JP2021503635A - 機能モジュール及び該機能モジュールを備えた顕微鏡 - Google Patents
機能モジュール及び該機能モジュールを備えた顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021503635A JP2021503635A JP2020545435A JP2020545435A JP2021503635A JP 2021503635 A JP2021503635 A JP 2021503635A JP 2020545435 A JP2020545435 A JP 2020545435A JP 2020545435 A JP2020545435 A JP 2020545435A JP 2021503635 A JP2021503635 A JP 2021503635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam splitter
- optical
- functional module
- optical system
- microelectromechanical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
- G02B21/361—Optical details, e.g. image relay to the camera or image sensor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0075—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means for altering, e.g. increasing, the depth of field or depth of focus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Description
02 機能モジュール
03 対物レンズ
04 サンプル
06 照明
07 レンズ
08 ビームスプリッタ
09 光学経路
10 機械的インタフェース
11 中間像面
12 瞳
13 ビームスプリッタ
14 第1の光学サブパス
16 第2の光学サブパス
17 第1の微小電気機械光学システム
18 第2の微小電気機械光学システム
19 可動マイクロミラー
21 イメージセンサ
23 第1のλ/4波長板
24 第2のλ/4波長板
26 第1の光学素子
27 第2の光学素子
28 第3の光学素子
29 第4の光学素子
Claims (15)
- 顕微鏡の機能モジュールであって、
前記機能モジュールを前記顕微鏡のモジュールサポートに取り外し可能に取り付けるための機械的インタフェースと、
前記顕微鏡の対物レンズから前記機能モジュールへ光学経路を確立するための光学インタフェースと、
少なくとも1つのイメージセンサと、
第1の微小電気機械光学システム及び第2の微小電気機械光学システムと、を備え、
前記第1の微小電気機械光学システムは、前記イメージセンサに方向付けられる第1の光学サブパス上で被写界深度を高めるために構成され、前記第2の微小電気機械光学システムは、前記イメージセンサに方向付けられる第2の光学サブパス上で被写界深度を高めるために構成される、機能モジュール。 - 前記第1の微小電気機械光学システム及び前記第2の微小電気機械光学システムのそれぞれは、可動マイクロミラーのアレイを有し、前記可動マイクロミラーのそれぞれは、2自由度回転及び1自由度並進を示す、請求項1に記載の機能モジュール。
- 前記第1の微小電気機械光学システム及び前記第2の微小電気機械光学システムのそれぞれは、ビームスプリッタに、カラービームスプリッタに、又は偏光ビームスプリッタに方向付けられ、前記ビームスプリッタ、前記カラービームスプリッタ、又は前記偏光ビームスプリッタは、前記イメージセンサに方向付けられる、請求項1又は2に記載の機能モジュール。
- 前記ビームスプリッタ、前記カラービームスプリッタ、又は前記偏光ビームスプリッタは、前記第1の微小電気機械光学システムと前記光学インタフェースとの間に配置され、前記ビームスプリッタ、前記カラービームスプリッタ、又は前記偏光ビームスプリッタは、前記第2の微小電気機械光学システムと前記イメージセンサとの間に配置される、請求項3に記載の機能モジュール。
- 前記第1の光学サブパス及び前記第2の光学サブパスは、互いに垂直であり、前記ビームスプリッタ内又は前記偏光ビームスプリッタ内で互いに交差する、請求項3又は4に記載の機能モジュール。
- 前記第1の微小電気機械光学システムと、前記ビームスプリッタ、前記カラービームスプリッタ、又は前記偏光ビームスプリッタと、前記光学インタフェースとは、直線上に配置され、前記第2の微小電気機械光学システム、前記ビームスプリッタ、前記カラービームスプリッタ、又は前記偏光ビームスプリッタ、及び前記イメージセンサは、直線上に配置される、請求項3から5のいずれか一項に記載の機能モジュール。
- 前記ビームスプリッタは、前記偏光ビームスプリッタである、請求項3から6のいずれか一項に記載の機能モジュール。
- 波長板は、前記第1の光学サブパス及び/又は前記第2の光学サブパス上に配置される、請求項1から7のいずれか一項に記載の機能モジュール。
- レンズ、カラーフィルタ、アクティブ音響光学変調器、アクティブ電気光学変調器、及び/又は干渉素子は、前記第1の光学サブパス上、前記第2の光学サブパス上、及び/又は前記光学経路上に配置される、請求項1から8のいずれか一項に記載の機能モジュール。
- 波長板、レンズ、カラーフィルタ、アクティブ音響光学変調器、アクティブ電気光学変調器、及び/又は干渉素子は、前記第1の微小電気機械光学システムとビームスプリッタとの間、前記第2の微小電気機械光学システムと前記ビームスプリッタ、カラービームスプリッタ、又は偏光ビームスプリッタとの間、前記ビームスプリッタ、前記カラービームスプリッタ、又は前記偏光ビームスプリッタと前記イメージセンサとの間、及び/又は前記光学インタフェースに配置される、請求項8又は9に記載の機能モジュール。
- 前記第1の微小電気機械光学システム及び前記第2の微小電気機械光学システム及び前記イメージセンサの同期制御のための制御ユニットをさらに備える、請求項1から10のいずれか一項に記載の機能モジュール。
- 前記制御ユニットは、さらに、異なる値の焦点を有する複数のイメージを取得して、イメージのスタックをもたらすよう構成される、請求項11に記載の機能モジュール。
- 前記制御ユニットは、さらに、前記第1の微小電気機械光学システム及び前記第2の微小電気機械光学システムの可動マイクロミラーを移動して様々な値の焦点距離のフレネルレンズを形成するよう構成される、請求項12に記載の機能モジュール。
- 前記制御ユニットは、さらに、前記イメージのスタックを拡大された被写界深度を有するイメージに処理するために構成される、請求項12又は13に記載の機能モジュール。
- 対物レンズ及び請求項1から14のいずれか一項に記載の機能モジュールを備え、前記機能モジュールの機械的インタフェースは、顕微鏡のモジュールサポートに取り付けられる、顕微鏡。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17202113.1 | 2017-11-16 | ||
EP17202113.1A EP3486706B1 (en) | 2017-11-16 | 2017-11-16 | Functional module and microscope equipped with the same |
PCT/EP2018/078996 WO2019096547A1 (en) | 2017-11-16 | 2018-10-23 | Functional module and microscope equipped with the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021503635A true JP2021503635A (ja) | 2021-02-12 |
JP7338100B2 JP7338100B2 (ja) | 2023-09-05 |
Family
ID=60382123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020545435A Active JP7338100B2 (ja) | 2017-11-16 | 2018-10-23 | 機能モジュール及び該機能モジュールを備えた顕微鏡 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200341260A1 (ja) |
EP (1) | EP3486706B1 (ja) |
JP (1) | JP7338100B2 (ja) |
KR (2) | KR20200096238A (ja) |
CN (1) | CN111656251A (ja) |
CA (1) | CA3082852A1 (ja) |
MX (1) | MX2020005109A (ja) |
WO (1) | WO2019096547A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3816692A1 (en) | 2019-10-30 | 2021-05-05 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Image conversion module with a microelectromechanical optical system and method for applying the same |
EP3926385B1 (en) | 2020-06-16 | 2024-05-15 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Digital microscope and microscopic set |
US11366307B2 (en) | 2020-08-27 | 2022-06-21 | Kla Corporation | Programmable and reconfigurable mask with MEMS micro-mirror array for defect detection |
CN112859315A (zh) * | 2021-01-11 | 2021-05-28 | 北京大学 | 一种多色双模式结构光照明显微成像系统及其成像方法 |
EP4137866A1 (en) | 2021-08-18 | 2023-02-22 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Digital microscope and method for capturing and displaying microscopic images |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5226844A (en) * | 1975-08-25 | 1977-02-28 | Canon Inc | Microscope |
JP2005077253A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Keyence Corp | 拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2008500585A (ja) * | 2004-05-27 | 2008-01-10 | ステレオ ディスプレイ,インコーポレイテッド | 可変焦点距離レンズ |
JP2009105396A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Nikon Corp | 光学ユニット、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
WO2011125370A1 (ja) * | 2010-04-05 | 2011-10-13 | 国立大学法人大阪大学 | 観察装置及び観察方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19733193B4 (de) | 1997-08-01 | 2005-09-08 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Mikroskop mit adaptiver Optik |
JP2004247947A (ja) | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Olympus Corp | 光学装置 |
US7215882B2 (en) * | 2004-07-21 | 2007-05-08 | Angatrom, Inc. | High-speed automatic focusing system |
US7742232B2 (en) | 2004-04-12 | 2010-06-22 | Angstrom, Inc. | Three-dimensional imaging system |
US7345816B2 (en) | 2005-01-11 | 2008-03-18 | Olympus Corporation | Optical microscope |
DE102006025149A1 (de) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Optisches Gerät mit erhöhter Tiefenschärfe |
DE102007018048A1 (de) * | 2007-04-13 | 2008-10-16 | Michael Schwertner | Verfahren und Anordnung zur optischen Abbildung mit Tiefendiskriminierung |
US20100199406A1 (en) | 2009-02-06 | 2010-08-12 | Nike, Inc. | Thermoplastic Non-Woven Textile Elements |
JP5371694B2 (ja) * | 2009-10-26 | 2013-12-18 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡接続ユニットおよび顕微鏡システム |
DE102012009836A1 (de) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und Verfahren zur Bildaufnahme mit einem Lichtmikroskop |
-
2017
- 2017-11-16 EP EP17202113.1A patent/EP3486706B1/en active Active
-
2018
- 2018-10-23 MX MX2020005109A patent/MX2020005109A/es unknown
- 2018-10-23 CN CN201880086606.8A patent/CN111656251A/zh active Pending
- 2018-10-23 WO PCT/EP2018/078996 patent/WO2019096547A1/en active Application Filing
- 2018-10-23 JP JP2020545435A patent/JP7338100B2/ja active Active
- 2018-10-23 KR KR1020207017302A patent/KR20200096238A/ko active Application Filing
- 2018-10-23 KR KR1020237016101A patent/KR20230070076A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-10-23 US US16/764,842 patent/US20200341260A1/en not_active Abandoned
- 2018-10-23 CA CA3082852A patent/CA3082852A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5226844A (en) * | 1975-08-25 | 1977-02-28 | Canon Inc | Microscope |
JP2005077253A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Keyence Corp | 拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2008500585A (ja) * | 2004-05-27 | 2008-01-10 | ステレオ ディスプレイ,インコーポレイテッド | 可変焦点距離レンズ |
JP2009105396A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Nikon Corp | 光学ユニット、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
WO2011125370A1 (ja) * | 2010-04-05 | 2011-10-13 | 国立大学法人大阪大学 | 観察装置及び観察方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111656251A (zh) | 2020-09-11 |
KR20200096238A (ko) | 2020-08-11 |
EP3486706A1 (en) | 2019-05-22 |
KR20230070076A (ko) | 2023-05-19 |
JP7338100B2 (ja) | 2023-09-05 |
WO2019096547A1 (en) | 2019-05-23 |
EP3486706B1 (en) | 2024-05-08 |
US20200341260A1 (en) | 2020-10-29 |
CA3082852A1 (en) | 2019-05-23 |
MX2020005109A (es) | 2021-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7338100B2 (ja) | 機能モジュール及び該機能モジュールを備えた顕微鏡 | |
EP2317363B2 (en) | Microscope connecting unit and microscope system | |
US11067783B2 (en) | Light sheet microscope and method for imaging a sample by light sheet microscopy | |
US7423806B2 (en) | Microscope system with a beam hub unit having a beam multiplexer for alternatively selecting beam ports | |
EP0523159B1 (en) | Confocal microscope | |
US10514533B2 (en) | Method for creating a microscope image, microscopy device, and deflecting device | |
US20200408691A1 (en) | Multi-view light-sheet microscope with an optical arm combiner | |
CN111095073B (zh) | 在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件以及激光扫描显微镜 | |
JP2010061141A (ja) | 顕微鏡カメラ用ビデオアダプタ | |
US11940609B2 (en) | Image conversion module with a microelectromechanical optical system and method for applying the same | |
JP2014145968A (ja) | 手術顕微鏡システム | |
WO2011152432A1 (ja) | 共焦点顕微鏡画像システム | |
CN111065950B (zh) | 用于宽场、共焦和多光子显微镜的动态聚焦和变焦系统 | |
JP2019514060A (ja) | 試料を検査する方法および顕微鏡 | |
JP2009265665A (ja) | ビームスプリッタ装置を備える立体顕微鏡 | |
US11327284B2 (en) | Microscope system | |
JP2004318181A (ja) | 倒立顕微鏡 | |
JP4046525B2 (ja) | 倒立型顕微鏡 | |
JP2006276663A (ja) | 顕微鏡 | |
JP2005534999A (ja) | テレセントリックビーム領域を持つ光学配列 | |
AU643787B2 (en) | Confocal microscope | |
JP2000098242A (ja) | 倒立型共焦点顕微鏡 | |
JP2002090627A (ja) | 共焦点光スキャナ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210727 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211020 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220601 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220601 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220623 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220628 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20220826 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20220830 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20230307 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20230411 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230608 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7338100 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |