JP2005077253A - 拡大観察装置、画像ファイル生成装置、画像ファイル生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】拡大観察装置は、観察対象を撮像して2次元観察画像データを取得するための撮像部と、撮像部で取得した複数の2次元観察画像データと、撮像時の高さ情報に基づいて、3次元の観察画像データを生成するための制御部と、制御部で生成された3次元の観察画像データを表示するための表示部と、表示部で表示される3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部とを備える。
【選択図】図9
Description
以下、図1から図2を用いて、本発明の第1の実施の形態に係る拡大観察装置を説明する。拡大観察装置は、図1に示すように観察対象の試料を照明するための照明部60と、照明部60により照明された試料を撮像する撮像部10と、撮像部10で撮像された拡大画像を表示する表示部52を有する情報処理装置50を備える。さらに図1の拡大観察装置は、試料を固定する試料固定部(試料Sを載置するステージ30)と、光学系11を介して入射する試料固定部に固定された試料Sからの反射光または透過光を電気的に読み取る撮像素子(CCD12)と、試料固定部と光学系11の光軸方向における相対距離を変化させ焦点を調整する焦点調整部(ステージ昇降器20)とを備える。さらにまた情報処理装置50は、図2に示すように、焦点調整部によって焦点を調整したときの試料固定部と光学系11の光軸方向における相対距離に関する焦点距離情報を、光軸方向とほぼ垂直な面内における試料の2次元位置情報と共に記憶する焦点距離情報記憶部(メモリ53)と、撮像素子によって読み取られた画像を表示する表示部52と、表示部52によって表示された画像の一部の領域を少なくとも一つ設定可能な領域設定部(操作部55、ポインティングデバイス55A)と、領域設定部によって設定された領域に対応する試料Sの一部または全部に関する焦点距離情報記憶部に記憶された焦点距離情報に基づいて、領域設定部によって設定された領域に対応する試料Sの光軸方向における平均高さを演算する演算部(制御部51)とを備える。この拡大観察装置は、光学系を介して入射する試料固定部に固定された試料からの反射光または透過光を電気的に読み取る撮像素子を用いて、指定された領域に対応する試料の光軸方向における平均高さ(深さ)を演算できる。
さらに撮像部10は、画素ずらしによってCCD12の持つ解像度以上の高解像度を得るための画素ずらし手段を備えることができる。画素ずらしとは、例えば画素ピッチの半分だけ被写体をずらして撮影した画像と、ずらす前の画像とを合成することにより高解像度化を図るものである。代表的な画像ずらしの機構としては、撮像素子を移動させるCCD駆動方式、LPFを傾斜させるLPF傾斜方式、レンズを移動させるレンズ移動方式等がある。図2においては、ステージ30に固定された試料Sから光学系11を介してCCD12に入射される反射光または透過光の入射光路を、少なくとも一の方向に、その方向におけるCCD12の一画素の間隔よりも小さい距離で光学的にシフトさせる光路シフト部14を備える。本発明の一実施形態において画素ずらしを実現するための機構や手法は、上記の構成に限られず、既知の方法や将来開発される方法が適宜利用できる。
制御手段である制御部51は、撮像した観察画像を、表示部52で表示可能な解像度に変換して表示するよう制御する。図1の拡大観察装置においては、撮像部10がCCD12によって試料Sを撮像した観察画像を表示部52に表示する。一般にCCD等の撮像素子の性能は、表示部での表示能力を上回ることが多いので、撮像した観察画像を一画面に表示するためには画像を間引く等して解像度を一画面で表示可能なサイズまで落とし、縮小表示している。撮像部10で読み取ったときの読取解像度を第一の解像度とすると、表示部52においては第一の解像度よりも低い第二の解像度で表示されることとなる。
次に、本発明の第2の実施の形態に係る拡大観察装置を、図3を用いて説明する。第2の実施の形態の拡大観察装置において、撮像部であるカメラは、試料Sに対して照射された第一の光源(レーザ101)からの光の反射光を第一の光学系100を介して第一の受光素子(フォトダイオード112)によって受光する第一の撮像部と、試料Sに対して照射された第二の光源(白色ランプ201)からの光の反射光を第二の光学系200を介して第二の受光素子(CCD212)によって受光する第二の撮像部とを備える。
また拡大観察装置は、2次元的な画像のみならず、3次元画像を表示させることもできる。3次元データに基づいて3D画像を拡大観察装置の表示部52に再現することで、様々な視点や角度から立体的に画像を観察、評価したり、高さなど表面形状やプロファイルの測定を行うことができる。3次元画像を生成して表示するには、例えば光軸方向における相対距離、すなわち観察対象の試料とレンズの距離を変化させて、画像を複数枚撮像し、同時に画像撮像時の移動量を記録しておく。これによって合成画像を作成する際に観察対象の高さ情報も得ることができるので、取得した画像を3次元データとして構築できる。
以上のようにして構築された3次元画像データを、表示部に表示すると共に画像データ記憶部の一態様である内部メモリにデータを保存する。3次元画像の保存には、3次元画像データのみを特定の3次元画像ファイルフォーマットで保存する他、任意の2次元画像に埋め込む形で2次元画像ファイルフォーマット形式で保存することもできる。例えば、3次元画像を所望の姿勢や倍率、光源や透過等の条件で表示させ、表示された3次元画像を2次元画像として取得した上で、この2次元画像データに元の3次元画像データを埋め込んで保存することもできる。ユーザは変更部の一形態であるマウス55aやツールを使って3次元画像の視点や拡大率を調整し、所望の姿勢で観察対象を表示させる。このとき表示部に表示される画像をキャプチャして、2次元画像として取り込む。
このようにして3次元画像を所望の状態で表示させて取得した2次元画像データに、元となる3次元画像データを埋め込み、一のファイルに統合することで、同一の観察対象に関する2次元データと3次元データを個別に保存することなく、1ファイルで利用できるようになる。この処理は、拡大観察装置で行う他、専用の画像ファイル生成装置で行うこともできる。画像ファイル生成装置は、撮像部などの画像撮像のためのハードウェアを持たず、取得された画像の処理を行う装置である。以下、拡大観察装置で3次元画像を2次元画像に埋め込む手順を図8に基づき説明する。
10a・・・カメラ
11・・・光学系
12、212・・・CCD
13、213・・・CCD制御回路
14・・・光路シフト部
20・・・ステージ昇降器
21・・・ステッピングモータ
22・・・モータ制御回路
30・・・ステージ
41・・・スタンド台
42・・・支柱
43・・・カメラ取り付け部
50・・・情報処理装置
51・・・制御部
52・・・表示部
53・・・メモリ
54・・・インターフェイス
55・・・操作部
55A・・・ポインティングデバイス
55a・・・マウス
55b・・・左ボタン
55c・・・右ボタン
55d・・・スクロールボタン
60・・・照明部
60A・・・落射照明
60B・・・透過照明
61・・・光ファイバー
62・・・コネクタ
70・・・コンピュータ
100・・・第一の光学系
101・・・レーザ
102・・・第一のコリメートレンズ
103・・・偏光ビームスプリッタ
104・・・1/4波長板
105・・・水平偏向装置
106・・・垂直偏向装置
107・・・第一のリレーレンズ
108・・・第二のリレーレンズ
109・・・対物レンズ
110・・・結像レンズ
111・・・ピンホール板
112・・・フォトダイオード
113・・・A/Dコンバータ
115・・・レーザ駆動回路
200・・・第二の光学系
201・・・白色ランプ
202・・・第二のコリメートレンズ
203・・・第1ハーフミラー
204・・・第2ハーフミラー
S・・・試料
Claims (19)
- 観察対象を撮像して2次元観察画像データを取得するための撮像部と、
前記撮像部で取得した複数の2次元観察画像データと、撮像時の高さ情報に基づいて、3次元の観察画像データを生成するための制御部と、
前記制御部で生成された3次元の観察画像データを表示するための表示部と、
前記表示部で表示される3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、
前記出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部と
を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1に記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項2に記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、前記表示部で表示される3次元画像を所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の拡大観察装置であって、
前記出力部で出力される2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする拡大観察装置。 - 2次元画像データと、該2次元画像データ撮像時の高さ情報とを取得するための入力部と、
前記入力部で取得した複数の2次元観察画像データと相対高さ情報に基づいて、3次元の画像データを生成するための制御部と、
前記制御部で生成された3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力するための出力部と、
前記出力部で出力された画像データファイルを保存するための画像データ記憶部と、
を備えることを特徴とする画像ファイル生成装置。 - 請求項7に記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成装置。 - 請求項8に記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成装置。 - 請求項7から9のいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、3次元画像データを所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする画像ファイル生成装置。 - 請求項7から10のいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする画像ファイル生成装置。 - 請求項7から11のいずれかに記載の画像ファイル生成装置であって、
前記出力部で出力される2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする画像ファイル生成装置。 - 2次元画像データと、該2次元画像データ撮像時の相対高さ情報とを取得する機能と、
取得した複数の2次元観察画像データと相対高さ情報に基づいて、3次元の画像データを生成する機能と、
生成された3次元画像データを任意の2次元画像データに埋め込んで、一の画像データファイルとして出力する機能と、
出力された画像データファイルを保存する機能と
をコンピュータに実現させることを特徴とする画像ファイル生成プログラム。 - 請求項13に記載の画像ファイル生成プログラムであって、
2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データに関する情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成プログラム。 - 請求項14に記載の画像ファイル生成プログラムであって、
前記3次元画像データに関する情報として、3次元画像データを結合していることを示すフラグデータ、3次元画像データの結合領域アドレス、3次元画像データのサイズの少なくともいずれかを含む情報を、2次元画像データフォーマット中のユーザが利用可能な領域に記録することを特徴とする画像ファイル生成プログラム。 - 請求項13から15のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、
前記3次元画像データを埋め込む先の2次元画像データが、3次元画像データを所望の表示状態として取得された2次元画像データであることを特徴とする画像ファイル生成プログラム。 - 請求項13から16のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、
2次元画像データ中に埋め込まれる3次元画像データのデータ領域を圧縮することを特徴とする画像ファイル生成プログラム。 - 請求項11から14のいずれかに記載の画像ファイル生成プログラムであって、
前記2次元画像データのフォーマットが、jpegまたはtiffのいずれかであることを特徴とする画像ファイル生成プログラム。 - 請求項13から18のいずれかに記載される画像ファイル生成プログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
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