよびその製造方法 | |
JP6483679B2 (ja) | 集積回路および集積回路アレイを製造する方法 | |
JP2021532926A (ja) | 静電容量式圧力センサを備えた管腔内デバイス | |
RU2620305C2 (ru) | Направляющий проводник датчика | |
Takei et al. | Integration of out-of-plane silicon dioxide microtubes, silicon microprobes and on-chip NMOSFETs by selective vapor–liquid–solid growth | |
EP3557244B1 (en) | Ultrasonic examination device and ultrasonic probe | |
WO2013128341A2 (en) | An electronic circuit arrangement and method of manufacturing the same | |
WO2014099778A1 (en) | Pressure-sensing intravascular devices, systems, and methods | |
KR101010925B1 (ko) | Mems 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ecg측정센서 및 그 제작방법 | |
JP6243668B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサ及びその製造方法 | |
WO2014099769A1 (en) | Pressure-sensing intravascular devices, systems, and methods | |
AU2014200072A1 (en) | Implantable wireless sensor for in vivo pressure measurement and continuous output determination |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220209 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221201 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230718 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20231016 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20240312 |