JP2021196735A - 画像合成装置、画像合成方法及び画像合成プログラム並びに検査装置 - Google Patents

画像合成装置、画像合成方法及び画像合成プログラム並びに検査装置 Download PDF

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Abstract

【課題】撮像対象物の走査範囲の形状を精度良く復元可能な画像合成装置、画像合成方法及び画像合成プログラム並びに検査装置を提供する。【解決手段】画像合成装置は、撮像対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得るように構成された第1画像合成部と、前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得るように構成された第2画像合成部と、を備える。【選択図】 図1

Description

本開示は、画像合成装置、画像合成方法及び画像合成プログラム並びに検査装置に関する。
撮像装置の画角よりも広範囲にわたる被撮像体の画像を得るために、撮像装置で得られる複数の画像を合成することがある。
例えば、特許文献1には、撮影装置により検査対象物の表面を走査して連続的に撮影することで複数の画像を取得し、これら複数の画像を合成することで得られるパノラマ画像を用いて、検査対象物の目視検査を行うことが記載されている。特許文献1における画像合成では、走査方向に隣り合う画像同士についてマッチングを行うことで、両画像間で重なり合う画素を特定し、両画像について特定した画素を重ね合わせたパノラマ画像(合成画像)を生成するようになっている。
特開2019−106075号公報
ところで、撮像対象物の表面を走査撮像して得られる多数の画像を合成して1つのパノラマ合成画像を得る場合、得られる合成画像の形状が撮像対象物の走査範囲の形状とは大きく異なったものとなること、すなわち、画像合成により走査範囲の形状を精度良く復元することができないことがある。この場合、例えば、合成画像を用いた撮像対象物表面の目視検査を適切に行えない可能性がある。
上述の事情に鑑みて、本発明の少なくとも一実施形態は、撮像対象物の走査範囲の形状を精度良く復元可能な画像合成装置、画像合成方法及び画像合成プログラム並びに検査装置を提供することを目的とする。
本発明の少なくとも一実施形態に係る画像合成装置は、
撮像対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得るように構成された第1画像合成部と、
前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得るように構成された第2画像合成部と、
を備える。
また、本発明の少なくとも一実施形態に係る検査装置は、
前記撮像対象物の表面を走査撮像して前記複数の画像を得るように構成された撮像装置と、
上述の画像合成装置と、
を備える。
また、本発明の少なくとも一実施形態に係る画像合成方法は、
撮影対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得るステップと、
前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得るステップと、
を備える。
また、本発明の少なくとも一実施形態に係る画像合成プログラムは、
コンピュータに、
撮像対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得る手順と、
前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得る手順と、
を実行させる。
本発明の少なくとも一実施形態によれば、撮像対象物の走査範囲の形状を精度良く復元可能な画像合成装置、画像合成方法及び画像合成プログラム並びに検査装置が提供される。
一実施形態に係る画像合成装置を備えた検査装置の概略構成図である。 検査対象物の一例の概略断面図である。 図2に示す検査対象物をA方向から視た概略図である。 検査対象物における走査範囲の一例を示す図である。 検査対象物における走査範囲の一例を示す図である。 一実施形態に係る画像合成方法の概略的なフローチャートである。 第1合成画像の生成について説明するための図である。 第1合成画像の生成について説明するための図である。 第2合成画像の生成について説明するための図である。 一実施形態に係る短手方向の合成(S100)のフローチャートである。 一実施形態に係る長手方向の合成(S200)のフローチャートである。 一対の第1合成画像I,Ii+1の合成について説明するための図である。 一対の第1合成画像I,Ii+1の合成について説明するための図である。 一実施形態に係る画像合成方法における短手方向の画像列の合成の手順を示すフローチャートである。 短手方向に隣接する画像同士のマッチングを説明するための図である。
以下、添付図面を参照して本発明の幾つかの実施形態について説明する。ただし、実施形態として記載されている又は図面に示されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
(検査装置及び画像合成装置の構成)
図1は、一実施形態に係る画像合成装置を備えた検査装置の概略構成図である。この検査装置は、検査対象物の目視検査(Visual Testing;VT)を行うための画像を取得するように構成される。図1に示すように、検査装置1は、検査対象物(撮像対象物)を撮像して画像を得るための撮像装置2と、撮像装置で得られた画像を合成処理するための画像合成装置6と、画像を表示するための表示部8(ディスプレイ等)と、を備える。
撮像装置2は、検査対象物の表面を走査撮像して複数の画像を得るように構成される。撮像装置2は、駆動部(マニピュレータ等)により動かされて検査対象物の表面を走査するようになっている。撮像装置2は、検査対象物の表面を走査して一定時間間隔で撮影を行うようになっていてもよい。撮像装置2は、例えば、デジタルカメラ又はビデオカメラであってもよい。
ここで、図2〜5を参照して、検査対象物の走査範囲について説明する。図2は、検査対象物の一例の概略断面図である。図3は、図2に示す検査対象物をA方向から視た概略図である。図4及び図5は、それぞれ、検査対象物における走査範囲の一例を示す図である。なお、図4は、図3に示す走査範囲Rの拡大図である。
図2に示す検査対象物90は、容器92と、容器92に接続された管部94と、を含む。容器92は内壁面93を有する。管部94は、中心軸Oとする円筒形状を有し、内周面95を有する。
一実施形態では、容器92の内壁面93のうち、図2に示すA方向から視た範囲B、すなわち、図3に示す環状領域Qから切り出した環状扇形の部分(図3における斜線部の領域)を、走査範囲R(すなわち、目視検査の対象範囲)としてもよい。この走査範囲Rは、上述の中心軸Oを中心とする環状扇形の形状を有する。環状扇形の周方向及び径方向は、それぞれ、管部94の周方向及び径方向に相当する。図4に示す走査範囲Rの環状扇形の内側及び外側の弧の長さは、これらの弧を接続する辺よりも長い。すなわち、図4に示す環状扇形を有する走査範囲Rの周方向は長手方向に相当し、径方向は短手方向に相当する。
一実施形態では、管部94の内周面95のうち、図2に示す管部94の軸方向の範囲Cの領域を、走査範囲Rとしてもよい。この場合、図5に示すように走査範囲Rは、内周面95の範囲Cの部分を管部94の周方向に展開したものであり、長方形の形状を有する。
撮像装置2は、走査範囲R内を走査して複数の画像を撮影する。走査範囲Rは撮像装置2の画角よりも広いエリアである。なお、検査対象物の目視検査では高解像度の画像が要求されることがあり、この場合、撮像装置2の画角が非常に狭くなり、走査範囲Rが画角に対して大幅に大きくなる。撮像装置2は、走査範囲Rを走査撮像することにより、走査範囲Rの全体を撮影対象として複数の画像を取得する。撮像装置2による走査範囲Rの走査パターンとして種々のものを選択できる。
例えば一実施形態では、図4及び図5に示すように、走査範囲Rの長手方向を走査方向とするラスタスキャンにより、走査撮像を行ってもよい。この場合、まず、走査範囲Rのうち、短手方向における一端側において、長手方向の走査線100に沿って走査する。そして、長手方向の端部に到達したら、短手方向に位置をずらして、再度、長手方向の走査線100に沿って走査する。この操作を、短手方向の他端側に到達するまで繰り返す。
なお、環状扇形の走査範囲Rを長手方向の走査線100に沿って走査する場合、図4に示すように、径方向内側の一端側から走査を開始し、径方向内側から径方向外側に向かって短手方向(径方向)の位置をずらしながらラスタスキャンを行ってもよい。あるいは、径方向外側の一端側から走査を開始し、径方向外側から径方向内側に向かって短手方向(径方向)の位置をずらしながらラスタスキャンを行ってもよい。
あるいは、一実施形態では、走査範囲Rの短手方向を走査方向とするラスタスキャンにより走査撮像を行ってもよい。あるいは、一実施形態では、他の走査パターンを用いて走査範囲R内の走査撮像を行ってもよい。
撮像装置2により取得される複数の画像のうち、長手方向に隣り合う画像同士は、長手方向において部分的に重なっている(即ち、これらの画像は、長手方向における同一の一部分を撮影範囲に含む)。また、撮像装置2により取得される複数の画像のうち、短手方向に隣り合う画像同士は、短手方向において部分的に重なっている(即ち、これらの画像は、短手方向における同一の一部分を撮影範囲に含む)。
画像合成装置6(図1参照)は、撮像装置2からの複数の画像Fを取得するための画像取得部10と、複数の画像を短手方向に合成して第1合成画像を生成するための第1画像合成部20と、複数の第1合成画像を長手方向に合成して第2合成画像を生成するための第2画像合成部30と、を備える。第2画像合成部30で得られる第2合成画像は、検査対象物の表面における走査範囲Rの全体を表す画像である。また、第1画像合成部20は、抽出部22と、精密マッチング部24と、粗マッチング部26と、を含む。
なお、画像合成装置6は、プロセッサ(CPU又はGPU等)、及び記憶装置(ROM,RAM又は外部記憶装置等)を備えた計算機を含む。そして、メモリ(主記憶装置)にロードされたプログラム(画像合成プログラム)の命令に従ってプロセッサが動作(演算等)することで、画像合成装置6が備える上述の各機能部(第1画像合成部20及び第2画像合成部30等)を実現する。換言すれば、上述のプログラムは、計算機に上述の各機能部を実現させるためのソフトウェアである。
表示部8は、画像合成装置6で得られた第2合成画像を表示するように構成される。表示部8に表示された第2合成画像を用いて、検査対象物の視覚的な検査を行うことができる。
(画像合成方法)
次に、幾つかの実施形態に係る画像合成方法について説明する。なお、以下において、上述の画像合成装置6を用いて一実施形態に係る画像合成方法を実行する場合について説明するが、幾つかの実施形態では、他の装置を用いて以下に説明する画像合成方法を実行してもよい。
図6は、一実施形態に係る画像合成方法の概略的なフローチャートである。図7A及び図7Bは、第1合成画像の生成について説明するための図である。図8は、第2合成画像の生成について説明するための図である。
図6に示すように、一実施形態では、まず、画像取得部10により、撮像装置2で検査対象物(撮影対象物)の表面を走査して撮影された複数の画像を含む撮像データを取得する。撮像データには、複数の画像と、各画像の撮影位置情報(以下、単に位置情報ともいう。)と、が含まれる。撮影位置情報は、走査範囲Rの長手方向及び短手方向における各画像の撮影位置の位置座標であってもよい。なお、撮影位置情報は、撮像装置2の駆動部(マニピュレータ等)のエンコーダから取得されるようになっていてもよい。
次に、第1画像合成部20により、画像取得部10で取得された複数の画像について、走査範囲Rの短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得る(S100;図7A及び図7B参照)。そして、第2画像合成部30により、走査範囲Rの長手方向について、ステップS100で得られた複数の第1合成画像を合成して第2合成画像を得る(S200;図8参照)。
なお、図7A〜図8は、長手方向にn枚、短手方向にm枚配列される合計n×m枚(ただしn>m)の複数の画像を用いて合成画像を得る場合を図示したものである。図中におけるFi,jは、長手方向におけるi列目の短手方向の画像列Cを構成するm枚の画像のうち、短手方向におけるj行目の画像を意味する。なお、短手方向の画像列を構成する画像の数(m)は、典型的には、走査範囲Rにおける走査方向(即ち長手方向)に沿った走査線100(図4及び図5参照)の本数と一致する。
検査対象物の走査範囲Rが環状扇形の場合(例えば図4や図8参照)、Fi,1は、画像列Cを構成するm枚の画像のうち最も径方向内側に位置する最内側画像であり、Fi,mは、画像列Cを構成するm枚の画像のうち最も径方向外側に位置する最外側画像である。また、図中におけるIは、長手方向におけるi列目の短手方向の画像列Cを合成して得られる第1合成画像を意味する。なお、整数iは、走査の順序を表すものではない。すなわち、径方向内側から径方向外側に向かって走査をする場合であるか、径方向外側から径方向内側に向かって走査をする場合であるかによらず、Fi,1は最内側画像であり、Fi,mは最外側画像である。
短手方向の画像列を合成するステップS100についてより具体的に説明する。図9は、一実施形態に係るステップS100のフローチャートである。以下、走査範囲Rの長手方向にn枚、短手方向にm枚配列される合計n×m枚(ただしn>m)の複数の画像を用いて合成画像を得る場合(図7A〜図8参照)について説明する。
ステップS100では、まず、長手方向における1列目(i=1)、かつ、短手方向における1行目(j=1)の基準画像F1,1について(S110)、この画像F1,1の位置情報(例えば、長手方向の位置座標A1,1及び短手方向の位置座標r1,1)を読み取る(S120)。そして、短手方向において隣接する画像が存在する(すなわちj=1<mである)ので(S130でYes)、該基準画像F1,1と、短手方向において隣接する画像F1,2についてマッチング(例えばテンプレートマッチング)を行い、両画像が重なり合う領域を特定する(S140)。なお、後述するように、隣接する画像同士のマッチングにおいて、これらの画像の位置情報を用いてもよい。
そして短手方向のカウンタjを加算して(S150)、長手方向における1列目(i=1)、かつ、短手方向における2行目(j=2)の画像F1,2を基準画像とし、ステップS120〜S150を繰り返し行う。さらにこれらの手順を繰り返し行い、短手方向に隣合う基準画像F1,jと画像F1,j+1とのマッチングを順次行う。そして、ステップS140で基準画像F1,m−1と画像F1,mとのマッチングが完了したら、次のステップS130にて、短手方向において画像F1,mに隣接する画像は存在しない(すなわちj=mである)ので(S130でNo)、ステップS160に進む。
ステップS160では、長手方向における1列目(i=1)の短手方向の画像列C(複数の画像F1,1〜F1,mにより構成される画像列;図7A参照)について、上述の手順で得られた短手方向に隣り合う画像同士のマッチング結果を用いて合成処理を行い(即ち、短手方向に合成し)、1列目の第1合成画像Iを得る(S160)。
そして、上述のステップS120〜S160を長手方向における2列目(i=2)からn列目(i=n)まで繰り返して行うことにより、(ステップS170,S180)、長手方向における1列目からn列目までのそれぞれの画像列Cを短手方向に合成した複数(具体的にはn個)の第1合成画像I〜Iが得られる。
次に、複数の第1合成画像Iを長手方向に合成するステップS200についてより具体的に説明する。図10は、一実施形態に係るステップS200のフローチャートである。
ステップS200では、まず、長手方向における1列目(i=1)の第1合成画像Iについて(S210)、長手方向において隣接する第1合成画像が存在する(すなわちi=1<nである)ので(S220でYes)、該第1合成画像Iと、長手方向において隣接する第1合成画像Iについてマッチング(例えばテンプレートマッチング)を行い、両画像が重なり合う領域を特定する(S230)。そして長手方向のカウンタiを加算して(S240)、長手方向における2列目(i=2)の第1合成画像Iについて、ステップS220〜S240を繰り返し行う。さらにこれらの手順を繰り返し行い、長手方向に隣合う第1合成画像Iと第1合成画像Ii+1とのマッチングを順次行う。そして、ステップS230で第1合成画像In−1と第1合成画像Iとのマッチングが完了したら、次のステップS220にて短手方向において第1合成画像Iに隣接する画像は存在しない(すなわちi=nである)ので(S220でNo)、ステップS250に進む。
ステップS250では、長手方向における1列目(i=1)からn列目(i=n)の第1合成画像I〜Iについて、上述の手順で得られた長手方向に隣り合う第1合成画像同士のマッチング結果を用いて合成処理を行い(即ち、長手方向に合成し)、第2合成画像Gを得る(S250)。
ここまで説明したように、撮像装置2の画角よりも広いエリアにわたるパノラマ合成画像を得るために、撮像装置2による走査範囲Rの長手方向及び短手方向において異なる位置で撮影された複数の画像を合成する。ここで、走査範囲R内で撮影された複数の画像のうち、短手方向に沿った画像列を構成する画像の数(m)は、通常、長手方向に沿った画像列を構成する画像の数(n)よりも少ない。上述の実施形態では、走査撮像により得られる複数の画像F1,1〜Fn,mについて、先に走査範囲Rの短手方向に合成する(即ち第1合成画像I〜Iを生成する)ようにしたので、先に長手方向に合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに伴い生じ得る誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像I〜I)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像I〜Iを長手方向に合成することで、最終的に得られる走査範囲R全体の合成画像(第2合成画像G)の形状を走査範囲Rの実際の形状に近いものとすることができる。すなわち、走査範囲Rの形状を精度良く復元することができる。これにより、例えば、第2合成画像Gを用いた検査対象物(撮像対象物)表面の目視検査を適切に行うことができる。
なお、マッチングに伴い生じ得る誤差とは、例えば、各画像について取得される位置情報(例えば走査方向の位置や、環状扇形の中心を基準とする角度位置等)の誤差である。画像の位置情報(撮影位置情報)が撮像装置2の駆動部(例えばマニピュレータ)のエンコーダを介して取得される場合、該エンコーダの分解能や、駆動部の歯車のバックラッシ等に起因して、上述の位置情報の誤差が生じることがある。
ところで、撮像装置2の画角よりも広いエリアを走査範囲Rとする場合、図4及び図5を参照して説明したように、走査範囲Rの長手方向を走査方向とするラスタスキャンが行われることが多い。これは、撮像装置2の位置を走査方向と直交方向にずらす操作に起因して生じ得る上述の誤差を低減すべく、このような操作の回数を減らすためである。また、走査撮像により得られる画像を合成する場合、例えば特許文献1に記載されるように、撮像装置2による走査方向の画像列を合成するのが通常である。
この点、上述の実施形態では、走査範囲Rの長手方向に沿って走査撮像した複数の画像について、通常とは異なり、走査方向と直交する方向(即ち短手方向)の画像列C〜Cを合成する(第1合成画像I〜Iを生成する)。したがって、走査方向(即ち長手方向)の画像列を合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像I〜I)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像I〜Iを走査方向(即ち長手方向)に合成することで、最終的に得られる走査範囲R全体の合成画像(第2合成画像G)の形状を走査範囲Rの実際の形状に近いものとすることができ、すなわち、走査範囲Rの形状を精度良く復元することができる。
幾つかの実施形態では、走査範囲Rが環状扇形の形状を有する場合、図4に示すように、走査範囲Rの短手方向は環状扇形の径方向に沿った方向であるとともに、走査範囲Rの長手方向は環状扇形の周方向に沿った方向であってもよい。
この場合、環状扇形の形状を有する走査範囲Rにおける走査撮像により得られる複数の画像F1,1〜Fn,mについて、先に環状扇形の径方向(即ち短手方向)の画像列C〜Cを合成する(即ち第1合成画像I〜Iを生成する)ことになる。よって、先に周方向(即ち長手方向)の画像列を合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像I〜I)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像I〜Iを周方向(即ち長手方向)に合成することで、最終的に得られる走査範囲R全体の合成画像(第2合成画像G)の形状を走査範囲Rの実際の形状に近いものとすることができ、すなわち、走査範囲Rの形状を精度良く復元することができる。
幾つかの実施形態では、走査範囲Rが環状扇形の形状を有する場合、ステップS200において周方向に隣り合う第1合成画像I及びIi+1をマッチングするとき(S230)、第2画像合成部30により、以下の手順を行ってもよい。
すなわち、第2画像合成部30は、これらの第1合成画像の元になった一対の短手方向の画像列C、Ci+1のうち、最も径方向内側に位置する一対の最内側画像Fi,1、Fi+1,1よりも外側に位置する少なくとも一対の外側画像Fi,j、Fi+1,j(ただし、jは2<j≦mを満たす何れかの整数)の位置情報に基づいて、環状扇形の中心を基準とする少なくとも一対の外側画像Fi,j、Fi+1,jの回転角θをそれぞれ算出する。そして、算出した回転角θに基づいて、一対の画像列C、Ci+1に対応した第1合成画像I,Ii+1のマッチング及び合成を行う。例えば、少なくとも一対の外側画像Fi,j、Fi+1,jの位置情報に基づいて算出される回転角θを、一対の画像列C、Ci+1及びこれに対応する第1合成画像I,Ii+1の回転角に相当するものとして用いて、第1合成画像I,Ii+1のマッチングを行うことができる。
ここで、上述の回転角θの算出方法の一例について、図11を参照して説明する。図11は、一対の第1合成画像I,Ii+1の合成について説明するための図である。ここでは、上述の外側画像Fi,j、Fi+1,jが最外側画像Fi,m、Fi+1,mである場合について説明する。
周方向に隣接する第1合成画像IとIi+1に対応する画像列C、Ci+1の周方向(長手方向)の径方向内側における移動量ΔXIN(図11参照)は、これらの画像列C、Ci+1の最内側画像Fi,1、Fi+1,1の位置情報から算出することができる。また、周方向に隣接する第1合成画像IとIi+1に対応する画像列C、Ci+1の周方向(長手方向)の径方向外側における移動量ΔXOUT(図11参照)は、これらの画像列C、Ci+1の最外側画像Fi,m、Fi+1,mの位置情報から算出することができる。
ここで、一対の最外側画像Fi,j、Fi+1,jの回転角θは、最外側画像Fi,jの径方向(あるいは走査範囲Rの短手方向)に沿った辺の直線Li,mと、最外側画像Fi+1,jの径方向(あるいは走査範囲Rの短手方向)に沿った辺の直線Li+1,mとの間の角度である。なお、図中の破線で示すL’はLi,mと平行な直線であり、図中の角度θ’と角度θは等しい。したがって、画像列Cの径方向の長さをHとすれば、角度θは、H、ΔXIN及びΔXOUTを用いて、下記式で表すことができる。
H×sinθ(=H×sinθ’)=ΔXOUT−ΔXIN
よって、上記式よりθを算出することができる。
なお、最外側画像Fi,m、Fi+1,m以外の外側画像Fi,j、Fi+1,jの場合でも、同様に回転角θを算出することができる。
また、二対以上の外側画像Fi,j、Fi+1,jの回転角をそれぞれ算出し、このようにして得られる複数の回転角に基づいて(例えば複数の回転角の平均値等を用いて)、一対の画像列C、Ci+1に対応した第1合成画像I,Ii+1のマッチング及び合成を行うようにしてもよい。
なお、上述の実施形態とは異なり、一対の最内側画像Fi,1、Fi+1,1の位置情報を用いて回転角θを算出する場合、図12に示すように、最内側画像Fi,1、Fi+1,1の径方向内側における移動量ΔXIN、及び、径方向外側における移動量ΔXOUT、最内側画像Fi,1の径方向の長さをhとして、最内側画像Fi,1、Fi+1,1の回転角θは、下記式で表すことができる。
h×sinθ=ΔXOUT−ΔXIN
しかしこの場合、最内側画像Fi,1の径方向の長さhが短いため、ΔXOUTとΔXINとの差が小さくなり、このためθを精度良く算出することが難しい。なお、図12は、一対の第1合成画像I,Ii+1の合成について説明するための図である。
上述の実施形態によれば、周方向に隣り合う一対の画像列C、Ci+1の回転角θを算出するために、環状扇形の中心からの距離が比較的長い一対の外側画像Fi,j、Fi+1,jの位置情報を用いるようにしたので、一対の最内側画像Fi,1、Fi+1,1の位置情報を用いる場合に比べて、上述の回転角θを精度良く算出することができる。そして、複数の第1合成画像I〜Iを長手方向に合成する際に上述の回転角θを用いることで、最終的に得られる走査範囲R全体の合成画像(第2合成画像G)の形状を走査範囲Rの実際の形状により近いものとすることができる。すなわち、走査範囲Rの形状をより精度良く復元することができる。
図13は、一実施形態に係る画像合成方法における短手方向の画像列の合成の手順を示すフローチャートである。幾つかの実施形態では、ステップS100において各画像列Ciを構成する画像同士のマッチングをするとき(S120〜S150)、第1画像合成部20により、以下の手順に従うようにしてもよい。
まず、ステップS100において各画像列について短手方向のマッチング処理(S120〜S150)を行う前(即ち、S110の前)に、抽出部22(図1参照)により、短手方向の画像列の生成数n(即ち長手方向の列数n)のうち、精密マッチングの対象となる画像列をN個抽出する(S310)。次に、精密マッチング部24により、ステップS310で抽出されたN個の画像列の各々について、該画像列の構成画像の候補である複数の候補画像を対象とする精密マッチングにより画像合成を行う(S320)。そして、粗マッチング部26により、ステップS320での精密マッチングの対象となったN個の画像列以外の(n−N)個の画像列の各々について、ステップS320での精密マッチングの結果を用いる粗マッチング(簡易的なマッチング)により、画像合成を行う(S330)。
ステップS310では、ステップS100で第1画像合成部20により生成しようとする第1合成画像の数(n)、又は、各画像列のテクスチャの多さを示す指標に基づいて、精密マッチングの対象となるN個の画像列を抽出するようにしてもよい。
例えば、n個(上述の第1合成画像の数)の画像列の中から、長手方向において等間隔となるようにN個の画像列を抽出してもよい。この場合、抽出されるN個の画像列同士の間には、凡そn/N個の画像列が存在することになる。
また、例えば、予め、撮像装置2で得られた全画像に対してテクスチャの多さを示す指標を計算しておき、この指標に基づいて、テクスチャが多い短手方向の画像列を、精密マッチングの対象となるN個の画像列として抽出するようにしてもよい。このように抽出する画像列は、以下の手順で決定することができる。ここで、パノラマ化する長手方向の長さを表す指標をLとする。指標Lは、走査範囲Rが扇形の場合は角度を示し、走査範囲Rが長方形の場合は長さを示す。
まず、ある短手方向に相当する撮像装置2の駆動部(マニピュレータ)のエンコーダ値E(各画像の長手方向の位置を示す)の際に撮影された画像を全て抽出し、これらの画像からなる画像群Eを得る。なお、エンコーダの分解能には限界があるため、同一の短手方向位置、かつ、同一のエンコーダ値Eを有する画像は複数存在する場合がある。次に、画像群Eに対して、テクスチャの多さを示す指標を算出する。ここで、テクスチャの多さを示す指標は、例えば、ソーベルフィルタを画像全体に処置したものの総和であってもよい。そして、上述の指標Lを等間隔にN等分した領域を作り、各領域に含まれる短手方向の画像群の中から、テクスチャの多さを表す指標が最も高い画像群Eを、それぞれの領域で求め、このように求まる画像群Eが所属するN個の画像列を、精密マッチングの対象となる画像列として抽出することができる。
ステップS320における精密マッチングは、例えば以下のようにして行ってもよい。ここでは、第i列の画像列について、第1行目の基準画像Fi,1と、短手方向において該基準画像Fi,1に隣接する第2行目の画像とのマッチングを行う場合を代表例として説明する。
撮像装置2により走査範囲Rを走査撮像することにより取得された全画像のうち、基準画像Fi,1のマッチング対象の候補となる候補画像Pは、複数存在する。この候補画像Pの数は、第i列に含まれる長手方向範囲(走査範囲Rが環状扇形の場合は角度範囲)が大きいほど、あるいは、撮像装置2の駆動部(マニピュレータ)のエンコーダの分解能が低いほど大きくなる。ここでは、上述の候補画像Pの数がVであると仮定して説明する。
精密マッチング部24は、基準画像Fi,1及びV枚の候補画像Pの各々の位置情報に基づいて、候補画像Pの各々の基準画像Fi,1に対する長手方向の移動量Δx、短手方向の移動量Δyを算出する(図14参照)。また、基準画像Fi,1及びV枚の候補画像Pの各々の画像情報(例えば画素値)に基づいて、基準画像Fi,1とV枚の候補画像Pの各々とのマッチングスコアを算出する。ここで、図14は、短手方向に隣接する画像同士のマッチングを説明するための図である。
次いで、精密マッチング部24は、V枚の候補画像Pのうち、マッチングスコアが閾値以上、かつ、長手方向の移動量Δxが最小の候補画像Pを、基準画像Fi,1のマッチング対象の画像Fi,2として選択し、両画像のマッチングを行う。上述の閾値は、予め別途得られたマッチング結果(例えば人が予め作成したマッチング結果)のスコアの平均値に基づいて決定されたものであってもよい。ここで、仮に、V枚の候補画像Pのうち、撮像装置2によってW番目に撮影された画像がマッチング対象の画像Fi,2として選択されたとする。便宜的に、上述のW番目の候補画像Pの基準画像Fi,1に対する長手方向の移動量をΔx2−W、短手方向の移動量をΔy2−Wと表記する。精密マッチング部24は、基準画像Fi,1のマッチング対象として、V枚の候補画像のうちW番目の画像が選択されたこと、及び、上述の移動量Δx2−W及びΔy2−Wを記憶部に記憶する。これは、後述の粗マッチングでこれらの情報を用いるためである。
精密マッチング部24は、上述のようにして選択された2行目の画像Fi,2を基準画像とし、同様の手順で、隣接する第3行目の画像との精密マッチングを行う(すなわち、第3行目のV枚の候補画像から、基準画像Fi,2のマッチング対象を選択し、マッチングを行う)。この手順を繰り返すことで、第i列の画像列の第1行から第m行まで精密マッチングによるマッチングを行うことができる。
ステップS330における粗マッチングは、ステップS320における精密マッチングで得られた情報(例えば、ステップS320で基準画像のマッチング対象として複数の候補画像から選択された画像に関する情報)を用いて行ってもよい。
一実施形態では、各画像列の粗マッチングの際に、最も近傍の精密マッチング画像列(ステップS320で精密マッチングが行われた画像列)の各行にて基準画像の精密マッチング対象として選択された画像(例えばV枚の候補画像中W枚目の画像等)と同様の位置関係(例えば粗マッチングを行なうV枚の候補画像中W枚目の画像)を、該画像列の粗マッチングに使用する各行の画像として選択し、精密マッチング対象として選択された画像の精密マッチング時の基準画像に対する長手方向の移動量Δx及び短手方向の移動量Δyをそのまま適用して、画像の合成を行う。
例えば、第(i+1)列の画像列の粗マッチングを行う場合を想定する。ここで、最も近傍の精密マッチング画像列(第i列)の2行目において、V枚の候補画像のうちW番目の画像が選択されていた場合、粗マッチング部26は、ステップS320における精密マッチングで得られた情報を記憶部から読み出して、この情報に基づき、粗マッチングを行う1行目の基準画像Fi+1,1のマッチング対象の画像Fi+1,2として、V枚の候補画像のうちW番目の画像を選択する。そして、基準画像Fi+1,1と画像Fi+1,2とのマッチングにおいては、上述の情報に基づき、基準画像Fi+1,1に対して、長手方向にΔx2−Wだけずらし、短手方向にΔy2−Wだけずらした位置に画像Fi+1,2を配置する。このようにして、第1行目と第2行目の画像について、簡易的にマッチングを行うことができる。また、第3行目〜第m行目についても、この手順を繰り返すことで、第(i+1)列の画像列の第1行から第m行まで粗マッチングによるマッチングを行うことができる。
あるいは、一実施形態では、各画像列の粗マッチングの際に、最も近傍の精密マッチング画像列(ステップS320で精密マッチングが行われた画像列)の各行にて基準画像のマッチング対象として選択された画像(例えばV枚の候補画像中W枚目の画像等)、該画像の基準画像に対する長手方向の移動量Δx及び短手方向の移動量Δyを初期値として用いて、該画像列のマッチングに使用する各行の画像を選択し、画像の合成を行う。
例えば、第(i+1)列の画像列の粗マッチングを行う場合を想定する。ここで、最も近傍の精密マッチング画像列(第i列)の2行目において、V枚の候補画像のうちW番目の画像が選択されていた場合、粗マッチング部26は、ステップS320における精密マッチングで得られた情報を記憶部から読み出して、この情報に基づき、粗マッチングを行う1行目の基準画像Fi+1,1のマッチング対象の第1候補の画像として、V枚の候補画像のうちW番目の画像を選択する。そして、基準画像Fi+1,1と第1候補の画像(W番目の画像)とのマッチングスコアを算出する。算出されたマッチングスコアが閾値以上である場合、この第1候補の画像を、基準画像Fi+1,1のマッチング対象として選択する。一方、算出されたマッチングスコアが閾値未満である場合、第1候補の隣の画像、即ち、V枚の候補画像のうち、(W−1)番目又は(W+1)番目の画像について、マッチングスコアを算出する。このようにして、第1候補の画像から近いものから順番にマッチングスコアを算出し、マッチングスコアが閾値以上となる画像が出現したら、その画像を基準画像Fi+1,1のマッチング対象として選択する。なお、マッチングスコアが閾値以上となる画像が出現しない場合には、最も近傍の精密マッチング画像列の各行(例えば2行目)にて基準画像の精密マッチング対象として選択された画像(例えばV枚の候補画像中W枚目の画像等)、と同様の位置関係(例えば粗マッチングを行なうV枚の候補画像中W枚目の画像)を、該画像列の粗マッチングに使用する各行(例えば2行目)の画像として選択し、精密マッチング対象として選択された画像の精密マッチング時の基準画像に対する長手方向の移動量Δx及び短手方向の移動量Δyをそのまま適用して粗マッチングを行うようにしても良い。このようにして、マッチング候補画像の範囲を狭めることで、計算量を低減することができる。また、第3行目〜第m行目についても、この手順を繰り返すことで、第(i+1)列の画像列の第1行から第m行まで粗マッチングによるマッチングを行うことができる。
上述の実施形態では、走査範囲Rの短手方向の複数(n個)の画像列のうち、抽出されたN個の画像列についてのみ角度の高い精密マッチングを行うとともに、それ以外の(n−N)個の画像列については、精密マッチングの結果を利用した簡易的な粗マッチングを行うようにしたので、すべての画像列について精密マッチングを行う場合に比べて、計算負荷を低減することができる。
上記各実施形態に記載の内容は、例えば以下のように把握される。
(1)本発明の少なくとも一実施形態に係る画像合成装置(6)は、
撮像対象物(例えば上述の検査対象物90)の表面(例えば上述の容器92の内壁面93)を走査撮像して得られた複数の画像(F1,1〜Fn,m)について、走査範囲(R)の短手方向の画像列を合成して第1合成画像(I〜I)を得るように構成された第1画像合成部(20)と、
前記走査範囲(R)の長手方向について、複数の前記第1合成画像(I〜I)を合成して第2合成画像(G)を得るように構成された第2画像合成部30と、
を備える。
撮像装置の画角よりも広いエリアにわたるパノラマ合成画像を得る場合、撮像装置による走査範囲の長手方向及び短手方向において異なる位置で撮影された複数の画像を合成する。ここで、走査範囲内で撮影された複数の画像のうち、短手方向に沿った画像列を構成する画像の数は、通常、長手方向に沿った画像列を構成する画像の数よりも少ない。上記(1)の構成では、走査撮像により得られる複数の画像について、先に走査範囲の短手方向に合成する(即ち第1合成画像を生成する)ようにしたので、先に長手方向に合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに伴い生じ得る誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像を長手方向に合成することで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状に近いものとすることができる。すなわち、走査範囲の形状を精度良く復元することができる。これにより、例えば、合成画像を用いた撮像対象物表面の目視検査を適切に行うことができる。
(2)幾つかの実施形態では、上記(1)の構成において、
前記複数の画像は、前記撮像対象物の表面を前記走査範囲の前記長手方向に沿って走査して撮影されたものである。
撮像装置の画角よりも広いエリアを走査範囲とする場合、走査範囲の長手方向を走査方向とするラスタスキャンが行われることが多い。また、走査撮像により得られる画像を合成する場合、例えば特許文献1に記載されるように、走査方向の画像列を合成するのが通常である。この点、上記(2)の構成では、走査範囲の長手方向に沿って走査撮像した複数の画像について、通常とは異なり、走査方向と直交する方向(即ち短手方向)の画像列を合成する(第1合成画像を生成する)。したがって、走査方向(即ち長手方向)の画像列を合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像を走査方向(即ち長手方向)に合成することで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状に近いものとすることができる。すなわち、走査範囲の形状を精度良く復元することができる。
(3)幾つかの実施形態では、上記(1)又は(2)の構成において、
前記走査範囲は環状扇形の形状を有し、
前記走査範囲の前記短手方向は前記環状扇形の径方向に沿った方向であり、
前記走査範囲の前記長手方向は前記環状扇形の周方向に沿った方向である。
上記(3)の構成によれば、環状扇形の形状を有する走査範囲における走査撮像により得られる複数の画像について、先に環状扇形の径方向(即ち短手方向)の画像列を合成する(即ち第1合成画像を生成する)ようにしたので、先に周方向(即ち長手方向)の画像列を合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像を周方向(即ち長手方向)に合成することで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状に近いものとすることができる。すなわち、走査範囲の形状を精度良く復元することができる。
(4)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(3)の何れかの構成において、
前記走査範囲は環状扇形の形状を有し、
前記第2画像合成部は、
前記環状扇形の周方向において隣接配置される一対の短手方向の画像列(C,Ci+1)のうち、最も径方向内側に位置する一対の最内側画像(Fi,1,Fi+1,1)よりも径方向外側に位置する少なくとも一対の外側画像(例えば上述の差異外側画像Fi,m,Fi+1,m)の位置情報に基づいて、前記環状扇形の中心を基準とする前記少なくとも一対の外側画像の回転角(θ)をそれぞれ算出し、
前記回転角に基づいて、前記一対の画像列に対応した第1合成画像同士の合成を行う
ように構成される。
上記(4)の構成によれば、周方向に隣り合う一対の画像列の回転角を算出するために、環状扇形の中心からの距離が比較的長い少なくとも一対の外側画像の位置情報を用いるようにしたので、一対の最内側画像の位置情報を用いる場合に比べて、上述の回転角を精度良く算出することができる。そして、複数の第1合成画像を長手方向に合成する際に上述の回転角を用いることで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状により近いものとすることができる。すなわち、走査範囲の形状をより精度良く復元することができる。
(5)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(4)の何れかの構成において、
前記第1画像合成部は、
前記走査範囲の短手方向の複数の画像列から精密マッチングの対象となる画像列を抽出するように構成された抽出部(22)と、
前記抽出部により抽出された画像列の各々について、前記画像列の構成画像の候補である複数の候補画像を対象とする前記精密マッチングにより画像合成を行う精密マッチング部(24)と、
前記精密マッチングの対象である画像列以外の画像列の各々について、前記精密マッチングの結果を用いて画像合成を行う粗マッチング部(26)と、
を含む。
上記(5)の構成によれば、走査範囲の短手方向の複数の画像列のうち、抽出された画像列についてのみ精密マッチングを行うとともに、それ以外の画像列については、精密マッチングの結果を利用した粗マッチングを行うようにしたので、すべての画像列について精密マッチングを行う場合に比べて、計算負荷を低減することができる。
(6)幾つかの実施形態では、上記(5)の構成において、
前記抽出部は、前記第画像1合成部により生成しようとする前記第1合成画像の数、又は、各画像列のテクスチャの多さを示す指標に基づいて、前記精密マッチングの対象となる画像列を抽出するように構成される。
上記(6)の構成によれば、複数の画像列に基づいて生成しようとする前記第1合成画像の数、又は、各画像列のテクスチャの多さを示す指標に基づいて、精密マッチングの対象となる画像列を適切に抽出することができる。
(7)幾つかの実施形態では、上記(5)又は(6)の構成において、
前記粗マッチング部は、前記精密マッチング部により合成された第1画像列を構成する画像の、該第1画像列を構成する他の基準画像に対する前記長手方向における移動量及び前記短手方向における移動量に基づいて、前記複数の候補画像から画像合成に用いる画像を選択するように構成される。
上記(7)の構成によれば、精密マッチングの結果得られる情報(基準画像に対する長手方向における移動量及び短手方向における移動量)を用いることで、粗マッチングを行う列について、複数の候補画像から画像合成に用いる画像を容易に選択することができる。よって、計算負荷を効果的に低減することができる。
(8)本発明の少なくとも一実施形態に係る検査装置(1)は、
前記撮像対象物の表面を走査撮像して前記複数の画像を得るように構成された撮像装置(2)と、
上記(1)乃至(7)の何れか一項に記載の画像合成装置(6)と、
を備える。
上記(8)の構成によれば、撮像装置を用いた走査撮像により得られる複数の画像について、先に走査範囲の短手方向に合成する(即ち第1合成画像を生成する)ようにしたので、先に長手方向に合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像を長手方向に合成することで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状に近いものとすることができ、すなわち、走査範囲の形状を精度良く復元することができる。これにより、合成画像を用いた撮像対象物表面の目視検査を適切に行うことができる。
(9)本発明の少なくとも一実施形態に係る画像合成方法は、
撮影対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得るステップ(S100)と、
前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得るステップ(S200)と、
を備える。
上記(9)の方法によれば、走査撮像により得られる複数の画像について、先に走査範囲の短手方向に合成する(即ち第1合成画像を生成する)ようにしたので、先に長手方向に合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像を長手方向に合成することで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状に近いものとすることができ、すなわち、走査範囲の形状を精度良く復元することができる。これにより、例えば、合成画像を用いた撮像対象物表面の目視検査を適切に行うことができる。
(10)本発明の少なくとも一実施形態に係る画像合成プログラムは、
コンピュータに、
撮像対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得る手順と、
前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得る手順と、
を実行させる。
上記(10)のプログラムによれば、走査撮像により得られる複数の画像について、先に走査範囲の短手方向に合成する(即ち第1合成画像を生成する)ようにしたので、先に長手方向に合成する場合に比べて、隣り合う画像同士のマッチングの回数を低減することができる。したがって、マッチングに起因する誤差の蓄積量が低減された合成画像(第1合成画像)を得ることができ、このようにして得られる第1合成画像を長手方向に合成することで、最終的に得られる走査範囲全体の合成画像(第2合成画像)の形状を走査範囲の実際の形状に近いものとすることができ、すなわち、走査範囲の形状を精度良く復元することができる。これにより、例えば、合成画像を用いた撮像対象物表面の目視検査を適切に行うことができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、上述した実施形態に変形を加えた形態や、これらの形態を適宜組み合わせた形態も含む。
本明細書において、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
また、本明細書において、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
また、本明細書において、一の構成要素を「備える」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
1 検査装置
2 撮像装置
6 画像合成装置
8 表示部
10 画像取得部
20 第1画像合成部
22 抽出部
24 精密マッチング部
26 粗マッチング部
30 第2画像合成部
90 検査対象物
92 容器
93 内壁面
94 管部
95 内周面
100 走査線
R 走査範囲

Claims (10)

  1. 撮像対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得るように構成された第1画像合成部と、
    前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得るように構成された第2画像合成部と、
    を備える画像合成装置。
  2. 前記複数の画像は、前記撮像対象物の表面を前記走査範囲の前記長手方向に沿って走査して撮影されたものである
    請求項1に記載の画像合成装置。
  3. 前記走査範囲は環状扇形の形状を有し、
    前記走査範囲の前記短手方向は前記環状扇形の径方向に沿った方向であり、
    前記走査範囲の前記長手方向は前記環状扇形の周方向に沿った方向である
    請求項1又は2に記載の画像合成装置。
  4. 前記走査範囲は環状扇形の形状を有し、
    前記第2画像合成部は、
    前記環状扇形の周方向において隣接配置される一対の短手方向の画像列のうち、最も径方向内側に位置する一対の最内側画像よりも径方向外側に位置する少なくとも一対の外側画像の位置情報に基づいて、前記環状扇形の中心を基準とする前記少なくとも一対の外側画像の回転角をそれぞれ算出し、
    前記回転角に基づいて、前記一対の画像列に対応した第1合成画像同士の合成を行う
    ように構成された
    請求項1乃至3の何れか一項に記載の画像合成装置。
  5. 前記第1画像合成部は、
    前記走査範囲の短手方向の複数の画像列から精密マッチングの対象となる画像列を抽出するように構成された抽出部と、
    前記抽出部により抽出された画像列の各々について、前記画像列の構成画像の候補である複数の候補画像を対象とする前記精密マッチングにより画像合成を行う精密マッチング部と、
    前記精密マッチングの対象である画像列以外の画像列の各々について、前記精密マッチングの結果を用いて画像合成を行う粗マッチング部と、
    を含む
    請求項1乃至4の何れか一項に記載の画像合成装置。
  6. 前記抽出部は、前記第1画像合成部により生成しようとする前記第1合成画像の数、又は、各画像列のテクスチャの多さを示す指標に基づいて、前記精密マッチングの対象となる画像列を抽出するように構成された
    請求項5に記載の画像合成装置。
  7. 前記粗マッチング部は、前記精密マッチング部により合成された第1画像列を構成する画像の、該第1画像列を構成する他の基準画像に対する前記長手方向における移動量及び前記短手方向における移動量に基づいて、前記複数の候補画像から画像合成に用いる画像を選択するように構成された
    請求項5又は6に記載の画像合成装置。
  8. 前記撮像対象物の表面を走査撮像して前記複数の画像を得るように構成された撮像装置と、
    請求項1乃至7の何れか一項に記載の画像合成装置と、
    を備える検査装置。
  9. 撮影対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得るステップと、
    前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得るステップと、
    を備える画像合成方法。
  10. コンピュータに、
    撮影対象物の表面を走査撮像して得られた複数の画像について、走査範囲の短手方向の画像列を合成して第1合成画像を得る手順と、
    前記走査範囲の長手方向について、複数の前記第1合成画像を合成して第2合成画像を得る手順と、
    を実行させるための画像合成プログラム。
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