JP2021192420A - Transfer device and transfer method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、転写装置および転写方法に関する。 The present invention relates to a transfer device and a transfer method.
一方の面に第1接着シートが貼付された被着体の他方の面に第2接着シートを貼付し、当該被着体から第1接着シートを剥離する転写装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 A transfer device is known in which a second adhesive sheet is attached to the other surface of an adherend to which the first adhesive sheet is attached to one surface, and the first adhesive sheet is peeled off from the adherend (for example,). See Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載されたような基板転写装置1(転写装置)では、ウエハW(被着体)の外縁よりも外側で粘着テープT1(第1接着シート)を切断した場合、切断された第1接着シート(内側シート)の非貼付面側に剥離テープQ(剥離用テープ)を貼付しようとすると、被着体の正確な位置が把握できず、内側シートの外縁部を粘着テープT2(第2接着シート)に押し付け、当該内側シートを第2接着シートに貼付させてしまうことがある(特に第1接着シートが不透明な場合に顕著化する)。このように内側シートを第2接着シートに貼付させてしまうと、内側シートと剥離用テープとの接着力よりも、内側シートと第2接着シートとの接着力が勝っている場合、内側シートの剥離時に剥離用テープが内側シートから外れて剥離不良を発生する。 However, in the substrate transfer device 1 (transfer device) as described in Patent Document 1, when the adhesive tape T1 (first adhesive sheet) is cut outside the outer edge of the wafer W (adhesive body), it is cut. When trying to attach the release tape Q (release tape) to the non-attached surface side of the first adhesive sheet (inner sheet), the exact position of the adherend cannot be grasped, and the outer edge of the inner sheet is attached to the adhesive tape T2. The inner sheet may be pressed against the (second adhesive sheet) to be attached to the second adhesive sheet (particularly when the first adhesive sheet is opaque). When the inner sheet is attached to the second adhesive sheet in this way, if the adhesive force between the inner sheet and the second adhesive sheet is superior to the adhesive force between the inner sheet and the peeling tape, the inner sheet At the time of peeling, the peeling tape comes off from the inner sheet, causing peeling failure.
本発明の目的は、内側シートを第2接着シートに貼付させることなく、当該内側シートに剥離用テープを貼付することができる転写装置および転写方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a transfer device and a transfer method capable of attaching a release tape to the inner sheet without attaching the inner sheet to the second adhesive sheet.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention has adopted the configuration described in the claims.
本発明によれば、位置認識手段の認識結果を基にして、第1接着シートを切断するとともに、位置認識手段の認識結果を基にして、対応領域内に剥離用テープを貼付するので、内側シートを第2接着シートに貼付させることなく、当該内側シートに剥離用テープを貼付することができる。 According to the present invention, the first adhesive sheet is cut based on the recognition result of the position recognition means, and the release tape is attached in the corresponding area based on the recognition result of the position recognition means. The release tape can be attached to the inner sheet without attaching the sheet to the second adhesive sheet.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The X-axis, Y-axis, and Z-axis in the present embodiment are orthogonal to each other, the X-axis and the Y-axis are axes in a predetermined plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. do. Further, in the present embodiment, "up" is "down" in the direction of the arrow on the Z axis when the direction is shown without specifying the figure, based on the case of viewing from the front direction of FIG. 1 parallel to the Y axis. Is the opposite direction, "left" is the direction of the arrow on the X axis, "right" is the opposite direction, "front" is the front direction orthogonal to the paper surface, and "rear" is the opposite direction in the direction of the arrow on the Y axis. do.
本発明の転写装置EAは、一方の面WK1に第1接着シートAS1が貼付された被着体WKの位置を認識する位置認識手段10と、第1接着シートAS1を被着体WKの外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第1接着シートAS1を、被着体WKに貼付された内側シートAS1Aと、当該内側シートAS1Aの外側に位置する外側シートAS1Bとに分断するシート切断手段20と、第2フレーム部材としての第2リングフレームRF2を被着体WKの近傍に配置する移送手段30と、被着体WKの他方の面WK2に第2接着シートAS2を貼付するシート貼付手段40と、第2接着シートAS2が貼付された被着体WKを天地反転させる反転手段50と、内側シートAS1Aに剥離用テープPTを貼付し、当該剥離用テープPTに張力を付与して被着体WKから内側シートAS1Aを剥離するシート剥離手段60とを備え、被着体WKを搬送する被着体搬送手段70の近傍に配置されている。 The transfer device EA of the present invention has a position recognition means 10 for recognizing the position of the adherend WK to which the first adhesive sheet AS1 is attached to one surface WK1 and the first adhesive sheet AS1 from the outer edge of the adherend WK. A sheet cutting means 20 that cuts the first adhesive sheet AS1 to a size that protrudes and divides the first adhesive sheet AS1 into an inner sheet AS1A attached to the adherend WK and an outer sheet AS1B located outside the inner sheet AS1A. The transfer means 30 for arranging the second ring frame RF2 as the second frame member in the vicinity of the adherend WK, the sheet attaching means 40 for attaching the second adhesive sheet AS2 to the other surface WK2 of the adherend WK, and the sheet attaching means 40. The flipping means 50 for flipping the adherend WK to which the second adhesive sheet AS2 is attached is attached, and the peeling tape PT is attached to the inner sheet AS1A, and tension is applied to the peeling tape PT from the adherend WK. It is provided with a sheet peeling means 60 for peeling the inner sheet AS1A, and is arranged in the vicinity of the adherend transporting means 70 for transporting the adherend WK.
位置認識手段10は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の検知手段11を備えている。 The position recognition means 10 includes an image pickup means such as a camera or a projector, and a detection means 11 such as various sensors such as an optical sensor and an ultrasonic sensor.
シート切断手段20は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム21Aで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット21と、ブラケット22Aを介して多関節ロボット21の先端アーム21Aに支持される切断部材としての切断刃22とを備え、位置認識手段10の認識結果を基にして、第1接着シートAS1を切断する構成になっている。
The sheet cutting means 20 is composed of a plurality of arms, and is a so-called articulated robot as a drive device that can displace what is supported by the
移送手段30は、シート切断手段20と共有する多関節ロボット21と、フレーム31を介して多関節ロボット21の先端アーム21Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド32(保持手段)とを備えている。
The
シート貼付手段40は、第2接着シートAS2が帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを支持する支持ローラ41と、原反RSを案内するガイドローラ42と、剥離縁43Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから第2接着シートAS2剥離する剥離手段としての剥離板43と、被着体WKに第2接着シートAS2を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ44と、駆動機器としての回動モータ45Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ45Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ45と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、転写装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ45Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ46とを備えている。
The sheet attaching means 40 includes a
反転手段50は、駆動機器としての直動モータ51と、その出力軸51Aに支持されたフレーム52と、当該フレーム52の左右両端にそれぞれ支持された前方に延びるアーム53と、各アーム53の前方に支持された駆動機器としての回動モータ54と、その出力軸54Aにそれぞれ支持され、一対のチャックアーム55Aを有する駆動機器としてのチャックモータ55(保持手段)とを備えている。
The reversing means 50 includes a
シート剥離手段60は、巻回された感熱接着性の剥離用テープPTを回転可能に支持するテープ支持手段61と、テープ支持手段61に支持された剥離用テープPTを当該テープ支持手段61とで挟み込み、当該剥離用テープPTに繰出力を付与する繰出手段62と、剥離用テープPTのリード端部を保持するリード保持手段63と、リード保持手段63が剥離用テープPTを保持することを補助する保持補助手段64と、剥離用テープPTを内側シートAS1Aに押圧して貼付する剥離用テープ貼付手段65と、剥離用テープPTを切断する切断手段66と、剥離用テープPTに張力を付与する張力付与手段67とを備え、位置認識手段10の認識結果を基にして、被着体WKが貼付されている貼付領域AS1Sに対応する内側シートAS1Aの非貼付面側である対応領域AS1R内に、剥離用テープPTを貼付する構成となっている。
The sheet peeling means 60 includes a tape supporting means 61 that rotatably supports the wound heat-sensitive adhesive peeling tape PT, and the tape supporting means 61 that supports the peeling tape PT supported by the
テープ支持手段61は、軸61Aを中心に回動可能な回動アーム61Bと、その自由端側に支持され、巻回された剥離用テープPTを支持する支持ローラ61Cと、支持ローラ61Cを繰出手段62方向に付勢する付勢手段としてのばね61Dとを備えている。
繰出手段62は、駆動機器としての回動モータ62Aと、その図示しない出力軸に支持され、支持ローラ61Cに支持された剥離用テープPTに回転力を付与する繰出ローラ62Bとを備えている。
リード保持手段63は、駆動機器としての直動モータ63Aの出力軸63Bに支持された収容手段63Cと、収容手段63Cの底面である吸着面63Dに形成された吸引孔63Eを介して吸着保持が可能な減圧ポンプや真空エジェクタ等の支持手段としての吸引手段63F(保持手段)とを備えている。
保持補助手段64は、駆動機器としての直動モータ64Aと、その出力軸64Bに支持され、剥離用テープPTを吸着面63Dに当接させる補助ローラ64Cとを備えている。
剥離用テープ貼付手段65は、収容手段63C内に収容された駆動機器としてのリニアモータ65Aと、そのスライダ65Bに支持され、剥離用テープPTを内側シートAS1Aに押圧する押圧部材65Cと、押圧部材65Cの内部に設けられたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段65Dとを備えている。
切断手段66は、収容手段63C内に収容された駆動機器としてのリニアモータ66Aと、そのスライダ66Bに支持され、剥離用テープPTを切断可能な切断刃66Cとを備えている。
張力付与手段67は、駆動機器としてのリニアモータ67Aと、そのスライダ67Bに支持された剥離ローラ67Cとを備えている。
The tape supporting means 61 feeds out a rotating
The feeding means 62 includes a rotating
The
The holding assisting means 64 includes a
The peeling tape attaching means 65 includes a
The cutting means 66 includes a
The tension applying means 67 includes a
被着体搬送手段70は、駆動機器としてのリニアモータ71と、リニアモータ71の第1スライダ71Aに支持された第1支持テーブル72と、リニアモータ71の第2スライダ71Bに支持された第2支持テーブル73とを備えている。
第1支持テーブル72には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた内側支持面72A(保持手段)と、内側支持面72Aの外側に形成され、上方から見下した平面視において環状とされた凹溝72Bと、凹溝72Bの外側に形成され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた外側支持面72C(保持手段)とが設けられている。
第2支持テーブル73には、その上面に減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能とされた保持部73A(保持手段)と、保持部73Aの内側で平面視環状に設けられ、内側シートAS1Aにおける被着体WKからはみ出したはみだし部を、保持部73Aの吸着保持力よりも強い吸着保持力で保持する強保持部73B(保持手段)とが設けられている。
The adherend transport means 70 includes a
The first support table 72 has an
The second support table 73 is provided with a
次に、転写装置EAの動作について説明する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置された転写装置EAに対し、当該転写装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSおよび剥離用テープPTをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート剥離手段60が吸引手段63Fを駆動し、吸着面63Dでの剥離用テープPTの吸着保持を開始するとともに、シート貼付手段40が回動モータ45Aを駆動し、原反RSを繰り出して先頭の第2接着シートAS2の繰出方向先端部が剥離板43の剥離縁43Aで所定長さ剥離されると、回動モータ45Aの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1中実線で示すように、第1接着シートAS1を介して第1リングフレームRF1に被着体WKが支持された第1一体物UP1を第1支持テーブル72上に載置すると、被着体搬送手段70が図示しない減圧手段を駆動し、内側、外側支持面72A、72Cでの第1一体物UP1の吸着保持を開始する。
Next, the operation of the transfer device EA will be described.
First, with respect to the transfer device EA in which each member is arranged at the initial position shown by the solid line in FIG. 1, the user of the transfer device EA (hereinafter, simply referred to as “user”) determines the original fabric RS and After setting the peeling tape PT, a signal for starting automatic operation is input via an operation means (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Then, the sheet peeling means 60 drives the suction means 63F to start sucking and holding the peeling tape PT on the
その後、位置認識手段10が検知手段11を駆動し、被着体WKの位置を認識した後、シート切断手段10およびシート剥離手段60に認識結果を出力して検知手段11の駆動を停止する。次に、シート切断手段20が多関節ロボット21を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、被着体WKの外縁から所定間隔離れた位置で切断刃22を第1接着シートAS1に突き刺し、当該切断刃22を凹溝72Bに沿って1周させた後、切断刃22を初期位置に復帰させる。これにより、第1接着シートAS1が内側シートAS1Aと外側シートAS1Bとに分断される。この際、シート切断手段20は、位置認識手段10から出力された認識結果により、被着体WKの位置を特定し、特定した被着体WKの外縁位置から所定の距離離れた位置で第1接着シートAS1の切断を行う。そして、移送手段30が多関節ロボット21を駆動し、先端アーム21Aで保持していた切断刃22を切り離して当該先端アーム21Aで吸着パッド32を保持した後、当該吸着パッド32を第1リングフレームRF1の上面に当接させ、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド32での第1リングフレームRF1の吸着保持を開始する。次いで、被着体搬送手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、外側支持面72Cでの第1一体物UP1の吸着保持を解除すると、移送手段30が多関節ロボット21を駆動し、外側シートAS1Bが貼付された第1リングフレームRF1を図示しない所定の回収位置に搬送した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド32での第1リングフレームRF1の吸着保持を解除する。その後、移送手段30が多関節ロボット21を駆動し、フレームストッカ部STに集積されている最上部の第2リングフレームRF2の上面に吸着パッド32を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド32での第2リングフレームRF2の吸着保持を開始する。次に、移送手段30が多関節ロボット21を駆動し、第2リングフレームRF2を外側支持面72C上に載置すると、被着体搬送手段70が図示しない減圧手段を駆動し、外側支持面72Cでの第2リングフレームRF2の吸着保持を開始する。そして、移送手段30が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド32での第2リングフレームRF2の吸着保持を解除した後、多関節ロボット21を駆動し、吸着パッド32を初期位置に復帰させ、先端アーム21Aで保持していた吸着パッド32を切り離して当該先端アーム21Aで切断刃22を保持する。
After that, the position recognition means 10 drives the detection means 11, recognizes the position of the adherend WK, outputs the recognition result to the sheet cutting means 10 and the sheet peeling means 60, and stops driving the detection means 11. Next, the sheet cutting means 20 drives the articulated
次いで、被着体搬送手段70がリニアモータ71を駆動し、第1支持テーブル72を右方へ移動させ、第1支持テーブル72がシート貼付手段40に対する所定の位置に到達すると、シート貼付手段40が回動モータ45Aを駆動し、第1支持テーブル72の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、第2接着シートAS2が剥離シートRLから剥離され、当該剥離シートRLから剥離された第2接着シートAS2は、図1中二点鎖線で示すように、押圧ローラ44によって第2リングフレームRF2の上面および被着体WKの他方の面WK2に押圧されて貼付される。その後、先頭の第2接着シートAS2全体が第2リングフレームRF2および被着体WKに貼付されて第2一体物UP2が形成され、当該先頭の第2接着シートAS2に続く次の第2接着シートAS2の繰出方向先端部が剥離板43の剥離縁43Aで所定長さ剥離されると、シート貼付手段40が回動モータ45Aの駆動を停止する。
Next, the adherend transport means 70 drives the
その後も第1支持テーブル72の右方への移動が続行され、図1中二点鎖線で示すように、当該第1支持テーブル72が反転手段50の直下に到達すると、被着体搬送手段70がリニアモータ71の駆動を停止する。次に、反転手段50が直動モータ51を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、フレーム52を下降させた後、各チャックモータ55を駆動し、各チャックアーム55Aで第2リングフレームRF2を把持する。そして、被着体搬送手段70が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側、外側支持面72A、72Cでの第2一体物UP2の吸着保持を解除すると、反転手段50が直動モータ51および回動モータ54を駆動し、第2一体物UP2を所定高さにまで持ち上げた後、当該第2一体物UP2を天地反転させる。次いで、被着体搬送手段70がリニアモータ71を駆動し、第1支持テーブル72を初期位置に復帰させるとともに、第2支持テーブル73を反転手段50の直下に移動させた後、反転手段50が直動モータ51を駆動し、第2接着シートAS2が第2支持テーブル73側となるようにして、第2一体物UP2を第2支持テーブル73上に載置する。その後、被着体搬送手段70が図示しない減圧手段を駆動し、保持部73Aおよび強保持部73Bでの第2一体物UP2の吸着保持を開始すると、反転手段50が直動モータ51およびチャックモータ55を駆動し、フレーム52およびチャックアーム55Aを初期位置に復帰させる。
After that, the movement of the first support table 72 to the right continues, and as shown by the two-dot chain line in FIG. 1, when the first support table 72 reaches directly under the reversing
次に、被着体搬送手段70がリニアモータ71を駆動し、第2支持テーブル73を右方向に移動させ、図1中二点鎖線で示すように、被着体WKの左端部が押圧部材65Cの直下に位置すると、リニアモータ71の駆動を停止する。この際、シート剥離手段60は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段で内側シートAS1Aの外縁位置を検知し、この検知結果と位置認識手段10から出力された認識結果とにより、被着体WKの左端部の位置を特定し、被着体搬送手段70に対してリニアモータ71の駆動停止命令を出力する。従って、シート剥離手段60は、被着体WKの左端部を押圧部材65Cの直下に正確に位置決めした状態で第2支持テーブル73を停止させることができる。そして、シート剥離手段60が直動モータ64Aを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、補助ローラ64Cを収容手段63Cの下方から退避させた後、回動モータ62Aおよび直動モータ63Aを駆動し、剥離用テープPTを繰り出しながら収容手段63Cを内側シートAS1Aの直上所定位置まで下降させる。次いで、シート剥離手段60がリニアモータ65Aを駆動し、図2(A)に示すように、押圧部材65Cを下降させ、内側シートAS1の対応領域AS1R内に剥離用テープPTを押圧した後、加熱手段65Dを駆動し、剥離用テープPTを加熱して当該剥離用テープPTを内側シートAS1Aに接着させる。この際、被着体WKの左端部が押圧部材65Cの直下に正確に位置決めされているので、内側シートAS1Aの外縁部を第2接着シートAS2に押し付け、当該内側シートAS1Aを第2接着シートAS2に貼付させることはない。
Next, the adherend transport means 70 drives the
その後、シート剥離手段60が吸引手段63Fの駆動を停止し、吸着面63Dでの剥離用テープPTの吸着保持を解除した後、直動モータ63Aおよびリニアモータ65Aを駆動し、収容手段63Cおよび押圧部材65Cを初期位置に復帰させる。次に、シート剥離手段60がリニアモータ67Aを駆動し、図2(B)に示すように、剥離ローラ67Cを右方向に移動させ、剥離用テープPTに張力を付与して被着体WKから内側シートAS1Aを剥離する。そして、被着体WKから内側シートAS1A全体が剥離され、第3一体物UP3が形成されると、シート剥離手段60がリニアモータ67Aの駆動を停止した後、直動モータ64Aおよび吸引手段63Fを駆動し、図2(C)に示すように、補助ローラ64Cを初期位置に復帰させるとともに、吸着面63Dでの剥離用テープPTの吸着保持を開始する。次いで、シート剥離手段60がリニアモータ66Aを駆動し、図2(C)に示すように、切断刃66Cを昇降させて剥離用テープPTを切断し、作業者または図示しない移送手段が内側シートAS1Aを回収すると、シート剥離手段60がリニアモータ67Aを駆動し、剥離ローラ67Cを初期位置に復帰させる。その後、被着体搬送手段70がリニアモータ71を駆動し、第2支持テーブル73を初期位置に復帰させて図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持部73Aおよび強保持部73Bでの第3一体物UP3の吸着保持を解除すると、作業者または図示しない搬送手段が第2支持テーブル73上の第3一体物UP3を次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
After that, the sheet peeling means 60 stops driving the suction means 63F, releases the suction holding of the peeling tape PT on the
以上のような実施形態によれば、位置認識手段10の認識結果を基にして、第1接着シートAS1を切断するとともに、位置認識手段10の認識結果を基にして、対応領域AS1R内に剥離用テープPTを貼付するので、内側シートAS1を第2接着シートAS2に貼付させることなく、当該内側シートAS1Aに剥離用テープPTを貼付することができる。 According to the above embodiment, the first adhesive sheet AS1 is cut based on the recognition result of the position recognition means 10, and the first adhesive sheet AS1 is peeled into the corresponding region AS1R based on the recognition result of the position recognition means 10. Since the tape PT is attached, the peeling tape PT can be attached to the inner sheet AS1A without attaching the inner sheet AS1 to the second adhesive sheet AS2.
本発明における手段及び工程は、それら手段及び工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、位置認識手段は、一方の面に第1接着シートが貼付された被着体の位置を認識可能なものであれば、どんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。 The means and processes in the present invention are not limited as long as they can perform the operations, functions or processes described for the means and processes, much less the constituents of the mere embodiment shown in the above-described embodiment. It is not limited to the process at all. For example, the position recognition means may be any as long as it can recognize the position of the adherend to which the first adhesive sheet is attached to one surface, and its technical scope is in light of the common general technical knowledge at the time of filing. There is no limitation as long as it is within (the same applies to other means and processes).
位置認識手段10は、検知手段11として測長センサを備えていてもよいし、第1支持テーブル72を移動させつつ、自身が移動してまたは移動することなく被着体WKの位置を認識してもよいし、第1支持テーブル72を移動させることなく、自身が移動してまたは移動することなく被着体WKの位置を認識してもよいし、移送手段30、シート貼付手段40、反転手段50および被着体搬送手段70のうち少なくとも1つに認識結果を出力してもよく、認識結果を受けたそれら各手段は、外側シートAS1Bや第2リングフレームRF2を搬送したり、被着体WKに第2接着シートAS2を貼付したり、第2一体物UP2を天地反転させたり、第1支持テーブル72を反転手段50の直下で停止させたりする動作を、認識結果を基にして行ってもよいし、認識結果を保存しておき、シート切断手段20、移送手段30、シート貼付手段40、反転手段50、シート剥離手段60および被着体搬送手段70それぞれの動作タイミングに合わせてそれらに認識結果を出力してもよい。
The position recognizing means 10 may include a length measuring sensor as the detecting means 11, or recognizes the position of the adherend WK while moving the first support table 72 without moving or moving itself. Alternatively, the position of the adherend WK may be recognized without moving or moving the first support table 72, or the transfer means 30, the sheet sticking means 40, and the inversion means. The recognition result may be output to at least one of the
シート切断手段20は、第1接着シートAS1の貼付面側から当該第1接着シートAS1を切断してもよいし、第1接着シートAS1の非貼付面側から当該第1接着シートAS1を切断してもよいし、切断刃22を移動させる駆動機器(上記の実施形態では多関節ロボット21)を、移送手段30で吸着パッド32を移動させる駆動機器と共有させることなく、他の駆動機器で切断刃22を移動させてもよいし、切断刃22が多関節ロボット21に対して着脱できなくてもよいし、ブラケット22Aを介することなく多関節ロボット21が直接切断刃12を支持する構成でもよい。
The sheet cutting means 20 may cut the first adhesive sheet AS1 from the sticking surface side of the first adhesive sheet AS1, or cut the first adhesive sheet AS1 from the non-sticking surface side of the first adhesive sheet AS1. Alternatively, the drive device for moving the cutting blade 22 (the articulated
移送手段30は、吸着パッド32を移動させる駆動機器(上記の実施形態では多関節ロボット21)を、シート切断手段20で切断刃22を移動させる駆動機器と共有させることなく、他の駆動機器で吸着パッド32を移動させてもよいし、吸着パッド32が多関節ロボット21に対して着脱できなくてもよいし、フレーム31を介することなく多関節ロボット21が直接切吸着パッド22を支持する構成でもよいし、第1リングフレームRF1および外側シートAS1Bのうち少なくとも一方を第1支持テーブル72上から除去しなくてもよいし、外側シートAS1Bまたは外側シートAS1Bが貼付された第1リングフレームRF1を他の装置や人手等で所定の回収位置に搬送したり、第2リングフレームRF2を他の装置や人手等で第1支持テーブル72上に載置したりする場合や、第2リングフレームRF2を第1支持テーブル72上に載置しない場合、本発明の転写装置EAに備わっていなくてもよい。
The transfer means 30 is another drive device without sharing the drive device (articulated
シート貼付手段40は、剥離シートRLに仮着された帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第2接着シートAS2とされた原反を繰り出してもよいし、帯状接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反を採用し、帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第2接着シートAS2としてもよいし、帯状接着シート基材を被着体WKに貼付する構成でもよいし、第2接着シートAS2を剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように回動モータ45Aのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ41やガイドローラ42等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第2接着シートAS2を保持し、当該保持部材で保持した第2接着シートAS2を被着体WKに押圧して貼付する構成の押圧手段を採用してもよいし、剥離シートRLをファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートRLを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、第1支持テーブル72を移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動して被着体WKに第2接着シートAS2を貼付してもよいし、剥離シートRLが仮着されていない第2接着シートAS2を繰り出して被着体WKに貼付してもよいし、被着体WKのみに第2接着シートAS2を貼付する構成でもよい。
In the sheet attaching means 40, a closed loop-shaped or short cut in the entire width direction is formed in the strip-shaped adhesive sheet base material temporarily attached to the release sheet RL, and a predetermined region partitioned by the cut is formed. 2 The original fabric as the adhesive sheet AS2 may be fed out, or the original fabric in which the strip-shaped adhesive sheet base material is temporarily attached to the release sheet RL is adopted, and the strip-shaped adhesive sheet base material is closed-looped or the entire short width direction. The notch may be formed by a cutting means, and a predetermined area partitioned by the notch may be used as the second adhesive sheet AS2, or the strip-shaped adhesive sheet base material may be attached to the adherend WK. 2 When the adhesive sheet AS2 is peeled from the peeling sheet RL, the torque of the
反転手段50は、第2一体物UP2における第2リングフレームRF2、第2接着シートAS2、内側シートAS1Aおよび被着体WKのうち少なくとも1つを保持し、当該第2一体物UP2を天地反転させる構成としてもよいし、第2一体物UP2を上昇させることなく、例えば、第1支持テーブル72を第2一体物UP2の下方から退避させておき、当該第2一体物UP2を天地反転させてもよいし、第1支持テーブル72または第2支持テーブル73に支持されている構成としてもよいし、回動モータ54を1体または3体以上としてもよいし、チャックモータ55を1体または3体以上としてもよいし、シート貼付手段40で第2一体物UP2が形成された状態のまま(例えば、第1支持テーブル72に支持された第2一体物UP2の下方から)、シート剥離手段60が内側シートAS1Aを剥離できる構成である場合、本発明の転写装置EAに備わっていなくてもよい。
The reversing means 50 holds at least one of the second ring frame RF2, the second adhesive sheet AS2, the inner sheet AS1A, and the adherend WK in the second integrated object UP2, and inverts the second integrated object UP2. Alternatively, the first support table 72 may be retracted from below the second integrated object UP2 without raising the second integrated object UP2, and the second integrated object UP2 may be turned upside down. It may be configured to be supported by the first support table 72 or the second support table 73, the
シート剥離手段60は、被着体WKの外縁よりも当該被着体WKの中央部に近付いた対応領域AS1R内に剥離用テープPTを貼付してもよいし、枚葉の剥離用テープPTを内側シートAS1Aに貼付する構成でもよいし、支持ローラ61Cを繰出手段62方向に付勢することなく、繰出ローラ62Bとで剥離用テープPTを挟み込むピンチローラを採用し、当該剥離用テープPTを繰り出してもよいし、繰出手段62の駆動、リニアモータ71の駆動およびリニアモータ67Aの駆動のうち、少なくとも1つの駆動で、剥離用テープPTに張力を付与して被着体WKから内側シートAS1Aを剥離してもよいし、収容手段63Cを内側シートAS1Aの直上所定位置まで下降させた際、吸着面63Dで吸着保持している剥離用テープPTのリード端部を内側シートAS1Aに当接させてもよいし、収容手段63Cがなくてもよいし、保持補助手段64を採用せずに、内側シートAS1A剥離後の剥離用テープPTをリード保持手段63のみで保持する構成としてもよいし、保持補助手段64が補助ローラ64Cに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で剥離用テープPTを吸着面63Dに当接させる構成を採用してもよいし、加熱手段65Dを採用することなく、または、加熱手段65Dを採用して感圧接着性の剥離用テープPTを内側シートAS1Aに貼付する構成でもよいし、押圧部材65Cの代わりに、気体を吹き付けて剥離用テープPTを内側シートAS1Aに貼付する構成を採用してもよいし、剥離用テープ貼付手段65および切断手段66の少なくとも一方が収容手段63Cに収容されていなくてもよいし、剥離用テープPTを切断しなくてもよいし、切断手段66を採用せずに他の装置や人手で剥離用テープPTを切断してもよいし、リニアモータ67Aおよび剥離ローラ67Cを採用することなく、例えば、テープ支持手段61、繰出手段62、リード保持手段63等の剥離用テープ保持部材を移動させずにまたは移動させつつ、第2支持テーブル73を移動させたり、第2支持テーブル73移動させずに剥離用テープ保持部材を移動させたり、第2一体物UP2を支持した他の装置を剥離用テープ保持部材に対して相対移動させたりすることで、剥離用テープPTに張力を付与して被着体WKから内側シートAS1Aを剥離してもよい。
シート剥離手段60は、押圧部材65Cを左右方向に移動させる駆動機器および、押圧部材65Cを前後方向に移動させる駆動機器のうち少なくとも一方を採用し、位置認識手段10から出力された認識結果により、被着体WKの位置を特定し、押圧部材65Cを左右方向や前後方向に移動させて対応領域AS1R内に剥離用テープPTを貼付してもよく、押圧部材65Cを左右方向に移動させる駆動機器を採用した場合、被着体搬送手段70は、当該シート剥離手段60によるリニアモータ71の駆動停止命令を得ずに、被着体WKの左端部が押圧部材65Cの直下に位置した時点でリニアモータ71の駆動を停止させることができる。
シート剥離手段60は、上記の実施形態において、図示しない検知手段を用い、位置認識手段30の認識結果を基にして被着体WKの位置を求めたが、図示しない検知手段を用いることなく、例えば、位置認識手段30の認識結果を基にして、被着体搬送手段70の被着体WKの搬送速度および搬送時間から当該被着体WKの位置を求めてもよい。
The sheet peeling means 60 may attach the peeling tape PT in the corresponding region AS1R closer to the central portion of the adherend WK than the outer edge of the adherend WK, or the sheet peeling tape PT may be attached. It may be attached to the inner sheet AS1A, or a pinch roller that sandwiches the peeling tape PT with the feeding
The sheet peeling means 60 employs at least one of a drive device for moving the
In the above embodiment, the sheet peeling means 60 uses a detection means (not shown) to determine the position of the adherend WK based on the recognition result of the position recognition means 30, but without using a detection means (not shown). For example, the position of the adherend WK may be obtained from the transport speed and the transport time of the adherend WK of the adherend transport means 70 based on the recognition result of the position recognition means 30.
被着体搬送手段70は、第1支持テーブル72を移動させる駆動機器と、第2支持テーブル73を移動させる駆動機器とが別々でもよいし、第2支持テーブル73を採用することなく、第1支持テーブル72が第2支持テーブル73と同等の動作を行うようにしてもよいし、第1支持テーブル72および第2支持テーブル73の少なくとも一方を前後方向に移動させる駆動機器を採用し、各手段の作業領域内で被着体WKを左右方向にも移動できるようにしてもよいし、第1支持テーブル72に形成された凹溝72Bの平面視形状が三角や四角等の多角形の環状、円環状、楕円環状等どのような環状形状でもよいし、第1支持テーブル72に凹溝72Bが形成されていなくてもよいし、内側支持面72Aおよび外側支持面72Cに保持力を付与する系統を1系統としたり、それらに保持力を付与する系統をそれぞれ1系統ずつ設けて計2系統としたりしてもよいし、保持部73Aおよび強保持部73Bに保持力を付与する系統を1系統としたり、それらに保持力を付与する系統をそれぞれに1系統ずつ設けて計2系統としたりしてもよいし、内側シートAS1Aにおける被着体WKが貼付されていない領域に対応した一部または全部(環状)に強保持部73Bが形成されていてもよいし、本発明の転写装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明の転写装置EAに備わっていていない場合、他の装置で被着体WKを搬送してもよいし、被着体WKを搬送することなく、シート貼付手段40やシート剥離手段60等の他の手段が移動してもよいし、本発明の転写装置EAに備わっている場合、被着体WKを搬送し、且つ、シート貼付手段40やシート剥離手段60等の他の手段を移動させてもよい。
In the adherend transport means 70, the drive device for moving the first support table 72 and the drive device for moving the second support table 73 may be separated, and the first support table 73 may be moved without adopting the first support table 73. The support table 72 may perform the same operation as the second support table 73, or a drive device for moving at least one of the first support table 72 and the second support table 73 in the front-rear direction is adopted, and each means is adopted. The adherend WK may be able to move in the left-right direction within the work area of Any annular shape such as an annular shape or an elliptical annular shape may be used, the
転写装置EAに供給される被着体WKは、第1リングフレームRF1に支持されることなく、第1接着シートAS1のみが貼付されていてもよい。
第1、第2フレーム部材は、環状の第1、第2リングフレームRF1、RF2以外に、例えば、環状でない部材でもよい。
The adherend WK supplied to the transfer device EA may be attached with only the first adhesive sheet AS1 without being supported by the first ring frame RF1.
The first and second frame members may be, for example, non-annular members other than the annular first and second ring frames RF1 and RF2.
本発明における第1、第2接着シートAS1、AS2、剥離用テープPTおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第1、第2接着シートAS1、AS2、剥離用テープPTおよび被着体WKは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第1、第2接着シートAS1、AS2および剥離用テープPTは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第1、第2接着シートAS1、AS2が採用された場合は、当該第1、第2接着シートAS1、AS2を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第1、第2接着シートAS1、AS2および剥離用テープPTは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第1、第2接着シートAS1、AS2は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The materials, types, shapes, etc. of the first and second adhesive sheets AS1, AS2, the peeling tape PT, and the adherend WK in the present invention are not particularly limited. For example, the first and second adhesive sheets AS1, AS2, the peeling tape PT, and the adherend WK may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a square shape, or any other shape. The second adhesive sheets AS1 and AS2 and the peeling tape PT may have an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness, and the heat-sensitive adhesive first and second adhesive sheets AS1 and AS2 are adopted. If this is the case, the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 may be adhered by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater or a heating means such as a heating side of a heat pipe. Further, the first and second adhesive sheets AS1, AS2 and the peeling tape PT are, for example, a single layer having only an adhesive layer, a one having an intermediate layer between the base material and the adhesive layer, and the like. It may be a so-called double-sided adhesive sheet having three or more layers such as having a cover layer on the upper surface of the base material, or a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the base material from the adhesive layer. It may have a single layer or a multi-layer intermediate layer, or may be a single layer or a multi-layer without an intermediate layer. The adherend WK includes, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit boards, information recording boards such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wood boards or resins. It may be a single object, or it may be a compound formed by two or more of them, and any form of a member, an article, or the like can be targeted. The first and second adhesive sheets AS1 and AS2 can be read in a functional and versatile manner, for example, an information description label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, and a recording. Any sheet such as a layer-forming resin sheet, a film, a tape, or the like may be used.
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
The drive device in the above embodiment is an electric device such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, an articulated robot having two-axis or three-axis or more joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless. Actuators such as cylinders and rotary cylinders can be adopted, and those in which they are directly or indirectly combined can also be adopted.
In the above embodiment, when a rotating member such as a roller is adopted, a driving device for rotationally driving the rotating member may be provided, and the surface of the rotating member or the rotating member itself can be deformed by rubber, resin, or the like. It may be composed of a member, the surface of the rotating member or the rotating member itself may be composed of a member that does not deform, or another member such as a shaft or a blade that rotates or does not rotate may be adopted instead of the roller. Alternatively, when a pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member that presses a pressed object is adopted, a roller, a round bar, or a blade may be used in place of or in combination with the above-exemplified ones. A member such as a material, rubber, resin, or sponge may be adopted, or a structure that presses by blowing a gas such as air or gas may be adopted, or a deformable member such as rubber or resin may be adopted. It may be composed of, or it may be composed of a member that does not deform, and when a peeling means such as a peeling plate or a peeling roller or a peeling member that peels off an object to be peeled is adopted, it is exemplified above. A plate-shaped member, a round bar, a roller, or the like may be used in place of or in combination with the material, or the material to be peeled off may be made of a deformable member such as rubber or resin, or may be deformed. It may be composed of members that do not, or when a member that supports (holds) a supported member (held member) such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member is adopted, a mechanical chuck or a chuck cylinder. Supporting member is supported (held) by gripping means such as, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli suction, suction suction, drive equipment, etc. If a material for cutting a member to be cut such as a cutting means or a cutting member or forming a cut or a cutting line in the member to be cut is used, the above-exemplified material may be used instead of the above-exemplified material. Alternatively, use a cutter blade, laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, spraying of gas or liquid, etc. to cut, or use a combination of appropriate drive equipment to cut. It may be moved to cut the object, or if the urging means is adopted, it may be composed of a spring, rubber, resin or the like.
EA…転写装置
10…位置認識手段
20…シート切断手段
40…シート貼付手段
60…シート剥離手段
AS1…第1接着シート
AS1A…内側シート
AS1B…外側シート
AS1R…対応領域
AS1S…貼付領域
AS2…第2接着シート
PT…剥離用テープ
WK…被着体
WK1…一方の面
WK2…他方の面
EA ... Transfer device 10 ... Position recognition means 20 ... Sheet cutting means 40 ... Sheet sticking means 60 ... Sheet peeling means AS1 ... First adhesive sheet AS1A ... Inner sheet AS1B ... Outer sheet AS1R ... Corresponding area AS1S ... Sticking area AS2 ... Second Adhesive sheet PT ... Peeling tape WK ... Adhesive WK1 ... One side WK2 ... The other side
Claims (2)
前記第1接着シートを前記被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第1接着シートを、前記被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断するシート切断手段と、
前記被着体の他方の面に第2接着シートを貼付するシート貼付手段と、
前記内側シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記内側シートを剥離するシート剥離手段とを備え、
前記シート切断手段は、前記位置認識手段の認識結果を基にして、前記第1接着シートを切断し、
前記シート剥離手段は、前記位置認識手段の認識結果を基にして、前記被着体が貼付されている貼付領域に対応する前記内側シートの非貼付面側である対応領域内に、前記剥離用テープを貼付することを特徴とする転写装置。 A position recognition means for recognizing the position of the adherend to which the first adhesive sheet is attached to one surface, and
The first adhesive sheet is cut to a size protruding from the outer edge of the adherend, and the first adhesive sheet is formed into an inner sheet attached to the adherend and an outer sheet located outside the inner sheet. Sheet cutting means to divide into
A sheet attaching means for attaching the second adhesive sheet to the other surface of the adherend, and
A sheet peeling means for attaching a peeling tape to the inner sheet and applying tension to the peeling tape to peel the inner sheet from the adherend is provided.
The sheet cutting means cuts the first adhesive sheet based on the recognition result of the position recognition means.
The sheet peeling means is used for peeling in the corresponding area on the non-sticking surface side of the inner sheet corresponding to the sticking area to which the adherend is stuck, based on the recognition result of the position recognition means. A transfer device characterized by affixing tape.
前記第1接着シートを前記被着体の外縁からはみ出る大きさに切断し、当該第1接着シートを、前記被着体に貼付された内側シートと、当該内側シートの外側に位置する外側シートとに分断するシート切断工程と、
前記被着体の他方の面に第2接着シートを貼付するシート貼付工程と、
前記内側シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して前記被着体から前記内側シートを剥離するシート剥離工程とを実施し、
前記シート切断工程では、前記位置認識工程での認識結果を基にして、前記第1接着シートを切断し、
前記シート剥離工程では、前記位置認識工程での認識結果を基にして、前記被着体が貼付されている貼付領域に対応する前記内側シートの非貼付面側である対応領域内に、前記剥離用テープを貼付することを特徴とする転写方法。 A position recognition process that recognizes the position of the adherend to which the first adhesive sheet is attached to one surface, and
The first adhesive sheet is cut to a size protruding from the outer edge of the adherend, and the first adhesive sheet is formed into an inner sheet attached to the adherend and an outer sheet located outside the inner sheet. The sheet cutting process that divides into
A sheet affixing step of affixing the second adhesive sheet to the other surface of the adherend,
A sheet peeling step of attaching a peeling tape to the inner sheet and applying tension to the peeling tape to peel the inner sheet from the adherend was carried out.
In the sheet cutting step, the first adhesive sheet is cut based on the recognition result in the position recognition step.
In the sheet peeling step, based on the recognition result in the position recognition step, the peeling is performed in the corresponding area on the non-sticking surface side of the inner sheet corresponding to the sticking area to which the adherend is stuck. A transfer method characterized by attaching a tape for use.
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